JP2780742B2 - 溶液サンプリング装置及びそのサンプリング方法 - Google Patents
溶液サンプリング装置及びそのサンプリング方法Info
- Publication number
- JP2780742B2 JP2780742B2 JP1962896A JP1962896A JP2780742B2 JP 2780742 B2 JP2780742 B2 JP 2780742B2 JP 1962896 A JP1962896 A JP 1962896A JP 1962896 A JP1962896 A JP 1962896A JP 2780742 B2 JP2780742 B2 JP 2780742B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solution
- liquid
- sampling
- pipe
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気液混相状態から
気体を分離し、液相をサンプリングできるようにした、
溶液サンプリング装置およびそのサンプリング方法に属
するものである。
気体を分離し、液相をサンプリングできるようにした、
溶液サンプリング装置およびそのサンプリング方法に属
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｓｉ（シリコーン）ウェハの洗浄
に用いられる溶液サンプリング装置においては、過酸化
水素とアンモニアの混合溶液を６０℃程度まで加熱する
と、過酸化水素の熱分解、アンモニアの蒸発によって気
泡が発生する。例えば、このような気液混相溶液の組成
を測定する際、過酸化水素の熱分解、アンモニアの蒸発
によって生じた気泡等の気体の混入が溶液を一定量精度
よくサンプリングすることの妨げとなり、分析誤差の原
因となる。そこで気体の混入を防止し、液体のみを採取
する工夫が必要となる。
に用いられる溶液サンプリング装置においては、過酸化
水素とアンモニアの混合溶液を６０℃程度まで加熱する
と、過酸化水素の熱分解、アンモニアの蒸発によって気
泡が発生する。例えば、このような気液混相溶液の組成
を測定する際、過酸化水素の熱分解、アンモニアの蒸発
によって生じた気泡等の気体の混入が溶液を一定量精度
よくサンプリングすることの妨げとなり、分析誤差の原
因となる。そこで気体の混入を防止し、液体のみを採取
する工夫が必要となる。
【０００３】従来、溶液を採取するには、図４に示すよ
うな、溶液サンプリング装置を使用している。溶液は、
気液混相状態で液体供給口１３２からサンプリング容器
１３１内に流入し、サンプリング容器１３１の下部に設
けられている流出管１３９の内部に形成されている制限
オリフィス１３３によって流出液量が制限されて液溜部
１３４に滞溜し、液体排出口１３５から、図４にによっ
て示した矢印Ａに沿って流出する。
うな、溶液サンプリング装置を使用している。溶液は、
気液混相状態で液体供給口１３２からサンプリング容器
１３１内に流入し、サンプリング容器１３１の下部に設
けられている流出管１３９の内部に形成されている制限
オリフィス１３３によって流出液量が制限されて液溜部
１３４に滞溜し、液体排出口１３５から、図４にによっ
て示した矢印Ａに沿って流出する。
【０００４】一方、液溜部１３４にはサンプリング容器
１３１の外側上方から内側下方に真空容器１３８が挿入
されている。サンプリング容器１３１の外側上方には、
真空容器１３８の上端にゴム栓１４０を介して真空容器
１３８が接続されている。液溜部１３４に滞溜している
溶液は、採取管１３６のした端開口から吸引されて真空
容器１３８にサンプリングが行われる。またサンプル用
の液溜部１３４の溶液のレベルを確保するために、気液
混相流の液体供給口１３２と流体排出口１３５が共に液
溜部１３４の上部に設置されていたため、サンプリング
終了後の液溜部１３４の液排出のための特別な構造とし
て例えば制限オリフィス１３３や専用配管を必要とす
る。図４に示した従来の溶液サンプリング装置では、液
溜部１３４における気液分離が不十分であるため、サン
プリングの際に溶液中に混入している気体が溶液と共に
採取管１３６から採取されてしまい、採取した液量が変
動し、分析に必要な液量を精度よく採取できない。
１３１の外側上方から内側下方に真空容器１３８が挿入
されている。サンプリング容器１３１の外側上方には、
真空容器１３８の上端にゴム栓１４０を介して真空容器
１３８が接続されている。液溜部１３４に滞溜している
溶液は、採取管１３６のした端開口から吸引されて真空
容器１３８にサンプリングが行われる。またサンプル用
の液溜部１３４の溶液のレベルを確保するために、気液
混相流の液体供給口１３２と流体排出口１３５が共に液
溜部１３４の上部に設置されていたため、サンプリング
終了後の液溜部１３４の液排出のための特別な構造とし
て例えば制限オリフィス１３３や専用配管を必要とす
る。図４に示した従来の溶液サンプリング装置では、液
溜部１３４における気液分離が不十分であるため、サン
プリングの際に溶液中に混入している気体が溶液と共に
採取管１３６から採取されてしまい、採取した液量が変
動し、分析に必要な液量を精度よく採取できない。
【０００５】また、気液混相の流入時に気体のみが入っ
てきた場合に液溜部の液面低下によりサンプリングがで
きないこともある。さらに液溜部１３４では十分な液置
換が行われず、液体供給口１３２から供給された液は、
液溜部１３４の上層のみを流れて直ちに排出され、液溜
部下では十分な液置換が行われず、デッドスペースが形
成される。
てきた場合に液溜部の液面低下によりサンプリングがで
きないこともある。さらに液溜部１３４では十分な液置
換が行われず、液体供給口１３２から供給された液は、
液溜部１３４の上層のみを流れて直ちに排出され、液溜
部下では十分な液置換が行われず、デッドスペースが形
成される。
【０００６】したがって、液溜部１３４の溶液は常に流
入溶液の性状を有しているとはいいがたく、サンプリン
グ誤差の原因となる。もし液溜部１３４の上層からサン
プリングするように採取管１３６の位置を設置すれば、
上述したように気体の混入が一層増大する。
入溶液の性状を有しているとはいいがたく、サンプリン
グ誤差の原因となる。もし液溜部１３４の上層からサン
プリングするように採取管１３６の位置を設置すれば、
上述したように気体の混入が一層増大する。
【０００７】そこで、新たな従来技術として、図５に示
す特開昭５９−２０２０４１号公報には、エアリフト、
真空吸引等によって気液混相状態で移送されてきた放射
性溶液または有毒物質溶液等の液体から気相を分離した
のち、液相を高制度かつ安全に採取する液体サンプルの
採取方法とその装置が開示されている。
す特開昭５９−２０２０４１号公報には、エアリフト、
真空吸引等によって気液混相状態で移送されてきた放射
性溶液または有毒物質溶液等の液体から気相を分離した
のち、液相を高制度かつ安全に採取する液体サンプルの
採取方法とその装置が開示されている。
【０００８】この液体サンプルの採取装置においては、
容器本体１６０内に邪魔板１６１を設けて容器本体１６
０内を気液混相部１６２と液溜部１６３に区分し、気液
混相部１６２の下方に液体供給口１６４が設けられてい
る。液体供給口１６４から容器本地あ１６０内に供給さ
れる液体は、開孔部１７４に流入する。液溜部１６３の
上方には、液体排出口１６５が設けられている。採取管
１６９は、流溜部１６３から容器本体１６０の外に導出
され、ゴム栓１８１を介して真空容器１８２に接続され
ている。邪魔板１６１を越えて液溜部１６３に流入した
溶液の一部は、邪魔板１６１の下方間隔１６７を通して
再び気液混相流部１６２に合流させることで循環流を形
成させ、液溜部１６３から溶液の採取を行っている。
容器本体１６０内に邪魔板１６１を設けて容器本体１６
０内を気液混相部１６２と液溜部１６３に区分し、気液
混相部１６２の下方に液体供給口１６４が設けられてい
る。液体供給口１６４から容器本地あ１６０内に供給さ
れる液体は、開孔部１７４に流入する。液溜部１６３の
上方には、液体排出口１６５が設けられている。採取管
１６９は、流溜部１６３から容器本体１６０の外に導出
され、ゴム栓１８１を介して真空容器１８２に接続され
ている。邪魔板１６１を越えて液溜部１６３に流入した
溶液の一部は、邪魔板１６１の下方間隔１６７を通して
再び気液混相流部１６２に合流させることで循環流を形
成させ、液溜部１６３から溶液の採取を行っている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
５９−２０２０４１号公報に開示されている従来技術で
は、溶液中の気体の採取口への巻き込みを防止するため
に邪魔板１６１を設置して容器本体１６０内を気液混相
部１６２と液溜部１６３とに区別しているため、装置自
体が大型になる。また、過酸化水素等の自己分解して気
体を発生する溶液を含む場合では、液溜部１６３で気体
が発生し、従来の溶液サンプリング装置と同様に気液分
離が不十分となり、サンプリングの際に溶液中に混入し
ている気体を溶液と共に採取してしまい、採取した液量
が変動し、分析に必要な液量を精度よく採取できなくな
る。
５９−２０２０４１号公報に開示されている従来技術で
は、溶液中の気体の採取口への巻き込みを防止するため
に邪魔板１６１を設置して容器本体１６０内を気液混相
部１６２と液溜部１６３とに区別しているため、装置自
体が大型になる。また、過酸化水素等の自己分解して気
体を発生する溶液を含む場合では、液溜部１６３で気体
が発生し、従来の溶液サンプリング装置と同様に気液分
離が不十分となり、サンプリングの際に溶液中に混入し
ている気体を溶液と共に採取してしまい、採取した液量
が変動し、分析に必要な液量を精度よく採取できなくな
る。
【００１０】さらに循環流を形成しているため、上述し
たように溶液が液溜部１６３の滞溜して液溜部１６３の
下方にデッドスペースが形成され、十分な液置換が行わ
れず、サンプリング誤差の原因となる。
たように溶液が液溜部１６３の滞溜して液溜部１６３の
下方にデッドスペースが形成され、十分な液置換が行わ
れず、サンプリング誤差の原因となる。
【００１１】それ故に本発明の課題は、自己分解性の溶
液に対して気体の採取を防止し、導入した溶液の性状を
保持した溶液をサンプリングし、容器本体内での不完全
な液置換にもとづくサンプリング誤差を解決できる溶液
サンプリング装置およびそのサンプリング方法を提供す
ることにある。
液に対して気体の採取を防止し、導入した溶液の性状を
保持した溶液をサンプリングし、容器本体内での不完全
な液置換にもとづくサンプリング誤差を解決できる溶液
サンプリング装置およびそのサンプリング方法を提供す
ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、容器本
体と、該容器本体の内部の液溜部に気液混相液を送液す
るよう前記容器本体の下部に接続した液体供給管と、該
液体供給管に設けた第１のポンプと、前記容器本体の外
側上部から前記液溜部にのびている採取管と、前記容器
本体の外側で前記採取管に接続した第２のポンプと、前
記容器本体の上部に接続されている吸気管と、該吸気管
に設けた逆止弁と、前記容器本体の上部に接続した排気
／排液管とを有していることを特徴とする溶液サンプリ
ング装置が得られる。
体と、該容器本体の内部の液溜部に気液混相液を送液す
るよう前記容器本体の下部に接続した液体供給管と、該
液体供給管に設けた第１のポンプと、前記容器本体の外
側上部から前記液溜部にのびている採取管と、前記容器
本体の外側で前記採取管に接続した第２のポンプと、前
記容器本体の上部に接続されている吸気管と、該吸気管
に設けた逆止弁と、前記容器本体の上部に接続した排気
／排液管とを有していることを特徴とする溶液サンプリ
ング装置が得られる。
【００１３】また、本発明によれば、容器本体と、該容
器本体の内部の液溜部に気液混相液を送液するよう前記
容器本体の下部に接続した液体供給管と、該液体供給管
に設けた第１のポンプと、前記容器本体の外側上部から
前記液溜部にのびている採取管と、前記容器本体の外側
で前記採取管に接続した第２のポンプと、前記容器本体
の上部に接続されている吸気管と、該吸気管に設けた逆
止弁と、前記容器本体の上部に接続した排気／排液管と
を有し、さらに、前記容器本体の下部と前記第１のポン
プとの間の前記液体供給管に設けた溶液交換装置と、該
溶液交換装置に接続した第３のポンプとを有しているこ
とを特徴とする溶液サンプリング装置が得られる。
器本体の内部の液溜部に気液混相液を送液するよう前記
容器本体の下部に接続した液体供給管と、該液体供給管
に設けた第１のポンプと、前記容器本体の外側上部から
前記液溜部にのびている採取管と、前記容器本体の外側
で前記採取管に接続した第２のポンプと、前記容器本体
の上部に接続されている吸気管と、該吸気管に設けた逆
止弁と、前記容器本体の上部に接続した排気／排液管と
を有し、さらに、前記容器本体の下部と前記第１のポン
プとの間の前記液体供給管に設けた溶液交換装置と、該
溶液交換装置に接続した第３のポンプとを有しているこ
とを特徴とする溶液サンプリング装置が得られる。
【００１４】また、本発明によれば、溶液サンプリング
装置による溶液サンプリング方法であって、気液混在溶
液を前記第１のポンプを用いて前記液溜部の下部から導
入し、次いで前記採取管の採取口から前記溶液を採取
し、採取されなかった気液混在溶液あるいは気体を前記
排気／排液管から排出することを特徴とする溶液サンプ
リング方法が得られる。
装置による溶液サンプリング方法であって、気液混在溶
液を前記第１のポンプを用いて前記液溜部の下部から導
入し、次いで前記採取管の採取口から前記溶液を採取
し、採取されなかった気液混在溶液あるいは気体を前記
排気／排液管から排出することを特徴とする溶液サンプ
リング方法が得られる。
【００１５】さらに、本発明によれば、溶液サンプリン
グ装置による液体サンプリング方法であって、前記溶液
交換装置の配管を前記導入配管状態となるように前記溶
液交換装置を設定し、前記第１のポンプにより前記液溜
部に溶液を導入し、次いで前述採取管により溶液を採取
し、しかる後に前記溶液交換装置を切り替え当前記溶液
交換装置を排液配管状態とし、前記第１のポンプを停止
させ、前記液溜部内の溶液を排出することを特徴とする
溶液サンプリング方法が得られる。
グ装置による液体サンプリング方法であって、前記溶液
交換装置の配管を前記導入配管状態となるように前記溶
液交換装置を設定し、前記第１のポンプにより前記液溜
部に溶液を導入し、次いで前述採取管により溶液を採取
し、しかる後に前記溶液交換装置を切り替え当前記溶液
交換装置を排液配管状態とし、前記第１のポンプを停止
させ、前記液溜部内の溶液を排出することを特徴とする
溶液サンプリング方法が得られる。
【００１６】
【作用】本発明によると、第１のポンプにより送液され
る気液混相液は容器本体の液体供給管から導入される。
過剰に供給された気液混相流は排気／排液口から排出さ
れる。容器本体内が減圧状態になった場合は、容器本体
上部の吸気管によって大気圧に調節されるため、気液混
相流は大気圧下で気液分離される。逆止弁によって吸気
管から溶液は排出されない。容器本体内は減圧、加圧状
態とならないため液溜部内の溶液の組成は変動せず、導
入した溶液の性状を保持したままでサンプリングされ
る。分離された気体は排気／排液口から排気される。
る気液混相液は容器本体の液体供給管から導入される。
過剰に供給された気液混相流は排気／排液口から排出さ
れる。容器本体内が減圧状態になった場合は、容器本体
上部の吸気管によって大気圧に調節されるため、気液混
相流は大気圧下で気液分離される。逆止弁によって吸気
管から溶液は排出されない。容器本体内は減圧、加圧状
態とならないため液溜部内の溶液の組成は変動せず、導
入した溶液の性状を保持したままでサンプリングされ
る。分離された気体は排気／排液口から排気される。
【００１７】気液分離後、液体は第２のポンプによって
サンプリングされる。容器本体、採取管、配管はフッ素
系樹脂等の溶液の自己分解を抑制する材料としているた
め溶液本体内での溶液の自己分解を抑制することができ
る。採取管の先端の採取口を上向とすることで気液混相
流の容器本体への導入時に気液混相流が直接採取口に流
入しないので気体を直接取り込まずに溶液のみのサンプ
リングとなる。
サンプリングされる。容器本体、採取管、配管はフッ素
系樹脂等の溶液の自己分解を抑制する材料としているた
め溶液本体内での溶液の自己分解を抑制することができ
る。採取管の先端の採取口を上向とすることで気液混相
流の容器本体への導入時に気液混相流が直接採取口に流
入しないので気体を直接取り込まずに溶液のみのサンプ
リングとなる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の溶液サンプリン
グ装置の第１の実施の形態例を示している。図１を参照
して、溶液サンプリング装置は、上下方向に長い管形状
の容器本体５と、この容器本体５の内部の液溜部８に気
液混相液を送液するよう容器本体５の下部に設けた液体
供給管６に接続した第１のポンプ（送液ポンプ）１と、
容器本体５の外側上部から液溜部８の下方にまで挿入さ
れている採取管２７と、容器本体５の外側で採取管２７
に接続されている第２のポンプ（定量ポンプ）３と、容
器本体５の上部に接続されている吸気管１３と、この吸
気管１３に設けた逆止弁２０と、容器本体５の上部に接
続した排気／排液管１２とを有している。さらに、第１
のポンプ１、第２のポンプ３及び逆止弁２０は、これら
が制御部３０に接続さて制御されて制御される。
グ装置の第１の実施の形態例を示している。図１を参照
して、溶液サンプリング装置は、上下方向に長い管形状
の容器本体５と、この容器本体５の内部の液溜部８に気
液混相液を送液するよう容器本体５の下部に設けた液体
供給管６に接続した第１のポンプ（送液ポンプ）１と、
容器本体５の外側上部から液溜部８の下方にまで挿入さ
れている採取管２７と、容器本体５の外側で採取管２７
に接続されている第２のポンプ（定量ポンプ）３と、容
器本体５の上部に接続されている吸気管１３と、この吸
気管１３に設けた逆止弁２０と、容器本体５の上部に接
続した排気／排液管１２とを有している。さらに、第１
のポンプ１、第２のポンプ３及び逆止弁２０は、これら
が制御部３０に接続さて制御されて制御される。
【００１９】液溜部８内の下方にのびている採取管２７
の先端部２６ａ、即ち、容器本体５の内底部の近傍まで
のびている採取管２７の先端部２６ａは、採取口２６ｂ
が上向きになるように曲げられている。
の先端部２６ａ、即ち、容器本体５の内底部の近傍まで
のびている採取管２７の先端部２６ａは、採取口２６ｂ
が上向きになるように曲げられている。
【００２０】第１のポンプ１により送液される気液混相
液は、容器本体５の底部に接続されている液体供給管６
の液体供給口６ａから容器本体５内に導入される。液体
供給管６は、容器本体５の底部中央に位置している必要
は必ずしもない。また、過剰に供給された気液混相流
は、容器本体５の上部に位置している排気／排液管１２
から排出される。排気／排液管１２は、容器本体５の上
部に位置していれば、かならずしも図１に示した側面の
位置でなくてもかまわない。
液は、容器本体５の底部に接続されている液体供給管６
の液体供給口６ａから容器本体５内に導入される。液体
供給管６は、容器本体５の底部中央に位置している必要
は必ずしもない。また、過剰に供給された気液混相流
は、容器本体５の上部に位置している排気／排液管１２
から排出される。排気／排液管１２は、容器本体５の上
部に位置していれば、かならずしも図１に示した側面の
位置でなくてもかまわない。
【００２１】第１の実施の形態例の溶液サンプリング装
置による液体サンプリング方法は、気液混在溶液を第２
のポンプ３を用いて液溜部８に底部から導入し、次いで
溶液採取口２６ａから溶液を採取し、採取されなかった
気液混在溶液あるいは気体を排気／排液管１２から排出
している。
置による液体サンプリング方法は、気液混在溶液を第２
のポンプ３を用いて液溜部８に底部から導入し、次いで
溶液採取口２６ａから溶液を採取し、採取されなかった
気液混在溶液あるいは気体を排気／排液管１２から排出
している。
【００２２】容器本体５内が減圧状態になった場合は、
容器本体５上部の吸気管１３の吸気口１３ａによって大
気圧に調節されるため、気液混相流が大気圧下で気液分
離される。吸気管１３においても、かならずしも図１に
示した側面の位置でなくてもかまわない。逆止弁２０は
吸気管１３から溶液が外に排出されるのを阻止する役目
を果たす。容器本体５内は減圧、加圧状態とならないた
め液溜部８内の溶液の組成は変動せず、導入した溶液の
性状を保持したままでサンプリングされる。分離された
気体は排気／排液管１２から排気される。
容器本体５上部の吸気管１３の吸気口１３ａによって大
気圧に調節されるため、気液混相流が大気圧下で気液分
離される。吸気管１３においても、かならずしも図１に
示した側面の位置でなくてもかまわない。逆止弁２０は
吸気管１３から溶液が外に排出されるのを阻止する役目
を果たす。容器本体５内は減圧、加圧状態とならないた
め液溜部８内の溶液の組成は変動せず、導入した溶液の
性状を保持したままでサンプリングされる。分離された
気体は排気／排液管１２から排気される。
【００２３】さらに具体的に述べると、気液分離後、液
体は、第２のポンプ３によってサンプリングされる。容
器本体５並びに採取管２７、吸気管１３、液体供給管６
等の配管は、フッ素系樹脂等の溶液の自己分解を抑制す
る材料としているため溶液本体５内での溶液の自己分解
を抑制することができる。採取管２７はその先端部２６
ａの採取口２６ｂを上向とすることで気液混相流の容器
本体５への導入時に気液混相流が直接採取口２６ｂに流
入しないので気体を直接取り込まずに溶液のみのサンプ
リングとなる。
体は、第２のポンプ３によってサンプリングされる。容
器本体５並びに採取管２７、吸気管１３、液体供給管６
等の配管は、フッ素系樹脂等の溶液の自己分解を抑制す
る材料としているため溶液本体５内での溶液の自己分解
を抑制することができる。採取管２７はその先端部２６
ａの採取口２６ｂを上向とすることで気液混相流の容器
本体５への導入時に気液混相流が直接採取口２６ｂに流
入しないので気体を直接取り込まずに溶液のみのサンプ
リングとなる。
【００２４】ポンプ１により送液される気液混相液は容
器本体５の底部の液体供給管６から導入される。液体供
給管６は容器本体５の底部中央に位置している必要は必
ずしもない。過剰に供給された気液混相流は排気／排液
管１２から排出される。
器本体５の底部の液体供給管６から導入される。液体供
給管６は容器本体５の底部中央に位置している必要は必
ずしもない。過剰に供給された気液混相流は排気／排液
管１２から排出される。
【００２５】容器本体５内が減圧状態になった場合は容
器本体５上部の吸気管１３によって大気圧に調節される
ため、気液混相流は大気圧下で気液分離される。容器本
体５内は減圧、加圧状態とならないため液溜部８内の溶
液の組成は変動せず、導入した溶液の性状を保持したま
までサンプリングされる。分離された気体は排気／排液
管１２から排気される。
器本体５上部の吸気管１３によって大気圧に調節される
ため、気液混相流は大気圧下で気液分離される。容器本
体５内は減圧、加圧状態とならないため液溜部８内の溶
液の組成は変動せず、導入した溶液の性状を保持したま
までサンプリングされる。分離された気体は排気／排液
管１２から排気される。
【００２６】図２は、本発明の溶液サンプリング装置の
第２の実施の形態例を示している。なおこの第２の実施
の形態において、第１の実施の形態例と同じ部分には同
じ符号を付して説明を省略する。
第２の実施の形態例を示している。なおこの第２の実施
の形態において、第１の実施の形態例と同じ部分には同
じ符号を付して説明を省略する。
【００２７】図２を参照して、第２の実施の形態例にお
ける溶液サンプリング装置は、液溜部８と、この液溜部
８の液体供給管６側に接続された第１のポンプ１の配管
である液体供給管６の中間に接続された三方バルブある
いは三方バルブと同等の機能を有するバルブ等の流路切
替バルブ（溶液交換装置）１５と、流路切替バルブ１５
の接続口に接続された第３のポンプ（排液ポンプ）２と
を備えている。流路切替バルブ１５のうち、１つのバル
ブａが溶液導入用であり、他方が貯溜部８内の溶液排出
用のバルブｃであり、流路切替バルブ１５の切り替えに
より、流路切替バルブ１５の上流に接続された第１のポ
ンプ１によって導入された溶液が流路切替バルブ１５を
通過して液溜部８に導入される導入配管状態と、液溜部
８内の溶液を流路切替バルブ１５の下流側に接続された
第３のポンプ２によって排出する排液配管状態とを切り
替え可能な配管がなされている。
ける溶液サンプリング装置は、液溜部８と、この液溜部
８の液体供給管６側に接続された第１のポンプ１の配管
である液体供給管６の中間に接続された三方バルブある
いは三方バルブと同等の機能を有するバルブ等の流路切
替バルブ（溶液交換装置）１５と、流路切替バルブ１５
の接続口に接続された第３のポンプ（排液ポンプ）２と
を備えている。流路切替バルブ１５のうち、１つのバル
ブａが溶液導入用であり、他方が貯溜部８内の溶液排出
用のバルブｃであり、流路切替バルブ１５の切り替えに
より、流路切替バルブ１５の上流に接続された第１のポ
ンプ１によって導入された溶液が流路切替バルブ１５を
通過して液溜部８に導入される導入配管状態と、液溜部
８内の溶液を流路切替バルブ１５の下流側に接続された
第３のポンプ２によって排出する排液配管状態とを切り
替え可能な配管がなされている。
【００２８】この溶液サンプリング装置による液体サン
プリング方法では、まず流路切替バルブ１５の配管を導
入配管状態となるように流路切替バルブ１５を設定し、
第１のポンプ１により液溜部に溶液を導入し、次いで前
述した採取管２７により溶液を採取し、しかる後に流路
切替バルブ１５を切り替えて排液配管状態とし、第１の
ポンプを停止させ、液溜部８の溶液を排出している。
プリング方法では、まず流路切替バルブ１５の配管を導
入配管状態となるように流路切替バルブ１５を設定し、
第１のポンプ１により液溜部に溶液を導入し、次いで前
述した採取管２７により溶液を採取し、しかる後に流路
切替バルブ１５を切り替えて排液配管状態とし、第１の
ポンプを停止させ、液溜部８の溶液を排出している。
【００２９】即ち、第１のポンプ１により送液される気
液混相液は、流路切替バルブ１５をａ−ｂ流路とするこ
とによって容器本体５の底部の液体供給管６から導入さ
れ、過剰に供給された気液混相流が容器本体５の上部の
排気／排液管１２から排出され、容器本体５内部で気液
分離が行われる。分離された気体は排気／排液管１２か
ら排気される。液溜部８内の液体は第２のポンプ３によ
ってサンプリングされる。
液混相液は、流路切替バルブ１５をａ−ｂ流路とするこ
とによって容器本体５の底部の液体供給管６から導入さ
れ、過剰に供給された気液混相流が容器本体５の上部の
排気／排液管１２から排出され、容器本体５内部で気液
分離が行われる。分離された気体は排気／排液管１２か
ら排気される。液溜部８内の液体は第２のポンプ３によ
ってサンプリングされる。
【００３０】サンプリング終了後に、第１のポンプ１に
よる気液混相液の供給を停止し、流路切替バルブ１５を
切り替えてｂ−ｃ流路とし、第３のポンプ２を用いるこ
とによってサンプリングされずに残留した溶液は底部か
ら排出される。この際、吸気管１３によって容器本体５
は減圧されず大気圧下となり、排気／排液管１２、採取
管２７からの溶液の逆流は起きない。
よる気液混相液の供給を停止し、流路切替バルブ１５を
切り替えてｂ−ｃ流路とし、第３のポンプ２を用いるこ
とによってサンプリングされずに残留した溶液は底部か
ら排出される。この際、吸気管１３によって容器本体５
は減圧されず大気圧下となり、排気／排液管１２、採取
管２７からの溶液の逆流は起きない。
【００３１】また、排出時には、溶液のサンプリングは
行わない。液体の排出終了後、再びバルブ１５をａ−ｂ
流路とし、ポンプ１によって気液混相流は容器本体５に
送液される。この動作を繰り返すことで一定時間の間欠
的なサンプリングが可能になる。
行わない。液体の排出終了後、再びバルブ１５をａ−ｂ
流路とし、ポンプ１によって気液混相流は容器本体５に
送液される。この動作を繰り返すことで一定時間の間欠
的なサンプリングが可能になる。
【００３２】なお、図２に示した溶液サンプリング装置
において、第１のポンプ１、第２のポンプ３、逆止弁２
０及び流路切替バルブ１５は、図１に示したように、こ
れらが制御部３０に接続さて制御される。
において、第１のポンプ１、第２のポンプ３、逆止弁２
０及び流路切替バルブ１５は、図１に示したように、こ
れらが制御部３０に接続さて制御される。
【００３３】次に溶液サンプリング装置に関して図３の
構成図により第３の実施の形態例を詳述する。なお、図
３において図１に示した第１の実施の形態例と同じ部分
には同じ符号を付して詳細説明を省略する。
構成図により第３の実施の形態例を詳述する。なお、図
３において図１に示した第１の実施の形態例と同じ部分
には同じ符号を付して詳細説明を省略する。
【００３４】第３の実施の形態例における溶液サンプリ
ング装置は、第１の実施の形態例に示した容器本体５の
外周面に冷却装置４０が設置されている。この溶液サン
プリング装置では、溶液を冷却することで液溜部８内で
の液体の自己分解は抑制され、気体の発生量は最小限と
なる。そのため気体の量が少量となり、溶液の一定量を
精度よく測定することができる。
ング装置は、第１の実施の形態例に示した容器本体５の
外周面に冷却装置４０が設置されている。この溶液サン
プリング装置では、溶液を冷却することで液溜部８内で
の液体の自己分解は抑制され、気体の発生量は最小限と
なる。そのため気体の量が少量となり、溶液の一定量を
精度よく測定することができる。
【００３５】なお、図３に示した溶液サンプリング装置
においては、第１のポンプ１、第２のポンプ３及び逆止
弁２０は、これらが制御部３０に接続さて制御される。
においては、第１のポンプ１、第２のポンプ３及び逆止
弁２０は、これらが制御部３０に接続さて制御される。
【００３６】
【発明の効果】本発明によると、気液混相液の試料、あ
るいは自己分解により気体を発生する液体試料を気体の
混入なく採取でき、またサンプリング装置内の液交換を
迅速に完全に行えるので、高精度、高信頼性の測定を可
能にする。Ｓｉウェハの洗浄に用いられる洗浄や苦役の
組成モニタ装置に本発明を適用することにより正確なモ
ニタが可能となり製品の歩留り、信頼性の向上が図れ
る。
るいは自己分解により気体を発生する液体試料を気体の
混入なく採取でき、またサンプリング装置内の液交換を
迅速に完全に行えるので、高精度、高信頼性の測定を可
能にする。Ｓｉウェハの洗浄に用いられる洗浄や苦役の
組成モニタ装置に本発明を適用することにより正確なモ
ニタが可能となり製品の歩留り、信頼性の向上が図れ
る。
【００３７】各実施の形態例をもって本発明を詳細に説
明したように、本発明は自己分解性の溶液のサンプリン
グに対して著しく効果を示すものである。しかし自己分
解性溶液のみならず有害物質を含む溶液、汚水、河川、
海水のサンプリング、採血等の様々な分野に幅広く利用
できる。
明したように、本発明は自己分解性の溶液のサンプリン
グに対して著しく効果を示すものである。しかし自己分
解性溶液のみならず有害物質を含む溶液、汚水、河川、
海水のサンプリング、採血等の様々な分野に幅広く利用
できる。
【図１】本発明の溶液サンプリング装置の第１の実施の
形態例を示す概略断面図である。
形態例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の溶液サンプリング装置の第２の実施の
形態例を示す概略断面図である。
形態例を示す概略断面図である。
【図３】本発明の溶液サンプリング装置の第３の実施の
形態例を示す概略断面図である。
形態例を示す概略断面図である。
【図４】従来の溶液サンプリング装置の第１の例をを示
す概略断面図である。
す概略断面図である。
【図５】従来の溶液サンプリング装置の第２の例をを示
す概略断面図である。
す概略断面図である。
１ 第１のポンプ ２ 第３のポンプ ３ 第２のポンプ ５，１６０ 容器本体 ６ 液体供給管 ６ａ，１３２，１６４ 液体供給口 ８，１３４，１６３ 液溜部 １２ 排気／排液管 １３ 吸気管 １５ 流路切替バルブ ２０ 逆止弁 ２６ａ 採取管の先端部 ２７，１３６ 採取管 ３０ 制御部 ４０ 冷却装置 １３１ サンプリング容器 １３３ 制限オリフィス １３５，１６５ 液体排出口 １３８ 真空容器 １３９ 流出管 １６１ 邪魔板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 1/10
Claims (10)
- 【請求項１】 容器本体と、該容器本体の内部の液溜部
に気液混相液を送液するよう前記容器本体の下部に接続
した液体供給管と、該液体供給管に設けた第１のポンプ
と、前記容器本体の外側上部から前記液溜部にのびてい
る採取管と、前記容器本体の外側で前記採取管に接続し
た第２のポンプと、前記容器本体の上部に接続されてい
る吸気管と、該吸気管に設けた逆止弁と、前記容器本体
の上部に接続した排気／排液管とを有していることを特
徴とする溶液サンプリング装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の溶液サンプリング装置に
おいて、前記第１のポンプ、前記第２のポンプ、及び前
記逆止弁を制御する制御部を有していることを特徴とす
る溶液サンプリング装置。 - 【請求項３】 容器本体と、該容器本体の内部の液溜部
に気液混相液を送液するよう前記容器本体の下部に接続
した液体供給管と、該液体供給管に設けた第１のポンプ
と、前記容器本体の外側上部から前記液溜部にのびてい
る採取管と、前記容器本体の外側で前記採取管に接続し
た第２のポンプと、前記容器本体の上部に接続されてい
る吸気管と、該吸気管に設けた逆止弁と、前記容器本体
の上部に接続した排気／排液管とを有し、さらに、前記
容器本体の下部と前記第１のポンプとの間の前記液体供
給管に設けた溶液交換装置と、該溶液交換装置に接続し
た第３のポンプとを有していることを特徴とする溶液サ
ンプリング装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の溶液サンプリング装置に
おいて、前記第１のポンプ、前記第２のポンプ、前記第
３のポンプ、前記逆止弁、及び前記溶液交換装置を制御
する制御部を有していることを特徴とする溶液サンプリ
ング装置。 - 【請求項５】 請求項３記載の溶液サンプリング装置に
おいて、前記溶液交換装置の接続口の一つが溶液導入用
であり、別の一つが液溜部内の溶液排出用であり、前記
溶液交換装置の切り替えによって前記溶液交換装置に接
続した前記第１のポンプによって導入された前記溶液が
前記溶液交換装置を通過して前記液溜部に導入される導
入配管状態と、液溜部内の溶液を前記溶液交換装置の下
流側に接続した前記第３のポンプによって排出する排液
配管状態とを切り替え可能な配管がなされていることを
特徴とする溶液サンプリング装置。 - 【請求項６】 請求項３記載の溶液サンプリング装置に
おいて、前記溶液交換装置は、三方バルブもしくは該三
方バルブと同等の機能を有する流路切替バルブであるこ
とを特徴とする溶液サンプリング装置。 - 【請求項７】 請求項１又は３記載の溶液サンプリング
装置において、前記液溜部内の下方にのびている前記採
取管の先端部は、上向きになるように曲げられている採
取口を有していることを特徴とする溶液サンプリング装
置。 - 【請求項８】 請求項１又は３記載の溶液サンプリング
装置において、前記容器本体の外周面に設けた冷却装置
を有していることを特徴とする溶液サンプリング装置。 - 【請求項９】 請求項１記載の溶液サンプリング装置に
よる溶液サンプリング方法であって、気液混在溶液を前
記第１のポンプを用いて前記液溜部の下部から導入し、
次いで前記採取管の採取口から前記溶液を採取し、採取
されなかった気液混在溶液あるいは気体を前記排気／排
液管から排出することを特徴とする溶液サンプリング方
法。 - 【請求項１０】 請求項３記載の溶液サンプリング装置
による液体サンプリング方法であって、前記溶液交換装
置の配管を前記導入配管状態となるように前記溶液交換
装置を設定し、前記第１のポンプにより前記液溜部に溶
液を導入し、次いで前述採取管により溶液を採取し、し
かる後に前記溶液交換装置を切り替え当前記溶液交換装
置を排液配管状態とし、前記第１のポンプを停止させ、
前記液溜部内の溶液を排出することを特徴とする溶液サ
ンプリング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1962896A JP2780742B2 (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | 溶液サンプリング装置及びそのサンプリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1962896A JP2780742B2 (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | 溶液サンプリング装置及びそのサンプリング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09210878A JPH09210878A (ja) | 1997-08-15 |
| JP2780742B2 true JP2780742B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=12004472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1962896A Expired - Lifetime JP2780742B2 (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | 溶液サンプリング装置及びそのサンプリング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780742B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101476580B (zh) * | 2008-12-09 | 2014-11-05 | 苏州龙盛测试设备有限公司 | 宽范围高精度无脉动液压加载系统 |
| CN104677687B (zh) * | 2015-03-27 | 2017-04-19 | 山东钢铁股份有限公司 | 一种工业液体的取样装置及取样方法 |
| CN104865099B (zh) * | 2015-06-01 | 2017-06-09 | 山东省科学院生物研究所 | 适用于发酵样品处理的多功能取样池 |
-
1996
- 1996-02-06 JP JP1962896A patent/JP2780742B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09210878A (ja) | 1997-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6344083Y2 (ja) | ||
| JPS6129359A (ja) | 透析器より透析液を分流する装置 | |
| US4955992A (en) | Liquid degassing system | |
| JP2780742B2 (ja) | 溶液サンプリング装置及びそのサンプリング方法 | |
| JP2014062827A (ja) | 脱気送液装置及び分析装置 | |
| US6802204B1 (en) | Arrangement for improved water-oil ratio measurements | |
| JPS60225060A (ja) | 油分濃度測定装置 | |
| WO2013069769A1 (ja) | 生化学分析用の試料注入装置、フロー式生化学分析装置、及び、ヘモグロビン成分の計測方法 | |
| JP2701760B2 (ja) | 薬液組成モニタ装置 | |
| CN221107086U (zh) | 一种适用于医用分析仪的液体脱气装置 | |
| KR100445393B1 (ko) | 유량측정장치 | |
| KR200177283Y1 (ko) | 공기포집장치 | |
| JP2000298092A (ja) | 液中微粒子測定装置 | |
| JPH0317238Y2 (ja) | ||
| CN209476894U (zh) | 一种多通道液体废气收集装置 | |
| JP3032633B2 (ja) | 溶存ガス分析装置の溶存ガス成分抽出槽 | |
| JPH0428049Y2 (ja) | ||
| CN116159345A (zh) | 一种分析仪器用的平面薄膜式在线脱气装置 | |
| JPH06109686A (ja) | 電解質分析装置 | |
| JP2003083996A (ja) | 分析装置および分析システム | |
| JPH0353158Y2 (ja) | ||
| JPH0110605Y2 (ja) | ||
| JP2584723Y2 (ja) | ガス分析計のサンプリング装置 | |
| JPH0353157Y2 (ja) | ||
| JPH0310057B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980415 |