JP4935670B2 - 半導体装置、並びにバッファーコート用樹脂組成物、ダイボンド用樹脂組成物、及び封止用樹脂組成物 - Google Patents
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Description
また、最先端の半導体に用いられる低誘電率有機層間絶縁膜は、強度が弱く脆弱であるため、実装時の熱応力によりこの層が破壊されるという問題がある。
このような状況から、耐半田リフロー性に優れた半導体装置を得るために、使用される各部材に対して従来以上に高度な信頼性が要求されるようになってきた。
次に有効な方法として挙げられるのは、半導体装置を構成する各部材界面の熱応力を下げることである。そのためには、具体的に、部材間の熱膨張係数を近づける、又は部材間の熱膨張係数の不一致により生じる応力を緩和する目的で各部材の弾性率を下げる必要がある。その一方で、複数の構成要素からなる半導体装置において、部分的な熱応力低減だけでは不十分であり、局所的な熱応力低減により他の界面の不良を増幅することもあった。そのため、複数の部材間の物性を調整し、各部材界面の熱応力を低減する必要が生じてきた。
バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であり、
ダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であり、
封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、該硬化物の260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、かつ封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であり、
バッファーコート用樹脂組成物(a)が、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、および光酸発生剤を含有し、
ダイボンド用樹脂組成物(b)が、熱硬化性樹脂および充填剤を含有する樹脂ペースト(b1)であり、
封止用樹脂組成物(c)が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤および無機充填材を含有する、ことを特徴とする。
(2)本発明の半導体装置は、バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物(c)の硬化物により封止してなる半導体装置であって、
バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であり、
ダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であり、
封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、該硬化物の260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、かつ封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であり、
バッファーコート用樹脂組成物(a)が、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、および光酸発生剤を含有し、
ダイボンド用樹脂組成物(b)が、熱可塑性樹脂および硬化性樹脂を含有する樹脂フィルム(b2)であり、
封止用樹脂組成物(c)が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤および無機充填材を含有する、ことを特徴とする。
(3)本発明のバッファーコート用樹脂組成物は、バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる前記(1)または(2)に記載の半導体装置に用いられる樹脂組成物であって、
エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、および光酸発生剤を含有し、
得られる硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であることを特徴とする。
(4)本発明のダイボンド用樹脂組成物は、バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる前記(1)に記載の半導体装置に用いられる樹脂組成物であって、
当該ダイボンド用樹脂組成物は、熱硬化性樹脂および充填剤を含有する樹脂ペーストであり、
得られる硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であることを特徴とする。
(5)本発明のダイボンド用樹脂組成物は、バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる前記(2)に記載の半導体装置に用いられる樹脂組成物であって、
当該ダイボンド用樹脂組成物は、熱可塑性樹脂および硬化性樹脂を含有する樹脂フィルムであり、
得られる硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であることを特徴とする。
(6)本発明の封止用樹脂組成物は、バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる前記(1)または(2)に記載の半導体装置に用いられる樹脂組成物であって、
エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤および無機充填材を含有し、
得られる硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、前記硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であることを特徴とする。
本発明のバッファーコート用樹脂組成物、ダイボンド用樹脂組成物および封止用樹脂組成物は、上述のような組成であることにより、上記範囲の弾性率等の物性値を有する硬化物を得ることができる。
図1の概略断面図に示すように、半導体装置10は、例えばリードフレーム12のパット13上に、ダイボンド材硬化物16を介して搭載された半導体素子18とを備える。半導体素子18の内部には多層の集積回路が形成されており、表面には回路保護のためのパッシベーション膜24、さらにバッファーコート膜26が形成されている。半導体素子18表層には、ボンディングワイヤー22を接続するための開口部が形成されており、その底部にはボンディングパット20が露出している。半導体素子18は、ダイボンド材硬化物16を介してリードフレーム12のパット13部に搭載された後、リードフレーム12と半導体素子18の電気的接続を得るためボンディングワイヤー22が張られ、最後に封止材硬化物28で封止され半導体装置10が形成される。
このような構成である半導体装置10において、ダイボンド材硬化物16は、パット13や、半導体素子18の裏面と接触している。また、バッファーコート膜26は、封止材硬化物28や、パッシベーション膜24等と接している。また、封止材硬化物28は、バッファーコート膜26や、パッシベーション膜24や、半導体素子18や、リードフレーム12等と接している。本発明においては、ダイボンド材硬化物16、バッファーコート膜26および封止材硬化物28の弾性率等が所定の範囲にあるため、部材間の熱膨張係数の不一致により生じる応力を緩和することができ、鉛フリー半田を使用する実装においても高い信頼性を有する半導体装置を提供することができる。
このような、バッファーコート膜26、ダイボンド材硬化物16、封止材硬化物28を構成する樹脂組成物について詳細に説明する。
本発明に使用するバッファーコート用樹脂組成物としては、該樹脂組成物から得られる硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であれば、特に限定するものではない。前記硬化物の弾性率は、JIS K−6760に準じて引っ張り強度を測定し、得られたSSカーブより25℃におけるヤング弾性率を算出することにより得ることができる。
バッファーコート用樹脂組成物は、例えば、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、光酸発生剤、さらに必要に応じて、溶剤、増感剤、酸捕捉剤、レベリング剤、酸化防止剤,難燃剤,可塑剤、シランカップリング剤等を含有する。
前記バッファーコート用樹脂組成物で用いられるエポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂としては、一般式(1)で表されるノルボルネン型モノマー由来の構成単位を含む付加(共)重合体等が挙げられる。
(一般式(1)中、Xは各々独立に、O、CH2、(CH2)2のいずれかであり、複数存在するXは同一でも異なっていてもよい。nは0〜5までの整数である。R1〜R4はそれぞれ水素、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリル基、アリール基、アラルキル基、又はエステル基を含有する有機基、ケトン基を含有する有機基、エーテル基を含有する有機基、エポキシ基を含有する有機基のうちいずれであってもよい。R1〜R4は、複数存在する構成単位相互間で異なっていてもよいが、全構成単位のR1〜R4のうち、少なくとも一つ以上はエポキシ基を含有する有機基である。)
エポキシ基を含有する有機基としては、グリシジルエーテル基であることが好ましい。
前記(共)重合体における、一般式(1)で表される構造単位の含有率は、露光により架橋し、現像液に耐えうる架橋密度が得られるとの観点から決めることができる。一般的には、一般式(1)で表される構造単位の含有率がポリマー中に5モル%以上、95モル%以下、好ましくは、20モル%以上、80モル%以下、さらに好ましくは30モル%以上、70モル%以下の割合で使用する。
好ましい光酸発生剤としてはオニウム塩、ハロゲン化合物、硫酸塩やその混合物である。例えばオニウム塩のカチオン側としては、ジアゾニウム、アンモニウム、ヨードニウム、スルフォニウム、ホスフォニウム、アルソニウム、オキソニウムカチオンなどが挙げられ、これらに対するカウンターアニオンは前記のオニウムカチオンと塩を作ることができる化合物である限り制限はない。カウンターアニオンの例としては、ホウ酸、アルソニウム酸、リン酸、アンチモニック酸、硫酸塩、カルボン酸とその塩化物であるがこれに限定されない。
光酸発生剤であるオニウム塩としては、トリフェニルスルフォニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロボレート、トリフェニルスルフォニウムテトラフルオロアルセナート、トリフェニルスルフォニウムテトラフルオロフォスフェート、トリフェニルスルフォニウムテトラフルオロサルフェート、4−チオフェノキシジフェニルスルフォニウムテトラフルオロボレート、4−チオフェノキシジフェニルスルフォニウムテトラフルオロアンチモネート、4−チオフェノキシジフェニルスルフォニウムテトラフルオロアルセナート、4−チオフェノキシジフェニルスルフォニウムテトラフルオロフォスフェート、4−チオフェノキシジフェニルスルフォニウムテトラフルオロスルフォネート、4−t−ブチルフェニルジフェニルスルフォニウムテトラフルオロボレート、4−t−ブチルフェニルジフェニルスルフォニウムテトラフルオロスルフォニウム、4−t−ブチルフェニルジフェニルスルフォニウムテトラフルオロアンチモネート、4−t−ブチルフェニルジフェニルスルフォニウムトリフルオロフォスフォネート、4−t−ブチルフェニルジフェニルスルフォニウムトリフルオスルフォネート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムトリフルオロボレート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムテトラフルオロボレート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムヘキサフルオロアルセナート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムヘキサフルフォスフェート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムヘキサフルオロスルフォネート、トリス(4−メトキシフェニル)スルフォニウムテトラフルオロボレート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムヘキサフルオフォスルフェート、トリス(4−メチルフェニル)スルフォニウムトリフルオロスフォネート、トリフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセナート、トリフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェート、トリフェニルヨードニウムトリフルオロスルフォネート、3,3−ジニトロジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、3,3−ジニトロジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、3,3−ジニトロジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセナート、3,3−ジニトロジフェニルヨードニウムトリフルオロサルフォネート、4,4−ジニトロジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、4,4−ジニトロジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、4,4−ジニトロジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセナート、4,4−ジニトロジフェニルヨードニウムトリフルオロサルフォネートなどが挙げられ、これらを単独で使用しても混合して使用しても良い。
光酸発生剤であるハロゲン化合物としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)トリアジン、2−アリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)トリアジン、α,β,α−トリブロモメチルフェニルスルフォン、α、α―2,3,5,6−ヘキサクロロキシレン、2,2−ビス(3,5−ジブロモ−4−ヒドロキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロキシレン、1,1,1−トリス(3,5−ジブロモ−4−ヒドロキシフェニル)エタンとそれらの混合物が挙げられる。
光酸発生剤である硫酸塩としては、2−ニトロベンジルトシレート、2,6−ジニトロベンジルトシレート、2,4−ジニトロベンジルトシレート、2−ニトロベンジルメチルスフォネート、2−ニトロベンジルアセテート、9,10−ジメトキシアントラセン−2−スルフォネート、1,2,3−トリス(メタンスルフォニルロキシ)ベンゼン、1,2,3−トリス(エタンスルフォニルロキシ)ベンゼン、1,2,3−トリス(プロパンスルフォニルロキシ)ベンゼンなどが挙げられるがこれに限定されない。
光酸発生剤として、好ましくは、4,4’−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムトリフレート、4,4’,4”−トリス(t−ブチルフェニル)スルフォニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリフェニルスルフォニウムジフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、4,4’−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(t−ブチルフェニル)スルフォニムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、(4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートとそれらの混合物が挙げられる。
本発明に用いるバッファーコート用樹脂組成物における光酸発生剤の配合割合は、硬化物の架橋密度や基板との密着性等の観点から、環状オレフィン系樹脂100重量部に対して0.1重量部以上、100重量部以下であり、より好ましくは0.1重量部以上、10重量部以下である。
増感剤は光酸発生剤を活性化することが可能な波長の範囲を広げることが可能で、ポリマーの架橋反応に直接影響を与えない範囲で加えることができる。最適な増感剤としては、使用された光源近くに最大吸光係数を持ち、吸収したエネルギーを効率的に光酸発生剤に渡すことができる化合物である。
光酸発生剤の増感剤としては、アントラセン、パイレン、パリレン等のシクロ芳香族が挙げられる。アントラセン骨格としては、例えば2−イソプロピル−9H―チオキサンテン−9−エン、4−イソプロピル−9H−チオキサンテン−9−オン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサンテン、フェノチアジンとそれらの混合物が挙げられる。本発明に用いるバッファーコート用樹脂組成物における光酸発生剤の配合割合は、光酸発生剤を活性化可能な波長の範囲を広げることができ、ポリマーの架橋反応に直接影響を与えないとの観点から、環状オレフィン系樹脂100重量部に対して0.1重量部以上、10重量部以下であり、より好ましくは0.2重量部以上、5重量部以下である。光源がg線(436nm)とi線(365nm)などの長波長の場合、増感剤は光酸発生剤を活性化するのに有効である。
本発明で用いられるバッファーコート用樹脂組成物は、これらの成分を溶剤に溶解し、ワニス状にして使用する。溶剤としては、非反応性の溶剤と反応性の溶剤があり、非反応性溶剤は、ポリマーや添加物のキャリアとして働き、塗布や硬化の過程で除去される。反応性溶剤は樹脂組成物に添加された硬化剤と相溶性がある反応基を含んでいる。
非反応性の溶剤としては炭化水素や芳香族である。例を挙げると、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサンやデカヒドロナフタレンなどのアルカンやシクロアルカンの炭化水素溶剤であるがこれに限定されない。芳香族溶媒としてはベンゼン、トルエン、キシレンやメシチレンなどである。ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、アニソール、アセテート、エステル、ラクトン、ケトンやアミドも有用である。
反応性の溶剤としてはシクロヘキセンオキサイドやα−ピネンオキサイドなどのシクロエーテル化合物、[メチレンビス(4,1−フェニレンオキシメチレン)]ビスオキシランなどの芳香族シクロエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテルなどのシクロアリファティックビニルエーテル化合物、ビス(4−ビニルフェニル)メタンなどの芳香族を単独でも混合して用いてもよい。好ましくは、メシチレンやデカヒドロナフタレンであり、これらはシリコン、シリコンオキサイド、シリコンナイトライド、シリコンオキシナイトライド、などの基板に樹脂を塗布するのに最適である。
本発明に用いられるバッファーコート用樹脂組成物は、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、光酸発生剤、増感剤、酸捕捉剤を含むことが好ましい。
具体的には、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂を100重量部とした場合に、
光酸発生剤の含量は0.1重量部以上、100重量部以下、好ましくは0.1重量部以上、10重量部以下であり、
増感剤の含量は0.1重量部以上、10重量部以下、好ましくは0.2重量部以上、5重量部以下であり、
酸捕捉剤の含量は0.01重量部以上、0.5重量部以下である。これらの数値範囲は適宜組み合わせることができる。
バッファーコート用樹脂組成物は、上述した組成であることにより、25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下である硬化物を得ることができる。
本発明で用いられるダイボンド用樹脂組成物は、その硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下である。ダイボンド用樹脂組成物の形態としては特に限定するものではなく、例えば樹脂ペースト又は樹脂フィルム等が挙げられる。
本発明のダイボンド用樹脂組成物として用いることができる樹脂ペーストは、熱硬化性樹脂と充填材を主成分とし、その硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であることを特徴とするものである。硬化物の弾性率は、動的粘弾性測定装置を用い、温度範囲:−100℃〜330℃、昇温速度:5℃/分、周波数:10Hzの条件で測定し、260℃での貯蔵弾性率を算出することにより得ることができる。
前記樹脂ペーストは、熱硬化性樹脂、硬化剤、硬化促進剤等を含んでなり、特に限定されるものではないがペーストを形成する材料であることから室温で液状であることが望ましい。
尚、樹脂ペーストに用いる充填材は、予め表面をアルコキシシラン、アリロキシシラン、シラザン、オルガノアミノシラン等のシランカップリング剤等で処理したものを用いてもよい。
本発明で用いることができるダイボンド用樹脂ペーストには、必要により用途に応じた特性を損なわない範囲内で、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、低応力化剤、顔料、染料、消泡剤、界面活性剤、溶剤等の添加剤を用いることができる。
本発明に用いられるダイボンド用樹脂ペーストは、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填材を含むことが好ましい。
具体的には、硬化剤1当量に対し、エポキシ樹脂を1当量以上、10当量以下、好ましくは1当量以上、6当量以下となる量で含む。さらに、無機充填材の含量は、該樹脂ペースト中に70重量%以上、90重量%以下、好ましくは70重量%以上、85重量%以下である。また、これらの数値範囲は適宜組み合わせることができる。
ダイボンド用樹脂ペーストは、上述のような組成であることにより、260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下である硬化物を得ることができる。
本発明で用いることができるダイボンド用樹脂ペーストの製造方法としては、例えば各成分を予備混合し、三本ロール、湿式ビーズミル等を用いて混練して樹脂ペーストを得た後、真空下で脱泡すること等がある。
ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂等の固形のエポキシ樹脂;
分子内にラジカル重合可能な官能基(アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、マレイミド基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基等)を有するポリブタジエンや、ポリイソプレンや、ポリアルキレンオキシドや、脂肪族ポリエステルや、ポリノルボルネン等の化合物
などを用いることがさらに好ましい。
これにより、樹脂骨格に脂肪鎖(炭化水素鎖)または脂環骨格等、芳香環を含まない骨格を多く導入することができ、上記範囲の弾性率を有する硬化物を得ることができる。また、カルボキシル基末端ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、フタル酸エステル等の低応力化剤を用いることも効果的である。
本発明のダイボンド用樹脂組成物として用いることができる樹脂フィルムは、熱可塑性樹脂と硬化性樹脂を主成分とし、その硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であることを特徴とするものである。硬化物の弾性率は、上述した樹脂ペーストと同様の方法で測定することができる。
(一般式(2)中、R1、R2は、各々独立に炭素数1〜4の脂肪族炭化水素基または芳香族炭化水素基を示す。R3、R4、R5、およびR6は、各々独立に炭素数1〜4の脂肪族炭化水素基または芳香族炭化水素基を示す。)
前記ポリイミド樹脂の原料として用いられる式(2)で表されるジアミノポリシロキサンとしては、ω,ω’−ビス(2−アミノエチル)ポリジメチルシロキサン、ω,ω’−ビス(4−アミノフェニル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサンなどが挙げられ、特に式(2)中のkの値が1〜25、好ましくは1〜10のものを用いることが、接着性の面で好ましい。また、接着性を上げるために必要に応じて2種類以上を組み合わせて用いても良い。
本発明においては、前記ポリイミド樹脂の酸成分とアミン成分の当量比rが、
0.900 ≦ r ≦ 1.06
さらには、
0.975 ≦ r ≦ 1.025
の範囲にあることが、機械的強度および耐熱性の両面から好ましい。ただし、r=[全酸成分の当量数]/[全アミン成分の当量数]である。
rが前記範囲内であると、ガス発生や発泡等の不具合を起こすことなく、良好な接着力を得ることができる。また、ポリイミド樹脂の分子量制御のために、ジカルボン酸無水物あるいはモノアミンを添加することは、上述の酸/アミンモル比rの範囲内であれば、特にこれを妨げない。
前記熱硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられ、これらは単独でも混合して用いても良い。これらの中でもエポキシ樹脂が特に好ましい。これにより、耐熱性および密着性をより向上することができる。
前記融点は、例えば示差走査熱量計を用いて、常温から昇温速度5℃/分で昇温した結晶融解の吸熱ピークの頂点温度で評価することができる。
前記硬化剤としては、例えばジエチレントリアミン(DETA)、トリエチレンテトラミン(TETA)、メタキシリレンジアミン(MXDA)などの脂肪族ポリアミン、ジアミノジフェニルメタン(DDM)、m−フェニレンジアミン(MPDA)、ジアミノジフェニルスルホン(DDS)などの芳香族ポリアミンのほか、ジシアンジアミド(DICY)、有機酸ジヒドラジドなどを含むポリアミン化合物等のアミン系硬化剤、ヘキサヒドロ無水フタル酸(HHPA)、メチルテトラヒドロ無水フタル酸(MTHPA)などの脂環族酸無水物(液状酸無水物)、無水トリメリット酸(TMA)、無水ピロメリット酸(PMDA)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸(BTDA)等の芳香族酸無水物等の酸無水物系硬化剤、フェノール樹脂等のフェノール系硬化剤が挙げられる。これらの中でもフェノール系硬化剤が好ましく、具体的にはビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)メタン(通称テトラメチルビスフェノールF)、4,4’−スルホニルジフェノール、4,4’−イソプロピリデンジフェノール(通称ビスフェノールA)、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(2−ヒドロキシフェニル)メタン、(2−ヒドロキシフェニル)(4−ヒドロキシフェニル)メタンおよびこれらの内ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(2−ヒドロキシフェニル)メタン、(2−ヒドロキシフェニル)(4−ヒドロキシフェニル)メタンの3種の混合物(例えば、本州化学工業(株)製、ビスフェノールF−D)等のビスフェノール類、1,2−ベンゼンジオール、1,3−ベンゼンジオール、1,4−ベンゼンジオール等のジヒドロキシベンゼン類、1,2,4−ベンゼントリオール等のトリヒドロキシベンゼン類、1,6−ジヒドロキシナフタレン等のジヒドロキシナフタレン類の各種異性体、2,2’−ビフェノール、4,4’−ビフェノール等のビフェノール類の各種異性体等の化合物が挙げられる。
前記充填材としては、例えば銀、酸化チタン、シリカ、マイカ等の無機充填材、シリコーンゴム、ポリイミド等の微粒子の有機充填材が挙げられる。これらの中でも無機充填材、特にシリカが好ましい。これにより、耐熱性をより向上させることができる。
ダイボンド用樹脂フィルムは、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂、シランカップリング剤を含むことが好ましく、必要に応じて充填材を含むことも好ましい。
具体的には、熱可塑性樹脂100重量部とした場合に、
硬化性樹脂の含量は、1重量部以上、100重量部以下、好ましくは5重量部以上、50重量部以下であり、
シランカップリング剤の含量は、0.01重量部以上、20重量部以下、好ましくは1重量部以上、10重量部以下である。更に必要に応じて、充填材(特に無機充填材)を、前記熱可塑性樹脂100重量部に対して1重量部以上、100重量部以下、好ましくは10重量部以上、50重量部以下の量で含む。これらの数値範囲は適宜組み合わせることができる。
ダイボンド用樹脂フィルムは、このような組成であることにより、25℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下である硬化物を得ることができる。
前記ダイボンド用樹脂フィルムの厚さは、特に限定されないが、3μm以上、100μm以下が好ましく、特に5μm以上、75μm以下が好ましい。厚さが前記範囲内であると、特に厚さ精度の制御を容易にできる。
本発明で用いられる封止用樹脂組成物は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤、無機充填材を主成分とする。さらに、該樹脂組成物から得られる硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、硬化物の260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、前記硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であることを特徴とするものである。
硬化物の弾性率は、JIS K 6911に準じて測定し、260℃における曲げ弾性率として得ることができる。一方、硬化物の熱膨張係数は、TMA(Thermo Mechanical
Analysys)により昇温速度5℃/分で測定し、得られたTMA曲線の260℃における熱膨張係数から得ることができる
本発明の封止用樹脂組成物に用いられる全エポキシ樹脂のエポキシ基数と全フェノール樹脂のフェノール性水酸基数の当量比としては、好ましくは0.5以上、2以下であり、特に0.7以上、1.5以下がより好ましい。上記範囲内であると、耐湿性、硬化性などの低下を抑えることができる。
封止用樹脂組成物は、全エポキシ樹脂のエポキシ基数と全フェノール樹脂のフェノール性水酸基数の当量比が、0.5以上、2以下であり、好ましくは0.7以上、1.5以下となるようにエポキシ樹脂およびフェノール樹脂を含み、無機充填材を該樹脂組成物中に80重量%以上、95重量%以下となる量で含む。これらの数値範囲は適宜組み合わせることができる。
封止用樹脂組成物は、このような組成であることにより、260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、かつ260℃における弾性率と260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下である硬化物を得ることができる。
本発明においては、封止材硬化物の特性を「260℃における弾性率と260℃における熱膨張係数との積」で規定している。これは、以下の理由によるものである。
シリコンチップ及びリードフレームは、実装温度である260℃での熱膨張係数が封止材硬化物よりも小さいため、実装時における熱膨張差により生ずるストレスにより、封止材硬化物と、シリコンチップまたはリードフレームとの間(以下、部材間ともいう)で剥離が発生することがある。本発明者らは、剥離発生と封止材硬化物の特性との関係をFEM(finite element method)応力解析等により鋭意研究したところ、部材間の剥離発生を抑えるには上記ストレスを小さくすること、即ち、
i)部材間の熱膨張係数差を小さくすること、
ii)各部材の弾性率を小さくすること、
が必要となることを見出した。本発明者らはさらに鋭意研究したところ、上記i)、ii)のいずれか一方のみが小さい値であっても、他方が大きい値である場合には、上記ストレスを小さくすることができず、結果として剥離の発生を抑えることが困難となることを見出した。つまり、上記i)、ii)のいずれをも小さくすることにより、部材間の剥離発生を抑えることができる。
本発明のように、封止材硬化物の特性を「260℃における弾性率と260℃における熱膨張係数との積」で表せば、上記i)およびii)と、部材間に発生するストレスとの関係を端的に表すことができる。さらに、特定の数値範囲とすることにより、シリコンチップ又はリードフレームと、封止材硬化物との熱膨張係数差が充分に低く、かつ各部材の弾性率が充分に小さいため、発生するストレスを充分に小さくすることができ、剥離の発生を効果的に抑えることができる。なお、封止成形を可能にすることなど、封止材硬化物には一定以上の機械的強度が求められており、この観点から、機械的強度と相関の高い弾性率の下限値としては、8,000以上が必要となる。
[半導体装置の製造方法]
まず、バッファーコート膜26で表面が被覆された半導体素子18を作製する。
具体的には、まず、バッファーコート用樹脂組成物を適当な支持体、例えば、シリコンウエハー、セラミック、アルミ基板等に塗布する。これらの支持体の表面には、複数のボンディングパッド20が形成され、ボンディングパッド20の間を埋め込むようパッシベーション膜24が形成されていてもよい。塗布方法としては、スピンナーを用いた回転塗布、スプレーコーターを用いた噴霧塗布、浸漬、印刷、ロールコーティング等が挙げられる。
次に、90〜140℃でプリベークして塗膜を乾燥後、通常の露光工程により所望のパターン形状を形成する。露光工程において照射される化学線としては、X線、電子線、紫外線、可視光線等が使用できるが、200〜700nmの波長のものが好ましい。
次に未照射部を現像液で溶解除去することにより、ボンディングパッド20が底部に露出した開口部を有するレリーフパターンが形成されたバッファーコート膜26を得る。現像液としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンやシクロヘキサンなどのアルカンやシクロアルカンなどの炭化水素、トルエン、メシチレン、キシレン等の芳香族溶媒である。またリモネン、ジペンテン、ピネン、メクリンなどのテルペン類、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノンなどのケトン類を用いることができ、それらに界面活性剤を適当量添加した有機溶剤を好適に使用することができる。
現像方法としては、スプレー、パドル、浸漬、超音波等の方式が可能である。次に、現像によって形成したレリーフパターンをリンスする。リンス液としては、アルコールを使用する。次に50〜200℃で加熱処理を行い、現像液やリンス液を除去し、さらにエポキシ基の硬化が完了し耐熱性に富む最終パターンを得る。次にパターン形成されたシリコンウエハーをダイシングにより小片化することで、バッファーコート膜26で表面が被覆された半導体素子18を得ることができる。バッファーコート膜26の膜厚は、5μm程度とすることができる。
まず、ダイボンド用樹脂組成物として樹脂ペーストを用いた半導体素子18の接着方法について説明する。
具体的には、多点ニードルや一点ニードルによる点塗布、一点ニードルによる線塗布、スクリーン印刷やスタンピング等により、ダイボンド用樹脂ペーストをリードフレーム12のパット13上に塗布する。次いで、バッファーコート膜26で表面を被覆した半導体素子18をパット13上にマウントし、公知の方法により、オーブンやホットプレート、インラインキュア装置等で加熱して樹脂ペーストを硬化し、半導体素子18を接着する。
具体的には、まず、リードフレーム12のパット13上に、ダイボンド用樹脂フィルムを介して半導体素子18を載置する。そして、温度80〜200℃で、0.1〜30秒間圧着する。さらに、180℃のオーブン中で60分間加熱硬化させる。
次いで、通常の方法により、半導体素子18のボンディングパッド20と、リードフレーム12とを、ボンディングワイヤー22を介して接続する。
そして、封止材硬化物28で半導体素子等の電子部品を封止し、半導体装置10を製造する。具体的には、封止用樹脂組成物を用い、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成形すればよい。
このような製造方法により得られる半導体装置10において、バッファーコート膜26の25℃における弾性率は0.5GPa以上、2.0GPa以下、好ましくは0.5GPa以上、1.0GPa以下であり、
ダイボンド材硬化物16の260℃における弾性率は1MPa以上、120MPa以下、好ましくは5MPa以上、100MPa以下であり、
封止材硬化物28の260℃における弾性率は400MPa以上、1200MPa以下、好ましくは400MPa以上、800MPa以下であり、該硬化物の260℃における熱膨張係数は20ppm以上、50ppm以下、好ましくは20ppm以上、40ppm以下であり、かつ封止材硬化物28の260℃における弾性率と封止材硬化物28の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下である。これらの数値範囲は適宜組み合わせることができる。
本発明の半導体装置において、バッファーコート膜26、ダイボンド材硬化物16、および封止材硬化物28の弾性率等が上記数値範囲であることにより、鉛フリー半田使用の実装において耐半田リフロー性に優れ、高い信頼性を得ることができる。
(実施例)
(1)バッファーコート用樹脂組成物の作成
<バッファーコート用樹脂組成物(A−1)の作成>
デシルノルボルンネン/グリシジルメチルエーテルノルボルネン=70/30コポリマーの共重合体(A−1)を下記のようにして作成した。
十分乾燥したフラスコ内に、エチルアセテート(917g)、シクロヘキサン(917g)、デシルノルボルネン(192g、0.82mol)とグリシジルメチルエーテルノルボルネン(62g、0.35mol)を加え、乾燥窒素ガス充填下で30分間脱気した。そこに、トルエン15mlに溶解させたニッケル触媒(ビストルエンビスパーフルオロフェニルニッケル)9.36g(19.5mmol)を反応フラスコに加え、20℃で5時間攪拌して反応を終了した。次に過酢酸溶液(975mmol)を加え18時間攪拌した後、水層と有機溶媒層を分離抽出した。有機溶媒層を3度蒸留水により洗浄・分離抽出した後、有機溶媒層にメタノールを投入したところ、メタノールに不溶の環状オレフィン系樹脂が沈殿した。その沈殿物を濾集し水洗した後、真空下で乾燥後、243g(収率96%)の環状オレフィン系樹脂を回収した。得られた環状オレフィン系樹脂の分子量は、GPCによる測定の結果、Mw=115,366、Mn=47,000、Mw/Mn=2.43であった。環状オレフィン系樹脂の組成は、H−NMRの測定結果から、デシルノルボルネンが70モル%、エポキシノルボルネンが30モル%であった。
バッファーコート用樹脂組成物(A−2)としては、住友ベークライト(株)製、CRC−6061を使用した。
また、デシルノルボルンネン/グリシジルメチルエーテルノルボルネンの比率を90/10にした以外は(A−1)と同様に調製することにより、バッファーコート用樹脂組成物(A−3)を得た。
上記により得たバッファーコート用樹脂組成物をシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて120℃、5分間乾燥し、膜厚約10μmの塗膜を得た。これを硬化後100mm幅にダイシングした後、短冊状の試験片を2%フッ酸水溶液に入れ、シリコンウエハー基板を溶かし、洗浄、乾燥後フィルム状の試験片を得た。得られた試験片をJIS K−6760に準じてテンシロンで引っ張り強度を測定し、得られたSSカーブよりヤング弾性率(25℃)を算出した。上記のバッファーコート用樹脂組成物(A−1)から形成された硬化物(バッファーコート膜)の弾性率は0.5GPaであり、上記のバッファーコート用樹脂組成物(A−2)から形成されたバッファーコート膜の弾性率は3.5GPaであり、上記のバッファーコート用樹脂組成物(A−3)から形成されたバッファーコート膜の弾性率は0.2GPaであった。尚、バッファーコート用樹脂組成物(A−3)は露光に問題があったため、パッケージとしての評価は実施しなかった。
表1に示した組成の各成分と充填材を配合し、三本ロール(ロール間隔50μm/30μm)を用いて室温で5回混練して樹脂ペーストを作製した。この樹脂ペーストを真空チャンバーにて2mmHgで30分間脱泡した後、以下の方法により熱時の弾性率を評価した。配合及び評価結果を表1に示す。配合の単位は重量部とする。
用いた原料成分は次のとおりである。
・ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェルエポキシ(株)製、エピコート828、エポキシ当量190、以下「BPA」という。)
・クレジルグリシジルエーテル(日本化薬(株)製、SBT−H、エポキシ当量206、以下「m,p−CGE」という。)
・ジシアンジアミド(以下「DDA」という。)
・ビスフェノールF型硬化剤(大日本インキ(株)製、DIC−BPF、エポキシ当量156、以下「BPF」という。)
・2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業(株)製、キュアゾール2P4MHZ、以下「イミダゾール」という。)
・エポキシ含有ポリブタジエン(新日本石油(株)、E−1800、以下「E/1800」という。)
・銀粉:平均粒径3μmで最大粒径30μmのフレーク状銀粉
テフロン(登録商標)シート上に樹脂ペーストを幅4mm、長さ約50mm、厚さ200μmに塗布し、175℃のオーブン中で30分間硬化した後、硬化物をテフロン(登録商標)シートから引き剥がし、試験長20mmに調整する。その試験片を動的粘弾性測定装置(製品名:DMS6100(セイコーインスツルメンツ(株)社製))を用いて、−100℃から330℃まで昇温速度5℃/分、周波数10Hzで測定し、260℃での貯蔵弾性率を算出した。その結果を表1に示す。
<ダイボンド用樹脂フィルム樹脂ワニスの調製>
ダイボンド用樹脂フィルム樹脂ワニス(B−3)の調整:熱可塑性樹脂としてポリイミド樹脂PIA(ジアミン成分として1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学(株)製 APB) 43.85g(0.15モル)とα,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン(平均分子量837)(扶桑化学(株)製 G9) 125.55g(0.15モル)と、酸成分として4,4’−オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製 ODPA−M) 93.07g(0.30モル)とを合成して得られるポリイミド樹脂(以下「PIA」という。)、Tg:70℃、重量平均分子量30,000)87.0重量部を用い、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂(EOCN−1020−80(オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、エポキシ当量200g/eq、日本化薬(株)製、軟化点80℃、以下「EOCN」という。)8.7重量部とシランカップリング剤(KBM573、信越化学工業(株)製)4.3重量部をN−メチル−2−ピロリドン(NMP)に溶解して樹脂固形分43%の樹脂ワニス(B−3)を得た。
ダイボンド用樹脂フィルム樹脂ワニス(B−4)の調整:熱可塑性樹脂としてポリイミド樹脂PIA(ジアミン成分として1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学(株)製 APB) 43.85g(0.15モル)とα,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン(平均分子量837)(扶桑化学(株)製 G9) 125.55g(0.15モル)と、酸成分として4,4’−オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製 ODPA−M) 93.07g(0.30モル)とを合成して得られるポリイミド樹脂、Tg:70℃、重量平均分子量30,000)をN−メチル−2−ピロリドン(NMP)に溶解して樹脂固形分40%の樹脂ワニス(B−4)を得た。
<ダイボンド用樹脂フィルムの製造>
コンマコーターを用いて上述の樹脂ワニスを、保護フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルム(三菱化学ポリエステルフィルム(株)社製、品番MRX50、厚さ50μm)に塗布した後、180℃、10分間乾燥し、保護フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、厚さ25μmのダイボンド用樹脂フィルムを得た。
・前記ダイボンド用樹脂フィルムを、180℃のオーブン中で60分間硬化した後、動的粘弾性測定装置を用いて試験長20mm、−100℃から330℃まで昇温速度5℃/分、周波数10Hzで測定し、260℃での貯蔵弾性率を算出した。配合及び結果を表1に示す。
各成分を常温においてミキサーで混合した後、70〜120℃で2本ロ−ルにより混練し、冷却後粉砕して封止用エポキシ樹脂組成物を得た。用いた主な原料成分と得られた樹脂組成物の特性評価方法を以下に示す。
・エポキシ樹脂1:ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000P、軟化点58℃、エポキシ当量274)
・エポキシ樹脂2:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学(株)製、ESCN195LA、軟化点55℃、エポキシ当量199)
・エポキシ樹脂3:フェノールフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(三井化学(株)製、E−XLC−3L、軟化点53℃、水酸基当量236)
・フェノ−ル樹脂1:ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂(明和化成(株)製、MEH−7851SS、軟化点65℃、水酸基当量203)
・フェノール樹脂2:フェノールフェニルアラルキル樹脂(三井化学(株)製、XLC−4L、軟化点65℃、水酸基当量175℃)
・フェノ−ル樹脂3:フェノールノボラック樹脂(軟化点80℃、水酸基当量105)
・球状溶融シリカ:平均粒径20μm
・トリフェニルホスフィン
・カップシング剤:γ−グルシジルプロピルトリメトキシシラン
・カーボンブラック
・カルナバワックス
・低応力改質剤:平均粒径5μm、NBR粉末とタルクの混合物
・TMA(α1、α2、Tg):トランスファー成形機を用いて金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間90秒で、10mm×4mm×4mmの硬化物を成形し、175℃2時間で後硬化し、昇温速度5℃/分でTMAにより測定した。得られたTMA曲線の60℃及び260℃での熱膨張係数をそれぞれα1、α2、また60℃及び260℃での接線の交点温度を読み取り、この温度をガラス転移温度(Tg)とした。
曲げ弾性率(260℃):JIS K 6911に準じて測定した。トランスファ−成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間90秒で、80mm×10mm×4mmの試験片を成形し、175℃2時間で後硬化し、260℃にて曲げ弾性率を測定した。配合及び結果を表2に示す。配合の単位は重量部とする。
実施例1〜4、比較例1〜7
パッケージの組み立て方法と評価方法を以下に示す。及び結果を表3に示す。
作製したバッファーコート用樹脂組成物を回路が形成されたシリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて120℃で5分乾燥し、膜厚約10μmの塗膜を得た。この塗膜にi線ステッパー露光機NSR−4425i(ニコン(株)製)によりレチクルを通して300mJ/cm2で露光を行った。その後ホットプレートにて100℃で4分、露光部の架橋反応を促進させるため加熱した。
次にリモネンに30秒浸漬することによって未露光部を溶解除去した後、イソプロピルアルコールで20秒間リンスした。その結果、パターンが成形されていることが確認できた。
この環状オレフィン系樹脂膜に東京応化製プラズマ装置(OPM−EM1000)を用いて酸素プラズマ処理を行った。条件としては、出力は400W、10分で酸素流量は200sccmを採用した。
160ピンLQFP(Low Profile Quad Flat Package)にバッファーコートされた半導体素子(半導体素子のサイズ7mm×7mm、半導体素子の厚さ0.35mm)を、ダイボンド用樹脂ペーストを介してマウントし、オーブンで硬化した。硬化条件は室温から175℃まで30分で昇温し、175℃で30分保持、硬化後の樹脂ペーストの厚みは約20μmであった。
接着フィルムの片面に厚さ0.35mmウエハーの裏面を150℃で貼り付けし、接着フィルム付きウエハーを得た。その後ダイシングフィルムを接着フィルム面に貼り付けた。そして、ダイシングソーを用いて、接着フィルムが接合した半導体ウエハーをスピンドル回転数30,000rpm、切断速度50mm/secで、7mm×7mmの半導体素子のサイズにダイシング(切断)して、ダイシングフィルム及び接着フィルムが接合した半導体素子を得た。次に、ダイシングシート裏面から突上げしダイシングフィルムと接着フィルム層間で剥離し接着フィルムが接合した半導体素子を160ピンLQFPに、200℃、5N、1.0秒間圧着して、ダイボンディングし、オーブンで硬化した。硬化条件は室温から180℃まで30分で昇温し、180で60分保持で行った。
トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間90秒で、樹脂ペ−スト或いは樹脂フィルムで半導体素子を搭載した160ピンLQFPを封止成形し、175℃、2時間で後硬化してサンプルを得た。
各16個のサンプルを別々に85℃、相対湿度60%の環境下で168時間と85℃、相対湿度85%の環境下で168時間処理し、その後IRリフロー(260℃)で10秒間処理した。超音波探傷装置を用いて観察し、内部クラック及び各種界面剥離の有無を調べた。超音波探傷装置でどの位置での界面の剥離か特定できないものについては、断面観察により剥離界面を特定した。内部クラック又は各種界面の剥離が1つでも見つかったものは不良とし、不良パッケージの個数がn個であるとき、n/16と表示した。
Claims (21)
- バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物(c)の硬化物により封止してなる半導体装置であって、
バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であり、
ダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であり、
封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、該硬化物の260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、かつ封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であり、
バッファーコート用樹脂組成物(a)が、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、および光酸発生剤を含有し、
ダイボンド用樹脂組成物(b)が、熱硬化性樹脂および充填剤を含有する樹脂ペースト(b1)であり、
封止用樹脂組成物(c)が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤および無機充填材を含有する、
ことを特徴とする半導体装置。 - バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物(c)の硬化物により封止してなる半導体装置であって、
バッファーコート用樹脂組成物(a)の硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であり、
ダイボンド用樹脂組成物(b)の硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であり、
封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、該硬化物の260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、かつ封止用樹脂組成物(c)の硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であり、
バッファーコート用樹脂組成物(a)が、エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、および光酸発生剤を含有し、
ダイボンド用樹脂組成物(b)が、熱可塑性樹脂および硬化性樹脂を含有する樹脂フィルム(b2)であり、
封止用樹脂組成物(c)が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤および無機充填材を含有する、
ことを特徴とする半導体装置。 - バッファーコート用樹脂組成物(a)に含まれるエポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂が、一般式(1)
で表されるノルボルネン型モノマー由来の構成単位を含む付加(共)重合体であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 樹脂ペースト(b1)に含まれる熱硬化性樹脂が、水素添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、および分子内にラジカル重合可能な官能基を有する化合物よりなる群から選択される1種以上であることを特徴とする請求項1または3に記載の半導体装置。
- 樹脂ペースト(b1)に含まれる充填剤が、金属粉、溶融シリカ、結晶シリカ、窒化珪素、アルミナ、窒化アルミまたはタルクであることを特徴とする請求項1、3または4に記載の半導体装置。
- 封止用樹脂組成物(c)に含まれるエポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型(フェニレン、ジフェニレン骨格を含む)エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を含むエポキシ樹脂、およびジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂よりなる群から選択される1種以上であり、
該組成物(c)に含まれるフェノール樹脂硬化剤が、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル(フェニレン、ビフェニレン骨格を含む)樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、トリフェノールメタン樹脂、およびジシクロペンタジエン型フェノール樹脂よりなる群から選択される1種以上であり、
該組成物(c)に含まれる硬化促進剤が、有機リン系化合物またはイミダゾール化合物であり、
該組成物(c)に含まれる無機充填材が、溶融シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、およびガラス繊維よりなる群から選択される1種以上である
ことを特徴とする請求項1、3乃至5のいずれかに記載の半導体装置。 - 封止用樹脂組成物(c)が、
ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル樹脂、およびナフトールアラルキル樹脂よりなる群から選択される1種以上の樹脂と、
該樹脂組成物中に80重量%以上、95重量%以下で含まれる無機充填材とを含有することを特徴とする請求項1、3乃至6のいずれかに記載の半導体装置。 - バッファーコート用樹脂組成物(a)に含まれるエポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂が、一般式(1)
で表されるノルボルネン型モノマー由来の構成単位を含む付加(共)重合体であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 樹脂フィルム(b2)に含まれる熱可塑性樹脂が、テトラカルボン酸二無水物と一般式(2)
で表されるジアミノポリシロキサンと、芳香族もしくは脂肪族ジアミンとの重縮合反応によって得られるポリイミド樹脂であり、
該樹脂フィルム(b2)に含まれる硬化性樹脂が、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールA型のジグリシジルエーテル、ビスフェノールF型のジグリシジルエーテル、ビスフェノールA−エピクロルヒドリン型エポキシ化合物、ジフェニルエーテル型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、および水添ビスフェノールA型エポキシ化合物よりなる群から選択される1種以上のエポキシ樹脂である、
ことを特徴とする請求項2または8に記載の半導体装置。 - 封止用樹脂組成物(c)に含まれるエポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型(フェニレン、ジフェニレン骨格を含む)エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を含むエポキシ樹脂、およびジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂よりなる群から選択される1種以上であり、
該組成物(c)に含まれるフェノール樹脂硬化剤が、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル(フェニレン、ビフェニレン骨格を含む)樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、トリフェノールメタン樹脂、およびジシクロペンタジエン型フェノール樹脂よりなる群から選択される1種以上であり、
該組成物(c)に含まれる硬化促進剤が、有機リン系化合物またはイミダゾール化合物であり、
該組成物(c)に含まれる無機充填材が、溶融シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、およびガラス繊維よりなる群から選択される1種以上である
ことを特徴とする請求項2、8または9に記載の半導体装置。 - 封止用樹脂組成物(c)が、
ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル樹脂、およびナフトールアラルキル樹脂よりなる群から選択される1種以上の樹脂と、
該樹脂組成物中に80重量%以上、95重量%以下で含まれる無機充填材とを含有することを特徴とする請求項2、8乃至10のいずれかに記載の半導体装置。 - バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる、請求項1乃至11のいずれかに記載の半導体装置に用いられるバッファーコート用樹脂組成物であって、
エポキシ基を有する環状オレフィン系樹脂、および光酸発生剤を含有し、
得られる硬化物の25℃における弾性率が0.5GPa以上、2.0GPa以下であることを特徴とするバッファーコート用樹脂組成物。 - エポキシ基を有する前記環状オレフィン系樹脂が、一般式(1)
で表されるノルボルネン型モノマー由来の構成単位を含む付加(共)重合体であることを特徴とする請求項12に記載のバッファーコート用樹脂組成物。 - バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる請求項1、3乃至7のいずれかに記載の半導体装置に用いられるダイボンド用樹脂組成物であって、
当該ダイボンド用樹脂組成物は、熱硬化性樹脂および充填剤を含有する樹脂ペーストであり、
得られる硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であることを特徴とするダイボンド用樹脂組成物。 - 前記熱硬化性樹脂が、水素添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、および分子内にラジカル重合可能な官能基を有する化合物よりなる群から選択される1種以上であることを特徴とする請求項14に記載のダイボンド用樹脂組成物。
- 前記充填剤が、金属粉、溶融シリカ、結晶シリカ、窒化珪素、アルミナ、窒化アルミまたはタルクであることを特徴とする請求項14または15に記載のダイボンド用樹脂組成物。
- バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる請求項2、8乃至11のいずれかに記載の半導体装置に用いられるダイボンド用樹脂組成物であって、
当該ダイボンド用樹脂組成物は、熱可塑性樹脂および硬化性樹脂を含有する樹脂フィルムであり、
得られる硬化物の260℃における弾性率が1MPa以上、120MPa以下であることを特徴とするダイボンド用樹脂組成物。 - 前記熱可塑性樹脂が、テトラカルボン酸二無水物と一般式(2)
で表されるジアミノポリシロキサンと、芳香族もしくは脂肪族ジアミンとの重縮合反応によって得られるポリイミド樹脂であり、
前記硬化性樹脂が、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールA型のジグリシジルエーテル、ビスフェノールF型のジグリシジルエーテル、ビスフェノールA−エピクロルヒドリン型エポキシ化合物、ジフェニルエーテル型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、および水添ビスフェノールA型エポキシ化合物よりなる群から選択される1種以上のエポキシ樹脂である、
ことを特徴とする請求項17に記載のダイボンド用樹脂組成物。 - バッファーコート用樹脂組成物の硬化物で表面を被覆した半導体素子をダイボンド用樹脂組成物の硬化物によりリードフレームのパット上に搭載し、前記リードフレームのパット上に搭載された半導体素子を封止用樹脂組成物の硬化物により封止してなる請求項1乃至11のいずれかに記載の半導体装置に用いられる封止用樹脂組成物であって、
エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤および無機充填材を含有し、
得られる硬化物の260℃における弾性率が400MPa以上、1200MPa以下、260℃における熱膨張係数が20ppm以上、50ppm以下であり、前記硬化物の260℃における弾性率と該硬化物の260℃における熱膨張係数との積が8,000以上、45,000以下であることを特徴とする封止用樹脂組成物。 - 前記エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型(フェニレン、ジフェニレン骨格を含む)エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を含むエポキシ樹脂、およびジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂よりなる群から選択される1種以上であり、
前記フェノール樹脂硬化剤が、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル(フェニレン、ビフェニレン骨格を含む)樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、トリフェノールメタン樹脂、およびジシクロペンタジエン型フェノール樹脂よりなる群から選択される1種以上であり、
前記硬化促進剤が、有機リン系化合物またはイミダゾール化合物であり、
前記無機充填材が、溶融シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、およびガラス繊維よりなる群から選択される1種以上である
ことを特徴とする請求項19に記載の封止用樹脂組成物。 - ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル樹脂、およびナフトールアラルキル樹脂よりなる群から選択される1種以上の樹脂と、
該樹脂組成物中に80重量%以上、95重量%以下で含まれる無機充填材とを含有することを特徴とする請求項19または20に記載の封止用樹脂組成物。
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US8034702B2 (en) | 2007-08-16 | 2011-10-11 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming through substrate interconnects |
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JP2011102383A (ja) * | 2009-10-14 | 2011-05-26 | Nitto Denko Corp | 熱硬化型ダイボンドフィルム |
US20120302685A1 (en) * | 2010-02-02 | 2012-11-29 | Adco Products, Inc. | Moisture barrier potting compound |
JP5625430B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2014-11-19 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体用接着剤および半導体装置 |
CN102237319A (zh) * | 2010-04-23 | 2011-11-09 | 三星半导体(中国)研究开发有限公司 | 封装件 |
JP5528936B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2014-06-25 | 日東電工株式会社 | フリップチップ型半導体裏面用フィルム |
CN101935510B (zh) * | 2010-09-21 | 2012-10-31 | 长春永固科技有限公司 | 一种高粘接强度的环氧导电银胶 |
US9059187B2 (en) * | 2010-09-30 | 2015-06-16 | Ibiden Co., Ltd. | Electronic component having encapsulated wiring board and method for manufacturing the same |
CN102408679B (zh) * | 2011-08-29 | 2012-12-26 | 天威新能源控股有限公司 | 一种环氧树脂复合材料 |
TW201319197A (zh) * | 2011-11-04 | 2013-05-16 | Namics Corp | 晶粒接合劑 |
US9196559B2 (en) * | 2013-03-08 | 2015-11-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Directly sawing wafers covered with liquid molding compound |
JP6320239B2 (ja) * | 2013-09-24 | 2018-05-09 | 日東電工株式会社 | 半導体チップ封止用熱硬化性樹脂シート及び半導体パッケージの製造方法 |
CN105474098A (zh) * | 2013-09-30 | 2016-04-06 | 日立化成株式会社 | 感光性树脂组合物、感光性元件、半导体装置和抗蚀剂图案的形成方法 |
JP6540510B2 (ja) | 2013-09-30 | 2019-07-10 | 日立化成株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、半導体装置及びレジストパターンの形成方法 |
TWI618615B (zh) * | 2015-08-12 | 2018-03-21 | Zhao Chang Wen | Method for forming thermosetting resin package sheet |
EP3258487B1 (en) | 2016-06-15 | 2020-08-05 | ABB Schweiz AG | High voltage power electronics module for subsea applications |
KR20190022788A (ko) * | 2016-06-27 | 2019-03-06 | 워너 밥콕 인스티튜트 포 그린 캐미스트리, 엘엘씨 | 비스페놀 a-부재 가교결합된 중합체 조성물 |
TWI647265B (zh) * | 2018-02-05 | 2019-01-11 | Taiwan Union Technology Corporation | 樹脂組合物,以及使用該組合物所製得之預浸漬片、金屬箔積層板、與印刷電路板 |
CN110718509A (zh) * | 2018-07-11 | 2020-01-21 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种电子元件封装结构及封装方法 |
CN110112103B (zh) * | 2019-05-20 | 2021-06-04 | 东莞市美康仕电子科技有限公司 | 一种有效提高抗冲击性能的集成电路板 |
CN110745772B (zh) * | 2019-10-21 | 2023-10-20 | 重庆大学 | 一种mems应力隔离封装结构及其制造方法 |
KR102411810B1 (ko) * | 2019-11-29 | 2022-06-23 | 피아이첨단소재 주식회사 | 반도체 패키지 |
CN114851647B (zh) * | 2022-05-25 | 2024-03-15 | 上海拜赋新材料技术有限公司 | 一种半导体芯片封测假片基材及其制作方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63107156A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH0673178A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-03-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ポリアミック酸及びポリイミド樹脂、これらの製造方法並びに半導体装置保護用材料 |
JPH09289269A (ja) * | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2002226800A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着シート、その使用方法及び半導体装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970008355B1 (ko) * | 1992-09-29 | 1997-05-23 | 가부시키가이샤 도시바 | 수지밀봉형 반도체장치 |
US5409996A (en) * | 1993-02-23 | 1995-04-25 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Thermoplastic resin composition |
JP3346012B2 (ja) * | 1994-01-06 | 2002-11-18 | ジェイエスアール株式会社 | ノルボルネン重合体およびその製造方法 |
JP3195236B2 (ja) * | 1996-05-30 | 2001-08-06 | 株式会社日立製作所 | 接着フィルムを有する配線テープ,半導体装置及び製造方法 |
KR20040000387A (ko) * | 1996-10-08 | 2004-01-03 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접착제 및 양면 접착 필름 |
US6106998A (en) * | 1997-06-19 | 2000-08-22 | Nec Corporation | Negative resist materials, pattern formation method making use thereof, and method of manufacturing semiconductor devices |
US6833180B1 (en) * | 1997-07-04 | 2004-12-21 | Nippon Zeon Company, Ltd. | Adhesive for semiconductor part |
WO2000008685A1 (fr) * | 1998-08-03 | 2000-02-17 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Substrat de cablage, son procede de fabrication, et dispositif a semiconducteur |
KR20000057998A (ko) * | 1999-02-15 | 2000-09-25 | 엔다 나오또 | 폴리이미드 수지의 제조방법 |
US7012120B2 (en) * | 2000-03-31 | 2006-03-14 | Henkel Corporation | Reworkable compositions of oxirane(s) or thirane(s)-containing resin and curing agent |
US6399892B1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-06-04 | International Business Machines Corporation | CTE compensated chip interposer |
TWI281478B (en) * | 2000-10-11 | 2007-05-21 | Sumitomo Bakelite Co | Die-attaching paste and semiconductor device |
US20050181214A1 (en) * | 2002-11-22 | 2005-08-18 | John Robert Campbell | Curable epoxy compositions, methods and articles made therefrom |
US20050048291A1 (en) * | 2003-08-14 | 2005-03-03 | General Electric Company | Nano-filled composite materials with exceptionally high glass transition temperature |
JP3811160B2 (ja) * | 2004-03-09 | 2006-08-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US7560821B2 (en) * | 2005-03-24 | 2009-07-14 | Sumitomo Bakelite Company, Ltd | Area mount type semiconductor device, and die bonding resin composition and encapsulating resin composition used for the same |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63107156A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH0673178A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-03-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ポリアミック酸及びポリイミド樹脂、これらの製造方法並びに半導体装置保護用材料 |
JPH09289269A (ja) * | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2002226800A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着シート、その使用方法及び半導体装置 |
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