JP2014024703A - 炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内壁EWを有する成長室10が準備される。内壁EWは原料支持部E1と種結晶支持部E2と犠牲部E3とを有する。原料支持部E1の温度が炭化珪素の昇華温度よりも高いT1となり、種結晶支持部E2の温度がT2となり、犠牲部E3の温度がT3となるように、成長室が加熱される。T1>T2≧T3が満たされる。種結晶70上に質量W1を有する炭化珪素単結晶81が成長し、かつ犠牲部E3上に質量W2を有する炭化珪素堆積物82が堆積される。W1/W2<5が満たされる。
【選択図】図2
Description
内壁を有する成長室が準備される。内壁は原料支持部と種結晶支持部と犠牲部とを有する。原料支持部は原料を支持するためのものである。種結晶支持部は種結晶を支持するためのものである。犠牲部は原料および種結晶の各々から離れて位置する。
内壁を有する成長室が準備される。内壁は原料支持部と種結晶支持部と犠牲部とを有する。原料支持部は原料を支持するためのものである。種結晶支持部は種結晶を支持するためのものである。原料支持部と種結晶支持部と犠牲部とは一の方向において順に配置されている。
図1を参照して、本実施の形態における炭化珪素単結晶の製造方法に用いる製造装置50について説明する。製造装置50は、成長室10と、断熱材21と、高周波加熱コイル22とを有する。高周波加熱コイル22は、高周波誘導加熱によって成長室10を加熱するためのものであり、たとえば、成長室10を収める炉に設けられたものである。成長室10は、るつぼ11および蓋12を有する。本実施の形態においては、るつぼ11および蓋12の各々はグラファイトから作られている。
上述した製造装置50(図1)が準備される。また種結晶70(図3)が準備される。種結晶70の結晶構造は六方晶である。この結晶構造のポリタイプは4Hであることが好ましい。種結晶70の表面(原料60に面することになる面)は、たとえば、(000−1)面から4°程度のオフ角を有する。またこの表面の形状は、100mm以上の最大寸法を有することが好ましく、100mm以上の直径を有する円形であることがより好ましく、たとえば150mm程度の直径を有する円形である。
図5に示すように、本実施の形態においては、成長室10が加熱される前に、原料60上にリング30が載置される。リング30は、原料60の種結晶70に面する面のうち、外周部分を選択的に覆っている。原料60の外周部分は、炭化珪素の昇華が特に生じやすく、その結果、炭化されやすい場所である。この炭化によってカーボン粉末が生じ得る。このカーボン粉末が成長室10内で舞い上がって、成長中の炭化珪素単結晶81に付着すると、Cインクルージョンが発生し得る。本実施の形態によれば、このような現象をリング30によって防止することができる。
図6に示すように本実施の形態の成長室10Vは、実施の形態1のるつぼ11(図2)の代わりにるつぼ11Vを有している。これにより成長室10Vは、実施の形態1の成長室10(図2)と異なり隙間GP(図2)を有しない。このような形態であっても、成長室10Vの構造が適切に決定されれば、W1およびW2の間の比率が、炭化珪素単結晶81中のCインクルージョンを指標として定められた所定の範囲内の値とされ得る。成長室10Vの構造の調整され得る要素は、たとえば、種結晶支持部とるつぼ11Vとの間隔としての長さDAおよびDCと、種結晶支持部の長さDBと、種結晶支持部の突出の長さDDとである。DA、DCまたはDDが大きくされると、Cインクルージョンが減少し、かつW1/W2が小さくなる。
Claims (6)
- 内壁を有する成長室を準備する工程を備え、前記内壁は、原料を支持するための原料支持部と、種結晶を支持するための種結晶支持部と、前記原料および前記種結晶の各々から離れて位置する犠牲部とを有し、さらに
炭化珪素からなる前記種結晶と、炭化珪素を含有する前記原料との各々を前記成長室の前記内壁によって支持する工程と、
前記原料支持部の温度が炭化珪素の昇華温度よりも高いT1となり前記種結晶支持部の温度がT2となり前記犠牲部の温度がT3となるように前記成長室を加熱する工程とを備え、T1>T2≧T3が満たされ、前記成長室が加熱されることによって前記原料から昇華したガスが固化することによって、前記種結晶上に質量W1を有する炭化珪素単結晶が成長しかつ前記犠牲部上に質量W2を有する炭化珪素堆積物が堆積され、W1/W2<5が満たされる、炭化珪素単結晶の製造方法。 - W1/W2≦3が満たされる、請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- W1/W2≧2が満たされる、請求項1または2に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 前記成長室を加熱する工程は、前記炭化珪素単結晶が0.5mm/時以下で成長するように行われる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 内壁を有する成長室を準備する工程を備え、前記内壁は、原料を支持するための原料支持部と、種結晶を支持するための種結晶支持部と、犠牲部とを有し、前記原料支持部と前記種結晶支持部と前記犠牲部とは一の方向において順に配置されており、さらに
炭化珪素からなる前記種結晶と、炭化珪素からなる前記原料との各々を前記成長室の前記内壁によって支持する工程と、
前記原料支持部の温度が炭化珪素の昇華温度よりも高いT1となり前記種結晶支持部の温度がT2となり前記犠牲部の温度がT3となるように前記成長室を加熱する工程とを備え、T1>T2≧T3が満たされ、前記成長室が加熱されることによって前記原料から昇華したガスが固化することによって、前記種結晶上に質量W1を有する炭化珪素単結晶が成長しかつ前記犠牲部上に質量W2を有する炭化珪素堆積物が堆積され、
前記成長室を準備する工程は前記成長室の構造を決定する工程を含み、前記成長室の構造を決定する工程は、W1およびW2の間の比率が、前記炭化珪素単結晶中のカーボンインクルージョンを指標として定められた所定の範囲内の値となるように行われる、炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記炭化珪素単結晶が成長する際に新たに生成されるマイクロパイプの密度が0.2/cm3以下である、請求項5に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
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