JP6104414B2 - シードシャフト、単結晶の製造装置及び単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、溶液成長法による単結晶の製造に用いられるシードシャフト、そのシードシャフトを備える単結晶の製造装置、及び、その製造装置を用いた単結晶の製造方法に関する。
溶液成長法では、種結晶を単結晶の原料溶液に接触させ、種結晶上に単結晶を成長させる。種結晶は通常、円板状である。種結晶はたとえば、シードシャフトの下端に取り付けられて、原料溶液に接触させる。この方法によりたとえば、SiC単結晶に代表される単結晶が製造される。SiC単結晶が製造される場合、原料溶液として、Si−C溶液が用いられる。「Si−C溶液」とは、Si及びCを含有する溶液をいい、たとえば、Si、又はSi合金の融液に、C(炭素)を溶解させた溶液である。
SiC単結晶を成長させる際のSi−C溶液の温度(結晶成長温度)はたとえば、1500〜2000℃である。このため、シードシャフトの素材は、耐熱性のある材料であり、たとえば、黒鉛である。
特開2010−189246号公報(特許文献1)に開示されているとおり、種結晶は通常、シードシャフトの下面に接着剤等により取付けられる。図1は、従来の単結晶の製造方法におけるシードシャフトと種結晶との関係を示す側面図である。図1に示すように、従来は、通常、種結晶5の一方面のほぼ全面が、シードシャフト200の下面に、接着剤により取付けられる。
SiC単結晶を成長させるとき、種結晶及びシードシャフトの下端部は、結晶成長温度に曝される。シードシャフトは、種結晶と異なる材料からなる。そのため、シードシャフトの熱膨張率は、種結晶の熱膨張率と異なる。この熱膨張率の相違により、SiC単結晶の成長時に、種結晶に大きな熱応力がかかる。種結晶に過度の熱応力がかかれば、種結晶5上に成長する単結晶が変形したり部分的に破損したりする場合がある。さらに、単結晶に転位等の結晶欠陥が導入される場合がある。
本発明の目的は、溶液成長法により単結晶を製造するときに種結晶にかかる熱応力を抑制できる、シードシャフト及び単結晶の製造装置を提供することである。
本実施の形態によるシードシャフトは、溶液成長法により単結晶を製造するために用いられる。溶液成長法は、種結晶を原料溶液に接触させることにより、種結晶上に単結晶を成長させる。上記シードシャフトは、シャフト部材と、保持部材とを備える。保持部材は、シャフト部材の下端に配置される。保持部材は、固定部と、スライド部とを備える。固定部は、種結晶に取付け可能である。スライド部は、固定部とつながっており、シャフト部材の下面に沿ってスライド可能にシャフト部材の下面に取り付けられる。
本実施の形態による製造装置は、溶液成長法により単結晶を製造するためのものである。製造装置は、上記シードシャフトを備える。
本実施の形態による単結晶の製造方法は、上記製造装置を用いて単結晶を製造する。上記製造方法は、保持部材の固定部に、種結晶を取り付ける工程と、保持部材に種結晶を取り付けた後、種結晶を原料溶液に接触させて、種結晶上に単結晶を成長させる工程とを含む。
本実施の形態のシードシャフト、単結晶の製造装置及び単結晶の製造方法は、種結晶にかかる熱応力を抑制できる。
本実施の形態のシードシャフトは、溶液成長法により、単結晶を製造するために用いられる。シードシャフトは、単結晶の製造装置に含まれる。シードシャフトは、シャフト部材と、保持部材とを備える。保持部材は、シャフト部材の下端に配置される。保持部材は、固定部とスライド部とを備える。固定部は、種結晶に取付け可能である。スライド部は、固定部とつながり、シャフト部材の下面に沿ってスライド可能にシャフト部材の下面に取り付けられる。
ここで、「スライド」とは、保持部材のスライド部が、シャフト部材の下面と接触しながらスライドする場合だけでなく、スライド部が、シャフト部材の下面に対して離間したままスライドする場合も含む。スライド部がシャフト部材の下面に対して離間したままスライドする場合とは、たとえば、スライド部とシャフト部材の下面との間に、ころ(転動体)が設けられる場合である。
溶液成長法による単結晶の製造工程において、種結晶及びシャフト部材の下端部近傍が結晶成長温度に保持される。このとき、種結晶の熱膨張率は、シャフト部材の熱膨張率と異なる。保持部材は、固定部により種結晶に固定される。一方、保持部材は、スライド部によりシャフト部材に対してスライドできる。そのため、種結晶とシャフト部材との間で熱膨張差が生じた場合、スライド部がスライドすることにより、熱膨張差を相殺する。そのため、種結晶に発生する熱応力が抑制される。その結果、成長中の単結晶が変形したり、転位等の導入により単結晶に格子欠陥が発生するのを抑制できる。
上記固定部は種結晶の表面の一部のみに取り付けられてもよい。
この場合、固定部は、種結晶の表面(たとえば、取り付け面)全体ではなく、一部のみに固定される。このため、種結晶の表面において、固定部が固定される領域で生じる熱応力を抑えることができる。
上記シードシャフトはさらに、支持部を備えてもよい。支持部は、シャフト部材の下端に取り付けられ、スライド部を下方から支持する。スライド部は、支持部上をスライドする。支持部は、シャフト部材と一体に形成されていてもよい。支持部は、シャフト部材とは別体の部材であってもよい。
好ましくは、上記シードシャフトは、複数の保持部材を備える。各保持部材のスライド部は、互いに独立にスライド可能である。
この場合、種結晶が大型(たとえば直径が4インチ以上等)であっても、複数の保持部材に種結晶を取り付けることにより、種結晶を安定して保持できる。さらに、各保持部材は独立してスライドできるため、種結晶の各部分の熱膨張の度合い応じて各保持部材が別個にスライドできる。
複数の保持部材は、シードシャフトの中心軸周りに配置されてもよい。各保持部材の各スライド部は、シードシャフトの下面の径方向にスライド可能である。
この場合、たとえば種結晶が円板状である場合、円板状の種結晶は径方向に熱膨張しやすい。複数の保持部材の各スライド部が円形状の径方向にスライドするため、種結晶の熱膨張に対して保持部材がスライドしやすい。そのため、種結晶に熱応力が発生しにくい。
シードシャフトは、シードシャフトの中心軸を挟んで配置される一対の保持部材を備えてもよい。
この場合、一対の保持部材により、種結晶は、中心軸を挟んで2箇所で固定さされる。そのため、シードシャフトは種結晶を安定して保持でき、保持部材は、種結晶の熱膨張に応じて径方向に容易スライドできる。
本実施形態の単結晶の製造装置は、上述のシードシャフトを備える。本実施形態の溶液成長法による単結晶の製造方法は、上記保持部材の固定部に、種結晶を取り付ける工程と、固定部に取り付けられた種結晶を原料溶液に接触させて、種結晶上に単結晶を成長させる工程とを備える。
上記単結晶はたとえば、SiC単結晶であってもよい。この場合、通常、種結晶は、SiCからなり、シャフト部材は、黒鉛からなる。
単結晶はたとえば、AlN、またはGaNであってもよい。この場合、通常、種結晶は、SiC、サファイア、Ga2O3、ZnO、又は成長させる結晶と同一種類の結晶からなる。シャフト部材は、黒鉛、又はステンレス鋼等の金属からなる。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳しく説明する。図中同一又は相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
本実施形態では、溶液成長法による単結晶の製造装置及びその製造装置を用いた製造方法の一例として、SiC単結晶の製造装置及び製造方法について説明する。しかしながら、上述の通り、単結晶はSiC単結晶に制限されない。
[SiC単結晶の製造装置10の全体構成]
図2は、本実施形態のSiC単結晶の製造装置10の全体構成図である。図2に示すとおり、製造装置10は、チャンバ1と、断熱部材2と、高周波加熱コイル3と、シードシャフト駆動機構4と、坩堝駆動機構50とを備える。
図2は、本実施形態のSiC単結晶の製造装置10の全体構成図である。図2に示すとおり、製造装置10は、チャンバ1と、断熱部材2と、高周波加熱コイル3と、シードシャフト駆動機構4と、坩堝駆動機構50とを備える。
チャンバ1は筐体であり、断熱部材2と、高周波加熱コイル3と、シードシャフト駆動機構4内のシードシャフト20とを収納する。チャンバ1はさらに、坩堝7を収納可能である。SiC単結晶が製造されるとき、チャンバ1は水冷される。
坩堝7は、筐体状の断熱部材2内に収納される。坩堝7は、上端が開口した筐体である。坩堝7は、Si−C溶液8を収納する。Si−C溶液8は、Si−C溶液の原料を加熱により溶融して生成される。原料は、Siのみであってもよいし、Siと他の金属元素とを含有してもよい。Si−C溶液の原料に含有される金属元素はたとえば、チタン(Ti)、マンガン(Mn)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、バナジウム(V)、鉄(Fe)等である。
坩堝7の素材はたとえば、黒鉛である。坩堝7の素材が黒鉛であれば、坩堝7自体がSi−C溶液8の炭素供給源となる。坩堝7の素材は、黒鉛以外であってもよい。たとえば、坩堝7は、セラミックスや高融点の金属で構成されてもよい。坩堝7が炭素供給源として利用できない場合、Si−C溶液8の原料は、Cを含有する。また、坩堝7が黒鉛以外の素材で構成される場合、坩堝7の内表面に黒鉛からなる被膜を形成してもよい。
高周波加熱コイル3は、坩堝7の周りに配置される。つまり、坩堝7は、高周波加熱コイル3内に配置される。高周波加熱コイル3は、シードシャフト20及びシャフト51と同軸に配置される。高周波加熱コイル3は、坩堝7を誘導加熱し、坩堝7に収納された原料を溶融してSi−C溶液8を生成する。高周波加熱コイル3はさらに、Si−C溶液8を結晶成長温度に維持する。
断熱部材2は筐体状であり、側壁と、上蓋と、下蓋とを有する。断熱部材2の側壁は、高周波加熱コイル3と坩堝7との間に配置される。断熱部材2の側壁は、坩堝7の周りに配置される。断熱部材2の上蓋は、坩堝7よりも上方に配置される。上蓋は、シードシャフト20を通すための貫通孔21を有する。断熱部材2の下蓋は、坩堝7の下方に配置される。下蓋は、シャフト51を通すための貫通孔22を有する。断熱部材2は、坩堝7全体を覆う。断熱部材2は、周知の断熱材を備える。断熱材は、繊維系又は非繊維系の成形断熱材である。
[シードシャフト駆動機構4]
シードシャフト駆動機構4は、シードシャフト20と、駆動装置42とを備える。シードシャフト20は、坩堝駆動機構50内のシャフト51と同軸に配置される。シードシャフト20の下端は、チャンバ1内に配置される。
シードシャフト駆動機構4は、シードシャフト20と、駆動装置42とを備える。シードシャフト20は、坩堝駆動機構50内のシャフト51と同軸に配置される。シードシャフト20の下端は、チャンバ1内に配置される。
シードシャフト20は、その中心軸周りに回転可能であり、さらに、昇降可能である。駆動装置42は、昇降装置42Aと、回転装置42Bと、架台42Cとを備える。架台42Cは、チャンバ1の上方に配置され、シードシャフト20と、回転装置42Bとを支持する。昇降装置42Aがシードシャフト20を昇降し、回転装置42Bがシードシャフト20を回転する。
シードシャフト20の下端には、保持部材13を介してSiC種結晶5が取り付けられる。SiC種結晶5は板状であり、好ましくは円板状である。SiC種結晶5はSiC単結晶からなる。溶液成長法による製造時、SiC種結晶5の表面(結晶成長面)にSiC単結晶が生成され、成長する。4H多形の結晶構造を有するSiC単結晶を製造する場合、好ましくは、SiC種結晶5は4H多形の結晶構造の単結晶である。さらに好ましくは、SiC種結晶5の表面(結晶成長面)は、(0001)面又は(0001)面から8°以下の角度で傾斜した面である。この場合、SiC単結晶が安定して成長しやすい。
SiC単結晶を製造するとき、シードシャフト20を下降し、及び/又は、シャフト51を上昇して、図2に示すとおり、SiC種結晶9をSi−C溶液8に接触(浸漬)させる。このとき、Si−C溶液8は結晶成長温度に保たれる。結晶成長温度とは、SiC単結晶を成長させるときの温度であって、SiC溶液の組成に依存する。一般的な結晶成長温度は1500〜2000℃である。
[坩堝駆動機構50]
坩堝駆動機構50は、基台53と、シャフト51と、駆動装置52とを備える。基台53は、筐体状の断熱部材2内に配置される。基台53上には坩堝7が配置される。
坩堝駆動機構50は、基台53と、シャフト51と、駆動装置52とを備える。基台53は、筐体状の断熱部材2内に配置される。基台53上には坩堝7が配置される。
シャフト51は、基台53の下端に取り付けられ、シードシャフト20と同軸に配置される。シャフト51は、断熱部材2の下部及びチャンバ1の底部を通り、その下端はチャンバ1の下方に配置される。
駆動装置52は、昇降装置52Aと、回転装置52Bと、架台52Cとを備える。架台52Cは、チャンバ1の下方に配置される。架台52Cは、シャフト51と、回転装置52Bとを支持する。回転装置52Cは、シャフト51を、その中心軸線周りに回転させる。昇降装置52Aは、架台52Cを介して基台53を昇降する。
[シードシャフト20の構成]
図3は、図2中の坩堝7及びシードシャフト20の拡大図である。
シードシャフト20は、シャフト部材11と、複数の保持部材13とを備える。シャフト部材11は、柱状のシャフトであり、好ましくは、有底の円筒形状を有する。シャフト部材11の中心軸は鉛直方向に沿う。シャフト部材11は、たとえば、主として黒鉛からなる。
図3は、図2中の坩堝7及びシードシャフト20の拡大図である。
シードシャフト20は、シャフト部材11と、複数の保持部材13とを備える。シャフト部材11は、柱状のシャフトであり、好ましくは、有底の円筒形状を有する。シャフト部材11の中心軸は鉛直方向に沿う。シャフト部材11は、たとえば、主として黒鉛からなる。
保持部材13は、種結晶5を固定するとともに、シャフト部材11の下面に対してスライド可能である。図3に、シャフト部材11に対する保持部材13の移動可能な方向を、両矢印で示す。
上述のとおり、種結晶5はたとえば、円板状である。種結晶5の表面のうち、シャフト部材11の下面と対向する表面(上面)は、保持部材13が固定される取り付け面である。
図4は、シードシャフト20を下方から見た場合のシードシャフト20の分解斜視図である。図4を参照して、保持部材13は、スライド部14と、固定部15とを備える。図4では、スライド部14及び固定部15は平板形状を有し、互いに直角をなす。スライド部14は、固定部15と一体的につながっている。保持部材13は、スライド部14及び固定部15の主面に平行に見て、L字形状を有する。保持部材13は、剛体的な部材である。スライド部14が移動するとき、固定部15もスライド部14と一体的に移動する。保持部材13はたとえば、黒鉛からなる。
シャフト部材11下端の下面11aには、スライド部14に対応した溝12が形成される。本実施形態では、4つの保持部材13に対応して4つの溝12が形成されている(図4には、保持部材13は1つのみを示す)。溝12は、下面11aにおいて、シャフト部材11の中心軸に対して、径方向に延びる。複数の溝12は、下面11aの中心軸周りに等間隔(本例では90°間隔)に配置される。本例では、溝12は、下面11aの中央部を除く領域に形成され、下面11aの周縁まで延びる。しかしながら、溝12の長さは特に限定されない。
図5は、シードシャフト20、及び種結晶5の断面図である。図4及び図5を参照して、溝12の幅(下面11a内で下面11aの径方向に直交する方向の長さ)は、スライド部14の幅より大きい。溝12の深さは、スライド部14の厚さよりも大きい。シードシャフト20はさらに、支持部16を含む。支持部16は板状である。支持部16は、溝12のうち、シャフト部材11の中心軸側を覆うように、シャフト部材11の下端に設けられる。
溝12において支持部16に覆われた部分に、スライド部14が、その先端側(固定部15とは反対側)から挿入される。これにより、スライド部14は、溝12にスライド可能に嵌められ、スライド部14は、シャフト部材11にスライド可能に取り付けられる。スライド部14は、支持部16により、下方から支持される。この状態で、固定部15は、下方に延びる。複数の保持部材13の固定部15の下端は、ほぼ同一平面上に位置する。
下面11aは、ほぼ平坦である。スライド部14は、シャフト部材11の下面11aに沿ってスライド可能である。したがって、複数の保持部材13は、シャフト部材11に対して、水平方向にスライドできる。複数の保持部材13の各々は、対応する溝12に挿入される。このため、各保持部材13は、互いに独立にスライドできる。
固定部15は、種結晶5に取り付けられ、種結晶5に固定される。具体的には、図4を参照して、固定部15は下端面15aを有する。図5を参照して、下端面15aを接着剤等により種結晶5の上面5aに取り付けることにより、固定部15は種結晶5に固定される。
上述のとおり、保持部材13はシャフト部材11の下面11aに沿ってスライド可能である。結晶成長時に種結晶5及びシャフト部材11の下端近傍が結晶成長温度に曝されると、SiC種結晶5が径方向に熱膨張する。SiC種結晶5が従来どおり、シャフト部材11の下面11aに直接接着される場合を想定する。この場合、SiC種結晶5とシャフト部材11との熱膨張差により、SiC種結晶5に熱応力がかかる。しかしながら、本実施形態では、SiC種結晶5の熱膨張に応じて、保持部材13がスライドする。そのため、保持部材13のスライド動作がSiC単結晶とシャフト部材11の熱膨張差を相殺する。その結果、SiC種結晶5に発生する熱応力が抑制される。
[SiC単結晶の製造方法]
上述のシードシャフト20及び製造装置10を用いたSiC単結晶の製造方法について説明する。
上述のシードシャフト20及び製造装置10を用いたSiC単結晶の製造方法について説明する。
[種結晶取り付け工程]
初めに、保持部材13を介して、SiC種結晶5を、シャフト部材11の下に取り付ける。具体的には、スライド部14を、上述した手順で、溝12に挿入する。たとえば、スライド部14の先端が、溝12の側面のうち、下面11a中心側の側面から離間するように、スライド部14を溝12に挿入する。この場合、保持部材13は、下面11aの径方向(シャフト部材11の中心軸側及び外周側)にスライド可能となる。
初めに、保持部材13を介して、SiC種結晶5を、シャフト部材11の下に取り付ける。具体的には、スライド部14を、上述した手順で、溝12に挿入する。たとえば、スライド部14の先端が、溝12の側面のうち、下面11a中心側の側面から離間するように、スライド部14を溝12に挿入する。この場合、保持部材13は、下面11aの径方向(シャフト部材11の中心軸側及び外周側)にスライド可能となる。
固定部15の下端面15aに、SiC種結晶5を、たとえば、接着剤により固定する。SiC種結晶5と端面15aとの間には、緩衝材(たとえば、黒鉛の薄板)を配置してもよい。好ましくは、固定部15は、SiC種結晶5の上面5aの一部にのみ固定される。
[Si−C溶液生成工程]
次に、坩堝7内に、Si−C溶液8の原料を装入する。坩堝7は、シードシャフト20の下方に配置される。
次に、坩堝7内に、Si−C溶液8の原料を装入する。坩堝7は、シードシャフト20の下方に配置される。
Si−C溶液8の原料は上述のとおりである。原料を加熱して融液とし、この融液に炭素(C)を溶解させて、Si−C溶液8を生成する。坩堝7が、黒鉛等、炭素質材料からなる場合、坩堝7は、Si−C溶液8への炭素供給源になる。この方法は、SiC析出の核となり得る未溶解のCの融液中の存在を避けられるため、好ましい。
別の方法として、炭化水素ガスから融液へCを溶解させる方法、又は、固相のC源を融液に投入し溶解させる方法を採ることもできる。固相の炭素源としては、ブロック、棒、顆粒、粉体等の形態の黒鉛、非晶質炭素原料、SiC、添加元素(Si−C溶液8を構成する元素であって、Si、及びC以外の元素)の炭化物等を用いることができる。融液にCを供給する方法として、以上の方法のうち、2種以上の方法を組み合わせてもよい。
坩堝7以外から融液にCを供給する場合は、SiC単結晶の結晶成長温度域で安定な材料、たとえば、Ta、W、Moなどの高融点金属からなる坩堝7を用いることができる。黒鉛坩堝を適当な耐火材料、たとえば、上記高融点金属又はセラミックス(たとえば、SiC、Si3N4、BN)で内張りした坩堝7を使用することもできる。
Si−C溶液8を生成するときの原料融液の温度は、原料の液相線温度以上であればよい。融液中のSiC濃度が飽和濃度、又はそれに近い濃度になるまで融液にCが供給されるように、加熱を続ける。融液の加熱時間は、一般的に、1時間ないし10時間程度である。
十分な量のCが融液に溶解すると、加熱により、Si−C溶液8の温度を結晶成長温度に維持する。「結晶成長温度」とは、結晶成長時のSi−C溶液8とSiC種結晶5(結晶成長面)との界面の温度である。
[単結晶成長工程]
Si−C溶液8を生成した後、シードシャフト20を下降し、及び/又は、坩堝7を上昇して、SiC種結晶5の下面(結晶成長面)を、Si−C溶液8の液面に接触又は浸漬させる。SiC種結晶5をSi−C溶液8に接触又は浸漬させた後、高周波加熱コイル3により、Si−C溶液8を結晶成長温度に保持する。さらに、Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍を過冷却して、SiCの過飽和状態とする。
Si−C溶液8を生成した後、シードシャフト20を下降し、及び/又は、坩堝7を上昇して、SiC種結晶5の下面(結晶成長面)を、Si−C溶液8の液面に接触又は浸漬させる。SiC種結晶5をSi−C溶液8に接触又は浸漬させた後、高周波加熱コイル3により、Si−C溶液8を結晶成長温度に保持する。さらに、Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍を過冷却して、SiCの過飽和状態とする。
Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍を過冷却する方法は特に限定されない。例えば、高周波加熱コイル3を制御して、Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍領域の温度を他の領域の温度よりも低くする。また、Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍を冷媒により冷却してもよい。具体的には、シードシャフト20の内部に冷媒を循環させる。冷媒は例えば、ヘリウム(He)やアルゴン(Ar)等の不活性ガスである。シードシャフト内に冷媒を循環させれば、SiC種結晶5が冷却される。SiC種結晶5が冷えれば、SiC溶液におけるSiC種結晶5の近傍も冷える。
Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍を過冷却することにより、Si−C溶液8には、坩堝の深さ方向に温度勾配が形成される。温度勾配は、好ましくは2〜100℃/cmであり、より好ましくは5〜50℃/cmである。
Si−C溶液8におけるSiC種結晶5の近傍をSiCの過飽和状態とし、SiC種結晶5の下面にSiC単結晶を成長させる。
SiC単結晶を成長させる際、坩堝7及びシードシャフト20の少なくとも一方を回転させてもよい。この場合、SiC種結晶5上に均一にSiC単結晶を成長させやすい。坩堝1及びシードシャフト20の双方を回転させる場合、シードシャフト20の回転方向は、坩堝7の回転方向と同じであってもよいし、互いに反対方向であってもよい。
SiC単結晶を成長させるとき、SiC種結晶5と、シャフト部材11の下端近傍部分は、結晶成長温度にさらされる。シャフト部材11と種結晶5とは、互いに異なる材料からなる。そのため、上述のとおり、種結晶5はシャフト部材11と異なる熱膨張率を有する。このため、温度が高くなると、シャフト部材11と種結晶5との間に、熱膨張差が生ずる。
上述のように、本実施形態では、保持部材13を介してSiC種結晶5をシャフト部材11に取り付ける。保持部材13のスライド部14は、シャフト部材11の熱膨張の影響を受けることなく、SiC種結晶5の熱膨張に応じてスライド可能である。したがって、保持部材13は、SiC種結晶5とシャフト部材11との熱膨張差を相殺することができる。したがって、本実施形態の場合、熱膨張差に起因してSiC種結晶5に発生する熱応力が低減される。その結果、SiC種結晶5上に成長するSiC単結晶に、熱応力に起因した破損が生じるのを抑制し、熱応力に起因した結晶欠陥の導入を抑制できる。
上述の実施の形態では、固定部は種結晶の上面に取り付けられる。しかしながら、固定部は単結晶の上面以外の他の部分に取り付けられてもよい。
固定部はたとえば、単結晶の表面の一部のみに取り付けられる。この場合、固定部との接触部分でSiC単結晶に熱応力が発生するのを抑制できる。固定部のSiC単結晶の表面との接触面積は小さい方が好ましい。
固定部を種結晶に固定する方法として、接着剤を使用する以外の方法を採用してもよい。たとえば、種結晶の側面(端面)に切り込みを形成する。そして、固定部の先端を、この切り込みに挿入して、固定部を種結晶に固定してもよい。
図4では、保持部材13の個数は、4個である。しかしながら、保持部材の個数は1つであってもよく、複数であってもよい。たとえば、保持部材13は2〜6個配置されてもよいし、6個以上配置されてもよい。
シードシャフトが保持部材を1つのみ含む場合、シャフト部材に対して移動不可能に固定される取り付け部材を備えていてもよい。取り付け部材は、種結晶の表面の一部であって、保持部材の固定部が固定される領域とは別の領域に固定される。この場合でも、保持部材はシャフト部材の下面に対してスライド可能である。そのため、種結晶に発生する熱応力を抑制できる。
図4に示すとおり、シードシャフト20が複数の保持部材13を備える場合、好ましくは、複数の保持部材13はシャフト部材11の中心軸周りに配置され、さらに好ましくは複数の保持部材13はシャフト部材11の中心軸周りに等間隔に配置される。この場合、SiC種結晶5を安定して保持できる。たとえば、シードシャフトが2〜6個の保持部材13を備えれば、大型の種結晶も安定して保持できる。
シードシャフト20は、シャフト部材11の中心軸を挟んで配置される一対の保持部材13を備え、各保持部材13が径方向にスライド可能であってもよい。シードシャフト20が少なくとも一対の保持部材13を備えれば、SiC種結晶5を安定して保持できる。
上記実施形態では、Si−C溶液8は、坩堝1内で生成され、坩堝1に接触して保持される。しかし、Si−C溶液8を生成するための所望の融液組成を実現できるならば、水冷された金属坩堝内で、磁気反発により坩堝壁から離間した融液を生成するコールドクルーシブル法や、坩堝を用いず、電磁力により原料を浮揚させて融解するレビテーション法などを採用することもできる。
[試験番号1]
図2〜図5に示す製造装置と同様の構造を有する製造装置を準備した。製造装置を用いて、下記の製造条件でSiC単結晶を製造した。製造装置のシードシャフトは、一対の保持部材を備えた。一対の保持部材は、シャフト部材の中心軸を挟んで、径方向にスライド可能に配置された。
図2〜図5に示す製造装置と同様の構造を有する製造装置を準備した。製造装置を用いて、下記の製造条件でSiC単結晶を製造した。製造装置のシードシャフトは、一対の保持部材を備えた。一対の保持部材は、シャフト部材の中心軸を挟んで、径方向にスライド可能に配置された。
直径が約2インチ(約50mm)の円板状のSiC単結晶からなる種結晶を準備した。種結晶の結晶多形は、4Hであった。種結晶において、Si−C溶液に接触させるべき主たる面(結晶成長面)は、(0001)Si面から<11−20>方向に4°傾斜した面であった。
Si−C溶液として、Si77Ti23の組成の融液にCが溶解した溶液を用いた。Si−C溶液において、単結晶成長中の液面中央部近傍の温度は、1920℃であった。シードシャフトに取り付けた種結晶を、Si−C溶液の液面中央部に接触させた。その後、種結晶の結晶成長面に、SiC単結晶を、約10時間、成長させた。
その後、SiC単結晶をSi−C溶液から離し、坩堝の加熱を終了した。種結晶の周辺が室温になってから、SiC単結晶を回収した。回収されたSiC単結晶の成長面を観察した。SiC単結晶の成長面は、平坦であった。
図6は、試験番号1のSiC単結晶の成長面の光学顕微鏡写真である。図6を参照して、マクロステップがほぼ直線状であり、SiC単結晶は、均一に成長した。
図7は、試験番号1のSiC単結晶の成長面(エッチング処理後)の光学顕微鏡写真である。エッチングは、500℃に加熱した溶融KOHにより、5分間行った。図7を参照して、この成長面には、エッチピット(微小な凹部)が見られた。エッチピットは、単結晶に含まれていた転位に対応する。このSiC単結晶では、後述の試験番号2で得られたSiC単結晶に比して、エッチピットの密度は低く、積層欠陥が少なかった。
[試験番号2]
比較例として、保持部材を備えていないシードシャフトを含む製造装置を用い、SiC単結晶を成長させた。シードシャフトへの種結晶の取り付けは、従来どおりとした。具体的には、接着剤を用いて、種結晶の上面全体をシードシャフト下面に貼り付けた。シードシャフトに対する種結晶の取り付け以外の製造条件は、試験番号1と同じとして、SiC単結晶を製造した。
比較例として、保持部材を備えていないシードシャフトを含む製造装置を用い、SiC単結晶を成長させた。シードシャフトへの種結晶の取り付けは、従来どおりとした。具体的には、接着剤を用いて、種結晶の上面全体をシードシャフト下面に貼り付けた。シードシャフトに対する種結晶の取り付け以外の製造条件は、試験番号1と同じとして、SiC単結晶を製造した。
得られたSiC単結晶について、試験番号1と同様の評価を行った。その結果、このSiC単結晶の成長面には、凹凸が多かった。
図8は、試験番号2のSiC単結晶の成長面の光学顕微鏡写真である。図8を参照して、マクロステップが大きく波打っている部分があり、SiC単結晶は、不均一に成長していた。
図9は、試験番号2のSiC単結晶の成長面(エッチング処理後)の光学顕微鏡写真である。図9を参照して、この成長面には、エッチピットが、試験番号1のSiC単結晶に比して多く、積層欠陥が多かった。
試験番号1及び2で得られたSiC単結晶について、貫通刃状転位(TED;Threading Edge Dislocation)、及び基底面転位(BPD;Basal Plane Dislocation)の密度を測定した。結果を表1に示す。
表1を参照して、いずれの種類の転位についても、試験番号2と比較して、試験番号1の方が少なかった。種結晶の一方の面をシャフト部材の下面に貼り付けた場合と比較して、保持部材を介して種結晶をシャフト部材に取り付けた場合の方が、SiC単結晶に導入される転位を少なくすることができた。
以上、本発明の実施の形態を説明した。しかしながら、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。したがって、本発明は上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変更して実施することができる。
Claims (7)
- 種結晶を原料溶液に接触させることにより前記種結晶上に単結晶を成長させる溶液成長法により、前記単結晶を製造するために用いるシードシャフトであって、
シャフト部材と、
前記シャフト部材の下端に配置される保持部材とを備え、
前記保持部材は、
前記種結晶に取り付け可能な固定部と、
前記固定部とつながり、前記シャフト部材の下面に沿ってスライド可能に前記下面に取り付けられるスライド部とを備える、シードシャフト。 - 請求項1に記載のシードシャフトであってさらに、
前記シャフト部材の下端に取り付けられ、前記スライド部を下方から支持する支持部を備え、
前記スライド部は、前記支持部上をスライドする、シードシャフト。 - 請求項1に記載のシードシャフトであって、
複数の前記保持部材を備え、
複数の前記保持部材の各々の前記スライド部は、互いに独立にスライド可能である、シードシャフト。 - 請求項3に記載のシードシャフトであって、
複数の前記保持部材は、前記シードシャフトの中心軸周りに配置され、
前記保持部材の前記スライド部は、前記シードシャフトの前記下面の径方向にスライド可能である、シードシャフト。 - 請求項4に記載のシードシャフトであって、
前記シードシャフトの中心軸を挟んで配置される一対の前記保持部材を備える、シードシャフト。 - 種結晶を原料溶液に接触させることにより前記種結晶上に単結晶を成長させる溶液成長法により、前記単結晶を製造するための装置であって、
請求項1〜請求項5のいずれかに記載のシードシャフトを備える、単結晶の製造装置。 - 請求項6に記載の製造装置を用いて溶液成長法により単結晶を製造する方法であって、
前記保持部材の前記固定部に、種結晶を固定する工程と、
前記固定部に固定された前記種結晶を前記原料溶液に接触させて、前記種結晶上に単結晶を成長させる工程とを含む、単結晶の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014023719 | 2014-02-10 | ||
JP2014023719 | 2014-02-10 | ||
PCT/JP2015/000582 WO2015118888A1 (ja) | 2014-02-10 | 2015-02-09 | シードシャフト、単結晶の製造装置及び単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015118888A1 JPWO2015118888A1 (ja) | 2017-03-23 |
JP6104414B2 true JP6104414B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=53777697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015561236A Active JP6104414B2 (ja) | 2014-02-10 | 2015-02-09 | シードシャフト、単結晶の製造装置及び単結晶の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6104414B2 (ja) |
WO (1) | WO2015118888A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116949558B (zh) * | 2023-09-18 | 2024-02-13 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 蓝宝石提拉轴及蓝宝石晶体生长炉 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4499698B2 (ja) * | 2006-10-04 | 2010-07-07 | 昭和電工株式会社 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP4924200B2 (ja) * | 2007-05-22 | 2012-04-25 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造装置および製造方法 |
JP2009057265A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 単結晶SiC及びその製造方法 |
JP5071406B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2012-11-14 | トヨタ自動車株式会社 | 溶液法によるSiC単結晶成長用種結晶の複合接着方法 |
JP4998491B2 (ja) * | 2009-02-20 | 2012-08-15 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の接着方法及びSiC単結晶の溶液成長法 |
JP5808668B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2015-11-10 | 株式会社豊田中央研究所 | 単結晶製造装置 |
-
2015
- 2015-02-09 JP JP2015561236A patent/JP6104414B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2015118888A1 (ja) | 2017-03-23 |
WO2015118888A1 (ja) | 2015-08-13 |
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