JP7238271B2 - 電子装置、及び電子装置の製造方法 - Google Patents
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Description
第1回路基板と、
第2回路基板と、
前記第1回路基板と前記第2回路基板とを電気的に接続する金属接合部と、
前記金属接合部を埋設するとともに、前記第1回路基板と前記第2回路基板とをこれらの間に介在して接着する有機絶縁層と、を備えており、
前記有機絶縁層中に組成不連続面が形成されている、電子装置が提供される。
図1は、本実施形態の電子装置100における接続構造を模式的に示す断面図である。
まず、2つの回路基板の片側のみに接着剤層を形成し、これらを接合した場合、ボンディング温度が通常の高温条件であれば、十分な基板接着性が得られるが、ボンディング温度を通常よりも低い低温条件に設定したときでは、低温接着性が不十分となり、低温製造安定性が低下することが判明した。
第1樹脂膜112と第2樹脂膜114との間に組成不連続面120を形成することにより、第1回路基板102と有機絶縁層110との界面や、第2回路基板104と有機絶縁層110との界面における基板界面剥離を抑制できることが分かった。
本明細書では、このようにボンディング工程における膜同士を貼り付けるプロセスを「膜接合」と呼称する。
上記第1樹脂膜112および第2樹脂膜114において、両者とも、互いに同一また異なる感光性接着剤組成物からなる膜で構成されていてもよく、一方が感光性接着剤組成物からなる膜で構成され、かつ他方が他の樹脂膜で構成されていてもよい。
他方の樹脂膜としては、例えば、感光性接着剤組成物以外の他の樹脂材料として、通常のバッファーコート材料や再配線材料等を用いることができる。他の樹脂材料としては、例えば、たとえばフェノール樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂、メタクリル酸樹脂、メタクリル酸エステル樹脂等のアクリル系樹脂、環状オレフィン系樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリイミド前駆体等のアミド結合を有する前駆体、ならびに当該前駆体を脱水閉環して得られる樹脂、からなる群より選択される1種または2種以上を含むことができる。
また、Bステージ状態(半硬化状態)とCステージ状態(硬化状態)の樹脂膜同士は、前述の低温条件よりも高温の高温条件で接着させることが可能である。高温条件としては、260℃程度のボンディング温度を採用することができる。
第1回路基板102および第2回路基板104のそれぞれの基板材料の主成分がシリコンである場合、膜同士密着性を向上させることが有効である。
本実施形態の電子装置100は、少なくとも1つの断面において上記構成を満たすことが好ましい。金属接合部130の幅Wは、当該断面において最大値の幅を意味する。
例えば、以下の工程:
回路基板上に感光性接着剤組成物を供する工程(工程1)、
感光性接着剤組成物を加熱乾燥して感光性樹脂膜を得る工程(工程2)、
感光性樹脂膜を活性光線で露光する工程(工程3)、
露光された感光性樹脂膜を現像して、パターニングされた樹脂膜を得る工程(工程4)、および、
パターニングされた樹脂膜を介して第1回路基板および第2回路基板を積層する工程(工程5)
その樹脂膜を加熱して、硬化膜を得る工程(工程6)、
により、本実施形態の感光性接着剤組成物の硬化膜(有機絶縁層)を備える構造体(電子装置)を得ることができる。
必要に応じて、ダイシングなどの公知のプロセスを採用できる。
露光後、現像前に、感光性樹脂膜を再度加熱(露光後加熱処理)してもよい。その露光後加熱処理の温度・時間は、例えば80~200℃、10~300秒程度が通常である。
現像液としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液が好ましい。この水溶液におけるテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの濃度は、好ましくは0.5~10質量%であり、更に好ましくは1~5質量%である。
現像工程の後、上記の加熱処理を実施してもよい。また、第1回路基板102の開口部140に金属層132を露出させ、第2回路基板104の開口部142に金属接合部130を形成する。金属接合部130の形成前に第2樹脂膜114を熱硬化させてCステージ状態としてもよい。これにより、金属接合部130の形成安定性を高めることができる。
上記の共重合体は、分子中にカルボン酸などの酸性基を有することができる。これにより、アルカリ現像液中のアルカリ成分と酸性基が塩を形成し、現像液由来の成分を樹脂膜の表面近傍に残存させることができると推察される。
架橋剤が環状エーテル基を有する場合、その官能基としては、架橋剤中の環状エーテル基と架橋反応する官能基を有することができる。このような共重合体と架橋剤との架橋構造により、密着性、機械特性を向上させることができる。
また、式(2)中、nは、例えば、0、1または2であり、0または1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
本明細書中、「~」は、特に明示しない限り、上限値と下限値を含むことを表す。
アルキル基としては、たとえばメチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、およびデシル基が挙げられる。アルケニル基としては、たとえばアリル基、ペンテニル基、およびビニル基が挙げられる。アルキニル基としては、エチニル基が挙げられる。アルキリデン基としては、たとえばメチリデン基、およびエチリデン基が挙げられる。アリール基としては、たとえばトリル基、キシリル基、フェニル基、ナフチル基、およびアントラセニル基が挙げられる。アラルキル基としては、たとえばベンジル基、およびフェネチル基が挙げられる。シクロアルキル基としては、たとえばアダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、およびシクロオクチル基が挙げられる。ヘテロ環基としては、たとえばエポキシ基、およびオキセタニル基が挙げられる。
なお、ポリマーを含んで構成される膜の光透過性を高める観点からは、R1~R4のいずれかが水素であることが好ましく、たとえば、式(2)の構造単位を採用する場合にあっては、R1~R4すべてが水素であることが好ましい。
上記一般式(B2)中のRB1としては、例えば、アルキル基、アルケニル基、及び、アルキニル基からなる群より選択される1種以上であることが好ましく、アルキル基またはアルケニル基であることが好ましい。これにより、RB1中の結合が開裂することを抑制できる。したがって、共重合体の耐熱性を向上できる。
環状エーテル基を有する化合物を含むことにより、露光現像後の後硬化における密着性を向上させることができる。詳細なメカニズムは定かでないが、第1回路基板と第2回路基板とのボンディング工程の前まで、感光性接着剤組成物からなる樹脂膜の硬化反応を抑制できるため、後硬化において硬化反応を十分進めることが可能となり、後硬化時における高い密着性を実現できる、と考えられる。
多官能エポキシ樹脂としては、例えば、2-[4-(2,3-エポキシプロポキシ)フェニル]-2-[4-[1,1-ビス[4-([2,3-エポキシプロポキシ]フェニル)エチル]フェニル]プロパン、フェノールノボラック型エポキシ、テトラキス(グリシジルオキシフェニル)エタン、α-2,3-エポキシプロポキシフェニル-ω-ヒドロポリ(n=1~7){2-(2,3-エポキシプロポキシ)ベンジリデン-2,3-エポキシプロポキシフェニレン}、1-クロロ-2,3-エポキシプロパン・ホルムアルデヒド・2,7-ナフタレンジオール重縮合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂などが用いられる。これらは単独で用いても複数組み合わせて用いても良い。
上記界面活性剤は、たとえば、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤、アルキル系界面活性剤、およびアクリル系界面活性剤等が挙げられる。
これにより、基板に対する接着力の一層の向上を図ることができる。詳細なメカニズムは不明であるが、密着助剤の密着性基(密着能を奏する官能基)は、加熱に対しても比較的安定であり、180~250℃での硬化後も一定量の密着助剤が硬化膜中に残存する結果、その残存した密着助剤が接着力の向上に寄与すると考えられる。
上記溶剤としては、感光性接着剤組成物の各成分を溶解可能なもので、且つ、各構成成分と化学反応しないものであれば特に制限なく用いることができる。このような有機溶剤の一例としては、たとえばアセトン、メチルエチルケトン、トルエン、プロピレングリコールメチルエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテート、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ベンジルアルコール、プロピレンカーボネート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、γブチロラクトン、酢酸ブチル、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メチル-1,3-ブチレングリコールアセテート、1,3-ブチレングリコール-3-モノメチルエーテル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル及びメチル-3-メトキシプロピオネート等の有機溶剤が挙げられる。有機溶剤は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
下記の表1に従い配合された各成分の原料をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)に溶解させて、不揮発成分が33質量%の混合溶液を得た。その後、混合溶液を0.2μmのナイロンフィルターで濾過し、試験例1~3の感光性接着剤組成物(ポジ型の感光性接着剤組成物)を得た。
(A-1):下記式で表される共重合体1(上記合成例1で合成した環状オレフィンポリマー)
撹拌機、冷却管を備えた適切なサイズの反応容器に、無水マレイン酸122.4g(1.25mol)、2-ノルボルネン117.6g(1.25mol)およびジメチル2、2’-アゾビス(2-メチルプロピオネート11.5g(0.05mol)を計量し、メチルエチルケトン150.8gおよびトルエン77.7gに溶解させた。この溶解液に対して、10分間窒素を通気して酸素を除去し、その後、撹拌しつつ60℃で16時間、加熱した(重合工程)。
その後、この溶解液に、MEK320gを加えた後、水酸化ナトリウム12.5g(0.31mol)、ブタノール463.1g(6.25mol)、トルエン480gの懸濁液に加え、無水マレイン酸由来の環状の構造体の繰り返し単位のうち、50%以上の繰り返し単位が閉環した状態となるように、45℃で3時間混合した。そして、この混合液を40℃まで冷却し、ギ酸88重量%水溶液、49.0g(0.94mol)で処理してプロトン付加した(開環工程)。
その後、MEKおよび水を加え、水層を分離することで、無機残留物を除去した。次いで、メタノール、ヘキサンを加え有機層を分離することで未反応モノマーを除去した。さらにプロピレングリコール-1-モノメチルエーテル-2-アセタート(PGMEA)を添加し、系内のメタノール及びブタノールを残留量1%未満となるまで減圧留去した。これにより重量平均分子量Mwが13,700である、下記式により示される繰り返し単位を有する環状オレフィン系樹脂(共重合体1)のPGMEA溶液を得た。
(B-1):下記式で表されるジアゾキノン化合物(GPA-250、ダイトーケミックス社製)
(C-1):下記式で表されるエポキシ樹脂(EXA-830CRP、ダイソー株式会社製)
(C-2):下記式で表されるエポキシ樹脂(TECHMORE VG3101L、プリンテック株式会社製)
(C-3):下記式で表されるエポキシ樹脂(セロキサイド2021P、株式会社ダイセル製)
(D-1):下記式で表されるフェノール化合物(TrisP-PA、本州化学株式会社製)
(D-2):下記式で表されるフェノール化合物(TekP-4HBPA、本州化学株式会社製)
(D-3):下記式で表されるフェノール樹脂(PR-55959、住友ベークライト株式会社製)
(E-1):シランカップリング剤(KBM-403E、信越化学株式会社製)
(F-1):フッ素原子含有ノニオン系界面活性剤(メガファック R41、DIC株式会社製、親油性基含有オリゴマー)
調製された感光性接着剤組成物を、それぞれ、8インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した。塗布後、ホットプレートにて110℃で3分間プリベークし、膜厚約10μmの塗膜を得た。この塗膜を、窒素雰囲気下、酸素濃度を1000ppm以下に保ちながら、200℃、90分の条件で硬化し、硬化膜(サンプル)を得た。得られたサンプルについて、円筒空胴共振器法を用いて、25℃、周波数1GHzにおける比誘電率を測定した。測定結果を表1に示す。
<ボンディング後接着評価用塗膜の作製>
試験例1の感光性接着剤組成物を、それぞれ、8インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した。塗布後、ホットプレートにて110℃で3分間プリベークし、膜厚約3.5μmの塗膜を得た。得られた塗膜を、現像液として2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(現像液)を用いて30秒間×2回パドル現像を行った。次に、この塗膜を130℃で40分間加熱し、ボンディング後接着評価用塗膜を得た。
上記<ボンディング後接着評価用塗膜の作製>で得られた塗膜付きウェハを、ダイシングソーを用いて切り出し、5mm×5mm角の正方形の評価用基板(上チップ)と、10mm×10mm角の正方形の評価用基板(下チップ)を作製した。
次に、フリップチップボンダー(NM-SB50A(パナソニック株式会社)を用いて、塗膜面と塗膜面が接触するように、下記の接着条件1、2のそれぞれで、下チップに上チップをボンディングし、接着済みサンプル(基板接着構造体)を得た。その後、酸素濃度を1000ppm以下に保ちながら、200℃、90分の条件で硬化し、2つのボンディング後接着評価A用サンプルを得た。
・接着条件
条件1:温度170℃、時間10秒、圧力25Nの条件
条件2:温度220℃、時間10秒、圧力25Nの条件
試験例1の感光性接着剤組成物を、試験例2の感光性接着剤組成物に変更した以外は、実施例1と同様にして、2つのボンディング後接着評価A用サンプルを得た。
試験例1の感光性接着剤組成物を、試験例3の感光性接着剤組成物に変更した以外は、実施例1と同様にして、2つのボンディング後接着評価A用サンプルを得た。
評価用基板の上チップの塗膜の膜厚を8μmとし、評価用基板の下チップ側の塗膜を2μmとした以外は、実施例1と同様にして、2つのボンディング後接着評価A用サンプルを得た。
評価用基板の下チップ側の塗膜(Bステージ状態の感光性接着剤組成物からなる樹脂膜)を、膜厚3.5μmのポリイミド硬化膜に変更した以外は、実施例1と同様にして、2つのボンディング後接着評価A用サンプルを得た。
<ボンディング後接着評価B用サンプル作製(塗膜/窒化膜付き基板)>
上記ボンディング後接着評価A用サンプルの下チップを窒化膜付きシリコンウエハに変更した以外は、実施例1に記載の上記<ボンディング後接着評価A用サンプル作製>と同様にして、2つのボンディング後接着評価B用サンプルを得た。
・分析方法
得られたボンディング後接着評価A用サンプル、ボンディング後接着評価B用サンプルについて、上チップ側のウェハを平面研磨して、硬化後の塗膜(接着材層)を露出させ、サイカス加工により、当該塗膜に対して傾斜面を作製し、傾斜面サンプルを得た。得られた傾斜面サンプルにおけるサイカス加工面に対して、顕微鏡観察およびTOF-SIMS面分析を行った。
・分析結果
TOF-SIMS面分析の結果、実施例1~4のそれぞれの2つのボンディング後接着評価A用サンプルにおいて、上チップ側の塗膜および下チップ側の塗膜の界面近傍に、現像液由来の組成不連続領域が検出された。
また、実施例5の2つのボンディング後接着評価A用サンプルにおいて、上チップ側の塗膜の界面近傍に、現像液由来の組成不連続領域が検出された。
一方、比較例1の2つのボンディング後接着評価B用サンプルにおいて、上チップと下チップとの間の塗膜に組成不連続領域が検出されなかった。
220℃の高温での基板接着評価の結果、実施例1~5および比較例1のいずれも実用上問題ない範囲内の接着強度であった。
一方、170℃における低温での基板密着評価の結果、実施例1~5は、比較例1よりも、低温接着強度に優れており、また、低温生産歩留まりや低温接着時間にも優れたものであることが判明した。なお、実施例1~4は、実施例5と比べて、220℃および170℃の条件1,2のいずれにおいても接着強度が高いことが分かった。
以上より、実施例1~5は、比較例1よりも低温接着性に優れており、低温製造安定性に優れた構造を有する電子装置を実現できることが分かった。
102 第1回路基板
104 第2回路基板
110 有機絶縁層
112 第1樹脂膜
114 第2樹脂膜
120 組成不連続面
122 面
124 面
130 金属接合部
131 一端
132 金属層
140 開口部
142 開口部
Claims (13)
- 第1回路基板と、
第2回路基板と、
前記第1回路基板と前記第2回路基板とを電気的に接続する金属接合部と、
前記金属接合部を埋設するとともに、前記第1回路基板と前記第2回路基板とをこれらの間に介在して接着する有機絶縁層と、を備えており、
前記有機絶縁層中に組成不連続面が形成されており、
前記有機絶縁層は、第1有機絶縁層と第2有機絶縁層を含み、
前記第1有機絶縁層と前記第2有機絶縁層の少なくとも一方は、感光性接着剤組成物の硬化物で構成され、
前記感光性接着剤組成物は、アルカリ現像液由来成分、環状エーテル基を有する化合物、およびノルボルネン系モノマー由来の構造単位Aと無水マレイン酸、マレイミドまたはこれらの誘導体由来の構造単位Bとを有する共重合体を含み、
前記組成不連続面は、前記第1有機絶縁層と前記第2有機絶縁層との接合界面に構成される、電子装置。 - 請求項1に記載の電子装置であって、
前記有機絶縁層の厚みは、10μm以下である、電子装置。 - 請求項1または2に記載の電子装置であって、
前記組成不連続面は、前記金属接合部の高さをHとしたとき、前記金属接合部の一端から1/10H以上9/10H以下の位置に存在する、電子装置。 - 請求項3に記載の電子装置であって、
前記金属接続部の幅をWとしたとき、W/Hが0.5以上25以下である、電子装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記有機絶縁層の、円筒空胴共振器法で測定した周波数1GHzにおける比誘電率は、3.3以下である、電子装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記金属接合部が銅製である、電子装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記金属接合部が銅ピラーを有する、電子装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記金属接続部のテーパー角度が、90度より小さく70度以上である、電子装置。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記第1回路基板は、第1半導体チップまたは第1半導体ウェハであり、
前記第2回路基板は、第2半導体チップまたは第2半導体ウェハである、電子装置。 - 請求項1から9のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記有機絶縁層は、ノルボルネン骨格を有する、電子装置。 - 請求項1から10のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記有機絶縁層は、エポキシ樹脂由来の3次元架橋構造を有する、電子装置。 - 請求項1から11のいずれか1項に記載の電子装置であって、
前記有機絶縁層は、界面活性剤を有する、電子装置。 - 請求項1から12のいずれか1項に記載の電子装置を製造するための製造方法であって、
アルカリ現像液により現像された感光性樹脂膜を介して前記第1回路基板および前記第2回路基板を積層する工程を含む、電子装置の製造方法。
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2022070362A1 (ja) | 2020-09-30 | 2022-04-07 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 樹脂組成物、半導体装置の製造方法、硬化物及び半導体装置 |
WO2022201531A1 (ja) * | 2021-03-26 | 2022-09-29 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 半導体装置の製造方法、洗浄装置、洗浄方法、及び、半導体装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006071889A (ja) | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP2006156794A (ja) | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Sony Corp | 半導体装置の接合方法及び接合構造 |
JP2010113209A (ja) | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 熱酸発生剤を含有するレジスト下層材料、レジスト下層膜形成基板及びパターン形成方法 |
JP2011018879A (ja) | 2009-06-10 | 2011-01-27 | Sony Chemical & Information Device Corp | 絶縁性樹脂フィルム、並びにこれを用いた接合体及びその製造方法 |
JP2012099575A (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Toshiba Corp | チップオンチップ構造体およびその製造方法 |
JP2012162673A (ja) | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Mitsui Chemicals Inc | アンダーフィル用樹脂組成物 |
JP2013216804A (ja) | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物、フィルム状樹脂、樹脂シート、樹脂パターン、樹脂層付半導体ウェハ、樹脂層付透明基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2015019006A (ja) | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 日立化成株式会社 | フィルム状ポジ型感光性接着剤組成物、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
JP2015095499A (ja) | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 東レ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2015149459A (ja) | 2014-02-10 | 2015-08-20 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2016090667A (ja) | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 日立化成株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
JP2017057260A (ja) | 2015-09-15 | 2017-03-23 | 住友ベークライト株式会社 | ポリマー、ポジ型感光性樹脂組成物、ネガ型感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置 |
JP2018022819A (ja) | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 三井化学東セロ株式会社 | アンダーフィル用絶縁フィルム |
-
2018
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006071889A (ja) | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP2006156794A (ja) | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Sony Corp | 半導体装置の接合方法及び接合構造 |
JP2010113209A (ja) | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 熱酸発生剤を含有するレジスト下層材料、レジスト下層膜形成基板及びパターン形成方法 |
JP2011018879A (ja) | 2009-06-10 | 2011-01-27 | Sony Chemical & Information Device Corp | 絶縁性樹脂フィルム、並びにこれを用いた接合体及びその製造方法 |
JP2012099575A (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Toshiba Corp | チップオンチップ構造体およびその製造方法 |
JP2012162673A (ja) | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Mitsui Chemicals Inc | アンダーフィル用樹脂組成物 |
JP2013216804A (ja) | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物、フィルム状樹脂、樹脂シート、樹脂パターン、樹脂層付半導体ウェハ、樹脂層付透明基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2015019006A (ja) | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 日立化成株式会社 | フィルム状ポジ型感光性接着剤組成物、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
JP2015095499A (ja) | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 東レ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2016090667A (ja) | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 日立化成株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
JP2017057260A (ja) | 2015-09-15 | 2017-03-23 | 住友ベークライト株式会社 | ポリマー、ポジ型感光性樹脂組成物、ネガ型感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置 |
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