JPH0794461A - 液管理装置 - Google Patents
液管理装置Info
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- JPH0794461A JPH0794461A JP23390593A JP23390593A JPH0794461A JP H0794461 A JPH0794461 A JP H0794461A JP 23390593 A JP23390593 A JP 23390593A JP 23390593 A JP23390593 A JP 23390593A JP H0794461 A JPH0794461 A JP H0794461A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 抽出ガス供給管内に入り込んだ溶液が、抽出
ガス供給系の全体を汚染することを未然に防止した液管
理装置の提供を目的とする。 【構成】 逆流検出センサ１９あるいは圧力センサ２１
の検出信号に基づいて、抽出ガス供給管１６内に洗浄液
が流入したことが検出された場合に、主電源スイッチ４
０を即座にＯＦＦとし、これにより、抽出ガス供給管１
６内に入った洗浄液が抽出ガス供給管１６の配管系の全
体に広がることを防止した。
ガス供給系の全体を汚染することを未然に防止した液管
理装置の提供を目的とする。 【構成】 逆流検出センサ１９あるいは圧力センサ２１
の検出信号に基づいて、抽出ガス供給管１６内に洗浄液
が流入したことが検出された場合に、主電源スイッチ４
０を即座にＯＦＦとし、これにより、抽出ガス供給管１
６内に入った洗浄液が抽出ガス供給管１６の配管系の全
体に広がることを防止した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造時に使用さ
れる洗浄液の液管理装置に関する。
れる洗浄液の液管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の洗浄液の成分を測定する
ための自動濃度分析装置として、例えば特願平４−３６
７５５号に示される自動液管理装置が知られている。こ
の自動液管理装置は、洗浄液に含まれる過酸化水素、オ
ゾン等の成分を分解して酸素ガスを発生させる分解手段
と、該分解手段の上流側に設けられて、該分解手段にて
発生した酸素ガスを抽出するための窒素等の抽出ガスを
供給する抽出ガス供給管と、前記分解手段の下流側に設
けられて、前記抽出ガス供給管から供給された抽出ガス
により洗浄液から酸素を気液分離する抽出手段と、該抽
出手段にて抽出された抽出ガス中の酸素濃度を検出する
酸素センサと、該酸素センサにより検出された酸素濃度
に基づき、洗浄液中の過酸化水素、オゾンの濃度を演算
する演算手段とを有するものである。
ための自動濃度分析装置として、例えば特願平４−３６
７５５号に示される自動液管理装置が知られている。こ
の自動液管理装置は、洗浄液に含まれる過酸化水素、オ
ゾン等の成分を分解して酸素ガスを発生させる分解手段
と、該分解手段の上流側に設けられて、該分解手段にて
発生した酸素ガスを抽出するための窒素等の抽出ガスを
供給する抽出ガス供給管と、前記分解手段の下流側に設
けられて、前記抽出ガス供給管から供給された抽出ガス
により洗浄液から酸素を気液分離する抽出手段と、該抽
出手段にて抽出された抽出ガス中の酸素濃度を検出する
酸素センサと、該酸素センサにより検出された酸素濃度
に基づき、洗浄液中の過酸化水素、オゾンの濃度を演算
する演算手段とを有するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な自動液管理装置によれば、例えば、過酸化水素、オゾ
ン等の成分を分解して酸素ガスを発生させるための分解
手段が目詰まりを起こした場合に、溶液が先に流れなく
なり、これによって該溶液が、酸素ガスを抽出するため
の抽出ガス供給管内に入り込むことがある。そして、こ
のように溶液が抽出ガス供給管に入り込んだ場合には、
該溶液によって自動液管理装置の抽出ガス供給系、及び
抽出ガス供給系に対して抽出ガスを供給するガス供給源
が全て汚染される恐れがあった。
な自動液管理装置によれば、例えば、過酸化水素、オゾ
ン等の成分を分解して酸素ガスを発生させるための分解
手段が目詰まりを起こした場合に、溶液が先に流れなく
なり、これによって該溶液が、酸素ガスを抽出するため
の抽出ガス供給管内に入り込むことがある。そして、こ
のように溶液が抽出ガス供給管に入り込んだ場合には、
該溶液によって自動液管理装置の抽出ガス供給系、及び
抽出ガス供給系に対して抽出ガスを供給するガス供給源
が全て汚染される恐れがあった。
【０００４】この発明は、上記の事情に鑑みてなされた
ものであって、過酸化水素、オゾンから発生した酸素を
抽出するための抽出ガスの配管系に、洗浄液が入り込む
ことを防止し、該溶液により、抽出ガス供給系の全体が
汚染されることを未然に防止した液管理装置の提供を目
的とする。
ものであって、過酸化水素、オゾンから発生した酸素を
抽出するための抽出ガスの配管系に、洗浄液が入り込む
ことを防止し、該溶液により、抽出ガス供給系の全体が
汚染されることを未然に防止した液管理装置の提供を目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明では、酸素を発生させる成分が含有される液体
を分解して酸素ガスを発生させ、該液体中の酸素ガス
を、抽出ガス供給管を通じて供給された抽出ガスにより
該液体から気液分離し、更に、抽出ガス中の酸素ガスの
濃度に基づき、液体中の成分濃度を演算するようにした
液管理装置において、前記抽出ガス供給管内に液体が入
り込んだことを検出する異常検出手段と、該異常検出手
段の検出信号に基づいて、前記抽出ガス供給管内に液体
が流入することを規制する液体流入防止手段とを設ける
ようにしている。
に本発明では、酸素を発生させる成分が含有される液体
を分解して酸素ガスを発生させ、該液体中の酸素ガス
を、抽出ガス供給管を通じて供給された抽出ガスにより
該液体から気液分離し、更に、抽出ガス中の酸素ガスの
濃度に基づき、液体中の成分濃度を演算するようにした
液管理装置において、前記抽出ガス供給管内に液体が入
り込んだことを検出する異常検出手段と、該異常検出手
段の検出信号に基づいて、前記抽出ガス供給管内に液体
が流入することを規制する液体流入防止手段とを設ける
ようにしている。
【０００６】
【作用】本発明では、抽出ガス供給管内に液体が入り込
んだことが異常検出手段により検出された場合に、該異
常検出手段の検出信号に基づいて液体流入防止手段が作
動され、これによって抽出ガス供給管内に液体が流入す
ることが規制される。すなわち、本発明の液管理装置で
は、抽出ガス供給管内に液体が流入した場合に、異常検
出手段の検出信号に基づき、該液体の流入が速やかに規
制されることから、該液体により抽出ガス供給管が汚染
されることが未然に防止される。
んだことが異常検出手段により検出された場合に、該異
常検出手段の検出信号に基づいて液体流入防止手段が作
動され、これによって抽出ガス供給管内に液体が流入す
ることが規制される。すなわち、本発明の液管理装置で
は、抽出ガス供給管内に液体が流入した場合に、異常検
出手段の検出信号に基づき、該液体の流入が速やかに規
制されることから、該液体により抽出ガス供給管が汚染
されることが未然に防止される。
【０００７】
【実施例】まず、図１を参照して配管系１００の概略構
成を説明する。この図に示される符号１は、半導体洗浄
に使用される洗浄液の貯留タンク（図示略）に通じる流
路であり、この流路１の途中には、洗浄液の供給をＯＮ
／ＯＦＦするための電磁弁２、洗浄液を冷却するための
冷却器３が順次設けられている。なお、洗浄液中には酸
素を発生させる、例えば過酸化水素、オゾン等の成分が
含有されているが、本実施例では、洗浄液としてＮＨ3
−Ｈ2Ｏ2−Ｈ2Ｏからなる半導体用洗浄液（酸素を発生
させる成分は過酸化水素）を使用した場合を例にして説
明する。
成を説明する。この図に示される符号１は、半導体洗浄
に使用される洗浄液の貯留タンク（図示略）に通じる流
路であり、この流路１の途中には、洗浄液の供給をＯＮ
／ＯＦＦするための電磁弁２、洗浄液を冷却するための
冷却器３が順次設けられている。なお、洗浄液中には酸
素を発生させる、例えば過酸化水素、オゾン等の成分が
含有されているが、本実施例では、洗浄液としてＮＨ3
−Ｈ2Ｏ2−Ｈ2Ｏからなる半導体用洗浄液（酸素を発生
させる成分は過酸化水素）を使用した場合を例にして説
明する。
【０００８】前記冷却器３は、流路１がその内部に収納
される冷却器本体４と、冷却器本体４に、冷媒となる冷
却液が供給される冷却液供給管５と、冷却器本体４内の
冷却液を排出する冷却液排出管６とから構成されたもの
であって、冷却液供給管５にて供給された冷却液は冷却
器本体４内に貯留され、この貯留された冷却液により流
路１内の洗浄液が冷却される。また、前記冷却液供給管
５の途中には冷却液の供給をＯＮ／ＯＦＦするための電
磁弁７が設けられている。なお、このような冷却器３
は、後述する分解装置の反応条件に対応して設けられる
ものであって、不要である場合には省略しても良い。ま
た、このような冷却器３は水冷式のものに限定されず、
放熱により冷却する空冷式であっても良い。
される冷却器本体４と、冷却器本体４に、冷媒となる冷
却液が供給される冷却液供給管５と、冷却器本体４内の
冷却液を排出する冷却液排出管６とから構成されたもの
であって、冷却液供給管５にて供給された冷却液は冷却
器本体４内に貯留され、この貯留された冷却液により流
路１内の洗浄液が冷却される。また、前記冷却液供給管
５の途中には冷却液の供給をＯＮ／ＯＦＦするための電
磁弁７が設けられている。なお、このような冷却器３
は、後述する分解装置の反応条件に対応して設けられる
ものであって、不要である場合には省略しても良い。ま
た、このような冷却器３は水冷式のものに限定されず、
放熱により冷却する空冷式であっても良い。
【０００９】また、洗浄液が供給される流路１は冷却器
３の下流側にて分岐部８を介して流路９と流路１０に分
岐され、更に、流路９の途中には、送液方向に沿って送
液ポンプ１１とアンモニアセンサ１２とが順次設けられ
ている。なお、アンモニアセンサ１２としては、溶液中
のアンモニアイオンを検出するイオン電極が使用されて
いる。また、アンモニアセンサ１２を経た流路９はドレ
ンに至っている。
３の下流側にて分岐部８を介して流路９と流路１０に分
岐され、更に、流路９の途中には、送液方向に沿って送
液ポンプ１１とアンモニアセンサ１２とが順次設けられ
ている。なお、アンモニアセンサ１２としては、溶液中
のアンモニアイオンを検出するイオン電極が使用されて
いる。また、アンモニアセンサ１２を経た流路９はドレ
ンに至っている。
【００１０】また、前記流路１０の途中には送液方向に
沿って送液ポンプ１３、抽出ガス供給手段１４、分解装
置１５が順次設けられている。抽出ガス供給手段１４
は、窒素等の抽出ガスを供給するガス供給源（図示略）
に接続された抽出ガス供給管１６と、この抽出ガス供給
管１６のガス供給方向に沿って設けられた、抽出ガスの
供給をＯＮ／ＯＦＦする電磁弁１７、抽出ガスの流量を
検出する流量計１８、抽出ガス供給管１６内に洗浄液が
流入したことを検出する静電容量式の逆流検出センサ１
９とから構成されたものであって、前記抽出ガス供給管
１６の末端部は流路１０の合流部２０に接続されてい
る。なお、抽出ガス供給管１６の途中に設けられた逆流
検出センサ１９は、抽出ガス供給管１６に入った洗浄液
が矢印Ａ方向に逆流したことを検出するものである。
沿って送液ポンプ１３、抽出ガス供給手段１４、分解装
置１５が順次設けられている。抽出ガス供給手段１４
は、窒素等の抽出ガスを供給するガス供給源（図示略）
に接続された抽出ガス供給管１６と、この抽出ガス供給
管１６のガス供給方向に沿って設けられた、抽出ガスの
供給をＯＮ／ＯＦＦする電磁弁１７、抽出ガスの流量を
検出する流量計１８、抽出ガス供給管１６内に洗浄液が
流入したことを検出する静電容量式の逆流検出センサ１
９とから構成されたものであって、前記抽出ガス供給管
１６の末端部は流路１０の合流部２０に接続されてい
る。なお、抽出ガス供給管１６の途中に設けられた逆流
検出センサ１９は、抽出ガス供給管１６に入った洗浄液
が矢印Ａ方向に逆流したことを検出するものである。
【００１１】また、前述した合流部２０と分解手段１５
との間に位置する流路１０途中には、圧力センサ２１と
リリーフ弁２２とが設けられている。前記圧力センサ２
１は流路１０内の圧力を検出し、これにより例えば流路
１０内の圧力上昇を検出した場合に分解手段１５内に目
詰まりが生じたと見なすものである。また、リリーフ弁
２２は通常は分解手段１５に対して洗浄液を供給すると
ともに、圧力センサ２１により流路１０内の圧力上昇が
検出された場合に、リリーフ弁２２を、ドレンに接続さ
れる流路２３に切り換える三方電磁弁により構成されて
いる。すなわち、このリリーフ弁２２は、圧力センサ２
１により流路１０内の圧力上昇が検出された場合に、互
いに接続されていた流路１０ａと１０ｂを遮断し、流路
１０ａを流路２３に接続する（後述する）。また、分解
装置１５は、洗浄液中の過酸化水素の成分を分解して、
酸素ガスを発生させるものである。なお、この分解装置
１５には、活性炭等の固体触媒を用いて過酸化水素を分
解して酸素を発生させる手段、また、電気分解により酸
素を発生させる手段等が用いられる。
との間に位置する流路１０途中には、圧力センサ２１と
リリーフ弁２２とが設けられている。前記圧力センサ２
１は流路１０内の圧力を検出し、これにより例えば流路
１０内の圧力上昇を検出した場合に分解手段１５内に目
詰まりが生じたと見なすものである。また、リリーフ弁
２２は通常は分解手段１５に対して洗浄液を供給すると
ともに、圧力センサ２１により流路１０内の圧力上昇が
検出された場合に、リリーフ弁２２を、ドレンに接続さ
れる流路２３に切り換える三方電磁弁により構成されて
いる。すなわち、このリリーフ弁２２は、圧力センサ２
１により流路１０内の圧力上昇が検出された場合に、互
いに接続されていた流路１０ａと１０ｂを遮断し、流路
１０ａを流路２３に接続する（後述する）。また、分解
装置１５は、洗浄液中の過酸化水素の成分を分解して、
酸素ガスを発生させるものである。なお、この分解装置
１５には、活性炭等の固体触媒を用いて過酸化水素を分
解して酸素を発生させる手段、また、電気分解により酸
素を発生させる手段等が用いられる。
【００１２】前記分解装置１５を経た流路１０の末端部
は抽出装置２４に接続されている。この抽出装置２４
は、分解装置１５にて得られた酸素ガスを抽出するため
のものであって、この抽出装置２４によって抽出された
酸素ガスは、接続管２５を経由してバッファ２６に供給
される。また、この抽出装置２４にて、酸素ガスが抽出
された後の洗浄液は排出管２７を通じドレンとして排出
される。前記バッファ２６は、接続管２５を通じて供給
された酸素ガスを一時貯留して、酸素センサ２９（後述
する）で測定する濃度のばらつきを小さくするためのも
のであるが、この機能を抽出装置２４で代用できるので
あれば省略しても良い。
は抽出装置２４に接続されている。この抽出装置２４
は、分解装置１５にて得られた酸素ガスを抽出するため
のものであって、この抽出装置２４によって抽出された
酸素ガスは、接続管２５を経由してバッファ２６に供給
される。また、この抽出装置２４にて、酸素ガスが抽出
された後の洗浄液は排出管２７を通じドレンとして排出
される。前記バッファ２６は、接続管２５を通じて供給
された酸素ガスを一時貯留して、酸素センサ２９（後述
する）で測定する濃度のばらつきを小さくするためのも
のであるが、この機能を抽出装置２４で代用できるので
あれば省略しても良い。
【００１３】また、前記バッファ２６を経由した酸素を
含む抽出ガスは流路２８に供給され、更に、この流路２
８に途中に設けられた酸素センサ２９にて該酸素濃度が
測定される。また、この液管理装置の配管系１００の底
部にはトレイ３０が設けられ、更に、このトレイ３０に
は配管１０からの液漏れを検出する液漏れセンサ３１が
設けられている。
含む抽出ガスは流路２８に供給され、更に、この流路２
８に途中に設けられた酸素センサ２９にて該酸素濃度が
測定される。また、この液管理装置の配管系１００の底
部にはトレイ３０が設けられ、更に、このトレイ３０に
は配管１０からの液漏れを検出する液漏れセンサ３１が
設けられている。
【００１４】次に、図１に示す配管系１００を制御する
ための制御系１０１について、図２を参照して説明す
る。図２に符号３５で示される演算制御手段には、抽出
ガスの流量を検出する流量計１８の検出信号が入力され
るとともに、酸素センサ２９及びアンモニア濃度センサ
１２の検出信号がアンプ３６・３７を経由してそれぞれ
入力されている。そして、この演算制御手段３５では、
アンモニア濃度センサ１２の検出信号に基づいて洗浄液
に含有されているアンモニアの濃度を検出するととも
に、流量計１８及び酸素センサ２９の検出信号に基づい
て、洗浄液に含有されている過酸化水素濃度を演算する
（このとき、洗浄液の流量は一定とする）。また、この
演算制御手段３５では、アンモニア濃度センサ１２にて
検出したアンモニア濃度、及び流量計１８及び酸素セン
サ２９の検出信号に基づき演算した過酸化水素濃度を表
示手段３８に表示させ、一方、操作手段３９からの操作
信号に基づき、各種演算処理の指示、主電源スイッチ４
０をＯＮ／ＯＦＦを行うとともに、電磁弁２・７・１７
及び送液ポンプ１１・１３からなる駆動手段４１の駆動
を制御する。
ための制御系１０１について、図２を参照して説明す
る。図２に符号３５で示される演算制御手段には、抽出
ガスの流量を検出する流量計１８の検出信号が入力され
るとともに、酸素センサ２９及びアンモニア濃度センサ
１２の検出信号がアンプ３６・３７を経由してそれぞれ
入力されている。そして、この演算制御手段３５では、
アンモニア濃度センサ１２の検出信号に基づいて洗浄液
に含有されているアンモニアの濃度を検出するととも
に、流量計１８及び酸素センサ２９の検出信号に基づい
て、洗浄液に含有されている過酸化水素濃度を演算する
（このとき、洗浄液の流量は一定とする）。また、この
演算制御手段３５では、アンモニア濃度センサ１２にて
検出したアンモニア濃度、及び流量計１８及び酸素セン
サ２９の検出信号に基づき演算した過酸化水素濃度を表
示手段３８に表示させ、一方、操作手段３９からの操作
信号に基づき、各種演算処理の指示、主電源スイッチ４
０をＯＮ／ＯＦＦを行うとともに、電磁弁２・７・１７
及び送液ポンプ１１・１３からなる駆動手段４１の駆動
を制御する。
【００１５】図２に符号４２で示すものは異常判定手段
であって、この異常判定手段４２には、異常検出センサ
４３、逆流検出センサ１９、圧力センサ２１の検出信号
が入力されるようになっている。異常検出センサ４３
は、前述した液漏れセンサ３１、装置内の温度を検出す
る温度センサ（図示略）等によって構成されるものであ
って、異常判定手段４２では、液漏れセンサ３１から液
漏れを示す検出信号が入力された場合、あるいは温度セ
ンサの温度検出値が予め設定しておいた温度しきい値を
越えて上昇した場合に、電力源である主電源スイッチ４
０をＯＦＦに設定する。
であって、この異常判定手段４２には、異常検出センサ
４３、逆流検出センサ１９、圧力センサ２１の検出信号
が入力されるようになっている。異常検出センサ４３
は、前述した液漏れセンサ３１、装置内の温度を検出す
る温度センサ（図示略）等によって構成されるものであ
って、異常判定手段４２では、液漏れセンサ３１から液
漏れを示す検出信号が入力された場合、あるいは温度セ
ンサの温度検出値が予め設定しておいた温度しきい値を
越えて上昇した場合に、電力源である主電源スイッチ４
０をＯＦＦに設定する。
【００１６】前記圧力センサ２１は流路１０内の圧力を
検出するものであり、前記異常判定手段４２は、圧力セ
ンサ２１の検出信号に基づき、流路１０内の圧力が、予
め設定しておいた圧力しきい値を越えて上昇した場合
に、分解手段１５内に目詰まりが生じたと見なし、流路
１０の途中のリリーフ弁２２を操作して、互いに接続さ
れていた流路１０ａと１０ｂを遮断し、流路１０ａを流
路２３に接続するようにし、これにより流路１０（１０
ａ）内の洗浄液を、流路２３を通じてドレンに排出する
ようにしている。
検出するものであり、前記異常判定手段４２は、圧力セ
ンサ２１の検出信号に基づき、流路１０内の圧力が、予
め設定しておいた圧力しきい値を越えて上昇した場合
に、分解手段１５内に目詰まりが生じたと見なし、流路
１０の途中のリリーフ弁２２を操作して、互いに接続さ
れていた流路１０ａと１０ｂを遮断し、流路１０ａを流
路２３に接続するようにし、これにより流路１０（１０
ａ）内の洗浄液を、流路２３を通じてドレンに排出する
ようにしている。
【００１７】逆流検出センサ１９は、流路１０の洗浄液
の液圧が上昇することにより、該流路１０から合流部２
０を経由して抽出ガス供給管１６内に洗浄液が流入し
て、抽出ガス供給管１６内を洗浄液がＡ方向に逆流した
場合に、この洗浄液の逆流を検出するものであって、異
常判定手段４２では、逆流検出センサ１９から洗浄液の
逆流を示す検出信号が入力された場合に、電力源である
主電源スイッチ４０をＯＦＦに設定し、これにより送液
ポンプ１１・１３を緊急停止させるうにする。
の液圧が上昇することにより、該流路１０から合流部２
０を経由して抽出ガス供給管１６内に洗浄液が流入し
て、抽出ガス供給管１６内を洗浄液がＡ方向に逆流した
場合に、この洗浄液の逆流を検出するものであって、異
常判定手段４２では、逆流検出センサ１９から洗浄液の
逆流を示す検出信号が入力された場合に、電力源である
主電源スイッチ４０をＯＦＦに設定し、これにより送液
ポンプ１１・１３を緊急停止させるうにする。
【００１８】以上詳細に説明したように本実施例の液管
理装置では、逆流検出センサ１９あるいは圧力センサ２
１の検出信号に基づいて、抽出ガス供給管１６内に洗浄
液が流入したことが検出された場合に、流路１０の途中
のリリーフ弁２２を操作して、流路１０（１０ａ）内の
洗浄液を流路２３を通じてドレンに排出するとともに、
主電源スイッチ４０を即座にＯＦＦとして、流路１０に
対する洗浄液の供給を停止させることができ、これによ
って抽出ガス供給管１６への洗浄液流入も防止すること
ができ、その結果、該抽出ガス供給管１６内に入った洗
浄液が、抽出ガス供給管１６の配管系の全体に広がるこ
とが未然に防止され、装置の安全性が向上するという効
果が得られる。
理装置では、逆流検出センサ１９あるいは圧力センサ２
１の検出信号に基づいて、抽出ガス供給管１６内に洗浄
液が流入したことが検出された場合に、流路１０の途中
のリリーフ弁２２を操作して、流路１０（１０ａ）内の
洗浄液を流路２３を通じてドレンに排出するとともに、
主電源スイッチ４０を即座にＯＦＦとして、流路１０に
対する洗浄液の供給を停止させることができ、これによ
って抽出ガス供給管１６への洗浄液流入も防止すること
ができ、その結果、該抽出ガス供給管１６内に入った洗
浄液が、抽出ガス供給管１６の配管系の全体に広がるこ
とが未然に防止され、装置の安全性が向上するという効
果が得られる。
【００１９】なお、異常判定手段４２では、逆流センサ
１９が洗浄液の逆流を検出した場合に主電源スイッチ４
０をＯＦＦにしたが、これに限定されず、逆流センサ１
９の洗浄液の逆流を検出した場合に、駆動手段４１の電
磁弁２・７・１７を閉弁し、かつ送液ポンプ１１・１３
を停止させる駆動信号を供給しても良い。
１９が洗浄液の逆流を検出した場合に主電源スイッチ４
０をＯＦＦにしたが、これに限定されず、逆流センサ１
９の洗浄液の逆流を検出した場合に、駆動手段４１の電
磁弁２・７・１７を閉弁し、かつ送液ポンプ１１・１３
を停止させる駆動信号を供給しても良い。
【００２０】また、上記異常判定手段４２では、逆流検
出センサ１９が洗浄液の逆流を検出した場合に主電源ス
イッチ４０をＯＦＦにしたが、これに限定されず、圧力
センサ２１の検出信号に基づき、流路１０内の洗浄液の
液圧が圧力しきい値を越えて上昇した場合に、抽出ガス
供給管１６内に洗浄液が流入したとみなして、主電源ス
イッチ４０をＯＦＦにしても良い。すなわち、圧力セン
サ２１を逆流検出センサ１９としても良い。そして、こ
の場合、主電源スイッチ４０は、圧力センサ２１、逆流
検出センサ１９のいずれか早い方の検出信号に基づいて
ＯＦＦとしても良く、また、逆流検出センサ１９を廃止
し、圧力センサ２１のみの検出信号によってのみ主電源
スイッチ４０をＯＦＦとしても良い。
出センサ１９が洗浄液の逆流を検出した場合に主電源ス
イッチ４０をＯＦＦにしたが、これに限定されず、圧力
センサ２１の検出信号に基づき、流路１０内の洗浄液の
液圧が圧力しきい値を越えて上昇した場合に、抽出ガス
供給管１６内に洗浄液が流入したとみなして、主電源ス
イッチ４０をＯＦＦにしても良い。すなわち、圧力セン
サ２１を逆流検出センサ１９としても良い。そして、こ
の場合、主電源スイッチ４０は、圧力センサ２１、逆流
検出センサ１９のいずれか早い方の検出信号に基づいて
ＯＦＦとしても良く、また、逆流検出センサ１９を廃止
し、圧力センサ２１のみの検出信号によってのみ主電源
スイッチ４０をＯＦＦとしても良い。
【００２１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の液管
理装置では、抽出ガス供給管内に液体が入り込んだこと
が異常検出手段により検出された場合に、該異常検出手
段の検出信号に基づいて液体流入防止手段が作動され、
これによって抽出ガス供給管内に液体が流入することが
規制される。すなわち、本発明の液管理装置では、抽出
ガス供給管内に液体が流入した場合に、異常検出手段の
検出信号に基づき、該液体の流入が速やかに規制される
ことから、抽出ガス供給管が汚染されることが未然に防
止され、装置の安全性が向上するという効果が得られ
る。
理装置では、抽出ガス供給管内に液体が入り込んだこと
が異常検出手段により検出された場合に、該異常検出手
段の検出信号に基づいて液体流入防止手段が作動され、
これによって抽出ガス供給管内に液体が流入することが
規制される。すなわち、本発明の液管理装置では、抽出
ガス供給管内に液体が流入した場合に、異常検出手段の
検出信号に基づき、該液体の流入が速やかに規制される
ことから、抽出ガス供給管が汚染されることが未然に防
止され、装置の安全性が向上するという効果が得られ
る。
【図１】液管理装置の配管系１００を示す概略構成図。
【図２】液管理装置の制御系１０１を示す概略構成図。
１ 流路 ３ 冷却器 １０ 流路 １４ 抽出ガス供給手段 １５ 分解装置 １９ 異常検出センサ（異常検出手段） ２１ 圧力センサ（異常検出手段） ２２ リリーフ弁（液体流入防止手段） ２４ 抽出装置 ２９ 酸素センサ ３５ 演算制御手段 ４２ 異常判定手段（液体流入防止手段） １００ 配管系 １０１ 制御系
Claims (1)
- 【請求項１】 酸素を発生させる成分が含有される液体
を分解して酸素ガスを発生させ、該液体中の酸素ガス
を、抽出ガス供給管を通じて供給された抽出ガスにより
該液体から気液分離し、更に、抽出ガス中の酸素ガスの
濃度に基づき、液体中の成分濃度を演算するようにした
液管理装置において、 前記抽出ガス供給管内に液体が入り込んだことを検出す
る異常検出手段と、該異常検出手段の検出信号に基づい
て、前記抽出ガス供給管内に液体が流入することを規制
する液体流入防止手段とが設けられていることを特徴と
する液管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23390593A JPH0794461A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 液管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23390593A JPH0794461A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 液管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0794461A true JPH0794461A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=16962426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23390593A Withdrawn JPH0794461A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 液管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0794461A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100554497B1 (ko) * | 1998-03-17 | 2006-03-03 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 공기구동식 액체공급장치 |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP23390593A patent/JPH0794461A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100554497B1 (ko) * | 1998-03-17 | 2006-03-03 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 공기구동식 액체공급장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001128 |