JP5223193B2 - ポリカルボシラン及びその製造方法並びに絶縁性材料 - Google Patents

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Description

本発明は、汎用有機溶媒に対する溶解性及び耐熱性に優れるポリカルボシラン及びその製造方法並びに絶縁性材料に関する。
高分子主鎖がケイ素原子及び芳香族環を含む繰り返し構造からなるポリ(ジメチルシリレンフェニレン)は、耐熱性材料として知られている(例えば、山口ら、高分子化学[29]p.546及びp.665(1972) 社団法人高分子学会編)。
また、ポリ(ジメチルシリレンフェニレン)の製造方法は、例えば、特開昭58−55007号に開示されている。
ポリ(ジメチルシリレンフェニレン)のような耐熱性材料を電子材料へ積極的に展開するためには、汎用有機溶媒に対する溶解性が高いことが必要である。
しかし、ポリ(ジメチルシリレンフェニレン)は、剛直な主鎖を有するため結晶性が高く、クロロホルムのような塩素系溶媒にのみ溶解性を示し、汎用有機溶媒に対する溶解性が乏しいという問題がある。また、より優れた耐熱性を有する材料が求められている。
本発明者らは、ポリシリレンフェニレンの繰り返し単位において、比較的炭素数の大きいアルキル基がSiに結合したシリレンフェニレン基を存在させることにより、汎用有機溶媒に対する溶解性及び耐熱性に優れることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明は以下の通りである。
1.下記繰り返し単位[1]及び下記繰り返し単位[2]からなり、上記繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、20モル%以上であるポリカルボシラン。
Figure 0005223193
(式中、Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表す。)
2.上記繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、50モル%以上100モル%未満である上記1記載のポリカルボシラン。
3.ナトリウムの濃度が5重量ppb未満である上記1又は2記載のポリカルボシラン。
4.下記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシラン及び下記一般式(2)で表されるジメチルジハロゲノシラン、並びに下記一般式(3)で表されるハロゲン化アリールとを、上記ジアルキルジハロゲノシランの反応仕込み比が、該ジアルキルジハロゲノシラン及び該ジメチルジハロゲノシランの合計量を基準として、0.2(モル/モル)以上となるようにして反応させる工程を備えるポリカルボシランの製造方法。
Figure 0005223193
(式中、Xはハロゲン原子を表し、2つのXは同一でも異なっていてもよい。Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
Figure 0005223193
(式中、X及びXは、ハロゲン原子を表し、同一でも異なっていてもよく、Xの置換位置は、Xに対しオルト、メタ及びパラのいずれでもよい。)
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表し、Xはハロゲン原子を表し、2つのXは同一でも異なっていてもよい。)
5.更に、ポリカルボシランを有機溶媒により溶かした溶液をイオンフィルターにより濾過する工程を備える上記4記載のポリカルボシランの製造方法。
6.上記濾過により、ナトリウムの濃度を5重量ppb未満にする上記5記載のポリカルボシランの製造方法。
7.上記ジアルキルジハロゲノシランの反応仕込み比が、該ジアルキルジハロゲノシラン及び該ジメチルジハロゲノシランの合計量を基準として、0.5(モル/モル)以上である上記4乃至6のいずれかに記載のポリカルボシランの製造方法。
8.下記繰り返し単位[1]及び下記繰り返し単位[2]からなり、上記繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、20モル%以上であり、且つナトリウムの濃度が5重量ppb以下のポリカルボシランであることを特徴とする絶縁性材料。
Figure 0005223193
(式中、Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表す。)
本発明のポリカルボシランは、特定の繰り返し単位を有することにより、汎用の有機溶媒に対する溶解性に優れるため、耐熱性材料として各種用途への応用が容易である。また、耐熱性にも優れるため、繊維、熱硬化性樹脂組成物等に好適である。特に、繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、20モル%以上である場合には、窒素雰囲気下における5%重量損失温度(Td5)を350℃以上とすることができ、耐熱性に一段と優れる。
本発明のポリカルボシランの製造方法によれば、上記ポリカルボシランを容易に製造することができる。よって、安価で且つ汎用の有機溶媒に対する溶解性及び耐熱性に優れるポリカルボシランが提供される。
また、ポリカルボシランを有機溶媒により溶かした溶液をイオンフィルターにより濾過する工程を備える場合には、金属成分の濃度を容易に5ppb以下に低減することができ、絶縁性材料として特に有用である。
実験例1で得られたカルボシランのH−NMRスペクトルを示す。
1.ポリカルボシラン
本発明のポリカルボシランは、下記繰り返し単位[1]を含む。
Figure 0005223193
(式中、Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
上記繰り返し単位[1]において、Rとしては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基が挙げられる。また、Rとしては、炭素数が、通常、2〜6のアルキル基である。
上記の置換基R及びRは、異なるアルキル基である
本発明のポリカルボシランは、更に、下記繰り返し単位[2]を含
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表す。)
本発明のポリカルボシラン、繰り返し単位[1]及び[2]からなる。繰り返し単位[1]の含有割合は、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、20モル%以上、好ましくは30モル%以上100モル%未満、更に好ましくは50モル%以上100モル%未満である。繰り返し単位[1]の含有割合が多いほど、耐熱性に優れ、また、汎用の有機溶媒、例えば、テトラヒドロフラン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジメチルエーテル、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等に対する溶解性に優れ、高濃度溶液を調製することもできるため、広い用途に好適となる。
尚、本発明のポリカルボシランが、繰り返し単位[1]及び[2]からなり、重合体構造は、ランダム型及びブロック型のいずれでもよい。
上記ポリカルボシランは、繰り返し単位[1]及び[2]の各1種からなる重合体であってよいし、いずれか一方が2種以上を含む重合体であってよいし、両方が2種以上を含む重合体であってもよい。
本発明のポリカルボシランの重量平均分子量Mwは、通常、2,000〜10,000である。このMwが小さすぎると、耐熱性に劣る傾向がある。
また、このMwと、数平均分子量Mnとの比Mw/Mn(多分散度)は、1.5〜5である。
尚、Mw及びMnは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定することができる。
2.ポリカルボシランの製造方法
本発明のポリカルボシランの製造方法は、下記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシランと、下記一般式(3)で表されるハロゲン化アリールとを反応させる工程(以下、「反応工程」ともいう。)を備える。
Figure 0005223193
(式中、Xはハロゲン原子を表し、2つのXは同一でも異なっていてもよい。Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
Figure 0005223193
(式中、X及びXは、ハロゲン原子を表し、同一でも異なっていてもよく、Xの置換位置は、Xに対しオルト、メタ及びパラのいずれでもよい。)
上記一般式(1)におけるR及びRは、上記繰り返し単位[1]におけるR及びRをそのまま適用することができる。
また、上記一般式(1)におけるXは、ハロゲン原子であり、塩素原子、臭素原子及び沃素原子が挙げられる。尚、2つのXは同一でも異なっていてもよい。
上記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシランとしては、メチルプロピルジクロロシラン、メチルイソプロピルジクロロシラン、メチルブチルジクロロシラン、メチルペンチルジクロロシラン、メチルヘキシルジクロロシラン、メチル(2−エチルブチル)ジクロロシラン、エチル(2−エチルブチル)ジクロロシラン等が挙げられる。これらのうち、下記式(5)で表されるメチルプロピルジクロロシランが好ましい。また、これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表し、Prはプロピル基を表す。)
反応工程において、上記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシランのみを用いた場合には、上記繰り返し単位[1]のみを含むポリカルボシランが得られる。
本発明においては、上記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシランと、下記一般式(2)で表されるジメチルジハロゲノシランとを併用することにより、上記繰り返し単位[1]及び[2]を含むポリカルボシランを得ることができる。
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表し、Xはハロゲン原子を表し、2つのXは同一でも異なっていてもよい。)
上記一般式(2)で表されるジメチルジハロゲノシランとしては、ジメチルジクロロシラン、ジメチルジブロモシラン等が挙げられる。これらのうち、下記式(4)で表されるジメチルジクロロシランが好ましい。また、これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Figure 0005223193
(式中、Meはメチル基を表す。)
上記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシランと、上記一般式(2)で表されるジメチルジハロゲノシランとを併用する場合には、該ジアルキルジハロゲノシランの反応仕込み比が、該ジアルキルジハロゲノシラン及び該ジメチルジハロゲノシランの合計量を基準として、好ましくは0.2(モル/モル)以上、より好ましくは0.3(モル/モル)以上、更に好ましくは0.5(モル/モル)以上となるように用いる。
次に、上記一般式(3)におけるX及びXは、ハロゲン原子であり、塩素原子、臭素原子及び沃素原子が挙げられる。尚、X及びXは同一でも異なっていてもよく、Xの置換位置は、Xに対しオルト、メタ及びパラのいずれでもよい。
上記一般式(3)で表されるハロゲン化アリールとしては、1,2−ジクロロベンゼン、1,3−ジクロロベンゼン、1,4−ジクロロベンゼン、1,2−ジブロモベンゼン、1,3−ジブロモベンゼン、1,4−ジブロモベンゼン、1,2−ジヨードベンゼン、1,3−ジヨードベンゼン、1,4−ジヨードベンゼン等が挙げられる。これらのうち、下記式(6)で表されるジブロモベンゼンが好ましい。また、これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Figure 0005223193
上記反応工程における好ましい製造方法は、以下の4段階のプロセスからなる。
プロセス〔1〕:反応容器にマグネシウム及び有機溶媒を加え、例えば、ジブロモエタンにより活性化させた後、別途調製した溶液〔上記一般式(1)、(2)及び(3)で表された化合物を有機溶媒中で混合液としたもの〕を反応容器内の活性化溶液に滴下し、グリニャール反応を行わせる。
プロセス〔2〕:反応終了後、エーテル類及び水を加え、生成したマグネシウム塩を水に溶かし、2層(有機層/水層)の溶液とする。
プロセス〔3〕:塩酸等の酸の水溶液で有機層を洗浄後、水層が中性となるまで水洗し、有機層を乾燥させる。
プロセス〔4〕:有機溶媒を脱溶後、オリゴマー(低分子量成分)をカットし、ポリカルボシランを得る。
上記プロセス〔1〕において用いる有機溶媒としては、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル等のエーテル類等が挙げられる。これらのうち、反応制御のし易さから、テトラヒドロフランが最も好ましい。また、これらは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
このプロセス〔1〕により、上記一般式(1)、(2)及び(3)で表された化合物から、ポリシリレンフェニレンの主鎖骨格を構築することができる。
上記プロセス〔2〕において用いるエーテル類としては、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル等が挙げられる。これらのうち、ジイソプロピルエーテルが好ましい。
上記プロセス〔3〕において用いる塩酸水溶液等は、通常、その濃度が、0.1〜3Nであるものを用いる。
上記プロセス〔4〕においてオリゴマーカット(低分子量成分除去)を行う場合には、反応生成物の溶液を、メタノール、エタノール、n−プロパノール、i−プロパノール、ブタノール等のアルコール類;ペンタン、n−ヘキサン等の炭化水素系溶媒中に投入して、低分子量成分を溶解させ、目的とするポリカルボシランと分離する。
上記プロセス〔4〕の後得られたポリカルボシランは、通常、Na、Mg、Al、K等の金属成分を、それぞれ、10〜100質量ppbの濃度で含む。従って、上記プロセス〔4〕の直前及び/又は直後に、得られたポリカルボシランを、プロピレングリコールジメチルエーテル等の有機溶媒に溶かして調製された溶液を、イオンフィルターにより濾過する工程(以下、「濾過工程」ともいう。)を備えることが好ましい。
このイオンフィルターとしては、市販のものを用いることができる。この濾過工程により、金属成分の濃度を容易に5ppb以下に低減することができる。金属成分濃度の低いポリカルボシランは、絶縁性材料として特に有用である。
本発明のポリカルボシランは、前記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシラン及び前記一般式(2)で表されるジメチルジハロゲノシラン、並びに前記一般式(3)で表されるハロゲン化アリールを、前記ジアルキルジハロゲノシランの反応仕込み比が、前記ジアルキルジハロゲノシラン及び前記ジメチルジハロゲノシランの合計量を基準として、0.2(モル/モル)以上となるようにして反応させて得られた、前記繰り返し単位[1]及び前記繰り返し単位[2]からなるものとすることができる。該ポリカルボシランの製造方法は、前記記載を適用することができる。
以下、実例によって、本発明を具体的に説明するが、本発明は、これら実例のみに限定されるものではない。また、実験例3、4、5及び8は実施例であり、実験例1、2、6及び7は参考例である。
1.ポリカルボシランの製造
例1(メチルプロピルジクロロシラン:ジメチルジクロロシラン=10:0)
滴下ロート、磁気撹拌子及び冷却管を備えた反応容器に、36.0gのマグネシウム(1,480mmol)と、120gのテトラヒドロフランとを仕込み、室温で攪拌した。その後、反応容器に1.0ミリリットルの1,2−ジブロモエタンを加えてマグネシウムを活性化させた。次いで、別途調製した溶液(160.4gの1,4−ジブロモベンゼン(680mmol)及び106.8gのメチルプロピルジクロロシラン(680mmol)を280gのテトラヒドロフランに溶解させたもの)を滴下ロートから、ゆっくり滴下した。発熱を確認し、滴下が終了したところで、オイルバス(100℃)をセットし、加熱還流を3時間行った。その後、ガスクロマトグラフィーにて原料が消失していることを確認した。
窒素雰囲気中、室温で一晩熟成後、反応液に400gのジイソプロピルエーテル及び400gの純水を加え、マグネシウム塩を溶解させ、反応液全量を分液ロートに移した。次いで、水層を分離し、有機層を400gの1N−HCl水溶液で洗浄した。その後、有機層を400gの純水で5回洗浄した。水層が中性になるまで水洗した。
有機層を回収し、無水硫酸マグネシウムを加え脱水した。その後、減圧下で、溶媒を留去し、反応生成物(樹脂)を40gのテトラヒドロフランに溶かした。次いで、この溶液を、800gのイソプロピルアルコールに滴下し、オリゴマー成分を除去し、淡黄色の粘性物を得た。収率は73%であった。
この淡黄色粘性物について、H−NMR(270MHz)の測定を行ったところ、図1に示すスペクトルが得られ、下記繰り返し単位を有する高分子化合物であることが分かった。図1のスペクトルにおけるδ値及びその帰属を、表1に示す。
また、GPCにより、Mw=3,900及びMw/Mn=2.3を得た。
Figure 0005223193
Figure 0005223193
例2(メチルプロピルジクロロシラン:ジメチルジクロロシラン=10:0)
例1における原料の仕込みにおいて、46.8gのマグネシウム(1,925mmol)、210.0gの1,4−ジブロモベンゼン(890mmol)及び139.8gのメチルプロピルジクロロシラン(890mmol)とした以外は、実例1と同様な方法で合成した。収率は80%であった。
得られた高分子化合物について、Mw=4,000及びMw/Mn=1.9を得た。
例3(メチルプロピルジクロロシラン:ジメチルジクロロシラン=7:3)
例1における原料の仕込みにおいて、9.0gのマグネシウム(370mmol)、40.0gの1,4−ジブロモベンゼン(170mmol)、18.7gのメチルプロピルジクロロシラン(119mmol)及び6.6gのジメチルジクロロシラン(51mmol)とした以外は、実例1と同様な方法で合成した。収率は38%であった。
得られた高分子化合物について、Mw=5,400及びMw/Mn=1.9を得た。
例4(メチルプロピルジクロロシラン:ジメチルジクロロシラン=3:7)
例1における原料の仕込みにおいて、9.0gのマグネシウム(370mmol)、40.0gの1,4−ジブロモベンゼン(170mmol)、8.0gのメチルプロピルジクロロシラン(51mmol)、15.4gのジメチルジクロロシラン(119mmol)とした以外は、実例1と同様な方法で合成した。収率は58%であった。
得られた高分子化合物について、Mw=5,500及びMw/Mn=1.9を得た。
比較例1(メチルプロピルジクロロシラン:ジメチルジクロロシラン=0:10)
滴下ロート、磁気撹拌子及び冷却管を備えた反応容器に、9.0gのマグネシウム(370mmol)と、30gのテトラヒドロフランとを仕込み、室温で攪拌した。その後、反応容器に0.25ミリリットルの1,2−ジブロモエタンを加えてマグネシウムを活性化させた。次いで、別途調製した溶液(40.0gの1,4−ジブロモベンゼン(170mmol)及び21.8gのジメチルジクロロシラン(170mmol)を70gのテトラヒドロフランに溶解させたもの)を滴下ロートから、ゆっくり滴下した。発熱を確認し、滴下が終了したところで、オイルバス(100℃)をセットし、加熱還流を3時間行った。その後、ガスクロマトグラフィーにて原料が消失していることを確認した。
一晩熟成後、反応液に100gのジイソプロピルエーテル及び100gの純水を加え、マグネシウム塩を溶解させ、反応液全量を分液ロートに移した。次いで、水層を分離し、有機層を100gの1N−HCl水溶液で洗浄した。その後、有機層を100gの純水で5回洗浄した。水層が中性になるまで水洗した。
有機層を回収し、無水硫酸マグネシウムを加え脱水した。その後、減圧下で、溶媒を留去し、反応生成物(樹脂)を40gのテトラヒドロフランに溶かした。次いで、この溶液を、800gのイソプロピルアルコールに滴下し、オリゴマー成分を除去し、淡黄色の粘性物を得た。収率は20%であった。
得られた高分子化合物について、Mw=3,300及びMw/Mn=3.5を得た。
比較例2(メチルプロピルジクロロシラン:ジメチルジクロロシラン=1:9)
滴下ロート、磁気撹拌子及び冷却管を備えた反応容器に、9.0gのマグネシウム(370mmol)と、30gのテトラヒドロフランとを仕込み、室温で攪拌した。その後、反応容器に0.25ミリリットルの1,2−ジブロモエタンを加えてマグネシウムを活性化させた。次いで、別途調製した溶液(40.0gの1,4−ジブロモベンゼン(170mmol)、2.67gのメチルプロピルジクロロシラン(17mmol)及び19.8gのジメチルジクロロシラン(153mmol)を70gのテトラヒドロフランに溶解させたもの)を滴下ロートから、ゆっくり滴下した。発熱を確認し、滴下が終了したところで、オイルバス(100℃)をセットし、加熱還流を3時間行った。ガスクロマトグラフィーにて原料が消失していることを確認した。
一晩熟成後、反応液に100gのジイソプロピルエーテル及び100gの純水を加え、マグネシウム塩を溶解させ、反応液全量を分液ロートに移した。次いで、水層を分離し、有機層を100gの1N−HCl水溶液で洗浄した。その後、有機層を100gの純水で5回洗浄した。水層が中性になるまで水洗した。
有機層を回収し、無水硫酸マグネシウムを加え脱水した。その後、減圧下で、溶媒を留去し、反応生成物(樹脂)を40gのテトラヒドロフランに溶かした。次いで、このお湯液を、800gのイソプロピルアルコールに滴下し、オリゴマー成分を除去し、淡黄色の粘性物を得た。収率は20%であった。
得られた高分子化合物について、Mw=3,900及びMw/Mn=1.8であった。
2.ポリカルボシランの評価
例5(有機溶媒への溶解性評価)
上記の実例1〜4及び比較例1〜2で得られたポリカルボシラン10mgを各種有機溶媒90mgと混合し、25℃における溶解性を肉眼で観察して評価した。
結果を以下の表2にまとめた。尚、有機溶媒を表す略号の意味は、以下の通りである。
THF:テトラヒドロフラン
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
PGDM:プロピレングリコールジメチルエーテル
MIBK:メチルイソブチルケトン
MEK:メチルエチルケトン
Figure 0005223193
例6
上記実例1で得られた生成物をPGDMに溶解させて濃度20重量%とし、これを0.2μmメンブレンフィルターで濾過した後、イオンフィルターで濾過した。各段階におけるNa、Mg、Al及びKの濃度をICP−MSにより測定し、その結果を表3に示した。
Figure 0005223193
表3から明らかなように、イオンフィルターを用いたことにより、Na、Mg、Al及びKの各金属の濃度を5重量ppb未満に低減できた。
例7
上記実例1で得られた生成物について熱重量分析を行い、初期重量の5%が損失する温度(5%重量損失温度 Td5)を、窒素雰囲気及び空気雰囲気のもとで測定した。尚、このTd5は、熱重量/示差熱分析装置(セイコーインスツルメンツ社製)を用い、昇温速度10℃/分で室温から昇温することにより測定した。
その結果、窒素雰囲気下では、377℃であり、空気中では378℃であった。
例8
上記実例4で得られた生成物について熱重量分析を行い、初期重量の5%が損失する温度(5%重量損失温度 Td5)を測定した。
その結果、窒素雰囲気下では、375℃であり、空気中では347℃であった。
上記実例7及び8の結果から明らかなように、本発明のポリカルボシランは、優れた耐熱性を有する。

Claims (8)

  1. 下記繰り返し単位[1]及び下記繰り返し単位[2]からなり、上記繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、20モル%以上であるポリカルボシラン。
    Figure 0005223193
    (式中、Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
    Figure 0005223193
    (式中、Meはメチル基を表す。)
  2. 上記繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、50モル%以上100モル%未満である請求項1記載のポリカルボシラン。
  3. ナトリウムの濃度が5重量ppb未満である請求項1又は2記載のポリカルボシラン。
  4. 下記一般式(1)で表されるジアルキルジハロゲノシラン及び下記一般式(2)で表されるジメチルジハロゲノシラン、並びに下記一般式(3)で表されるハロゲン化アリールとを、上記ジアルキルジハロゲノシランの反応仕込み比が、該ジアルキルジハロゲノシラン及び該ジメチルジハロゲノシランの合計量を基準として、0.2(モル/モル)以上となるようにして反応させる工程を備えるポリカルボシランの製造方法。
    Figure 0005223193
    (式中、Xはハロゲン原子を表し、2つのXは同一でも異なっていてもよい。Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
    Figure 0005223193
    (式中、X及びXは、ハロゲン原子を表し、同一でも異なっていてもよく、Xの置換位置は、Xに対しオルト、メタ及びパラのいずれでもよい。)
    Figure 0005223193
    (式中、Meはメチル基を表し、Xはハロゲン原子を表し、2つのXは同一でも異なっていてもよい。)
  5. 更に、ポリカルボシランを有機溶媒により溶かした溶液をイオンフィルターにより濾過する工程を備える請求項4記載のポリカルボシランの製造方法。
  6. 上記濾過により、ナトリウムの濃度を5重量ppb未満にする請求項5記載のポリカルボシランの製造方法。
  7. 上記ジアルキルジハロゲノシランの反応仕込み比が、該ジアルキルジハロゲノシラン及び該ジメチルジハロゲノシランの合計量を基準として、0.5(モル/モル)以上である請求項4乃至6のいずれかに記載のポリカルボシランの製造方法。
  8. 下記繰り返し単位[1]及び下記繰り返し単位[2]からなり、上記繰り返し単位[1]の含有割合が、上記の繰り返し単位[1]及び繰り返し単位[2]の合計100モル%に対し、20モル%以上であり、且つナトリウムの濃度が5重量ppb以下のポリカルボシランであることを特徴とする絶縁性材料。
    Figure 0005223193
    (式中、Rは、炭素数1から6のアルキル基を表し、Rは、炭素数が2以上のアルキル基を表し、R及びRは異なるアルキル基である。)
    Figure 0005223193
    (式中、Meはメチル基を表す。)
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