JP5062934B2 - 半導体製品を処理する方法及び半導体ウェハ処理用反応炉 - Google Patents
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Description
(技術分野)
本発明は、半導体ウェハの処理に利用する反応炉に関する。
【0002】
(背景技術)
半導体製造業界では常時、ウェハから集積回路を製造するとか、微小電子回路と構成部品の製造に利用する方法の改良に励んでいる。その結果種々の改良がなされており、それには期待されている目標として一つかそれ以上の目的がある。共通する目的には、(1)所望の集積回路を形成するのにウェハを処理する時間を短縮すること、(2)例えば処理中にウェハが汚染される可能性を減らして、1枚のウェハ当りでの利用可能な集積回路の歩留りを上げること、(3)ウェハから所望の集積回路に至るまでの工程数を減らすこと、(4)例えば処理に必要な薬品類に伴うコストを減らすとかして、ウェハから所望の集積回路へと処理するコストを減らすことなどが挙げられる。
【0003】
ウェハ処理では、場合によってはウェハの片面または両面を、液状、蒸気状、または、気体状の流体に曝す必要がある。このような流体は、例えばウェハ表面を食刻したり、清浄したり、乾燥したり、不動態化したり、被膜を施したりするとかなどに使われている。温度、分子組成、用量などの処理流体の物理的パラメータの制御が時として、処理操作が成功するかどうか、成り行きを左右する。従って、ウェハ表面に対する先述のような流体の適用は、一般に制御された環境下で行われている。斯かるウェハ処理は、一般に反応炉内で行われている。
【0004】
前述の反応炉は一般に、反応カップ、反応容器ないし反応室を有しているものである。1枚のウェハまたは1バッチのウェハは反応室に置く。その後、液体と気体の何れか、または両方をウェハに導入して、種々の製造工程を実行する。各ウェハの前面に対して、また、工程毎に高度に均一な処理が施せるように反応室内の液体と気体の何れか、または両方の流量を制御することは難しいか、不可能なことである。また、処理液体と処理気体の何れか、または両方の消費量にも問題があるし、また、構成の効率についても問題がある。ウェハや母材の汚染を避けることも、そのような反応炉の設計を行う上での難問となっている。従って、半導体ウェハや類似の平坦媒体を処理する改良された反応炉が望まれているのである。
【0005】
(発明の開示)
ここで用いる「母材」なる用語は、少なくとも基板ないし平坦表面域を有する物体を意味し、基板上の一つかそれ以上の金属化層の如く、材料または製造部品の層を含むものである。本発明の装置は、母材の少なくとも片面にわたり、ハウジングの回転に伴って発生する遠心力の作用で一種かそれ以上の処理流体が散布されるようになっている処理室を有する母材ハウジングからなる。
【0006】
好ましくは、反応炉には、斯かる反応炉にロボット式ウェハ移送装置が設けられるようにするとか、斯かる反応炉を別のプロセスに合わせて再構築できるようにするとか、反応炉の処理室を取外し自在として、修理できるようにするとか、そのようなことができるようにするための機械的な特徴が備わっているのが望ましい。
【0007】
従って、本発明は半導体製品の処理のための改良された反応炉と洗浄機/乾燥機を提供するのを目的とするものである。
【0008】
(発明を実施するための最良の形態)
以後、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態を詳述する。先ず図1において、反応炉10は、ロータ部15と母材ハウジング20とを備えている。ロータ部15は、このロータ部15から下方に延在して母材ハウジング20に係合する複数の支持部材25を含んでいる。隠しジブ材25は、母材ハウジング20の外側ないし周辺部分から半径方向に張り出したフランジ35と係合する溝30を有している。また、このロータ部15には、支持部材25を含むハブ部45を中心軸47を中心として回転させる回転モータ装置40を備えている。従って、母材ハウジング20は、支持部材25がフランジ35と係合しておれば、ハブ部45と一体回転するように取り付けられる。ロータ部15と、母材ハウジング20をロータ部15に連結する構成としては、その他の構成を採ることもできる。
【0009】
図1に示した実施の形態における母材ハウジング20は処理室50を有しているが、この処理室50はほぼ密閉されているのが望ましい。この処理室50は、半導体ウェハないし母材55とほぼ相似形状となるように形成されており、好ましくは母材の両面に密に倣うようになっているのが望ましい。図1に示す実施の形態では、室内面65を有する上部ロータないし室部材60が備わっていて、この上部室部材60の中心に室内面65で開口する流体入口70が形成されている。室内面80を有する下部ロータないし室部材75も備わっていて、この下部室部材75の中心にも室内面80で開口する流体入口85が形成されている。上部及び下部室部材60、75は互いに合体して、両者間に処理室50を画成している。上部室部材60の側壁90はその室内面65から下方に張り出している。処理室50の周辺部には前記側壁90を貫通する一つかそれ以上の流体出口100が形成されており、処理出50内の流体は、ハウジング20が中心軸47を中心として回転したときに生ずる向心加速度の作用で処理室50から排出されるようになっている。
【0010】
図示の実施の形態では、微小電子母材55は一般に平坦な上面と下面とを有する円形ウェハである。従って、処理室50は平面視で概ね円形であり、その室内面65、80はほぼ平坦であると共に、母材55の平坦上面と下面と平行になっている。室内面65、60とそれぞれが対峙する母材55の平坦上面と平坦下面との間の間隔は一般に非常に小さい。斯かる間隔は、当該間隔を流れる処理流体の物性を制御できる程度、できるだけ小さいのが望ましい。図示の実施の形態にあっては、各室内面と母材の上下面との間隔は、ウェハの厚みに大凡等しい、例えば0.5〜1.5ミリ、一般には約0.8ミリである。
【0011】
ウェハ55は室内面80とは、当該室内面80から突出する複数の隔離部材105を介して隔離されている。好ましくは、別の複数の隔離部材110をも室内面65から突出形成して、前記隔離部材105との協働のもとで両者間においてウェハ55を挟持するように調芯配置しておくのが望ましい。
【0012】
流体入口70、85は、一種またはそれ以上の処理流体がウェハ表面を処理すべく処理室50に流入する連通路を構成している。図示の実施の形態では、処理流体は、流体入口70の近傍に配置した流体供給ノズル120を有する流体供給管115を介して、ウェハ55の上方から流体入口70へと供給される。流体供給管115はロータ部15の中心を貫通して、好ましくは回転軸47と同心であるのが望ましい。同様に、流体供給管125を介してウェハ55の下方から流体入口85へと処理流体が供給されるようになっている。この流体供給管125は流体入口85の近傍に配置したノズル130で終端している。ノズル120、130は、それぞれに対応する流体入口から隔離した一で終端しているが、両者間に隙間が形成されないほど延在していても良いのは明らかであろう。それどころか、各ノズル120、130または各供給管115、125には、流体入口70、85のある部分において対応する室部材60、75に当接してシールする回転シール部材が備わっていても良い。その場合、回転自在連結部を設計するに当り、可動部品の摩耗により汚染が発生するのを最小限にするよう、注意すべきである。
【0013】
処理時では、一種かそれ以上の処理流体を別々に、或いは同時に供給管115、125、そして流体入口70、85を介して処理室50に供給することにより、処理室50内の母材55の表面と接触するようにする。好ましくは、この処理時にロータ部15で軸47を中心としてハウジング20を回転させることにより、処理室50内において向心加速の作用で流体が母材55の表面にわたり連続して流れるようにするのが望ましい。この場合、流体入口70、85に流入した処理流体は母材表面に沿ってその中心からその外周へ向かって半径方向外側に駆り立てられるのである。母材の外周部においては、使われた処理流体は向心加速作用により流体出口100を介して処理室50から排出されるのである。このように使われた処理流体は、母材ハウジング20の下方とその近傍の何れか、または両方において配置したカップ型リザーバに蓄積されるようにしても良い。
【0014】
後述の別実施の形態について説明するように、母材ハウジング20の外周部は、流体入口70を介して流入した処理流体と流体入口を介して流入した処理流体とを効果的に分離して、ウェハ55の両面が異なった処理流体で処理されるようにしても良い。その場合、排出した両方の処理流体はハウジング20の外周部において別々に蓄積して、処分または再循環に供しても良い。
【0015】
図1に示した実施の形態では、母材ハウジング20は、母材55を種々の処理ステーション及び/またはツールの間で搬送するのに利用できる単一の着脱式ウェハ用ポッドとして構成されていても良い。処理ステーション及び/またはツールの間でのハウジング20の搬送がクリーン・ルーム内で行われるのであれば、ハウジング20に形成されている種々の開口は密封しなくても良い。しかし、前述の如くの搬送が汚染物質のある環境で行われるのであれば、ハウジングにある種々の開口は密封しておくべきである。例えば、流体入口70、85のそれぞれは、スリットのあるポリマー製ダイヤフラムで被冠させておいても良い。この場合、流体供給管115、125の端部は、前記ダイヤフラムのスリットに差し込める牽引構造体(tractor structure)で終端させておいて、処理流体が処理室50に供給できるようにする。このような牽引構造体とスリット付きダイヤフラムとを利用した構成は、医学分野での静脈内注入装置でよく使われているところである。このダイヤフラムに利用するポリマー材を選択するに当っては、導入される処理流体の種類を鑑みて行うべきである。流体出口100での同様なシールも、ハウジング20がクリーン・ルーム内に搬入されると牽引構造体がダイヤフラムに差し込めるようにしてもよい。
【0016】
別の方法としては、流体出口100そのものを、導入した流体がハウジング20の外周部から処理室50の法へと流れるのを阻止しながら、当該流体出口を介して処理室から排出するように構成しても良い。これは、例えば各流体出口100の開口形状を、処理室50側での直径をハウジング20の外側での直径よりも大きくしたノズルとして構成することにより達成できる。別の構成としては、複数の流体出口100に対して一つの回転弁部材を利用することによっても達成できる。この弁部材は、複数の流体出口100と調芯する箇所に開口を有するリングとなし、これを流体出口100を開閉自在に覆うようにして、搬送時にはこの弁部材を回して流体出口100を密閉するようにすればよい。処理時にあっては、この弁部材を流体出口100が開成する位置へ回せばよいのである。ハウジングを次の処理ステーションないしツールへ搬送する直前に、供給管115、125を介して窒素の如くの不活性ガスを処理室50に導入しても良い。尚、流体出口10や流体入口70、85をシールする機構には種々に機構が利用できる。
【0017】
図2は反応炉の別の構成を斜視図にて示すものであり、この反応炉は定位置処理ステーションに配置されるものにして、母材の装填、取出しの際は開閉できるようになっている。この反応炉200は、別個の上部及び下部ロータないし室部材205、210からなる。先ほどの実施の形態におけるのと同様に、上部室部材205には、流体入口220が中心に形成されたほぼ平坦な室内面215を有している。図2には示していないが、下部室部材210も同様に、流体入口230が中心に形成されているほぼ平坦な室内面225を有している。上部室部材205には下方に張り出した側壁235が形成されており、この側壁235も、シール用ポリマー材で形成してあっても良いし、または、室部材205の他の部分と一体形成されたものであってもよい。
【0018】
上部及び下部室部材205、210は互いに別個のものであって、両者間に母材を受け入れるようになっている。このように母材55が両者間に介在させると、上部及び下部ロータないし室部材205、210は互いに密着する方向の動かして両者間に処理室を画成する。このように画成された処理室にあっては、母材は、平坦室内面215、225から隔てた状態で支持されることになる。図2から図8Bに示すそれぞれの実施の形態においては、半導体ウェハの如くの母材は、上部及び下部室部材を互いに密着して処理室を画成している状態(図7Bを参照のこと)にあっては、複数の支持部材240とそれぞれに対応するスペーサ部材255との間に挟持されるようになっている。上部及び下部室部材を合体させたり、離間させることは、後述する複数の締結具307を操作することでそれを行うことができる。好ましくはこれらの締結具307で、上部及び下部室部材が図7Aに示すように合体位置に付勢されるようになっているのが望ましい。
【0019】
図示の実施の形態では、複数のウェハ支持部材240は上部室部材205の外周部において延在しており、側壁235からして半径方向外側に位置決めされている。これらのウェハ支持部材240は、好ましくはそれぞれの長手軸245に沿って移動自在となして、上部及び下部室部材が合体位置(図7A)にあると支持部材240がスペーサ部材255の方へ変位して両者間でウェハを挟持するが、上部及び下部室部材が隔離していると(図8A)、支持部材240はスペーサ部材255と協働して挟持していたウェハを解放するように構成するのが望ましい。各支持部材240は、上部室部材205の中心の方へと半径方向に延在する支持アーム250を備えている。この支持アーム250の端部は、室内面215から延在する対応するスペーサ部材255と重なっている。このスペーサ部材255は、円錐形にして、その頂部が対応する支持アーム250の端部近傍で終端しているのが望ましい。下部室部材210の外周部に切欠き295が形成されており、これにはウェハ支持部材240の半球形下端300が係入するようになっている。下部室部材210を合体位置へと上方に押勢すると、切欠き295には支持部材240の下端300が係入して支持部材240を上方へと押し上げ、これによりウェハ55を支持部材240のアーム250と対応するスペーサ部材255との間で挟持するようになる。このように合体位置に設定した状態を図5に示す。この状態にあっては、切欠き295と上部室部材に形成されている対応切欠き265(図2)とが、反応炉200の外周部に流体出口を画成する。各支持部材240のアーム250は、各支持部材の上部に形成した横溝309を延在する取付けピン308により、常時半径方向を向くように維持されている。
【0020】
上部及び下部室部材を合体位置と分離位置との間に動かせるようにする締結具307の構成を図2、図6、図7Bに示す。図示のように、下部ロータないし室部材210には複数の筒体270が固着されていると共に、当該室部材210から上方へ延在して、上部ロータないし室部材205の外周部に形成されている貫通孔275を貫通することで、各締結具307の下部を画成している。この筒体270の内部には棒体280が挿入されて、各締結具307の上部を画成するように連結されている。棒体280と筒体270とは、合体位置と分離位置との間での軸芯283に沿う上部及び下部室部材205、210の相対直線移動を許容する締結具307を構成しているのである。各棒体280の頂部には二つのフランジ285、290が設けられており、フランジ285は、上部及び下部室部材205、210とが分離位置にあるときでの分離行程を制限する係止部材として作用するものであり、フランジ290は、上部及び下部室部材205、210を合体位置へ付勢する、例えばバネ(図6を参照)の如くの付勢部材が着座する座面を画成するものである。
【0021】
図6において、付勢部材としてのバネ303には互いに対向する第1端と第2端とがあって、その第1端は各締結具307を中心とする円形溝305に挿入されて着座しており、第2端は対応する締結具307のフランジ290に当接している。この状態でのバネ303はそれ自身が圧縮された状態になっていて、締結具307と下部室部材210を上方に引上げる付勢力を醸し出しており、これにより下部室部材210は上部室部材205と合体位置において係合している。
【0022】
反応炉200は、母材の処理時では中心軸を中心として回転されるようになっている。そのために、上部室部材205の上部中心からシャフト260が上方に延在している。図7Aから図8Bに詳細に示すように、このシャフト260は回転駆動モータと連結されるようになっていて、これにより反応炉200は回転駆動されるのである。このシャフト260はその長手軸に沿って中心流体路が形成されていて(図4)、この中心流体路を介して処理流体が流体入口220へ供給されるようになっている。別の方法としては、この中心流体路は別個の流体供給管などを収容するダクトとして作用するようにしても良い。
【0023】
図3と図4とに示すように、上部室部材205の中心部から半径方向に延在する溢流路312が所望により複数本形成されている。前述のシャフト260の下端は末広がり端315となっていて、処理室310の上部と溢流路312とを連通させる入口切欠き320がその末広がり端315に設けられている。シャフト260の末広がり端315は、例えば取付け板325を介して上部室部材205に取り付けられている。この取付け板325は複数の締付け具330(図5)を介して上部室部材205に固着されている。前述の溢流路312は、処理室310への流体の供給流量が当該処理室の外周部にある流体出口からの排出流量を超えた場合に、溢れた分だけが処理室310から流出できるようにしている。
【0024】
図7Aと図7Bとは、反応炉200が閉成されて回転駆動装置400と連結されている状態を示す横断面図であり、図8Aと図8Bとは、当該反応炉200が開成されている状態を示す同様な横断面図である。図示のように、シャフト260は回転駆動装置400へと上方に延在している。このシャフト260には、回転駆動モータ410の一部を構成する固定子405と協働するのに必要な部品を具備している。
【0025】
図1に示した実施の形態と同様に、上部及び下部室部材205、210とは互いに合体してほぼ密閉処理室310を画成するが、この処理室310は好ましくは母材55の形状に合わせるのが望ましい。また、ウェハ55は処理室310内にあっては、その上面と下面とがそれぞれに対峙する室内面215、225とは隔離された状態で支持されるようになっているのが望ましい。このように支持する方法としては、前述したように反応炉200が図7Aと図7Bに示すように閉成状態になっていると支持部材240とスペーサ部材255とでウェハ55の外周縁が挟持されるようにする。
【0026】
ウェハ55の処理は図7Aと図7Bに示した閉成状態にあるときに行われる。即ち、ウェハが処理室310内にあって支持されているときに、シャフト260内の中心流体路415を介して流体入口220から処理室310へと処理流体を供給する。同様に、処理流体供給管125からも処理流体が流体入口230を介して処理室310へと供給される。反応炉200が回転駆動モータ410により回転させられると、流体入口220、230から流入した処理流体は、向心加速作用により醸し出された力の作用によりウェハ55の表面を横切って流れる。使用済み処理流体は、切欠き295、296により反応炉200の外周部に画成されている流体出口を介して処理室310から排出される。この流体出口は、流体の流れが支持部材240により著しく妨げられるようには構成されていないから切欠き295、296により前述のように画成されるのである。別の方法としては、或いはそれに加わって、外周部に別に流体出口を形成しても良い。
【0027】
ウェハの処理が済むと、図8Aと図8Bに示すように反応炉200を開成してウェハにアクセスできるようにする。即ち、処理後にアクチュエータ425を利用して作動リング430を押し下げることで、当該作動リング430が締結具307の上端と係合するようにする。すると締結具307はバネ303の付勢力のこうして押し下げられ、かくて下部室部材210が下降すると共に、それに伴って上部室部材205から離れる。このように下部室部材210が下降すると、支持部材240も重力作用で、或いは付勢部材の力にこうして追従する一方、それと同時にウェハ55も下降する。このように下降すると、反応処理室310は開成したことになり、ウェハ55の取り出しが可能になると共に、次のウェハを反応炉200に装填することができるようになる。ウェハの取出し、装填は手動によりそれを行っても良く、または、自動ロボットで行うようにしても良い。
【0028】
前述の構成の反応炉200は、例えばロボット式搬送機構で母材の自動装填、取出しに特に適したものである。図7Aと図8Aとを比較すれば明らかなように、母材の上面と上部室部材205の内部室壁との間の間隔が、反応炉200が開成しているか、閉成しているかによって変わっている。開成していると、母材の上面は、例えばロボット式搬送機構の母材搬送アームが作用するのに充分な隙間に相当する距離x1だけ上部室部材205の内部室壁から隔離している。他方、閉成していると、母材の上面は、前記距離x1よりも小さい距離x2だけ上部室部材205の内部室壁から隔てているに過ぎない。図示の実施の形態における前記距離x2は、、母材処理操作時に望まれている間隔に対応するように選定しても良い。
【0029】
図9は、ウェハ55の両表面を別々に処理できるようにするエッジ構成を示す。図示のように、処理室310の側壁235からウェハ55の外周縁505のすぐ近くの位置まで区画部材500が延在している。この区画部材500の形状としてはどのような形状であっても良く、図示の如くのテーパー状もその一例である。好ましくは、この区画部材500は処理室310の全周にわたって半径方向内側に延在しているのが望ましい。この区画部材500の上方にウェハ55の上面から使用済み処理流体が流出する一つかそれ以上の流体出口510を、また、その下方に同じウェハ55の下面から使用済み処理流体が流出する一つかそれ以上の流体出口515をそれぞれ形成しておく。従って、ウェハ55が処理中に回転させられていると、中心流体路415からの処理流体はウェハ55の上面に供給されて、向心加速作用によりその上面に沿って拡散する。同様に、供給管125からの処理流体はウェハ55の下面に供給されて、向心加速作用によりその下面に沿って拡散する。ところが、区画部材500のエッジがウェハ55の外周エッジにかなり近接しているから、ウェハ55の上面に沿って拡散した処理流体は区画部材500の下方へ流れるようなことはないし、同様にウェハ55の下面に沿って拡散した処理流体は区画部材500の上方へ流れるようなことはない。従って、この反応炉は、ウェハ55の上面と下面とを互いに排他的に異なった処理流体で処理することができるようになっている。
【0030】
図9は、ウェハの上面と下面とに供給した処理流体を互いに排他的に回収できるようにする構成も示している。即ち、図示のように、流体回収器520を反応炉200の外周近傍に配置する。この流体回収器520は第1回収域525と第2回収域550とを有している。第1回収域525は、跳ね返し530と、流体出口510から排出された流体を第1ドレイン540へと案内するように構成した流体トレンチ535とで画成されている。この第1ドレイン540へ案内された使用済み処理流体は回収容器に回収して、処分するか、または、再循環に供しても良い。他方、第2回収域550は、跳ね返し550と、流体出口515から排出された流体を第2ドレイン565へと案内するように構成した流体トレンチ560とで画成されている一方、この第2ドレイン565へ案内された使用済み処理流体は回収容器に回収して、処分するか、または、再循環に供しても良い。
【0031】
図10は、流体入口230を介して処理流体を供給する部分を別の構成とした反応炉200の実施の形態を示す。同図において、母材ハウジング20はカップ570に装入されている。このカップ570は、流体出口100の外部に臨み、処理室310から出てくる流体を回収する側壁575を備えている。カップ570の内部底面580は中心に向かって傾斜しており、回収した流体を流体溜め585へ仕向けるようになっている。流体供給管587が、流体溜め585に流体を供給するように接続されている。また、この流体溜め585には排出弁589が備わっているのが望ましい。供給口ステム592は、流体溜め585に連通する開口597を有する第1端と、流体入口230に開口する第2端とを有するチャンネル595を形成している。
【0032】
図10の実施の形態の操作においては、反応炉200がスピン回転しているときに、処理流体は流体供給管587を介して流体溜め585に先ず供給される。流体溜め585が満杯になると、流体供給管587から流体溜め585への流体供給を遮断する。他方、反応炉200のスピン回転による向心加速作用で差圧が発生し、この差圧により流体溜め585の流体が開口597を介してチャンネル595に吸込まれ、かくて流体入口230を介して反応室310に流入してウェハ55の少なくとも下面に接触し、その後流体出口100を介して排出されると共に、再使用に備えて流体溜め585に戻される。
【0033】
図10に示したものは自動汲上げ式再循環システムであり、これには種々の利点がある。密閉流体ループ回路により処理パラメータの制御における遅延を最小限にすることができるので、流体温度や流量など斯かる物理的パラメータを制御するのが容易である。また、配管やタンク壁、ポンプなどに対する熱損失もない。更に、システムでは別にポンプを利用するようなことはしていないので、加熱した乾燥性の化学薬品を使うとよく見られるようなポンプの故障はない。
【0034】
図11と図12とは、それぞれ異なった処理ツールを示しており、それぞれの処理ツールには、前述の構成の反応炉を含む一つかそれ以上の処理ステーションが含まれている。図11は、円弧状軌道606に沿って配置した複数の処理ステーション605を含む処理ツール600の概略ブロック図である。処理ステーション605では、全てのウェハに対して同じ処理を施すようになっていても良く、または、ウェハ毎に違っているが、互いに相補的な処理を施すようになっていても良い。例えば、一つかそれ以上の処理ステーション605で、銅の如くの金属をウェハに電着する処理を施し、一つかそれ以上の他の処理ステーションで、例えば清浄/乾燥処理、予備湿潤化処理、フォトレジスト処理などの相補的処理を施すようにしても良い。
【0035】
処理すべきウェハは、入出力ステーション607においてツール600に供給される。ウェハは、例えばSMIFポッドに入れた状態でツール600に搬入しても良い。別の方法としては、図1において20で示した如くの個々の母材ハウジングに入れた状態でツール600に搬入しても良い。各処理ステーション605には、ロボットアーム610でアクセスすることができる。このロボットアーム610が、母材ハウジングまたは個々のウェハを入出力ステーション607から出したり、戻したりする。また、このロボットアーム610がウェハないしハウジングを種々の処理ステーション605の間で搬送することになる。
【0036】
図11に示した実施の形態では、ロボットアーム610は回動軸615を中心として回動しながら、軌道606に沿って搬送を行う。それに対して図12に示したツール620では、一つかそれ以上のロボットアーム625を利用して、これらを直線軌道630に沿って移動させることにより所要の搬送を行うようにしている。図10に示した実施の形態におけるのと同様に、ここでも複数の処理ステーション605を利用しているが、一つの処理ツールのこの配列でもっと処理ステーション605を設けてもよい。
【0037】
図13は、前述した母材ハウジング如くの母材ハウジング700を複数用いてバッチ処理装置702を構成する一例を示す。同図において、母材ハウジング700は複数上下方向に積層されており、共通の回転軸706を中心として共通の回転モータ704により駆動されるように連結されている。この処理装置702には、処理流体供給システム708があって、この供給システム708は流体供給源(図示せず)から処理流体が供給されるようになっている固定マニホルド710を備えている。この固定マニホルド710の出口端は回転マニホルド712の入力端に接続してある。回転マニホルド712は、ハウジング700と一体回転するように取り付けられているので、固定マニホルド710とは回転式継手714を介して連結されている。回転マニホルド712からは複数の流体供給管716がハウジングの流体入口近傍のノズル部718まで延在している。角のずる部718は互いに隣接するハウジング700の間に配置されていて、上方と下方の両方向に流体が流れるように構成されている。それに対して、最下段の供給管716に接続したノズル部718は、上方だけに流体が流れるように構成されている。また、回転マニホルド712の最上部には流体出口720が形成されていて、この流体出口9720を介して最上段のハウジング700の流体入口へ処理流体を供給するようにしている。
【0038】
図13に示したバッチ処理装置702は、各ハウジング700の上部及び下部流体入口の両方に同一処理流体が同時に供給されるように構成している。しかし、それ以外の構成も可能であり、例えばノズル部718に弁部材を設けて、処理流体の導入を各ハウジング700の上部流体入口と下部流体入口の何れか、または両方を介して行うべきかどうかに応じて、選択的に開閉できるようにしても良い。この場合では、図9に示した如くのエッジ構成を各ハウジング700に採用するのが望ましく、そのようにすることでウェハ55の上面と下面とに導入する流体を互いに別種のものとすることができる。また、異なった処理流体を、ハウジング700の上部及び下部流体入口にそれぞれ連なる供給管に同時に供給する同心型マニホルドを処理装置702に設けることも可能である。
【0039】
自動処理ツールに組み込むのに特に適した反応炉の実施の形態を図14に示す。同図において800を以て示す反応炉は、ロボットアームないしそのようなものが母材の装填、取出し時に当該母材を反応炉800に対して装入、取出しを行う一方、処理時に母材と反応炉の内部室壁との間の間隔を確実に維持できるように、ユニークな態様で互いに協働する機構を備えている。
【0040】
前述の反応炉の実施の形態と図14に示す反応炉800との主たる相異点の一つは、母材支持機構の構成にある。即ち、図示のように反応炉800には、下部室部材210に関連して母材支持機構が備わっている。この母材支持機構は、下部室部材210を貫通延在する複数の母材支持部材810を備えている。この各母材支持部材810の下端は押勢部材815で支持されており、その上端には母材支持面820と案内構造体825とが備わっている。図15において、案内構造体825は母材支持面820から延在して截頭円錐部830のところで終端している。この案内構造体825は、母材の外周縁が母材支持面820と整合するように押勢するもので、これにより処理時に母材が適切に調芯されるようにしている。また、この案内構造体825は、上部室部材205の内部室壁と母材の上面との間の間隔を画成するスペーサとしての機能を果たすようにしても良い。
【0041】
図示の実施の形態における押勢部材815は、上部及び下部室部材205、210が図示のように分離位置にあって、反応炉800に対して母材の装填、取り出しができる状態になっているときに、母材支持部材810を上方に押勢する役をなす。この押勢部材815は種々の形状をとることができ、例えば全ての母材支持部材810に対して一つの押勢構造体を利用することも可能である。別の方法としては、図示の実施の形態に示されるように、個々の母材支持部材810に合わせてそれぞれの押勢構造体を利用しても良く、この場合での各押勢構造体は板バネ835の形にしても良いが、別の方法としては例えばコイルバネ型アクチュエータの形であっても良い。
【0042】
前述の反応炉の実施の形態におけるが如く、反応炉800の上部及び下部室部材205、210は図14に示した分離位置と図15に示した合体位置との間を相対移動自在である。これらの室部材205、210が互いに近接する方向に移動させられると、母材支持部材810の截頭円錐部830が上部室部材205の内部室壁に係合する。両室部材205、210が更に近接する方向に移動するにつれて、母材支持部材810は板バネ835に抗して、母材が母材支持部材810の支持面820と、上部室部材205の内部室壁から突出する対応する突起840との間で挟持されるまで移動させられる。
【0043】
図14に示した反応炉800には、上部及び下部室部材205、210が合体されるに伴い両部材205、210が互いに適切に調芯されるように、それを確実にする調芯構造体が備わっている。図示の実施の形態では、この調芯構造体は、何れかの室部材から突出して、他方の室部材に形成されている孔に係入するリードピン845からなる。ここでは、このリードピン845は複数あって、下部室部材210から上方に延在して、上部室部材205に形成した対応する孔(図示せず)に係入するようにしている。各リードピン845は、案内面となすようにその自由端が截頭円錐端となるように、下部室部材210から直立する部材としている。
【0044】
前記構成により、前記構成の反応炉800を、例えばロボット式搬送機構、特に母材を弾かせることなく当該母材を反応炉に直接装入する搬送機構で母材を自動的に装入、取出しするのに適したものとすることができる。図14と図15とを比較すると明らかになるように、母材の下面と下部室部材210の内部室壁との間の間隔は、反応炉が開成しているか、閉成しているかに応じて変わっている。開成状態にあれば、母材の下面は、例えばロボット式搬送機構の母材搬送アームが作用するのに充分な隙間に相当する距離x1だけ下部室部材210の内部室壁から隔離している。他方、閉成していると、母材の下面は、前記距離x1よりも小さい距離x2だけ下部室部材210の内部室壁から隔てているに過ぎない。図示の実施の形態における前記距離x2は、母材処理操作時に望まれている間隔に対応している。
【0045】
前述の押勢部材815の一実施の形態を図16に示す。図示のように、この押勢部材815は、中心ハブ部850から放射状に延在する複数の板バネ835からなり、これらの板バネ835のそれぞれの自由端は対応する母材支持部材810の下端面と接触する位置に臨んでいる。中心ハブ部850には径方向部材855も設けられていて、それぞれの自由端は対応するリードピン845の下端面と接触する位置に臨んでいる。この径方向部材855は、板バネ835とは違って、上部及び下部室部材205、210の合体位置への相対移動に伴って弾性屈曲するように構成する必要はない。押勢部材815は、処理環境で利用する化学物質に対して耐性のあるポリマー材または類似の材料で形成しても良い。このような材料で形成した場合、母材支持部材810とリードピン845とは、それぞれと協働する板バネ835と径方向部材855と一体形成してあっても良い。
【0046】
図示の実施の形態では、中心バブ部850には、押勢部材815を下部室部材210の外表面に連結させる固定部材905が貫通する中心孔900が形成されている。ここでず14と図15とを参照するとして、この固定部材905は、下部室部材210を貫通する処理流体入口を画成するように形成されていても良い。この固定部材905をこのように形成すれば、異なった処理に合わせて異なった流体入口を反応炉800に設けるのが迅速化できると共に、容易になる。
【0047】
時としては、ヘッド部860から反応炉800を取り出すのが望ましいことがある。例えば、反応炉800を保守点検や、他の処理に合わせて、または、異種の母材の処理に合わせて取り替えたりするようなことがあり、その場合に備えて取り出せるのが望ましい。
【0048】
図14に示すように、反応炉800とヘッド部860とは、連結用ハブ組立体865のところで互いに連結されているが、この連結用ハブ組立体865は、反応炉800とヘッド部860に対して容易に連結したり、外したりできるようにしている。図15に示した実施の形態では、この連結用ハブ組立体865は、処理用ヘッド部860に固定したヘッド用連結ハブ870と、反応炉800に固定した反応炉用連結ハブ875とからなる。これら両連結ハブ870、875は通常の操作時では、例えばネジ溝継手880により互いに連結されるようになっている。ロック用ネジ885がヘッド用連結ハブ870を貫通しており、それを回すことで反応炉用連結ハブ875の表面、または、それに形成してある孔に係合することで、一旦連結した連結用ハブ870、875が互いに弛んで外れないようにしている。
【0049】
そこで反応炉800を外す場合、反応炉を回してロック用ネジ885を、ヘッド部860に固着してある対応するチャンネルスリーブ890と調芯させる。チャンネルスリーブ890は、ユーザがロック用ネジ885まで工具を通せるように構成されている。その後、ロック用ネジがネジ用ヘッドブロック895と係合して連結されるまで、当該ロック用ネジを回して上昇させる。このように連結されると、ヘッド用連結ハブ870はヘッド部860に対して回転しないようにロックされ、従って反応炉800とその反応炉用連結ハブ875とがヘッド用連結ハブ870に対して回せるようになって、これにより反応炉をヘッド部から外すことができるのである。
【0050】
反応炉800のもう一つの構成上の特徴を説明すれば、例えばアルミ製の硬化部材(stiffening member)910が上部室部材205に固着されている。上部と下部の何れか、または両方の室部材の剛性を増やせば、回転速度をもっと速くすることができ、また、処理時での内部室壁の平坦性を増強することができる。
【0051】
前述した構成の反応炉を利用すると、種々の利点が得られるものである。これらの利点の大部分は、反応炉の様々な室での流体の流れ面積を減少したことから直接もたらされるものである。一般に、利用する処理流体に無駄が生じないので、当該処理流体をより効率的に利用できるのである。また、反応炉の様々な室での流体の流れ面積を減少したことから、温度や流量などの流体の流れの物理的なパラメータを制御するのも容易である。これによりより一貫した成果が得られ、しかもその成果を繰返し再現することができるのである。
【0052】
また、前述した構成により、反応室の単一の流体入口を介して二種かそれ以上の処理流体を順次供給することにより、単一のウェハに対して順次処理を施すことができる。更に、ウェハの上面と下面とに異種処理流体を同時に供給できることから、新規な処理操作を施す機会が開いて来るであろう。例えば、HF液の如くの処理流体を反応室の下部流体入口に供給してウェハの下面を処理する一方で、窒素ガスの如くの不活性流体を上部流体入口へ供給しても良いのである。従って、ウェハ上面をHF反応から効果的に隔離しておきながら、ウェハ下面をHF液と反応させることができるのである。
【0053】
更に、ウェハは、前述の処理法を利用すれば、個々のウェハを乾燥する場合に比べて、それぞれのウェハを迅速に洗浄して乾燥することができる。
【0054】
図17は、前述の実施の形態の洗浄機/乾燥機に供給する洗浄/乾燥流体の供給を制御する一形態を示す。図示のように、流体供給システム1800は、窒素ガス供給源1805、IPA供給源1810、IPA蒸発器1815、DI水供給源1820、所望により加熱素子1825、所望により流量計1830、所望により流量調整器/温度センサー1835、弁機構1840からなる。この供給システム1800の全ての構成部品は、適当なソフトウェアでプログラミングされる制御装置1845の制御の下で稼働するものであってもよい。
【0055】
洗浄機/乾燥機の作用について説明すれば、弁機構1840を介して、供給源1820からDI水を洗浄機/乾燥機室の上部及び下部入口の両方へ供給できるようにする。このように室へ水が供給されるに伴い、例えば200rpmの回転速度でウェハをスピンする。これにより供給された水は向心加速度の作用によりウェハの両面に沿って拡散しながら流れる。充分な量の水が室へ送られてウェハの両面が洗浄されると、今度は弁機構1840を、好ましくは窒素とIPA蒸気とからなる乾燥流体を洗浄機/乾燥機室の上部及び下部流体入口へ供給するように設定する。この弁機構1840は、乾燥流体の流れの先頭がDI水の流れの後尾の直後に続くように作用させるのが望ましい。乾燥流体が室に流入するに従い、ウェハのスピンにより生じた向心加速度で乾燥流体がウェハの表面に沿って流れ、DI水がウェハ表面に形成したメニスカスの追従する。IPA蒸気はメニスカスのエッジの所でのウェハ表面の乾燥が行われるように助長する。ウェハのこの乾燥は、加熱素子1825を利用してDI水と窒素/IPA蒸気の何れか、または両方を加熱すれば促進されることになる。これらの流体を供給するときでの温度が、制御装置1845により調節できるようにしても良い。同様に、流量調節器1835と流量計1830とは、制御装置1845がそれらを利用して、洗浄機/乾燥機室へのDI水と窒素/IPA蒸気の何れか、または両方の流れを制御できるようにしても良い。
【0056】
前述の反応炉の構成は、僅かな改変を施せば、微小電子母材と一種かそれ以上の処理液との接触を制御すると共に、母材の選ばれた領域だけにかかるようにする幾つかの独特のプロセスを実行できるようにすることができる。そのような反応炉の構成の一実施の形態を図18から図22に示す。
【0057】
図18から図22に、上面12と下面14とを有し、円形の外周縁16をも有するシリコンウェハ55の如くの微小電子母材をミクロ環境で処理するに適した反応炉2100を示す。ある用途では、上面12が前面となり、デバイス面と呼ばれることもあり、その場合下面14は背面となり、非デバイス面と呼ばれることがある。他の用途ではシリコンウェハ55が反転使用されて、呼び方が変わることもある。
【0058】
一般に、特に断りがない限り、反応炉2100は、ここまで説明した反応炉と同一ないし類似構成である。しかしながら、図面に示し、ここで説明するように、反応炉2100は、選択された微小電子製作プロセスが実行できるほど汎用性を持つように改良されている。
【0059】
反応炉2100は、上部ないし室壁2120を有する上部室部材ないしロータと、下部室壁2140を有する下部室部材ないしロータとを具備している。これらの室壁2120、2140は、処理を行うに当り反応炉2100にウェハ55が装入できるように互いに開成するようになっている。ウェハ55の装入は、例えば末端作動体(end effector)を有するロボットの如くの装填・取出し機構(図示せず)により行われる。これらの室壁2120、2140は、両室壁2120、2140の間においてウェハ55を処理位置に支持するカプセル2160を画成するように閉成できるようになっている。
【0060】
回転軸芯Aを有する反応炉2100には、上部室壁2120に装着したロータ2210を囲繞し、ロータ2210と閉成したときの上部及び下部室壁2120、2140とを軸芯Aを中心として、処理位置に支持されているウェハ55と共に回転させるモータ2220を支持するヘッド2200を備えている。モータ2220は、ヘッド2200内で転がり軸受け2224を介して径方向に支持されているスリーブ2222を駆動するようになっている。ヘッド2200は、室壁2120、2140の開成に当っては上昇、閉成に当っては下降できるようになっている。
【0061】
上部室壁2120には、液体、蒸気、ガスの何れでも良い処理流体の流体入口2122が形成されており、他方、下部室壁2140にも斯かる処理流体の流体入口2142が形成されている。尚、流体入口2122と流体入口2142に流入する流体は、用途に応じて同一であっても良く、または異種であっても良い。ヘッド2200は、スリーブ2222の回転の邪魔にならないように当該スリーブ2222をその長手方向に沿って延在する上部ノズル2210を支持している。この上部ノズル2210は、上部室壁2120における流体入口2122に流入した流体を下方へ仕向ける作用をなす。
【0062】
上部室壁2120には、垂直軸芯Aを中心として回転方向に均等に隔離した同一構成の流体出口2124が形成されている。図示の実施の形態では、流体出口2124の数は36個あるものとして示している。流体出口2124は、母材の半径よりも僅かに小さい距離だけ垂直軸芯Aから外側に隔てている。また、この流体出口2124は、処理位置で支持されているウェハ55の外周縁から半径方向内側に僅かだけ、例えば約1〜5ミリ程度、隔てている。
【0063】
上部及び下部ロータを閉成すると、室壁2120,2140とが両者間にミクロ環境反応炉2160を画成することになるが、このミクロ環境反応炉にあっては、上部処理室2126が上部室壁2120と支持されているウェハ55のほぼ平坦な第1面との間に画成され、下部処理室2146が下部室壁2140と支持されているウェハ55の、前記第1面とは反対側のほぼ平坦な第2面との間に画成される。これらの上部及び下部処理室2126、2146は、支持されているウェハ55の外周縁の外側において互いに連通していると共に、環状域2130の下部2134を画成する圧縮自在な環状シール2132(例えばO-リング)によりシールされている。このシール2132により、下部流体入口2142に流入した処理流体は、充分加圧された状態に保って流体出口2124へと流出できるのである。
【0064】
前述した実施例における構成の反応炉に比べて、反応炉2100は、広範囲の微小製作プロセスを実行するのに特に適したものである。例えば、反応炉2100は、母材の第1面とは前面にわたって処理流体が接触する一方、母材の第2面に関してはその外周部だけに接触する処理を実行するのに特に適している。このような処理は、下部室壁2140に形成されている流体入口2142に流入する処理流体は流体出口2124に達するまでに、支持されているウェハ55の下面14に作用し、その後当該ウェハ55の外周縁16に作用し、最後に当該ウェハの上面12の外周部18に作用すること、また、下部室壁2120に形成されている流体入口2122に流入する処理流体は流体出口2124に達するまでに、支持されているウェハ55の上面12の外周部18以外の表面に作用することから可能なのである。
【0065】
そのような処理の有意的な一例としては、処理流体を母材の第1面と接触させ、その後外周縁と第2面の外周部と接触させるようにした処理を実行するために、それぞれの流体入口2122に流入する処理流体の圧力を制御しながら当該反応炉2100を利用することが挙げられる。このような処理流体の流量/接触では、反対面の外周部から当該反対面に処理流体が及ぶのを避けているものとみることができる。そのようなプロセスの一実施の形態によれば、母材の第1面と外周縁と当該母材の反対面の外周部から材料の薄膜をエッチングできるのである。
【0066】
前述のようなプロセスの具体的な実施の形態としては、半導体ウェハなどに微小電子部品と相互接続構造体の何れか、または両方を形成する金属化プロセスが挙げられる。このためには、シード層の如くの薄膜を前面のバリア層の上と外周の少なくとも一部分に形成する。例えば銅泊を形成する電気メッキなど一つかそれ以上の経過処理の後に、電解メッキ材や薄膜材、バリア層材の何れか、またはそれらを食刻しうるエッチャントを、それが第1面の半径内側の部分に流れ込むのを防ぎながら第1面の外周部だけに選択的に流れるようにする。このようにして、第1面の外周部から一層かそれ以上の層を除去することができ、その外周部から半径方向内側に臨む第1面の部分における層は除去されることなくそのまま残されるのである。このエッチャントが反対面と外周縁へと、また、第1面の外周部へと流れ込んだら、ウェハの外周縁から一層かそれ以上の層が除去され、エッチャントが除去しうる汚染物が背面から剥がされてしまう。
【0067】
前述のプロセスの説明からして、処理流体が母材の外周部と反対面の何れか、または両方と選択的に接触することから、他の層と材料の何れか、または両方が選択的に食刻され、清浄化され、付着され、保護されるとか言ったようなことができるのは明らかであろう。例えば、フッ化水素酸の如くの酸化エッチャントとの選択的接触により、母材の第1面とは反対側の面とその第1面の外周部から酸化物を除去することができる。同様に、母材の前面の外周部を省く全面に酸化エッチャントが接触するようにして、当該外周部にある酸化物をそのまま残すように酸化エッチャントを反応炉において制御することも可能である。また、流体出口2124をなくせば、外周部の選択的な堆積や除去が不必要か、または望ましくないとされているプロセスにこの反応炉2100を利用することもできる。
【0068】
図19から図20に示すように、反応炉が実行するようになっている特定のプロセスに応じて、また、できるとすれば、それと同時に利用できる自動化に応じて、前述の各構成の反応炉に付加的な構造を設けることもできる。これらの付加的構造の一つとして、下部室壁2140の上面2144において、流体入口2142の回りに環状液溜め2146を形成しても良い。この液溜め2146は、流体入口2142を介して供給した残留処理流体や液状副生成物を回収するのに利用する。例えば液体がウェハ55にぶつかって落下すれば、反応炉2100の回転により向心加速度の影響で流体出口2124の方へと落下する液体が案内される。
【0069】
反応炉2100に追加するもう一つの付加的構造は下部ノズルの構成に関わっている。図示のように、下部室壁2140の流体入口2142の下方にもうけた下部ノズル2260には、図19に示すように二つかそれ以上のポート2262が形成されており、これらのポート2262を介して処理流体の噴流を流体入口2142を介して上方に流れるように仕向けている。これらのポート2262は、それぞれのポート2262を介して仕向けられた噴流がウェハ55の下面に達する箇所の近傍で合流するように設計されている。反応炉2100にはパージ用ノズル2280も備わっており、このパージ用ノズル2280は下部ノズル2260の側方に配置されていて、窒素ガスの如くのパージ用ガスの流れを下部ノズル2260を横切って流れるように仕向けている。
【0070】
また、反応炉2100にはベース2300があって、このベース2300に下部ノズル2260とパージ用ノズル2280とが装着されていると共に、このベース2300が環状同心プレナム2320を画成している。このプレナム2320には複数(例えば、四つ)のドレイン2322(一つのみ図示)があって、各ドレイン2322には、該ドレイン2322を開閉する空圧式ポペット弁2340が備わっている。これらのドレイン2322は異種の処理流体を、貯蔵システム、処理システム、ないし再循環システムの如くの適当なシステム(図示せず)へと送り込む送給路を形成している。
【0071】
プレナム2320の上方において、上部室壁2120からそれを中心として下方に延在する環状スカート2360が設けられており、この環状スカート2360も上部室壁2140と一体回転するようになっている。各流体出口2124は、該流体出口2124にある処理液を、環状スカート2360の内側表面2362の方へと流体路2364を介して仕向けるようにその向きが定められている。内側表面2362は図示のように下方外向きに末広がり形状になっているので、この内側表面2362に達する処理流体は、反応炉の回転に伴う向心加速度の影響でプレナム2320の方へと下方外向きに流れるようになっている。従って、処理流体はプレナム2320を介して掃引されてドレイン2322へと流れるのである。
【0072】
ロータ2210にはリブ付き表面2215があって、このリブ付き表面2215は、プレナム2320と連通する環状領域2204においてヘッド2200の平滑な下面に対峙していると共に、僅かだけ隔離されている。そこで、ロータ2210が回転すると、このリブ付き表面2215は環状領域2204における空気を渦流となす傾向があり、これによりプレナム2320を介してドレイン2322の方へを処理流体を追いやることができるのである。
【0073】
上部室壁2120にはスペーサ2128が設けられており、これらのスペーサ2128は下方に突出して、支持されているウェハ55が処理位置から浮き上がって上部室壁2120に接触するのを防いでいる。他方、下部室壁2140にはスペーサ2148とポスト2150とが設けられている。これらのスペーサ2148は上方に突出して、ウェハ55を下部室壁2140の上方に所定距離だけ隔てて支持しており、他方、ポスト2150は、このように支持されているウェハ55の外周縁16から上方に突出して、当該ウェハ55が垂直軸芯Aの中心から変位しないようにウェハ55の偏心を防いでいる。
【0074】
図24から図26において、下部室壁2140には、処理位置に設定されているウェハ55を上昇位置へと上昇させる昇降機構2400が装着されていても良い。この昇降機構は、上部及び下部室壁2120、2140を互いに開成すべくヘッド2200をベース2300の上方へ上昇させる際にウェハ55を上昇位置へ移動させるものである。このように支持されているウェハ55を上昇位置へ上昇させると、例えば末端作動体(end effector)を有するロボット・アームの如くの装填・取出し機構(図示せず)によるウェハの取り出しが容易になる。
【0075】
この昇降機構2400は、一群の昇降レバー2420からなる。各昇降レバー2420は枢支ピン2422を介して下部室壁2140に枢動自在に取り付けられているが、この枢支ピン2422は、作動位置と不作動位置との間を枢動自在となるように下部室壁2140におけるソケット2424へと対応する昇降レバー2420から延在している。各枢動レバー2420は、上部及び下部室壁2120、2140を互いに閉成する時に上部室壁2120に係合する不作動位置に設定されるように配置されている。他方、この各昇降レバー2420は、後述のように付勢されているので、上部室壁2120と係合していないときは常時作動位置へと枢動されている。
【0076】
従って、各昇降レバー2420は、上部及び下部室壁2120、2140が互いに閉成されるにつれて作動位置から不作動位置へと枢動させられるが、上部及び下部室壁2120、2140が互いに開成されるにつれて不作動位置から作動位置へと枢動させられるようになっている。各昇降レバー2420に設けられているピン2424は、処理位置に設定されているウェハ55の下方へと延在していて、対応する昇降レバー2420が不作動位置から作動位置へと枢動させられると昇降位置へとウェハを持ち上げるようになっている。
【0077】
昇降レバー2420は弾性部材2440(例えばOリング)により付勢されていても良く、その場合での弾性部材2440は下部室壁2140を囲繞していると共に、昇降レバー2420から垂下するフック2425を介して昇降レバー2420と係合している。各昇降レバー2420において、ピン2422が、径方向に対向するピン2426とフック2425との間の軸芯を画成している。弾性部材2440は、上部及び下部室壁2120、2140が互いに閉成してると比較的高引張状態に維持されているが、上部及び下部室壁2120、2140が互いに開成していると比較的低引張状態に維持される。
【0078】
図20に戻って、上部及び下部室壁2120、2140は互いに閉成して合体位置にあるとラッチ機構2500により互いに解放自在にクランプされるようになっていても良い。図19、図20A、図20Bに示すように、このラッチ機構は、下部室壁2140に保持されていて、上部室壁2120に設けた補完形状の凹部2540に係入するようになっているラッチ用リング2520からなる。このラッチ用リング2520は弾性バネ材(例えばフッ化ポリビニリデン)からなり、ラッチ用リング2520が第1直径を呈する未変形状態から同じラッチ用リング2520が比較的小さい直径を呈する変形状態へと変形させる、内側に階段状になっている一群の段部2350がラッチ用リング2520に一体形成されている。ラッチ用リング2520の斯かる変形は、段部2530に半径方向内側に作用する力が作用したときに発生する。この力がなくなると、ラッチ用リング2520は元の未変形状態に戻る。
【0079】
前述のラッチ機構2500は、段部2530毎にラッチ用カム2540が備わっている。各ラッチ用カム2540は、対応する段部2530に半径方向の力をさせるようになっている。
【0080】
図19に示すように、ラッチ機構2500には作動リング2560も備わっており、この作動リング2560は、当該作動リング2560が所定の移動範囲内で昇降運動を行うとラッチ用カム2540を作動させるようになっている。即ち、作動リング2560は、上昇させられるとラッチ用カム2540を作動させるが、下降させられるとラッチ用カムを不作動させるようになっている。この作動リング2560をこのように昇降させるのに、空圧式リフター2580(例えば3台のリフター)を用いている。作動リング2560が上昇させられると、上部及び下部室壁2120、2140は互いに解放されるので、ヘッド2200は上部及び下部室壁2120、2140を開成すべくベース2300から上昇させられ、或いは、上部及び下部室壁2120、2140を閉成すべくベース2300へと下降させられる。
【0081】
図20Aに示すように、作動リング2560に設けたピン2562(一つだけを図示)は上方に突出して、作動リング2560が上昇しているときに整合リング2570にある孔2570に係入している。整合リング2570は下部室壁2140に連結されていて、その下部室壁と一体回転する。作動リング2560が下降すると、ピン2562は孔2564から抜けて、整合リング2570から離れる。このピン2562が対応する孔2564に係入していると、当該ピン2562は、処理位置に支持されているウェハ55と整合するので、前述のようにロボットシステムでウェハ55を取り出すのが容易になる。
【0082】
図27から図30までは、環状外周域を処理すると共に、図20と図21を参照しながら説明した処理ステップを実行するのに有用なロータのエッジ構成を示す。
【0083】
図27と図28とにおいて、別実施の形態による反応炉2600において、上部ロータ2602には側部2608と連接する上部2606が備わっている。この上部2606は、前述したシャフト260の如くのシャフトと駆動モータとに連結されている上部ウェブ板2610に連結されているか、または一体形成されている。
【0084】
下部ロータ2604は、ベース2612から上方に延在する垂直壁2614を備えている。この垂直壁2614は内表面2616と外表面2618とを有している。外表面2618に形成されているOリング溝2620にはOリング2622が着座していて、上部ロータ2602の側部2608の内表面2624に対して下部ロータ2604をシールしている。反応炉26は、ヘッド2200内、またはその他の囲繞体に回転自在に装着されている。
【0085】
ウェハ55ないしその他の母材は、その外周部が下部ロータ2604のベース2612から上方に延在する下部隔離部材ないしピン105と、上部ロータ2602の上部2606から下方に延在する上部隔離部材ないしピン110との間に挟持された形で支持される。ウェハ55の端面ないしエッジ58は垂直壁2614の内表面2616から僅かだけ隔離されている。ピン105、110は、何れも直径は小さく、ウェハ55と接触する接触面もできるだけ小さくされている。従って、ウェハ55の上表面57全体と下表面59全体とは、反応炉2600の構造体からほぼ隔離されている。
【0086】
図28を参照するとして、上部及び下部ロータ2602,2604は、ロータがウェブ状構造になっていることから、ほぼ開いている。ピン105、110はロータの外周に沿って半径方向に隔離されている。
【0087】
使用に当っては、ウェハ55の上表面57に、前述した実施の形態におけるのと同様に好ましくは中心域において処理流体を供給する。すると流体2630は上表面57を半径方向外側へと流れ、かくて上部及び下部ロータ2602、2604とが画成するリザーバ2650へと流入する。特に、このリザーバ2650の上部は上部2606により、その底部はベース2612により、更にその外側は垂直壁2614の内表面2616によりそれぞれ画成されている。このリザーバ2650の内面、即ち、スピン軸Aに近接する表面は開放されている。従って、このリザーバ2650は上壁、底壁、外壁からなる三側面溝として形成されており、内壁は備わっていない。
【0088】
使用に当っては、上部及び下部ロータは先ず垂直方向に隔離されている、即ち、分離されている。その状態で、手動により、或いはロボットを利用して下部ロータ2604にウェハ55ないしその他の母材を載置する。すると、ウェハは下部隔離部材ないしピン105に着座する。その後上部及び下部ロータを合体させる。このように合体させると、ウェハ55は上部隔離部材110により上方から支えられることになる。従って、ウェハ55は確実にロータ間に保持されるのである。同時に、Oリングが上部ロータ2602と摺動接触してシールする。
【0089】
その後、反応炉2600を処理に適したスピン速度まで加速を掛ける。他方、処理流体2630を遠心力の作用で半径方向外側へ流してリザーバ2650に流入するようにする。図28に戻って、ピン105、110は、リザーバ2650が反応炉2600の外周全体にわたって延在している一方、ピンは極めて小領域を占有しているに過ぎないから、リザーバ2650への流体2630の流れを妨げるようなことはない。
【0090】
ウェハを流れた流体2630はリザーバ2650に溜まる。この流体は遠心力により半径方向外側に追いやられているので、リザーバに留まったままであり、リザーバの開放されている内表面(即ち、スピン軸Aに対峙する側)から流出するようなことはない。一般に、上部ロータ2602と下部ロータ2604との間には小さな隙間2626が残されている。流体はこの隙間を介して流れるものの、Oリング2622のところで阻止される。リザーバ2650が満杯になり、流体が続けて上面57に沿って外方に流れ、かくてリザーバに流入すると同時に、流体は下部ロータ2604におけるベース2612の内側リップないしエッジ2615から出てくる流出流2632としてリザーバから出てくる。この流出流2632は下方に流れた後、半径方向外側に流れ、かくてロータから流出してしまう。このように流れた流出流2632は、ヘッドないし囲繞体2200により回収されるか、偏向される。
【0091】
スピン速度と流体供給量が大凡一定になると、ウェハ55の下面59に比較的シャープな、一貫した分離線(sharply defined and consistent separation line)2634が形成される。従って、上面57全体と外縁部58と、下面59における外側の環状外周域(縁部58から分離線2634へと半径方向内側に展開する部分)とは、流体2630で覆われて処理されることになる。底面59において処理された環状外周域の幅、即ち、縁部58と分離線2634との間の寸法は、典型的には約1〜5ミリであり、通常は約3ミリである。下面59の中心域全体には流体は接触しないから、その中心域全体は処理されることはない。
【0092】
図29は、上部ロータ2702と下部ロータ2704とを有する別実施の形態による反応炉2700の構成を示すものである。図27に示した反応炉2600とは異なって、図29の反応炉2700には、連続してディスク状ないし板状の上部及び下部ロータが使われている。詳述すれば、上部ロータ2702は、円形上部板2706に直交して連接する側部ないし脚2708からなる。同様に、下部ロータ2704も、円形下部ロータ板ないしディスク2712に直交して連接する直立脚2710からなる。この上部及び下部ロータが互いに係合すると、上部ロータ2702の側部2708は、当該側部2708に形成したOリング溝2720に着座するOリング2622を介して下部ロータ2704の直立脚2710にシールされる。
【0093】
使用に当っては、ウェハ55は支持体ないしピン105、110の間に挟持された形でロータに支持される。このウェハ55の外周縁58は側部2708の内表面2710から僅かだけ隔離されている。
【0094】
処理流体は、反応炉2700が回転している間にウェハ55の上面57に供給される。この流体は半径方向外側に流れてリザーバ2750に流入することは、反応炉2600について前述した作用と同様である。上部及び下部ロータの間の隙間2726を介して流れる流体はOリング2622で阻止される。下部ロータ2704には、外周縁58から半径方向内側に約3ミリだけ隔てた箇所において排出口2730が形成されている。流体2630はこの排出口2730を介して流出するが、その際の流出流2732は下部ロータ2704の底面に沿って流れ、その後、ヘッドないし囲繞体2200へと流出する。排出口2730から出る流体は、シャープな円周分離線2734を形成する。従って、ウェハ55の下面59の環状外周域だけが処理され、残りの中心域(例えば、200ミリ径ウェハの場合では194ミリの直径域)は未処理のまま残されるのである。
【0095】
図30は、また別の実施の形態による反応炉2800を示すもので、この反応炉2800は上部中心開口2808を有する上部ロータ2802を備えている。下部ロータ2804は、図28に示した如くのウェブ構造であっても良く、または、取付具2809を介して上部ロータ2802に機械的に取り付けられていても良い。上部ロータ2802のフランジ2810は、下部ロータ2804に形成した溝2820に着座しているOリング2622を介して下部ロータ2804にシールされている。ウェハないしその他の母材55は、前述したのと同様に支持体105、110の間に挟持された形でロータ間に支持されている。排出口2830は、上部ロータ2802のフランジ2810と下部ロータ2804とにより画成されているリザーバ2850の内側において上部ロータ2802に、当該上部ロータを貫通するように形成されている。
【0096】
使用に当っては、中心部(軸A)においてウェハ55の下面59へと処理流体2630を導入する。好ましくは、この処理流体は複ジェット132を有するノズル130を介して導入するのが望ましい。流体2630は底面59に沿って半径方向外側に流れ、リザーバ2850を充満する。その後、この流体は排出口2830を介して流出することで、ウェハ55の上面57において処理済み環状外周域と未処理の内側面とを区画する分離線2834を形成する。上部中央開口2808を介してパージガスを導入し、これが排出口2830から排気されるようにするのが望ましい。パージガスは上面57の領域に流体蒸気がかからないようにする。尚、このパージガスは反応炉2600や反応炉2700においても利用できる。
【0097】
図29と図30に示した実施の形態では、単一の排出口、または、複数の排出口を利用することも出きる。図27から図30に示した反応炉は、図27から図30を参照しながら説明した点を省き、図1、図2、図14、図18に示した反応炉と同一態様(例えば、流体の供給、ロータのスピン、ロータ構成など)で稼働する。
【0098】
以上の本発明の説明においてはウェハを一例に挙げた。しかしながら、本発明の用途は広範囲にわたるものであるのは明らかである。例えば、本発明は、ディスクやヘッド、扁平パネル表示装置、微小電子マスク、それに、効果的な調節された湿式処理を要するその他の装置にも適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態の母材ハウジングとロータの横断面図。
【図2】 母材ハウジングの別実施に形態の分解斜視図。
【図3】 図2の母材ハウジングの上面図。
【図4】 図3における線IV−IVに沿う母材ハウジングの横断面図。
【図5】 図3における線V−Vに沿う母材ハウジングの横断面図。
【図6】 図3における線VI−VIに沿う母材ハウジングの横断面図。
【図7A】 合体位置にあって回転駆動装置に連結されている母材ハウジングを示す横断面図。
【図7B】 合体位置にあって回転駆動装置に連結されている母材ハウジングを示す横断面図。
【図8A】 離間位置にあって回転駆動装置に連結されている母材ハウジングを示す横断面図。
【図8B】 離間位置にあって回転駆動装置に連結されている母材ハウジングを示す横断面図。
【図9】 上部及び下部ウェハ表面を別々に処理するエッジ構成の部分断面図。
【図10】 自動汲上げ式循環システムを有する母材ハウジングの断面図。
【図11】 図1から図10にそれぞれ示した反応炉を利用する処理ツールの概略図。
【図12】 図1から図10にそれぞれ示した反応炉を利用する処理ツールの概略図。
【図13】 バッチ式ウェハ処理システムの概略図。
【図14】 母材の装填、取り出しのために離間状態にある別の反応炉を示す断面図。
【図15】 合体位置にある図14の反応炉の断面図。
【図16】 図14の反応炉で利用できる付勢部材の上面図。
【図17】 洗浄/乾燥処理に利用する前述の反応炉のシステム図。
【図18】 別の反応炉の実施の形態の切欠き図。
【図19】 図18に示した反応炉の断面図。
【図20A】 図18の反応炉のある機素の拡大詳細図。
【図20B】 図19に示した下部処理室の底部斜視図。
【図21】 図20に示した特徴の拡大詳細図。
【図22】 図20に示した特徴の拡大詳細図。
【図23】 図18の反応炉で利用した形でのロータの拡大斜視図。
【図24】 別の下部室の実施の形態の拡大斜視図。
【図25】 図24に示した昇降レバーの拡大斜視図。
【図26】 図24に示した昇降レバーの拡大斜視図。
【図27】 別のエッジ構造の実施の形態の断面図。
【図28】 図27に示したロータの上面図。
【図29】 別のエッジ構造の実施の形態の断面図。
【図30】 別のエッジ構造の実施の形態の断面図。
【符号の説明】
10、200、800、2100、2600、2800…反応炉
40、410…回転モータ
55…ウェハ
60、2602…上部ロータ
75、2604…下部ロータ
240、810…ウェハ支持体
2650…リザーバ
2730…排出口
Claims (11)
- 円盤状の半導体製品を処理する方法であって、
半導体製品の軸心(A)の方向に互いに対向するリング状の上部ロータ(2602、2802)とリング状の下部ロータ(2604、2804)の間に、前記半導体製品を挟持するステップと、
前記半導体製品を、前記半導体製品の軸心(A)の回りで回転させるステップと、
前記半導体製品の上面に処理流体を宛がうステップと、
回転に伴って発生する遠心力の作用で前記半導体製品の上面から半径方向外側に前記処理流体を流すステップと、
前記半導体製品の外周において上部ロータ(2602)と下部ロータ(2604)によって形成されるリザーバ(2650)に前記処理流体を含ませて、前記半導体製品の下面の外側環状域に前記処理流体が流れるステップとからなる方法。 - 請求項1に記載の方法であって、上部及び下部ロータ(2602、2604)上のピン(110、105)に前記半導体製品を支持させて、前記半導体製品の上面のほぼ全体を前記処理流体に曝すステップを更に設けた方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記処理流体を専ら遠心力の作用により下面の外側環状域に閉じ込めるステップを更に設けた方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記半導体製品の中心域に前記処理流体を宛がうステップを更に設けた方法。
- 請求項1に記載の方法であって、上部ロータ(2602、2802)を下部ロータ(2604、2804)に対してシールするステップを更に設けた方法。
- 請求項1に記載の方法であって、所定流量で前記処理流体を宛がって前記半導体製品の外周に環状リサーバ(2650)を形成し、その後所定流量で前記環状リザーバ(2650)から前記処理流体を排出することにより、前記環状リザーバ(2650)には一定量の前記処理流体が残るようにするステップを更に設けた方法。
- 請求項1に記載の方法であって、
前記半導体製品の外周に臨む開口(2730)を介してリザーバ(2650)から前記処理流体を取出すステップを更に設けた方法。 - 円盤状の半導体製品を処理する装置であって、
リング状の第1ロータ(2602、2802)と、
前記第1ロータ(2602、2802)に対してシールし得るように、前記半導体製品の軸心(A)の方向に前記第1ロータ(2602、2802)と対向するリング状の第2ロータ(2604、2804)と、
前記第1及び第2ロータ(2602、2604)の間に前記半導体製品を挟持するように、前記第1及び第2ロータ(2602、2604)に設けられた複数の隔離部材(105、110)とからなり、
環状リザーバ(2650)が、前記半導体製品の外周において前記第1及び第2ロータ(2602、2604)の間に形成されている装置。 - 請求項8に記載の装置であって、前記半導体製品の中心域に処理流体を導入すべく配置したノズルを更に設けた装置。
- 請求項9に記載の装置であって、前記環状リザーバ(2650)が、前記第1及び第2ロータ(2602、2604)により形成される上面と、底面と、外壁面とを有する装置。
- 請求項8に記載の装置であって、前記隔離部材(105、110)が、前記環状リザーバ(2650)内に配置されている装置。
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