JP4924200B2 - SiC単結晶の製造装置および製造方法 - Google Patents
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Description
上記引上げ軸の下端面は、上記種結晶と接着される平坦部と、該平坦部内の窪みとを有することを特徴とする。
本発明による引上げ軸下端面Dの第一の使用形態により、窪みとして図1、図2に示した形態の溝Eを設け、多数の平坦面Pに接着剤でSiC種結晶を接着して保持し、SiC単結晶を成長させる実験を行なった。種結晶サイズは、φ25mmおよびφ50mmであった。
表1に示す組成A、Bの2種類の接着剤を用いた。
Si溶液表面温度:1917℃
炉内雰囲気:Ar(101℃)
成長時間:10時間
〔実施例2〕
本発明による引上げ軸下端面Dの第二の使用形態により、窪みとして図1、図2に示した形態の溝Eを設け、多数の平坦面Pに接着剤でSiC種結晶を仮接着して保持し、溝E内にSiを配し、その融解および冷却により晶出させたSiCにより種結晶を接着して、SiC単結晶を成長させる実験を行なった。
なお、比較のために、従来のように黒鉛軸下端面Dを平坦なままとして前面に種結晶を貼り付けた従来例についても、上記と同様の成長条件でSiC単結晶の成長実験を行なった。
D 引き上げ軸の下端面
E 下端面に掘り込んだ溝(窪み)
P 溝により分割された多数の平坦面
S 種結晶
Claims (1)
- 黒鉛るつぼ内のSi融液内に内部から融液面に向けて温度低下する温度勾配を維持しつつ、引き上げ軸の下端面に接着したSiC種結晶の下面を上記融液に接触させ、上記黒鉛るつぼから上記融液内にCを融解させつつ、上記下面を起点としてSiC単結晶を成長させる方法であって、
上記引上げ軸の下端面は、上記種結晶と接着される平坦部と、該平坦部内の窪みとを有し、
上記平坦部が複数の溝状の上記窪みにより複数に分割されており、
上記下端面に上記種結晶が当接し且つ上記下端面の窪み内にSiまたはSi基合金の融液を配した状態にして冷却することにより上記融液からSiCを晶出させ、上記晶出したSiCにより上記下端面と上記種結晶とを接着してSiC単結晶を成長させる方法において、
上記窪み内に上記融液を配するために、
上記窪みを上記下端面の外周まで連通した形態とし、上記下端面に上記種結晶を仮接着し、上記SiまたはSi基合金の融液中に浸漬することを特徴とするSiC単結晶の製造方法。
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