JPH0521332A - レジスト除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、半導体装置の製造におけるウエハ
表面のレジストを除去する装置として、薬液槽の汚染に
よるウエハへのパーティクル付着が生じることがなく、
また薬液の劣化管理を必要としない装置を提供するもの
である。 【構成】 前記目的のために本発明は、ウエハ１をウエ
ハチャック２に載置させ、そのウエハが入るようなカッ
プ３を設けて、それに薬液を注ぐようにする装置とした
ものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造にお
ける主にホトリソグラフィ工程で必要とされる半導体ウ
エハ表面上のレジストを除去する装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウエハ（以下単にウエハと
称す）表面に塗布されたレジストを除去するには、図２
に示すようにウエハ１を複数枚ウエハキャリア７に入れ
て、それを石英槽６の中に入れ、例えば硫酸過水などの
薬液をその石英槽６中に注ぎ入れて除去していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述の方
法では、石英槽の側壁や底にレジストなどが付着して汚
染され、その汚染の影響でウエハにパーティクルが付着
し、不良品となる。

【０００４】また、何度も同じ薬液でレジスト除去を行
なっていると、薬液が劣化するのでその管理を行なう必
要があった。

【０００５】本発明は、前述したレジストの再付着がな
いようにするとともに、薬液劣化管理をせずにすむ装置
を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに本発明では、ウエハチャックに１枚のウエハを載せ
て、そのウエハが入り込むようなカップを設け、ウエハ
裏面とそのカップとの間に隙間ができるようにして、そ
のカップに薬液を注ぎ入れてレジスト除去を行なう装置
とした。

【０００７】

【作用】前述のように、本発明ではウエハ１枚毎に薬液
を注ぎ入れるようにしたので、薬液による汚染はなく、
ウエハにパーティクルが付着することもないし、また薬
液も使い捨てとなるために、その劣化の管理も必要とし
ない。

【０００８】

【実施例】図１に本発明の実施例の装置の構造を示し、
以下に説明する。図（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図、
（ｃ）は図（ｂ）の一部拡大図である。

【０００９】図に示すように本実施例は、ウエハ１を吸
着載置させるウエハチャック２を設け、ウエハ１が入る
ようなカップ３を設ける。

【００１０】従って、そのカップ３はウエハ１の外径よ
り大きい直径（とは言えガードリングできる程度の最小
の径でよい）のものであり、かつその側壁の高さＡはウ
エハチャック２に載置されたウエハ１の表面より高くな
るようにしてある。

【００１１】また、前記カップ３の底面は抜けて穴が空
いた形状となっている。これはウエハチャック２の支持
棒があるのでそれをよけるため当然ではあるが、レジス
ト除去処理後液を排出し易くするためでもある。その穴
の大きさはウエハ１のオリエンテーションフラット（オ
リフラ）部６より内側（中心側）になるようになってい
る（図（ａ）の外側の点線）。

【００１２】ウエハチャック２は一般のレジスト塗布装
置や現像機と同様、上下に動くようになっており（一般
に回転もできる）、普通、ウエハ１を吸着させてから下
降させる。そうすると前述のカップ３にウエハ１が入り
込む状態となる。このとき、ウエハ１の裏面とカップ３
の底面との間に後述するように隙間Ｘ（図（ｃ））をも
たせる。つまりカップ３はそのように配置する。

【００１３】このようにウエハ１がセットされると、ウ
エハ１上方に設けてあるノズル５から薬液が吐出され、
図（ｃ）に示すようにウエハ１上に薬液４が注がれ溜
り、その表面のレジストを除去する。その薬液４は前述
したウエハ１裏面とカップ３底面との隙間Ｘに入り込む
が、薬液４の表面張力でカップ３底面の途中で止まり、
レジスト除去中カップ３底面の穴から漏れることはな
い。

【００１４】前記隙間Ｘは、薬液４の粘度によって異な
るが、本実施例では薬液として粘度２ＣＰの液を用いた
が、隙間Ｘは０．５mm程度で十分機能を果たした。隙間
Ｘのコントロールは前述したウエハチャック２の上下動
により調整すればよい。

【００１５】以上のようにしてウエハ１を所定時間薬液
４中に浸漬させた後、リンス液（例えば純水）をウエハ
１に注ぎ洗浄する。この場合ウエハチャック２を回転さ
せて行なうのが普通であり、その後乾燥処理を行ないレ
ジスト除去を完了する。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように本発明の装置によれ
ば、ウエハ１枚毎にレジスト除去用薬液の吐出を行なう
ため、その液槽であるカップの汚染がなく、ウエハにパ
ーティクルが付着することもなく、また薬液は使い捨て
となるのでその劣化のための管理を行なうことも必要で
はなく、品質向上と工程管理の効率化に寄与すること大
である。

【００１７】また、薬液がウエハ端部にも十分入り込む
ので、その部分のレジストも十二分に除去できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の構造図

【図２】従来例の説明図

【符号の説明】

１ ウエハ ２ ウエハチャック ３ カップ ４ 薬液 ５ ノズル ６ オリフラ部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 半導体ウエハの中心部を支持し少なくと
   も上下動ができるウエハチャックと、 前記半導体ウエハが入り込める、該半導体ウエハの外径
   より大きい直径のカップとを有し、 前記カップは、その底面が前記ウエハチャックに載置さ
   れた半導体ウエハ裏面との間に隙間をつくり得るように
   配置され、このとき前記カップの側壁の高さは、前記ウ
   エハチャックに載置された半導体ウエハの表面より高く
   なる寸法であることを特徴とするレジスト除去装置。