JPH11257236A - 空気駆動式液体供給装置 - Google Patents
空気駆動式液体供給装置Info
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- JPH11257236A JPH11257236A JP10088048A JP8804898A JPH11257236A JP H11257236 A JPH11257236 A JP H11257236A JP 10088048 A JP10088048 A JP 10088048A JP 8804898 A JP8804898 A JP 8804898A JP H11257236 A JPH11257236 A JP H11257236A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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- F04B9/08—Piston machines or pumps characterised by the driving or driven means to or from their working members the means being fluid
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプを介して空気供給管路内に逆流する液
体による空気圧調整手段の損傷や機能停止等を防止する
こと。 【解決手段】 洗浄槽２０に洗浄液や薬液等の液体を供
給する循環ポンプ２６あるいは定量ポンプ３４と、空気
供給源６０に接続する空気圧調整手段５０を構成する電
磁切換弁５１やレギュレータ５２と、この空気圧調整手
段５０と循環ポンプ２６又は定量ポンプ３４とをそれぞ
れ接続する空気供給管路４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１
ｅと、を具備する空気駆動式液体供給装置において、各
空気供給管路４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１ｅにおける
空気圧調整手段５０と循環ポンプ２６又は定量ポンプ３
４との間に、循環ポンプ２６又は定量ポンプ３４を介し
て空気供給管路４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１ｅ内に逆
流する液体を検知するリークセンサ７０を介設して、リ
ークセンサ７０によって逆流する液体を検知する。
体による空気圧調整手段の損傷や機能停止等を防止する
こと。 【解決手段】 洗浄槽２０に洗浄液や薬液等の液体を供
給する循環ポンプ２６あるいは定量ポンプ３４と、空気
供給源６０に接続する空気圧調整手段５０を構成する電
磁切換弁５１やレギュレータ５２と、この空気圧調整手
段５０と循環ポンプ２６又は定量ポンプ３４とをそれぞ
れ接続する空気供給管路４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１
ｅと、を具備する空気駆動式液体供給装置において、各
空気供給管路４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１ｅにおける
空気圧調整手段５０と循環ポンプ２６又は定量ポンプ３
４との間に、循環ポンプ２６又は定量ポンプ３４を介し
て空気供給管路４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１ｅ内に逆
流する液体を検知するリークセンサ７０を介設して、リ
ークセンサ７０によって逆流する液体を検知する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は空気駆動式液体供
給装置に関するものである。
給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体等の製造工程において
は、半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等の被処理体
（以下にウエハ等という）を薬液やリンス液（純水）等
の洗浄液が貯留された洗浄槽に順次浸漬して洗浄を行う
洗浄処理方法が広く採用されている。
は、半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等の被処理体
（以下にウエハ等という）を薬液やリンス液（純水）等
の洗浄液が貯留された洗浄槽に順次浸漬して洗浄を行う
洗浄処理方法が広く採用されている。
【０００３】このような洗浄処理を行う洗浄装置として
は、ウエハ等を浸漬する洗浄液例えば薬液あるいはリン
ス液（純水）等を貯留する洗浄槽と、この洗浄槽内の洗
浄液をオーバーフローさせると共に、循環供給させる循
環液供給装置と、洗浄槽内に洗浄液例えば薬液を補充す
る補充用液供給装置とを具備する液供給装置が知られて
いる。
は、ウエハ等を浸漬する洗浄液例えば薬液あるいはリン
ス液（純水）等を貯留する洗浄槽と、この洗浄槽内の洗
浄液をオーバーフローさせると共に、循環供給させる循
環液供給装置と、洗浄槽内に洗浄液例えば薬液を補充す
る補充用液供給装置とを具備する液供給装置が知られて
いる。
【０００４】また、上記液供給装置は、上記洗浄槽に洗
浄液を供給する液体供給手段例えば往復動式の循環ポン
プと、この循環ポンプの吐出側の液体の脈動を抑制する
脈動緩衝手段例えばダンパとを具備してなり、ポンプ及
びダンパを、空気圧調整手段例えばレギュレータ及び電
磁切換弁を介して空気供給源に接続して、ポンプ及びダ
ンパに所定の空気圧を供給して、上記洗浄槽内に、所定
流量で洗浄液を循環供給している。また、薬液補充タン
ク内の薬液の所定量を洗浄槽内に補充する補充用の液体
供給手段例えば薬液補充ポンプも、往復動式のポンプ例
えばべローズポンプが使用されており、このポンプは、
レギュレータ及び電磁切換弁を介して空気供給源に接続
され、所定の空気圧の供給によって、所定量の薬液を洗
浄槽内に供給している。
浄液を供給する液体供給手段例えば往復動式の循環ポン
プと、この循環ポンプの吐出側の液体の脈動を抑制する
脈動緩衝手段例えばダンパとを具備してなり、ポンプ及
びダンパを、空気圧調整手段例えばレギュレータ及び電
磁切換弁を介して空気供給源に接続して、ポンプ及びダ
ンパに所定の空気圧を供給して、上記洗浄槽内に、所定
流量で洗浄液を循環供給している。また、薬液補充タン
ク内の薬液の所定量を洗浄槽内に補充する補充用の液体
供給手段例えば薬液補充ポンプも、往復動式のポンプ例
えばべローズポンプが使用されており、このポンプは、
レギュレータ及び電磁切換弁を介して空気供給源に接続
され、所定の空気圧の供給によって、所定量の薬液を洗
浄槽内に供給している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように空気圧を利用した空気駆動式液体供給装置におい
ては、長期の使用によるポンプ部の摩耗、あるいは何等
かの原因によって液体流路内の液体が、空気圧供給管路
内に逆流する虞れがあった。このように空気供給管路内
に液体が逆流すると、液体が空気圧調整手段すなわち電
磁切換弁やレギュレータ内に侵入して、これら電磁切換
弁、レギュレータに損傷を与えたり、機能を不能にする
ばかりか、液体の供給に支障をきたすという問題があっ
た。
ように空気圧を利用した空気駆動式液体供給装置におい
ては、長期の使用によるポンプ部の摩耗、あるいは何等
かの原因によって液体流路内の液体が、空気圧供給管路
内に逆流する虞れがあった。このように空気供給管路内
に液体が逆流すると、液体が空気圧調整手段すなわち電
磁切換弁やレギュレータ内に侵入して、これら電磁切換
弁、レギュレータに損傷を与えたり、機能を不能にする
ばかりか、液体の供給に支障をきたすという問題があっ
た。
【０００６】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、ポンプやダンパを介して空気供給管路内に逆流する
液体を検知して、逆流による空気圧調整手段の損傷や機
能停止等を防止するようにした空気駆動式液体供給装置
を提供することを目的とするものである。
で、ポンプやダンパを介して空気供給管路内に逆流する
液体を検知して、逆流による空気圧調整手段の損傷や機
能停止等を防止するようにした空気駆動式液体供給装置
を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第１の空気駆動式液体供給装置は、液処
理部に液体を供給する１又は複数の液体供給手段と、空
気供給源に接続する空気圧調整手段と、この空気圧調整
手段と上記液体供給手段とを接続する空気供給管路と、
を具備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各
空気供給管路における上記空気圧調整手段と上記液体供
給手段との間に、上記液体供給手段を介して空気供給管
路内に逆流する液体を検知する液体検知手段を介設して
なる、ことを特徴とする（請求項１）。
に、この発明の第１の空気駆動式液体供給装置は、液処
理部に液体を供給する１又は複数の液体供給手段と、空
気供給源に接続する空気圧調整手段と、この空気圧調整
手段と上記液体供給手段とを接続する空気供給管路と、
を具備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各
空気供給管路における上記空気圧調整手段と上記液体供
給手段との間に、上記液体供給手段を介して空気供給管
路内に逆流する液体を検知する液体検知手段を介設して
なる、ことを特徴とする（請求項１）。
【０００８】このように構成することにより、液体供給
手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体検知
手段にて検知することができ、検知信号により液体の漏
洩箇所を知らせることができる。
手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体検知
手段にて検知することができ、検知信号により液体の漏
洩箇所を知らせることができる。
【０００９】また、この発明の第２の空気駆動式液体供
給装置は、液処理部に液体を供給する１又は複数の液体
供給手段と、空気供給源に接続する空気圧調整手段と、
この空気圧調整手段と上記液体供給手段とを接続する空
気供給管路と、を具備する空気駆動式液体供給装置にお
いて、 上記各空気供給管路における上記空気圧調整手
段と上記液体供給手段との間に、上記液体供給手段を介
して空気供給管路内に逆流する液体を検知する液体検知
手段を介設すると共に、この液体検知手段の検出信号に
基づいて、上記空気圧調整手段の二次側の空気供給管路
に介設される逆流防止手段を動作させるようにした、こ
とを特徴とする（請求項２）。
給装置は、液処理部に液体を供給する１又は複数の液体
供給手段と、空気供給源に接続する空気圧調整手段と、
この空気圧調整手段と上記液体供給手段とを接続する空
気供給管路と、を具備する空気駆動式液体供給装置にお
いて、 上記各空気供給管路における上記空気圧調整手
段と上記液体供給手段との間に、上記液体供給手段を介
して空気供給管路内に逆流する液体を検知する液体検知
手段を介設すると共に、この液体検知手段の検出信号に
基づいて、上記空気圧調整手段の二次側の空気供給管路
に介設される逆流防止手段を動作させるようにした、こ
とを特徴とする（請求項２）。
【００１０】このように構成することにより、液体供給
手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体検知
手段にて検知すると共に、空気圧調整手段の二次側の空
気供給管路に介設される逆流防止手段を動作させて、空
気圧調整手段への液体の侵入を阻止することができる。
手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体検知
手段にて検知すると共に、空気圧調整手段の二次側の空
気供給管路に介設される逆流防止手段を動作させて、空
気圧調整手段への液体の侵入を阻止することができる。
【００１１】また、この発明の第３の空気駆動式液体供
給装置は、液処理部に液体を供給する１又は複数の液体
供給手段と、液体供給手段の吐出側の液体の脈動を抑制
する脈動緩衝手段と、空気供給源に接続する空気圧調整
手段と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段及び脈
動緩衝手段とをそれぞれ接続する空気供給管路と、を具
備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各空気
供給管路における上記空気圧調整手段と上記液体供給手
段又は脈動緩衝手段との間に、上記液体供給手段又は脈
動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を検
知する液体検知手段を介設してなる、ことを特徴とする
（請求項３）。
給装置は、液処理部に液体を供給する１又は複数の液体
供給手段と、液体供給手段の吐出側の液体の脈動を抑制
する脈動緩衝手段と、空気供給源に接続する空気圧調整
手段と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段及び脈
動緩衝手段とをそれぞれ接続する空気供給管路と、を具
備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各空気
供給管路における上記空気圧調整手段と上記液体供給手
段又は脈動緩衝手段との間に、上記液体供給手段又は脈
動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を検
知する液体検知手段を介設してなる、ことを特徴とする
（請求項３）。
【００１２】このように構成することにより、液体供給
手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流す
る液体を液体検知手段にて検知することができ、検知信
号により液体の漏洩箇所を知らせることができる。
手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流す
る液体を液体検知手段にて検知することができ、検知信
号により液体の漏洩箇所を知らせることができる。
【００１３】また、この発明の第４の空気駆動式液体供
給装置は、液処理部に液体を供給する１又は複数の液体
供給手段と、液体供給手段の吐出側の液体の脈動を抑制
する脈動緩衝手段と、空気供給源に接続する空気圧調整
手段と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段及び脈
動緩衝手段とをそれぞれ接続する空気供給管路と、を具
備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各空気
供給管路における上記空気圧調整手段と上記液体供給手
段又は脈動緩衝手段との間に、上記液体供給手段又は脈
動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を検
知する液体検知手段を介設すると共に、この液体検知手
段の検出信号に基づいて、上記空気圧調整手段の二次側
の空気供給管路に介設される逆流防止手段を動作させる
ようにした、ことを特徴とする（請求項４）。
給装置は、液処理部に液体を供給する１又は複数の液体
供給手段と、液体供給手段の吐出側の液体の脈動を抑制
する脈動緩衝手段と、空気供給源に接続する空気圧調整
手段と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段及び脈
動緩衝手段とをそれぞれ接続する空気供給管路と、を具
備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各空気
供給管路における上記空気圧調整手段と上記液体供給手
段又は脈動緩衝手段との間に、上記液体供給手段又は脈
動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を検
知する液体検知手段を介設すると共に、この液体検知手
段の検出信号に基づいて、上記空気圧調整手段の二次側
の空気供給管路に介設される逆流防止手段を動作させる
ようにした、ことを特徴とする（請求項４）。
【００１４】このように構成することにより、液体供給
手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流す
る液体を液体検知手段にて検知すると共に、空気圧調整
手段の二次側の空気供給管路に介設される逆流防止手段
を動作させて、空気圧調整手段への液体の侵入を阻止す
ることができる。
手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流す
る液体を液体検知手段にて検知すると共に、空気圧調整
手段の二次側の空気供給管路に介設される逆流防止手段
を動作させて、空気圧調整手段への液体の侵入を阻止す
ることができる。
【００１５】この発明の空気駆動式液体供給装置におい
て、上記液体供給手段の１つを薬液補充用の定量ポンプ
にて形成することができる（請求項５）。この場合、上
記定量ポンプは、少なくともポンプ筐体の薬液吸入・吐
出部と、ポンプ筐体内を伸縮移動するポンプ体とを耐薬
品性の合成樹脂製部材にて形成し、かつ、上記ポンプ体
に連結する調節ねじ付ロッドを、ポンプ筐体側にねじ結
合すると共に、このロッドの吐出部に装着されるダイヤ
ルを、ポンプ筐体側外面に刻設された目盛りに合わせる
ことにより、薬液の吐出量を調節可能にする方が好まし
い（請求項６）。
て、上記液体供給手段の１つを薬液補充用の定量ポンプ
にて形成することができる（請求項５）。この場合、上
記定量ポンプは、少なくともポンプ筐体の薬液吸入・吐
出部と、ポンプ筐体内を伸縮移動するポンプ体とを耐薬
品性の合成樹脂製部材にて形成し、かつ、上記ポンプ体
に連結する調節ねじ付ロッドを、ポンプ筐体側にねじ結
合すると共に、このロッドの吐出部に装着されるダイヤ
ルを、ポンプ筐体側外面に刻設された目盛りに合わせる
ことにより、薬液の吐出量を調節可能にする方が好まし
い（請求項６）。
【００１６】このように構成することにより、液体供給
手段を薬液の供給に使用することができ、かつ、目標の
吐出量を正確に液処理部に供給することができる。
手段を薬液の供給に使用することができ、かつ、目標の
吐出量を正確に液処理部に供給することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態を
添付図面に基づいて詳細に説明する。ここではこの発明
に係る空気駆動式液体供給装置を、半導体ウエハの洗浄
・乾燥処理システムに適用した場合について説明する。
添付図面に基づいて詳細に説明する。ここではこの発明
に係る空気駆動式液体供給装置を、半導体ウエハの洗浄
・乾燥処理システムに適用した場合について説明する。
【００１８】上記洗浄・乾燥処理システムは、図１に示
すように、被処理体例えば半導体ウエハ（以下にウエハ
という）Ｗを水平状態に収納する容器例えばキャリア１
を搬入・搬出するための搬入・搬出部２と、ウエハＷを
薬液、洗浄液等によって液処理すると共に乾燥処理する
処理部３と、搬入搬出部２と処理部３との間に位置して
ウエハＷの受渡し、位置調整、姿勢変換及び間隔調整等
を行うウエハＷの受渡し部例えばインターフェース部４
とで主に構成されている。
すように、被処理体例えば半導体ウエハ（以下にウエハ
という）Ｗを水平状態に収納する容器例えばキャリア１
を搬入・搬出するための搬入・搬出部２と、ウエハＷを
薬液、洗浄液等によって液処理すると共に乾燥処理する
処理部３と、搬入搬出部２と処理部３との間に位置して
ウエハＷの受渡し、位置調整、姿勢変換及び間隔調整等
を行うウエハＷの受渡し部例えばインターフェース部４
とで主に構成されている。
【００１９】上記搬入・搬出部２は、洗浄・乾燥処理シ
ステムの一側端部にキャリア搬入部５ａとキャリア搬出
部５ｂが併設されると共に、ウエハ搬出入部６が設けら
れている。この場合、キャリア搬入部５ａとウエハ搬出
入部６との間には図示しない搬送機構が配設されてお
り、この搬送機構によってキャリア１がキャリア搬入部
５ａからウエハ搬出入部６へ搬送されるように構成され
ている。
ステムの一側端部にキャリア搬入部５ａとキャリア搬出
部５ｂが併設されると共に、ウエハ搬出入部６が設けら
れている。この場合、キャリア搬入部５ａとウエハ搬出
入部６との間には図示しない搬送機構が配設されてお
り、この搬送機構によってキャリア１がキャリア搬入部
５ａからウエハ搬出入部６へ搬送されるように構成され
ている。
【００２０】また、上記処理部３は、ウエハＷに付着す
るパーティクルや有機汚染物質を除去する第１の処理ユ
ニット１１ａを具備する第１の処理部１１と、ウエハＷ
に付着する金属汚染物質を除去する第２の処理ユニット
１２ａを具備する第２の処理部１２と、ウエハＷに付着
する酸化膜を除去すると共に、乾燥処理をする洗浄・乾
燥処理ニット１３ａを具備する第３の処理部１３と、後
述するウエハ搬送チャック１５の洗浄・乾燥処理を行う
ための、チャック洗浄・乾燥装置１４ａを具備する第４
の処理部１４とで構成されている。このように構成され
る処理部３の第１ないし第３の処理ユニット１１ａ，１
２ａ，１３ａにこの発明に係る空気駆動式液体供給装置
が使用されている。なお、第４の処理部１４は、必ずし
も第３の処理部１３とインターフェース部４の間に配置
する必要はなく、例えば第２の処理部１２と第３の処理
部１３との間に配置してもよいし、あるいは、第１の処
理部１１に隣接する位置に配置してもよい。
るパーティクルや有機汚染物質を除去する第１の処理ユ
ニット１１ａを具備する第１の処理部１１と、ウエハＷ
に付着する金属汚染物質を除去する第２の処理ユニット
１２ａを具備する第２の処理部１２と、ウエハＷに付着
する酸化膜を除去すると共に、乾燥処理をする洗浄・乾
燥処理ニット１３ａを具備する第３の処理部１３と、後
述するウエハ搬送チャック１５の洗浄・乾燥処理を行う
ための、チャック洗浄・乾燥装置１４ａを具備する第４
の処理部１４とで構成されている。このように構成され
る処理部３の第１ないし第３の処理ユニット１１ａ，１
２ａ，１３ａにこの発明に係る空気駆動式液体供給装置
が使用されている。なお、第４の処理部１４は、必ずし
も第３の処理部１３とインターフェース部４の間に配置
する必要はなく、例えば第２の処理部１２と第３の処理
部１３との間に配置してもよいし、あるいは、第１の処
理部１１に隣接する位置に配置してもよい。
【００２１】また、キャリア搬出部５ｂとウエハ搬出入
部６には、それぞれキャリアリフタ（図示せず）が配設
され、このキャリアリフタによって空のキャリア１を搬
入・搬出部２上方に設けられたキャリア待機部（図示せ
ず）への受渡し部及びキャリア待機部からの受取りを行
うことができるように構成されている。この場合、キャ
リア待機部には、水平方向（Ｘ，Ｙ方向）及び垂直方向
（Ｚ方向）に移動可能なキャリア搬送ロボット（図示せ
ず）が配設されており、このキャリア搬送ロボットによ
ってウエハ搬出入部６から搬送された空のキャリア１を
整列すると共に、キャリア搬出部５ｂへ搬出し得るよう
になっている。また、キャリア待機部には、空キャリア
だけでなく、ウエハＷが収納された状態のキャリア１を
待機させておくことも可能である。
部６には、それぞれキャリアリフタ（図示せず）が配設
され、このキャリアリフタによって空のキャリア１を搬
入・搬出部２上方に設けられたキャリア待機部（図示せ
ず）への受渡し部及びキャリア待機部からの受取りを行
うことができるように構成されている。この場合、キャ
リア待機部には、水平方向（Ｘ，Ｙ方向）及び垂直方向
（Ｚ方向）に移動可能なキャリア搬送ロボット（図示せ
ず）が配設されており、このキャリア搬送ロボットによ
ってウエハ搬出入部６から搬送された空のキャリア１を
整列すると共に、キャリア搬出部５ｂへ搬出し得るよう
になっている。また、キャリア待機部には、空キャリア
だけでなく、ウエハＷが収納された状態のキャリア１を
待機させておくことも可能である。
【００２２】上記キャリア１は、一側に図示しない開口
部を有し、内壁に複数例えば２５枚のウエハＷを、適宜
間隔をおいて水平状態に保持する保持溝（図示せず）を
有する容器本体（図示せず）と、この容器本体の開口部
を開閉する蓋体（図示せず）とで構成されており、後述
する蓋開閉機構７によって上記蓋体を開閉できるように
構成されている。
部を有し、内壁に複数例えば２５枚のウエハＷを、適宜
間隔をおいて水平状態に保持する保持溝（図示せず）を
有する容器本体（図示せず）と、この容器本体の開口部
を開閉する蓋体（図示せず）とで構成されており、後述
する蓋開閉機構７によって上記蓋体を開閉できるように
構成されている。
【００２３】上記ウエハ搬出入部６は、上記インターフ
ェース部４に開口しており、その開口部には蓋開閉装置
７が配設されている。この蓋開閉装置７によってキャリ
ア１の図示しない蓋体が開放あるいは閉塞されるように
なっている。したがって、ウエハ搬出入部６に搬送され
た未処理のウエハＷを収納するキャリア１の蓋体を蓋開
閉装置７によって取り外してキャリア１内のウエハＷを
搬出可能にし、全てのウエハＷが搬出された後、再び蓋
開閉装置７によって上記蓋体を閉塞することができる。
また、上記キャリア待機部からウエハ搬出入部６に搬送
された空のキャリア１の蓋体を蓋開閉装置７によって取
り外して、キャリア１内へのウエハＷの搬入を可能に
し、全てのウエハＷが搬入された後、再び蓋開閉装置７
によって蓋体を閉塞することができる。なお、ウエハ搬
出入部６の開口部近傍には、キャリア１内に収容された
ウエハＷの枚数を検出するマッピングセンサ８が配設さ
れている。
ェース部４に開口しており、その開口部には蓋開閉装置
７が配設されている。この蓋開閉装置７によってキャリ
ア１の図示しない蓋体が開放あるいは閉塞されるように
なっている。したがって、ウエハ搬出入部６に搬送され
た未処理のウエハＷを収納するキャリア１の蓋体を蓋開
閉装置７によって取り外してキャリア１内のウエハＷを
搬出可能にし、全てのウエハＷが搬出された後、再び蓋
開閉装置７によって上記蓋体を閉塞することができる。
また、上記キャリア待機部からウエハ搬出入部６に搬送
された空のキャリア１の蓋体を蓋開閉装置７によって取
り外して、キャリア１内へのウエハＷの搬入を可能に
し、全てのウエハＷが搬入された後、再び蓋開閉装置７
によって蓋体を閉塞することができる。なお、ウエハ搬
出入部６の開口部近傍には、キャリア１内に収容された
ウエハＷの枚数を検出するマッピングセンサ８が配設さ
れている。
【００２４】上記インターフェース部４には、複数枚例
えば２５枚のウエハＷを水平状態に保持すると共に、ウ
エハ搬出入部６のキャリア１との間で、水平状態でウエ
ハＷを受け渡すウエハ搬送アーム９と、複数枚例えば５
０枚のウエハＷを所定間隔をおいて垂直状態に保持する
間隔調整手段例えばピッチチェンジャ（図示せず）と、
ウエハ搬送アーム９とピッチチェンジャとの間に位置し
て、複数枚例えば２５枚のウエハＷを水平状態から垂直
状態へ、あるいは垂直状態から水平状態へ変換する保持
手段例えば姿勢変換装置１０と、垂直状態に変換された
ウエハＷに設けられたノッチ（図示せず）を検出する位
置検出手段例えばノッチアライナ（図示せず）が配設さ
れている。また、インターフェース部４には、処理部３
と連なる搬送路１６が設けられており、この搬送路１６
には、ウエハＷを保持して搬送路１６上を搬送し、上記
第１ないし第三の処理ユニット１１ａ〜１３ａのいずれ
かにウエハＷを受け渡しするための、ウエハ搬送チャッ
ク１５が移動自在に配設されている。
えば２５枚のウエハＷを水平状態に保持すると共に、ウ
エハ搬出入部６のキャリア１との間で、水平状態でウエ
ハＷを受け渡すウエハ搬送アーム９と、複数枚例えば５
０枚のウエハＷを所定間隔をおいて垂直状態に保持する
間隔調整手段例えばピッチチェンジャ（図示せず）と、
ウエハ搬送アーム９とピッチチェンジャとの間に位置し
て、複数枚例えば２５枚のウエハＷを水平状態から垂直
状態へ、あるいは垂直状態から水平状態へ変換する保持
手段例えば姿勢変換装置１０と、垂直状態に変換された
ウエハＷに設けられたノッチ（図示せず）を検出する位
置検出手段例えばノッチアライナ（図示せず）が配設さ
れている。また、インターフェース部４には、処理部３
と連なる搬送路１６が設けられており、この搬送路１６
には、ウエハＷを保持して搬送路１６上を搬送し、上記
第１ないし第三の処理ユニット１１ａ〜１３ａのいずれ
かにウエハＷを受け渡しするための、ウエハ搬送チャッ
ク１５が移動自在に配設されている。
【００２５】次に、この発明に係る空気駆動式液体供給
装置（以下に液体供給装置という）について説明する。
装置（以下に液体供給装置という）について説明する。
【００２６】図２はこの発明に係る液体供給装置を具備
する洗浄処理装置の一例を示す概略構成図である。
する洗浄処理装置の一例を示す概略構成図である。
【００２７】上記洗浄処理装置は、洗浄液Ｌ｛例えば、
フッ化水素酸（ＨＦ）の希釈液（ＤＨＦ）やリンス液
（純水）等｝を貯留する内槽２１と、この内槽２１の上
部開口部を包囲し、内槽２１からオーバーフローした洗
浄液Ｌを受け止める外槽２２とからなる洗浄槽２０と、
内槽２１の下部に配設される洗浄液供給ノズル２３と、
この洗浄液供給ノズル２３と外槽２２の底部に設けられ
た排出口２２ａとを接続する循環管路２４に、排出口側
から順に介設される開閉弁２５，第１の液体供給手段例
えばエアーベローズ式の循環ポンプ２６（以下に循環ポ
ンプという），脈動緩衝手段例えばダンパ２７及びフィ
ルタ２８とを具備してなる。また、循環管路２４の洗浄
液供給ノズル２３側には、開閉弁３１を介設したリンス
液（純水）の供給管路３２が接続されており、この純水
供給管路３２を介して純水供給源３０が接続されてい
る。
フッ化水素酸（ＨＦ）の希釈液（ＤＨＦ）やリンス液
（純水）等｝を貯留する内槽２１と、この内槽２１の上
部開口部を包囲し、内槽２１からオーバーフローした洗
浄液Ｌを受け止める外槽２２とからなる洗浄槽２０と、
内槽２１の下部に配設される洗浄液供給ノズル２３と、
この洗浄液供給ノズル２３と外槽２２の底部に設けられ
た排出口２２ａとを接続する循環管路２４に、排出口側
から順に介設される開閉弁２５，第１の液体供給手段例
えばエアーベローズ式の循環ポンプ２６（以下に循環ポ
ンプという），脈動緩衝手段例えばダンパ２７及びフィ
ルタ２８とを具備してなる。また、循環管路２４の洗浄
液供給ノズル２３側には、開閉弁３１を介設したリンス
液（純水）の供給管路３２が接続されており、この純水
供給管路３２を介して純水供給源３０が接続されてい
る。
【００２８】また、洗浄槽２０の内槽２１内には、補充
タンク３３内に貯留された薬液例えばＤＨＦが、第２の
液体供給手段例えばエアーべローズ式の定量ポンプ３４
及び開閉弁３５を介設した薬液供給管路３６から補充
（供給）されるように構成されている。
タンク３３内に貯留された薬液例えばＤＨＦが、第２の
液体供給手段例えばエアーべローズ式の定量ポンプ３４
及び開閉弁３５を介設した薬液供給管路３６から補充
（供給）されるように構成されている。
【００２９】なお、洗浄槽２０の内槽２１内には複数枚
例えば５０枚のウエハＷを保持するウエハボート２９が
配設されている。また、内槽２１の底部に設けられた排
出口２１ａには、ドレン弁２１ｂを介設したドレン管２
１ｃが接続されている。
例えば５０枚のウエハＷを保持するウエハボート２９が
配設されている。また、内槽２１の底部に設けられた排
出口２１ａには、ドレン弁２１ｂを介設したドレン管２
１ｃが接続されている。
【００３０】この場合、上記循環ポンプ２６は、図３に
示すように、循環管路２４に接続する供給ポート３７ａ
と吐出ポート３７ｂとを連通する連通路３７を有する耐
薬品性に富む例えばポリ四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦ
Ｅ）製のポンプ本体３８と、連通路３７に関して対向す
る一対の例えばＰＴＦＥ製の伸縮自在なべローズ３９
ａ，３９ｂとを具備してなる。また、この循環ポンプ２
６の各べローズ３９ａ，３９ｂに空気を供給する空気供
給ポート４０ａ，４０ｂには、それぞれ第１又は第２の
空気供給管路４１ａ，４１ｂが接続されており、各空気
供給管路４１ａ，４１ｂは、空気圧調整手段５０を構成
する３ポート２位置切換え電磁弁５１Ａ（以下に電磁切
換弁という）とレギュレータ５２Ａを介して空気供給源
６０に接続されている。なお、循環ポンプ２６の供給ポ
ート３７ａ及び吐出ポート３７ｂ側には、それぞれ逆止
弁３７ｃが配設されている。また、空気供給管路４１
ａ，４１ｂにおける空気圧調整手段５０の二次側すなわ
ち電磁切換弁５１Ａの循環ポンプ２６側には、循環ポン
プ２６側から順に、空気供給管路４１ａ，４１ｂ内に逆
流する液体を検知する液体検知手段例えばリークセンサ
７０と、逆流した液体を例えば外部へ排出する逆流防止
手段例えば逆流防止弁８０が介設されている。この場
合、リークセンサ７０は、図３に拡大して示すように、
例えば空気供給管路４１ｂ内に対峙した状態に挿入され
るプラス（＋）電極端子７０ａと、マイナス（−）電極
端子７０ｂと、空気供給管路４１ｂ内を流れる液体によ
ってこれら電極端子７０ａ，７０ｂが通電された際に、
その電圧を増幅する増幅器７０ｂとで構成されている。
なお、逆流防止弁８０は、必ずしも逆流した液体を外部
に排出する構造のものに限定されるものではなく、例え
ば供給される空気は通過するが、逆流した液体が空気圧
調整手段５０側へ流れるのを阻止する逆止弁にて形成し
てもよい。
示すように、循環管路２４に接続する供給ポート３７ａ
と吐出ポート３７ｂとを連通する連通路３７を有する耐
薬品性に富む例えばポリ四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦ
Ｅ）製のポンプ本体３８と、連通路３７に関して対向す
る一対の例えばＰＴＦＥ製の伸縮自在なべローズ３９
ａ，３９ｂとを具備してなる。また、この循環ポンプ２
６の各べローズ３９ａ，３９ｂに空気を供給する空気供
給ポート４０ａ，４０ｂには、それぞれ第１又は第２の
空気供給管路４１ａ，４１ｂが接続されており、各空気
供給管路４１ａ，４１ｂは、空気圧調整手段５０を構成
する３ポート２位置切換え電磁弁５１Ａ（以下に電磁切
換弁という）とレギュレータ５２Ａを介して空気供給源
６０に接続されている。なお、循環ポンプ２６の供給ポ
ート３７ａ及び吐出ポート３７ｂ側には、それぞれ逆止
弁３７ｃが配設されている。また、空気供給管路４１
ａ，４１ｂにおける空気圧調整手段５０の二次側すなわ
ち電磁切換弁５１Ａの循環ポンプ２６側には、循環ポン
プ２６側から順に、空気供給管路４１ａ，４１ｂ内に逆
流する液体を検知する液体検知手段例えばリークセンサ
７０と、逆流した液体を例えば外部へ排出する逆流防止
手段例えば逆流防止弁８０が介設されている。この場
合、リークセンサ７０は、図３に拡大して示すように、
例えば空気供給管路４１ｂ内に対峙した状態に挿入され
るプラス（＋）電極端子７０ａと、マイナス（−）電極
端子７０ｂと、空気供給管路４１ｂ内を流れる液体によ
ってこれら電極端子７０ａ，７０ｂが通電された際に、
その電圧を増幅する増幅器７０ｂとで構成されている。
なお、逆流防止弁８０は、必ずしも逆流した液体を外部
に排出する構造のものに限定されるものではなく、例え
ば供給される空気は通過するが、逆流した液体が空気圧
調整手段５０側へ流れるのを阻止する逆止弁にて形成し
てもよい。
【００３１】また、リークセンサ７０によって検知され
た検知信号は、制御手段例えば中央演算処理装置９０
（ＣＰＵ）に伝達され、ＣＰＵ９０にて演算処理された
出力信号が逆流防止弁８０に伝達されるように構成され
ている。このように構成することにより、循環ポンプ２
６を介して空気供給管路４１ａ，４１ｂ内に逆流する液
体をリークセンサ７０にて検知すると、検知信号がＣＰ
Ｕ９０に伝達され、ＣＰＵ９０からの出力信号が逆流防
止弁８０に伝達され、逆流防止弁８０が作動して、空気
供給管路４１ａ，４１ｂ内を逆流した液体を外部へ排出
することができる。したがって、逆流する液体が、電磁
切換弁５１Ａやレギュレータ５２側に侵入するのを阻止
することができ、電磁切換弁５１Ａ及びレギュレータ５
２の損傷や故障等を防止することができる。なお、ＣＰ
Ｕ９０からの出力信号によりアラーム表示されるように
なっており、空気供給管路４１ａ，４１ｂ内に液体が逆
流したことをオペレータ等に知らせることができるよう
になっている。
た検知信号は、制御手段例えば中央演算処理装置９０
（ＣＰＵ）に伝達され、ＣＰＵ９０にて演算処理された
出力信号が逆流防止弁８０に伝達されるように構成され
ている。このように構成することにより、循環ポンプ２
６を介して空気供給管路４１ａ，４１ｂ内に逆流する液
体をリークセンサ７０にて検知すると、検知信号がＣＰ
Ｕ９０に伝達され、ＣＰＵ９０からの出力信号が逆流防
止弁８０に伝達され、逆流防止弁８０が作動して、空気
供給管路４１ａ，４１ｂ内を逆流した液体を外部へ排出
することができる。したがって、逆流する液体が、電磁
切換弁５１Ａやレギュレータ５２側に侵入するのを阻止
することができ、電磁切換弁５１Ａ及びレギュレータ５
２の損傷や故障等を防止することができる。なお、ＣＰ
Ｕ９０からの出力信号によりアラーム表示されるように
なっており、空気供給管路４１ａ，４１ｂ内に液体が逆
流したことをオペレータ等に知らせることができるよう
になっている。
【００３２】また、上記ダンパ２７は、図３に示すよう
に、循環管路２４に接続する吸入ポート４２ａと吐出ポ
ート４２ｂとを有する耐薬品性に富む例えばＰＴＦＥ製
のダンパ本体４２と、このダンパ本体４２内において吸
入ポート４２ａと吐出ポート４２ｂに対して伸縮する例
えばＰＴＦＥ製のべローズ４３と、べローズ４３に空気
を供給する空気供給ポート４２ｃとを具備してなる。ま
た、空気供給ポート４２ｃに第３の空気供給管路４１ｃ
が接続されており、この第３の空気供給管路４１ｃは、
空気圧調整手段５０を構成するレギュレータ５２Ｂを介
して空気供給源６０に接続されている。また、第３の空
気供給管路４１ｃにおける空気圧調整手段５０の二次側
すなわちレギュレータ５２Ｂのダンパ２７側には、ダン
パ２７側から順に、第３の空気供給管路４１ｃ内に逆流
する液体を検知する液体検知手段例えばリークセンサ７
０と、逆流した液体を例えば外部へ排出する逆流防止手
段例えば逆流防止弁８０が介設されている。なおこの場
合、リークセンサ７０には上記ＣＰＵ９０が接続されて
おり、リークセンサ７０によって空気供給管路４１ｃ内
を逆流する液体を検知した際、検知信号がＣＰＵ９０に
伝達され、ＣＰＵ９０からの出力信号が逆流防止弁８０
に伝達されると共に、アラーム表示されるようになって
いる。
に、循環管路２４に接続する吸入ポート４２ａと吐出ポ
ート４２ｂとを有する耐薬品性に富む例えばＰＴＦＥ製
のダンパ本体４２と、このダンパ本体４２内において吸
入ポート４２ａと吐出ポート４２ｂに対して伸縮する例
えばＰＴＦＥ製のべローズ４３と、べローズ４３に空気
を供給する空気供給ポート４２ｃとを具備してなる。ま
た、空気供給ポート４２ｃに第３の空気供給管路４１ｃ
が接続されており、この第３の空気供給管路４１ｃは、
空気圧調整手段５０を構成するレギュレータ５２Ｂを介
して空気供給源６０に接続されている。また、第３の空
気供給管路４１ｃにおける空気圧調整手段５０の二次側
すなわちレギュレータ５２Ｂのダンパ２７側には、ダン
パ２７側から順に、第３の空気供給管路４１ｃ内に逆流
する液体を検知する液体検知手段例えばリークセンサ７
０と、逆流した液体を例えば外部へ排出する逆流防止手
段例えば逆流防止弁８０が介設されている。なおこの場
合、リークセンサ７０には上記ＣＰＵ９０が接続されて
おり、リークセンサ７０によって空気供給管路４１ｃ内
を逆流する液体を検知した際、検知信号がＣＰＵ９０に
伝達され、ＣＰＵ９０からの出力信号が逆流防止弁８０
に伝達されると共に、アラーム表示されるようになって
いる。
【００３３】一方、薬液補充用の上記定量ポンプ３４
は、図４に示すように、薬液供給管路３６に接続する供
給ポート４４ａと吐出ポート４４ｂとを有する耐薬品性
に富む合成樹脂製例えばＰＴＦＥ製のポンプヘッド４４
（ポンプ筐体）と、このポンプヘッド４４内に伸縮自在
に配設される例えばＰＴＦＥ製のポンプ体例えばべロー
ズ４５と、ポンプヘッド４４に例えばポリ塩化ビニル
（ＰＶＣ）製のフランジ４６を介して連結する例えばＰ
ＶＣ製のシリンダ４７と、このシリンダ４７の開口端部
を閉塞する例えばＰＶＣ製のカバー４８と、シリンダ４
７内を摺動するピストン４７ａに連結されてポンプヘッ
ド４４内に突入してべローズ４５の伸縮動作を司るピス
トンロッド４７ｂとを具備してなる。なお、供給ポート
４４ａと吐出ポート４４ｂ側にはそれぞれ逆止弁４４ｃ
が配設されている。このように、定量ポンプ３４のポン
プ部すなわちポンプヘッド４４とべローズ４５を耐薬品
性に富む合成樹脂製例えばＰＴＦＥ製部材にて形成する
ことにより、薬液例えばＤＨＦの酸やアルカリ等の薬品
に対しても十分耐え得ることができる。
は、図４に示すように、薬液供給管路３６に接続する供
給ポート４４ａと吐出ポート４４ｂとを有する耐薬品性
に富む合成樹脂製例えばＰＴＦＥ製のポンプヘッド４４
（ポンプ筐体）と、このポンプヘッド４４内に伸縮自在
に配設される例えばＰＴＦＥ製のポンプ体例えばべロー
ズ４５と、ポンプヘッド４４に例えばポリ塩化ビニル
（ＰＶＣ）製のフランジ４６を介して連結する例えばＰ
ＶＣ製のシリンダ４７と、このシリンダ４７の開口端部
を閉塞する例えばＰＶＣ製のカバー４８と、シリンダ４
７内を摺動するピストン４７ａに連結されてポンプヘッ
ド４４内に突入してべローズ４５の伸縮動作を司るピス
トンロッド４７ｂとを具備してなる。なお、供給ポート
４４ａと吐出ポート４４ｂ側にはそれぞれ逆止弁４４ｃ
が配設されている。このように、定量ポンプ３４のポン
プ部すなわちポンプヘッド４４とべローズ４５を耐薬品
性に富む合成樹脂製例えばＰＴＦＥ製部材にて形成する
ことにより、薬液例えばＤＨＦの酸やアルカリ等の薬品
に対しても十分耐え得ることができる。
【００３４】上記シリンダ４７の両端側部には、空気供
給ポート４９ａ，４９ｂが設けられており、これら空気
供給ポート４９ａ，４９ｂには、それぞれ第４又は第５
の空気供給管路４１ｄ，４１ｅが接続されており、各空
気供給管路４１ｄ，４１ｅは、空気圧調整手段５０を構
成する電磁切換弁５１Ｂとレギュレータ５２Ｃを介して
空気供給源６０に接続されている。したがって、空気供
給源６０から供給される空気がレギュレータ５２Ｃによ
って所定の空気圧に調整されると共に、電磁切換弁５１
Ｂによって切り換えられてシリンダ４７内に供給される
ことによりピストンロッド４７ｂを介してべローズ４５
が伸縮移動して所定量の薬液を洗浄槽２０内に供給（補
充）することができる。
給ポート４９ａ，４９ｂが設けられており、これら空気
供給ポート４９ａ，４９ｂには、それぞれ第４又は第５
の空気供給管路４１ｄ，４１ｅが接続されており、各空
気供給管路４１ｄ，４１ｅは、空気圧調整手段５０を構
成する電磁切換弁５１Ｂとレギュレータ５２Ｃを介して
空気供給源６０に接続されている。したがって、空気供
給源６０から供給される空気がレギュレータ５２Ｃによ
って所定の空気圧に調整されると共に、電磁切換弁５１
Ｂによって切り換えられてシリンダ４７内に供給される
ことによりピストンロッド４７ｂを介してべローズ４５
が伸縮移動して所定量の薬液を洗浄槽２０内に供給（補
充）することができる。
【００３５】また、空気供給管路４１ｄ，４１ｅにおけ
る空気圧調整手段５０の二次側すなわち電磁切換弁５１
の定量ポンプ３４側には、定量ポンプ３４側から順に、
空気供給管路４１ｄ，４１ｅ内に逆流する液体を検知す
る液体検知手段例えばリークセンサ７０と、逆流した液
体を例えば外部へ排出する逆流防止手段例えば逆流防止
弁８０が介設されている。また、リークセンサ７０には
上記ＣＰＵ９０が接続されており、リークセンサ７０に
よって空気供給管路４１ｄ，４１ｅ内を逆流する液体を
検知した際、検知信号がＣＰＵ９０に伝達され、ＣＰＵ
９０からの出力信号が逆流防止弁８０に伝達されると共
に、アラーム表示されるようになっている。
る空気圧調整手段５０の二次側すなわち電磁切換弁５１
の定量ポンプ３４側には、定量ポンプ３４側から順に、
空気供給管路４１ｄ，４１ｅ内に逆流する液体を検知す
る液体検知手段例えばリークセンサ７０と、逆流した液
体を例えば外部へ排出する逆流防止手段例えば逆流防止
弁８０が介設されている。また、リークセンサ７０には
上記ＣＰＵ９０が接続されており、リークセンサ７０に
よって空気供給管路４１ｄ，４１ｅ内を逆流する液体を
検知した際、検知信号がＣＰＵ９０に伝達され、ＣＰＵ
９０からの出力信号が逆流防止弁８０に伝達されると共
に、アラーム表示されるようになっている。
【００３６】なお、薬液補充用の定量ポンプ３４は、耐
薬品性に富み、かつ、目標の吐出量を洗浄槽２０内に正
確に吐出（供給）する必要がある。そのため、この発明
では、上記ピストンロッド４７ｂにピストン４７ａを介
して薬液の吐出量を調節するための調節ねじ１００が連
結されている。この調節ねじ１００は、カバー４８を貫
通すると共に、カバー４８の端部に連結される断面略ハ
ット状の調節ケース１０１にねじ結合されて突出してお
り、調節ねじ１００の突出部にはダイヤル１０３が装着
されている。この場合、ダイヤル１０３は、調節ケース
１０１の筒状部１０２の先端部を覆う凹部１０４が設け
られており、調節ケース１０１の筒状部１０２の表面に
刻設された目盛り１０５にダイヤル１０３の端部を合わ
せることによって、ダイヤル１０３の凹部１０４の底部
と調節ケース１０１の筒状部１０２の先端部との距離が
調節されることによって、べローズ４５の伸縮移動量す
なわち薬液の吐出量を例えば１０±１ミリリットル／シ
ョットの吐出精度で調節することができるように構成さ
れている（図５参照）。
薬品性に富み、かつ、目標の吐出量を洗浄槽２０内に正
確に吐出（供給）する必要がある。そのため、この発明
では、上記ピストンロッド４７ｂにピストン４７ａを介
して薬液の吐出量を調節するための調節ねじ１００が連
結されている。この調節ねじ１００は、カバー４８を貫
通すると共に、カバー４８の端部に連結される断面略ハ
ット状の調節ケース１０１にねじ結合されて突出してお
り、調節ねじ１００の突出部にはダイヤル１０３が装着
されている。この場合、ダイヤル１０３は、調節ケース
１０１の筒状部１０２の先端部を覆う凹部１０４が設け
られており、調節ケース１０１の筒状部１０２の表面に
刻設された目盛り１０５にダイヤル１０３の端部を合わ
せることによって、ダイヤル１０３の凹部１０４の底部
と調節ケース１０１の筒状部１０２の先端部との距離が
調節されることによって、べローズ４５の伸縮移動量す
なわち薬液の吐出量を例えば１０±１ミリリットル／シ
ョットの吐出精度で調節することができるように構成さ
れている（図５参照）。
【００３７】上記のように構成される空気駆動式液体供
給装置によれば、洗浄槽２０の内槽２１内に貯留された
洗浄液Ｌ内にウエハＷを浸漬して洗浄処理する際、空気
供給源６０から供給される空気をレギュレータ５２Ａに
よって所定の空気圧に調整すると共に、電磁切換弁５１
Ａの切り換え操作によって循環ポンプ２６を駆動させ
て、内槽２１から外槽２２にオーバーフローする洗浄液
Ｌを循環供給することができ、かつレギュレータ５２Ｂ
によって所定の空気圧に調整された空気をダンパ２７に
供給することで、循環供給される洗浄液の脈動を抑制し
て、常に一定の流量の洗浄液を循環供給することができ
る。また、洗浄槽２０内の洗浄液Ｌが減少して、補充が
必要となった場合には、空気供給源６０から供給される
空気をレギュレータ５２Ｃによって所定の空気圧に調整
すると共に、電磁切換弁５１Ｂの切り換え操作によって
定量ポンプ３４を駆動させて、所定量の薬液を洗浄槽２
０内に供給（補充）することができる。
給装置によれば、洗浄槽２０の内槽２１内に貯留された
洗浄液Ｌ内にウエハＷを浸漬して洗浄処理する際、空気
供給源６０から供給される空気をレギュレータ５２Ａに
よって所定の空気圧に調整すると共に、電磁切換弁５１
Ａの切り換え操作によって循環ポンプ２６を駆動させ
て、内槽２１から外槽２２にオーバーフローする洗浄液
Ｌを循環供給することができ、かつレギュレータ５２Ｂ
によって所定の空気圧に調整された空気をダンパ２７に
供給することで、循環供給される洗浄液の脈動を抑制し
て、常に一定の流量の洗浄液を循環供給することができ
る。また、洗浄槽２０内の洗浄液Ｌが減少して、補充が
必要となった場合には、空気供給源６０から供給される
空気をレギュレータ５２Ｃによって所定の空気圧に調整
すると共に、電磁切換弁５１Ｂの切り換え操作によって
定量ポンプ３４を駆動させて、所定量の薬液を洗浄槽２
０内に供給（補充）することができる。
【００３８】上記のようにしてウエハＷを洗浄処理する
際、万一、循環ポンプ２６、ダンパ２７あるいは定量ポ
ンプ３４を介して循環管路２４あるいは薬液供給管路３
６内の液体（洗浄液，薬液）が空気供給管路４１ａ〜４
１ｅ内に逆流した場合、リークセンサ７０によって検知
することができ、その検知信号がＣＰＵ９０に伝達さ
れ、ＣＰＵ９０からの出力信号が逆流防止弁８０に伝達
されると共に、アラーム表示される。したがって、空気
供給管路４１ａ〜４１ｅ内に逆流した液体を逆流防止弁
８０によって阻止、あるいは外部へ排出することで、空
気圧調整手段５０例えば電磁切換弁５１Ａ，５１Ｂやレ
ギュレータ５２Ａ〜５２Ｃの損傷や故障等を防止するこ
とができる。また、アラーム表示によって、空気供給管
路４１ａ〜４１ｅ内に液体が逆流したことをオペレータ
が知ることができ、装置を停止するなどして、液体の逆
流による空気圧調整手段５０例えば電磁切換弁５１Ａ，
５１Ｂやレギュレータ５２Ａ〜５２Ｃの損傷等を防止す
ることができる。
際、万一、循環ポンプ２６、ダンパ２７あるいは定量ポ
ンプ３４を介して循環管路２４あるいは薬液供給管路３
６内の液体（洗浄液，薬液）が空気供給管路４１ａ〜４
１ｅ内に逆流した場合、リークセンサ７０によって検知
することができ、その検知信号がＣＰＵ９０に伝達さ
れ、ＣＰＵ９０からの出力信号が逆流防止弁８０に伝達
されると共に、アラーム表示される。したがって、空気
供給管路４１ａ〜４１ｅ内に逆流した液体を逆流防止弁
８０によって阻止、あるいは外部へ排出することで、空
気圧調整手段５０例えば電磁切換弁５１Ａ，５１Ｂやレ
ギュレータ５２Ａ〜５２Ｃの損傷や故障等を防止するこ
とができる。また、アラーム表示によって、空気供給管
路４１ａ〜４１ｅ内に液体が逆流したことをオペレータ
が知ることができ、装置を停止するなどして、液体の逆
流による空気圧調整手段５０例えば電磁切換弁５１Ａ，
５１Ｂやレギュレータ５２Ａ〜５２Ｃの損傷等を防止す
ることができる。
【００３９】なお、上記実施形態では、この発明に係る
空気駆動式液体供給装置を半導体ウエハの洗浄・乾燥処
理システムに適用した場合について説明したが、半導体
ウエハ以外の基板例えばＬＣＤ用ガラス基板にも洗浄・
乾燥処理システムにも適用できることは勿論である。ま
た、この発明に係る空気駆動式液体供給装置は、上記実
施形態で説明したように半導体ウエハの洗浄・乾燥処理
システムの一部として使用される場合に限定されず、単
独の装置としても使用できる。
空気駆動式液体供給装置を半導体ウエハの洗浄・乾燥処
理システムに適用した場合について説明したが、半導体
ウエハ以外の基板例えばＬＣＤ用ガラス基板にも洗浄・
乾燥処理システムにも適用できることは勿論である。ま
た、この発明に係る空気駆動式液体供給装置は、上記実
施形態で説明したように半導体ウエハの洗浄・乾燥処理
システムの一部として使用される場合に限定されず、単
独の装置としても使用できる。
【００４０】
【発明の効果】上述したように、この発明によれば以下
のような優れた効果が得られる。
のような優れた効果が得られる。
【００４１】（１）請求項１記載の発明によれば、液体
供給手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体
検知手段にて検知することができ、検知信号により液体
の漏洩箇所を知らせることができるので、空気圧調整手
段の損傷や故障等を防止することができ、装置の信頼性
の向上を図ることができる。
供給手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体
検知手段にて検知することができ、検知信号により液体
の漏洩箇所を知らせることができるので、空気圧調整手
段の損傷や故障等を防止することができ、装置の信頼性
の向上を図ることができる。
【００４２】（２）請求項２記載の発明によれば、液体
供給手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体
検知手段にて検知すると共に、空気圧調整手段の二次側
の空気供給管路に介設される逆流防止手段を動作させ
て、空気圧調整手段への液体の侵入を阻止することがで
きるので、上記（１）に加えて更に逆流する液体による
空気圧調整手段の損傷や故障等を更に確実に防止するこ
とができ、更に装置の信頼性の向上を図ることができ
る。
供給手段を介して空気供給管路内に逆流する液体を液体
検知手段にて検知すると共に、空気圧調整手段の二次側
の空気供給管路に介設される逆流防止手段を動作させ
て、空気圧調整手段への液体の侵入を阻止することがで
きるので、上記（１）に加えて更に逆流する液体による
空気圧調整手段の損傷や故障等を更に確実に防止するこ
とができ、更に装置の信頼性の向上を図ることができ
る。
【００４３】（３）請求項３記載の発明によれば、液体
供給手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆
流する液体を液体検知手段にて検知することができ、検
知信号により液体の漏洩箇所を知らせることができるの
で、空気圧調整手段の損傷や故障等を防止することがで
き、装置の信頼性の向上を図ることができる。
供給手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆
流する液体を液体検知手段にて検知することができ、検
知信号により液体の漏洩箇所を知らせることができるの
で、空気圧調整手段の損傷や故障等を防止することがで
き、装置の信頼性の向上を図ることができる。
【００４４】（４）請求項４記載の発明によれば、液体
供給手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆
流する液体を液体検知手段にて検知すると共に、空気圧
調整手段の二次側の空気供給管路に介設される逆流防止
手段を動作させて、空気圧調整手段への液体の侵入を阻
止することができるので、上記（３）に加えて更に逆流
する液体による空気圧調整手段の損傷や故障等を更に確
実に防止することができ、更に装置の信頼性の向上を図
ることができる。
供給手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆
流する液体を液体検知手段にて検知すると共に、空気圧
調整手段の二次側の空気供給管路に介設される逆流防止
手段を動作させて、空気圧調整手段への液体の侵入を阻
止することができるので、上記（３）に加えて更に逆流
する液体による空気圧調整手段の損傷や故障等を更に確
実に防止することができ、更に装置の信頼性の向上を図
ることができる。
【００４５】（５）請求項５及び６記載の発明によれ
ば、上記（１）〜（４）に加えて液体供給手段を薬液の
供給に使用することができ、かつ、目標の吐出量を正確
に液処理部に供給することができる。
ば、上記（１）〜（４）に加えて液体供給手段を薬液の
供給に使用することができ、かつ、目標の吐出量を正確
に液処理部に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る空気駆動式液体供給装置を適用
した半導体ウエハの洗浄・乾燥処理システムの一例を示
す概略平面図である。
した半導体ウエハの洗浄・乾燥処理システムの一例を示
す概略平面図である。
【図２】この発明に係る空気駆動式液体供給装置の一例
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図３】上記空気駆動式液体供給装置における循環ポン
プとダンパの空気駆動部を示す概略断面図である。
プとダンパの空気駆動部を示す概略断面図である。
【図４】上記空気駆動式液体供給装置における定量ポン
プを示す概略断面図である。
プを示す概略断面図である。
【図５】図４の底面図である。
２４ 循環管路 ２６ 循環ポンプ（液体供給手段） ２７ ダンパ（緩衝手段） ３４ 定量ポンプ（液体供給手段） ３６ 薬液供給管路 ４１ａ〜４１ｅ 空気供給管路 ４４ ポンプヘッド（ポンプ筐体） ４５ べローズ（ポンプ体） ４７ シリンダ ４７ａ ピストン ４７ｂ ピストンロッド ４８ カバー ５０ 空気圧調整手段 ５１Ａ，５１Ｂ 電磁切換弁（空気圧調整手段） ５２Ａ〜５２Ｃ レギュレータ（空気圧調整手段） ６０ 空気供給源 ７０ リークセンサ（液体検知手段） ８０ 逆流防止弁（逆流防止手段） ９０ ＣＰＵ（制御手段） １００ 調節ねじ １０１ 調節ケース １０３ ダイヤル １０４ 目盛り
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 敏 佐賀県鳥栖市西新町1375番地41 東京エレ クトロン九州株式会社佐賀事業所内
Claims (6)
- 【請求項１】 液処理部に液体を供給する１又は複数の
液体供給手段と、空気供給源に接続する空気圧調整手段
と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段とを接続す
る空気供給管路と、を具備する空気駆動式液体供給装置
において、 上記各空気供給管路における上記空気圧調整手段と上記
液体供給手段との間に、上記液体供給手段を介して空気
供給管路内に逆流する液体を検知する液体検知手段を介
設してなる、ことを特徴とする空気駆動式液体供給装
置。 - 【請求項２】 液処理部に液体を供給する１又は複数の
液体供給手段と、空気供給源に接続する空気圧調整手段
と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段とを接続す
る空気供給管路と、を具備する空気駆動式液体供給装置
において、 上記各空気供給管路における上記空気圧調整手段と上記
液体供給手段との間に、上記液体供給手段を介して空気
供給管路内に逆流する液体を検知する液体検知手段を介
設すると共に、この液体検知手段の検出信号に基づい
て、上記空気圧調整手段の二次側の空気供給管路に介設
される逆流防止手段を動作させるようにした、ことを特
徴とする空気駆動式液体供給装置。 - 【請求項３】 液処理部に液体を供給する１又は複数の
液体供給手段と、液体供給手段の吐出側の液体の脈動を
抑制する脈動緩衝手段と、空気供給源に接続する空気圧
調整手段と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段及
び脈動緩衝手段とをそれぞれ接続する空気供給管路と、
を具備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各空気供給管路における上記空気圧調整手段と上記
液体供給手段又は脈動緩衝手段との間に、上記液体供給
手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流す
る液体を検知する液体検知手段を介設してなる、ことを
特徴とする空気駆動式液体供給装置。 - 【請求項４】 液処理部に液体を供給する１又は複数の
液体供給手段と、液体供給手段の吐出側の液体の脈動を
抑制する脈動緩衝手段と、空気供給源に接続する空気圧
調整手段と、この空気圧調整手段と上記液体供給手段及
び脈動緩衝手段とをそれぞれ接続する空気供給管路と、
を具備する空気駆動式液体供給装置において、 上記各空気供給管路における上記空気圧調整手段と上記
液体供給手段又は脈動緩衝手段との間に、上記液体供給
手段又は脈動緩衝手段を介して空気供給管路内に逆流す
る液体を検知する液体検知手段を介設すると共に、この
液体検知手段の検出信号に基づいて、上記空気圧調整手
段の二次側の空気供給管路に介設される逆流防止手段を
動作させるようにした、ことを特徴とする空気駆動式液
体供給装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の空
気駆動式液体供給装置において、 上記液体供給手段の１つが薬液補充用の定量ポンプであ
る、ことを特徴とする空気駆動式液体供給装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の空気駆動式液体供給装置
において、 上記定量ポンプは、少なくともポンプ筐体の薬液吸入・
吐出部と、ポンプ筐体内を伸縮移動するポンプ体とを耐
薬品性の合成樹脂製部材にて形成し、かつ、上記ポンプ
体に連結する調節ねじ付ロッドを、ポンプ筐体側にねじ
結合すると共に、このロッドの吐出部に装着されるダイ
ヤルを、ポンプ筐体側外面に刻設された目盛りに合わせ
ることにより、薬液の吐出量を調節可能にした、ことを
特徴とする空気駆動式液体供給装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08804898A JP3577580B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 空気駆動式液体供給装置 |
| US09/268,183 US6186171B1 (en) | 1998-03-17 | 1999-03-15 | Pneumatically driven liquid supply apparatus |
| KR1019990008916A KR100554497B1 (ko) | 1998-03-17 | 1999-03-17 | 공기구동식 액체공급장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08804898A JP3577580B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 空気駆動式液体供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11257236A true JPH11257236A (ja) | 1999-09-21 |
| JP3577580B2 JP3577580B2 (ja) | 2004-10-13 |
Family
ID=13931956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08804898A Expired - Fee Related JP3577580B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 空気駆動式液体供給装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6186171B1 (ja) |
| JP (1) | JP3577580B2 (ja) |
| KR (1) | KR100554497B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281091A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置 |
| JP2009063240A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | クリンカ処理装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3205909B2 (ja) * | 1999-10-25 | 2001-09-04 | 日本ピラー工業株式会社 | 脈動低減装置付きポンプ |
| KR100841085B1 (ko) * | 2007-02-01 | 2008-06-24 | 세메스 주식회사 | 액체 공급 장치 |
| CN104409389B (zh) | 2014-11-07 | 2017-10-27 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种机台 |
| JP6975630B2 (ja) * | 2017-02-27 | 2021-12-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP7314634B2 (ja) * | 2019-06-11 | 2023-07-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3131698B2 (ja) * | 1991-05-17 | 2001-02-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置 |
| JPH0794461A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Tokico Ltd | 液管理装置 |
| US5501577A (en) * | 1994-12-19 | 1996-03-26 | Cornell; Gary L. | Gas operated pump leak preventer |
| KR0156160B1 (ko) * | 1995-12-07 | 1998-12-01 | 문정환 | 웨이퍼 세정장비의 순수 역류방지장치 |
| KR100248152B1 (ko) * | 1997-11-19 | 2000-03-15 | 김영환 | 웨이퍼 세정장치 |
-
1998
- 1998-03-17 JP JP08804898A patent/JP3577580B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-03-15 US US09/268,183 patent/US6186171B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-17 KR KR1019990008916A patent/KR100554497B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281091A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置 |
| JP4490320B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2010-06-23 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置 |
| JP2009063240A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | クリンカ処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100554497B1 (ko) | 2006-03-03 |
| US6186171B1 (en) | 2001-02-13 |
| JP3577580B2 (ja) | 2004-10-13 |
| KR19990077948A (ko) | 1999-10-25 |
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