JP2008280206A - 単結晶成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】坩堝内に収容された単結晶成長用の原料を加熱して昇華させて種結晶上に供給し、単結晶を成長させる単結晶成長装置において、前記坩堝の前記原料に対向する位置に配置された前記種結晶を支持する円柱状の種結晶支持部5と、前記原料と前記種結晶支持部5との間に先細の中空ガスガイド部9を設け、前記ガスガイド部の前記種結晶側端の開口部は、その反対端の開口部より小さく、且つ前記種結晶支持部を包むように配置された中空円筒部を有する単結晶成長装置。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明で用いた成長装置の概略図である。坩堝2内に原料4として炭化珪素粉末を収容し、坩堝蓋部1の種結晶支持部5に固定した種結晶3を、原料4に対向するように配置した。種結晶3としては、4H型の炭化珪素単結晶を用い、結晶成長面は、(000−1)面とした。また、種結晶支持部5の種結晶貼付け面は、直径40mmの円形であり、種結晶3も同じく直径40mmの円形とした。原料4と種結晶3の間には、原料4から昇華したガスを種結晶3に効率良く導くために、原料4側が種結晶3側より大径の先細りの筒状をしたガスガイド部9を配置している。このガスガイド部9の種結晶3側は、種結晶支持部5および種結晶3に接触しておらず隙間を設けてある。原料4からの昇華ガスの一部が、この隙間を通って坩堝蓋部1側に流れることにより、成長する炭化珪素単結晶10がガスガイド部9に接触して応力を受け、転位やクラック等の欠陥が発生するのを防いでいる。
ガスガイド部9の中空円筒部内壁と種結晶支持部5とが平行している距離を1mmとし、同一成長条件で5回の結晶成長を行った。
ガスガイド部9の中空円筒部内壁と種結晶支持部5とが平行している距離を2mmとし、同一成長条件で5回の結晶成長を行った。
ガスガイド部9の中空円筒部内壁5と種結晶支持部とが平行している距離を3mmとし、同一成長条件で5回の結晶成長を行った。
ガスガイド部9の種結晶3側端の先端形状は尖っており、その先端は、種結晶3よりも1mmだけ坩堝蓋部1側に配置した。そして、同一成長条件で5回の結晶成長を行った。
2 坩堝
3 種結晶
4 原料
5 種結晶支持部
6 炭化珪素多結晶
7 コイル
8 断熱材
9 ガスガイド部
10 炭化珪素単結晶
11 反応管
12 冷却水
13 ガス導入口
14 ガス排気口
15 温度測定用窓
16 放射温度計
Claims (4)
- 坩堝内に収容された単結晶成長用の原料を加熱して昇華させて種結晶上に供給し、単結晶を成長させる単結晶成長装置において、
前記坩堝の前記原料に対向する位置に配置された前記種結晶を支持する円柱状の種結晶支持部と、
前記原料と前記種結晶支持部との間に先細の中空ガスガイド部を設け、
前記ガスガイド部の前記種結晶側端の開口部は、その反対端の開口部より小さく、且つ前記種結晶支持部を包むように配置された中空円筒部を有する単結晶成長装置。 - 前記中空円筒部の内壁は、前記種結晶支持部と略並行に配置され、且つ前記中空円筒部の高さは、前記坩堝に接触しない高さである請求項1に記載の単結晶成長装置。
- 前記円筒部の高さは、前記種結晶支持部の種結晶支持面から2mm以上である請求項2に記載の単結晶成長装置。
- 前記円筒部の内壁と前記種結晶支持部側面との距離は0.5mm以上、且つ3.0mm以下である請求項1に記載の単結晶成長装置。
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JP2007125336A JP2008280206A (ja) | 2007-05-10 | 2007-05-10 | 単結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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2007
- 2007-05-10 JP JP2007125336A patent/JP2008280206A/ja active Pending
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