JP5384088B2 - 表示装置 - Google Patents
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Description
前記画素内に形成される薄膜トランジスタを第1薄膜トランジスタとし、前記周辺回路内に形成される薄膜トランジスタを第2薄膜トランジスタとした場合、
前記第1薄膜トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上面に、平面的に観て前記ゲート電極からはみ出すことなく、前記ゲート電極に重畳して形成された島状の半導体層と、前記半導体層の上面と共に側壁面を被って形成された絶縁膜と、前記絶縁膜に形成された一対のスルーホールのそれぞれを通して前記半導体層と電気的に接続された一対の電極とを備え、
前記半導体層は、結晶性半導体層と非晶質半導体層の順次積層体からなり、前記電極のそれぞれは、不純物がドープされた半導体層と金属層の順次積層体からなり、
前記第2薄膜トランジスタは、
ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上面に、平面的に観て前記ゲート電極に重畳するとともに前記ゲート電極の幅方向にはみ出して形成された島状の半導体層と、前記半導体層の表面に形成された一対の電極とを備え、
前記半導体層は、結晶性半導体層と非晶質半導体層の順次積層体からなり、前記電極のそれぞれは、不純物がドープされた半導体層と金属層の順次積層体であって前記ゲート電極の幅方向に延在されて形成されている第3薄膜トランジスタと、
ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上面に、平面的に観て前記ゲート電極に重畳するとともに前記ゲート電極の幅方向にはみ出して形成された島状の半導体層と、前記半導体層の上面と共に側壁面を被って形成された絶縁膜と、前記絶縁膜に形成された一対のスルーホールのそれぞれを通して前記半導体層と電気的に接続された一対の電極とを備え、
前記半導体層は、結晶性半導体層と非晶質半導体層の順次積層体からなり、前記電極のそれぞれは、不純物がドープされた半導体層と金属層の順次積層体であって前記ゲート電極の幅方向に延在されて形成されている第4薄膜トランジスタと
を備えることを特徴とする。
前記一方の電極と前記ゲート電極との電気的な接続は、前記ゲート絶縁膜に形成したコンタクトホールを通して行っていることを特徴とする。
本発明の表示装置の実施例1を液晶表示装置を例に挙げて説明する。
図2は、本発明による液晶表示装置の等価回路を示した図である。図2は、液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうちの一方の基板の液晶側の面に形成される回路を示している。また、図2は、等価回路であるが、実際の液晶表示装置の回路と幾何学的にほぼ同様となっている。
図3は、前記画素の領域(図1の点線枠内の領域)における構成を示した平面図である。また、図3のIa−Ia線における断面図を図1(a)に示している。
図4は、前記ゲートドライバGDRの一部を構成するブートストラップ回路の平面図である。図4は、図2に示したブートストラップ回路(等価回路)と幾何学的に対応して示されている。また、図4のIb−Ib線における断面図を図1(b)に示している。
図5および図6は、本発明の表示装置の製造方法を示す説明図で、図1に対応する箇所における工程を示した図である。以下、工程順に説明をする。
たとえばガラスからなる基板SUB1を用意し、この基板SUB1の主表面にたとえばシリコン酸化膜からなる下地膜UGLを膜厚約300nmで形成する。下地膜UGLの上面にパターン化された金属膜(たとえばAl)からなるゲート電極GT等を膜厚約150nmで形成する。下地膜UGLの上面にゲート電極GT等を被ってたとえばシリコン酸化膜からなる絶縁膜GIを膜厚約100nmで形成する。この絶縁膜GIは薄膜トランジスタTFTの形成領域においてゲート絶縁膜として機能するようになっている。絶縁膜GIの上面にポリシリコンからなる多結晶半導体層PSとアモルファスシリコンからなる非晶質半導体層ASの順次積層体を形成する。多結晶半導体層PSと非晶質半導体層ASの順次積層体はゲート電極GTに重畳するようにして島状に形成する。多結晶半導体層PSの膜厚はたとえば約50nm、非晶質半導体層ASの膜厚はたとえば約150nmで形成する。多結晶半導体層PSはたとえば最初アモルファスシリコンを製膜した後にレーザアニール法等を用いて結晶化することにより形成できる。
基板SUB1の上面に、たとえばシリコン窒化膜からなる層間絶縁膜INを、多結晶半導体層PSと非晶質半導体層ASの順次積層体等をも被って膜厚約500nmで形成する。次に、層間絶縁膜INの上面にフォトレジストを塗布し、いわゆるハーフトーン露光を用いたフォトリソグラフィ技術により、膜厚の異なる部分を有してパターニングされたフォトレジスト膜RSTを形成する。
フォトレジスト膜RSTをマスクとし、層間絶縁膜INをエッチングする。これにより、層間絶縁膜INには、薄膜トランジスタTFTp側において該薄膜トランジスタTFTpの電極用のコンタクトホールCHが形成され、薄膜トランジスタTFTc側において前記コンタクトホールCH2が形成されるようになる。
フォトレジスト膜RSTをいわゆるハーフアッシングする。これにより、フォトレジスト膜RSTは、膜厚が薄く形成された薄膜トランジスタTFTc側において完全に除去され、膜厚が厚く形成された薄膜トランジスタTFTp側において膜厚が薄くなったフォトジスト膜RST(図中符号RST'で示す)が残存するようになる。
フォトレジスト膜RST'をマスクとして層間絶縁膜INをエッチングする。この場合のエッチングはたとえばウェットエッチングによって行うことが好適である。これにより、薄膜トランジスタTFTc側の層間絶縁膜INは除去され、薄膜トランジスタTFTp側の層間絶縁膜INは残存されるようになる。
フォトレジスト膜RST'を除去する。そして、基板SUB1の上面に、高濃度に不純物がドープされたアモルファスシリコンからなる高濃度半導体層HDS、および金属膜MTを順次形成する。高濃度半導体層HDSおよび金属膜MTの順次積層体を、フォトリソグラフィ技術による選択エッチング法を用いてパターン化する。これにより、薄膜トランジスタTFTpの各電極およびこれら電極に接続される配線、薄膜トランジスタTFTcの各電極およびこれら電極に接続される配線が形成される。
図7(a)は、本発明の表示装置の実施例2を示す構成図で、図4に対応した図となっている。図7(b)は図7(a)のVII(b)−VII(b)における断面図を示している。なお、図7(b)では、その左側に比較を容易にするため、画素内の薄膜トランジスタTFTpを併せ描画している。
図8は、本発明の表示装置の実施例3を示す構成図である。
図8(a)は、ゲートドライバGDRの一部の構成を示す平面図で、図4と対応した図となっている。図8(b)は図8(a)のVIII(b)−VIII(b)における断面図を示している。なお、図8(b)では、その左側に比較を容易にするため、画素内の薄膜トランジスタTFTpを併せ描画している。
図9は、実施例3に示した表示装置の製造方法の一実施例を示す工程図である。以下、工程順に説明をする。
たとえばガラスからなる基板SUB1を用意し、この基板SUB1の主表面にたとえばシリコン酸化膜からなる下地膜UGLを膜厚約300nmで形成する。下地膜UGLの上面にパターン化された金属膜(たとえばAl)からなるゲート電極GT等を膜厚約150nmで形成する。下地膜UGLの上面にゲート電極GT等を被ってたとえばシリコン酸化膜からなる絶縁膜GIを膜厚約100nmで形成する。この絶縁膜GIは薄膜トランジスタTFTの形成領域においてゲート絶縁膜として機能するようになる。絶縁膜GIの上面にポリシリコンからなる多結晶半導体層PSとアモルファスシリコンからなる非晶質半導体層ASの順次積層体を形成する。多結晶半導体層PSと非晶質半導体層ASの順次積層体はゲート電極GTに重畳するようにして島状に形成する。多結晶半導体層PSの膜厚は約50nm、非晶質半導体層ASの膜厚は約150nmで形成する。多結晶半導体層PSはたとえば最初アモルファスシリコンを製膜した後にレーザアニール法等を用いて結晶化することにより形成できる。
基板SUB1の上面に、たとえばシリコン窒化膜からなる層間絶縁膜INを、多結晶半導体層PSと非晶質半導体層ASの順次積層体等をも被って膜厚約500nmで形成する。次に、層間絶縁膜INの上面にフォトレジストを塗布し、通常の露光方法を用いて(ハーフトーン露光等を用いることなくの意)、パターニングされたフォトレジスト膜RSTを形成する。フォトレジスト膜RSTは、薄膜トランジスタTFTpを被い、薄膜トランジスタTFTcを露出させるように形成され、薄膜トランジスタTFTpの電極を形成すべく領域、およびコンタクトホールCH2を形成すべく領域に、それぞれ、孔開けがなされパターンとなっている。
フォトレジスト膜RSTをマスクとし層間絶縁膜INをたとえばドライエッチングする。これにより、薄膜トランジスタTFTpにおいて該薄膜トランジスタTFTpの電極用のコンタクトホールCHが形成され、薄膜トランジスタTFTcにおいて多結晶半導体層PAと非晶質半導体層ASの順次積層体が露出される。
フォトレジスト膜RSTを除去する。そして、基板SUB1の上面に、高濃度に不純物がドープされたアモルファスシリコンからなる高濃度半導体層HDS、および金属膜MTを順次形成する。高濃度半導体層HDSおよび金属膜MTの順次積層体を、フォトリソグラフィ技術による選択エッチング法を用いてパターン化する。これにより、薄膜トランジスタTFTpの各電極およびこれら電極に接続される配線、薄膜トランジスタTFTcの各電極およびこれら電極に接続される配線が形成される。
上述した実施例は、それぞれ、液晶表示装置を例に挙げて示したものである。しかし、本発明は、液晶表示装置に限らず、たとえば、有機EL表示装置にも適用できる。
上述したそれぞれの実施例では、基板としてたとえばガラスを用いたものである。しかし、これに限らず、石英ガラスあるいは樹脂を用いるようにしてもよい。石英ガラスを基板とすることによって、プロセス温度を高くして、たとえばゲート絶縁膜を緻密化でき、これにより薄膜トランジスタの特性の信頼性を向上させることができる。また、樹脂を基板とすることによって、軽量で耐衝撃性に優れた液晶表示装置を得ることができる。
上述したそれぞれの実施例では、基板の表面に形成する下地膜として酸化シリコン膜を形成したものである。しかし、これに限らず、窒化シリコン膜、あるいは酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の積層膜であってもよい。窒化シリコン膜を下地膜の一部あるいは全部に用いることにより、基板内の不純物がゲート絶縁膜中に拡散侵入してしまうのを効果的に防止することができる。同様の理由により、ゲート絶縁膜を、たとえば、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の積層膜で構成するようにしてもよい。
上述した実施例では、アモルファスシリコンを結晶化する場合、レーザアニールよって行うようにしたものである。しかし、これに限らず、熱アニールによる固相成長法を用いてもよく、熱アニールとレーザアニールを組み合わせて行うようにしてもよい。また、アモルファスシリコンを結晶化することなく、反応性熱CVDを用いてポリシリコンを直接に製膜する方法を用いるようにしてもよい。このようにした場合、結晶化工程の削減でスループットの向上が図れるようになる。ポリシリコン層として、粒径が20nmから100nm程度の微結晶シリコンであってもよい。また、シリコンとゲルマニウムの化合物であってもよく、このようにした場合、薄膜トランジスタTFTの性能を向上させることができる。
ゲート信号線、ゲート電極の材料は、上述した実施例では特に明記しなかったが、たとえば、Ti、TiW、TiN、W、Cr、Mo、Ta、Nb等からなる金属、あるいはこれらの合金を用いることができる。
Claims (6)
- 基板上において、複数の画素からなる表示部と前記表示部の周辺に形成される周辺回路を有する表示装置であって、
前記画素内に形成される薄膜トランジスタを第1薄膜トランジスタとし、前記周辺回路内に形成される薄膜トランジスタを第2薄膜トランジスタとした場合、
前記第1薄膜トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上面に、平面的に観て前記ゲート電極からはみ出すことなく、前記ゲート電極に重畳して形成された島状の半導体層と、前記半導体層の上面と共に側壁面を被って形成された絶縁膜と、前記絶縁膜に形成された一対のスルーホールのそれぞれを通して前記半導体層と電気的に接続された一対の電極とを備え、
前記半導体層は、結晶性半導体層と非晶質半導体層の順次積層体からなり、前記電極のそれぞれは、不純物がドープされた半導体層と金属層の順次積層体からなり、
前記第2薄膜トランジスタは、
ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上面に、平面的に観て前記ゲート電極に重畳するとともに前記ゲート電極の幅方向にはみ出して形成された島状の半導体層と、前記半導体層の表面に形成された一対の電極とを備え、
前記半導体層は、結晶性半導体層と非晶質半導体層の順次積層体からなり、前記電極のそれぞれは、不純物がドープされた半導体層と金属層の順次積層体であって前記ゲート電極の幅方向に延在されて形成されている第3薄膜トランジスタと、
ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上面に、平面的に観て前記ゲート電極に重畳するとともに前記ゲート電極の幅方向にはみ出して形成された島状の半導体層と、前記半導体層の上面と共に側壁面を被って形成された絶縁膜と、前記絶縁膜に形成された一対のスルーホールのそれぞれを通して前記半導体層と電気的に接続された一対の電極とを備え、
前記半導体層は、結晶性半導体層と非晶質半導体層の順次積層体からなり、前記電極のそれぞれは、不純物がドープされた半導体層と金属層の順次積層体であって前記ゲート電極の幅方向に延在されて形成されている第4薄膜トランジスタと
を備えることを特徴とする表示装置。 - 前記第3薄膜トランジスタのうち、前記一対の電極のうち一方の電極と前記ゲート電極とが電気的に接続されているものを備え、
前記一方の電極と前記ゲート電極との電気的な接続は、前記ゲート絶縁膜に形成したコンタクトホールを通して行っていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 - 前記第3薄膜トランジスタは、前記半導体層の一対の電極から露出している表面において、エッチングによって前記非晶質半導体層が露出されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示装置。
- 前記第3薄膜トランジスタは、前記半導体層の表面において部分的に前記絶縁膜が形成され、前記一対の電極の対向する端部のそれぞれは、前記絶縁膜上に乗り上げて形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の表示装置。
- 表示装置は液晶表示装置であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の表示装置。
- 表示装置は有機EL表示装置であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の表示装置。
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