JP4895611B2 - 多層プリント配線板及びその多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

Description

【技術分野】
【０００１】
本件出願に係る発明は、多層プリント配線板の内層回路を粗化処理することなく、絶縁層との良好な密着性を得ることが出来る多層プリント配線板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の多層プリント配線板の内層回路には、特許文献１に開示されているように酸化銅の微細粒を付着させる（所謂、「黒化処理」と称するものであり、以下「黒化処理」という用語を用いる。）ことで、有機剤で構成された内層絶縁層との密着性を確保することが行われてきた。このように黒化処理が必要となるのは、多層プリント配線板が半田リフロープロセス等で熱衝撃を受けたときに、内層回路を構成する銅箔の光沢面と内層絶縁層との間でデラミネーションを起こすことを防止するためである。
【０００３】
ところが、この通常の黒化処理は、酸化銅の粒子で構成されているため、酸化されていない銅と比べてエッチング腐食が素早く進行する。そのため、黒化処理後に内層回路エッチングを施すと、エッチング後の回路のエッジ部分の黒化処理部が溶解除去され、エッチング回路形状の周囲にハロー現象を引き起こし、プリント配線板に加工されたときのランド部の外周部がピンク色のリングに見え、これを「ピンクリング」と称する場合もあった。
【０００４】
そこで、このような初期の黒化処理の持つ問題点を解決する手法として、一旦銅酸化物を内層回路を構成する銅箔表面に付着させ、その後特許文献２〜特許文献４に開示されているような手法で銅酸化物を還元処理して酸化銅微粒子の表面を銅に戻す処理（所謂、還元黒化処理であり、以下「還元黒化処理」と称することとする。）が一般化して来た。この手法により、上述のハロー現象の発生が防止されてきた。
【０００５】
【特許文献１】
特開昭６４−３７０８１号公報
【特許文献２】
特開平３−８７０９２号公報
【特許文献３】
特開平４−２１７３９１号公報
【特許文献４】
特開平５−１５２７４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、黒化処理及び還元黒化処理を行って構成した微細な凹凸形状が回路表面に存在していると、その物理的形状から来る欠点が存在するのである。近年のコンピュータの制御に用いられるクロック周波数はＧＨｚレベルに達しており、その回路に高周波特性に優れることが要求されるようになってきている。シグナル電流の伝達速度が高周波領域になるほど、その電流は回路の表層を流れる傾向になる。従って、シグナル伝達速度を速くすればするほど、シグナル電流は黒化処理及び還元黒化処理層を流れることになり、層間のクロストーク特性等の高周波特性を劣化させ、プリント配線板の薄層化を阻害する要因となるのである。また、黒化処理を行うことだけで、回路表面が２〜３μｍ程度削られることになり、回路幅が細くなり回路幅のバラツキに繋がり、回路断面も小さくなることから電気抵抗の上昇を引き起こす要因ともなるのである。
【０００７】
ここで、従来の多層プリント配線板１’の製造方法の一例を、図２２及び図２３を用いて簡単に説明する。まず、図２２（１）に示すような両面銅張積層板を準備する。このとき両面銅張積層板は、プリプレグ５に銅箔２を張り合わせた銅張積層板の状態である。そして、銅箔６の表面を黒化処理して微細な酸化銅粒を付着形成し、図２２（２）に示すような黒化処理面２０を形成する。その後、黒化処理面２０にエッチングレジスト層を形成し、回路パターンを露光、現像し、回路エッチングすることで図２２（３）に示すように内層回路Ｃ_ｉを形成するのである。
【０００８】
そして、図２３（４）に示すように 内層回路Ｃ_ｉの上にプリプレグ及び導体層形成用金属箔を重ね合わせて、図２３（５）に示す状態で熱間プレス加工することで張り合わせ、図２３（６）に示す如き多層銅張積層板とするのである。次に、前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板となるのである。
【０００９】
この図２２（２）の工程において黒化処理に用いるのは、一般的に過硫酸カリウム浴、亜塩素酸ナトリウム浴等を用いる湿式の化学反応プロセスであり、この浴管理が非常に困難であり、例えば塩素濃度が僅かに変動するだけでも製品の黒色度が大幅に変動する等の感受性の高い浴であり、一定の範囲の黒色度を得るためには、相当の管理労力を必要とするものであった。従って、プリント配線板業者は、黒化処理プロセスが無ければ、プリント配線板の製造工期を著しく短縮することが可能であり、しかもトータル生産コストを大幅に引き下げられることになるのである。
【００１０】
以上のことから、黒化処理を行うことなく、内層回路を備えた多層プリント配線板が製造できれば、国際的な価格競争に晒されている我が国のプリント配線板業界にとって、極めて大きく生産効率を上げ、大幅なトータル生産コストの削減も可能となり、そのメリットは計り知れないものとなるのである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、本件発明に係る多層プリント配線板の層構成を用いることで、黒化処理を省略した多層プリント配線板を得ることが出来ることに想到したのである。以下、「多層プリント配線板」と「多層プリント配線板の製造方法」に分けて述べることにする。
【００１２】
（本件発明に係る多層プリント配線板）
本件発明に係る多層プリント配線板の基本的技術思想は、粗化処理を施していない内層回路を備えた多層プリント配線板において、当該内層回路の側面部を含む表面全面にスズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層を備え、当該表面処理層の表面と層間絶縁層との間に、樹脂のみで構成したプライマ樹脂層を備え、当該プライマ樹脂層の断面厚さは、１ｍ ^２ あたりの完全平面に前記樹脂を塗布したと考えたときの換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍであることを特徴とする。
【００１３】
本件発明に係る多層プリント配線板において、前記表面処理層とプライマ樹脂層との間に、密着性向上の観点から、シランカップリング剤層を備えることが好ましい。
【００１４】
本件発明に係る多層プリント配線板において、前記シランカップリング剤層は、アミノ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤を用いて形成することが好ましい。
【００１６】
本件発明に係る多層プリント配線板において、前記プライマ樹脂層は、２０〜８０重量部のエポキシ樹脂と、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー及び必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤からなる樹脂混合物を用いて構成したものを用いて形成することが好ましい。
【００１７】
本件発明に係る多層プリント配線板において、前記プライマ樹脂層に用いる芳香族ポリアミド樹脂ポリマーは、芳香族ポリアミドとゴム性樹脂とを反応させることで得られるものを用いることが好ましい。
【００１８】
本件発明に係る多層プリント配線板において、前記プライマ樹脂層は、５〜５０重量部のエポキシ樹脂（硬化剤を含む）、５０〜９５重量部のポリエーテルサルホン樹脂（末端に水酸基又はアミノ基を持ち且つ溶剤に可溶なもの）、及び、必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤からなる樹脂混合物を用いて形成したものも好ましい。
【００１９】
（本件発明に係る多層プリント配線板の製造方法）
上述の本件発明に係る多層プリント配線板の第１の製造方法であって、以下に示す（ａ）〜（ｄ）の各工程を備えたことを特徴とする製造方法を採用することが好ましい。
【００２０】
（ａ） 支持フィルムの表面に、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さのプライマ樹脂層を構成する樹脂組成物被膜を形成し、半硬化状態とする支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程。
（ｂ） 多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層回路基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて積層した状態とし、支持フィルムを除去する、プライマ樹脂シート積層工程。
（ｃ） 前記プライマ樹脂シートの上にプリプレグ及び導体層形成用金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、プライマ樹脂シートが加熱により内層基板の表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
（ｄ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
【００２１】
本件発明に係る多層プリント配線板の第２の製造方法であって、以下に示す（ａ）〜（ｃ）の各工程を備えたことを特徴とする製造方法を採用することが好ましい。
【００２２】
（ａ） プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層回路基板の内層回路形成面に塗布し、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するプライマ樹脂塗工工程。
（ｂ） 前記プライマ樹脂層上にプリプレグ及び導体層形成用金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、内層基板の表面形状に沿ったプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
（ｃ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
【００２３】
本件発明に係る多層プリント配線板の第３の製造方法であって、以下に示す（ａ）〜（ｄ）の各工程を備えたことを特徴とする製造方法を採用することが好ましい。
【００２４】
（ａ） 支持フィルムの表面に、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さのプライマ樹脂層を構成する樹脂組成物被膜を形成し、半硬化状態とする支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程。
（ｂ） 多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層回路基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて積層した状態とし、支持フィルムを除去する、プライマ樹脂シート積層工程。
（ｃ） 前記プライマ樹脂シートの上に樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、プライマ樹脂シートが加熱により内層基板の表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
（ｄ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
【００２５】
本件発明に係る多層プリント配線板の第４の製造方法であって、以下に示す（ａ）〜（ｃ）の各工程を備えたことを特徴とする製造方法を採用することが好ましい。
【００２６】
（ａ） プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層回路基板の内層回路形成面に塗布し、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するプライマ樹脂塗工工程。
（ｂ） 前記プライマ樹脂層上に樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、内層基板の表面形状に沿ったプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
（ｃ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
【００２７】
本件発明に係る記載の多層プリント配線板の第５の製造方法であって、以下に示す（ａ）〜（ｄ）の各工程を備えたことを特徴とするの製造方法を採用することが好ましい。
【００２８】
（ａ） 支持フィルムの表面に、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さのプライマ樹脂層を構成する樹脂組成物被膜を形成し、半硬化状態とする支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程。
（ｂ） 多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層回路基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて積層した状態とし、支持フィルムを除去する、プライマ樹脂シート積層工程。
（ｃ） 前記プライマ樹脂シートの上に骨格材含有樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、プライマ樹脂シートが加熱により内層基板の表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
（ｄ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
【００２９】
本件発明に係る多層プリント配線板の第６の製造方法であって、以下に示す（ａ）〜（ｃ）の各工程を備えたことを特徴とする製造方法を採用することが好ましい。
【００３０】
（ａ） プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層回路基板の内層回路形成面に塗布し、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するプライマ樹脂塗工工程。
（ｂ） 前記プライマ樹脂層上に骨格材含有樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、内層基板の表面形状に沿ったプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
（ｃ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
【００３１】
そして、以上に述べた製造方法の中で用いる、骨格材含有樹脂付金属箔は、以下に示す（ａ）〜（ｅ）の各工程を経て製造されるものを用いる事が好ましい。
【００３２】
（ａ） 液体状の熱硬化性樹脂を用いて、金属箔の表面上に所定厚さの被膜として液体樹脂層を形成する液体樹脂被膜形成工程。
（ｂ） 金属箔の表面上にある液体樹脂層を、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層とする予備乾燥工程。
（ｃ） 金属箔の表面上にある前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材である骨格材を重ね合わせ、予備加熱して圧着することで骨格材を仮張り合わせする予備接着工程。
（ｄ） 金属箔の表面上に骨格材を載置したまま、樹脂が再流動可能な温度で加熱し、当該骨格材に熱硬化性樹脂成分を含浸させる樹脂含浸工程。
（ｅ） 樹脂含浸が終了すると、熱硬化性樹脂を完全硬化させることなく、直ちに降温操作を行い、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持して骨格材含有樹脂付金属箔とする降温工程。
【００３３】
そして、前記プライマ樹脂層の形成に用いる樹脂組成物は、以下の（ａ）及び（ｂ）の工程により、一定の樹脂固形分率に調整されたものである事が好ましい。
【００３４】
（ａ）２０〜８０重量部のエポキシ樹脂と、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー及び必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤とを混合した樹脂混合物とする。
（ｂ）前記樹脂混合物を、有機溶剤を用いて溶解し、樹脂固形分２５ｗｔ％〜４０ｗｔ％の樹脂組成物とする。
【００３５】
更に、前記プライマ樹脂層を塗工法で形成する場合に用いる樹脂組成物は、以下の（ａ）及び（ｂ）の工程により、一定の樹脂固形分率に調整されたものである事が好ましい。
【００３６】
（ａ）２０〜８０重量部のエポキシ樹脂と、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー及び必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤とを混合した樹脂混合物とする。
（ｂ）前記樹脂混合物を、有機溶剤を用いて溶解し、樹脂固形分８ｗｔ％〜１５ｗｔ％の樹脂組成物とする。
【発明の効果】
【００３７】
本件発明に係る多層プリント配線板は、内層回路の表面に特段の粗化処理を行っていなくとも絶縁樹脂層との良好な密着性を保持している。従って、従来内層回路表面と絶縁樹脂層との密着性向上のために行われてきた黒化処理等の粗化処理の省略が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本件発明に係る「多層プリント配線板」と「多層プリント配線板の製造方法」に関する実施形態及び実施例を示す。
【００３９】
＜多層プリント配線板の形態＞
本件発明に係る多層プリント配線板１は、一例として図１に例示的に示した模式断面を持つものである。ここで、多層プリント配線板として、所謂４層基板を記載しているが、４層基板を多層プリント配線板と区別してシールド板と称する場合がある。そこで、本件発明における多層プリント配線板とは、内部に内層回路Ｃ_ｉを持ち、外層に外層回路Ｃ_ｏを備えたものであれば導体層の層数に関係ないことを明らかにしておく。
【００４０】
まず、本件発明に係る内層回路を備えた多層プリント配線板は、「内層回路を備えた多層プリント配線板において、粗化処理を施していない前記内層回路と絶縁樹脂層との間に、樹脂のみにより構成したプライマ樹脂層を備えたことを特徴とする多層プリント配線板。」である。この多層プリント配線板１は、少なくとも内層回路Ｃ_ｉと絶縁樹脂層５との間にプライマ樹脂層Ｐが配されるのである。従って、プライマ樹脂層Ｐは、図１に示したように内層基板ＩＢの表層の全体を被覆するように配しても何ら問題はないのである。
【００４１】
しかも、このときの内層回路Ｃ_ｉの表面は、その表面を黒化処理等の粗化処理又は異種金属等による防錆処理を何ら施していないのである。このときの内層回路Ｃ_ｉを構成するのは電解銅箔及び圧延銅箔等の全ての銅箔の使用が可能であり、種類、厚さに限定されるものでは無い。しかも、電解銅箔の場合には、光沢面及び粗面の両面を対象に考えるものである。
【００４２】
ここで、内層回路Ｃ_ｉの表面粗さは、粗化処理の施されていない状態で表面粗さ（Ｒｚ）が２μｍ以下であることが好ましい。当該表面粗さ（Ｒｚ）が２μｍ以下となると、高周波領域のシグナル電流が飛ぶ起点となる凹凸が減少し、層間のクロストーク特性が急激に安定化するためである。本件発明では電解銅箔の粗面ではなく光沢面（Ｒｚが１．８μｍ以下）であってもプライマ樹脂層の存在によって、十分な層間絶縁層に対する良好な接着強度を得ることが出来るようになるのである。
【００４３】
そして、このプライマ樹脂層は、樹脂のみにより構成され、骨格材を含まない層である。本件発明に係る多層プリント配線板の内層回路の断面を示したのが、図２に示した光学顕微鏡による断面観察写真である。この図２から明らかなように、プライマ樹脂層Ｐは内層回路Ｃ_ｉを薄く覆う単独の樹脂層として、内層基板の表面形状に追随したようにして内層基板ＩＢ表面に存在するのである。
【００４４】
このようにプライマ樹脂層を設けることで、内層回路Ｃ_ｉの表面を粗化することなく、層間絶縁層を構成する樹脂と内層回路表面との良好な密着性及び密着安定性を確保できるのである。
【００４５】
そして、前記内層回路Ｃ_ｉの表面にスズ、ニッケル又はこれらの合金の表面処理層を設けることで、プライマ樹脂層Ｐとの間に密着性を高めることが可能となる。このスズ、ニッケル又はこれらの合金の表面処理層を形成するには、（Ｉ）回路を形成する前の金属箔の段階で金属箔表面に予め形成しておくか、（ＩＩ）内層回路を形成した以降にメッキ法等で形成する等の手法を採用できる。しかしながら、後者の（ＩＩ）を採用した方が、形成した回路の側面部まで表面処理層を形成でき、内層回路の全体がプライマ樹脂層との密着性が優れるものとなる。ここで言うメッキ法は、無電解メッキ法、電解メッキ法、又はこれらを組みあわせて使用することが可能であるが、内層回路が複雑な形状をしている場合もあり、電着時の均一性から言えば、電解メッキ法を採用することが好ましい。
【００４６】
表面処理層としてニッケル層を形成する場合は、ニッケルメッキ液として用いられる溶液を広く使用することが可能である。例えば、（ｉ）硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が５〜３０ｇ／ｌ、液温２０〜５０℃、ｐＨ２〜４、電流密度０．３〜１０Ａ／ｄｍ^２の条件、（ｉｉ）硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が５〜３０ｇ／ｌ、ピロリン酸カリウム５０〜５００ｇ／ｌ、液温２０〜５０℃、ｐＨ８〜１１、電流密度０．３〜１０Ａ／ｄｍ^２の条件、（ｉｉｉ）硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が１０〜７０ｇ／ｌ、ホウ酸２０〜６０ｇ／ｌ、液温２０〜５０℃、ｐＨ２〜４、電流密度１〜５０Ａ／ｄｍ^２の条件、その他一般のワット浴の条件とする等である。
【００４７】
表面処理層としてスズ層を形成する場合は、スズメッキ液として用いられる溶液を使用することが可能である。例えば、（ｉ）硫酸第１スズを用いスズ濃度が５〜３０ｇ／ｌ、液温２０〜５０℃、ｐＨ２〜４、電流密度０．３〜１０Ａ／ｄｍ^２の条件、（ｉｉ）硫酸第１スズを用いスズ濃度が２０〜４０ｇ／ｌ、硫酸濃度７０〜１５０ｇ／ｌ、液温２０〜３５℃、クレゾールスルホン酸７０〜１２０ｇ／ｌ、ゼラチン１〜５ｇ／ｌ、ベータナフトール０．５〜２ｇ／ｌ、電流密度０．３〜３Ａ／ｄｍ^２の条件等である。
【００４８】
表面処理層として、ニッケル−亜鉛合金層を形成する場合は、例えば、硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が１〜２．５ｇ／ｌ、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が０．１〜１ｇ／ｌ、ピロリン酸カリウム５０〜５００ｇ／ｌ、液温２０〜５０℃、ｐＨ８〜１１、電流密度０．３〜１０Ａ／ｄｍ^２の条件等である。
【００４９】
表面処理層として、ニッケル−コバルト合金層を形成する場合は、例えば、硫酸コバルト８０〜１８０ｇ／ｌ、硫酸ニッケル８０〜１２０ｇ／ｌ、ホウ酸２０〜４０ｇ／ｌ、塩化カリウム１０〜１５ｇ／ｌ、リン酸２水素ナトリウム０．１〜１５ｇ／ｌ、液温３０〜５０℃、ｐＨ３．５〜４．５、電流密度１〜１０Ａ／ｄｍ^２の条件等である。
【００５０】
表面処理層として、ニッケル−リン合金層を形成する場合は、硫酸ニッケル１２０〜１８０ｇ／ｌ、塩化ニッケル３５〜５５ｇ／ｌ、Ｈ_３ＰＯ_４ ３０〜５０ｇ／ｌ、Ｈ_３ＰＯ_３ ２０〜４０ｇ／ｌ、液温７０〜９５℃、ｐＨ０．５〜１．５、電流密度５〜５０Ａ／ｄｍ^２の条件等である。
【００５１】
表面処理層として、スズ−鉛合金層を形成する場合は、例えば、硫酸第１スズ２０〜４０ｇ／ｌ、酢酸鉛１５〜２５ｇ／ｌ、ピロリン酸ナトリウム１００〜２００ｇ／ｌ、ＥＤＴＡ・２ナトリウム１５〜２５ｇ／ｌ、ＰＥＧ−３０００ ０．８〜１．５ｇ／ｌ、ホルマリン３７％水溶液０．３〜１ｍｌ／ｌ、液温４５〜５５℃、ｐＨ８〜１０、電流密度５〜２０Ａ／ｄｍ^２の条件等である。
【００５２】
表面処理層として、ニッケル−コバルト−鉄合金層を形成する場合は、硫酸コバルト５０〜３００ｇ／ｌ、硫酸ニッケル５０〜３００ｇ／ｌ、硫酸第１鉄５０〜３００ｇ／ｌ、ホウ酸３０〜５０ｇ／ｌ、液温４５〜５５℃、ｐＨ４〜５、電流密度１〜１０Ａ／ｄｍ^２の条件等である。
【００５３】
更に、前記内層回路Ｃ_ｉとプライマ樹脂層Ｐとの間に、シランカップリング剤層（図示を省略）を備えた多層プリント配線板とすることで、層間絶縁層を構成する樹脂と内層回路表面との更に良好な密着性及び密着安定性を確保できるのである。ここで言うシランカップリング剤層は、粗化処理していない内層回路表面とプライマ樹脂層との濡れ性を改善し、基材樹脂にプレス加工したときの密着性を向上させるための助剤としての役割を果たすのである。従って、前記表面処理層が存在し、且つ、その表面処理層上にシランカップリング剤層が存在すると、更に好ましいものとなる。ところで、プリント配線板の内層回路の黒化処理面の引き剥がし強度は、従来から高いほどよいとされてきた。しかし、近年は、エッチング技術の精度の向上によりエッチング時の回路剥離は無くなり、プリント配線板業界におけるプリント配線板の取り扱い方法が確立され種々の問題も解消されてきた。そのため、近年は少なくとも０．８ｋｇｆ／ｃｍ以上の引き剥がし強度があれば、現実の使用が可能といわれ、１．０ｋｇｆ／ｃｍ以上あれば何ら問題ないと言われている。
【００５４】
これらの現実の状況を考えるに、シランカップリング剤には、最も一般的なエポキシ官能性シランカップリング剤を始めオレフィン官能性シラン、アクリル官能性シラン等種々のものを用いることで、電解銅箔の光沢面とＦＲ−４プリプレグとの間にプライマ樹脂層を設けて張り合わせを行い引き剥がし強度を測定すると０．８ｋｇｆ／ｃｍ前後の引き剥がし強度が得られる。ところが、アミノ官能性シランカップリング剤又はメルカプト官能性シランカップリング剤を用いると、この引き剥がし強度が１．０ｋｇｆ／ｃｍ以上となり、特に好ましいのである。
【００５５】
ここで用いることの出来るシランカップリング剤を、より具体的に明示しておくことにする。プリント配線板用のプリプレグを構成するガラスクロスに用いられると同様のカップリング剤を中心にビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、４−グリシジルブチルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−３−（４−（３−アミノプロポキシ）プトキシ）プロピル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を用いることが可能である。
【００５６】
多層プリント配線板の中で前記プライマ樹脂層Ｐは、その断面厚さが１μｍ〜１０μｍである事が好ましい。このような薄い樹脂層としたのは、本件発明に係る多層プリント配線板を製造する際の熱間プレス加工時に、プライマ樹脂層が軟化してもレジンフローが殆ど起こらない状態を作り出すためである。従来の銅箔と樹脂基材との張り合わせにおいては、銅箔の粗化面に凹凸がありエアーの噛み混み等を起こしており、このエアー抜きを兼ねて１ｍ^２サイズの銅張積層板で端部から５ｍｍ〜１５ｍｍ程度のレジンフローを意図的に起こさせてきた。ところが、本件発明に係る多層プリント配線板の場合においては、このレジンフローが殆ど起こらないことが、粗化処理を行っていない内層回路と、層間絶縁樹脂との良好な密着性を確保する上で最も重要な要因となるのである。
【００５７】
本件明細書において、レジンフローは、以下の方法で測定した値である。即ち、本件発明でプライマ樹脂層の構成に用いる樹脂を所定厚さ銅箔の片面に塗布して半硬化樹脂層として、これを１０ｃｍ角に４枚サンプリングし、これをレジンフロー測定用試料として用いたのである。この４枚のレジンフロー測定用試料を重ねた状態でプレス温度１７１℃、プレス圧１４ｋｇｆ／ｃｍ^２、プレス時間１０分の条件で張り合わせ、そのときのレジンフロ−を数１に従って計算して求めたのである。但し、本件明細書におけるレジンフローの測定は、本件発明に係る多層プリント配線板に用いる塗布厚さをそのまま用いたのでは、測定精度に欠けるため、４０μｍ厚さの樹脂層を意図的に製造し、これを試料として用いるのである。参考として記すが、通常のプリプレグを用いたとき及び通常の樹脂付銅箔（４０μｍ厚さ樹脂層）のレジンフローは２０％前後である。
【００５８】
【数１】
【００５９】
このプライマ樹脂層Ｐが１μｍ未満となると、いかに平滑で凹凸の無いように見える内層回路基板でも、その表面を均一な厚さで被覆することは困難となる。これに対して、多層プリント配線板の中におけるプライマ樹脂層が１０μｍを超えると、熱衝撃を受けたときに内層回路部の界面剥離（デラミネーション）を起こしやすくなるのである。なお、このプライマ樹脂層の厚さは、１ｍ^２あたりの完全平面に塗布したと考えたときの換算厚さである。
【００６０】
ここで、プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物に関して説明する。本件発明で用いる樹脂組成物は、大別して２種類に分類出来る。従って、第１樹脂組成物と第２樹脂組成物として説明する。
【００６１】
（第１樹脂組成物）
第１樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー、及び、必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤からなるものである。
【００６２】
ここで言う「エポキシ樹脂」とは、分子内に２個以上のエポキシ基を有するものであって、電気・電子材料用途に用いることのできるものであれば、特に問題なく使用できる。中でも、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂の群から選ばれる１種又は２種以上を混合して用いることが好ましい。
【００６３】
このエポキシ樹脂は、樹脂組成物の主体をなすものであり、２０重量部〜８０重量部の配合割合で用いられる。但し、ここには以下に述べる硬化剤を含むものとして考えている。従って、硬化剤を含む状態での当該エポキシ樹脂が２０重量部未満の場合には、熱硬化性を十分に発揮せず基材樹脂とのバインダーとしての機能及び銅箔との密着性を十分に果たし得ず、８０重量部を超えると樹脂溶液としたときの粘度が高くなりすぎて銅箔表面への均一な厚さでの塗布が困難となるとともに、後に述べる芳香族ポリアミド樹脂ポリマーの添加量とのバランスがとれず、硬化後の十分な靭性が得られなくなる。
【００６４】
そして、エポキシ樹脂の「硬化剤」とは、エポキシ樹脂と架橋反応を起こす他の成分と規定することが出来るが、特に硬化剤と称する場合にはジシアンジアミド、イミダゾール類、芳香族アミン等のアミン類、ビスフェノールＡ、ブロム化ビスフェノールＡ等のフェノール類、フェノールノボラック樹脂及びクレゾールノボラック樹脂等のノボラック類、無水フタル酸等の酸無水物等を用いるのである。エポキシ樹脂に対する硬化剤の添加量は、それぞれの当量から自ずと導き出されるものであるため、本来厳密にその配合割合を明記する必要性はないものと考える。従って、本件発明では、硬化剤の添加量を特に限定していない。
【００６５】
次に、「芳香族ポリアミド樹脂ポリマー」とは、芳香族ポリアミド樹脂とゴム性樹脂とを反応させて得られるものである。ここで、芳香族ポリアミド樹脂とは、芳香族ジアミンとジカルボン酸との縮重合により合成されるものである。このときの芳香族ジアミンには、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，Ｐ−ジアミノジフェニルスルホン、ｍ−キシレンジアミン、３，Ｐ−オキシジアニリン等を用いる。そして、ジカルボン酸には、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、フマル酸等を用いるのである。
【００６６】
そして、この芳香族ポリアミド樹脂と反応させるゴム性樹脂とは、天然ゴム及び合成ゴムを含む概念として記載しており、後者の合成ゴムにはスチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレン−プロピレンゴム等がある。更に、形成する誘電体層の耐熱性を確保する際には、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、シリコンゴム、ウレタンゴム等の耐熱性を備えた合成ゴムを選択使用することも有用である。これらのゴム性樹脂に関しては、芳香族ポリアミド樹脂と反応して共重合体を製造するようになるため、両末端に種々の官能基を備えるものであることが望ましい。特に、ＣＴＢＮ（カルボキシ基末端ブタジエンニトリル）を用いることが有用である。
【００６７】
芳香族ポリアミド樹脂ポリマーを構成することとなる芳香族ポリアミド樹脂とゴム性樹脂とは、芳香族ポリアミド樹脂が２５ｗｔ％〜７５ｗｔ％、残部ゴム性樹脂という配合で用いることが好ましい。芳香族ポリアミド樹脂が２５ｗｔ％未満の場合には、ゴム成分の存在比率が大きくなりすぎ耐熱性に劣るものとなり、一方、７５ｗｔ％を超えると芳香族ポリアミド樹脂の存在比率が大きくなりすぎて、硬化後の硬度が高くなりすぎ、脆くなるのである。
【００６８】
この芳香族ポリアミド樹脂ポリマーには、まず溶剤に可溶であるという性質が求められる。この芳香族ポリアミド樹脂ポリマーは、２０重量部〜８０重量部の配合割合で用いる。芳香族ポリアミド樹脂ポリマーが２０重量部未満の場合には、銅張積層板の製造を行う一般的プレス条件で硬化しすぎて脆くなり、基板表面にマイクロクラックを生じやすくなるのである。一方、８０重量部を超えて芳香族ポリアミド樹脂ポリマーを添加しても特に支障はないが、８０重量部を超えて芳香族ポリアミド樹脂ポリマーを添加してもそれ以上に硬化後の強度は向上しないのである。従って、経済性を考慮すれば、８０重量部が上限値であると言えるのである。
【００６９】
「必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤」とは、３級アミン、イミダゾール、尿素系硬化促進剤等である。本件発明では、この硬化促進剤の配合割合は、特に限定を設けていない。なぜなら、硬化促進剤は、銅張積層板製造の工程での生産条件性等を考慮して、製造者が任意に選択的に添加量を定めて良いものであるからである。
【００７０】
（第２樹脂組成物）
この第２樹脂組成物は、エポキシ樹脂（硬化剤を含む）、ポリエーテルサルホン樹脂、及び、必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤からなるものである。
【００７１】
ここで言う「エポキシ樹脂」とは、第１樹脂組成物の場合と同様の概念を適用できるため、ここでの説明は省略することとする。但し、この第２樹脂組成物の構成に用いる樹脂組成物は、可能な限り多官能型エポキシ樹脂を選択的に使用することが好ましい。
【００７２】
このエポキシ樹脂は、樹脂組成物の主体をなすものであり、５重量部〜５０重量部の配合割合で用いられる。但し、ここには第１樹脂組成物のところで述べたと同様の硬化剤を含むものとして考えている。従って、硬化剤を含む状態での当該エポキシ樹脂が５重量部未満の場合には、熱硬化性を十分に発揮せず基材樹脂とのバインダーとしての機能及び銅箔との密着性を十分に果たし得ず、５０重量部を越えると、ポリエーテルサルホン樹脂の添加量とのバランスがとれず、硬化後の十分な靭性が得られなくなる。
【００７３】
ポリエーテルサルホン樹脂は、末端に水酸基又はアミノ基を備える構造を持ち且つ溶剤に可溶なものでなければならない。末端に水酸基又はアミノ基がなければ、エポキシ樹脂との反応が行えず、溶剤に可溶でなければ固形分調整が困難となるからである。そして、上記エポキシ樹脂とのバランスを考え、５０重量部〜９５重量部の配合割合で用いられる。このポリエーテルサルホン樹脂は、プリント配線板の絶縁層を構成しての吸水性を低くして、プリント配線板としての表面絶縁抵抗の変動が小さくなるのである。ポリエーテルサルホン樹脂が５０重量部未満の場合には、デスミア処理液による樹脂の損傷が急激に激しくなる。一方、ポリエーテルサルホン樹脂が９５重量部を超えると、２６０℃の半田バスにフロートして行う半田耐熱試験での膨れが発生しやすくなるのである。
【００７４】
そして、「必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤」とは、３級アミン、イミダゾール系、トリフェニルフォスフィンに代表されるリン化合物、尿素系硬化促進剤等である。本件発明では、この硬化促進剤の配合割合は、特に限定を設けていない。なぜなら、硬化促進剤は、プレス工程での生産条件性等を考慮して、製造者が任意に選択的に添加量を定めて良いものであるからである。
【００７５】
＜多層プリント配線板の製造形態＞
本件発明における多層プリント配線板の製造方法は、プライマ樹脂層の形成方法にプライマ樹脂シートを用いるか、樹脂組成物を内層回路基板表面に塗工するかにより異なる。そして、更にプライマ樹脂層の上に形成する絶縁層と導電層とをどのようにして形成するかにより分別する事が出来る。そこで、最初にプライマ樹脂層の形成方法を分別して説明する。
【００７６】
まず、プライマ樹脂層の形成にプライマ樹脂シートを用いる方法に関して説明する。係る場合、支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程とプライマ樹脂シート積層工程とを経るものとなる。
【００７７】
支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程： ここでは、まず以下に述べる工程Ｉ、工程ＩＩの手順でプライマ樹脂層の形成に用いる樹脂溶液を調整し、当該樹脂溶液を支持フィルムＦ上に、１μｍ〜１０μｍの厚さ分を塗布し、半硬化状態として、図３（１）に示したような支持フィルム付プライマ樹脂シート２を得る工程である。
【００７８】
プライマ樹脂層Ｐの形成に用いる樹脂溶液の調製に関して説明する。まず、工程Ｉでは、２０〜８０重量部のエポキシ樹脂（硬化剤含む）、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー、及び、必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤とを混合して樹脂混合物とするのである。ここに記載した各組成物及び配合割合に関してのそれぞれの説明は、既に上述しているので、ここでの説明は重複したものとなるため、記載を省略する。
【００７９】
そして、工程ＩＩでは、前記樹脂混合物を、有機溶剤、例えばメチルエチルケトンとシクロペンタノンのいずれか一種の溶剤又はこれらの混合溶剤を用いて溶解し、樹脂固形分２５ｗｔ％〜４０ｗｔ％の樹脂溶液とするのである。メチルエチルケトンとシクロペンタノンを用いることとしたのは、熱間プレス加工時の熱履歴により効率よく揮発除去することが容易であり、且つ、揮発ガスの浄化処理も容易であり、しかも、樹脂溶液の粘度を銅箔表面に塗布するのに最も適した粘度に調節することが容易だからである。但し、ここに具体的に挙げた溶剤以外でも、本件発明で用いるすべての樹脂成分を溶解することの出来るものであれば、その使用が不可能というわけではない。
【００８０】
ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等を有機溶剤として用いることが可能である。しかしながら、メチルエチルケトンとシクロペンタノンとの混合溶剤を用いて溶解することが、環境的な見地より現段階では最も好ましいのである。混合溶剤とする場合の、混合割合にも特に限定はないが、シクロペンタノンは芳香族ポリアミド樹脂ポリマーの調整ワニスに用いられる等して不可避的に混入することも考えられ、シクロペンタノンが不可避的に混入することを想定して、プリント配線板用途として考えたときの熱履歴における揮発除去の速度を考え、メチルエチルケトンをその共存溶媒とすることが好ましいのである。
【００８１】
ここに述べた溶媒を用いて、樹脂固形分が２５ｗｔ％〜４０ｗｔ％の樹脂溶液とするのである。ここに示した樹脂固形分の範囲が、支持フィルム表面に塗布したときに、最も膜厚を精度の良いものとできる範囲である。樹脂固形分が２５ｗｔ％未満の場合には、粘度が低すぎて、支持フィルム表面への塗布直後に流れて膜厚均一性を確保しにくいのである。これに対して、樹脂固形分が４０ｗｔ％を超えると、粘度が高くなり、支持フィルム表面への薄膜形成が困難となるのである。
【００８２】
以上のようにして得られる樹脂溶液を、支持フィルム表面に塗布する場合には、特に塗布方法に関しては限定されない。しかし、１μｍ〜１０μｍの換算厚さ分を精度良く塗布しなければならないことを考えれば、薄膜形成に有利な所謂グラビアコーターを用いることが好ましい。また、支持フィルムの表面に樹脂皮膜を形成した後の乾燥は、樹脂溶液の性質に応じて半硬化状態とすることのできる加熱条件を適宜採用すればよいのである。
【００８３】
ここで、支持フィルムとして用いることが出来るのは、ＰＥＴフィルム、ＰＥＮフィルム、フッ素樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム等である。
【００８４】
プライマ樹脂シート積層工程： この工程では、図３（２）に示すように、多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層回路基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて、図３（３）に示すような積層状態とし、そして図３（４）に示すように支持フィルムＦを除去するのである。
【００８５】
そして、シランカップリング剤層を設ける場合には、上述のように内層基板ＩＢの内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シート２を重ね合わせる前に、前記内層回路面にシランカップリング剤を吸着させるのである。なお、図面中においては、シランカップリング剤層の記載は省略している。
【００８６】
シランカップリング剤層の形成は、一般的に用いられる浸漬法、シャワーリング法、噴霧法等、特に方法は限定されない。工程設計に合わせて、最も均一に内層回路面とシランカップリング剤を含んだ溶液とを接触させ吸着させることのできる方法を任意に採用すれば良いのである。
【００８７】
これらのシランカップリング剤は、溶媒としての水に０．５〜１０ｇ／ｌ溶解させて、室温レベルの温度で用いるものである。シランカップリング剤は、銅箔の表面に突きだしたＯＨ基と縮合結合することにより、被膜を形成するものであり、いたずらに濃い濃度の溶液を用いても、その効果が著しく増大することはない。従って、本来は、工程の処理速度等に応じて決められるべきものである。但し、０．５ｇ／ｌを下回る場合は、シランカップリング剤の吸着速度が遅く、一般的な商業ベースの採算に合わず、吸着も不均一なものとなる。また、１０ｇ／ｌを超える以上の濃度であっても、特に吸着速度が速くなることもなく不経済となるのである。
【００８８】
もう一つのプライマ樹脂層の形成方法は、樹脂組成物を内層回路基板表面に塗工するものである。従って、プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層回路基板の内層回路形成面に塗布し、乾燥させるという作業が必要となる。
【００８９】
プライマ樹脂塗工工程： プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層回路基板の内層回路形成面に塗布するには、図４（Ａ）に示すように内層回路基板ＩＢを樹脂組成物Ｒ中に浸漬して引き上げるか、図４（Ｂ）に示すように樹脂組成物Ｒを内層回路基板ＩＢの表面にスプレー法で均一に吹き付け塗布するかの方法を採用することが好ましい。後者は、特に内層回路基板の片面にのみ、プライマ樹脂層を形成する場合に好適である。そして、加熱乾燥させ１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するのである。このときの乾燥条件等に関して、特段の限定はなく、以下のプレス工程等を考慮して乾燥レベルを適宜調節すればよい。
【００９０】
なお、ここで言う樹脂組成物は、上述のプライマ樹脂シートに用いたと同様の樹脂組成物を用いることが可能である。しかしながら、塗工法を採用し、且つ、浸漬法及びスプレー法を採用するためには、樹脂組成物の溶液性状を、この加工法に合致させたものとする必要がある。即ち、樹脂溶液として考えたときの固形分含有量が、シート状に加工するときよりも少なくなければならない。従って、樹脂固形分量は８ｗｔ％〜１５ｗｔ％である事が好ましい。この樹脂固形分量が１５ｗｔ％を超えると、浸漬法での液切れが悪くなり、スプレー法での噴射の均一性が悪くなるのである。一方、樹脂固形分量が８ｗｔ％未満の場合には、樹脂溶液としての粘度が低すぎて、内層回路基板の表面への樹脂膜の形成が困難となるのである。また工程的な安定性を考えれば、塗工法で用いる場合の樹脂溶液の樹脂固形分量は１０ｗｔ％〜１２ｗｔ％の範囲であることが更に好ましい。
【００９１】
プレス加工工程： このプレス加工工程では、上述のようにプライマ樹脂シートを内層回路基板表面に設けたもの、若しくは、半硬化状態のプライマ樹脂層を塗工により内層回路基板表面に設けたものの表面に、更に絶縁層と導電層とを形成し、多層金属張積層板とする工程である。そして、以下に述べる複数の手法を採用することが可能である。以下、図面を参照しつつ、各々について説明する。
【００９２】
（一般的なプリプレグを用いる方法）
この場合の手順は、前記のように支持フィルムＦを除去したプライマ樹脂シート３の上に、プリプレグ５及び金属箔６を重ね合わせて、図５（５）に示す状態に積層する。そして、図５（６）に示す状態で熱間プレス加工し張り合わせることで、図５（７）に示すように、プライマ樹脂シート３が加熱により内層基板ＩＢの表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層Ｐを備える多層銅張積層板Ｍ１とするのである。このときのプレス加工するときの加熱温度、プレス圧等に関しては特に限定はない。なお、本件発明に説明に用いる図面中では、プレス加工して変形した後のプライマ樹脂層Ｐに関しては白抜きの層として示している。
【００９３】
そして、塗工法を用いて内層回路基板の表面にプライマ樹脂層Ｐを形成した場合には、既にプライマ樹脂層の形状が、内層回路基板の表面形状に沿って出来上がっている。その状態の内層回路基板ＩＢの表面に、プリプレグ５及び金属箔６を重ね合わせて、図６（ａ）に示す状態に積層する。そして、熱間プレス加工し張り合わせることで、図６（ｂ）に示すように、プリプレグ５の流動した樹脂成分がプライマ樹脂層Ｐの凹凸を埋め、硬化させ多層銅張積層板Ｍ１とするのである。このときのプレス加工するときの加熱温度、プレス圧等に関しても特に限定はない。
【００９４】
また、本件明細書における金属箔６には、キャリア箔付金属箔をも含む概念として記載している。キャリア箔付金属箔は、金属箔の基材との接着面の反対面にキャリア箔が取り付けられており、キャリア箔を付けたままプレス加工して積層板として、その後キャリア箔を除去して、通常の銅張積層板と同様に用いるものである。キャリア箔付金属箔を用いる利点は、プレス加工時に起こりうる導体層表面への異物付着、汚染を防止して、エッチング加工の直前まで金属箔表面を傷等の損傷から保護できる点にある。
【００９５】
（樹脂付金属箔を用いる方法）
ここで言う樹脂付金属箔７とは、図７（５）から分かるように、金属箔６の接着面にプリント配線板の絶縁層を構成するための樹脂層８を備えたものであり、この樹脂層８中には骨格材を含まないものである。
【００９６】
このときの樹脂層８を構成する樹脂には、プリント配線板の絶縁層の構成に用いることの出来る樹脂組成の全てを採用することが可能である。しかしながら、上述したプライマ樹脂層Ｐを構成するための樹脂組成を用いることが好ましい。本件発明におけるプライマ樹脂層Ｐの構成に用いる樹脂は、レジンフローが小さく、最終製品における絶縁層厚の制御が容易となるからである。但し、プライマ樹脂層Ｐを構成する樹脂組成と完全に同一の組成とする必要はない。何故なら、この樹脂付金属箔７の樹脂層厚とプライマ樹脂層厚とが異なるのが通常であり、金属箔表面へ目的とする適正な厚さの樹脂厚を形成するのに最も適した樹脂組成を、任意に選択することが好ましいからである。
【００９７】
この場合の手順は、図３（４）に示した支持フィルムＦを除去したプライマ樹脂シート３の上に、樹脂付金属箔７の樹脂層８を重ね合わせて、図７（５）に示す状態に積層する。そして、図７（６）に示すようにして、熱間プレス加工し張り合わせることで、図７（７）に示すように、プライマ樹脂シート３が加熱により内層基板ＩＢの表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層Ｐを備える多層銅張積層板Ｍ２とするのである。このときのプレス加工するときの加熱温度、プレス圧等に関しても特に限定はない。
【００９８】
そして、塗工法を用いて内層回路基板の表面にプライマ樹脂層Ｐを形成した場合には、既にプライマ樹脂層の形状が、内層回路基板の表面形状に沿って出来上がっている。その状態の内層回路基板ＩＢの表面に、上記樹脂付金属箔７を重ね合わせて、図８（ａ）に示す状態に積層する。そして、熱間プレス加工し張り合わせることで、図８（ｂ）に示すように、樹脂付金属箔７の流動した樹脂層８の樹脂成分がプライマ樹脂層Ｐの凹凸を埋め、硬化させ多層銅張積層板Ｍ２とするのである。このときのプレス加工するときの加熱温度、プレス圧等に関しても特に限定はない。
【００９９】
（骨格材含有樹脂付金属箔を用いる場合）
ここで言う骨格材含有樹脂付金属箔９とは、図９（５）から分かるように、金属箔６の接着面にプリント配線板の絶縁層を構成するための骨格材４を含んだ樹脂層（以下、「骨格材含有樹脂層」と称する。）を備えたものであり、以下に述べる方法で製造されるものである。
【０１００】
この骨格材含有樹脂付金属箔９を用いる場合の手順は、図３（４）に示した支持フィルムＦを除去したプライマ樹脂シート３の上に、骨格材含有樹脂付金属箔９の骨格材４を含有した骨格材含有樹脂層１０を重ね合わせて、図９（５）に示す状態に積層する。そして、図９（６）に示す状態で熱間プレス加工し張り合わせることで、図９（７）に示すように、プライマ樹脂シート３が加熱により内層基板ＩＢの表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層Ｐを備える多層銅張積層板Ｍ３とするのである。このときのプレス加工するときの加熱温度、プレス圧等に関しても特に限定はない。
【０１０１】
そして、塗工法を用いて内層回路基板の表面にプライマ樹脂層を形成した場合には、既にプライマ樹脂層の形状が、内層回路基板の表面形状に沿って出来上がっている。その状態の内層回路基板ＩＢの表面に、上記骨格材含有樹脂付金属箔９を重ね合わせて、図１０（ａ）に示す状態に積層する。そして、熱間プレス加工し張り合わせることで、図１０（ｂ）に示すように、骨格材含有樹脂付金属箔９の骨格材含有樹脂層１０に含まれる樹脂成分が流動し、内層回路基板のプライマ樹脂層Ｐの凹凸を埋め、硬化させ多層銅張積層板Ｍ３とするのである。このときのプレス加工するときの加熱温度、プレス圧等に関しても特に限定はない。
【０１０２】
ここで用いた骨格材含有樹脂付金属箔９の断面を、より模式的且つ理解しやすく示したのが図１１である。この図１１には、密着性を向上させるための微細銅粒を付着させた金属箔６の粗化処理面１１の上に骨格材含有樹脂層１０を備える骨格材含有樹脂付金属箔９を一例として示している。
【０１０３】
この骨格材含有樹脂付金属箔９は、いくつかの方法で製造することが可能であるが、以下には薄い骨格材を用いた場合に適した製造方法に関して述べることとする。第１の製造方法を、図１２に示した工程を追って説明することとする。まず、図１２（Ａ）に示した金属箔６の片面に半硬化の第１熱硬化性樹脂層１２を設けるのである。ここで言う金属箔６には、圧延で得られた圧延銅箔、電解で得られる電解銅箔等、特に製法にこだわるものでなく、プリント配線板の電子材料用途に用いられる金属箔であればよいのである。
【０１０４】
図１２（Ｂ）に示す第１熱硬化性樹脂層１２を構成する樹脂には、一般的にはエポキシ樹脂を用いることになる。プリント配線板用途において広く用いられているからである。従って、ここで第１熱硬化性樹脂層１２を構成する樹脂としては、熱硬化性を備えた樹脂であり、且つ、電気、電子材料の分野でプリント配線板に使用可能なものであれば特に限定は要さないのである。この第１熱硬化性樹脂層１２は、溶剤を用いて液体状にしたものを金属箔表面に塗布する方法、又は、半硬化状態の樹脂フィルムをラミネートするように張り付ける方法等により金属箔表面に形成される。溶剤を用いて液体状にする場合は、例えば、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤を配合し、メチルエチルケトン等の溶剤を用いて粘度調整を行うことになる。
【０１０５】
そして、金属箔表面に形成した第１熱硬化性樹脂層１２は、半硬化の状態に維持されていなければならない。以下に述べる不織布若しくは織布である骨格材４の圧着を良好に行い、不織布若しくは織布中に一定量の樹脂含浸を促すためである。従って、金属箔６の表面に液体状の樹脂を塗布し、その後、半硬化の状態にする場合には、熱風乾燥器等を用いて乾燥レベル、硬化度を調整しなければならない。
【０１０６】
図１２（Ｂ）の段階で、金属箔６の表面に形成する第１熱硬化性樹脂層１２の厚さは、以下に述べる骨格材４の厚さを考慮して定められる。即ち、第１熱硬化性樹脂層１２の厚さは、骨格材４の厚さ以下としなければならないのである。第１熱硬化性樹脂層１２の厚さを、骨格材４の厚さ以上にすると、骨格材４の圧着の際に、第１熱硬化性樹脂層１２を構成する樹脂が横流れを起こし、設備を汚染することとなる。このとき圧着ロール１３を汚染すると、加工する金属箔６の表面に転写して、結果として製品不良を引き起こすのである。
【０１０７】
一方、第１熱硬化性樹脂層１２の最低限厚さは、図１２に示したように第１熱硬化性樹脂層１２が金属箔６の凹凸を持つ粗化処理面１１の上に形成されることもあるため、この粗化処理面１１の凹凸を完全に被覆できるか否かで定めることが可能である。金属箔６の粗化処理面１１の凹凸が骨格材４と直接接触することとなれば、接着安定性が損なわれ、マイグレーション性能を劣化させることとなるからである。
【０１０８】
以上のようにして、金属箔６の表面に第１熱硬化性樹脂層１２が形成されると、続いて、図１２（Ｃ）に示したように圧着ロール１３を用いて、骨格材４が第１熱硬化性樹脂層１２に張り付けられることになる。この骨格材４には不織布若しくは織布を用いるのであり、上述の樹脂付銅箔の機械的強度の欠如を解決するために用いるものである。そして、この骨格材４は、第１熱硬化性樹脂層１２の上に、圧着ロール１３を用いて、一定の負荷をかけつつ張り付けられることになる。即ち、半硬化状態の第１熱硬化性樹脂層１２に骨格材４を張り付ける場合には、加熱手段を備えた圧着ロール１３を用いて、ロール自体を加熱して、一定レベル以上の押し圧を負荷して張り付けるのである。第１熱硬化性樹脂層１２を構成する半硬化状態の樹脂を、再流動化させ、その再流動化した樹脂の一定量の一部を骨格材４に含浸させるためである。
【０１０９】
ここで用いる骨格材４には、不織布若しくは織布が用いられる。より具体的には、ガラス繊維、アラミド繊維を用いた不織布若しくは織布を用いることが望ましい。いずれもプリント配線板用途においては、長年の使用実績があるものであり、信頼性の高い材料だからである。しかし、不織布若しくは織布の材質は、特に限定を要するものではなく、プリント配線板用途に用いることのできるもので、十分な機械的特性を備えていればよいのである。
【０１１０】
そして、当該骨格材４の厚さにも特段の限定は存在しないが、この方法を採用すれば、従来使用することの出来なかった厚さ５０μｍ以下の薄い不織布若しくは織布を使用することが可能となるのである。従来の不織布若しくは織布を樹脂剤に浸漬して、樹脂剤を不織布若しくは織布に含浸させ、引き上げた不織布若しくは織布を半硬化状態に乾燥させ、プリプレグとする方法では、厚さ５０μｍ以下の薄い不織布若しくは厚さ２０μｍ以下の織布は、その機械的強度の弱さから、直ぐに破断、破損する不良が発生していたのである。また、破断、破損が起こらないまでも、長さ方向のテンションにより引張られ、伸びることになり、その結果、製造したプリプレグの縦方向と横方向の膨張、収縮率に大きな差を生じ、所謂精密プリント配線板に重視される寸法安定性に重大な欠陥を生じさせていた。
【０１１１】
ところが、この骨格材含有樹脂層付金属箔の製造方法を採用すれば、厚さ５０μｍ以下の薄い不織布若しくは厚さ２０μｍ以下の織布を用いても破断、破損することが無くなるのである。現在の不織布若しくは織布の製造技術レベルを考えると、十分な品質保証をして供給可能な不織布の厚さは４５μｍ、織布の厚さは２０μｍが限界といわれている。将来的に更に薄い不織布若しくは織布製造が可能となることが考えられる。
【０１１２】
以上のようにして不織布若しくは織布の張り合わせが終了すると、その不織布若しくは織布の上に、図１２（Ｄ）に示したように第２熱硬化性樹脂層１４を構成する半硬化状態の樹脂層を形成するのである。第１熱硬化性樹脂層１２と同様に、一般的にはエポキシ樹脂を用いることになる。しかし、ここで第２熱硬化性樹脂層１４を構成する樹脂としては、熱硬化性を備えた樹脂であり、且つ、電気、電子材料の分野でプリント配線板に使用されるものであれば、第１熱硬化性樹脂層１２と同様に特に限定は要さないのである。この第２熱硬化性樹脂層１４を形成する方法は、第１熱硬化性樹脂層１２を形成する方法を同様に適用できる。
【０１１３】
そして、銅箔表面に形成した第２熱硬化性樹脂層１４は、半硬化の状態に維持されていなければならない。他のプリント配線板材料と組みあわせて積層し、プレス成形することにより、プリント配線板の構成材料として使用するためである。
【０１１４】
第２熱硬化性樹脂層１４の厚さは、以下に述べるように骨格材４の厚さを考慮して定められる。即ち、上述したように第１熱硬化性樹脂層１２の厚さが、骨格材４の厚さ以下であるから、第１熱硬化性樹脂層１２に骨格材４を圧着して、第１熱硬化性樹脂層１２を構成する樹脂が流動させても、第１熱硬化性樹脂層１２を構成する樹脂だけでは骨格材４を完全に被覆する状態にはなっていない可能性が高い。従って、第２熱硬化性樹脂層１４は、少なくとも骨格材４の表面を完全に被覆することのできる厚さとして形成しなければならない。しかも、更に第２熱硬化性樹脂層１４に内層基板ＩＢをプレス成形で張り合わせた時に、内層回路Ｃｉの表面に存在するプライマ樹脂層Ｐとの密着性を安定化させるためである。
【０１１５】
以上に述べてきた製造方法で得られる骨格材含有樹脂付金属箔９と同様の製品を得るもう一つの方法として、金属箔の片面に液体状の熱硬化性樹脂層を設け、当該熱硬化性樹脂層に骨格材となる不織布若しくは織布を載置し、当該熱硬化性樹脂層の構成樹脂を当該不織布若しくは織布に含浸させ反対側に滲み出させて、当該不織布若しくは織布を熱硬化性樹脂の構成樹脂で被覆し、半硬化状態とすることで、銅箔の片面に不織布若しくは織布を含有した半硬化の絶縁層を形成するのである。
【０１１６】
この製造方法は、図１３に概念的に示したフローにより製造されるものである。図１３（Ａ）に示す金属箔６の片面に、図１３（Ｂ）に示すように熱硬化性樹脂層１５を設け、図１３（Ｃ）に示すように当該熱硬化性樹脂層１５の表面に骨格材４を載置し、そして図１３（Ｄ）に示すように熱硬化性樹脂層１５の構成樹脂成分を当該骨格材４を構成するガラス繊維又はアラミド繊維の毛細管現象を利用して含浸させ、更に当該骨格材４の熱硬化性樹脂層１５との接触面の反対側に滲み出させ、骨格材４の表面を完全に被覆することで、図１３（Ｅ）に示す樹脂付銅箔９を得るのである。従って、この熱硬化性樹脂層１５に関しては、半硬化状態及び液体状態の２種類を採用することができる。
【０１１７】
このとき、図１３（Ｃ）及び図１３（Ｄ）に示す工程では、次のような点に考慮して、骨格材４に樹脂含浸をさせ、骨格材４の樹脂被覆を行なう事が好ましい。即ち、完全に液体状態の熱硬化性樹脂層１５は、金属箔の表面に塗工することにより製造されるものであり、溶剤を多量に含んでいることが一般的である。かかる場合、その溶剤を全く除去することなく、その表面に骨格材４を載置して、以下の工程を遂行すると、最終的に半硬化状態とする際に、金属箔６と骨格材４との間の熱硬化性樹脂層１５にバブルが発生しやすくなる。そこで、溶剤を多量に含む場合には、骨格材４を熱硬化性樹脂層１５の表面に載置する前に、バブル発生を防止できるよう一定量の溶剤除去を行うことが好ましいのである。溶剤の除去は、単に風乾させても、硬化温度以下の温度領域に加熱して行うものであっても構わない。溶剤の除去レベルは、熱硬化性樹脂層１５の厚さ、骨格材４の厚さを考慮して、当該バブルの発生無きように任意に調節することができる。
【０１１８】
また、骨格材４を載置する前の熱硬化性樹脂層１５の樹脂成分が、半硬化状態若しくは極めて粘度の高いものである場合が考えられる。このような場合には、図１３（Ｃ）に示したように、熱硬化性樹脂層１５に骨格材４を張り付ける場合には、上述したと同様に加熱手段を備えた圧着ロール１３を用いて、ロール自体を加熱して、一定レベル以上の押し圧を負荷して張り付けるのである。そして、当該樹脂成分の硬化温度以下の加熱を行い熱硬化性樹脂層１５の流動化を行わせ、熱硬化性樹脂層１５の樹脂を、当該骨格材４を構成するガラス繊維又はアラミド繊維の毛細管現象を利用して含浸させ、図１３（Ｄ）に示すように当該骨格材４の熱硬化性樹脂層１５との接触面の反対面に滲み出させ、室温に降温して図１３（Ｅ）に示す骨格材含有樹脂付金属箔９とするのである。
【０１１９】
そして、この方法で言う熱硬化性樹脂層１５は、形成する絶縁層厚さ（Ｘ（μｍ））に対し、Ｘ−３０（μｍ）〜Ｘ−３（μｍ）の厚さとすることが望ましい。例えば、絶縁層厚さを１００μｍとするためには、１００−３０＝７０μｍから１００−３＝９７μｍの厚さの熱硬化性樹脂層１５として、銅箔表面に形成しておくのである。このようにすることで、銅箔２の表面に狙い通りの厚さの絶縁層の形成が可能となるのである。熱硬化性樹脂層１５の厚さをＸ−３０（μｍ）未満とすると、最終的に得られる絶縁層と銅箔層との十分な密着性が得られず、熱硬化性樹脂層１５の厚さをＸ−３（μｍ）を超える厚さとしても、絶縁層と銅箔層との密着性を向上させる効果が増大する事はなくなるのである。なお、ここでの厚さとは、完全平面と仮定した場合の平面厚さのことである。
【０１２０】
その他、銅箔、不織布若しくは織布、熱硬化性樹脂等に関しては、先に説明した製造方法と何ら変わるものではなく、同様の物及び条件を採用できるため、ここでの重複した説明を省略する。
【０１２１】
外層回路エッチング工程： 以上に述べてきた多層銅張積層板Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３の外層に位置する金属箔６の表面に、エッチングレジスト層を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示す本件発明に係る多層プリント配線板１が得られるのである。この場合の、エッチングレジストの種類及びエッチング条件等に特段の制限はなく、定法を用いることが可能である。
【実施例１】
【０１２２】
（支持フィルム付プライマ樹脂シートの製造）
ここでは、支持フィルムとしてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用いて、その片面にプライマ樹脂層を形成し、支持フィルム付プライマ樹脂シート２としたのである。
【０１２３】
最初にプライマ樹脂シートを構成する樹脂溶液を製造した。この樹脂溶液を製造するにあたり、ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成株式会社製ＹＤＣＮ−７０４）、溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー、溶剤としてのシクロペンタノンとの混合ワニスとして市販されている日本化薬株式会社製のＢＰ３２２５−５０Ｐを原料として用いた。そして、この混合ワニスに、硬化剤としてのフェノール樹脂に大日本インキ株式会社製のＶＨ−４１７０及び硬化促進剤として四国化成製の２Ｅ４ＭＺを添加して以下に示す配合割合を持つ樹脂混合物とした。
【０１２４】
樹脂混合物
ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 ３８重量部
芳香族ポリアミド樹脂ポリマー ５０重量部
フェノール樹脂 １８重量部
硬化促進剤 ０．１重量部
【０１２５】
この樹脂混合物を、更にメチルエチルケトンを用いて樹脂固形分を３０重量％に調整することで樹脂溶液とした。
【０１２６】
以上のようにして製造した樹脂溶液を、グラビアコーターを用いて、前記ＰＥＴフィルムの片面に塗布した。そして、５分間の風乾を行い、その後１４０℃の加熱雰囲気中で３分間の乾燥処理を行い、半硬化状態の１．５μｍ厚さのプライマ樹脂フィルムを形成し、支持フィルム付プライマ樹脂シート２を得たのである。
【０１２７】
このときに得られた樹脂のレジンフローの測定は、上記プライマ樹脂シートの形成に用いた樹脂を４０μｍ厚さとして銅箔の片面に設けた樹脂付銅箔を製造して、これをレジンフロー測定用試料とした。そして、このレジンフロー測定用試料から１０ｃｍ角試料を４枚採取し、上述したＭＩＬ−Ｐ−１３９４９Ｇに準拠してレジンフローの測定を行った。その結果、レジンフローは１．５％であった。
【０１２８】
（内層回路基板の製造）
１００μｍ厚さのＦＲ−４プリプレグの両面に１８μｍ厚さの電解銅箔を張り合わせた両面銅張積層板を製造した。そして、この両面銅張積層板の両面の銅箔層にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、内層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図３（２）に示す如き内層回路基板ＩＢを得たのである。この段階の内層回路基板ＩＢには、シランカップリング剤処理も、表面処理層も形成していない。この内層回路基板ＩＢを、「第１内層回路基板」と称する。
【０１２９】
そして、第１内層回路基板ＩＢを、濃度１５０ｇ／ｌ、液温３０℃の希硫酸溶液に３０秒浸漬して、油脂成分を除去すると共に、余分な表面酸化被膜の除去を行い清浄化し水洗した。そして、内層回路基板ＩＢの表面を乾燥させることなく、イオン交換水に５ｇ／ｌの濃度となるようγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを加えた溶液中に浸漬して吸着処理した。そして、電熱器で１８０℃雰囲気に調整した炉内で４秒かけて、水分をとばし、シランカップリング剤の縮合反応を行いシランカップリング剤層を形成した。この内層回路基板ＩＢを「第２内層回路基板」と称する。
【０１３０】
更に、第１内層回路基板ＩＢの内層回路表面に、スズの表面処理層を電解法で設けたものが「第３内層回路基板」、ニッケルの表面処理層を電解法で設けたものが「第４内層回路基板」、スズ−鉛合金の表面処理層を電解法で設けたものが「第５内層回路基板」、ニッケル−亜鉛合金の表面処理層を電解法で設けたものが「第６内層回路基板」とした。
【０１３１】
このときのスズの表面処理層は、硫酸第１スズを用いスズ濃度が２０ｇ／ｌ、液温３０℃、ｐＨ３、電流密度５Ａ／ｄｍ^２の条件で電解し、内層回路の表面に１μｍ厚のスズ層を、均一且つ平滑に電析させたものである。
【０１３２】
このときのニッケルの表面処理層は、硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が２０ｇ／ｌ、液温４０℃、ｐＨ３、電流密度１０Ａ／ｄｍ^２の条件で電解し、内層回路の表面に１μｍ厚のニッケル層を、均一且つ平滑に電析させたものである。
【０１３３】
このときのスズ−鉛合金の表面処理層は、硫酸第１スズ３０ｇ／ｌ、酢酸鉛２０ｇ／ｌ、ピロリン酸ナトリウム１５０ｇ／ｌ、ＥＤＴＡ・２ナトリウム２０ｇ／ｌ、ＰＥＧ−３０００ １．２ｇ／ｌ、ホルマリン３７％水溶液０．７ｍｌ／ｌ、液温５０℃、ｐＨ９、電流密度１２Ａ／ｄｍ^２の条件で電解し、内層回路の表面に１μｍ厚のスズ−鉛合金層を、均一且つ平滑に電析させたものである。
【０１３４】
このときのニッケル−亜鉛合金の表面処理層は、硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が２．０ｇ／ｌ、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が０．５ｇ／ｌ、ピロリン酸カリウム２５０ｇ／ｌ、液温３５℃、ｐＨ１０、電流密度５Ａ／ｄｍ^２の条件で電解し、内層回路の表面に１μｍ厚のニッケル−亜鉛合金層を、均一且つ平滑に電析させたものである。
【０１３５】
更に、上記シランカップリング剤層の形成条件を用いて、第３内層回路基板〜第６内層回路基板のそれぞれの表面処理層の上に、シランカップリング剤層を形成したものが第７３内層回路基板〜第１０内層回路基板である。
【０１３６】
（プライマ樹脂シートの積層）
この工程では、図３（２）〜図３（４）に示すように、上記各内層回路基板ＩＢの内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シート２のプライマ樹脂面を重ね合わせて積層し、支持フィルムＦを除去したのである。このようにして、図３（４）に示すような内層回路基板ＩＢの両面にプライマ樹脂シート３が載置された状態とした。
【０１３７】
（多層銅張積層板の製造）
この実施例では図５（５）〜図５（７）に示した手順により、多層銅張積層板Ｍ１を製造した。従って、図５（５）に示すように、金属箔６として１８μｍの電解銅箔、骨格材４としてガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させた５０μｍ厚さのＦＲ−４グレードのプリプレグ５を用いて、図５（６）に示すように内層回路基板ＩＢの両面にある各々のプライマ樹脂シート３の上に重ね合わせた。そして、熱間プレス加工することで、図５（７）に示す模式断面を持つ多層銅張積層板Ｍ１を得たのである。このときのプレス加工条件は、プレス温度１８０℃、プレス圧力２０ｋｇ／ｃｍ^２、硬化時間９０分とした。
【０１３８】
（多層プリント配線板の製造）
次に、多層銅張積層板Ｍ１の両面にある金属箔６（外層銅箔）の表面にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示すと同様の多層プリント配線板１を得たのである。このときの内層回路の様子を示したのが、図２に示した光学顕微鏡写真であり、内層回路Ｃ_ｉの周囲を薄いプライマ樹脂層Ｐが被覆しているのが明瞭に観察されるのである。
【０１３９】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板１に、２６０℃の半田バスに３秒間浸漬し、移送時間１０秒とし、常温のシリコンオイルに２０秒間浸漬する耐熱衝撃試験を施し、目視検査をおこなった。
【０１４０】
また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、次の代替え手法を用いて、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さをモニターした。即ち、図１４（１）に示すように、銅箔６’の上に、５０μｍ厚さのプリプレグ５を重ね、そのプリプレグ５の上に、前記支持フィルム付プライマ樹脂シート２を重ね支持フィルムＦを除去することでプライマ樹脂シート３を重ね、更に内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用いて、その光沢面と当該プライマ樹脂シート３とが当接するように重ねて、熱間プレス成形して図１４（２）に示す銅張積層板Ｔ_０を製造した。そして、電解銅箔６の粗化面１１にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、引き剥がし強度測定用の０．２ｍｍ幅の直線回路１６のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１４（３）に示す引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造したのである。
【０１４１】
上記耐熱衝撃試験と引き剥がし強度測定結果を、表１に比較例と対比可能に掲載した。この表１において、試料１−１〜試料１−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。なお、耐熱衝撃試験については、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来た場合は×、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来無かった場合は○として示している。そして、このときの引き剥がし強度の単位は、ｋｇｆ／ｃｍである。
【０１４２】
【表１】
【実施例２】
【０１４３】
（支持フィルム付プライマ樹脂シートの製造）
支持フィルム付プライマ樹脂シート２は、実施例１と同様のものを用いた。従って、重複した記載を避けるため、ここでの説明は省略する。
【０１４４】
（樹脂付銅箔の製造）
ここでは、以下に示すａ〜ｃの各成分を用いて樹脂組成物を調製し、その樹脂組成物を１８μｍ厚さの電解銅箔の粗化面に塗布して、樹脂付銅箔７を得たのである。まず、ａ成分は、エポキシ樹脂としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂である商品名エポミックＲ−１４０（三井化学社製）を用いた。そして、ｂ成分として、Ｒがグリシジル基であるエポキシ樹脂である商品名ＮＣ−３０００Ｐ（日本化薬社製）を用いて、これらを重量比４０：６０で混合したものとした。
【０１４５】
そして、エポキシ樹脂硬化剤として２５％ジシアンジアミドのジメチルホルムアミド溶液を上記エポキシ樹脂に対して、ジシアンジアミドとして６重量部、エポキシ樹脂硬化促進剤としてキュアゾール２Ｐ４ＭＺ（四国化成社製）を１重量部となるように加えて、これをジメチルホルムアミドで溶解して、固形分５０ｗｔ％溶液とした（この段階で得られたものを「エポキシ樹脂配合物」と称する。）。
【０１４６】
ここに、ｃ成分として、分子中に架橋可能な官能基を有する高分子ポリマーおよびその架橋剤として、ポリビニルアセタール樹脂である商品名デンカブチラール５０００Ａ（電気化学工業社製）、ウレタン樹脂である商品名コロネートＡＰステーブル（日本ポリウレタン工業社製）を加えた。
【０１４７】
この段階での、樹脂組成は、エポキシ樹脂配合物が８０重量部（固形分換算）、ポリビニルアセタール樹脂が１７重量部、ウレタン樹脂が３重量部、そして、トルエン：メタノール＝１：１の混合溶媒を用いて、全体の固形分が３０重量％となるように調整した。
【０１４８】
この樹脂組成物を、公称厚さ１８μｍ電解銅箔の粗化面に塗布し、風乾後、１３０℃で５分間加熱し、半硬化状態の樹脂層を備えた樹脂付銅箔７を得た。
【０１４９】
（内層回路基板の製造）
内層回路基板ＩＢは、実施例１と同様の第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いた。従って、重複した記載を避けるため、ここでの説明は省略する。
【０１５０】
（プライマ樹脂シートの積層）
この工程では、実施例１と同様にして、図３（４）に示すような内層回路基板ＩＢの両面にプライマ樹脂シート３が載置された状態とした。
【０１５１】
（多層銅張積層板の製造）
この実施例では図７（５）〜図７（７）に示した手順により、多層銅張積層板Ｍ２を製造した。従って、図７（５）に示すように、上述の樹脂付銅箔７を用いて、その樹脂付銅箔７の樹脂面側を内層回路基板ＩＢの両面にある各々のプライマ樹脂シート３の上に重ね合わせ、図７（６）の状態とした。そして、熱間プレス加工することで、図７（７）に示す模式断面を持つ多層銅張積層板Ｍ２を得たのである。
【０１５２】
（多層プリント配線板の製造）
次に、多層銅張積層板Ｍ２の両面にある金属箔６（外層銅箔）の表面にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示すと同様の多層プリント配線板１を得たのである。このときの内層回路の様子を示したのが、図１８に示した光学顕微鏡写真であり、内層回路Ｃ_ｉの周囲を薄いプライマ樹脂層Ｐが均一に被覆しているのが明瞭に観察されるのである。
【０１５３】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板１に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験及び引き剥がし強度測定を行い、その結果を表２に比較例と対比可能なように示した。この表２において、試料２−１〜試料２−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、図１５に示すように、樹脂付銅箔７の樹脂面８上に、前記支持フィルム付プライマ樹脂シート２を重ね支持フィルムＦを除去することでプライマ樹脂シート３を重ね、更に内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用いて、その光沢面と当該プライマ樹脂シート３とが当接するように重ねて、熱間プレス成形して図１５（２）に示す銅張積層板Ｔ_０を製造した。そして、以下実施例１と同様にして、図１５（３）に示した引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造したのである。
【０１５４】
【表２】
【実施例３】
【０１５５】
（支持フィルム付プライマ樹脂シートの製造）
支持フィルム付プライマ樹脂シート２は、実施例１と同様のものを用いた。従って、重複した記載を避けるため、ここでの説明は省略する。
【０１５６】
（骨格材含有樹脂付銅箔の製造）
まず最初に、第１熱硬化樹脂層１２及び第２熱硬化性樹脂層１４の形成に用いるエポキシ樹脂組成物を調製した。ここでは、樹脂として、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（商品名：ＹＤ−１２８、東都化成社製）３０重量部、ｏ−クレゾール型エポキシ樹脂（商品名：ＥＳＣＮ−１９５ＸＬ８０、住友化学社製）５０重量部、エポキシ樹脂硬化剤として固形分２５％のジメチルホルムアルデヒド溶液の形でジシアンジアミド（ジシアンジアミドとして４重量部）を１６重量部、硬化促進剤として２−エチル４−メチルイミダゾール（商品名：キャゾール２Ｅ４ＭＺ、四国化成社製）を０．１重量部をメチルエチルケトンとジメチルホルムアルデヒドとの混合溶剤（混合比：メチルエチルケトン／ジメチルホルムアルデヒド＝４／６）に溶解して固形分６０％のエポキシ樹脂組成物を得た。
【０１５７】
このエポキシ樹脂組成物を、図１２（Ｂ）に示すように、前記公称厚さ１８μｍの電解銅箔６の粗化面１１に均一に塗布して、室温で３０分間放置して、熱風乾燥機を用いて１５０℃の温風を２分間衝風することで、一定量の溶剤を除去し、第１熱硬化性樹脂層１２を半硬化状態に乾燥させた。このときのエポキシ樹脂組成物の塗布量は、乾燥後の樹脂厚として４０μｍとなるようにした。
【０１５８】
次に、図１２（ｃ）に示すようにして第１熱硬化性樹脂層１２の上に、骨格材４として公称厚さ５０μｍ厚のアラミド繊維の不織布を張り合わせた。この張り合わせは、形成した第１熱硬化性樹脂層１２の表面に当該不織布を重ね合わせて、１５０℃に加熱し、９ｋｇ／ｃｍ^２のラミネート圧力を掛けることの出来るようにし加熱ロール１３の間を、２０ｃｍ／分の速度で通過させることにより行った。その結果、張り合わせた状態での第１熱硬化性樹脂層１２と骨格材４との合計厚さが平均５５μｍであった。
【０１５９】
以上のようにして骨格材４の張り合わせが終了すると、続いて図１２（Ｄ）に示すように第２熱硬化性樹脂層１４の形成を行った。ここで、第２熱硬化性樹脂層１４を構成するために用いたエポキシ樹脂組成物は、第１熱硬化性樹脂層１２の形成に用いたと同様のものを用いた。従って、ここでのエポキシ樹脂組成物の説明は、重複した説明となるため省略する。
【０１６０】
即ち、張り合わせた骨格材４の上に、このエポキシ樹脂組成物を均一に塗布して、室温で３０分間放置して、熱風乾燥機を用いて１５０℃の温風を３分間衝風することで、一定量の溶剤を除去し、第２熱硬化性樹脂層１４を半硬化状態に乾燥させた。このときのエポキシ樹脂組成物の塗布量は、第１熱硬化性樹脂層１２と骨格材４と乾燥後の第２熱硬化性樹脂層１４の合計厚さが７５μｍとなるようにした。以上のようにして、本件発明に係る製造方法を用いて絶縁層付銅箔９を製造した。
【０１６１】
（内層回路基板の製造）
内層回路基板ＩＢは、実施例１と同様の第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いた。従って、重複した記載を避けるため、ここでの説明は省略する。
【０１６２】
（プライマ樹脂シートの積層）
この工程では、実施例１と同様にして、図３（４）に示すような内層回路基板ＩＢの両面にプライマ樹脂シート３が載置された状態とした。
【０１６３】
（多層銅張積層板の製造）
この実施例では図９に示した手順により、多層銅張積層板Ｍ３を製造した。従って、図９（５）に示すように、上述の骨格材含有樹脂付銅箔９を用いて、その骨格材含有樹脂付銅箔９の骨格材含有樹脂面側を内層回路基板ＩＢの両面にある各々のプライマ樹脂シート３の上に重ね合わせた。そして、図９（６）に示す状態で熱間プレス加工することで、図９（７）に示す模式断面を持つ多層銅張積層板Ｍ３を得たのである。
【０１６４】
（多層プリント配線板の製造）
次に、多層銅張積層板Ｍ３の両面にある金属箔６（外層銅箔）の表面にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示すと同様の多層プリント配線板１を得たのである。このときの内層回路の様子を示したのが、図２２に示した光学顕微鏡写真であり、内層回路Ｃ_ｉの周囲を薄いプライマ樹脂層Ｐが均一に被覆しているのが明瞭に観察されるのである。
【０１６５】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板１に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験及び引き剥がし強度測定を行い、その結果を表３に比較例と対比可能なように示した。この表３において、試料３−１〜試料３−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、図１５に示したと同様の方法により、図１５（２）に示すと同様の銅張積層板Ｔ_０を製造した。そして、以下実施例１と同様にして、図１５（３）に示した引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造したのである。
【０１６６】
【表３】
【実施例４】
【０１６７】
この実施例では、内層回路基板の表面に塗工法でプライマ樹脂層を形成し、多層銅張積層板を製造し、その多層銅張積層板を用いて多層プリント配線板を製造した。
【０１６８】
（内層回路基板の製造）
実施例１と同様に、１００μｍ厚さのＦＲ−４プリプレグの両面に１８μｍ厚さの電解銅箔を張り合わせた両面銅張積層板を製造した。そして、この両面銅張積層板の両面の銅箔層にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、内層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図３（２）に示す如き内層回路基板ＩＢを得たのである。
【０１６９】
そして、内層回路基板として、実施例１と同様の「第１内層回路基板」〜「第１０内層回路基板」を製造した。製造条件等に関しては、実施例１と同様であるため、重複した記載を避けるため、ここでの説明を省略する。
【０１７０】
（内層回路基板への樹脂溶液の塗工）
塗工に用いる樹脂溶液の組成は、ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成株式会社製ＹＤＣＮ−７０４）、溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー、溶剤としてのシクロペンタノンとの混合ワニスとして市販されている日本化薬株式会社製のＢＰ３２２５−５０Ｐを原料としてた。そして、この混合ワニスに、硬化剤としてのフェノール樹脂に大日本インキ株式会社製のＶＨ−４１７０及び硬化促進剤として四国化成製の２Ｅ４ＭＺを添加して以下に示す配合割合を持つ樹脂混合物とした。このときの組成は、実施例１と同様であり、ここでの説明は省略する。そして、この塗工用の樹脂溶液とするため、この樹脂混合物にメチルエチルケトンを添加して、樹脂固形分を１２重量％に調整した樹脂溶液とした。
【０１７１】
以上のようにして製造した樹脂溶液中に、図４（Ａ）に示したイメージのように、上記内層回路基板を浸漬し、引き上げることで、内層回路基板の両面に樹脂溶液被膜を形成した。そして、５分間の風乾を行い、その後１４０℃の加熱雰囲気中で５分間の乾燥処理を行い、内層回路基板の表面に半硬化状態の１．３μｍ厚さのプライマ樹脂層を形成した。
【０１７２】
このときに得られた樹脂溶液は、塗工用で流動性が極めて高いため、レジンフローの測定には特殊な方法を用いた。レジンフローの測定は、塗工用樹脂溶液を、銅箔の片面に塗り上記乾燥処理を行い、更に再塗工を行い乾燥処理を行うという操作を４０μｍ厚さの樹脂膜が形成出来るまで繰り返し、樹脂付銅箔を製造して、これをレジンフロー測定用試料とした。そして、このレジンフロー測定用試料から１０ｃｍ角試料を４枚採取し、上述したＭＩＬ−Ｐ−１３９４９Ｇに準拠してレジンフローの測定を行った。その結果、レジンフローは１．２％であった。
【０１７３】
（多層銅張積層板の製造）
この実施例では図６に示した手順により、多層銅張積層板Ｍ１を製造した。従って、図６（ａ）に示すように、金属箔６として１８μｍの電解銅箔、骨格材４としてガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させた５０μｍ厚さのＦＲ−４グレードのプリプレグ５を用いて、内層回路基板ＩＢの両面にある各々のプライマ樹脂層１７の上に重ね合わせた。そして、熱間プレス加工することで、図６（ｂ）に示す模式断面を持つ多層銅張積層板Ｍ１を得たのである。このときのプレス加工条件は、プレス温度１８０℃、プレス圧力２０ｋｇ／ｃｍ^２、硬化時間９０分とした。
【０１７４】
（多層プリント配線板の製造）
次に、多層銅張積層板Ｍ１の両面にある金属箔６（外層銅箔）の表面にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示すと同様の多層プリント配線板１を得た。このときの内層回路の様子は、図２に示した光学顕微鏡写真と同様であり、内層回路Ｃ_ｉの周囲を薄いプライマ樹脂層Ｐが被覆しているのが明瞭に観察される。
【０１７５】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板１に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験及び引き剥がし強度測定を行い、その結果を表４に比較例と対比可能なように示した。この表４において、試料４−１〜試料４−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、次の代替え手法を用いて、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さをモニターした。即ち、内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用い、その光沢面にプライマ樹脂層を構成した樹脂溶液を用いて、約１．３μｍ厚さのプライマ樹脂層１７を形成し、図１６（１）に示す試験用樹脂付銅箔１７を得た。そして、図１６（１）に示すように、銅箔６’の上に、５０μｍ厚さのプリプレグ５を重ね、そのプリプレグ５と前記試験用樹脂付銅箔１７のプライマ樹脂層Ｐとが接するように重ね合わせて、熱間プレス成形して図１６（２）に示す銅張積層板Ｔ_０を製造した。そして、電解銅箔６の粗化面１１にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、引き剥がし強度測定用の０．２ｍｍ幅の直線回路１６のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１６（３）に示す引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造したのである。
【０１７６】
上記耐熱衝撃試験と引き剥がし強度測定結果を、表４に比較例と対比可能に掲載した。この表１において、試料１−１〜試料１−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。なお、耐熱衝撃試験については、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来た場合は×、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来無かった場合は○として示している。そして、このときの引き剥がし強度の単位は、ｋｇｆ／ｃｍである。
【０１７７】
【表４】
【実施例５】
【０１７８】
この実施例では、内層回路基板の表面に塗工法でプライマ樹脂層を形成し、多層銅張積層板を製造し、その多層銅張積層板を用いて多層プリント配線板を製造した。
【０１７９】
（内層回路基板の製造）
実施例１と同様に、１００μｍ厚さのＦＲ−４プリプレグの両面に１８μｍ厚さの電解銅箔を張り合わせた両面銅張積層板を製造した。そして、この両面銅張積層板の両面の銅箔層にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、内層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図３（２）に示す如き内層回路基板ＩＢを得たのである。
【０１８０】
そして、内層回路基板として、実施例１と同様の「第１内層回路基板」〜「第１０内層回路基板」を製造した。製造条件等に関しては、実施例１と同様であるため、重複した記載を避けるため、ここでの説明を省略する。
【０１８１】
（内層回路基板への樹脂溶液の塗工）
塗工に用いる樹脂溶液の組成は、ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成株式会社製ＹＤＣＮ−７０４）、溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー、溶剤としてのシクロペンタノンとの混合ワニスとして市販されている日本化薬株式会社製のＢＰ３２２５−５０Ｐを原料としてた。そして、この混合ワニスに、硬化剤としてのフェノール樹脂に大日本インキ株式会社製のＶＨ−４１７０及び硬化促進剤として四国化成製の２Ｅ４ＭＺを添加して以下に示す配合割合を持つ樹脂混合物とした。このときの組成は、実施例１と同様であり、ここでの説明は省略する。そして、この塗工用の樹脂溶液とするため、この樹脂混合物にメチルエチルケトンを添加して、樹脂固形分を１２重量％に調整した樹脂溶液とした。
【０１８２】
以上のようにして製造した樹脂溶液中に、図４（Ａ）に示したイメージのように、上記内層回路基板を浸漬し、引き上げることで、内層回路基板の両面に樹脂溶液被膜を形成した。そして、５分間の風乾を行い、その後１４０℃の加熱雰囲気中で５分間の乾燥処理を行い、内層回路基板の表面に半硬化状態の１．３μｍ厚さのプライマ樹脂層を形成した。
【０１８３】
このときに得られた樹脂溶液は、塗工用で流動性が極めて高いため、レジンフローの測定には特殊な方法を用いた。レジンフローの測定は、塗工用樹脂溶液を、銅箔の片面に塗り上記乾燥処理を行い、更に再塗工を行い乾燥処理を行うという操作を４０μｍ厚さの樹脂膜が形成出来るまで繰り返し、樹脂付銅箔を製造して、これをレジンフロー測定用試料とした。そして、このレジンフロー測定用試料から１０ｃｍ角試料を４枚採取し、上述したＭＩＬ−Ｐ−１３９４９Ｇに準拠してレジンフローの測定を行った。その結果、レジンフローは１．２％であった。
【０１８４】
（多層銅張積層板の製造）
この実施例では図８に示した手順により、多層銅張積層板Ｍ２を製造した。従って、図８（１）に示すように、実施例２と同様の樹脂付銅箔７を用いて、その樹脂付銅箔７の樹脂面側を内層回路基板ＩＢの両面にある各々のプライマ樹脂層１７の上に重ね合わせた。そして、熱間プレス加工することで、図８（２）に示す模式断面を持つ多層銅張積層板Ｍ２を得たのである。このときのプレス加工条件は、プレス温度１８０℃、プレス圧力２０ｋｇ／ｃｍ^２、硬化時間９０分とした。
【０１８５】
（多層プリント配線板の製造）
次に、多層銅張積層板Ｍ２の両面にある金属箔６（外層銅箔）の表面にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示すと同様の多層プリント配線板１を得た。このときの内層回路の様子は、図２に示した光学顕微鏡写真と同様であり、内層回路Ｃ_ｉの周囲を薄いプライマ樹脂層Ｐが被覆しているのが明瞭に観察される。
【０１８６】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板１に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験及び引き剥がし強度測定を行い、その結果を表４に比較例と対比可能なように示した。この表４において、試料４−１〜試料４−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、次の代替え手法を用いて、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さをモニターした。即ち、内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用い、その光沢面にプライマ樹脂層を構成した樹脂溶液を用いて、約１．３μｍ厚さのプライマ樹脂層１７を形成し、図１７（１）に示す試験用樹脂付銅箔１７を得た。そして、図１７（１）に示すように、樹脂付銅箔７の樹脂面８と、前記試験用樹脂付銅箔１７のプライマ樹脂層Ｐとが接するように重ね合わせて、熱間プレス成形して図１７（２）に示す銅張積層板Ｔ_０を製造した。そして、電解銅箔６の粗化面１１にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、引き剥がし強度測定用の０．２ｍｍ幅の直線回路１６のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１７（３）に示す引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造したのである。
【０１８７】
上記耐熱衝撃試験と引き剥がし強度測定結果を、表５に比較例と対比可能に掲載した。この表５において、試料５−１〜試料５−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。なお、耐熱衝撃試験については、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来た場合は×、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来無かった場合は○として示している。そして、このときの引き剥がし強度の単位は、ｋｇｆ／ｃｍである。
【０１８８】
【表５】
【実施例６】
【０１８９】
この実施例では、内層回路基板の表面に塗工法でプライマ樹脂層を形成し、多層銅張積層板を製造し、その多層銅張積層板を用いて多層プリント配線板を製造した。
【０１９０】
（内層回路基板の製造）
実施例１と同様に、１００μｍ厚さのＦＲ−４プリプレグの両面に１８μｍ厚さの電解銅箔を張り合わせた両面銅張積層板を製造した。そして、この両面銅張積層板の両面の銅箔層にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、内層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図３（２）に示す如き内層回路基板ＩＢを得たのである。
【０１９１】
そして、内層回路基板として、実施例１と同様の「第１内層回路基板」〜「第１０内層回路基板」を製造した。製造条件等に関しては、実施例１と同様であるため、重複した記載を避けるため、ここでの説明を省略する。
【０１９２】
（内層回路基板への樹脂溶液の塗工）
塗工に用いる樹脂溶液の組成は、ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成株式会社製ＹＤＣＮ−７０４）、溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー、溶剤としてのシクロペンタノンとの混合ワニスとして市販されている日本化薬株式会社製のＢＰ３２２５−５０Ｐを原料としてた。そして、この混合ワニスに、硬化剤としてのフェノール樹脂に大日本インキ株式会社製のＶＨ−４１７０及び硬化促進剤として四国化成製の２Ｅ４ＭＺを添加して以下に示す配合割合を持つ樹脂混合物とした。このときの組成は、実施例１と同様であり、ここでの説明は省略する。そして、この塗工用の樹脂溶液とするため、この樹脂混合物にメチルエチルケトンを添加して、樹脂固形分を１２重量％に調整した樹脂溶液とした。
【０１９３】
以上のようにして製造した樹脂溶液中に、図４（Ａ）に示したイメージのように、上記内層回路基板を浸漬し、引き上げることで、内層回路基板の両面に樹脂溶液被膜を形成した。そして、５分間の風乾を行い、その後１４０℃の加熱雰囲気中で５分間の乾燥処理を行い、内層回路基板の表面に半硬化状態の１．３μｍ厚さのプライマ樹脂層を形成した。
【０１９４】
このときに得られた樹脂溶液は、塗工用で流動性が極めて高いため、レジンフローの測定には特殊な方法を用いた。レジンフローの測定は、塗工用樹脂溶液を、銅箔の片面に塗り上記乾燥処理を行い、更に再塗工を行い乾燥処理を行うという操作を４０μｍ厚さの樹脂膜が形成出来るまで繰り返し、樹脂付銅箔を製造して、これをレジンフロー測定用試料とした。そして、このレジンフロー測定用試料から１０ｃｍ角試料を４枚採取し、上述したＭＩＬ−Ｐ−１３９４９Ｇに準拠してレジンフローの測定を行った。その結果、レジンフローは１．２％であった。
【０１９５】
（多層銅張積層板の製造）
この実施例では図１０に示した手順により、多層銅張積層板Ｍ３を製造した。従って、図１０（１）に示すように、実施例３と同様の骨格材含有樹脂付銅箔９を用いて、その骨格材含有樹脂付銅箔９の樹脂面側を内層回路基板ＩＢの両面にある各々のプライマ樹脂層１７の上に重ね合わせた。そして、熱間プレス加工することで、図１０（２）に示す模式断面を持つ多層銅張積層板Ｍ３を得たのである。このときのプレス加工条件は、プレス温度１８０℃、プレス圧力２０ｋｇ／ｃｍ^２、硬化時間９０分とした。
【０１９６】
（多層プリント配線板の製造）
次に、多層銅張積層板Ｍ３の両面にある金属箔６（外層銅箔）の表面にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、外層回路のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１に示すと同様の多層プリント配線板１を得た。このときの内層回路の様子は、図２に示した光学顕微鏡写真と同様であり、内層回路Ｃ_ｉの周囲を薄いプライマ樹脂層Ｐが被覆しているのが明瞭に観察される。
【０１９７】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板１に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験及び引き剥がし強度測定を行い、その結果を表４に比較例と対比可能なように示した。この表４において、試料４−１〜試料４−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、次の代替え手法を用いて、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さをモニターした。即ち、内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用い、その光沢面にプライマ樹脂層を構成した樹脂溶液を用いて、約１．３μｍ厚さのプライマ樹脂層１７を形成し、図１７（１）に示す試験用樹脂付銅箔１７を得た。そして、図１７（１）に示すように、骨格材含有樹脂付銅箔９の樹脂層１０と、前記試験用樹脂付銅箔のプライマ樹脂層１７とが接するように重ね合わせて、熱間プレス成形して図１７（２）に示す銅張積層板Ｔ_０を製造した。そして、電解銅箔６の粗化面１１にエッチングレジスト層（ドライフィルムを使用）を設け、引き剥がし強度測定用の０．２ｍｍ幅の直線回路１６のエッチングパターンを露光、現像、回路エッチング、エッチングレジスト剥離、洗浄、乾燥を行うことで、図１７（３）に示す引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造したのである。
【０１９８】
上記耐熱衝撃試験と引き剥がし強度測定結果を、表６に比較例と対比可能に掲載した。この表６において、試料６−１〜試料６−１０として示したのが、第１内層回路基板〜第１０内層回路基板を用いて製造した多層プリント配線板である。なお、耐熱衝撃試験については、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来た場合は×、内層回路Ｃｉに浮きが確認出来無かった場合は○として示している。そして、このときの引き剥がし強度の単位は、ｋｇｆ／ｃｍである。
【０１９９】
【表６】
【比較例１】
【０２００】
この比較例では、実施例１の第１内層回路基板を用いる条件で、プライマ樹脂シートを省略し、プライマ樹脂層の存在しない多層プリント配線板を製造したのである。従って、全ての工程が重複した記載となるため、工程の説明は避け、多層プリント配線板の性能評価に関してのみ説明する。
【０２０１】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験を施し、目視検査をおこなったが、かなり広い領域に渡って内層回路Ｃｉに浮きが生じたことを示すように、白化したように見える内層回路部分が確認された。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、基本的に図１４に示したと同様のフローであるが、図１９に示したようにプライマ樹脂シート３を省略した方法により、内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用いて、図１９（３）に示した引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造した。そして、このときの引き剥がし強度を測定した結果、０．２１ｋｇｆ／ｃｍであった。この結果は、上記実施例で示した表中に記載している。
【比較例２】
【０２０２】
この比較例では、実施例２の第１内層回路基板を用いる条件で、プライマ樹脂シートを省略し、プライマ樹脂層の存在しない多層プリント配線板を製造したのである。従って、全ての工程が重複した記載となるため、工程の説明は避け、多層プリント配線板の性能評価に関してのみ説明する。
【０２０３】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験を施し、目視検査をおこなったが、かなり広い領域に渡って内層回路Ｃｉに浮きが生じたことを示すように、白化したように見える内層回路部分が確認された。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、基本的に図１５に示したと同様のフローであるが、図２０に示したようにプライマ樹脂シート３を省略した方法により、内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６を用いて、図２０（３）に示す引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造した。そして、このときの引き剥がし強度を測定した結果、０．１０ｋｇｆ／ｃｍであった。この結果は、上記実施例で示した表中に記載している。
【比較例３】
【０２０４】
この比較例では、実施例３の第１内層回路基板を用いる条件で、プライマ樹脂シートを省略し、プライマ樹脂層の存在しない多層プリント配線板を製造したのである。従って、全ての工程が重複した記載となるため、工程の説明は避け、多層プリント配線板の性能評価に関してのみ説明する。
【０２０５】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験を施し、目視検査をおこなったが、かなり広い領域に渡って内層回路Ｃｉに浮きが生じたことを示すように、白化したように見える内層回路部分が確認された。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、比較例２と同様にして引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造した。そして、以下実施例１と同様にして、引き剥がし強度を測定した。その結果、０．１４ｋｇｆ／ｃｍであった。この結果は、上記実施例で示した表中に記載している。
【比較例４】
【０２０６】
この比較例では、実施例１の第１内層回路基板を用いる条件で、第１内層回路の表面にシランカップリング剤層のみを形成し、プライマ樹脂シートを省略し、プライマ樹脂層の存在しない多層プリント配線板を製造したのである。従って、全ての工程が重複した記載となるため、工程の説明は避け、多層プリント配線板の性能評価に関してのみ説明する。
【０２０７】
（多層プリント配線板の性能評価）
以上のようにして得られた多層プリント配線板に、実施例１と同様の耐熱衝撃試験を施し、目視検査をおこなったが、かなり広い領域に渡って内層回路Ｃｉに浮きが生じたことを示すように、白化したように見える内層回路部分が確認された。また、内層回路Ｃｉの引き剥がし強さを直接測ることは困難であるため、図２０に示したと同様の方法により、内層回路形成に使用したと同一ロットの電解銅箔６にシランカップリング剤処理を施して用いて、図２０（３）に示すと同様の引き剥がし強度の測定用試料Ｔ_１を製造した。そして、このときの引き剥がし強度を測定した結果、０．３２ｋｇｆ／ｃｍであった。
【産業上の利用可能性】
【０２０８】
本件発明に係る多層プリント配線板は、その内層回路表面が粗化処理を行っていないものであっても、その表面に薄い樹脂層であるプライマ樹脂層を備えるという構造を持っている。このような構造を採用することで、従来のプリント配線板業界の常識を覆すほどに、良好な内層回路と基材樹脂との接着性を確保できるものとなるのである。このような、構造を持つ多層プリント配線板は、黒化処理等の内層回路の粗化処理の省略が可能となり、その製造プロセスの単純化が可能となるため、従来の多層プリント配線板の製造プロセスの大幅な工程の省略が可能となり、製造コストの大幅な削減が可能となるのである。しかも、内層回路に粗化処理が不要であるため、内層回路エッチングのプロセスでも、回路エッチング精度を向上させることが可能となり、トータル的に見た多層プリント配線板品質の向上も図れるのである。
【図面の簡単な説明】
【０２０９】
【図１】本件発明に係る多層プリント配線板の一例を示す模式断面図。
【図２】本件発明に係る多層プリント配線板の内層回路断面の光学顕微鏡写真。
【図３】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図４】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図５】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図６】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図７】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図８】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図９】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図１０】本件発明に係る多層プリント配線板の製造フローを示す模式断面図。
【図１１】本件発明に係る多層プリント配線板の製造で用いる骨格材含有樹脂付銅箔の模式断面図。
【図１２】骨格材含有樹脂付銅箔の製造フローを示す模式図。
【図１３】骨格材含有樹脂付銅箔の製造フローを示す模式図。
【図１４】引き剥がし強度測定用試料の製造手順を示す模式図。
【図１５】引き剥がし強度測定用試料の製造手順を示す模式図。
【図１６】引き剥がし強度測定用試料の製造手順を示す模式図。
【図１７】引き剥がし強度測定用試料の製造手順を示す模式図。
【図１８】本件発明に係る多層プリント配線板の内層回路断面の光学顕微鏡写真。
【図１９】引き剥がし強度測定用試料の製造手順を示す模式図。
【図２０】引き剥がし強度測定用試料の製造手順を示す模式図。
【図２１】本件発明に係る多層プリント配線板の内層回路断面の光学顕微鏡写真。
【図２２】従来の多層プリント配線板の製造フローを示す模式図。
【図２３】従来の多層プリント配線板の製造フローを示す模式図。
【符号の説明】
【０２１０】
１ 多層プリント配線板
２ 支持フィルム付プライマ樹脂シート
３ プライマ樹脂シート
４ 骨格材
５ プリプレグ（絶縁樹脂層）
６ 金属箔
７ 樹脂付銅箔
８ （樹脂付銅箔の骨格材を含まない）樹脂層
９ 骨格材含有樹脂付銅箔
１０ （骨格材含有樹脂付銅箔の）樹脂層
１１ 粗化面
１２ 第１熱硬化性樹脂層
１４ 第２熱硬化性樹脂層
１５ 熱硬化性樹脂層
１６ （引き剥がし強度測定用の）直線回路
１７ 試験用樹脂付銅箔
Ｐ プライマ樹脂層（半硬化状態の場合を含む）
Ｆ 支持フィルム
ＩＢ 内層回路基板
Ｃｉ 内層回路
Ｃｏ 外層回路
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ 多層銅張積層板
Ｒ 樹脂組成物（溶液状）

Claims (15)

1. 粗化処理を施していない内層回路を備えた多層プリント配線板において、
   当該内層回路の側面部を含む表面全面にスズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層を備え、
   当該表面処理層の表面と層間絶縁層との間に、樹脂のみで構成したプライマ樹脂層を備え、
   当該プライマ樹脂層の厚さは、１ｍ ^２ あたりの完全平面に前記樹脂を塗布したと考えたときの換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍである、
   ことを特徴とする多層プリント配線板。
2. 前記表面処理層と、前記プライマ樹脂層との間に、シランカップリング剤層を備えた請求項１に記載の多層プリント配線板。
3. 前記シランカップリング剤層はアミノ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤を用いて形成したものである請求項２に記載の多層プリント配線板。
4. 前記プライマ樹脂層は、２０〜８０重量部のエポキシ樹脂と、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー及び必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤からなる樹脂混合物を用いて構成したものを用いて形成した請求項１〜請求項３のいずれかに記載の多層プリント配線板。
5. 前記プライマ樹脂層に用いる芳香族ポリアミド樹脂ポリマーは、芳香族ポリアミドとゴム性樹脂とを反応させることで得られるものを用いた請求項４に記載の多層プリント配線板。
6. 前記プライマ樹脂層は、５〜５０重量部のエポキシ樹脂（硬化剤を含む）、５０〜９５重量部のポリエーテルサルホン樹脂（末端に水酸基又はアミノ基を持ち且つ溶剤に可溶なもの）、及び、必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤からなる樹脂混合物を用いて形成したものである請求項１〜請求項３のいずれかに記載の多層プリント配線板。
7. 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法であって、
   以下に示す（ａ）〜（ｄ）の各工程を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
   （ａ） 支持フィルムの表面に、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さのプライマ樹脂層を構成する樹脂組成物被膜を形成し、半硬化状態とする支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程。
   （ｂ） 多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて積層した状態とし、支持フィルムを除去する、プライマ樹脂シート積層工程。
   （ｃ） 前記プライマ樹脂シートの上にプリプレグ及び導体層形成用金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、プライマ樹脂シートが加熱により内層基板の表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
   （ｄ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
   但し、上記（ｂ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
8. 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法であって、
   以下に示す（ａ）〜（ｃ）の各工程を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
   （ａ） プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層基板の内層回路形成面に塗布し、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するプライマ樹脂塗工工程。
   （ｂ） 前記プライマ樹脂層上にプリプレグ及び導体層形成用金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、内層基板の表面形状に沿ったプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
   （ｃ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
   但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
9. 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法であって、
   以下に示す（ａ）〜（ｄ）の各工程を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
   （ａ） 支持フィルムの表面に、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さのプライマ樹脂層を構成する樹脂組成物被膜を形成し、半硬化状態とする支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程。
   （ｂ） 多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて積層した状態とし、支持フィルムを除去する、プライマ樹脂シート積層工程。
   （ｃ） 前記プライマ樹脂シートの上に樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、プライマ樹脂シートが加熱により内層基板の表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
   （ｄ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
   但し、上記（ｂ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
10. 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法であって、
    以下に示す（ａ）〜（ｃ）の各工程を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
    （ａ） プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層基板の内層回路形成面に塗布し、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するプライマ樹脂塗工工程。
    （ｂ） 前記プライマ樹脂層上に樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、内層基板の表面形状に沿ったプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
    （ｃ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
    但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
11. 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法であって、
    以下に示す（ａ）〜（ｄ）の各工程を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
    （ａ） 支持フィルムの表面に、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さのプライマ樹脂層を構成する樹脂組成物被膜を形成し、半硬化状態とする支持フィルム付プライマ樹脂シート製造工程。
    （ｂ） 多層プリント配線板を構成する内層回路を備えた内層基板の内層回路形成面に対し、前記支持フィルム付プライマ樹脂シートのプライマ樹脂面を重ね合わせて積層した状態とし、支持フィルムを除去する、プライマ樹脂シート積層工程。
    （ｃ） 前記プライマ樹脂シートの上に骨格材含有樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、プライマ樹脂シートが加熱により内層基板の表面形状に追随して変形したプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
    （ｄ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
    但し、上記（ｂ）工程において、前記内層基板として内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
12. 請求項１〜請求項６のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法であって、
    以下に示す（ａ）〜（ｃ）の各工程を備えたことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
    （ａ） プライマ樹脂層を構成する樹脂組成物を、内層基板の内層回路形成面に塗布し、前記換算厚さにおいて１μｍ〜１０μｍの厚さの半硬化状態のプライマ樹脂層を形成するプライマ樹脂塗工工程。
    （ｂ） 前記プライマ樹脂層上に骨格材含有樹脂付金属箔を重ね合わせて、熱間プレス加工することで積層し、内層基板の表面形状に沿ったプライマ樹脂層を備える多層銅張積層板とするプレス加工工程。
    （ｃ） 前記多層銅張積層板の外層銅箔をエッチング加工することで外層回路を形成し多層プリント配線板とする外層回路エッチング工程。
    但し、上記（ａ）工程において、前記内層基板として、内層回路の側面部を含む表面全面に、スズ、ニッケル又はこれらの合金のいずれかを平滑に電析させた表面処理層が形成されたものを用いる。
13. 前記骨格材含有樹脂付金属箔は、以下に示す（ａ）〜（ｅ）の各工程を経て製造されたものを用いる請求項１１又は請求項１２に記載の多層プリント配線板の製造方法。
    （ａ） 液体状の熱硬化性樹脂を用いて、金属箔の表面上に所定厚さの被膜として液体樹脂層を形成する液体樹脂被膜形成工程。
    （ｂ） 金属箔の表面上にある液体樹脂層を、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層とする予備乾燥工程。
    （ｃ） 金属箔の表面上にある前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材である骨格材を重ね合わせ、予備加熱して圧着することで骨格材を仮張り合わせする予備接着工程。
    （ｄ） 金属箔の表面上に骨格材を載置したまま、樹脂が再流動可能な温度で加熱し、当該骨格材に熱硬化性樹脂成分を含浸させる樹脂含浸工程。
    （ｅ） 樹脂含浸が終了すると、熱硬化性樹脂を完全硬化させることなく、直ちに降温操作を行い、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持して骨格材含有樹脂付金属箔とする降温工程。
14. 前記プライマ樹脂層の形成に用いる樹脂組成物は、以下の（ａ）及び（ｂ）の工程により得られるものである請求項７、請求項９、請求項１１のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法。
    （ａ）２０〜８０重量部のエポキシ樹脂と、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー及び必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤とを混合した樹脂混合物とする。
    （ｂ）前記樹脂混合物を、有機溶剤を用いて溶解し、樹脂固形分２５ｗｔ％〜４０ｗｔ％の樹脂組成物とする。
15. 前記内層基板の表面にプライマ樹脂層を塗工法で形成する場合に用いる樹脂組成物は、以下の（ａ）及び（ｂ）の工程により得られるものである請求項８、請求項１０、請求項１２のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法。
    （ａ）２０〜８０重量部のエポキシ樹脂と、２０〜８０重量部の溶剤に可溶な芳香族ポリアミド樹脂ポリマー及び必要に応じて適宜量添加する硬化促進剤とを混合した樹脂混合物とする。
    （ｂ）前記樹脂混合物を、有機溶剤を用いて溶解し、樹脂固形分８ｗｔ％〜１５ｗｔ％の樹脂組成物とする。