JP7333967B2 - 垂直型連続めっき装置のための基板移送装置 - Google Patents
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Description
10 基板移送装置
100 メインフレーム
200 基板装着部
210 レール装着ブラケット
220 基板装着フレーム
300 レール部
400 ローディング部
410 固定レール
420 移動レール
430 スライドユニット
440 昇降ユニット
450 加圧ブロック
460 作動ブロック
470 リンカーユニット
500 アンローディング部
600 クランピング部
610 クランピング部本体
620 プッシュローラ
630 回動ブラケット
640 付勢部
Claims (9)
- 垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送する基板移送装置において、
メインフレーム100と、
基板1が装着される基板装着部200と、
前記メインフレーム100に配置され、前記基板装着部200の移送経路を形成するレール部300と、
前記基板1を前記レール部300にローディングし、前記レール部300に沿って初期区間を移動させるローディング部400と、
前記基板装着部200に備えられるクランピング部600と、
前記クランピング部600に結合及び結合解除可能に形成され、前記基板装着部200を移送するワイヤ部700とを含み、
前記ローディング部400は、
前記メインフレーム100に締結される固定レール410と、
前記固定レール410に締結され、前記固定レール410に沿って摺動移動可能な移動レール420と、
前記移動レール420に締結され、前記移動レール420に沿って摺動移動可能なスライドユニット430と、
前記スライドユニット430に対して上下移動可能に形成される昇降ユニット440と、
前記昇降ユニット440に配置され、前記クランピング部600に結合可能に形成される加圧ブロック450と、
前記加圧ブロック450に隣接して配置され、前記クランピング部600を加圧して作動させる作動ブロック460とを含み、
前記めっき区間において、前記クランピング部600が前記ワイヤ部700に締結され、前記基板装着部200が前記ワイヤ部700により移送されることで、前記基板1が前記ワイヤ部700により移送される基板移送装置。 - 前記加圧ブロック450は、
前記加圧ブロック450の底面が上に向かって凹状に窪み、前記クランピング部600のプッシュローラ620に加圧接触する装着溝451と、
前記装着溝451の下端から傾斜して延設され、前記プッシュローラ620の締結を接触案内する傾斜面452とを含む、請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記作動ブロック460は、
前記作動ブロック460の底面に水平方向に延び、前記クランピング部600に備えられる回動ローラ632の上面に加圧接触する水平面461と、
前記水平面461の一側から下方に延び、前記回動ローラ632の前面一側を接触案内する垂直面462とを含む、請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記ローディング部400は、
前記移動レール420の一側に締結されるリンカーユニット470を含み、
前記リンカーユニット470は、
前記移動レール420に締結されるリンカーブラケット471と、
前記リンカーブラケット471に締結され、上下軸を中心に回動可能に形成され、前記クランピング部600に接触干渉するフラップ472と、
前記フラップ472に締結され、前記フラップ472を回動駆動するアクチュエータ473とを含む、請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記リンカーユニット470は、
前記フラップ472が前記クランピング部600に接触干渉する干渉状態と、
前記フラップ472が前記干渉状態からある程度回動し、前記フラップ472と前記クランピング部600が離隔される非干渉状態とを有し、
前記ローディング部400は、
前記干渉状態において、前記クランピング部600の移動に連動し、前記非干渉状態において、前記クランピング部600の移動から分離される、請求項4に記載の基板移送装置。 - 垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送する基板移送装置において、
メインフレーム100と、
基板1が装着される基板装着部200と、
前記メインフレーム100に配置され、前記基板装着部200の移送経路を形成するレール部300と、
前記基板1を前記レール部300にローディングし、前記レール部300に沿って初期区間を移動させるローディング部400と、
前記基板装着部200に備えられるクランピング部600と、
前記クランピング部600に結合及び結合解除可能に形成され、前記基板装着部200を移送するワイヤ部700とを含み、
前記クランピング部600は、
前記基板装着部200に締結されるクランピング部本体610と、
前記クランピング部本体610に回転可能に締結され、前記ローディング部400の加圧ブロック450に締結されるプッシュローラ620と、
一側に組立軸631を有し、前記組立軸631を中心に回動可能に前記クランピング部本体610に締結され、前記ローディング部400の作動ブロック460に加圧接触する回動ローラ632を備える回動ブラケット630と、
前記クランピング部本体610に対して前記回動ブラケット630を付勢する付勢部640とを含み、
前記めっき区間において、前記クランピング部600が前記ワイヤ部700に締結され、前記基板装着部200が前記ワイヤ部700により移送されることで、前記基板1が前記ワイヤ部700により移送される基板移送装置。 - 前記クランピング部本体610は、
一側に第1のグリップ溝611を備え、
前記回動ブラケット630は、
前記第1のグリップ溝611に対応して形成され、前記第1のグリップ溝611と共に前記ワイヤ部700に結合及び結合解除可能に形成される第2のグリップ溝635aを備える、請求項6に記載の基板移送装置。 - 前記クランピング部600は、
前記回動ローラ632が前記作動ブロック460により加圧され、前記第1のグリップ溝611と前記第2のグリップ溝635aが初期状態から離隔し、前記ワイヤ部700から結合解除される第1の作動状態と、
前記作動ブロック460の加圧力が除去され、前記付勢部640により前記回動ローラ632が復帰し、前記第1のグリップ溝611と前記第2のグリップ溝635aとの間に前記ワイヤ部700が結合される第2の作動状態とを有する、請求項7に記載の基板移送装置。 - 前記クランピング部本体610は、
前記組立軸631から離隔され、前記回動ブラケット630とリンク結合される長孔状のガイド孔613を備え、
前記回動ブラケット630は、
前記ガイド孔613に締結され、前記組立軸631を中心とした前記回動ブラケット630の回転移動を案内する移動軸634と、
前記ローディング部400のリンカーユニット470に接触干渉するリンクブロック612とを含む、請求項6に記載の基板移送装置。
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