JP5224127B2 - 磁気抵抗効果素子、および磁気ランダムアクセスメモリ - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態によれば磁化自由層は二層の強磁性層であるセンス層とストレージ層を備え、これらが第1の結合層により磁気結合している。センス層の磁気異方性は比較的小さく設定されることから、単層の場合には小さな磁界に敏感に応答し、磁化反転を起こす。一方ストレージ層の磁気異方性は比較的大きく設定され、磁界が印加されない場合に十分な熱安定性を保障する。センス層とストレージ層が磁気結合した系に磁界が印加されると、磁気異方性の小さなセンス層は磁界の方向を向こうとし、一方ストレージ層は磁界がある一定値以上の大きさでない限りはそのままの状態を保とうとする。ここでセンス層とストレージ層に磁気ボリュームの差がある場合、系のトータルのエネルギーを下げるために、ストレージ層の磁化はストレージ層単層では反転しない磁界においても磁化反転が起こる。
(磁気メモリセルの構造)
図1は、第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの主要な部分の構造を表す斜視図である。図2は平面図、図3は図2におけるA−A´断面図、図4は図2におけるB−B´断面図である。本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルはy軸方向に延伸して設けられる配線層10と磁気抵抗効果素子30を備えている。磁気抵抗効果素子30は磁化自由層20、絶縁層14、磁化固定層15、及び反強磁性層17を備えている。絶縁層14は、磁化自由層20と磁化固定層15に挟まれており、これら磁化自由層20、絶縁層14、磁化固定層15によって磁気トンネル接合(MTJ)が形成されている。
本発明の実施の形態に係る磁気ランダムアクセスメモリによれば、書き込み電流の低減が実現される。以下にその原理を解析的に示す。
このとき系全体のエネルギーEは、下記(1)式
E=(1/2)Hk1M1V1sin2θ1−HextM1V1cosθ1+(1/2)Hk2M2V2sin2θ2−HextM2V2cosθ2−Jcos(θ1−θ2) …(1)
で表される。ここで、Jは第1の結合層12による結合の強さを表す定数である。第1項と第3項はそれぞれセンス層11とストレージ層13の磁気異方性エネルギーを、第2項、第4項はそれぞれセンス層11とストレージ層13の外部磁界によるゼーマンエネルギーを、そして第5項は第1の結合層12によるセンス層11とストレージ層13の間の交換エネルギーを表す。
Hsw={Hk1Hk2M1M2V1V2+(Hk1M1V1+Hk2M2V2)J}/(M1M2V1V2Hk2+M1V1J) …(2)
が得られる。また、第1の結合層12による結合強度が十分に大きく、センス層11とストレージ層13の磁化が同方向を向く場合(θ1=θ2)には、反転磁界Hswは、下記(3)式
Hsw=Hk1+(M2V2/M1V1)Hk2 …(3)
で表される。
ΔE=(1/2)Hk1M1V1+(1/2)Hk2M2V2 …(4)
で与えられる。(4)式において第1項はセンス層11の単層でのエネルギーバリアを表す。この項はセンス層11の異方性磁界Hk1が極めて小さく設定されるために、小さくなる。一方(4)式の第2項はストレージ層13の単層でのエネルギーバリアを表す。この項はストレージ層13に十分な磁気異方性を付与することにより、比較的大きくすることができる。
図6には本発明の実施の形態に係る磁気ランダムアクセスメモリの情報記憶部位に相当する磁化自由層の外部磁界に対する応答の様式を検証したマイクロマグネティックシミュレーションの計算結果を示す。図6では上段にストレージ層のローカルな磁気モーメントの振る舞いが、下段にセンス層のローカルな磁気モーメントの振る舞いが示されている。
上述の解析計算、およびマイクロマグネティックシミュレーションによれば、磁化自由層20の構成は具体的には以下のような範囲にあるときに本発明の実施の形態に係る効果が得られる。まず既述のようにセンス層11の磁気異方性はストレージ層13よりも小さく、またセンス層11の飽和磁化と体積の積はストレージ層13の飽和磁化と体積の積よりも大きいことが望ましい。
次に、本実施の形態に係る磁気メモリセルの回路構成と実際のレイアウト方法の例について説明する。
以上に説明されたように、本発明の実施の形態によれば新たな磁気ランダムアクセスメモリが提供される。本発明の実施の形態に係る磁気ランダムアクセスメモリは、アレイ状に配置された複数の磁気メモリセルを有しており、各磁気メモリセルは配線層10と磁気抵抗効果素子30を備える。磁気抵抗効果素子30は磁化固定層15、絶縁層14、及び磁化自由層20を備え、磁化自由層20はセンス層11、第1の結合層12、及びストレージ層13から構成される。こうした磁気ランダムアクセスメモリにより、以下の効果が得られる。
図10は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第1の変形例の構造を表す斜視図である。図11はその磁気メモリセルのx−z断面図を示している。本変形例は、センス層11に関する変形例であり、センス層11は第1のセンス層11aと第2のセンス層11bと、それらの間に設けられる第3の結合層50により形成される。
図12は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第2の変形例の構造を表す斜視図を、また図13はそのx−z断面図を示している。本変形例は、ストレージ層13に関する変形例であり、ストレージ層13は第1のストレージ層13aと第2のストレージ層13bと、それらの間に設けられる第4の結合層51により形成される。
図14は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第3の変形例の構造を表すx−z断面図を示している。本変形例は、センス層11とストレージ層13の積層の順序に関する変形例であり、絶縁層14に隣接してセンス層11が設けられ、一方ストレージ層13はセンス層11、および第1の結合層12よりも配線層10側に設けられる。
図15は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第4の変形例の構造を表すx−z断面図を示している。本変形例はストレージ層13と、磁化固定層15および反強磁性層17の形状に関する変形例であり、それらの平面形状は異なるように設計される。
図16は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第5の変形例の構造を表すx−z断面図を示している。本変形例においては、配線層10とセンス層11の間に導電層18が設けられる。ここで導電層18は導電性の材料により構成される。また導電層18の平面形状は図ではセンス層11やストレージ層13よりも小さく描かれているが、どのような形状であっても構わない。さらに、その位置も、図ではセンス層11、および配線層10の中央に来るように描かれているが、センス層11や配線層10と接していればどのような位置に配置されても構わない。
図17は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第6の変形例の構造を表すx−z断面図を示している。本変形例はMTJの積層順序に関し、基板側からz軸の正の方向に向かって磁化固定層15、絶縁層14、磁化自由層20の順に積層した構造を有する。すなわち本変形例はボトムピン構成となる。また本変形例においては、配線層10はセンス層11に隣接して、基板から一番遠い側に設けられる。
図18は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第7の変形例の構造を表すx−z断面図を示している。本変形例は第6の変形例と同じく、MTJの積層順序に関し、基板側からz軸の正の方向に向かって磁化固定層15、絶縁層14、磁化自由層20の順に積層した構造を有する。すなわち本変形例もボトムピン構成となる。ただし、本変形例においては、配線層10は磁気抵抗効果素子30よりも基板側に設けられる。なお、図18では配線層10と反強磁性層17が隣接しているが、この間に導電層が設けられても良い。
図19は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第8の変形例の構造を表す斜視図を示しており、図20はそのx−z断面図を示している。本変形例では配線層10に対して磁気抵抗効果素子30とは反対側にヨーク層60が設けられている。ヨーク層60は強磁性体から構成され、配線層10に電流が流れていないときはy軸に沿って正か負のいずれかの方向に磁化されている。好適にはヨーク層60はy軸方向に大きな磁気異方性を有する。ヨーク層60は配線層10に電流が流れたときは、その磁化はx−y面内で回転し、x方向に磁界を発生させる。これによって発生する磁界は、磁化自由層20の位置においては配線層10による電流によって誘起される磁界と同方向となる。なお、ヨーク層60は配線層10と平面形状において同一でも良いし、異なっていても良い。
図23は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第9の変形例の構造を表す斜視図を示しており、図24はそのx−z断面図を示している。本変形例ではセンス層11は配線層10のうちの基板側の一面を除く3面を被覆した構造を有する。この場合もセンス層11の磁気異方性は、y方向の長さを適当に設定することなどにより、小さく設計される。なお、本変形例はセンス層11がストレージ層13とは反対側の1面を除く3面のうちの少なくとも一部を被覆していればよい。
図25は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第10の変形例の構造を表す斜視図を、図26はそのx−z断面図を、及び図27はそのy−z断面図を示している。
図31は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第11の変形例の構造を表すy−z断面図を示している。本変形例においては、配線層10の少なくとも一部分に発熱層80が設けられることを特徴とする。好適には発熱層80はx−y平面において少なくとも一部分がセンス層11にオーバーラップするように設けられる。発熱層80は導電性の材料から構成され、かつ配線層10に比べて抵抗率が大きい。具体的には、Ta、W、Tiなどが例示される。これによって配線層10に書き込み電流が流れたとき、発熱層80において電流によるジュール熱が発生し、その熱は磁化自由層20に伝わる。
図34は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第12の変形例の構造を表すx−y平面図を示している。本変形例はセンス層11の平面形状、および配線層10との平面形状の関係に関する。図34に示されるように、センス層11の平面形状は、(a)のように円形であるほかに、(b)、(c)のようにx軸、およびy軸の方向に長軸を持つ楕円により構成されてもよい。またセンス層11と配線層10のx−y面内における平面形状の関係は、(d)のように配線層10に比べてその幅が小さくてもよい。逆に(e)のように大きくても良い。(b)、(c)のように楕円の形状を変化させることによって、磁化自由層20全体の磁気特性、特に異方性磁界を調整することができる。
図39は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第13の変形例の構造を表すx−y平面図を示している。本変形例はストレージ層13の平面形状に関する。図のようにストレージ層39の平面形状を適切に設計することによって、ストレージ層13の安定な磁化状態、磁気異方性の大きさ、および磁化自由層20全体の磁気特性を調整することができる。またセンス層11の安定な磁化状態をコントロールしたり、反転経路を限定したりすることもできる。
図40、図41は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第14の変形例の構造を表すx−y平面図を示している。本変形例は、センス層11、およびストレージ層13の磁化容易軸の方向に関する。図40には、センス層11の磁化容易軸方向111がx軸、およびy軸に対して傾斜して設計される変形例が示されており、図41には、ストレージ層13の磁化容易軸方向112がx軸、およびy軸に対して傾斜して設計される変形例が示されている。それぞれの磁化容易軸の方向はx−y平面内においてどのような方向を向いていてもよい。また、図示はされていないが、センス層11の磁化容易軸方向111、およびストレージ層112の磁化容易軸方向112のいずれもがx軸、およびy軸に対して同じ、もしくは異なる角度で傾斜していてもよい。
図42は本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルの第15の変形例の構造を表すx−y平面図を示している。本変形例は、センス層11のナノメートルレンジでの組織に関する。センス層11は図42の(a)に示されるように強磁性相91のナノメートルレンジの粒子が非磁性相90のマトリックス中に分散していたり、(b)に示されるように強磁性相91と非磁性相90がナノメートルレンジで互いにネットワークを組むように相分離していたり、あるいは(c)のように非磁性相90のナノメートルレンジの粒子が強磁性相91のマトリックス中に分散していたりしてもよい。なお、ここでいうナノメートルレンジの粒子のサイズとしては0.5−100[nm]程度が好適である。これは、このようなサイズにおいてはバルクとは異なる物性が発現されるためである。
次に、第2の実施の形態に係る磁気メモリセルについて説明する。図43は、磁気メモリセルの主要な部分の構造を表す斜視図である。図44は平面図、図45は図44におけるA−A´断面図、図46は図44におけるB−B´断面図である。本発明の第2の実施の形態に係る磁気メモリセルの本発明の第1の実施の形態に係る磁気メモリセルに対する違いは、第2の配線層200が磁化自由層20の近傍に設けられることにある。第2の配線層200は配線層10に対してx−y平面においてほぼ直交する。第2の配線層200は導電性の材料から構成される。具体的にはAl、Cuなどが例示される。
(基本構成と動作原理及び効果)
次に、第3の実施の形態に係る磁気メモリセルの構造を表すx−z断面図を図52に示す。第3の実施の形態によれば、磁化自由層20の磁化反転のために、配線層10によって誘起される磁界の他にMTJを貫通するスピン偏極電流によるスピントルクトランスファーの効果を用いる。後者の効果はいわゆるスピン注入である。
図53は本発明の第3の実施の形態に係る磁気メモリセルの第1の変形例の構造を表す斜視図を、図54はそのx−y平面図を、図55はそのx−z断面図を、そして図56はそのy−z断面図を示している。本変形例はストレージ層13、および磁化固定層15の磁化容易軸方向に関し、それらの磁化容易軸方向は配線層10の長手方向とほぼ平行に設計される。
(基本構成と動作原理及び効果)
また、近年上述のスピン注入方式と同様なスピントルクトランスファーの効果を用いた現象として、電流駆動磁壁移動現象が報告されている。これは、磁壁を含む磁性細線中に細線の長手方向に電流を流すと、スピン偏極した伝導電子が磁壁内の磁気モーメントに影響(圧力)を及ぼし、磁壁が伝導電子の流れの方向と同方向に移動するという現象である。
図61は本発明の第4の実施の形態に係る磁気メモリセルの第1の変形例の構造を表すx−y平面図を示している。本実施の形態においては広義のストレージ層13fと配線層10は電気的に接続される。
図62は本発明の第4の実施の形態に係る磁気メモリセルの第2の変形例の構造を表す斜視図を、図63はそのx−y平面図を、図64は図63におけるB−B′断面図(y−z断面図)を示している。本変形例は第3の実施の形態に係る磁気メモリセルの第1の変形例に類似する。本変形例においては、広義のストレージ層13fの長手方向は配線層10と同じくy軸方向にほぼ平行に設けられる。また、磁化固定層15、ストレージ層13c´の磁気異方性はy軸方向にほぼ平行に設けられる。
Claims (26)
- 反転可能な磁化を有する磁化自由層と、
前記磁化自由層に隣接する絶縁層と、
前記絶縁層の前記磁化自由層と反対側に隣接し、磁化がほぼ一方向に固定された磁化固定層を具備し、
前記磁化自由層は、
センス層と、
前記センス層に隣接する第1の結合層と、
前記第1の結合層の前記センス層と反対側に隣接するストレージ層を具備し、
前記センス層と前記ストレージ層は前記第1の結合層を介して少なくとも一部分が磁気的に結合しており、
前記ストレージ層の磁気異方性は前記センス層の磁気異方性よりも大きく、
前記センス層の飽和磁化と体積の積は、前記ストレージ層の飽和磁化と体積の積よりも大きく、
前記センス層の面積は前記ストレージ層の面積よりも大きい
磁気抵抗効果素子。 - 前記ストレージ層は、その長軸方向をA方向とし、その短軸方向をB方向としたとき、A方向の長さのB方向の長さに対する比が5以下であり、
前記センス層は、A方向の長さのB方向の長さに対する比が0.5以上2.0以下であり、
前記センス層の飽和磁化と体積の積は、前記ストレージ層の飽和磁化と体積の積よりも大きい
請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記ストレージ層は、
その長軸方向をA方向とし、その短軸方向をB方向としたとき、
A方向の長さのB方向の長さに対する比が5以下であり、
B方向の長さは0.1μm以上0.4μm以下であり、
膜厚は0.5nm以上5.0nm以下であり、
前記センス層は、
A方向の長さのB方向の長さに対する比が0.5以上2.0以下であり、
短軸方向への長さは0.4μm以上1.2μm以下であり、
膜厚は0.5nm以上である
請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記センス層、または前記ストレージ層のうちの少なくとも一つが楕円以外の平面形状を有し、
磁界が印加されていない時に前記センス層がS磁区となる
請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記磁化固定層、前記センス層、または前記ストレージ層のうちの少なくとも一つが、複数の強磁性層から構成され、
前記複数の強磁性層のうち隣り合う層は結合層を介して磁気的に結合している
請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記ストレージ層が前記絶縁層に隣接して設けられる
請求項1乃至5のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記センス層が、ナノコンポジット材料から構成される
請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗素子の一端に電気的に接続された第1の配線層を具備し、
前記第1の配線層の長手方向をY方向とし、前記磁気抵抗効果素子の積層方向に垂直な面内においてY方向に直交する方向をX方向としたとき、前記ストレージ層の磁気異方性は前記X方向成分を有し、
当該磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層に電流を流すことにより誘起される磁界を前記磁化自由層に印加し、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記磁気抵抗効果素子と前記第1の配線層の間に導電層を具備する
請求項8記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の一端に電気的に接続された第1の配線層と、
前記磁気抵抗効果素子の近傍に配置された第2の配線層を具備し、
当該磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層と前記第2の配線層に電流を流すことにより誘起される磁界を前記磁化自由層に印加し、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、
前記第1の配線層に電流を流すことにより前記磁化自由層に誘起される磁界と、前記磁化自由層と前記絶縁層と前記磁化固定層の間を貫通するスピン偏極した電流によって前記磁化自由層の磁気モーメントに及ぼされるトルクとによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
請求項8または9に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の一端に電気的に接続された第1の配線層を具備し、
前記第1の配線層の長手方向をY方向とし、前記磁気抵抗効果素子の積層方向に垂直な面内においてY方向に直交する方向をX方向としたとき、前記ストレージ層の磁気異方性は前記X方向成分を有するように設けられ、
当該磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層に電流を流すことにより前記磁化自由層に誘起される磁界と、前記磁化自由層と前記絶縁層と前記磁化固定層の間を貫通するスピン偏極した電流によって前記磁化自由層の磁気モーメントに及ぼされるトルクとによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子の一端に電気的に接続された第1の配線層を具備し、
前記第1の配線層の長手方向をY方向としたとき、
前記ストレージ層の磁気異方性は前記Y方向に対して略平行に設けられ、
当該磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層に電流を流すことにより前記磁化自由層に誘起される磁界と、前記磁化自由層と前記絶縁層と前記磁化固定層の間を貫通するスピン偏極した電流によって前記磁化自由層に及ぼされるトルクとによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記ストレージ層は、一方の端部に、一方向に固定された磁化を有する第1の磁化固定領域を有し、他方の端部に、一方向に固定された磁化を有する第2の磁化固定領域を有し、
前記第1の磁化固定領域と前記第2の磁化固定領域の磁化は、いずれも前記ストレージ層に向かう方向、またはいずれも前記ストレージ層から離れる方向に固定されている
請求項8または9に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層に電流を流すことにより前記磁化自由層に誘起される磁界と、前記ストレージ層内を流れるスピン偏極した電流によって前記ストレージ層に形成される磁壁に働く圧力とによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
請求項14に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記第1の配線層の長手方向をY方向としたとき、前記ストレージ層の磁気異方性は前記Y方向に対して垂直成分を有するように設けられ、
当該磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層に電流を流すことにより前記磁化自由層に誘起される磁界と、前記ストレージ層内を流れるスピン偏極した電流によって前記ストレージ層に形成される磁壁に働く圧力とによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
請求項14に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記第1の配線層の長手方向をY方向としたとき、前記ストレージ層の磁気異方性は前記Y方向に対して略平行に設けられ、
当該磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記第1の配線層に電流を流すことにより前記磁化自由層に誘起される磁界と、前記ストレージ層内を流れるスピン偏極した電流によって前記ストレージ層に形成される磁壁に働く圧力とによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行う
請求項14に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記第1の配線層の長手方向をY方向とし、Y方向に直交する方向をX方向としたとき、前記センス層、または前記ストレージ層のうちの少なくとも一つにおける磁化容易軸方向が、X方向成分、Y方向成分の両方を有する
請求項8乃至17のいずれかに記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記第1の配線層に対して、前記磁気抵抗効果素子の側を除く面に、少なくとも一層の強磁性層を含むヨーク層を具備する
請求項8乃至18のいずれかに記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記センス層が、前記第1の配線層の少なくとも3面において設けられる
請求項8乃至19のいずれかに記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記センス層は、
前記第1の配線層に対して前記磁化固定層が配置される側に配置された第3のセンス層と、
前記磁化固定層が配置される側と反対側に配置された第4のセンス層とを含む
請求項8乃至18のいずれかに記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記第3のセンス層の飽和磁化と体積の積と前記ストレージ層の飽和磁化と体積の積との和が前記第4のセンス層の飽和磁化と体積の積の0.5倍から1.5倍である
請求項21に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記第1の配線層の少なくとも一部分が、前記第1の配線層のそれ以外の部分に比べて抵抗が高く設計される
請求項8乃至22のいずれかに記載の磁気ランダムアクセスメモリ。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子を具備し、
前記ストレージ層は、一方の端部に、一方向に固定された磁化を有する第1の磁化固定領域を有し、他方の端部に、一方向に固定された磁化を有する第2の磁化固定領域を有し、
前記第1の磁化固定領域と前記第2の磁化固定領域の磁化は、いずれも前記ストレージ層に向かう方向、またはいずれも前記ストレージ層から離れる方向に固定され、
前記磁気抵抗効果素子への情報の書き込みは、前記ストレージ層に電流を流すことにより前記センス層に磁界が印加されることによって前記センス層の磁化が回転した結果、前記第1の結合層を介してもたらされる前記ストレージ層への磁気的な影響と、前記ストレージ層内を流れるスピン偏極した電流によって前記ストレージ層に形成される磁壁に働く圧力とによって、前記ストレージ層の磁化をスイッチングすることにより行われる
磁気ランダムアクセスメモリ。 - 前記センス層のアスペクト比が前記ストレージ層のアスペクト比よりも小さいことを特徴とする
請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記ストレージ層は基板平行平面内において前記センス層内に収まることを特徴とする
請求項3記載の磁気抵抗効果素子。
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