JP2017206408A

JP2017206408A - 炭化珪素単結晶の製造方法

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Publication number: JP2017206408A
Application number: JP2016099701A
Authority: JP
Inventors: 俊策上田; Shunsaku Ueta; 原田　真; Makoto Harada; 真原田; 佐々木　将; Susumu Sasaki; 将佐々木
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2016-05-18
Filing date: 2016-05-18
Publication date: 2017-11-24
Anticipated expiration: 2036-05-18
Also published as: JP6627643B2

Abstract

【課題】貫通転位が少なくかつ厚い炭化珪素単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】本開示に係る炭化珪素単結晶の製造方法は以下の工程を有している。主面を有する種結晶と、固体の原料とが準備される。原料を昇華させ、主面上に再結晶化させることにより炭化珪素単結晶を成長させる。炭化珪素単結晶を成長させる工程は、第１工程と、第１工程後に実施される第２工程とを含む。第１工程においては、主面の中央から主面の外周に向かって温度が高くなるように構成され、外周と中央とは第１温度差を有する。第２工程においては、中央から外周に向かって温度が高くなるように構成され、外周と中央とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有する。【選択図】図５

Description

本開示は、炭化珪素単結晶の製造方法に関する。

特開平９−２６８０９６号公報（特許文献１）には、昇華法により炭化珪素単結晶を製造する方法が記載されている。

特開平９−２６８０９６号公報

本開示の目的は、貫通転位が少なくかつ厚い炭化珪素単結晶の製造方法を提供することである。

本開示に係る炭化珪素単結晶の製造方法は以下の工程を備えている。主面を有する種結晶と、固体の原料とが準備される。原料を昇華させ、主面上に再結晶化させることにより炭化珪素単結晶を成長させる。炭化珪素単結晶を成長させる工程は、第１工程と、第１工程後に実施される第２工程とを含む。第１工程においては、主面の中央から主面の外周に向かって温度が高くなるように構成され、外周と中央とは第１温度差を有する。第２工程においては、中央から外周に向かって温度が高くなるように構成され、外周と中央とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有する。

本開示によれば、貫通転位が少なくかつ厚い炭化珪素単結晶の製造方法を提供することができる。

本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造方法の第１工程を示す断面模式図である。本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造方法を概略的に示すフロー図である。本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造方法の第２工程を示す断面模式図である。本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造方法の第３工程を示す断面模式図である。加熱部に印加される電力およびチャンバ内の圧力と、時間との関係を示す図である。種結晶の主面の温度、炭化珪素単結晶の厚みおよび炭化珪素単結晶の成長速度と、時間との関係を示す図である。第１工程における種結晶の主面の温度分布を示す図である。第２工程における種結晶の主面の温度分布を示す図である。本実施形態の変形例に係る炭化珪素単結晶の製造方法の第１工程を示す断面模式図である。本実施形態の変形例に係る炭化珪素単結晶の製造方法の第２工程を示す断面模式図である。本実施形態の変形例に係る炭化珪素単結晶の製造方法の第３工程を示す断面模式図である。加熱部に印加される電力およびチャンバ内の圧力と、時間との関係の変形例を示す図である。

［本開示の実施形態の概要］
まず、本開示の実施形態の概要について説明する。本明細書中の結晶学的記載においては、個別方位を［］、集合方位を＜＞、個別面を（）、集合面を｛｝でそれぞれ示している。また結晶学上の指数が負であることは、通常、”−”（バー）を数字の上に付すことによって表現されるが、本明細書中では数字の前に負の符号を付している。

（１）本開示に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法は以下の工程を備えている。主面５を有する種結晶１と、固体の原料２とが準備される。原料２を昇華させ、主面５上に再結晶化させることにより炭化珪素単結晶４０を成長させる。炭化珪素単結晶４０を成長させる工程は、第１工程と、第１工程後に実施される第２工程とを含む。第１工程においては、主面５の中央１５から主面の外周１６に向かって温度が高くなるように構成され、外周１６と中央１５とは第１温度差を有する。第２工程においては、中央１５から外周１６に向かって温度が高くなるように構成され、外周１６と中央１５とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有する。

昇華法により炭化珪素単結晶を製造する際、固体の原料を昇華させることにより原料ガスを発生させ、原料ガスを種結晶の主面上に再結晶化させる。種結晶に貫通転位が含まれていると、当該貫通転位が当該主面上に成長する炭化珪素単結晶に引き継がれる。結果として、炭化珪素単結晶の貫通転位の数を、種結晶の貫通転位の数よりも低減することは困難である。

発明者らは、鋭意検討の結果、結晶成長の初期段階である第１工程において、種結晶１の主面５の中央１５から主面の外周１６に向かって温度が高くなり、かつ外周１６と中央１５とは第１温度差を有するようにし、その後の第２工程においては、中央１５から外周１６に向かって温度が高くなり、かつ外周１６と中央１５とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有するようにすることで、貫通転位が少なくかつ厚い炭化珪素単結晶を製造することができることを見出した。詳細なメカニズムは後述する。

（２）上記（１）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、第１工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＣ１は、外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＯ１よりも高くてもよい。第２工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＣ２は、外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＯ２よりも低くてもよい。

（３）上記（１）または（２）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、第１工程においては、原料２に近づくにつれて炭化珪素単結晶４０の幅が小さくなる部分４２を有するように炭化珪素単結晶４０が成長してもよい。第２工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４から外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３を引いた値が、第１工程の最後における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２から外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５１を引いた値よりも小さくなり、かつ中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚みから外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚みを引いた値が０よりも大きくなるように炭化珪素単結晶４０が成長してもよい。外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚みは、外周１６を通りかつ主面５に対して垂直な直線が炭化珪素単結晶４０の成長面４６と交差する位置と、外周１６との間の距離である。

（４）上記（１）〜（３）のいずれかに係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、炭化珪素単結晶を成長させる工程は、第１工程と第２工程との間の工程であって、主面５の温度分布が変化する遷移工程をさらに含んでもよい。第２工程の時間は、第１工程の時間よりも長くてもよい。これにより、貫通転位の少ない炭化珪素単結晶の部分の厚みを大きくすることができる。

（５）上記（１）〜（４）のいずれかに係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、炭化珪素単結晶を成長させる工程は、加熱装置３１により種結晶１および原料２を加熱することにより行われてもよい。

（６）上記（５）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、加熱装置３１は、第１加熱部１１と、第２加熱部１２とを含んでもよい。主面５に対して垂直な方向において、主面５を含む平面３０と第１加熱部１１との距離は、平面３０と第２加熱部１２との距離よりも短くてもよい。炭化珪素単結晶を成長させる工程においては、第２工程における第１加熱部１１の電力を第２加熱部１２の電力で除した値が、第１工程における第１加熱部１１の電力を第２加熱部１２の電力で除した値よりも小さくなるように、第１加熱部１１の電力および第２加熱部１２の電力が制御されてもよい。

（７）上記（６）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、第１工程における第１加熱部１１の電力を第２加熱部１２の電力で除した値を、第２工程における第１加熱部１１の電力を第２加熱部１２の電力で除した値で除した値は、１．０よりも大きく１．５よりも小さくてもよい。

（８）上記（６）または（７）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、第１工程における第１加熱部１１の電力と第２加熱部１２の電力とを合計した値を、第２工程における第１加熱部１１の電力と第２加熱部１２の電力とを合計した値で除した値は、０．９５よりも大きく１．０５よりも小さくてもよい。

（９）上記（５）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、加熱装置３１は、第１加熱部１１と、残りの複数の加熱部１２、１３を含んでもよい。主面５に対して垂直な方向において、主面５を含む平面３０と第１加熱部１１との距離は、平面３０と残りの複数の加熱部１２、１３の各々との距離よりも短くてもよい。炭化珪素単結晶４０を成長させる工程においては、第２工程における第１加熱部１１の電力を残りの複数の加熱部１２、１３の合計の電力で除した値が、第１工程における第１加熱部１１の電力を残りの複数の加熱部１２、１３の合計の電力で除した値よりも小さくなるように、第１加熱部１１の電力および残りの複数の加熱部１２、１３の各々の電力が制御されてもよい。

（１０）上記（９）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、第１工程における第１加熱部１１の電力を残りの複数の加熱部１２、１３の合計の電力で除した値を、第２工程における第１加熱部１１の電力を残りの複数の加熱部１２、１３の合計の電力で除した値で除した値は、１．０よりも大きく１．５よりも小さくてもよい。

（１１）上記（９）または（１０）に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法において、第１工程における第１加熱部１１の電力と残りの複数の加熱部１２、１３の合計の電力とを合計した値を、第２工程における第１加熱部１１の電力と残りの複数の加熱部１２、１３の合計の電力とを合計した値で除した値は、０．９５よりも大きく１．０５よりも小さくてもよい。

［本開示の実施形態の詳細］
以下、本開示の実施形態（以降、本実施形態と称する）の詳細について図に基づいて説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。

まず、本実施形態において使用される炭化珪素単結晶の製造装置１００の構成について説明する。

図１に示されるように、炭化珪素単結晶の製造装置１００は、坩堝１０と、加熱装置３１と、第１電源２１と、第２電源２２と、制御装置２５とを主に有している。加熱装置３１は、第１加熱部（第１誘導加熱コイル１１）と、第２加熱部（第２誘導加熱コイル１２）とを含んでいる。第１電源２１は、第１誘導加熱コイル１１に対して電力を供給可能に構成されている。同様に、第２電源２２は、第２誘導加熱コイル１２に対して電力を供給可能に構成されている。制御装置２５は、第１電源２１が第１誘導加熱コイル１１に印加する電力（出力）と、第２電源２２が第２誘導加熱コイル１２に印加する電力（出力）とを制御可能に構成されている。

坩堝１０は、たとえばグラファイトにより構成されている。坩堝１０は、台座４と、収容部６とを有している。坩堝１０は、チャンバ（図示せず）の内部に配置されている。台座４は、種結晶１を保持可能に構成されており、収容部６の蓋として機能する。収容部６は、開口を有する容器であり、内部に固体の原料２を収容可能に構成されている。収容部６の側面は、たとえば筒状である。第１誘導加熱コイル１１および第２誘導加熱コイル１２の各々は、収容部６の側面を取り囲むように螺旋状に巻かれている。収容部６の内側には、結晶ガイド壁７が設けられている。結晶ガイド壁７は、たとえば筒状であり、台座４から収容部６の底に向かうにつれて内径が広がっている。

第１誘導加熱コイル１１は、種結晶１を取り囲むように坩堝１０の外部に配置されている。第１誘導加熱コイル１１は、主に種結晶１を加熱する。第２誘導加熱コイル１２は、原料２を取り囲むように坩堝１０の外部に配置されている。第２誘導加熱コイル１２は、主に原料２を加熱する。図１に示されるように、主面５に対して垂直な方向において、主面５を含む平面３０と第１誘導加熱コイル１１との距離は、平面３０と第２誘導加熱コイル１２との距離４５よりも短い。平面３０は、第１加熱部１１と交差している。本実施形態によれば、主面５に対して垂直な方向において、平面３０と第１加熱部１１との距離は０である。本実施形態によれば、主面５と第１加熱部１１との最短距離は、主面５と第２加熱部１２との最短距離よりも短い。

次に、本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造方法について説明する。
まず、種結晶および原料を準備する工程（Ｓ１０：図２）が実施される。たとえば昇華法により製造された炭化珪素インゴットをスライスすることにより種結晶１が切り出される。種結晶１は、たとえばポリタイプ４Ｈの六方晶炭化珪素により構成されている。種結晶１は、主面５を含む。主面５は、たとえば略円形状である。主面５の最大径は、たとえば１００ｍｍ以上であり、好ましくは１５０ｍｍ以上である。種結晶１は、貫通転位８を有している場合がある。貫通転位８は、刃状転位であってもよいし、らせん転位であってもよいし、混合転位であってもよい。貫通転位８は、主面５と、主面５と反対側の面とに露出している。

主面５は、たとえば｛０００１｝面から４°以下程度オフした面または｛０００１｝面である。主面５は、（０００１）面から４°以下程度オフした面であってもよいし、（０００−１）面から４°以下程度オフした面であってもよい。オフ方向は、＜１１−２０＞であってもよい。種結晶１は、接着剤３によって台座４に固定される。接着剤３は、種結晶１において主面５とは反対側の面に接している。原料２は、収容部６の内部に配置される。原料２は、たとえば多結晶炭化珪素の粉末などの固体である。種結晶１の主面５が原料２に対面するように、種結晶１および原料２が、図１に示す坩堝１０内に配置される。以上により、主面５を有する種結晶１と、固体の原料２とが準備される。

次に、炭化珪素単結晶を成長させる工程（Ｓ２０：図２）が実施される。炭化珪素単結晶を成長させる工程は、たとえば加熱装置３１により種結晶１および原料２を加熱することにより行われる。加熱装置３１は、第１誘導加熱コイル１１および第２誘導加熱コイル１２を有する。具体的には、第１電源２１により第１誘導加熱コイル１１に交流電流を印加することにより、第１誘導加熱コイル１１の内部に誘導磁界を発生させる。同様に、第２電源２２により第２誘導加熱コイル１２に交流電流を印加することにより、第２誘導加熱コイル１２の内部に誘導磁界を発生させる。これにより、坩堝１０に渦電流が発生し、坩堝１０が加熱される。

図３および図４に示されるように、主に第２誘導加熱コイル１２によって原料２を昇華させることにより原料ガス９を発生させ、原料ガス９を主面５上に再結晶化させることにより炭化珪素単結晶４０を成長させる。

図５および図６に示されるように、炭化珪素単結晶を成長させる工程は、昇温工程と、降圧工程と、第１工程と、遷移工程と、第２工程と、昇圧工程と、降温工程とを主に含む。昇温工程は、時間Ｔ０から時間Ｔ１までの工程である。降圧工程は、時間Ｔ１から時間Ｔ２までの工程である。第１工程は、時間Ｔ２から時間Ｔ３までの工程である。遷移工程は、時間Ｔ３から時間Ｔ４までの工程である。第２工程は、時間Ｔ４から時間Ｔ５までの工程である。昇圧工程は、時間Ｔ５から時間Ｔ６までの工程である。降温工程は、時間Ｔ６から時間Ｔ７までの工程である。

（昇温工程）
まず、昇温工程が実施される。図５に示されるように、昇温工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力および第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、たとえば単調に増加する。昇温工程の間、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力よりも高く維持されてもよい。チャンバ内には、たとえばアルゴンガス、ヘリウムガスまたは窒素ガスなどの不活性ガスが導入される。昇温工程におけるチャンバ内の圧力（つまり坩堝１０内の圧力）は、たとえば第１圧力Ａ１で維持される。第１圧力Ａ１は、たとえば大気圧である。図６に示されるように、昇温工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、たとえば単調に増加する。昇温工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されてもよい。昇温工程においては、炭化珪素単結晶は、ほとんど成長しない。

（降圧工程）
次に、降圧工程が実施される。図５に示されるように、降圧工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力および第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、ほぼ一定である。降圧工程の間、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力よりも高く維持されてもよい。降圧工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第１圧力Ａ１から第２圧力Ａ２に低減する。第２圧力Ａ２は、たとえば０．５ｋＰａ以上２ｋＰａ以下である。図６に示されるように、降圧工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、ほぼ一定であってもよい。降圧工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されてもよい。時間Ｔ１と時間Ｔ２との間において、固体の原料２が実質的に昇華し始める。

（第１工程）
次に、第１工程が実施される。図５に示されるように、第１工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力は第１電力Ｐ１１であり、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は第２電力Ｐ２１である。第１工程において、第１電力Ｐ１１および第２電力Ｐ２１は、ほぼ一定である。第１工程の間、第２電力Ｐ２１は、第１電力Ｐ１１よりも高く維持される。第１電力Ｐ１１は、たとえば１０．０ｋＷ以上１５．０ｋＷ以下である。第２電力Ｐ２１は、たとえば１２．０ｋＷ以上１８．０ｋＷ以下である。第２電力Ｐ２１を第１電力Ｐ１１で除した値は、たとえば１．２である。

第１工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２で維持される。第１工程において、主面５の中央１５および外周１６温度は、原料２の温度よりも低く維持される。これにより、原料２が昇華して発生した原料ガス９は、種結晶１の主面５上に再結晶化する。結果として、主面５上に炭化珪素単結晶４０が成長する（図３参照）。

図７に示されるように、第１工程においては、主面５の中央１５から主面の外周１６に向かって温度が高くなるように構成されている。外周１６と中央１５とは第１温度差を有する。図６に示されるように、第１工程において、主面５の中央１５の温度は第１中央温度ＢＣ１であり、主面５の外周１６の温度は第１外周温度ＢＯ１である。第１工程において、第１中央温度ＢＣ１および第１外周温度ＢＯ１は、ほぼ一定である。第１工程において、第１外周温度ＢＯ１は、第１中央温度ＢＣ１よりも高く維持される。第１外周温度ＢＯ１と第１中央温度ＢＣ１との差（第１温度差）は、たとえば１０℃以上である。主面５の外周１６の温度は、エッジ（外周１６）から中央１５に向かって５ｍｍの位置で測定される。温度が高い外周１６においては、主面５に再結晶化した炭化珪素が再度昇華して主面５から離脱する確率が高い。そのため、外周１６においては、炭化珪素単結晶４０の成長速度が低い。一方、温度が低い中央１５においては、主面５に再結晶化した炭化珪素が再度昇華して主面５から離脱する確率が低い。そのため、中央１５においては、炭化珪素単結晶４０の成長速度が高い。第１工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＣ１は、外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＯ１よりも高い。結果として、炭化珪素単結晶４０は、原料２に近づくにつれて幅５５が小さくなる部分４２を有するように成長する（図３参照）。

なお、炭化珪素単結晶４０は、結晶成長の初期段階において、原料２に近づくにつれて幅が大きくなる部分４１を有するように成長してもよい（図３参照）。時間Ｔ３において、中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２は第１中央厚みＣＣ１であり、外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５１は第１外周厚みＣＯ１である。第１中央厚みＣＣ１は、第１外周厚みＣＯ１よりも大きい。第１中央厚みＣＣ１は、第１外周厚みＣＯ１との差は、たとえば５ｍｍ以上である。

中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚みは、中央１５を通りかつ主面５に対して垂直な直線が炭化珪素単結晶４０の成長面４６と交差する位置と、中央１５との間の距離である。外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚みは、外周１６を通りかつ主面５に対して垂直な直線が炭化珪素単結晶４０の成長面４６と交差する位置と、外周１６との間の距離である。より詳細には、外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚みは、外周１６上のある位置（第１位置）を通りかつ主面５に対して垂直な直線が炭化珪素単結晶４０の成長面４６と交差する位置（第２位置）と、第１位置との距離である。第１位置は、たとえば、外周１６を４等分する０°の位置、９０°の位置、１８０°の位置および２７０°の位置の４箇所としてもよい。当該４箇所の位置における炭化珪素単結晶４０の厚みの平均値が、炭化珪素単結晶４０の厚みとされ得る。

貫通転位８は、炭化珪素単結晶４０内のある位置から炭化珪素単結晶４０の表面までの距離が最短となるように成長する。図３に示すように、炭化珪素単結晶４０の成長表面が、原料２に近づくにつれて幅５５が小さくなる湾曲していると、貫通転位８が主面５から原料２に向かう方向（図３の下方向）に進展するよりも、炭化珪素単結晶４０の径方向（図３の横方向）に進展しやすくなる。結果として、貫通転位８は、炭化珪素単結晶４０の側面に露出する。

（遷移工程）
次に、遷移工程が実施される。遷移工程は、第１工程と第２工程との間の工程であって、主面５の温度分布が変化する工程である。図５に示されるように、遷移工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力は低減する。一方、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は増加する。遷移工程の間、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力よりも高く維持される。遷移工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２で維持される。図６に示されるように、遷移工程において、外周１６の温度は低減し、中央１５の温度は増加する。遷移工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持される。図７および図８に示されるように、遷移工程においては、主面５の中央１５から外周１６に向かって温度が高い状態を維持しながら外周１６と中央１５との温度差が小さくなるように、主面５の温度分布が変化する。

（第２工程）
次に、第２工程が実施される。第２工程は、第１工程後に実施される。図５に示されるように、第２工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力は第３電力Ｐ１２であり、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は第４電力Ｐ２２である。第２工程において、第３電力Ｐ１２および第４電力Ｐ２２は、ほぼ一定である。第２工程の間、第４電力Ｐ２２は、第３電力Ｐ１２よりも高く維持される。第３電力Ｐ１２は、たとえば９．０ｋＷ以上１３．０ｋＷ以下である。第４電力Ｐ２２は、たとえば１３．５ｋＷ以上１９．５ｋＷ以下である。第４電力Ｐ２２を第３電力Ｐ１２で除した値は、たとえば１．５である。

具体的には、第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力（つまり第３電力Ｐ１２）を第２誘導加熱コイル１２の電力（つまり第４電力Ｐ２２）で除した値が、第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力（つまり第１電力Ｐ１１）を第２誘導加熱コイル１２の電力（つまり第２電力Ｐ２１）で除した値よりも小さくなるように、第１誘導加熱コイル１１の電力および第２誘導加熱コイル１２の電力が制御される。

第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力（つまり第１電力Ｐ１１）を第２誘導加熱コイル１２の電力（つまり第２電力Ｐ２１）で除した値を、第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力（つまり第３電力Ｐ１２）を第２誘導加熱コイル１２の電力（つまり第４電力Ｐ２２）で除した値で除した値は、たとえば１．０よりも大きく１．５よりも小さく、好ましくは１．１以上１．４以下であり、より好ましくは１．１５以上１．２５以下である。

第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力（つまり第１電力Ｐ１１）と第２誘導加熱コイル１２の電力（つまり第２電力Ｐ２１）とを合計した値を、第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力（つまり第３電力Ｐ１２）と第２誘導加熱コイル１２の電力（つまり第４電力Ｐ２２）とを合計した値で除した値は、たとえば０．９５よりも大きく１．０５よりも小さく、好ましくは０．９７以上１．０３以下であり、より好ましくは０．９８以上１．０２以下である。理想的には、第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力と第２誘導加熱コイル１２の電力とを合計した値（第１電力Ｐ１１＋第２電力Ｐ２１）は、第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力と第２誘導加熱コイル１２の電力とを合計した値（第３電力Ｐ１２＋第４電力Ｐ２２）と同じである。これにより、全体の熱量を一定にすることができる。第１工程と同様に、第２工程においても、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２で維持される。

図８に示されるように、第２工程においては、中央１５から外周１６に向かって温度が高くなるように構成されている。外周１６と中央１５とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有する。図６に示されるように、第２工程において、主面５の中央１５の温度は第２中央温度ＢＣ２であり、主面５の外周１６の温度は第２外周温度ＢＯ２である。第２工程において、第２中央温度ＢＣ２および第２外周温度ＢＯ２は、ほぼ一定である。第２工程において、第２外周温度ＢＯ２は、第２中央温度ＢＣ２よりも高く維持される。第２外周温度ＢＯ２と第２中央温度ＢＣ２との差（第２温度差）は、たとえば２℃以上５℃以下である。

第２工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４から外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３を引いた値が、第１工程の最後（つまり時間Ｔ３）における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２から外周１６での炭化珪素単結晶の厚み５１を引いた値よりも小さくなり、かつ中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４から外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３を引いた値が０よりも大きくなるように炭化珪素単結晶４０が成長する（図４参照）。

第２工程における外周１６の温度と中央１５の温度との差は、第１工程における外周１６の温度と中央１５の温度との差よりも小さい。炭化珪素単結晶４０の成長面４６は、中央部分が外周部分よりも原料に近い。そのため、成長面４６の中央部分の温度は、成長面４６の外周部分の温度よりも高くなる。よって、第２工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＣ２は、外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＯ２よりも低い。そのため、成長面４６は、原料２に対して突出した形状から、平坦な形状に近づく。第２工程における外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度は、第１工程における外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度よりも高くてもよい。第２工程における中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度は、第１工程における中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度よりも低くてもよい。第２工程の最後（時間Ｔ５）における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２と外周１６での炭化珪素単結晶の厚み５１との差は、第１工程の最後（時間Ｔ３）における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２と外周１６での炭化珪素単結晶の厚み５１との差よりも小さい。

なお、第１工程における外周１６の温度とは、たとえば時間Ｔ２から時間Ｔ３までの間における外周１６の温度の平均値である。同様に、第１工程における中央１５の温度とは、たとえば時間Ｔ２から時間Ｔ３までの間における中央１５の温度の平均値である。

時間Ｔ５において、中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４は第２中央厚みＣＣ２であり、外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３は第２外周厚みＣＯ２である。第２中央厚みＣＣ２は、第２外周厚みＣＯ２よりも大きい。第２中央厚みＣＣ２と第２外周厚みＣＯ２との差は、たとえば１ｍｍ以上３ｍｍ以下である。第１工程において、貫通転位８が炭化珪素単結晶４０の側面に逃がされている。そのため、第２工程において成長する炭化珪素単結晶４０の部分には、貫通転位８が引き継がれない。そのため、第２工程においては、貫通転位８が低減された炭化珪素単結晶４０が成長する。

好ましくは、第２工程の時間（時間Ｔ４から時間Ｔ５までの時間）は、第１工程の時間（時間Ｔ２から時間Ｔ３までの時間）よりも長い。たとえば、第１工程の時間および第２工程の時間は、それぞれ１５時間および３５時間（第１プロファイル）であってもよいし、２０時間および３０時間（第２プロファイル）であってもよいし、２５時間および２５時間（第３プロファイル）であってもよい。

（昇圧工程）
次に、昇圧工程が実施される。図５に示されるように、昇圧工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力および第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、ほぼ一定である。昇圧工程の間、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力よりも高く維持されてもよい。昇圧工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２から第１圧力Ａ１に増加する。図６に示されるように、昇圧工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、ほぼ一定であってもよい。昇圧工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されもよい。時間Ｔ５と時間Ｔ６との間において、固体の原料２の昇華が終了する。これにより、炭化珪素単結晶４０の成長が終了する。

（降温工程）
次に、降温工程が実施される。図５に示されるように、降温工程において、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力および第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、たとえば単調に減少する。降温工程の間、第２誘導加熱コイル１２に印加される電力は、第１誘導加熱コイル１１に印加される電力よりも高く維持されてもよい。降温工程におけるチャンバ内の圧力は、たとえば第１圧力Ａ１で維持される。図６に示されるように、降温工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、単調に増加してもよい。降温工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されてもよい。炭化珪素単結晶４０の温度が室温程度になった後、炭化珪素単結晶４０が坩堝１０から取り出される。以上により、炭化珪素単結晶４０の製造が完了する。

なお上記においては、加熱部が誘導加熱コイルである場合について説明したが、加熱部は抵抗ヒータであってもよい。また上記においては、第２工程における第２誘導加熱コイル１２の電力を、第１工程における第２誘導加熱コイル１２の電力よりも高くし、かつ第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力を、第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力よりも低くする場合について説明したが、本実施形態はこの方法に限定されない。たとえば、第２工程における第２誘導加熱コイル１２の電力を、第１工程における第２誘導加熱コイル１２の電力と同程度に維持しつつ、第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力を、第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力よりも低くしてもよい。代替的に、第２工程における第２誘導加熱コイル１２の電力を、第１工程における第２誘導加熱コイル１２の電力よりも高くしつつ、かつ第２工程における第１誘導加熱コイル１１の電力を、第１工程における第１誘導加熱コイル１１の電力と同程度に維持してもよい。

（変形例）
次に、本実施形態の変形例において使用される炭化珪素単結晶の製造装置１００の構成について説明する。

図９に示されるように、炭化珪素単結晶の製造装置１００は、坩堝１０と、加熱装置３１と、第１電源２１と、第２電源２２と、第３電源２３と、制御装置２５とを主に有していてもよい。加熱装置３１は、たとえば第１加熱部（第１抵抗ヒータ１１）と、残りの複数の加熱部とを含んでいる。残りの複数の加熱部は、たとえば第２加熱部（第２抵抗ヒータ１２）と、第３加熱部（第３抵抗ヒータ１３）である。第１電源２１は、第１抵抗ヒータ１１に対して電力を供給可能に構成されている。同様に、第２電源２２は、第２抵抗ヒータ１２に対して電力を供給可能に構成されている。同様に、第３電源２３は、第３抵抗ヒータ１３に対して電力を供給可能に構成されている。制御装置２５は、第１電源２１の電力（出力）と、第２電源２２の電力（出力）と、第３電源２３の電力（出力）とを制御可能に構成されている。

第１抵抗ヒータ１１は、種結晶１を取り囲むように坩堝１０の外部に配置されている。第１抵抗ヒータ１１は、自らの抵抗で発熱し、主に種結晶１を加熱する。第２抵抗ヒータ１２は、原料２を取り囲むように坩堝１０の外部に配置されている。第２抵抗ヒータ１２は、自らの抵抗で発熱し、主に原料２を加熱する。第３抵抗ヒータ１３は、収容部６の底面に対面して配置されている。第３抵抗ヒータ１３は、自らの抵抗で発熱し、主に原料２を加熱する。

図９に示されるように、主面５に対して垂直な方向において、主面５を含む平面３０と第１抵抗ヒータ１１との距離は、平面３０と残りの複数の加熱部の各々との距離よりも短い。具体的には、主面５に対して垂直な方向において、主面５を含む平面３０と第１抵抗ヒータ１１との距離は、平面３０と第２抵抗ヒータ１２との距離４３よりも短い。同様に、主面５に対して垂直な方向において、平面３０と第１抵抗ヒータ１１との距離は、平面３０と第３抵抗ヒータ１３との距離４４よりも短い。平面３０は、第１抵抗ヒータ１１と交差している。本実施形態によれば、主面５に対して垂直な方向において、平面３０と第１抵抗ヒータ１１との距離は０である。

次に、本実施形態の変形例に係る炭化珪素単結晶の製造方法について説明する。
まず、種結晶および原料を準備する工程（Ｓ１０：図２）が実施される。この工程は、上述の方法と同様の方法により実施される。具体的には、種結晶１および原料２が、図９に示す坩堝１０内に配置される。

次に、炭化珪素単結晶を成長させる工程（Ｓ２０：図２）が実施される。炭化珪素単結晶を成長させる工程は、たとえば加熱装置３１により種結晶１および原料２を加熱することにより行われる。加熱装置３１は、第１抵抗ヒータ１１と、第２抵抗ヒータ１２と、第３抵抗ヒータ１３とを有する。図１０および図１１に示されるように、主に第２抵抗ヒータ１２および第３抵抗ヒータ１３によって原料２を昇華させることにより原料ガス９を発生させ、原料ガス９を主面５上に再結晶化させることにより炭化珪素単結晶４０を成長させる。

図１２に示されるように、炭化珪素単結晶を成長させる工程は、昇温工程と、降圧工程と、第１工程と、遷移工程と、第２工程と、昇圧工程と、降温工程とを主に含む。昇温工程は、時間Ｔ０から時間Ｔ１までの工程である。降圧工程は、時間Ｔ１から時間Ｔ２までの工程である。第１工程は、時間Ｔ２から時間Ｔ３までの工程である。遷移工程は、時間Ｔ３から時間Ｔ４までの工程である。第２工程は、時間Ｔ４から時間Ｔ５までの工程である。昇圧工程は、時間Ｔ５から時間Ｔ６までの工程である。降温工程は、時間Ｔ６から時間Ｔ７までの工程である。

（昇温工程）
まず、昇温工程が実施される。図１２に示されるように、昇温工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力と、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力と、第３抵抗ヒータ１３に印加される電力とは、たとえば単調に増加する。昇温工程の間、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力よりも低く維持され、かつ第３抵抗ヒータ１３に印加される電力よりも高く維持されてもよい。チャンバ内には、たとえばアルゴンガス、ヘリウムガスまたは窒素ガスなどの不活性ガスが導入される。昇温工程におけるチャンバ内の圧力は、たとえば第１圧力Ａ１で維持される。第１圧力Ａ１は、たとえば大気圧である。図６に示されるように、昇温工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、たとえば単調に増加してもよい。昇温工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されてもよい。昇温工程においては、炭化珪素単結晶は、ほとんど成長しない。

（降圧工程）
次に、降圧工程が実施される。図１２に示されるように、降圧工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力と、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力と、第３抵抗ヒータ１３に印加される電力とは、ほぼ一定である。降圧工程の間、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力よりも低く維持され、かつ第３抵抗ヒータ１３に印加される電力よりも高く維持されてもよい。降圧工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第１圧力Ａ１から第２圧力Ａ２に低減する。第２圧力Ａ２は、たとえば０．５ｋＰａ以上２ｋＰａ以下である。図６に示されるように、降圧工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、ほぼ一定であってもよい。降圧工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されてもよい。時間Ｔ１と時間Ｔ２との間において、固体の原料２が実質的に昇華し始める。

（第１工程）
次に、第１工程が実施される。図１２に示されるように、第１工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力は第５電力Ｐ３１であり、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は第６電力Ｐ４１であり、第３抵抗ヒータ１３に印加される電力は第７電力Ｐ５１である。第１工程において、第５電力Ｐ３１と、第６電力Ｐ４１と、第７電力Ｐ５１とは、ほぼ一定である。第１工程の間、第６電力Ｐ４１は、第５電力Ｐ３１よりも低く維持され、かつ第７電力Ｐ５１よりも高く維持される。第５電力Ｐ３１は、たとえば１０ｋＷ以上１５ｋＷ以下である。第６電力Ｐ４１は、たとえば８ｋＷ以上１２ｋＷ以下である。第７電力Ｐ５１は、たとえば４ｋＷ以上６ｋＷ以下である。

第１工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２で維持される。第１工程において、主面５の中央１５および外周１６の温度は、原料２の温度よりも低く維持される。これにより、原料２が昇華して発生した原料ガス９は、種結晶１の主面５上に再結晶する。結果として、主面５上に炭化珪素単結晶４０が成長する（図１０参照）。

図７に示されるように、第１工程においては、主面５の中央１５から主面の外周１６に向かって温度が高くなるように構成されている。外周１６と中央１５とは第１温度差を有する。図６に示されるように、第１工程において、主面５の中央１５の温度は第１中央温度ＢＣ１であり、主面５の外周１６の温度は第１外周温度ＢＯ１である。第１工程において、第１中央温度ＢＣ１および第１外周温度ＢＯ１は、ほぼ一定である。第１工程において、第１外周温度ＢＯ１は、第１中央温度ＢＣ１よりも高く維持される。第１工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＣ１は、外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＯ１よりも高い。炭化珪素単結晶４０は、原料２に近づくにつれて幅５５が小さくなる部分４２を有するように成長する。

貫通転位８は、炭化珪素単結晶４０内のある位置から炭化珪素単結晶４０の表面までの距離が最短となるように成長する。図１０に示すように、炭化珪素単結晶４０の成長表面が、原料２に近づくにつれて幅５５が小さくなる湾曲していると、貫通転位８が主面５から原料２に向かう方向（図１０の下方向）に進展するよりも、炭化珪素単結晶４０の径方向（図１０の横方向）に進展しやすくなる。結果として、貫通転位８が、炭化珪素単結晶４０の側面に露出する。

（遷移工程）
次に、遷移工程が実施される。遷移工程は、第１工程と第２工程との間の工程であって、主面５の温度分布が変化する工程である。図１２に示されるように、遷移工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力は減少する。一方、第２抵抗ヒータ１２および第３抵抗ヒータ１３に印加される電力は増加する。遷移工程の間、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力よりも低く維持され、かつ第３抵抗ヒータ１３に印加される電力よりも高く維持される。遷移工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２で維持される。図６に示されるように、遷移工程において、外周１６の温度は低減し、中央１５の温度は増加する。遷移工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持される。

（第２工程）
次に、第２工程が実施される。第２工程と、第１工程後に実施される。図１２に示されるように、第２工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力は第８電力Ｐ３２であり、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は第９電力Ｐ４２であり、第３抵抗ヒータ１３に印加される電力は第１０電力Ｐ５２である。第２工程において、第８電力Ｐ３２と、第９電力Ｐ４２と、第１０電力Ｐ５２とは、ほぼ一定である。第２工程の間、第９電力Ｐ４２は、第８電力Ｐ３２よりも低く維持され、かつ第１０電力Ｐ５２よりも高く維持される。

第８電力Ｐ３２は、たとえば９ｋＷ以上１３ｋＷ以下である。第９電力Ｐ４２は、たとえば８．５ｋＷ以上１２．５ｋＷ以下である。第１０電力Ｐ５２は、たとえば５ｋＷ以上７ｋＷ以下である。

具体的には、第２工程における第１抵抗ヒータ１１の電力（つまり第８電力Ｐ３２）を残りの複数の抵抗加熱ヒータの合計の電力（つまり第９電力Ｐ４２および第１０電力Ｐ５２の合計）で除した値が、第１工程における第１抵抗ヒータ１１の電力（つまり第５電力Ｐ３１）を残りの複数の抵抗加熱ヒータの合計の電力（つまり第６電力Ｐ４１および第７電力Ｐ５１の合計）で除した値よりも小さくなるように、第１抵抗ヒータ１１の電力および残りの複数の加熱部（つまり第２抵抗ヒータ１２および第３抵抗ヒータ１３）の各々の電力が制御される。

第１工程における第１抵抗ヒータ１１の電力（つまり第５電力Ｐ３１）を残りの複数の抵抗加熱ヒータの合計の電力（つまり第６電力Ｐ４１および第７電力Ｐ５１の合計）で除した値を、第２工程における第１抵抗ヒータ１１の電力（つまり第８電力Ｐ３２）を残りの複数の抵抗加熱ヒータの合計の電力（つまり第９電力Ｐ４２および第１０電力Ｐ５２の合計）で除した値で除した値は、たとえば１．０よりも大きく１．５よりも小さく、好ましくは１．１以上１．４以下であり、より好ましくは１．１５以上１．２５以下である。

第１工程における第１抵抗ヒータ１１の電力（つまり第５電力Ｐ３１）と残りの複数の抵抗加熱ヒータの合計の電力（つまり第６電力Ｐ４１および第７電力Ｐ５１の合計）とを合計した値を、第２工程における第１抵抗ヒータ１１の電力（つまり第８電力Ｐ３２）と残りの複数の抵抗加熱ヒータの合計の電力（つまり第９電力Ｐ４２および第１０電力Ｐ５２の合計）とを合計した値で除した値は、０．９５よりも大きく１．０５よりも小さく、好ましくは０．９７以上１．０３以下であり、より好ましくは０．９８以上１．０２以下である。理想的には、第１工程における第１抵抗ヒータ１１の電力と、第２抵抗ヒータ１２の電力と、第３抵抗ヒータ１３の電力とを合計した値（第５電力Ｐ３１＋第６電力Ｐ４１＋第７電力Ｐ５１）は、第２工程における第１抵抗ヒータ１１の電力と、第２抵抗ヒータ１２の電力と、第３抵抗ヒータ１３の電力とを合計した値（第８電力Ｐ３２＋第９電力Ｐ４２＋第１０電力Ｐ５２）と同じである。これにより、全体の熱量を一定にすることができる。第１工程と同様に、第２工程においても、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２で維持される。

図８に示されるように、第２工程においては、中央１５から外周１６に向かって温度が高くなるように構成されている。外周１６と中央１５とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有する。図６に示されるように、第２工程において、主面５の中央１５の温度は第２中央温度ＢＣ２であり、主面５の外周１６の温度は第２外周温度ＢＯ２である。第２工程において、第２中央温度ＢＣ２および第２外周温度ＢＯ２は、ほぼ一定である。第２工程において、第２外周温度ＢＯ２は、第２中央温度ＢＣ２よりも高く維持される。炭化珪素単結晶４０の成長面４６は、中央部分が外周部分よりも原料に近い。そのため、成長面４６の中央部分の温度は、成長面４６の外周部分の温度よりも高くなる。よって、第２工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＣ２は、外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度ＶＯ２よりも低い。

第２工程においては、中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４から外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３を引いた値が、第１工程の最後（つまり時間Ｔ３）における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２から外周１６での炭化珪素単結晶の厚み５１を引いた値よりも小さくなり、かつ中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４から外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３を引いた値が０よりも大きくなるように炭化珪素単結晶４０が成長する（図１１参照）。

第２工程における外周１６の温度と中央１５の温度との差は、第１工程における外周１６の温度と中央１５の温度との差よりも小さい。第２工程における外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度は、第１工程における外周１６での炭化珪素単結晶４０の成長速度よりも高くてもよい。第２工程における中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度は、第１工程における中央１５での炭化珪素単結晶４０の成長速度よりも低くてもよい。第２工程の最後（時間Ｔ５）における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２と外周１６での炭化珪素単結晶の厚み５１との差は、第１工程の最後（時間Ｔ３）における中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５２と外周１６での炭化珪素単結晶の厚み５１との差よりも小さい。

時間Ｔ５において、中央１５での炭化珪素単結晶４０の厚み５４は第２中央厚みＣＣ２であり、外周１６での炭化珪素単結晶４０の厚み５３は第２外周厚みＣＯ２である。第２中央厚みＣＣ２は、第２外周厚みＣＯ２よりも大きい。第１工程において、貫通転位８が炭化珪素単結晶４０の側面に逃がされている。そのため、第２工程において成長する炭化珪素単結晶４０の部分には、貫通転位８が引き継がれない。そのため、第２工程においては、貫通転位８が低減された炭化珪素単結晶４０が成長する。

好ましくは、第２工程の時間（時間Ｔ４から時間Ｔ５までの時間）は、第１工程の時間（時間Ｔ２から時間Ｔ３までの時間）よりも長い。たとえば、第１工程の時間および第２工程の時間は、それぞれ１５時間および３５時間（第４プロファイル）であってもよいし、２０時間および３０時間（第５プロファイル）であってもよいし、２５時間および２５時間（第６プロファイル）であってもよい。

（昇圧工程）
次に、昇圧工程が実施される。図１２に示されるように、昇圧工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力と、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力と、第３抵抗ヒータ１３に印加される電力とは、ほぼ一定である。昇圧工程の間、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力よりも低く維持され、かつ第３抵抗ヒータ１３に印加される電力よりも高く維持されてもよい。昇圧工程において、チャンバ内の圧力は、たとえば第２圧力Ａ２から第１圧力Ａ１に増加する。図６に示されるように、昇圧工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、ほぼ一定であってもよい。昇圧工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されもよい。時間Ｔ５と時間Ｔ６との間において、固体の原料２の昇華が終了する。これにより、炭化珪素単結晶４０の成長が終了する。

（降温工程）
次に、降温工程が実施される。図１２に示されるように、降温工程において、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力と、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力と、第３抵抗ヒータ１３に印加される電力とは、たとえば単調に減少する。降温工程の間、第２抵抗ヒータ１２に印加される電力は、第１抵抗ヒータ１１に印加される電力よりも低く維持され、かつ第３抵抗ヒータ１３に印加される電力よりも高く維持されてもよい。降温工程におけるチャンバ内は、たとえば第１圧力Ａ１で維持される。図６に示されるように、降温工程において、種結晶１の主面５の中央１５および外周１６の温度は、単調に増加してもよい。降温工程において、外周１６の温度は、中央１５の温度よりも高く維持されてもよい。炭化珪素単結晶４０の温度が室温程度になった後、炭化珪素単結晶４０が坩堝１０から取り出される。以上により、炭化珪素単結晶４０の製造が完了する。

なお、上記においては、炭化珪素単結晶の製造装置１００の加熱装置が、３個の加熱部を有する場合（図１０参照）について説明したが、加熱部の数は４以上であってもよい。また上記においては、加熱部が抵抗ヒータである場合について説明したが、加熱部は誘導加熱コイルであってもよい。

次に、種結晶の主面の温度の測定方法について説明する。
種結晶の主面の温度は、たとえば放射温度計により測定することができる。放射温度計として、たとえば株式会社チノー製のパイロメータ（型番：ＩＲ−ＣＡＨ８ＴＮ６）が使用可能である。パイロメータの測定波長は、たとえば１．５５μｍおよび０．９μｍである。パイロメータの放射率設定値は、たとえば０．９である。パイロメータの距離係数は、たとえば３００である。パイロメータの測定径は、測定距離を距離係数で除することにより求められる。たとえば測定距離が９００ｍｍの場合、測定径は３ｍｍである。主面５の中央１５の温度は、中央１５に対面する台座４の表面の部分の温度を放射温度計により測定することにより推定することができる。同様に、主面５の外周１６の温度は、外周１６に対面する台座４の表面の部分の温度を放射温度計により測定することにより推定することができる。

次に、本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造方法の作用効果について説明する。
本実施形態に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法によれば、第１工程においては、主面５の中央１５から主面の外周１６に向かって温度が高くなるように構成され、外周１６と中央１５とは第１温度差を有する。第２工程においては、中央１５から外周１６に向かって温度が高くなるように構成され、外周１６と中央１５とは第１温度差よりも小さい第２温度差を有する。これにより、貫通転位が少なくかつ厚い炭化珪素単結晶を製造することができる。

また本実施形態に係る炭化珪素単結晶４０の製造方法によれば、第２工程の時間は、第１工程の時間よりも長い場合がある。これにより、貫通転位の少ない炭化珪素単結晶４０部分の厚みを大きくすることができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１種結晶
２原料
３接着剤
４台座
５主面
６収容部
７結晶ガイド壁
８貫通転位
９原料ガス
１０坩堝
１１第１加熱部（第１誘導加熱コイル、第１抵抗ヒータ）
１２第２加熱部（第２誘導加熱コイル、第２抵抗ヒータ）
１３第３抵抗ヒータ
１５中央
１６外周
２１第１電源
２２第２電源
２３第３電源
２５制御装置
３０平面
３１加熱装置
４０炭化珪素単結晶
４１，４２部分
４３，４４，４５距離
４６成長面
５１，５２，５３，５４厚み
５５幅
１００製造装置

Claims

主面を有する種結晶と、固体の原料とを準備する工程と、
前記原料を昇華させ、前記主面上に再結晶化させることにより炭化珪素単結晶を成長させる工程とを備え、
前記炭化珪素単結晶を成長させる工程は、第１工程と、前記第１工程後に実施される第２工程とを含み、
前記第１工程においては、前記主面の中央から前記主面の外周に向かって温度が高くなるように構成され、前記外周と前記中央とは第１温度差を有し、
前記第２工程においては、前記中央から前記外周に向かって温度が高くなるように構成され、前記外周と前記中央とは前記第１温度差よりも小さい第２温度差を有する、炭化珪素単結晶の製造方法。
前記第１工程においては、前記中央での前記炭化珪素単結晶の成長速度は、前記外周での前記炭化珪素単結晶の成長速度よりも高く、
前記第２工程においては、前記中央での前記炭化珪素単結晶の成長速度は、前記外周での前記炭化珪素単結晶の成長速度よりも低い、請求項１に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記第１工程においては、前記原料に近づくにつれて前記炭化珪素単結晶の幅が小さくなる部分を有するように前記炭化珪素単結晶が成長し、
前記第２工程においては、前記中央での前記炭化珪素単結晶の厚みから前記外周での前記炭化珪素単結晶の厚みを引いた値が、前記第１工程の最後における前記中央での前記炭化珪素単結晶の厚みから前記外周での前記炭化珪素単結晶の厚みを引いた値よりも小さくなり、かつ前記中央での前記炭化珪素単結晶の厚みから前記外周での前記炭化珪素単結晶の厚みを引いた値が０よりも大きくなるように前記炭化珪素単結晶が成長し、
前記外周での前記炭化珪素単結晶の厚みは、前記外周を通りかつ前記主面に対して垂直な直線が前記炭化珪素単結晶の成長面と交差する位置と、前記外周との間の距離である、請求項１または請求項２に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記炭化珪素単結晶を成長させる工程は、前記第１工程と前記第２工程との間の工程であって、前記主面の温度分布が変化する遷移工程をさらに含み、
前記第２工程の時間は、前記第１工程の時間よりも長い、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記炭化珪素単結晶を成長させる工程は、加熱装置により前記種結晶および前記原料を加熱することにより行われる、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記加熱装置は、第１加熱部と、第２加熱部とを含み、
前記主面に対して垂直な方向において、前記主面を含む平面と前記第１加熱部との距離は、前記平面と前記第２加熱部との距離よりも短く、
前記炭化珪素単結晶を成長させる工程においては、前記第２工程における前記第１加熱部の電力を前記第２加熱部の電力で除した値が、前記第１工程における前記第１加熱部の電力を前記第２加熱部の電力で除した値よりも小さくなるように、前記第１加熱部の電力および前記第２加熱部の電力が制御される、請求項５に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記第１工程における前記第１加熱部の電力を前記第２加熱部の電力で除した値を、前記第２工程における前記第１加熱部の電力を前記第２加熱部の電力で除した値で除した値は、１．０よりも大きく１．５よりも小さい、請求項６に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記第１工程における前記第１加熱部の電力と前記第２加熱部の電力とを合計した値を、前記第２工程における前記第１加熱部の電力と前記第２加熱部の電力とを合計した値で除した値は、０．９５よりも大きく１．０５よりも小さい、請求項６または請求項７に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記加熱装置は、第１加熱部と、残りの複数の加熱部を含み、
前記主面に対して垂直な方向において、前記主面を含む平面と前記第１加熱部との距離は、前記平面と前記残りの複数の加熱部の各々との距離よりも短く、
前記炭化珪素単結晶を成長させる工程においては、前記第２工程における前記第１加熱部の電力を前記残りの複数の加熱部の合計の電力で除した値が、前記第１工程における前記第１加熱部の電力を前記残りの複数の加熱部の合計の電力で除した値よりも小さくなるように、前記第１加熱部の電力および前記残りの複数の加熱部の各々の電力が制御される、請求項５に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記第１工程における前記第１加熱部の電力を前記残りの複数の加熱部の合計の電力で除した値を、前記第２工程における前記第１加熱部の電力を前記残りの複数の加熱部の合計の電力で除した値で除した値は、１．０よりも大きく１．５よりも小さい、請求項９に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
前記第１工程における前記第１加熱部の電力と前記残りの複数の加熱部の合計の電力とを合計した値を、前記第２工程における前記第１加熱部の電力と前記残りの複数の加熱部の合計の電力とを合計した値で除した値は、０．９５よりも大きく１．０５よりも小さい、請求項９または請求項１０に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。