TWI289421B - Multilayer printed wiring board and method for manufacturing the multilayer printed wiring board - Google Patents
Multilayer printed wiring board and method for manufacturing the multilayer printed wiring board Download PDFInfo
- Publication number
- TWI289421B TWI289421B TW093138352A TW93138352A TWI289421B TW I289421 B TWI289421 B TW I289421B TW 093138352 A TW093138352 A TW 093138352A TW 93138352 A TW93138352 A TW 93138352A TW I289421 B TWI289421 B TW I289421B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- resin
- layer
- circuit board
- primer
- printed circuit
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/4652—Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
- H05K3/4655—Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern by using a laminate characterized by the insulating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/01—Dielectrics
- H05K2201/0183—Dielectric layers
- H05K2201/0195—Dielectric or adhesive layers comprising a plurality of layers, e.g. in a multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/06—Lamination
- H05K2203/066—Transfer laminating of insulating material, e.g. resist as a whole layer, not as a pattern
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/386—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/4652—Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12556—Organic component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12556—Organic component
- Y10T428/12569—Synthetic resin
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12708—Sn-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
- Y10T428/24917—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including metal layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
/1289421 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種不對於多層印刷電路板之内層電路 來進订粗化處理而能夠得到和絕緣層間之良好之密合性之 多層印刷電路板及其製造方法。 【先前技術】 在驾知之多層印刷電路板之内層電路,正如專利文獻 1 (曰本國專利申請案一申請公開編號日本特開昭64 一 37081號公報)所揭示的,進行藉由附著氧化銅之微細粒 (稱為所明「黑化處理」,以下使用所謂「黑化處理」之 用^ )而確保和利用有機劑所構成之内層絕緣膜間之密 口眭像這樣需要黑化處理者係用以在由於銲錫重熔製程 等而使得夕層印刷電路板來承受熱撞擊時,防止在構成内 層電路之銅箔之光澤面和内層絕緣層之間引起脫層。 、但疋,該通常之黑化處理係藉由氧化銅之粒子所榍 成,因此,比起不進行氧化之銅,還更加迅速地進行蝕刻 腐餘所以’在黑化處理後而施行内層電路儀刻時,溶解 及除去蝕刻後之電路之邊緣部分之黑化處理部,在蝕刻電 ㈣狀之周目’引起白邊現象’在加工成為印刷電路板時 之接端面部之外圍部可以看見粉紅色之環圈,也有將這個 %為「紅色環圈」之狀態發生。 因此,作為解決此種初期之黑化處理所具有之問題點 之:法’ 一般係-旦將銅氧化物來附著在構成内層電路之 5名表面,然後,藉由專利文獻2 (日本國專利申請案一 22l3-.g721-PF 5 .1289421 申請公開編號日太4i 0a τ 〔日^ Λ 簡2號公報)、專利文獻3 (本專利申請案-申請公開編號曰本特開平4 — )專利文獻4(曰本國專利申請案—申請 令枵開千5— 152740號公報)所揭示之方法, 對於銅氧化物來進行叆 ..^ ^ ^仃遇原處理,使侍氧化銅微粒之表面回 復成為銅之處理(成為 馬所明退原”、、化處理,以下稱為「還 原黑化處理」。)。M>、丄 ) 猎由該方法而防止前述白邊現象之發 生。 ^ 旦疋,在進行黑化處理及還原黑化處理所構成之微細 之凹凸形狀存在於電路表面時,存在來自該物理形狀之缺 點。使用於近年來之電腦控制之時鐘頻率係達到GHz位 準,要求在該電路具有良好之高頻特性。訊號電流之傳達 速度越是成為高頻區域,則越加有該電流流動在電路表層 之傾向發生。因此’如果訊號傳達速度越是迅速的話,則 訊號電流越是流動在黑化處理及還原黑化處理層,使得層 間之串音特性等之高頻特性呈以b,成為妨礙印刷電路板 之薄層化之要因。此外,僅藉由進行黑化處理而使得電路 "程度,電路幅寬變細,關係到電路幅寬 之不均,電路剖面也變小,因此,也成為引起電氣電阻上 升之要因。
在此,使用圖22及圖23而簡單地說明習知之多層印 居J電路板I之製造方法之某一例子。首先,準備正如圖Μ (I )所適之兩面銅箔基板。此時,兩面銅箔基板係成為在 黏合片5來貼合銅箔2之銅箔基板之狀態。接著,對於銅 2213-6721-PF 6 1289421 箱6之表面來進行$各南 粒,形成圖22 (. 2/”、_处理’附著及形成微細之氧化銅 ,里化處理 所不之黑化處理面20。然後,藉由在 …亿恳理面20,形忐丨 ^ ^ 及續聲,η 韻4阻劑層’對於電路圖案進行曝光 久顯衫,進行電路飪 ^ 層電路c" 刻而正如圖22(3)所示,形成内 地重,:人正如圖23 (4)所示,在内層電路Cl上,相互 a 導體層形成用金屬箔,在圖23 (5)所示 :狀二:;藉由進行熱間沖壓加工而進行貼合,成為正如 I 所7*"之多層銅f|基板。接著’藉由對於前述多 曰銅V白基板之外層銅箱進行韻刻加工而形成外層電路,成 為多層印刷電路板。 、在該圖22(2)之製程而使詩黑化處理者係一般使 =過硫酸鉀浴、亞氯酸鈉浴等之濕式化學反應製程,該浴 管理係非常困冑,成為例如即使僅是氯濃度發生些微之變 動也使得製品之黑色度大幅度地發生變動等之感受性變高 之浴’為了得到一定範圍之黑色度’因&,需要相當之管 理勞力。因此,印刷電路板業者係如果沒有黑化處:製二 的話,則能夠顯著地縮短印刷電路板之製造工期,並且, 大幅度地降低總生產成本。 由以上而得知··如果能夠製造不進行黑化處理並且包 括内層電路之多層印刷電路板的話,則也能夠對於面對著 國際價格競爭之日本國之印刷電路板業界,來極為大幅度 地提向生產效率,也能夠削減大幅度之總生產成本,^、去 計算及知道其優點。 2213-6721-PF 7 1289421 ★ 【發明内容】 /因此’本發明人樣係全心地進行研究,結果,想到可 、藉由使用本發明之多層印刷電路板之層構造而得到省略 黑化處理之多層印刷電路板。以下,分成為「多層印刷電 路板」和「多層印刷電路板之製造方法」而進行敘述。 (本發明之多層印刷電路板) 本發明之多層印刷電路板之基本技術思想、其特徵在 於:j包括内層電路之多層印刷電路板,在不施行粗化處 里之則述内層電路和絕緣樹脂層之間,包括僅藉由樹脂所 構成之底層塗料樹脂層。 接著,最好是在該前述内層電路之表面,包括錫、鎳 或這些之合金之表面處理層。 此外由始合性提升之觀點來看的話,也最好是在本 發明之夕層印刷電路板,在前述内層電路和底層塗料樹脂 層之間,設置矽烷黏合劑層。 接著,最#是在該石夕烧黏合劑I,使用胺基系石夕炫黏 合劑、酼基系矽烷黏合劑而形成。 此外最好疋在本發明之多&印刷電路板,前述底層 塗料樹脂層、其剖面厚度係變薄成為ΐμηι〜ι〇㈣。 最好是本發明之多層印刷電路板之底層塗料樹脂層係 使用由20〜80重量份之環氧樹脂、2〇〜8〇重量份之可溶 解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合於需要來添 加適當量之硬化促進劑所構成之樹脂混合物來構成者而形 成0 2213-6721-PF 8 .1289421 接著,最好是使用在前述底層塗料樹脂層之芳香族聚 fe树知來,5物係使用藉由芳香族聚醯胺和橡膝性樹脂 生反應所得到者。 " 此外,最好是在本發明之多層印刷電路板,前述底層 塗料樹脂層係使用由2G〜5q重量份之環氧樹脂(包含魏 劑)、、50〜95重量份之聚醚楓樹腊(在末端具有氫氧基或 胺基並且可溶解於溶劑)以及配合於需要來添加適當量之 硬化促進劑所構成之樹脂混合物而形成。 (本發明之多層印刷電路板之製造方法) 在本發明之多層印刷電路板之第i製造方法, 表好是採用包括以下戶斤干夕, 符乂卜所不之(a)〜(d)之各個製程之 徵之製造方法。 形成在支持薄膜之表面構成2μιη〜ΐ2^^厚度之 底層塗料樹脂層之樹脂組成物被覆膜,成為半硬化狀態之 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片製造製程。 (b)對於包括構成多層印刷電路板之内層電路之内層 電路基板之内層電路形成面,重疊前述附有支持薄膜之: 層塗料樹脂薄片之底層塗料樹脂面而成為層積之狀態,除 去支持薄膜之底層塗料樹脂薄片層積製程。 ,(C )藉由在前述底層塗料樹脂薄片上,重疊黏合 導體層形成用今屬吃,、隹^ … 用I屬V自,進仃熱間沖壓加工,而進行層積, 成為包括藉由加熱而使得底層塗料樹脂薄片追隨於;層灵 板之表面形狀所發生變形之底層塗料樹脂層之多 =
板之沖壓加工製程。 曰I
2213-6721-PF 9 1289421 (d )藉由蝕刻加工前述多層銅箔基板之外層鋼箔,而 形成外η層電路,來成為多層印刷電路板之外層電路蝕刻製 程。 Χ U A 本發明之多層印刷電路板之第2製造方法, 最好是採用包括以下所示之(a)〜(c)之各個製程之特 徵之製造方法。 、 (a) 將構成底層塗料樹脂層之樹脂組成物,來塗敷在 内層電路基板之内層電路形成面,形成2μιη〜12μ^厚度之 半硬化狀態之底層塗料樹脂層之底層塗料樹脂塗敷製 (b) 藉由在前述底層塗料樹脂層上,重疊黏合片及導 體層形成用金屬箔,進行熱間沖壓加工,而進行層積,成 為包括沿著内層基板表面形狀之底層塗料樹脂層之多層銅 箔基板之沖壓加工製程。 (c) 藉由蝕刻加工前述多層銅箔基板之外層銅箔,而 形成外層電路,來成為多層印刷電路板之外層電路蝕刻製 程。 里在本發明之多層印刷電路板之第3製造方法, 最好是採用包括以下所示之(a)〜(d)之各個製程之特 徵之製造方法。 (a) 形成在支持薄膜之表面構成2μιη〜ΐ2μιη厚度之 底層塗料樹脂層之樹脂組成物被覆膜,成為半硬化狀態之 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片製造製程。 (b) 對於包括構成多層印刷電路板之内層電路之内層 電路基板之内層電路形成面,重疊前述附有支持薄膜之底 2213-6721-PF 10 ;1289421 之狀態,除 層塗料樹脂薄片之底層塗料樹脂面而成為層積 去支持薄韻之底層塗料樹脂薄片層積製程:、 (c )藉由在前述底層塗料樹脂簿 f Μ ^ 溥片上,重疊附有樹脂 之金屬杂,進行熱間沖壓加工,而進 订層積,成為包括藉 由加熱而使得底層塗料樹脂薄片追隨於内層基板之表面带 狀所發生變形之底層塗料樹脂層之多層銅箱基板之沖壓力: 工製程。 ,⑷藉由㈣加工前述多層銅箱基板之外層銅箱,而 形成外層電路,來成為多層印刷電路板之外層電路姓刻製 程0 在本發明之多層印刷電路板之第4製造方法, 隶好是採用包括以下所示之卩彳, 卜所不(〔a)〜(〇之各個製程之特 徵之製造方法。 (a)將構成底層塗料樹脂層之樹脂組成物,來塗敷在 内層電路基板之内層電路形成面,形成2μπι〜12μιη厚度之 半更化狀恶之底層塗料樹脂層之底層塗料樹脂塗敷製程。 (b )藉由在前述底層塗料樹脂層上,重疊附有樹脂之 金屬泊,進行熱間沖壓加工,而進行層積,成為包括沿著 内層基板表面形狀之底層塗料樹脂層之多層銅箔基板之沖 壓加工製程。 (c )藉由餘刻加工前述多層銅箔基板之外層銅箔,而 幵y成外層電路’來成為多層印刷電路板之外層電路蝕刻製 程0
1盘在本發明所記載之多層印刷電路板之第5製 2213-6721-PF 11 1289421 造方法,最好是採用包括以下所示 製程之特徵之製m ⑴〜u)之各個 (〇形成在支持薄膜之表面構成2μιη〜ΐ2_厚产之 底層塗料樹脂層之樹脂組成物被覆膜,成為半硬化狀^ 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片製造製程。 (b)對於包括構成多層印刷電路板之内層電路之内層 電路基板之内層電路形成面,重疊前述附有支持薄膜之^ 層塗料樹脂薄片之底層塗料樹脂面而成為層積之狀態,除 去支持薄膜之底層塗料樹脂薄片層積製程。 (C)藉由在前述底層塗料樹脂薄片上,重疊含有骨格 材並且附有樹脂之金屬箱,進行熱間沖壓加工,而進=層 積,成為包括藉由加熱而使得底層塗料樹脂薄片追隨於= 層基板之表面形狀所發生變形之底層塗料樹脂層之多層鋼 箔基板之沖堡加工製程。 (d)藉由蝕刻加工前述多層銅箔基板之外層鋼箔,而 形成外層電路,來成為多層印刷電路板之外層電路蝕刻製 程0 麗一造;T ’会6 ··在本發明之多層印刷電路板之第6製造方法, 最好是採用包括以下所示之(a)〜((〇之各個製程之特 徵之製造方法。 (a)將構成底層塗料樹脂層之樹脂組成物,來塗敷在 内層電路基板之内層電路形成面,形成2μηι〜12μιη厚度之 半硬化狀態之底層塗料掛脂層之底層塗料樹脂塗敷製程。 (t))藉由在洳述底層塗料樹脂層上,重疊含有骨格材 2213-6721-PF 12 ;1289421 ^ 並且附有樹脂之金屬箔,進行熱間沖壓加工,而進行層積, 成為包括沿著肉|基扳表面形狀之底層塗料樹脂層之多層 鋼箔基板之沖壓加工製程。 (c )藉由蝕刻加工前述多層銅箔基板之外層鋼箱,而 形成外層電路,來成為多層印刷電路板之外層電路蝕刻製 程。 並且附有樹脂之金屬箔之寧μ告方社二二该=,在 从上敘述之製造方法中之所使用之含有骨格材並且附有樹 月曰之金屬箔係最好是使用經過以下所示之(a)〜(e)之 各個製程所製造者。 (a )使用液體狀熱硬化性樹脂,在金屬箔之表面上, 形成液體樹脂層’來作為既定厚度之被覆膜之液體樹脂被 覆膜形成製程。 (b)藉由仍然以原來之狀態,來乾燥位處於金屬羯表 面上之液體樹脂層,而成為乾燥樹腊層之預備乾燥製程。 (C)藉由在位處於金屬落表面上之前述乾燥樹脂層之 表面,重疊成為骨格材之骨格材,進行預備加熱及壓合, 而假貼合骨格材之預備接合製程。 + U)在金屬笛之表面上仍然載置骨格材之狀態下,在 樹月曰可能再流動之溫度,進行加熱,在該骨 硬化性樹脂成分之樹脂含浸製程。 …、 匕 )在、、Ό束树熊之含次時,不完全地硬化熱硬化性樹 、馬上進行降’皿操作,維持含浸於骨格材之熱硬化性樹 脂之半硬化狀態而成為含有骨袼材並且附有樹脂之金屬笛
2213 -6721-PF 13 1289421 • 之降溫製程。 ^ Civ:择著,前述底層 塗料樹脂層之形成所使用之樹脂組成物係最好是藉由以下 之(a )及(b )之製程而調整成為一定之樹脂固態成分比 率。 (a)成為混合20〜80重量份之環氧樹脂、20〜80重 里伤之可溶解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物。 (b )使用有機溶劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 脂固癌成分25重量%〜40重量%之樹脂組成物。 樹脂層之構成榭脂組#物(2 ):此外,在藉 由塗敷法而形成前述底層塗料樹脂層之狀態下之所使用之 樹脂組成物係最好是藉由以下之(a)及(b )之製程而調 整成為一定之樹脂固態成分比率。 (a)成為混合20〜80重量份之環氧樹脂、20〜80重 量份之可溶解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物。 (b )使用有機溶劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 脂固態成分8重量%〜15重量%之樹脂組成物。 【發明之效果】 本發明之多層印刷電路板係即使是在内層電路之表 面9不進行特別之粗化處理,也保持和絕緣樹脂層間之良 好之密合性。接著,可以省略用以提高習知之内層電路表 面和絕緣樹脂層間之密合性而進行之黑化處理等之粗化處 2213-6721-PF 14 1289421 理。 【實施方式】 以下,顯示關於本發明之「多層印刷電路板」和「多 層印刷電路板之製造方法」之實施形態及實施例。 <多層印刷電路板之形態> 本毛明之多層印刷電路板1係具有在圖1呈例舉地顯 7 示〜°〗面者,來作為某一例子。在此,作為多層印刷 包路板係u己載所謂4層基板,但是,彳區別4層基板和多 層印刷電路板而稱為屏蔽板之狀態發生。因此,本發明之 所謂多層印刷電路板係如果是在内部具有内層電路Ci並 在卜層匕括外層電路Co的話,則明顯地無關係於導體層 之層數目。 首先本發明之包括内層電路之多層印刷電路板係「一 種多層印刷電路板,係包括内層電路之多層印刷電路板, 其特徵在於:在不施行粗化處理之前述内層電路和絕緣樹 曰層之間包括僅藉由樹脂所構成之底層塗料樹脂層。」。 該多層印刷電路板1係至少在内層電路Ci和絕緣樹脂層5 之間配置底層塗料樹脂層P。因此,底層塗料樹脂層p 係正如圖1所示,即使是進行配置而被覆内層基板IB表層 之整體,也並無任何問題發生。 並且’此時之内層電路Ci之表面係並無對於其表面施 仃任何之黑化處理等之粗化處理或者是藉由異種金屬等之 所造成之防銹處理。構成此時之内層電路Ci者係能夠使用 電解銅箔及壓延銅箔等之全部銅箔,並無限定於種類、厚 2213-6721-pf 15 •1289421 •纟。並且,在電解銅箔之狀態下,認為光澤面及粗面之兩 面來戒為對象。 在此’内層電路Ci之表面粗糙度係 粗化處理之狀態下,表面粗糖度(Rz)成為_以; 該表面粗縫度(Rz)成為2μηι以下時,由於使得成為高頻 區域之訊號電流飛濺之起點之凹凸呈減少,層間之串音特 性急劇地穩定化之緣故。在本發明,並非電解㈣之粗曰面, 即使是光澤面(Rz成為18阿以下),也可以由於底層塗 料樹脂層之存在,來得到對於充分之層間絕緣層之良好之 接合強度。 接著,該底層塗料樹脂層係僅藉由樹脂所構成,成為 不包含骨格材之層。顯示本發明之多層印刷電路板之内層 電路之剖面者係藉由圖2所示之光學顯微鏡所造成之剖面 &察相片由該圖2而明白地顯示:底層塗料樹脂層p係 成為呈變薄地覆蓋内層電路Ci之單獨之樹脂層,存在於内 層基板IB之表面而追隨著内層基板之表面形狀。 可以藉由像這樣設置底層塗料樹脂層,而不粗化内層 一路Ci之表面,來確保構成層間絕緣層之樹脂和内層電路 表面間之良好之密合性及密合穩定性。 接著’可以藉由在前述内層電路Ci之表面,設置錫、 、/、或這二之a金之表面處理層,而在和底層塗料樹脂層p 之間,來提高密合性。為了形成該錫、鎳或這些之合金之 表面處理層’因此,可以採用:(I )在形成電路前之金 屬箱之階段,預先地形成在金屬箱之表面;或者是,(11)
2213-6721-PF 1289421 在形成内層電路以德雜由雪供玉楚 ^设,猎由電鍍法4而形成等之方法。 疋,採用後者之(I)者孫可以形成表面處理層至: 電路之側面部為止,内層電路之整體和底層樹 之密合性變得良好。在此提到之電鐘法係可以是m = 鍍法、電解電鍍法或者是組合這些而使用’伸是, 層電路成為複雜之形狀之狀態發生,如果可以由電著時之 均一性來說的話,則最好是採用電解電鍍法。 在形成鎳層來作為表面處理層之狀態下,能_泛地 使用作為鎳電鍍液所採用 - 鉾之禮μ例如成為(1)使用硫酸 二鎳浪度成為5〜3()g/1、液溫2〇〜5Gt、ρΗ值2〜4、 ::密度0.3〜10A/dm2之條件;㈤使 度成為、焦顧钾5〇〜5〇〇g八液溫2〇〜^辰 PH值8〜U、電流密度〇.3〜1〇A/dm2之條件,· 用硫酸鎳之鎳濃度成為1〇〜 使 溫HPH值2〜4、電〜6〇g/1、液 電机费度1〜50A/ dm2之條件. 以及其他-般之瓦兹鍍鎳浴之條件等。 , 在形成錫層來作為表面處理層之狀態下,能狗使 為錫電鍍液所採用之溶液。例如 m ^ ^ jl 成為(1)使用硫酸亞锡之 錫浪度成為5〜30g//〗、液溫2〇〜 之 密度0.3〜U)A/dmk條件]C2〜4、電流 ,.〇A 、 (U)使用硫酸亞錫之錫濃声 ^卜硫酸濃度7G〜Wg/卜液溫2G〜35/ 二盼了UG〜12Gg/1、明膠1〜Μ、β-萘朌。.5〜2g /1、電流费度0_3〜3A/dm2之條件等。 g 在形成鎳一鋅合金層來作 馬表面處理層之狀態下,例
2213-6721-PF • 1289421 如成為:使用硫酸鎳之鎳濃度成為1〜2.5g/l、使用焦磷 •之鋅濃度成為0_1〜1§ 皿υ〜50°C、pH值8〜11、電流密度0·3〜10A/dm2之條 件等。 在形成鎳一録合金層來作為表面處理層之狀態下,例 成為··硫酸鈷80〜180g/;l、硫酸鎳80〜120g/^、硼酸
2 Q 4〇g/ 1、氯化鉀1〇〜15g/l、磷酸二氳化鈉〇.1〜I5g 、液溫30〜50°C、pH值3.5〜4·5、電流密度1〜l〇A/ dm2之條件等。 在形成鎳一磷合金層來作為表面處理層之狀態下,例 如成為··硫酸鎳120〜18〇g/卜氯化鎳35〜55g/1、H3P〇4: 3 〇 5〇g/l、H2P〇3 : 20 〜40g/卜液溫 70 〜95°c、pH 值 15、電流密度5〜50A/ dm2之條件等。 在心成錫氣合金層來作為表面處理層之狀態下,例 如成為··硫酸亞錫20〜4〇g/卜乙酸鉛15〜25g/卜焦磷 酸納100〜200以卜謝八.2鈉15〜25g/1、pEG—3〇〇〇 : 。卜甲醛37%水溶液〇.3〜1ml/卜液溫45〜55 C、PH值8〜10、電流密度5〜2〇A//dm2之條件等。 在形成鎳一鈷一鐵合金層來作為表面處理層之狀雜 下’例如成為··硫酸鈷50〜,幻、硫酸錄5〇〜3〇〇Μ 硫酸亞鐵5G〜綱g/1、賴3Q〜5Qg/i、液溫Μ〜饥、 阳值4〜5、電流密度1〜ΙΟΑ/dm2之條件等。 ^外,可以藉由成為在前述内層電路〇和底層塗料樹 曰曰之間來包括石夕燒黏合劑層(省略圖示)之多層印刷 2213-6721-PF 18 ' 1289421 - 電路板,而確保構成層間絕緣層之樹脂和内層電路表面間 之更加夜择之廯合性及密合穩定性。在此提到之矽烷黏人 劑層係改善並無進行粗化處理之内層電路表面和底層塗料 樹脂層間之潤濕性,發揮作為用以提高在基材樹脂I進行 沖壓加工時之密合性之助劑之功能。因此,在存在前述表 面處理層並且在該表面處理層上存在矽烷黏合劑層時,變 得更加理想。但是,印刷電路板之内層電路之黑化處理面 之剝離強度係可以像向來一樣高。但是,近年來係藉由餘 刻技術之精度提升而消除蝕刻時之電路剝離,確立印刷電 路板業界之印刷電路板之處理方法,也消除各種問題。因 此,在近年來,如果是至少0.8kgf/cm以上之剝離強度的 話,則可以說是現實之使用,如果是10kgf/cm以上的話, 則可以說是並無任何問題存在。 在考慮這些現實之狀況時,藉由在矽烷黏合劑,使用 以最一般之環氧官能性矽烷黏合劑為首之烯烴官能性矽 烧、丙烯官能性石夕烧等之各種,而在電解銅箱之光澤面和 RF—4黏合片之間,設置底層塗料樹脂層,進行貼合,在 測定剥離強度時,得到〇.8kgf/cm前後之剝離強度。但是, 在使用胺基官能性矽烷黏合劑或毓基官能性矽烷黏合劑 時,該剥離強度係特別最好是h〇kgf/cm以上。 更加具體地明示在此可以使用之矽烷黏合劑。可以使 用以相同於構成印刷電路板用之黏合片之破纖布之所採用 之同樣之黏合劑來作《中心《乙烯基三甲氧基石夕⑥、乙稀 基苯基三甲氧基矽烷、γ—甲基丙烯醯基丙基三甲氧基矽 2213 ~6721-PF 19 •1289421 規、丫一環氧丙氧基丙基三▼氣美 :甲童其。 虱基矽烷、4~環氧丙基丁基 一甲翁基矽烷、γ —胺基兩基 焚、 礼基矽烷、N- β (胺基乙 基)Υ—胺基丙基三甲氧基矽烷、ν—3— —乙 負其、丁片甘、祛 (4~(3 —胺基丙 土)丁虱基)丙基一 3~胺基丙基= 栌、-〜性 土一 Τ巩基矽烷、咪唑矽 &二「嗪㈣、γ-縣丙基三甲氧基錢等。 在多層印刷電路板中,前述底 e甘^ 、低增塗枓樹脂層Ρ係最好 疋八σ1】面厚度成為1 gm〜1 〇 。 K 成為此種之薄樹脂層者係 由於在製造本發明之多層印刷雷 、 丨刷電路板時之熱間沖壓加工之 際,製作出即使是軟化底層塗料樹 曰主Τ+树舳層也幾乎不發生樹脂 之狀悲之緣故。在習知之辆炫 &之銅泊和樹脂基材間之貼合,在 銅箔之粗化面,具有凹凸,引扭女 片— 引起空軋之混咬等,兼具該脫 孔藉由lm尺寸之銅箱基板,❿由端部開始,刻意地引 起5麵〜15麵程度之樹脂流。但是,在本發明之多層印 刷電路板之狀態下,幾乎不引起該樹脂流,但是,在確保 不進行粗化處理之内層電路和層間絕緣樹脂間之良好之密 合性之方面’成為最重要之要因。 在本件說明書’樹脂流係藉由以下之方法所測定之 值。也就是說’在本發明,將底層塗料樹脂層之構成所使 用之樹脂,塗敷在既定厚度之銅箱之單面上,成為半硬化 樹脂層,使得這個錘l〇cm角形,採樣4片,使用這個,來 作為樹脂流測定用試料。在重疊該4片之樹脂流測定用試 料之狀悲下’在沖壓溫度17 rc、沖壓壓力14kgf/ cm2、 沖壓時間10分鐘之條件,進行貼合,按照數學式丨而計算 及求出此時之樹脂流。但是,本件說明書之樹脂流之測定 2213-6721-PF 20 1289421 係在仍然直接地使用本發明之多層印刷電路板之所使用之 塗敷厚度之方面’缺、乏署測定精度,因此,刻意地製造40μιη 厚度之樹朐層,使用這個來作為試料。記載成為參考,但 疋,在使用通常之黏合片時,通常之附有樹脂之銅箔(4〇μπι 厚度之樹脂層)之樹脂流係2〇%前後。 【數學式1】 樹脂流= 流出樹脂重量
----~~----— xlOO (層積體重量)一(銅箔重量) 在該底層塗料樹脂層Ρ未滿1μιη時,即使是無論看見 平滑並且無凹凸存在之内層電路基板,也不容易以均勻之 厚度來被覆其表面。相對於此,纟多層印刷電路板中之底 層塗料樹脂層超過10μηι時,在承受熱撞擊時,容易引起 内層电路4之界面剝離(脫層)。此外,該底層塗料樹脂 層之厚度係認為塗敷在每lm2之完全平面時之換算厚度。 _在此關於構成底層塗料樹脂層之樹脂組成物而進行 、,在本毛明所使用之樹脂組成物係可以大致分類成為 2種類。因此’成為第!樹脂組成物和第2樹脂組成物而 進行說明。 (第1樹脂組成物) Μ树月曰、、且成物係由J哀氧樹脂、硬化劑、可溶解於溶 片丨了之方香族聚酿胺樹脂乎人%、丨v A曰 ί知來a物以及配合於需要而添加適 虽ϊ之硬化促進劑所構成。 在此提到之所謂「環氧樹脂」係在分子内具有2個以 之被軋基,如果能狗使用於電氣.電子材料用途的話,則
2213-6721-PP 21 .1289421 可以並無特別問題而進行使用 、、曰人好/古田士德* 疋在其中,也最好是 :合^制相I魏 脂、雙苯盼S型環氧樹脂、紛 2㈣ 環氧樹脂、脂環式環氧樹脂、漠化二 型裱軋樹脂之群組所選出之丨種或2種 土 :環氧樹脂係成為樹脂組成物之主體,以20重量份〜 8〇重量份之配合比例而進行使用。但是,認為在此包含以 ^述之硬化劑/因此’在包含硬化劑之狀態下之該環氧 树月曰未滿20重量份之狀態下,無法充分地發揮熱硬化性, 無法能夠充分地發揮和基材樹脂之作為黏合劑之功能以及 和銅箱間之密合性,在超過8G重量份時,使得在成為樹脂 洛液日守之黏度變得過度高,在對於㈣表面之均勻厚 塗敷變得困難,_,無法得到和後面敘述之芳香族^ 胺樹脂聚合物之添加量間之平衡,無法得到硬化後之充分 之動性。 接著,環氧樹脂之所謂「硬化劑」係可以規定環氧樹 脂和引起交聯反應之其他成分,但是,特別是在稱為硬化 劑之狀態了,使用二氰基二醯胺、咪唑類、芳香族胺等之 胺類、雙苯酚A、漠化雙苯盼A等之苯g分類、苯酚酚醛樹 脂及甲酚酚醛樹脂等之酚醛類、苯二甲酸酐等之酸酐等。 硬化劑相對於環氧樹脂之添加量係自行由各個當量來導 出’因此,涊為不需要原本嚴密地明記其配合比例。因此, 在本發明,並無特別地限定硬化劑之添加量。 接著,所謂「芳香族聚醯胺樹脂聚合物」係反應芳香 2213-6721-PF 22 /1289421 ::=和橡膠性樹脂而得到。在此,所謂芳香族聚 成。在此時之芳香族二胺,使用4,4,_二胺二苯基甲烷、 3,P—二胺二笨基楓、m—二甲苯二胺、3,p〜氧化二 等。接著,在二叛酸,使用笨二甲酸、異苯二甲酸、對苯 二甲酸、富馬酸等。 …接著、’所謂反應於該芳香族聚醯胺樹脂之橡膠性樹脂 係記載成為包含天然橡膠及合成橡膠之概念,在後者之合 成橡膠,有笨乙烯一丁二烯橡膠、丁二烯橡膠、丁基橡膠、 乙烯一丙烯橡膠等。此外,在確保形成之介電質層之耐熱 性之際,也有用於選擇及使用包括腈橡膠、氣丁二烯橡膠、 石夕橡膠、胺基甲酸乙S旨橡㈣之耐熱性之合成橡膠。關於 這些橡膠性樹脂,反應於芳香族聚醯胺樹脂而製造共聚 物,因此,最好是在兩末端,包括各種官能基。特別是有 用於使用CTBN (羧基末端丁二烯腈)。 成為構成芳香族聚醯胺樹脂聚合物之芳香族聚醯胺樹 脂和橡膠性樹脂係最好是以所謂芳香族聚醯胺樹脂25重 量%〜75重量%、殘餘部成為橡膠性樹脂之配合比例而進 行使用。在芳香族聚醯胺樹脂未滿25重量%之狀態下,橡 膠成分之存在比率變得過度大,變差於耐熱性,另一方面, 在超過75重量%時,芳香族聚醯胺樹脂之存在比率變得過 度大,硬化後之硬度變得過度高而變脆。 在該芳香族聚醯胺樹脂聚合物,首先要求所謂可溶解 於溶劑之性質。該芳香族聚醯胺樹脂聚合物係使用於2 〇重 2213-6721-PF 23 1289421 ^ 0重羞份之配合比例。在芳香族聚醯胺樹脂聚合物 未滿獅重量份之狀態下,在進行銅箔基板之製造之一般之 冲^條件下,進行過度硬化而變脆,容易在基板表面,產 生微破4。另一方面,超過8〇重量份,即使是添加芳香族 聚醯胺樹脂聚合物,也並無特別阻礙,但是,超過80重量 份,即使是添加芳香族聚醯胺樹脂聚合物,也無法提高這 個以上之硬化後之強度。因此,如果考慮經濟性的話,則 可以說是80重量份成為上限值。 所謂「配合於需要而添加適當量之硬化促進劑」係3 級胺、咪唑、尿素系硬化促進劑等。在本發明,該硬化促 進劑之配合比例係並無特別設置限定。為何如此,由於硬 化促進劑可以考慮在銅箔基板製造之製程之生產條件性等 而使彳于製造者呈任意選擇性地決定添加量之緣故。 (弟2樹脂組成物) 該第2樹脂組成物係由環氧樹脂(包含硬化劑)、聚 醚楓樹脂、以及配合於需要而添加適當量之硬化促進劑所 構成。 在此提到之所謂「環氧樹脂」係可以適用相同於第1 樹脂組成物之狀態之同樣之概念,因此,省略在此之說明。 但是’使用於該第2樹脂組成物之構成之樹脂組成物係最 好是儘可能呈選擇性地使用多官能型環氧樹脂。 該環氧樹脂係成為樹脂組成物之主體,以5重量份〜 50重量份之配合比例而進行使用。但是,認為在此包含相 同於第1樹脂組成物之部位所敘述之同樣之硬化劑。因 2213-6721-PF 24 .1289421 二 此,在包含硬化劑之狀態下之該環氧樹脂未滿5重量份之 狀態不,無法充分地潑揮熟硬化性,無法能夠充分地發揮 和基材樹脂之作為黏合劑之功能以及和銅箔間之密合性, 在超過50重量份時,無法得到和聚醚楓樹脂之添加量間之 平衡’無法得到硬化後之充分之韌性。 聚驗楓樹脂係必須具有在末端包括氫氧基或胺基之構 造並且可溶解於溶劑。由於如果在末端沒有氫氧基或胺基 的話,則不進行和環氧樹脂間之反應,如果無法可溶解於 溶劑的話,則不容易進行固態成分之調整之緣故。接著, 考慮和前述環氧樹脂間之平衡,使用於50重量份〜95重 ϊ份之配合比例。該聚醚楓樹脂係使得構成印刷電路板之 絕緣層之吸水性變低,使得作為印刷電路板之表面絕緣電 阻之變動變小。在聚醚碉樹脂未滿50重量份之狀態下,藉 由除膠渣處理液所造成之樹脂之損傷急劇地變得激烈。另 一方面’在聚醚碉樹脂超過95重量份時,容易在260°C之 銲錫浴’發生在進行重熔之銲錫耐熱試驗之膨脹。 接著,所謂「配合於需要而添加適當量之硬化促進劑」 係3級胺、咪唑系、三苯基磷化氫所代表之磷化合物、尿 素系硬化促進劑等。在本發明,該硬化促進劑之配合比例 係並無特別設置限定。為何如此,由於硬化促進劑可以考 慮在沖壓製程之生產條件性等而使得製造者呈任意選擇性 地決定添加量之緣故。 <多層印刷電路板之製造形態> 本發明之多層印刷電路板之製造形態係由於在底層塗 2213-6721-PF 25 1289421 厂柯月曰層之$成方法,使用底層塗料樹脂薄片,或者是將 树月曰組成物來塗教在内層電路基板表面而變得不同。接 著還可以藉由將形成於底層塗料樹脂層上之絕緣層和導 電曰如何形成而進行分別。因此,最初分別底層塗料樹脂 層之形成方法而進行說明。 士首先關於在底層塗料樹脂層之形成來使用底層塗料 树脂薄片之方法而進行說明。在此種狀態下,經過附有支 寺薄膜之底層塗料樹脂薄片製造製程和底層塗料樹脂薄片 層積製程。 樹脂簿片製造贺葙:在此,首先 藉由以下敘述之製程1、製程π之順序而調整底層塗料樹 :層之形成所使用之樹脂溶液,在支持薄膜?上,以】叫 :12师之厚度部》,來塗敷該樹脂溶液,成為半硬化狀 悲’得到圖3 〇)所示之附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄 關於底層塗料樹脂層p之形成所使用之樹脂溶液之調 ^而進行說明。首先在製程!,混合2Q〜⑼重量份之環氧 树脂(包含硬化劑)、20〜8〇重量份之可溶解於溶劑之芳 香族聚醯胺樹脂聚合物、以及配合於需要而添加適當量之 ::促進劑’來成為樹磨混合物。關於在此記載之各個社 成物及配合比例之各個說明係已經敘述於上面,因此,重 複在此之說明,所以,省略記载。 接著,在製程U 環戊酮之其中任何一 ’使用有機溶劑、 種溶劑或者是這些 例如f基乙基晴和 之混合溶劑而溶解 2213-6721-PF 26 /1289421 〇述樹月日此〇物,成為樹脂固態成分25重量%〜4〇 由在埶間沖嚴·Λ + 4 n糸谷易精 、,… 加工日守之熱履歷而效率良好地揮發及除去, 亚且’也容易進行揮發性氣體之淨化處理,而且 冑成為最適合於樹脂溶液之黏度來塗敷smi表面之黏^ - 在此,即使是具體地列舉之溶劑以外, 如果能夠溶解在本發明所使用之全部之樹脂成分的話 並非其使用變得不可能之理由。 、 y以使甩二甲基甲醯胺、二曱基乙醯胺、ν_甲基吡咯 烧嗣等來作為有機溶劑。但是,由環境之觀點來看的話, 則使S f |乙基酉同和環戊_之混合溶劑而進行溶解者係最 適合於現階段。在成為混合溶劑之狀態下之混合比例,並 無特別限定,但是,也認為環戊國係使用在芳香族聚酿胺 樹脂聚合物之調整清漆等而不可避免地混入;假設不可避 免地此入%戊酮,考慮在認為作為印刷電路板用途時之熱 履歷之揮發除去之速度,最好是使得甲基乙基明成為其共 存溶媒。 使用在此敘述之溶媒而成為樹脂固態成分25重量% 〜40重1 %之樹脂溶液。在此所示之樹脂固態成分之範圍 係在塗敷於支持薄臈之表面時,可以使得膜厚之精度變得 隶加良好之範圍。在樹脂固癌成分未滿25重量%之狀雄 下,黏度變得過度低,不容易在塗敷至支持薄膜之表面後, 即刻進行流動而確保膜厚均勻性。相對於此,在樹脂固態 成分超過40重量%時,黏度變高,不容易進行對於支持薄 2213-6721-PF 27 Ί289421 膜表面之薄膜形成。 下在=上得到之掛聽^ 、,於塗敷方法,並無特別限定。但是,如果認為必: 呈精度良好地塗敷1μιη〜12μιη之換算厚 —、 女早善你田士 ^ 和 又口戸刀的話’則最 1於㈣形成之所謂照細版印刷塗敷器。此 地4.用,薄膜之表面形成樹脂皮膜後之乾燥係可以適杏 熱條件。 卞文化狀悲之加 在此,可以使用作為支持薄膜者係 氟樹脂薄膜、聚乙烯薄膜等。、/、、ΕΝ薄膜、 在該製程,正如圖3⑺ 所不’對於包括構成多層印刷電路板之内層電路之内層電 路基板之内層電路形成面,相互地重疊前述附有支㈣膜 之底層塗料樹脂薄片之底層塗料樹脂面,成為圖3(3)所 示之層積狀態,接著,正如圖3⑷所示,除去支持薄膜。 接者,在設置石夕炫黏合劍層之狀態下,正如前面敛述, 在對於内層基板ΙΒ之内層電路形成面來相互地重疊前述 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片2之前,在前述内層電 路面,吸附石夕烧黏合劑。此外,在圖式中,省略石夕㈣合 劑層之記載。 矽烧黏合劑層之形成係一般使用之浸潰法、喷淋環圈 法、喷霧法等,並無特別限定方法。可以配合於製程設計 而任意地採用能夠呈最均勻地接觸及吸附内層電路面和包 含石夕烧黏合劑之溶液之方法。 2213-6721-PF 28 / 1289421 這些矽貌黏合劑係以〇·5〜i〇g/i來溶解於作為溶媒 之水’使用在室溫拉、準之溫度。矽烷黏合劑係藉由縮合及 結合在突出於銅箔表面之0H基而形成被覆膜,即使是無 用地使用高濃度之溶液,也無法顯著地增大其效果。因此, 向來係應該配合於製程之處理速度等而決定。但是,在低 於0.5g/ 1之狀態下,矽烷黏合劑之吸附速度變得缓慢,不 合乎一般之商業基底之合算,吸附也變得不均勻。此外, 即使是超過lOg/Ι以上之濃度,也無法使得吸附速度變得 特別迅速,以致於變得不經濟。 另外一種底層塗料樹脂層之形成方法係將樹脂組成物 塗敷於内層電路基板表面。因此,需要所謂將構成底層塗 料樹脂層之樹脂組成物來塗敷於内層電路基板之内層電路 形成面而進行乾燥之作業。 皇^塗料樹脂ϋ製程:為了將構成底層塗料樹脂層之樹 脂組成物來塗敷於内層電路基板之内層電路形成面,因 此,最好是正如圖4 (Α)所示,將内層電路基板Ιβ浸潰 及上拉至樹脂組成物R中,或者是正如圖4(β)所示,藉 由喷射法而呈均勻地將樹脂組成物R吹附及塗敷於内層電 路基板IB之表面之方法。後者係特別適合於僅在内層電路 基板之單面來形成底層塗料樹脂層之狀態。接著,進行加 熱乾燥而形成Ιμηι〜12μιη厚度之半硬化狀態之底層塗料 樹脂層。關於此時之乾燥條件等,並無特別之限定,可以 考慮以下之沖壓製程等而適當地調節乾燥位準。 此外,在此提到之樹脂組成物係可以使用相同於前述 2213-6721-PF 29 1289421 底層塗料樹脂薄片所採用之同樣之樹脂組成物。但是,為 了採得塗教法並且旅嚴浸潰法及噴射法,因此,必須使得 樹脂組成物之溶液性狀符合於該加工法。也就是說,在考 慮成為樹脂溶液時之固態成分含有量係必須更加少於加工 成為薄片狀時。因此,樹脂固態成分量係最好是8重量% 〜15重量%。在該樹脂固態成分量超過15重量%時,在 浸潰法之除液變差,在噴射法之噴射均勻性變差。另一方 面,在樹脂固態成分量未滿8重量%之狀態下,作為樹脂 溶液之黏度係變得過度低,不容易進行樹脂膜對於内層電 路基板表面之形成。此外,如果考慮製程之穩定性的話, 則更加理想是使得在藉由塗敷法所使用之狀態下之樹脂溶 液之樹脂固態成分量成為1〇重量%〜12重量%之範圍。 Μ加工製龟·:在該沖壓加工製程,正如前面敘述,將底 層塗料樹脂薄片設置於内層電路基板表面,或者是在藉由 塗敷而將半硬化狀態之底層塗料樹脂層來設置在内層電路 基板表面者之表面,還形成絕緣層和導電層,成為多層金 屬泊基板之製程。接著,可以採用以下敘述之複數種之方 法。以下,參照圖式,並且,就各種而進行說明。 (使用一般之黏合片之方法) 該狀悲下之順序係正如前面敘述,在除去支持薄膜F 之底層塗料樹脂薄片3上,相互地重疊黏合片5及金屬箔 6’層積成為圖5 (5)所示之狀態。接著,藉由以圖5 (6) 所不之狀態,進行熱間沖壓加工及貼合,而正如圖5 ( 7)
所示’成為包括藉由加熱來使得底層塗料樹脂薄片3追隨 2213-6721-PF 30 ♦Ί289421 於内層基板IB之矣而#此& μ w ^ ^ x #面开/狀所變形之底層塗料樹脂層p之多 層銅箱基板Ml »屬於此時之進行沖壓加工時之加熱溫度、 沖壓廢力等而並無特別之限定。此外,在本發明之說明所 使用之圖式中,關於進行沖壓加工而變形後之底層塗料樹 月旨層P’顯示成為去白之層。 接#在使用塗敷法而在内層電路基板之表面來形成 底層塗料樹脂層p之狀態下,已經沿著内層電路基板之表 面形狀而完成底層塗料樹脂層之形狀。在該狀態之内層電 路基板IB之表面,相互地重疊黏合片5及金屬箱6,層積 成為圖6 (a)所示之狀態。接著,藉由進行熱間沖壓加工 及貼合,而正如圖6⑴所示,黏合片5所流動之樹脂成 分,掩埋底層塗料樹脂層p之凹凸,進行硬化而成為多層 銅/白基板Μ1。即使是關於此時之進行沖壓加工時之加孰严 度、沖壓壓力等,也並無特別限定。 …凰 此外,在本件說明f之金屬fg 6,記載成為也包含附 =體H之金屬之概念。附有載體箱之金屬箱係在和金 Λ :之f材間之接合面之相反面,安裝載體箔,在仍然附 ^體箱之狀態下’進行沖壓加工而成為層積板,然後, 二载體羯’同樣地使用在通常之銅箱基板。使用附有栽 -泊之金屬箔之優點係可以防止對於能夠引起於沖壓加工 時之:體層表面之異物附著、污染,而-直到蝕刻加工之 即刻削為止,來保護傷害等之損傷之方面。 (使用附有樹脂之金屬箔之方法) 由圖7 (5)而得知:在此提到之所謂附有樹脂之金屬 2213-6721-ρρ 31 1289421 f 7係包括用以在金屬羯6之接合面來構成印刷電路板之 絕緣層之樹脂層8,在該掛脂層8中,不包含骨格材。 旎夠在構成此時之樹脂層8之樹脂,採用能夠使用在 印刷電路板之絕緣層之構成之樹脂組成之全部。但是,最 好是使用用以構成前述底層塗料樹脂層p之樹脂組成。由 於,用在本發明之底層塗料樹脂層p之構成之樹脂係樹脂 麦〗谷易進行最終製品之絕緣層厚度之控制之緣故。 但是,不需要成為完全地相同於構成底層塗料樹脂層P之 樹脂組成之同樣組成。為何如此,由於通常該附有樹脂之 金屬箔7之樹脂層厚度和底層塗料樹脂層厚度係不同,最 好是任意地選擇用以對於金屬笛表面來形成作為目的之適 當厚度之樹脂厚度之最適當之樹脂組成之緣故。 在該狀態下之順序係在除去圖3 (4)所示之支持薄膜 F之底層塗料樹脂薄片3上,相互地重疊附有樹脂之金屬 箔7之樹脂層8,層積成為圖7 (5)所示之狀態。接著, 正如圖7 (6)所示,藉由進行熱間沖壓加工及貼合,而正 Θ 7 ( 7 )所示,成為包括藉由加熱來使得底層塗料樹脂 薄片3追隨於内層基板岱之表面形狀所變形之底層塗料樹 脂層P之多層銅箔基板M2。即使是關於此時之進行沖壓加 工時之加熱溫度、沖壓壓力等,也並無特別限定。 接著,在使用塗敷法而在内層電路基板之表面來形成 底層塗料樹脂層P之狀態下,已經沿著内層電路基板之表 面形狀而完成底層塗料樹脂層之形狀。在該狀態下之内層 電路基板IB之表面,相互地重疊前述附有樹脂之金屬箔 2213-6721-PF 32 1289421 積成為圖8 (a)所示之狀態。接著,藉由進行熱間 L壓加工及救合,雨正如圖8 (b)所示,附有樹脂之金屬 、 、動之树爿曰層$之樹脂成分係掩埋底層塗料樹脂斧 P之凹Λ,、仓/ 曰 ϋ 進仃硬化而成為多層銅箔基板M2。即使是關於 、進行冲遷加工時之加熱溫度、沖壓屬力等,也並盔 特別限定。 、 (在使用含有骨袼材並且附有樹脂之金屬箔之狀態) 、由圖9 ( 5 )而得知··在此提到之所謂含有骨格材並且 附有樹脂之金屬荡9係包括在金屬箱6之接合面包含用以 (、、Ρ刷電路板之絕緣層之絕緣層之骨格材4之樹脂層 、、以下’稱為「含有骨格材之樹脂層」。),藉由以下敘 述之方法而進行製造。 在使用該含有骨格材並且附有樹脂之金屬箔9之狀態 核j序係在除去圖3 ( 4 )所示之支持薄膜F之底層塗料 、蓴片3上,相互地重疊將含有骨格材並且附有樹脂之 〃屬冶9之月袼材4予以含有之含有骨格材之樹脂層μ, 層積成=圖9(5)所示之狀態。接著,藉由以圖9(6)所 八狀^進行熱間沖壓加工及貼合,而正如圖9 ( 7 )所 成為包括藉由加熱來使得底層塗料樹脂薄片3追隨於 内=基板ΙΒ之表面形狀所變形之底層塗料樹脂層ρ之多層 5 板Μ3即使疋關於此時之進行沖壓加工時之加熱溫 度/中壓壓力等,也並無特別限定。 接著在使用塗敷法而在内層電路基板之表面來形成 底層塗料樹脂層之狀態下,已經沿著内層電路基板之表面
2213-6721-PF 33 -1289421 %» 形狀而完成底層塗料樹脂層之形狀。在該狀態下之内層電 T基板IB之表面,相互地重鲞前述含有骨格材並且附有樹 脂之金屬箔9,層積成為圖1〇(a)所示之狀態。接著,藉 由進仃熱間沖壓加工及貼合,而正如圖1〇⑴所示,包 3於各有月格材並且附有樹脂之金屬帛9之含有骨袼材之 樹脂層1G之樹脂成分係進行流動,掩埋内層電路基板之底 層塗料樹脂層P之凹凸,進行硬化而成為多層銅箱基板 M3。即使是關於此時之進行沖壓加工時之加熱温度、沖壓 壓力等,也並無特別限定。 更加呈不意且容易理解地顯示在此使用之含有骨格材 並且附有樹脂之金屬箔9之剖面者係圖丨丨。在該圖11,顯 不在附著用以提高密合性之微細銅粒之金屬箔6之粗化處 理面11上包括含有骨格材之樹脂層1〇之含有骨格材並且 附有樹脂之金屬箔9,來作為某一例子。 該s有月格材並且附有樹脂之金屬箔9係可以藉由幾 種方法而進行製造,但是,在以下,關於適合在使用薄骨 格材之狀態下之製造方法而進行敘述。追隨圖12所示之製 :而說明第1製造方法。首先,在圖12 (A)所示之金屬 箔6之單面,設置半硬仆夕榮 干更化之弟1熱硬化性樹脂層12。在此 提到之金屬箱6,並非藉由壓延所得到之壓延銅落、藉由 電解所得到之電解銅箱等之特別侷限於製法者,可以是使 用在印刷電路板之電子材料用途上之金屬落。 在構成目12 (B)所示之帛1熱硬化性樹脂層12之樹 脂,一般係使用環氧樹脂。由於廣泛地使用在印刷電路板 2213-6721-PF 34 1289421 用途之緣故。因此,在此,作為摇屮哲,u 卬馮構成弟1熱硬化性樹脂層 12 a # ^ ^ .&. ^ #,, ϋ X ^ ^ ^ ^ t 氣、電子材料領域之印刷電路板的話,則並不需要特別地 限定。該第」熱硬化性樹脂層12係藉由將使用溶劑而成為 液體狀者來塗敷於金屬笛表面之方法或者是藉由貼附半硬 化狀態之樹脂薄膜來進行層麼<方法#,以便於形成在金 屬箱表面。在使用溶劑而成為液體狀之狀態下,例如配合 於環氧樹脂、硬化劑、硬化促進劑,使用甲基乙基嗣等之 溶劑而進行黏度之調整。 、接著,形成於金屬猪表面之第丨熱硬化性樹脂層12係 〜頁維持在半硬化之狀態。由於良好地進行成為以下救述 =不織布或織布之骨格材4之壓合,在不織布或織布中, 仏成疋里之樹脂含浸之緣故。因此,必須在金屬箔6之 表面,塗敷液體狀之樹脂,然後,在成為半硬化狀態之情 況下使用熱風乾燥器等,來調整乾燥位準、硬化度。 在圖12 ( B)之階段,形成於金屬fl 6表面之第1熱 :化锋樹脂層12之厚度係考慮以下敘述之骨格材4之厚度 、、進仃决疋。也就是說,第丨熱硬化性樹脂層12之厚度係 :成為月格材4之厚度以下。在第丨熱硬化性樹脂層12 旱f成為骨格材4之厚度以上時,在骨格材4之壓合時, :成弟1熱硬化性樹脂層12之樹脂係引起橫流,來污染設 在此時,在污染壓合滾軋13時,轉印至進行加工之金 “之表面,結果,引起製品不良。 另_ ^ 面’第1熱硬化性樹脂層12之最低限度厚度係 2213-6721 35 1289421 正如圖12所示,也使得第1熱硬化性樹脂層12形成在具 有金屬領6之凹必之,粗北處理面丨丨上,因此,能夠決定是 否可以完全地被覆該粗化處理面丨丨之凹凸。由於如果金屬 泊6之粗化處理面丨丨之凹凸直接地接觸到骨格材*的話, 則知害到接合穩定性,使得遷移性能呈惡化之緣故。 正如以上,在金屬箔6之表面形成第丨熱硬化性樹脂 層12時,接著,正如圖12 ( c)所示,使用壓合滾軋13, 將骨格材4貼附在第丨熱硬化性樹脂層12。在該骨格材4, 使用不織布或織布,使用來解決前述附有樹脂之銅箔之機 械強度之缺點。接著,該骨袼材4係在第丨熱硬化性樹脂 層12上,使用壓合滾軋13,施加一定之負荷,並且,進 行貼附。也就是說,在半硬化狀態之第i熱硬化性樹脂層 12來貼附骨格材4之狀態下,使用包括加熱裝置之壓合滚 軋1 3,加熱滾軋本身,負載一定位準以上之推擠壓,來進 仃貼附。由於使得構成第i熱硬化性樹脂層12之半硬化狀 “之秘知進行再流動化,將該再流動化之樹脂之一定量之 一部分來含浸於骨格材4之緣故。 在此使用之骨格材4,使用不織布或織布。更加具體 、:最好疋使用·玻璃纖維、採用聚醯胺纖維之不織布 或織,。由於皆在印刷電路板用途,具有長年之使用實績, 成為间可#性之材料之緣故。但是,不織布或織布之材質 :不需要特別限定,可以使用在印刷電路板用途,因此, 月匕夠包括充分之機械性質。 接著’在該骨格材4之厚度,並不存在特別之限定,
2213-6721-PF 36 1289421 =是’如果採用該方法的話,則能夠使用向來無法採用之 二度jOKm从下之薄的不織布或歲布。在習知之不織布或 我布…貝在树月曰劑並且將樹脂劑含浸於不織布或織布而將 上拉之不織布或織布乾燥成為半硬化狀態來成為黏合片之 方法’厚度50叫以下之薄的不織布或者是厚度¥以下 之織布係由於其機械強度之軟弱,因此,馬上就發生破斷、 ,不良。此外’即使是不發生破斷、破損,也由於長 度方向之拉力而進行拉引及延伸,結果,在製造之黏合片 之縱方向和橫方向之膨服、收縮率,產生極大之差里,在 2謂精密印刷電路板所重視之尺寸穩定性,產生重大之缺 但是,如果是採用該含有骨格材並且附有樹脂層之金 屬泊之製造方法的話,則即使是使用厚度5〇μπι以下之薄 的不織布或者是厚度20μιη以下之織布,也並無破斷、破 損。在考慮現在之不織布或織布之製造技術水準時,能夠 進打充分之品質保證所供應之不織布之厚度45叫、織布之 厚度2—者係稱為限度。認為將來可能製造更加薄 織布或織布。 ^像以上而結束不織布或織布之貼合時,在該不織布 或織布上,正如圖12(D)所示’形成構成第2熱硬化性 之半硬化狀態之樹腊層。相同於第丨熱硬化性樹 月曰層12’ -般係使用環氧樹脂。但是,作為在此構成第2 熱硬化性樹脂層14之樹脂係如果是包括熱硬化性之樹於 並且能夠使用在電氣、電子材料領域之印刷電路板的話f 2213-6721-PF 37 •Ί289421 2 =第1熱硬化性樹脂層12,並不需要制地限定。 ^ ^ 2 m ^ 4t Μ ^ Μ Μ 14 ^ ^ # τ ^ # ^ ^ ^ 战弟1熱硬化性樹脂層12之方法。 :著,形成於銅箱表面之第2熱硬化性樹脂層14係必 電:=!硬化之狀態。因為藉由組合及層積其他之印刷 =板材料,進行沖壓成形,而㈣料印刷電路板之構 成材料之緣故。 第2熱硬化性樹脂層14之厚度係考慮以下敘述之骨格 材4之厚度而進行決定。也就是說,正如前面敛述,第1 熱硬化性樹脂層12之厚度係成為骨格材4之厚度以下,因 此,报可能即使是在帛i熱硬化性樹脂I 12,遷合骨格材 4 ’流動構成第1熱硬化性樹脂層12之樹脂,也僅在構成 第1熱硬化性樹脂層12之樹脂,無法成為完全地被覆骨格 材4之狀態。因此,第2熱硬化性樹脂層14係必須形成為 :少:夠完全地被覆骨格材4之表面之厚度。並且,因為 還在第2熱硬化性樹脂層丨4藉由沖壓成形而貼合内層基板 IB時,對於和存在於内層電路Ci表面之底層塗料樹脂層p 間之密合性,來進行穩定化之緣故。 作為得到相同於藉由以上敘述之製造方法所得到之含 有骨格材並且附有樹脂之金屬箔9之同樣製品之另外一種 方法係藉由在金屬箱之單面,設置液體狀熱硬化性樹脂 層,在該熱硬化性樹脂層,載置成為骨格材之不織布或織 布將”亥熱硬化性樹脂層之構成樹脂,含浸於該不織布或 織布,滲出至相反側,利用熱硬化性樹脂層之構成樹脂來 2213-6721-PF 38 1289421 被覆該不織布或織布,成為半硬化狀態,而在銅箱之單面, 形成含有不織布或鐵布之半硬化之絕緣層。 該製造方法係藉由圖13呈概念地顯示之流程而進行 製造。藉由在圖13(A)所示之金屬猪6之單面 13 (B)所不,設置熱硬化性樹脂層15,正如圖13(c) :示,在該熱硬化性樹脂層15之表面,載置骨格材4,接 者’正如圖13 (D)所示,利用構成該骨格材4之玻璃纖 維或聚醯胺纖維之毛細管現象,來含浸熱硬化性樹脂層15 之構成樹脂成分,並且,渗出至相反於和該骨格材4 ^熱 硬化性樹脂層15間之接觸面之相反側,完全地被覆骨格; 之表面而传到圖! 3⑻所示之附有樹脂之銅荡9。因 此,關於該熱硬化性樹脂層15而言,可轉时硬 及液體狀態之2種。 〜 此時’在圖13(C)及圖13(D)所示之製程,考慮 於以了方面,最好是在骨格材4來含浸樹脂,進行骨料 之樹知被覆。也就是說,完全之液體狀態之熱硬化性樹 脂層係藉由塗敷於金屬箱之表面而進行製造,一般係含 ^多量之溶劑。在此種狀態下,不完全地除去該溶劑,'在 :面,置骨格,4而執行以下之製程時,在最後成為半 ’容易在金屬笛6和骨格材4間之熱硬化性 =月曰層15’產生氣泡。因此,在含有多量之溶劑之狀態下, 在骨格材4載置於熱硬化性樹脂層15之表面之前,最好是 進订能夠防止氣泡發生之-定量之溶劑除去。溶劑之除去 係還即使是僅進行風乾,也可以加熱於硬化溫度以下之溫 2213-6721-PF 39 1289421 度區域,來進行溶劑之除去。溶劑之除去位 熱硬化性樹脂、層15之厚产、 ’、σ以考慮 調節,來消除該氣格材4之厚度而任意地進行 之是在載置骨格材4前之熱硬化性樹脂層15 狀:下曰,::化狀態或黏度極為高之狀態。在此種 骨才1材4 ^ U (C)所示,在熱硬化性樹月曰 1 15貼附 〇 您下,相同於前面敘述,使用包括加埶穿置 之磨合滾軋13,加熱滾軋本身,負 力…、衣置 壓,來進行貼附。接著,進、 > 以上之推擠 接者進仃該樹脂成分之硬化溫度以下 硬化性樹脂層15之流動化,利用構成該骨 : 纟璃緘維或聚醯胺纖維之毛細管 硬化性樹脂層15之樹脂’正如圖"⑼所示。 二於和該骨格材4之熱硬化性樹脂層間之接觸面之相; 有:溫至室温,成…⑻所示之含有骨格材2 附有樹脂之金屬箔9。 且 接著,在該方法提収熱硬純樹脂層15係最好是相 〜:成之絕緣層厚度(x(㈣)而成為x-3〇Um) x—3(’)之厚度。例如為了使得絕緣層厚度成為 〜,因此,成為由100— 30= 70陶開始至100 一 !:之熱硬化性樹脂層15,形成於銅猪表面。可以藉由像 :樣,而在銅箱2之表面’形成正如目標之厚度之絕緣層。 在熱硬化性樹脂層15之厚度未滿x—3 最後得到之絕緣層和銅箱層間之充分之密合性,:;使: 成為熱硬化性樹脂層15之厚度超過X— 3 Um)之厚度,
2213-6721-PF 40 * 1289421 也無法增大提升絕緣層和銅箔層間之密合性之效果。此 外在’此所謂之厚度翁在假設成為完金平面之狀態下 面厚度。 _另外,關於銅箔、不織布或織布、熱硬化性樹脂等而 石,並無任何不同於先前說明之製造方法,可以採用相同 之物品及條件,省略在此之重複之說明。 藉由在位處於以上能夠敘述之多層鋼 泊基板Ml、M2、M3外層之金屬箱6之表面,設置钱刻阻 W層對於外層電路之餘刻圖案,來進行曝光、顯影、電 路蝕刻、蝕刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得到圖1所示之 本發明之多層印刷電路i。在該狀態下之兹刻阻劑之種 類及银刻條件等,並無特別之限制,能夠使用定法。 【實施例1】 (附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片之製造) ::’使用聚乙稀對苯二甲酸醋(PET)薄膜來㈣ 持薄膜之2其早面,形成底層㈣樹㈣,成為附有3 持溥膜之底層塗料樹脂薄片2。 最初製造構成底層塗料樹脂薄片之樹脂溶液。在製造 該樹脂溶液時,使用〇—甲紛㈣型環氧樹脂(東都化成 股份有限公⑭YDCN—取)、可轉㈣ 醢胺樹脂聚合物以及和作為 m 方香力“ 之市而π * 勹合4之%戊酮間之成為混合清 漆市面販買之日本化藥股份有限公司製之ΒΡ3225 — 50P,來作為原料。接著,在該溫合清漆, 贫祕J8匕,、兵l 丄 為更化 > 彳之 本粉树月曰添加大日本油墨股份有限公司製之抑—㈣,
2213-6721-PF 41 /1289421 % * . 添加四國化成製之2E4MZ,來作為硬化促進劑,成為具有 以下所示之配合比例之樹脂混合物。 樹脂混合物 〇—曱酚酚醛型環氧樹脂·· 38重量份 ’ 芳香族聚醯胺樹脂聚合物:50重量份 苯酚樹脂:18重量份 硬化促進劑:〇·1重量份 藉由還使用曱基乙基酮,調整樹脂固態成分成為3〇重 量%,而使得該樹脂混合物,成為樹脂溶液。 使用照相凹版印刷塗敷器,而將正如以上製造之樹脂 溶液,來塗敷在前述ΡΕΤ薄膜之單面。接著,進行5分鐘 几乾“、i後,在14 0 C之加熱氣氛中,進行3分鐘之乾 燥處理,形成半硬化狀態之丨·5μιη厚度之底層塗料樹脂薄 膜’得到附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片2。 在此時得到之樹脂之樹脂流之測定,係使得使用在前 述底層塗料樹脂薄片之形成之樹脂成為40μπι厚度而製造 X置於銅名單面之附有樹脂之銅猪,使得這個成為樹脂流 測定用試料。接著,由該樹脂流測定用試料,來採取4片 之l〇Cm角形試料,根據前述MIL—P — 13949G而進行樹脂 流之測定。結果,樹脂流係15%。 (内層電路基板之製造) 製造在ΐΟΟμπι厚度之RF— 4黏合片之兩面來貼合 18μιη厚度之電解銅箔之兩面銅箔基板。接著,藉由在該兩 面銅箔基板之兩面銅箔層,設置蝕刻阻劑層(使用乾式薄
2213-6721-PF 42 1289421 膜),對於内層電路之蝕列安七_ — u r ^ θ案來進行曝光、顯影、電路 =、祕阻劑她、洗 :之内層電路基板ΙΒ。在該階段之内層電路基板ΐΒ,也 美广成二烧黏合劑處理以及表面處理層。將該内層電路 土反1Β稱為「第1内層電路基板」。 著將第1内層電路基板ΙΒ浸潰在濃度150g/l、 :溫3吖之稀硫酸溶液3〇秒鐘,除去油脂成分,同時, =多餘之表面氧化被覆膜之除去,進行潔淨化及水洗。 :者’不乾燥内層電路基板IB之表面,浸潰在離子交換水 加入γ-環氧丙氧基丙基三〒氧基矽烷而成為Μ,"農度 洛液中’進行吸附處理。接著,在藉由電熱器而調整成 *,'、80 c氣氛之爐内’經過4秒鐘,飛減水分,進行石夕烧 黏合劑之縮合反應’形成石夕烧黏合劑層。將該内層電路基 板IB稱為「第2内層電路基板」。 恭此外在第1内層電路基板把之内層電路表面,藉由 :解法:設置錫之表面處理層者係成&「第3内層電路基 反」,藉由電解法而設置鎳之表面處理層者係成為「第4 内層電路基板」’藉由電解法而設置錫一鉛合金之表面處 理層者係成為「第5内層電路基板」,藉由電解法而設置 鎳'辞合金之表面處理層者係成為「第6内層電路基板」。 此時之錫之表面處理層係以使用硫酸亞錫之錫濃度 2〇g/卜液溫3(TC、PH值3、電流密度5A/dm2之條件下, 、行電解,在内層電路之表面,呈均勻且平滑地電析Ιμηι 厚度之錫層。 22l3-6721-pp 43 :1289421 此時之鎳之表面處理層係以使用硫酸鎳之鎳濃度2〇g /1、液溫40t:、值3、電流密度1〇A/dm2之條件下, 進行電解,在内層電路之表面,呈均句且平滑地電析⑽ 厚度之鎳層。 此時之錫一鉛合金之表面處理層係以使用硫酸亞錫 3〇g/卜乙酸鉛20g/:l、焦磷酸鈉15〇g/卜ΕΙ)ΤΑ·2鈉2〇g / 卜 PEG- 3000 : 1.2g/l、甲醛 37% 水溶液:〇7ml/卜 液溫5(TC、PH值9、電流密度12A/dm2之條件下,進行 電解,在内層電路之表面,呈均勻且平滑地電析以❿厚度 之錫一鉛合金層。 *此時之鎳一辞合金之表面處理層係以使用硫酸鎳之鎳 濃度2_0g/卜使用焦磷酸鋅之辞濃度〇 5g/卜焦磷酸鉀 250g/卜液溫35ΐ、{)11值1〇、電流密度5A/dm2之條件 下進行電解,在内層電路之表面,呈均句且平滑地電析 ΐμπι厚度之鎳一辞合金層。 此外,使用則述矽烷黏合劑層之形成條件,在第3内 層電路基板〜第6内層電路基板之各個表面處理層上形成 石夕貌黏合劑層者係帛7内層電路基板〜第ig内層電路基 板。 (底層塗料樹脂薄片之層積) 在該製程,正如圖3⑺〜圖3 (4)所示,對於前述 各個内層電路基板IB之内層電路形成面,重疊及層積前述 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片2之底層塗料樹脂面,
來除去支持薄膜。像這樣,成為圖3 (4)所示之在内層電 2213-6721-PF 44 1289421 路基板IB之兩面載置底層塗料樹脂薄片3之狀綠。 (多層銅箔基板之製r造) 在該實施例,藉由圖5 ( 5 )〜圖5 ( 7 )所示之順序 製造多層mi基板mi。因此,正如圖5 (5)所示,^
Ihm之電解銅箱,來作為金屬猪6,使用在破纖布含浸學 氧樹脂之5〇μΐη厚度之RF—4等級之黏合片5,來作為 材,正如圖5(6)所示,相互地重疊於位處在内層電路式 板ΙΒ兩面之各個底層塗料樹脂薄片3上。拯 — 土 饮茶,糟甶進行 熱間沖壓加工而得到圖5 (7)所示之具有示意剖面之多層 銅箔基板Ml。此時之沖壓加工條件係沖壓溫度i8〇t、^ 壓壓力20kg/ cm2、硬化時間90分鐘。 (多層印刷電路板之製造) 接著,藉由在位處於多層銅箱基板M1兩面之金屬箱6 (外層銅箱)之表面,設置钱刻阻劑層(使用乾式薄膜), 對於外層電路之姓刻圖案來進行曝光、顯影、電路#刻、 蝕刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得到H 1所示之相同:多 層印刷電路板1。顯示此時之内層電路之狀態者係圖2所 示之光學顯微鏡相片’明瞭地觀察薄的底層塗料樹脂層P 被覆著内層電路Ci之周圍者。 (多層印刷電路板之性能評價) 在以上得到之多層印刷電路板1,在26(TC之銲錫浴, 浸潰3秒鐘,移送時間成為1〇秒鐘,施行在常溫之矽油浸 潰20秒鐘之耐熱撞擊試驗,進行目視檢查。 此外,不谷易直接地測定内層電路ci之剝離強度,因
2213-6721-PF 45 1289421 此,使用下一個代卷古、+ 似代曰方法,監視内層電路Ci之剥離 也就是說,正如圖14 ( — 又 乂 1)所不,猎由在銅箔6,上, 50μηι厚度之黏合片5, 重® 在該黏a片5上,重疊前述 持薄膜之底層塗料樹俨笼y ο ^ ^ ^ 疋附有支 孟才十树月曰溥片2,除去支持薄膜F, 層塗料樹脂薄片3,並 〜丄 重邊底 同一批量之電解銅箔6,> /成之 ^ ^ 進仃重豐而抵接其光澤面和誃底 層塗料樹脂薄片3,進行熱間嶋形,製造圖"(二 :之銅落基板T〇。接著,藉由在電解銅箱6之粗化面U, 设置钱刻阻劑層(接用#斗、# (使用乾式薄膜),對於剝離強度測定用 之0.2mm幅寶之亩娩带妨,, 疋用 步 見之直線电路16之钱刻圖案來進行曝光 衫、電路蝕刻、蝕刻阻劑剝離、 / 1、 — 祀%,而得到圖14 (3 )所示之剝離強度測定用試料η。 將前述耐熱撞擊試驗和剝離強度測定結果, 於比較例地揭示於表卜在該表1顯示成為試料卜^ 料1-1G者係使用第1内層電路基板〜第1G内層電路/ 所製造之多層印刷電路板。此外,就而才熱撞擊触而^ 可以在内層電路Ci確認浮起之狀態係 1風為X ,在内声 電路Ci無法確認浮起之狀態係顯示成為〇。接著,此日士 β 剝離強度之單位係kgf/ cm。 τ之 2213-6721-PF 46 1289421 表l 試料 内層電路基板 -耐熱撞擊試 驗評價結g 剝離強度 kgf/cm 種別 Si處理 表面處ί玺層 1 一1 第1内層電路基板 — — 〇 X I 0.86 1.10 1.35 1.26 1.37 1.28 1.48 1.32 1.49 1.40 oH ~ 0.10 0.14 0.32 1-2 第2内層電路基板 〇 一 1 一3 第3内層電路基板 一 Sn 1 一4 第4内層電路基板 — Ni 1 一5 第5内層電路基板 — Sn - Pb 1 一6 第6内層電路基板 — Ni-Zn 1-7 1^7内層電路基板 δ ~~ " 1 一 8 第8内層電路基板 〇 Ni 1 一9 第9内層電路基板 〇 Sn—Pb 1 一 10 比較例1 比鮫例2 比較例3 第10内層電路基板 第1内層電路基板 〇 Ni-Zn 比較例4 〇 【實施例2】 (附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片之製造) 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片2係使用相同於實 施例1之同樣者。因此,為了避免重複之記載,所以,省 略在此之說明。 (附有樹脂之銅箔之製造) 在此,使用以下所示之a〜e之各種成分,調製樹脂組 成物將該树脂組成物塗敷在1 8 μπι厚度之電解銅箔之粗 :面,侍至附有樹脂之銅箔7。首先,a成分係使用成為雙 =酚广型環氧樹脂之商品名稱Epomikku R- 140 (三井化 子a司製)來作為環氧樹脂。接著,作為b成分係使用作 為成為^衣氧丙基之環氧樹脂之商品名稱NC — 3000P (曰 本化學公司製) 7 曰 ^ 衣^ 以重®比40 ·· 60,來混合這些。 接耆’加入—钽仕 一氰基二醯胺之二甲基曱醯胺溶液 2213-672l~pp 47 1289421 來作為環氧樹脂硬化劑, 晉μ 對於前述環氧樹脂,加入6重 里伤之作為二氰基二醯 爾儿、、 艾丄重量份之固化溶膠2P4MZ(四 成公司製)來作為環氧 田絲 I乳祕脂硬化促進劑,藉由二甲基 甲醯胺而溶解這個,成為 ^ 為口恕成分50重量%溶液(將該階 奴所得到者稱為「環氧樹脂配合物」小 在此,作為c成公在^ i σ 1糸加入成為聚乙烯基縮醛樹脂之商 口口名稱·電荷丁縮經5 3υ〇〇Α (電化學工業公司製)以及成 為胺基甲酸乙酯樹脂之芮σ 商口口 名稱:Koronate AP Staybull(日 本聚胺基甲酸乙酯工章公3制、^ ^ 製),來作為在分子中具有可 交聯之官能基之高分子聚合物及其交聯劑。 ^在該^ ^又之树脂組成係環氧樹脂配合物80重量份(固 心成刀換异)、聚乙烯基縮醛樹脂丨7重量份、胺基甲酸乙 酉曰树月曰3重量份’接著,使用甲苯:甲醇=: i之混合溶 媒,調整整體之固態成分成為3Q重量%。 將該樹脂組成物塗敷在公稱厚度1 8μπι之電解銅箔之 粗化面,在風乾後,在13(rc,進行5分鐘之加熱,得到 包括半硬化狀態之樹脂層之附有樹脂之銅箔7。 (内層電路基板之製造) 内層電路基板IB係使用相同於實施例!之第!内層電 路基板〜第10内層電路基板。因此,為了避免重複之記 載’所以’省略在此之說明。 (底層塗料樹脂薄片之層積) 在該製程,相同於實施例1,成為圖3 ( 4)所示之在 内層電路基板IB之兩面載置底層塗料樹脂薄片3之狀態。 2213-6721-PF 48 ,1289421 (多層鋼箱基板之製造) 戒為圖3 ( 4 )所示之在 塗料樹脂薄片3之狀態。 在讓製程,相同於實施例1, 内層電路基板IB之兩面載置底層 (多層銅箔基板之製造) 圖7 ( 7 )所示之順序而
進行熱間沖壓 加工而得到圖7 〜m另树脂之銅箔7之樹脂面 層電路基板IB兩面之各個底 « 7 U)之狀態。接著,藉由 7(7)所示之具有示意剖面之 在該實施例,藉由圖7 ( 5 ) 製造多層銅箔基板M2。因此, ^述附有樹脂之銅猪7 ’將該附 多層銅箔基板M2。 (多層印刷電路板之製造) 接著,藉由在位處於多層銅箔基板M2兩面之金屬箔6 (外層銅箔)之表面,設置蝕刻阻劑層(使用乾式薄膜), 對於外層電路之蝕刻圖案來進行曝光、顯影、電路蝕刻、 蝕刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得到相同於圖i所示之同 樣之多層印刷電路板1。顯示此時之内層電路之狀態者係 圖1 8所示之光學顯微鏡相片,明瞭地觀察薄的底層塗料樹 脂層P均勻地被覆著内層電路Ci之周圍者。 (多層印刷電路板之性能評價) 在以上付到之多層印刷電路板1,進行相同於實施例1 之同樣之耐熱撞擊試驗及剝離強度之測定,將該結果呈可 對比於比較例地顯示於表2。在該表2顯示成為試料2 — 1 〜試料2— 10者係使用第1内層電路基板〜第内層電路 2213-6721-PF 49 ,1289421 基板所製造之多層印刷電路板。此外,不容易直接地測定 内層電路€!之剝雜強度,因此,正如圖15所示,藉由在 附有樹脂之銅箱7之齒· Η匕;β L β ^ , <树月曰面8上,重璺則述附有支持薄膜 ,底广塗料樹脂薄片2,除去支持薄膜F,而重疊底層塗料 树月曰溥片3,亚且,還使用相同於内層電路形成之同一批 里之電解銅箔6,進行重疊而抵接其光澤面和該底層塗料 樹脂薄片3,進行熱間沖壓成形,製造圖15(2)所示之銅 鈿基板T〇。接著,以下,相同於實施例i,製造圖15 ( 3 ) 所示之剝離強度測定用試料Τι。 表2 試料 内層電路基板 耐熱撞擊試 剝離強度 種別 Si處理 表面處理層 驗評價結果 kgf/cm 2-1 第1内層電路基板 — — 0.82 2—2 第2内層電路基板 〇 — 1.13 2 3 第3内層電路基板 — Sn 1.22 2—4 第4内層電路基板 — Ni 1.26 2 — 5 第5内層電路基板 一 Sn—Pb 〇 1.30 2 — 6 第6内層電路基板 — Ni—Zn 1.29 ~ 2 — 7 第7内層電路基板 〇 Sn 1.39 2 — 8 第8内層電路基板 〇J Ni 1.35 2 — 9 第9内層電路基板 〇 Sn一Pb 1.43 2 — 10 第10内層電路基板 〇 Ni—Zn 1.41 ^== 〇91 * ** 比較例2 第1内層電路基板 一 0.10 比較例3 X 0.14 比較例4 〇 0.32 【實施例3】 (附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片之製造) 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄片2係使用相同於實 施例1之同樣者。因此,為了避免重複之記載,所以,省 略在此之說明。 2213-6721-PF 50 :1289421 (含有骨格材並且附有樹脂之銅笛之製造) 首先,最初調製第1熱硬化性樹脂層12及第2熱硬化 性樹腊層之形成所使用之環氧樹脂组成物'在此、,’、作為 樹脂係將雙苯酚A型環氧樹脂(商品名稱:yd — 、東 都化成公司製)30重量份、。一甲酚型環氧樹脂(商品名 ESCN- i95XL80、住友化學公司製)%重量份、以固 態成分25%之二甲基甲醛溶液之形式來成為環氧樹脂硬化 劑之二氰基二醯胺(作為二氰基二酿胺之4重量份)“重 量份以及作為硬化促進劑之2—乙基—4—甲基咪唑(商品 名稱:Kyazoru2E4MZ、四國化成公司製)〇1重量份,溶 解在甲基乙基酮和二甲基f路之混合溶劑(混合比:甲基 乙基酮/二甲基甲醛=4川,得到固態成分 樹脂組成物。 二如圖12 ( B )所不’藉由將該環氧樹脂組成物塗惠 在前述公稱厚度18μηι之電解銅箔6之粗化面在室溫 放置30分鐘’使用熱風乾燥機,對们抓之溫風,來逢 仃士2二鐘之衝風,而除去一定量之溶劑’乾燥帛1熱硬介 ί·生=月曰層12成為半硬化狀態。此時之環氧樹脂組成物之塗 敷量係作為乾燥後之樹脂厚度而成為40μπι。 12 著-正如圖12 ( c)所示,在第1熱硬化性樹脂層 ^ 、 、άσ A稱厚度50^m厚度之聚醯胺纖維之不織布, ^ :。材4。該貼合係藉由在形成之第1熱硬化性楼 脂層 12 φ — 相互地重豐該不織布,加熱至1 5 ,以 20cm/分鐘夕、志— ^ 刀里之速度,來通過加熱滾軋13之間,而能夠施力^
2213-6721-PF 51 :1289421 之層合壓力,以便於進行貼合。結果,在貼合狀 平均55μηχ 〇 在像以上而結束骨格材4之貼合時,接著,正如圖η (D )所不’進行第2熱硬化性樹脂層μ之形成。在此, 用以構成第2熱硬化性樹脂層14所使用之環氧樹脂組成物 係使用相同於第丨熱硬化性樹脂層12之形成所使用者。因 在此之環氧树月曰組成物之說明係成為重複之說明,因 此,進行省略。 也就是說,藉由在貼合之骨格材4上,均勻地塗敷該 環氧樹脂組成物,在室溫,放置3〇分鐘,使用熱風乾燥機, 對於150 C之溫風,來進行3分鐘之衝風,而除去一定量 之溶劑,乾燥第2熱硬化性樹脂層14成為半硬化狀態。此 時之裱氧樹脂組成物之塗敷量係第丨熱硬化性樹脂層12、 骨格材4和乾燥後之第2熱硬化性樹脂層14之合計厚度成 為75μπι。正如以上而使用本發明之製造方法,來製造附有 絕緣層之銅箱9。 (内層電路基板之製造) 内層電路基板ΙΒ係使用相同於實施例1之第1内層電 路基板〜第1〇内層電路基板。因此,為了避免重複之記 載,所以,省略在此之說明。 (底層塗料樹脂薄片之層積) 在該製程,相同於實施例1,成為圖3 ( 4 )所示之在 内層電路基板ΙΒ之兩面載置底層塗料樹脂薄片3之狀態。 2213-6721-PF 52 1289421 (多層.銅箔基板之製造) 在該實加例’、藉由圖所示之順序而製造多層銅箔基 板M3。因此,正如圖9 (5)所示,使用前述含有骨格材 並且附有樹脂之銅箱9,將該含有骨格材並且附有樹脂之 銅名9之3有骨格材之樹脂面側,來相互地重疊在位處於 内層電路基板IB兩面之各個底層塗料樹脂薄片3上。接 著,藉由以圖9 (6)所示之狀態,來進行熱間沖壓加工, 而付到圖9 ( 7 )所示之具有示意剖面之多層銅箔基板。 (多層印刷電路板之製造) 接著,藉由在位處於多層銅箔基板皿3兩面之金屬箔亡 (外層銅泊)之表面,設置蝕刻阻劑層(使用乾式薄膜), 對於外層電路之敍刻圖案來進行曝光、顯影、電㈣刻、 #刻阻劑剥離、洗淨、乾燥,而得到相同於圖1所示之同 樣之多層印刷電路i。顯示此時之内層電路之狀態者係 圖21所示之光學顯微鏡相片,明瞭地觀察薄的底層塗料樹 脂層P均勻地被覆著内層電路Ci之周圍者。 (多層印刷電路板之性能評價) 在以上得到之多層印刷電路板1,進行相同於實施例i 之同樣之耐熱撞擊職及剝離強度之測定,將該結果呈可 對比於比較例地顯示於表3。力兮本Q g 一丄 ^ J在该表3顯不成為試料3 — 1 〜試料3 — 1 0者係使用第}内 1曰私路基板〜弟1〇内層電路 基板所製造之多層印刷電路板。 狐此外不谷易直接地測定 内層電路Ci之剝離強度,因 又 因此,猎由相同於圖15所示之 同樣方法而製造相同於圖Η私一 口 15 (2)所不之同樣之銅箔基板 2213-6721-PF 53 / 1289421 Τ〇。接著,以下相同於實施例1,製造圖15 ( 3 )所示之剝 離強痩測定用試料Tl ° 表3 試料 内層電路基板 一 —Γ—----------- 耐熱撞擊試 驗評價結果 剝離強度 種別 Si處理 ______——- 表面處理層 kgf/cm 3 — 1 第1内層電路基板 — 一 〇 X 1 0.83 3—2 第2内層電路基板 〇 —- 1.05 3-3 第3内層電路基板 - 1.18 3—4 第4内層電路基板 一 ΝΪ~ 1.20 3 — 5 第5内層電路基板 一 Sn—Pb 1.33 3 — 6 第6内層電路基板 — ^Zn 1.30 3-7 第7内層電路基板 〇 Sn 1.37 3 — 8 第8内層電路基板 〇 \Ni 1.40 3 — 9 第9内層電路基板 〇 Sn—Pb 1.43 3 一 10 第10内層電路基板 〇 Ni—Zn ------- 1.40 比較例1 第1内層電路基板 0.21 比較例2 0.10 比較例3 0.14 比較例4 —__ 0.32 【實施例4】 -丨/人〜取囬,稽田里裝法 形 成底層塗料樹脂層,製造多層銅羯基板,使用該多層 箔基板,製造多層印刷電路板。 (内層電路基板之製造) 相同於實施例i,製造在1〇〇_厚度之rf_4黏合 :兩:來貼合18_厚度之電解銅笛之兩面銅箱基板。 “藉&在^兩面H基板之兩面銅落層,設置餘刻阻 層(使用乾式薄膜),對於内層電路之㈣圖案來進行 、:1 "冑路蝕刻、蝕刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而 至正如,3(2)所示之内層電路基板IB。 接者作為内層電路基板係製造相同於實施例1之 2213 -6721~pp 54 1289421 内層電路基板」〜「第1〇内層電路基板」。關 於裏造條件等9相同於實施例1,因此,為了避免重複之 Π己載’所以’省略在此之說明。 (樹脂溶液對於内層電路基板之塗敷) 塗敷所使用之樹脂溶液之組成係以0 —甲盼盼駿型環 氧树脂(東都化成股份有限公司製:YDCN— 704)、可溶 解於洛劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及和作為溶劑之環 戊酮間之成為混合清漆之市面販賣之日本化藥股份有限公 司製之ΒΡ3225 — 50Ρ,來作為原料。接著,在該混合清漆, 在作為硬化劑之苯酚樹脂,添加大日本油墨股份有限公司 製之VH—4170,添加四國化成製之2Ε4ΜΖ,來作為硬化 促進劑,成為具有以下所示之配合比例之樹脂混合物。此 時之組成係相同於實施例丨,因此,省略在此之說明。接 者,成為該塗敷用樹脂溶液,因此,在該樹脂混合物,添 加甲基乙基酮,成為將樹脂固態成分調整 12 樹脂溶液。 °之 在以上製造之樹脂溶液中,正如圖4(A)所示之圖像, 藉由浸潰及上拉前述内層電路基板,而在内層電路基板之 兩面,形成樹脂溶液被覆膜。接著,進行5分鐘之風乾, 然後,在14(TC之加熱氣氛中,進行5分鐘之乾燥處理, 在内層電路基板之表面,形成半硬化狀態之厚度之 底層塗料樹脂層。 此時得到之樹脂溶液係在塗敷用,流動性變得極為高, 因此,在樹脂流之測定,使用特殊之方法。樹脂流之測定 2213-6721-PF 55 1289421 係重複地進行所謂將、塗敷用樹脂溶液,、塗敷在鋼箱之的 面,進行前述乾番處理 ',.還進魯 操作,而一直到能夠形成4〇μηι厚度之樹脂膜為止,製造 附有樹脂之銅箔,將這個作為樹脂流測定用試料。接著, 由該樹脂流測定用試料,來採取4片之1〇cm角形試料,根 據前述MIL—P— 13949G而進行樹脂流之測定。紝 ^ 脂流係1.2%。 ^ Μ (多層銅箔基板之製造) 在該實施例,藉由圖6所示之順序而製造多層銅箱晨 板⑷。因此,正如圖6(a)戶斤示,使用18叫之電解銅^ 來作為金屬箱6,使用在玻纖布含浸環氧樹脂之5’厚度 之FR-4等級之黏合片5來作為骨格材4,相互地重 位處於内層電路基板IB兩面之各個底層塗料樹脂:17 上。接著,藉由進行熱間沖壓加工,而得到圖6(b)所示 之具有示意剖面之多層銅箱基板M1。此時之沖壓加工條件 係沖壓溫度18(TC、沖屋塵力2〇kg八m2、硬化時間%分 鐘0 (多層印刷電路板之製造) 接著,藉由在位處於多層銅箔基板奶兩面之金屬猪6 (外層銅箱)之表面,設置餘刻阻劑層(使用乾式薄膜), 對於外層f路之㈣圖案來進行曝光、顯影、電路錄刻、 敍刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得到相同於圖!所示之同 樣之夕層印刷電路板!。此時之内層電路之狀態係相同於 圖所示之光予顯极鏡相片,日月瞭地觀察薄的底層塗料樹
2213-6721-PF 56 1289421 脂層p被覆著内層電路Ci之周圍者。 (多層印.電路板之,性秦聲餐) 在以上得到之多層印刷電路板卜進行相同於實施例2 之同樣之耐熱撞擊試驗及剝離強度之測定,將該結果呈可 對比於比較例地顯示於表4。在該表4顯示成為試料Η 〜試料4_1G者係使用第丨内層電路基板〜第㈣層電路 基板所製造之多層印刷雷路^ I別电路板。此外,不容易直接地測定 内層電路Ci之剝離強度,因+ 、 口此,使用下一個代替方法,監 視内層電路Ci之剝離強度。也 又乜就疋祝,使用相同於使用在 内層電路形成之同一批量之带 $里之包解銅、泊6,使用在其光澤面 構成底層塗料樹脂層之樹脂溶液,形成大約13叫厚度之 底層塗料樹脂層1 7,得至丨丨R 7、 传到圖16(丨)所示之試驗用之附有 树脂之銅箔 17。接荽,X ,门 6,F J 接者正如圖16⑴所示,藉由在銅箱 6上’重豐5〇μιη厚度之斑人^ c . y ^ δ片5,進行重疊,來接合該黏 口片5和月丨』g式驗》用夕》糾士 & ^ p, ,树知之銅绪17之底層塗料樹脂 層P進订熱間沖壓成形,絮抨FI彳m π Τ。;&荽一山+ Ik圖16 (2)所示之鋼箔基板 〇接耆’猎由在電解鋼箔6之+,日介而】】 層(使用6之粗化面11 ’設置蝕刻阻劑 之直魂雷^,、),對於剝離強度敎用之G.2mm幅寬 :直線電路16之钱刻圖案來進行曝光、顯 蝕刻阻劑剝離、洗淨、# 私峪蝕刻 ^ 乾燥,而得到圖16 (3)所干之制 離強度測定用試料Τι。 厅不之剥 將刖述耐熱撞擊試驗和剝離強度測定結果 於比較例地揭示於表4 了對比 料H0者係使用第:内在該表1顯示成為試料Η〜試 吏用弟1㈣f路基板〜第1G㈣電路基板
2213-6721-PF 57 1289421 所製造之多層印刷電路板。此外,就耐熱揸擊試 + ^ Ο ’ 可以在内層電路C i確認浮處 電路Ci無法確認浮起之狀態係顯示成為〇。接著,此時之 剝離強度之單位係kgf/ cm。
表4 比較例4 實施例5】 藉由塗敷法而 使用該多層銅 在該實施例,在内層電路基板之表面 形成底層塗料樹脂層,製造多層銅箔基板 箔基板,製造多層印刷電路板。 (内層電路基板之製造) 相同於實施例1,萝i生尤 衣k在1〇〇μηι厚度之RF_ 4黏合片 之兩面來貼合18μιη厚唐 # Μ丄+ 子度之弘角干鋼箔之兩面銅箔基板。接 者’猎由在該兩面鋼箔美揣 、一 基板之兩面銅箔層,設置蝕刻阻劑 线),對於内層電路之㈣®案來進行曝 、“…路飯刻、颠刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得
2213-6721-PF 58 -1289421 Λ* 到正如圖3 ( 2 )所示之内層電路基板IB。 接著’作為内層晷路基板係製造相同於實施例1之同 樣之「第1内層電路基板」〜「第1〇内層電路基板」。關 於製造條件等,相同於實施例1,因此,為了避免重複之 S己載’所以,省略在此之說明。 (樹脂溶液對於内層電路基板之塗敷) 塗敷所使用之樹脂溶液之組成係以〇 一曱紛盼駿型環 氧树脂(東都化成股份有限公司製·· YDCN — 704)、可溶 解於/谷劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及和作為溶劑之環 戊嗣間之成為混合清漆之市面販賣之日本化藥股份有限公 司製之BP3225 — 50P,來作為原料。接著,在該混合清漆, 在作為硬化劑之笨酚樹脂,添加大日本油墨股份有限公司 製之VH—4170,添加四國化成製之2E4mz,來作為硬化 促進劑,成為具有以下所示之配合比例之樹脂混合物。此 寸之、、且成係相同於貫施例丨,因此,省略在此之說明。接 著成為該塗敷用樹脂溶液,因此,在該樹脂混合物,添 力甲基乙基酮,成為將樹脂固態成分調整成為12重量%之 樹脂溶液。 在以上製造之樹脂溶液中,正如圖4(a)所示之圖像, 藉由浸潰及上拉前述内層電路基板,而在内層電路基板之 兩面,形成樹脂溶液被覆膜。接著,進行5分鐘之風乾, 然後’在14(TC之加熱氣氛中,進行5分鐘之乾燥處理, 在内層電路基板之表面,形成半硬化㈣'之13叫厚度之 底層塗料樹脂層。 2213-6721-PF 59 1289421 此時得到之樹脂溶 高,固产似 係在主敷用,流動性變得極為 ,在樹脂流之剛定,& 測定# fit#、#— 使用特殊之方法。樹脂流之 罝而,、# — a i 土敷用树知洛液,塗敷在銅箔之 早面進仃刖述乾燥處理,、罗$么 夕楹你二 延進仃再塗敷,進行乾燥處理 、㈤.一夠形成卿m厚度之樹脂膜為止,製 :附有以之㈣,將這個作為樹脂流敎用試料。接著, 由該樹脂流測定用試料,來 木採取片 Cm角形試料,根 據刖述 MIL - P- :nQ4Qr r … G而進行樹脂流之測定。結果, 脂流係1.2%。 (多層銅箔基板之製造) 在該實施例,藉由圖8所示之順序而製造多層銅箱基 一因此’正如圖8 ( 1 )所示,使用相同於實施例2 =同樣之附有樹脂之㈣7,將該附有樹脂之㈣7之樹 脂面側’相互地重疊在位處於内層電路基板把兩面之各個 j層塗料樹脂層17上。接著,藉由進行熱間沖壓加工,而 什=圖8 ( 2 )所示之具有示意剖面之多層銅落基板。 此時之沖壓加工條件係沖壓溫度i 8〇t、沖壓壓力 cm2、硬化時間9〇分鐘。 (多層印刷電路板之製造) 接著,藉由在位處於多層銅箔基板M2兩面之金屬箱6 (外層銅箔)之表面,設置蝕刻阻劑層(使用乾式薄膜), 對於外層電路之蝕刻圖案來進行曝光、顯影、電路蝕刻、 蝕刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得到相同於圖1所示之同 樣之多層印刷電路板1。此時之内層電路之狀態係相同於 2213-6721-PF 60 :1289421 圖2所示之光學顯微鏡相片,明 m μ ? μ ^ μ, ^ 衰也硯察缚的底層塗料樹 乃曰僧/被覆者内層電路Ci之周圍者。 (夕層印刷電路板之性能評價) 在以上得到之多層印刷電路一 之同樣之耐熱撞擊試驗及進仃相同於實施例1
ί里#忒驗及剝離強度之測定 I 對比於比較例地顯示於表一果了 〜钭极/ 在該表4顯不成為試料4 一 i 4科4 — 1〇者係使用第i 甘上 日弘路基板〜弟10内層電路 土板所製造之多層印刷電路板。 ^ ^ 此外不容易直接地測定 内層電路Q之剝離強度,因 i目咖風; 使用下一個代替方法,監 視内層電路Cl之剝離強度。也Η 也尤疋使用相同於使用在 内層电路形成之同一批量之電 人 恥銅、,白 使用在其光澤面 構成底層塗料樹月旨層之樹脂溶液,形成大約13_厚产之 底層塗料樹脂層17,得到圖 又 樹脂之銅W。接著,二 之試驗用之附有 接者正如圖17 (1)所示,進行重疊, =合附有樹脂之銅箱7之樹脂面8和前述試驗用之附有 樹月曰之銅治17之底層塗料樹脂層ρ,進行熱 製造圖17 (2)所示之銅笔美你τ妓朴 尸卜 ’白基板Τ〇。接者,藉由在電解銅 v白6之粗化面η,兮令罢a丄 置餘刻阻劑層(使用乾式薄膜),對 於剝離強度測定用《〇.2_幅寬之直線電路“之钱刻圖 案來進行曝光、_影、電路飯刻、银刻阻劑剝離、洗淨、 乾燥而知到圖i 7 ( 3 )所示之剝離強度測定用試料I。 將刖述耐熱撞擊試驗和剝離強度測定結果,呈可對比 於比較例地揭示於纟5。纟該表5顯示成為試料Η〜試 料5- 10者係使用第丨内層電路基板〜第1()内層電路基板
2213-6721-PF 61 :1289421 • 所製造之多層印刷電路板。此外,就耐熱撞擊試驗而言, 可以在内層電路Ci確認浮起之狀態係顯示成為X,在内層 電路Ci無法確認浮起之狀態係顯示成為。接著,此時之 剝離強度之單位係kgf/ cm。 表5 試料 内層電路基板 耐熱撞擊試 驗評價結果 剝離強度 種別 Si處理 表面處理層 kgf/cm 5 — 1 第1内層電路基板 — — 〇 0.90 5 — 2 第2内層電路基板 〇 — 1.13 5-3 第3内層電路基板 — Sn 1.21 5—4 第4内層電路基板 — Ni 1.22 5 — 5 第5内層電路基板 — Sn一Pb 1.30 5 — 6 第6内層電路基板 一 Ni—Zn 1.28 5 — 7 第7内層電路基板 〇 Sn 1.38 5 — 8 第8内層電路基板 〇 Ni 1.39 5 — 9 第9内層電路基板 〇 Sn—Pb 1.42 5—10 第10内層電路基板 〇 Ni-Zn 1.40 比較例1 第1内層電路基板 一 — X 0.21 比較例2 0.10 比較例3 0.14 比較例4 〇 0.32 【實施例6】 在該實施例,在内層電路基板之表面,藉由塗敷法而 形成底層塗料樹脂層,製造多層銅箔基板,使用該多層銅 箔基板,製造多層印刷電路板。 (内層電路基板之製造) 相同於實施例1,製造在ΙΟΟμηι厚度之RF—4黏合片 之兩面來貼合18 μηι厚度之電解銅箔之兩面銅箔基板。接 著5藉由在該兩面銅箔基板之兩面銅箔層,設置#刻阻劑 層(使用乾式薄膜),對於内層電路之蝕刻圖案來進行曝 光、顯影、電路餘刻、钱刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得 2213-6721-PF 62 :1289421 到正如圖3(2)所示之内層電路基板ib。 接:’作為内層電路基板係製造相同於實施例… ^「第1内層電路基板」〜「第1G内層電路基板」。關於 造條件等,相同於實施例1,因此,為了避免重複之飞 載,所以,省略在此之說明。 心 (樹脂溶液對於内層電路基板之塗敷) 〃塗敷所使用之樹脂溶液之組成係以。—甲_型产 乳樹脂(東都化成股份有限公司製:Ydcn_7〇4)、可二 解於溶劑之芳香族㈣胺樹脂聚合物以及和作為溶劑之: 戊酮間之成為混合清漆之市面販f之日本化藥股份有限: 司製之BP3225 — 50P,來作為原料。接著,在該混合清漆, 1作為硬化劑之苯㈣脂’添加大日本油墨股份有限公司 製之VH 4170,添加四國化成製之2E4mz,來作為硬化 2進劑’成為具有以下所示之配合比例之樹脂混合物。此 ,之組成係相同於實_ !,因此,省略在此之說明。接 著成為該塗敷用樹脂溶液,因此,在該樹脂混合物,添 加甲基乙基酮’成為將樹脂固態成分調整成為i 2 i量%之 樹脂溶液。 在以上製造之樹脂溶液中,正如圖4( Λ )所示之圖像, ^浸拉前_層電路基板,而在内層電路基板之 兩面’形成樹脂溶液被覆膜。接著,進行5分鐘之風乾, 然後’在140 C之加熱氣氛中,進行5分鐘之乾燥處理, 在内層電路基板之表面,形成半硬化狀態t 13陣厚度之 底層塗料樹脂層。
2213-6721-PF 63 :1289421 此時得到之樹脂 古 ,夜係在塗敷用,流動性變得極為 问,因此,'在樹脂流之钏它 钏宗4 & 測疋,使用特殊之方法。樹脂流之 測疋係重複地進行 ..^ 將主敷用樹脂溶液,塗敷在銅箔之 早面,進行前述乾燥處理 ^ ^ 延進仃再塗敷,進行乾燥處理 之刼作,而一直到能 士似士 ]此夠形成40^m厚度之樹脂膜為止,製 义附有樹脂之銅箔,將這個 k们作為树脂流測定用試料。接著, 由該樹脂流測定用試料,來 A 木1木取4片之1 Ocm角形試料,根 據刖述 MIL - P - 13Q4Q「二、& 匕士 而進行樹脂流之測定。結果,樹 脂流係1.2%。 (多層銅箔基板之製造) 在該心例’猎由圖1()所示之順序而製造多層銅箱基 板M3。因此,正如圖10⑴所示,使用相同於實施例3 之同樣之含有骨格材並且附有樹脂之銅箱9,將該含有骨 格材並且附有樹脂之銅箱9之樹脂面側,相互地重疊在位 處於内層電路基板把兩面之各個底層塗料樹脂層Η上。 接著,藉由進行熱間沖遷加工,而得到目ι〇(2)所示之 具有示意剖面之多層銅笛基板M3。此時之沖壓加工條件係 沖壓溫度180°C、沖產麼力2〇kg/cm2、硬化時間9〇分鐘。 (多層印刷電路板之製造) 接著,藉由在位處於多層銅羯基板M3兩面之金屬箱6 (外層銅箱)之表面,言史置银亥j阻劑I (使用乾式薄膜), 對於外層電路之㈣圖案來進行曝光、_、電路触刻、 蝕刻阻劑剝離、洗淨、乾燥,而得到相同於目i所示之同 樣之多層印刷電路板i。此時之内層電路之狀態係相同於 2213-6721-PF 64 1289421 圖2所示之光學顯微鏡相片’明瞭地觀 脂層p被覆著内層電路Ci之周圍者。 塗料樹 (夕層印刷電路板之性能評價) 在以上得到之多層印刷電路板丨, 之同樣之财熱撞擊試驗及剝離強产之測Γ同於實施例1 對比於比較例地顯示於表4。在;;二,將該結果呈可 隹孩表4顯不成為試料4— 1 =44-1G者係使用第1内層電路基板〜第Η)内層電路 二反:製造之多層印刷電路板。此外,不容易直接地測定 視二Γ1之剥離強度,因此,使用下-個代替方法,監 …:路Cl之剝離強度。也就是說,使用相同於使用在 構:二!成之同一批量之電解銅箱6,使用在其光澤面 層峨腊層之樹脂溶液,形成大約13_厚度之 樹腊之銅箱π。接著二 試驗用之附有 來接人… 圖17(1)所示,進行重疊, 2 有骨格材並且附有樹脂之㈣9之樹脂層Π)和前 驗用之附有樹脂之銅箔之底層塗料樹 =成形,製…⑴所示之銅…。。::: Μ胺電解銅箱6之粗化面11,設置银刻阻劑層(使用乾 Υ、)’對於剝離強度測定用之0.2mm幅寬之直線電路 離之#、刻圖案來進行曝光、顯影、電路银刻、姓刻阻劑剝 用試η乾燥’而得到圖17 (3)所示之剝離強度測定 於比=:=r:剝離強度測定結果… 词不於表6。在該表6顯示成為試料6— 1〜試
2213-6721-PF 65 • 1289421 料6— 10者係使用第丨内層電路基板〜 所鄭、止少夕爲F: K7 1 @ 内層電路基板 了 夕層印刷㈣板。此外’就耐熱撞擊試驗… 旬:Ο無法確…于起之狀恶係顯示成為Ο α接著,此時二 刻離強度之單位係kgf/cm。 表6
【比較例1 :以在内層電路C:確認浮起之狀態係顯示成為X,在内層 在該比車乂例’藉由使用實施例1之第1内層電路基板 之條件而省略底層塗料樹脂薄片,製造不存在底層塗料樹 脂層之多層印刷電路板。因此,成》重複全部製程之記載, 所以’避免製程之說明’僅關於多層印刷電路板之性能評 價而進行說明。 (夕層印刷電路板之性能評價) 在以上得到之多層印刷電路板,施行相同於實施例1 之同樣之耐熱撞擊試驗,進行目視檢查’但是,確認:看 2213-6721~pf 66 1289421 y見白化來/函盘相當寬廣之區域而在内層電路^產生浮 起之内層電路部分。此外, 刀此外不谷易直接地測定内層電路Ci 」離強纟因此’在基本上’成為相同於圖Μ所示之同 ’之流程’但是,藉由省略圖19所示之底層塗料樹脂薄片 之方法,而使用相同於使用在内層電路形 之電解銅箔6,掣造圖19ί3)所-^ τ — 衣仏圖19 (3)所不之剝離強度測定用試料 1 °接著’測定此時之剝離強度,結果,成為〇 · 2 i k g f八m。 該結果係記载於前述實施例所示之表中。 【比較例2】 在該比較例,藉由使用實施例2之第工内層電路基板 之條件而省略底層塗料樹脂薄片,製造不存在底層塗料樹 月曰層之多層印刷電路板。因此,成為重複全部製程之記載, ::以:避f製程之說明,僅關於多層印刷電路板之性能評 4貝而進行自兄明。 (多層印刷電路板之性能評價) 在、上仟到之夕層印刷電路板,施行相同於實施例1 :同樣之耐熱撞擊試驗,進行目視檢查,但是,確認:看 仔見白化來涵蓋相當官磨夕斤七 子田見贗之E域而在内層電路Ci產生浮 起之内層電路部分。此外’不容易直接地測定内層電路α 之剝離強度,因此,在基本上’成為相同於圖15所示之同 樣之流程,但是,藉由省略圖20所示之底層塗料樹脂薄片 3之方法’而使用相同於使用在内層電路形成之同一批量 之電解銅羯6,製造圖2〇⑺所示之剝離強度測定用試料 τ,。接者’測定此時之剝離強度,結果,成為〇.叫
2213-6721-PF 67 1289421 該結果係記载於前述實施例所示之表中。 【比較例3】 在該比較例,藉由使用實施例3之第丨内層電路基板 匕条件而省略底層塗料樹脂薄片,製造不存在底層塗料樹 =之夕層印刷電路板。因此,成為重複全部製程之記載, ^ 避免製程之說明,僅關於多層印刷電路板之性能評 價而進行說明。 (多層印刷電路板之性能評價) 一 X上得到之多層印刷電路板,施行相同於實施例i α同樣之耐熱撞擊試驗,進行目視檢查,但是,確認··看 見白化來涵盍相當寬廣之區域而在内層電路Ci產生浮 起之内層電路部分。此外 — 此外 不谷易直接地測定内層電路Ci 之剝離強;#,, 又 ,目同於比較例2,製造剝離強度測定 ^ 接著,以下,相同於實施例卜測定剝離強度。 :由成為〇.14kgf/cm。該結果係記載於前述 所示 <表中。 【比較例4】 在該比較例,藉由伸每 之铬I 使用κ施例1之第1内層電路基板 <條件,而在第1內屌命物 省略底層塗料樹脂薄二二;面二形舰黏合劑層’ 層£卩 衣k不存在底層塗料樹脂層之多 …J電路板。因此’成為 避免製程之說明,僅關於 ,…載,所以’ 行說明。 、 g P刷包路板之性能評價而進 (多層印刷電路板之性能評價) 2213 ~6721~pp 68 1289421 在以上得到之多層印刷電 ^ R ^ %路板,施仃相同於實施例夏 之冋樣之耐熱搜擊試驗,進 得目& ^ + 延仃目視檢查,但是,確認:看 伸見白化來涵蓋相當寬廣之 ^ - 區域而在内層電路Ci產生漳 起之内層電路部分。此外,不 匆直搔地,則疋内層電路Ci 之釗離強度,因此,藉由相 」於圖20所不之同樣之方法, 而在相同於使用在内層電路 成之同一批置之電解銅箔 _,使用及施行彻合劑處理,製造相同於圖20 (3)所 樣之剥離強度測定用試料Τι。接著,測定此時之剝 離強度之結果係0.32kgf/ cm。 【產業上之可利用性】 本發明之多層印刷電路板得· 败你具有·所明即使是其内層 電路表面不進行粗化處理冰名 也在其表面包括成為薄樹脂層之 底層塗料樹脂層之構造。藉由 ” 稽田刼用此種構造,而正如覆蓋 習知之印刷電路板業界赍 .^ , >、 $ π线’此夠確保良好之内層電路 和基板樹脂間之接合性。且古A % Μ 1 ^ /、有此種構造之多層印刷電路板 係月b夠省略黑化處理等之内声 丁心η盾包路之粗化處理,可以進行 ’、製k IU王之單純化’能夠省略習知之多層印刷電路板之 製造製程之大幅度之製程,可以進行製造成本之大幅度之 削減。並且,在内層電路,不需要粗化處理,因此,即使
是内層電路蝕刻之製裎,> i 担A ; A 衣往也可以美向電路蝕刻精度,也達 到整體地看見之多層印刷電路板之品質提升。 【圖式簡單說明】
圖1係顯示本發明之多層印刷電路板之某一例子之示 意剖面圖。 2213-6721-PP 69 :1289421 ψ 圖2係本發明之多層印刷雷 則包路板之内層電路剖面之光 學顯微鏡相片。 圖3(1)〜(4)〜圖10(a)〜(b)係將顯示本發明之多層印刷 電路板之製造流程之示意剖面圖予以顯示。 圖11係在本發明之多層印刷電路板之製造所使用之 含有骨格材且附有樹脂之銅箔之示意剖面圖。 圖12(A)〜(D)及圖13(A)〜(E)係顯示含有骨格材且附有 樹脂之銅箔之製造流程之示意圖 圖 14(1)〜(3)〜圖 17(1)〜(3)、圖 19(1)〜(3)及圖 20(1)〜(3) 係顯示剝離強度測定用試料之製造順序之示意圖。 圖1 8及圖2 1係本發明之多層印刷電路板之内層電路 剖面之光學顯微鏡相片。 圖22(1)〜(3)及圖23(4)〜(6)係顯示習知之多層印刷電 路板之製造流程之示意圖。 【主要元件符號說明】
Ci〜内層電路 , Co 〜外層電路 , jp 支持薄膜; IB, 〜内層基板 , Ml 〜多層銅箔 基板; M2 〜多層銅箔 基板; M3 〜多層銅箔 基板; P〜 底層塗料樹脂層; T〇- v銅箱基板 y 2213-6721-PF 70 .1289421 T!〜剝離強度測定用試料; 1〜多層印刷電路板; Γ〜多層印刷電路板; 2〜銅箔; 3〜底層塗料樹脂薄片; 4〜骨格材; 5〜絕緣樹脂層; 6〜 金屬箔; 6,- ^銅箔; 7〜 金屬箔; 8〜 樹脂層; 9 金屬箔; 10〜樹脂層; 11〜粗化處理面; 12〜第1熱硬化性樹脂 層; 13^ 〜壓合滾軋; 14, 〜第2熱硬化性樹脂 層; 15' 〜熱硬化性樹脂層; 16^ 〜直線電路; 17' 〜底層塗料樹脂層; 20' 〜黑化處理面。
2213-6721-PF 71
Claims (1)
- 修正日期:96.3.15 十、申請專利範圍·· I一種多層印刷電路板,包括内層電路,其特徵在於·· 在=行粗化處理之前述内層電路之表面,設有包括錫、 鎳^些之合金之表面處理層及㈣黏合劑層,且該表面 緣树月曰層之間,包括僅藉由樹脂所構成之底層塗料樹 脂層。 / ,•士申1專利範圍第1項之多層印刷電路板,其中, 刚述石夕燒黏合劑層係使用胺基W烧黏合劑、魏基系石夕烧 黏合劑而形成。 、,3 ·如申明專利範圍第1項之多層印刷電路板,其中, 别述底層塗料樹脂層、其剖面厚度係1μ1η〜 。 一 4·如申請專利範圍帛丨項之多層印刷電路板,其中, 前述底層塗料樹脂層係使用自20〜80 4量份之環氧樹 脂、20〜80重量份之可溶解於溶劑之芳香族㈣胺樹脂聚 合物以及配合於需要來添加適當量之硬化促進劑所構成之 樹脂混合物來構成者而形成。 5·如申請專利範圍f 4項之多層印刷電路板,1中, 使用在前述底層塗料樹脂層之芳香族聚酿胺樹脂聚^物係 使用藉由芳香族聚醯胺和橡膠性樹脂發生反應所得到者。 一广如申請專利範圍帛丄項之多層印刷電路板,其中, 刚述底層塗料樹脂層係使用纟5〜5〇重量份之環氧 (包含硬化劑)、50〜95重量份之聚醚石域樹脂(在末2 有氫氧基或胺基並且可溶解於溶劑)以及而 、, 曰%品要來添 加適當量之硬化促進劑所構成之樹脂混合物而形成。…、 2213-6721-PF1 72 ’一—一_一一—______ 7.-種多層印刷電路板之製造方法,其 以下所示之⑺〜⑷之各個製程: 匕括 “)形成在支持薄膜之表面構成2μιη〜12μιη 底層塗料樹脂層之樹脂組成物被覆膜,成為半硬化㈣ 附有支持薄膜之底層塗料樹脂薄 ,對於包括構成多層印刷電路板it層電路… 2路基板之内層電路形成面,在其上設置包括錫、錄或^ 之表面處理層及石夕烧黏合劑層,而重疊前述附有 底層塗料樹脂薄片之底層塗料樹脂面而成為層 積之“,除去支持薄膜之底層塗料樹脂薄片層積製程; ⑺猎由在前述底層塗料樹脂薄片上, 導體層形成用金屬羯,進行熱間沖壓加工’而進行^及 成為包括精由加熱而使得底層塗料樹脂薄片追隨 板之表面形狀所發生變形之底層塗料樹脂層 = 板之沖壓加工製程H 夕層钔泊基 繼二):由蚀刻加工前述多層銅落基板之外層銅箱,而 ^外層電路’來成為多層印刷電路板之外層電路钱刻製 =多層印刷電路板之製造方法,其特徵在於包括 以下所不之U)〜(c)之各個製程: 内声構成底層塗料樹脂層之樹脂組成物,來塗敷在 内層電路基板之設有包括錫、鎳或這些之合 層及石夕院黏合劑層的内層電路形成面,形成2㈣〜叫:严 度之半硬化狀態之底層塗料樹脂層之底層塗料樹脂塗敷^ 2213-6721-PF1 73128942齡 程; )藉由在别述底層塗料樹脂層上,重最羝人片 體層形成用金屬箔,谁广拥叫、 重1黏合片及導 為包括沿著内層基板夺::曰冲昼加工,而進行層積,成 落基板之沖壓加工製程;以& …他曰層之多層鋼 (C)错由蝕刻加工前述 形成外層電路,來成^扳之外層銅、冶,而 程。為夕層印刷電路板之外層電路蝕刻製 9. 一種多層印刷電路 以下所示之“)〜rH、 方法,其特徵在於包括 ) (d )之各個製程: ⑺形成在支持薄膜之表面構成2㈣ 底:塗料樹脂層之樹脂組成物被覆膜,成為半硬化= 附有支持薄膜之底層塗料樹㈣U造製程; U 電路Π包括構成多層印刷電路板之内層電路之内層 :路基板之内層電路形成面,在其上設置包括 些之合金之表面彦柿昆立、 ^ ^ ^ 層及矽烷黏合劑層,而重疊前述附有 支持薄膜之底層塗料傲y 積之m丄 層塗料樹脂面而成為層 、4 除去支持薄膜之底層塗料樹脂薄片層積製程; 之」1)藉由在前述底層塗料樹脂薄片上’重疊附編 進仃熱間沖壓加工’而進行層積’成為包括藉 口 .、、、而使得底層塗料樹脂薄片追隨於内層基板之表面形 大所1生、艾形之底層塗料樹脂層之多層銅箔基板之沖壓加 工製程;以及 ⑷藉由兹刻加卫前述多層銅絲板之外層銅謂,而 2213-6721-PF1 74形成外層電路’來成為多層印刷電路板之外層電路#刻製 程。 10,種多層印刷電路板之製造方法,其特徵在於包括 以下所示之(a)〜(c )之各個製程: (a)將構成底層塗料樹脂層之樹脂組成物,來塗敷在 _路基板之設有包括錫、鎳或這些之合金之表面處理 層及石夕烧黏合劑層的内層電路形成面,形成2 — 2_厚 度之半硬化狀態之底層塗料樹脂層之底層塗料樹脂塗敷製 程; ⑴藉由在前述底層塗料樹脂層上,重疊附有樹脂之 金屬箔,進行熱間沖壓加工,而谁 進仃層積,成為包括沿著 内層基板表面形狀之底層塗料樹脂層之多層鋼箱基板之沖 壓加工製程;以及 (C )藉由蝕刻加工前述多 jI夕層銅泊基板之外層銅箔,而 >夕"電路’來成為多層印刷電路板之外層電路韻刻製 程。 種多層印刷電路板之製造方法,其特徵在於包括 以下所不之⑺〜(d)之各個製程: 形成在支持薄膜之表面構成2㈣〜 底層塗料樹腊層之樹脂組成物被覆膜,= 附有支持薄膜之底層塗料樹腊薄片製造製程;化1^之 •路美柘f於包括構成多層印刷電路板之内層電路之内層 电路基板之内層電路 些之合金…: 其上設置包括錫、鎖或這 ^ <理層及矽烷黏合劑層,而重疊前述附有 2213-6721-ρρι 75 421年j月仰修(更ϋ替接頁 ---1_丨_ Μ „ i. | H 支持薄膜之底層塗料樹脂薄片之底層塗料樹脂面而成為層 積之狀態,除去支持薄膜之底層塗料樹脂薄片層積製程; (C )藉由在前述底層塗料樹脂薄片上,重疊含有骨格 材並且附有樹脂之金屬箔,進行熱間沖壓加工,而進行層 積’成為包括藉由加熱而使得底層塗料樹脂薄片追隨於内 層基板之表面形狀所發生變形之底層塗料樹脂層之多層銅 Μ基板之沖壓加工製程;以及 (d )藉由蝕刻加工前述多層銅箔基板之外層鋼箔,而 形成外層電路,來成為多層印刷電路板之外層電路银刻製 12.—種多層印刷電路板之製造方法,係本發明之 印刷電路板之製造方法,其特徵在於包括以下所示之^ 〜(C )之各個製程: (a)將構成底層、塗料樹脂層之樹脂組成物, 内層電路基板之設有包括錫、錄或這些之合金之表面處: 層的内層電路形成面’形成2_〜12_厚 :. 大悲之底層塗料樹脂層之底層塗料樹脂塗敷製 …精由在前述底層塗料樹脂層上 並且附有樹脂之金屬羯,進行埶Mr 3有月格才 ^ ^ , 蜀,白進仃熱間沖壓加工,而進行声藉 成為包括沿著内声其故本&…4丁增積 η…Γ 之底層塗料樹脂層之多/ 銅泊基板之沖壓加工製程;以及 " (c)藉由蝕刻加工前述多層 ΤΤ/ JU' a ’自基板之外層銅签,J 形成外層電路,來成為多 θ尸刷電路板之外層t路餘刻! 2213-6721-PF1 76 程。 1 3 ·如申請專利範圍第11項之多層印刷電路板之製造 方法’其中’含有骨格材並且附有樹脂之金屬箔係使用經 過以下所示之(a)〜(e)之各個製程所製造者: (a )使用液體狀熱硬化性樹脂,在設有包括錫、鎳或 這些之合金之表面處理層及矽烷黏合劑層的金屬箔之表面 上,形成液體樹脂層,來作為既定厚度之被覆膜之液體樹 脂被覆膜形成製程;(b )藉由仍然以原來之狀態,來乾燥位處於金屬箔表 面上之液體樹脂層,而成為乾燥樹脂層之預備乾燥製程/ (〇藉由在位處於金屬箔表面上之前述乾燥樹脂層之 表面’重s成為骨袼材之骨格材,進行預備加熱及塵合, 而假貼合骨格材之預備接合製程; “)在金屬箔之表面上仍然载置骨格材之狀離下, 樹脂可能再流動之溫度,進行加熱,在該骨格材二^ 硬化性樹脂成分之樹脂含浸製程;以及 I(〇在結束樹脂之含浸時,不完全地硬 化 脂,馬上進行降溫操作 、更㈣ Η匕夕坐成儿^ a 了 3 /又%月格材之熱硬化性核 曰丰更化狀態而成為含有骨格材並且附右_ 之降溫製程。 何工且附有树脂之金屬深 H·戈口甲睛專利範圍第 過以了所不之Ca)〜(e)之各個製程所製造者·" )使用液體狀熱硬化性樹脂,在金屬箱之表面上, 2213-6721-PP2 77 128941%曰修必正替顯 :液:層’來作為既定厚度之被—被 (b)藉由仍然以原來之狀態,來乾燥位處於金屬箱表 面上,液體樹脂層,而成為乾燥樹脂層之預備乾燥製程; :)猎由在位處於金屬箱表面上之前述乾燥樹脂層之 ;:貼::成為骨格材之骨格材,進行預備加熱及壓合, 而假貼δ月袼材之預備接合製程; 鮮二):金屬箱之表面上仍然載置骨格材之狀態下,在 树月日可旎再流動之溫产 仃加熱,在該骨格材,含浸埶 硬化性樹脂成分之樹脂含浸製程;以及 … =在結束樹脂之含浸時,不完全地硬化熱硬化 脂之半硬化狀態而成為含Π二材之熱硬化性樹 之降溫製程。 “材並且附有樹脂之金屬箱 1 5.如申請專利範圍第 法,盆中, 員之夕層印刷電路板之製造方 物係藉由以下之U) S 之&成所使用之樹脂組成 r、、、()* (b)之製程所得到者: a)成為混合20〜8〇重量份之 量份之可溶解於溶劑之芳』之%乳樹脂、2〇〜8〇重 於帝要爽% 矢聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於而要來添加適當量之 ^ 1 X ^ 足進劑之樹脂混合物;以及 I b )使用有機溶劑而、发 脂固態成分Μ重量^ 4 '月1J述树脂混合物,來成為樹 Π如申二 重量%之樹脂組成物。 6·士申#專利範圍第9 法,其中,前述底層塗料樹、二P刷電路板之製造方 叶祕月曰層之形成所使用之樹脂組成 2213-6721-PF1 78 12894私年y月日正替換g 物係藉由以下之(a)及(b)之製程所得到者: (a) 成為混合20〜8〇重量份之環氧樹脂、2〇〜8〇重 量份之可溶解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物;以及 (b )使用有機溶劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 脂固態成分25重量%〜40重量%之樹脂組成物。 、17·如申請專利_ U項之多層印刷電路板之製造 方去’其中,刖述底層塗料樹脂層之形成所使用之樹脂組 成物係藉由以下之(a)及(b)之製程所得到者: 日(a)成為混合20〜80重量份之環氧樹脂、2〇〜8〇重 讀之可溶解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物;以及 (b) 使用有機溶劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 脂固態成分25重量%〜4〇重量%之樹脂組成物。 1 8. 士申明專利範圍第8項之多層印刷電路板之製造方 法其中’在内層電路基板之表面藉由塗敷法而形成底層 塗料樹脂層之 '狀態下之所使用之樹脂組成物係藉由以下之 (a )及(b )之製程所得到者: ^ (a)成為混合20〜80重量份之環氧樹脂、20〜80重 里伤之可冷解於浴劑之芳香族聚酿胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物;以及 (b)使用有機溶劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 月曰口 I、成刀8重s %〜! 5重量%之樹脂組成物。 1 93申明專利範圍第丨〇項之多層印刷電路板之製造 2213-6721-PF1 79 方法,其中,在内層電路基板之表面藉由塗敷法而形成底 層塗料樹脂層H態下之所使用之樹脂組成物係藉由以下 之(a )及(b )之製程所得到者·· (a)成為混合20〜80重量份之環氧樹脂、2〇〜8〇重 $份之可溶解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物;以及 (b )使用有機〉谷劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 脂固態成分8重量%〜15重量%之樹脂組成物。 20·如申請專利範圍第12項之多層印刷電路板之製造 _ 方法’其中’在内層電路基板之表面藉由塗敷法而形成底 層塗料樹脂層之狀態下之所使用之樹脂組成物係藉由以下 之(a )及(b )之製程所得到者: (a )成為混合2 0〜8 0重量份之環氧樹脂、2 〇〜8 0重 量份之可溶解於溶劑之芳香族聚醯胺樹脂聚合物以及配合 於需要來添加適當量之硬化促進劑之樹脂混合物;以及 (b )使用有機溶劑而溶解前述樹脂混合物,來成為樹 脂固態成分8重量%〜1 5重量%之樹脂組成物。 # 2213-6721-PF1 80
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003418376 | 2003-12-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200524504A TW200524504A (en) | 2005-07-16 |
TWI289421B true TWI289421B (en) | 2007-11-01 |
Family
ID=34697100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW093138352A TWI289421B (en) | 2003-12-16 | 2004-12-10 | Multilayer printed wiring board and method for manufacturing the multilayer printed wiring board |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7485361B2 (zh) |
JP (2) | JP4895611B2 (zh) |
KR (3) | KR20060061377A (zh) |
CN (1) | CN100551211C (zh) |
TW (1) | TWI289421B (zh) |
WO (1) | WO2005060324A1 (zh) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4240448B2 (ja) * | 2002-08-22 | 2009-03-18 | 三井金属鉱業株式会社 | 樹脂層付銅箔を用いた多層プリント配線板の製造方法 |
KR100759193B1 (ko) * | 2005-08-30 | 2007-09-14 | 주식회사 엘지화학 | 다층 인쇄회로기판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다층인쇄회로기판 |
KR100728748B1 (ko) * | 2005-12-14 | 2007-06-19 | 삼성전기주식회사 | 임베디드 인쇄회로기판 제조방법 |
US20070221325A1 (en) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Andre Cardoso | Accelerated B-Stage curing process for thermosetting resins and FBGA assembly process utilizing the accelerated B-Stage curing process |
JP5074882B2 (ja) * | 2006-10-24 | 2012-11-14 | 三井金属鉱業株式会社 | 多層プリント配線板の製造方法及びその製造方法で得られた多層プリント配線板 |
WO2009082005A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 表面反応性支持体、それを用いた配線基板及びそれらの製造方法 |
KR101099436B1 (ko) * | 2009-08-17 | 2011-12-27 | 주식회사 두산 | 배선패턴의 형성방법 |
CN102111965B (zh) * | 2009-12-29 | 2013-01-09 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 电路板制作方法 |
JP5760606B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-08-12 | 日本ゼオン株式会社 | 金属張積層板の製造方法 |
DE102013201392A1 (de) * | 2013-01-29 | 2014-07-31 | Evonik Industries Ag | Haftvermittler- und Primer-Zusammensetzungen für Metall-Kunststoff-Hybridbauteile |
CN105247972A (zh) * | 2013-04-26 | 2016-01-13 | 株式会社电装 | 多层基板、使用多层基板的电子装置、多层基板的制造方法、基板以及使用基板的电子装置 |
KR102149800B1 (ko) * | 2013-08-08 | 2020-08-31 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판용 적층재, 이를 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조 방법 |
ES2827452T3 (es) * | 2014-10-10 | 2021-05-21 | Formica Corp | Materiales decorativos de revestimiento multicapa con materiales conductores incorporados, superficies sólidas elaboradas con los mismos, procedimientos para fabricar tales materiales de revestimiento y usos de los mismos |
KR102466206B1 (ko) * | 2015-12-16 | 2022-11-11 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 |
US11600421B2 (en) | 2017-04-14 | 2023-03-07 | The Diller Corporation | Laminate with induction coils |
US11605487B2 (en) | 2017-04-14 | 2023-03-14 | The Diller Corporation | Laminate with induction coils and charging station device comprising same |
US10440828B2 (en) | 2017-04-14 | 2019-10-08 | The Diller Corporation | Integrated electrical component within laminate |
US10228123B2 (en) | 2017-04-14 | 2019-03-12 | The Diller Corporation | Electroluminescent element within laminate |
KR20200019958A (ko) * | 2017-07-20 | 2020-02-25 | 미쓰이 가가쿠 토세로 가부시키가이샤 | 전자 장치의 제조 방법 |
CN107809858A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-03-16 | 广东电网有限责任公司江门供电局 | 一种多层电路印刷板机构 |
KR102167337B1 (ko) * | 2018-12-12 | 2020-10-20 | 유림특수화학 주식회사 | 밀착력 및 부착력이 우수한 lds 방식 회로기판 제조 방법 |
CN114828447A (zh) * | 2021-01-28 | 2022-07-29 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 线路板及其制作方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58118241A (ja) | 1982-01-06 | 1983-07-14 | 松下電工株式会社 | 金属張積層板の製造方法 |
JPH02303187A (ja) | 1989-05-18 | 1990-12-17 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板の製造方法 |
JPH07314603A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-12-05 | Nippon Denkai Kk | 銅張積層体、多層プリント回路板及びそれらの処理方法 |
JPH0974273A (ja) * | 1995-06-27 | 1997-03-18 | Nippon Denkai Kk | プリント回路用銅張積層板とその接着剤 |
JPH1110794A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-19 | Nippon Denkai Kk | 銅張積層板用銅箔およびそれを用いた銅張積層板 |
JP3184485B2 (ja) * | 1997-11-06 | 2001-07-09 | 三井金属鉱業株式会社 | 銅張積層板用樹脂組成物、樹脂付き銅箔、多層銅張り積層板および多層プリント配線板 |
JP3612594B2 (ja) * | 1998-05-29 | 2005-01-19 | 三井金属鉱業株式会社 | 樹脂付複合箔およびその製造方法並びに該複合箔を用いた多層銅張り積層板および多層プリント配線板の製造方法 |
JP2001257465A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板およびその製造方法 |
JP2001284821A (ja) | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Nippon Zeon Co Ltd | 多層回路基板 |
JP2002179772A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-26 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | プリント配線板の層間絶縁層構成用の樹脂化合物、その樹脂化合物を用いた絶縁層形成用樹脂シート及び樹脂付銅箔、並びにそれらを用いた銅張積層板 |
JP2002314243A (ja) * | 2001-04-11 | 2002-10-25 | Nippon Paint Co Ltd | 多層プリント配線板用プライマー組成物 |
JP4574064B2 (ja) * | 2001-05-29 | 2010-11-04 | 富士通株式会社 | 多層配線層を有する基板及びその製造方法 |
JP3434808B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2003-08-11 | 三井金属鉱業株式会社 | 樹脂付銅箔及びその樹脂付銅箔を用いたプリント配線板 |
JP2003127313A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Ajinomoto Co Inc | 接着フィルム及びプリプレグ |
JP4136509B2 (ja) | 2001-12-18 | 2008-08-20 | 三井金属鉱業株式会社 | プリプレグの製造方法並びにプリプレグの製造装置並びに絶縁層付銅箔の製造方法 |
JP4148501B2 (ja) * | 2002-04-02 | 2008-09-10 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板の内蔵キャパシタ層形成用の誘電体フィラー含有樹脂及びその誘電体フィラー含有樹脂を用いて誘電体層を形成した両面銅張積層板並びにその両面銅張積層板の製造方法 |
-
2004
- 2004-12-09 KR KR1020067006006A patent/KR20060061377A/ko active Search and Examination
- 2004-12-09 KR KR1020087025400A patent/KR20080098554A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-12-09 CN CNB2004800070564A patent/CN100551211C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-09 WO PCT/JP2004/018355 patent/WO2005060324A1/ja active Application Filing
- 2004-12-09 JP JP2005516298A patent/JP4895611B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-09 KR KR1020087007003A patent/KR100906857B1/ko active IP Right Grant
- 2004-12-09 US US10/580,198 patent/US7485361B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-10 TW TW093138352A patent/TWI289421B/zh not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-08-26 JP JP2010189078A patent/JP5129843B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100551211C (zh) | 2009-10-14 |
JP4895611B2 (ja) | 2012-03-14 |
US7485361B2 (en) | 2009-02-03 |
JPWO2005060324A1 (ja) | 2007-12-13 |
JP2010258486A (ja) | 2010-11-11 |
US20070102804A1 (en) | 2007-05-10 |
CN1762186A (zh) | 2006-04-19 |
TW200524504A (en) | 2005-07-16 |
KR20080098554A (ko) | 2008-11-10 |
WO2005060324A1 (ja) | 2005-06-30 |
KR20060061377A (ko) | 2006-06-07 |
JP5129843B2 (ja) | 2013-01-30 |
KR20080028517A (ko) | 2008-03-31 |
KR100906857B1 (ko) | 2009-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI289421B (en) | Multilayer printed wiring board and method for manufacturing the multilayer printed wiring board | |
CN105408525B (zh) | 表面处理铜箔、附载体铜箔、基材、树脂基材、印刷配线板、覆铜积层板及印刷配线板的制造方法 | |
CN104427757B (zh) | 表面处理铜箔、附载体铜箔、积层板、印刷布线板、电子机器、以及印刷布线板的制造方法 | |
JP3949676B2 (ja) | 極薄接着剤層付銅箔及びその極薄接着剤層付銅箔の製造方法 | |
CN104125711B (zh) | 高频电路用铜箔、覆铜板、印刷布线板、带载体的铜箔、电子设备及印刷布线板的制造方法 | |
CN104427758B (zh) | 表面处理铜箔、附载体铜箔、积层板、印刷布线板、电子机器、以及印刷布线板的制造方法 | |
CN106455310B (zh) | 附载体铜箔、积层体、印刷配线板的制造方法及电子机器的制造方法 | |
CN105556004B (zh) | 铜箔、带有载体箔的铜箔及覆铜层压板 | |
TWI356856B (zh) | ||
CN1984527B (zh) | 带载体的极薄铜箔及印刷电路基板 | |
KR101909352B1 (ko) | 표면 처리 동박, 캐리어가 부착된 동박, 기재, 수지 기재, 프린트 배선판, 구리 피복 적층판 및 프린트 배선판의 제조 방법 | |
KR100951211B1 (ko) | 프라이머 수지층을 구비한 캐리어박 부착 전해 동박 및 그제조 방법 | |
CN108696986A (zh) | 表面处理铜箔、附载体铜箔、积层板、印刷配线板的制造方法、以及电子机器的制造方法 | |
CN105774118B (zh) | 附镀敷的金属基材 | |
TW200806105A (en) | Copper foil attached to the carrier and printed circuit board using the same | |
CN108156769A (zh) | 表面处理铜箔、附有载体的铜箔、积层体、印刷布线板的制造方法及电子机器的制造方法 | |
CN104120471B (zh) | 高频电路用铜箔、覆铜板、印刷配线板、带载体的铜箔、电子设备及印刷配线板的制造方法 | |
TW200803640A (en) | Ultrathin copper foil with carrier and printed circuit board | |
CN105612274A (zh) | 表面处理金属材、附载体金属箔、连接器、端子、积层体、屏蔽带、屏蔽材、印刷电路板、金属加工零件、电子机器、及印刷电路板的制造方法 | |
CN105007687B (zh) | 附载体铜箔、印刷配线板、积层体、电子机器及印刷配线板的制造方法 | |
JP5505828B2 (ja) | 複合金属箔及びその製造方法 | |
CN106304615B (zh) | 附载体铜箔、积层体、印刷配线板、电子机器及印刷配线板的制造方法 | |
CN105392297B (zh) | 附载体铜箔的制法、覆铜积层板的制法、印刷配线板的制法、电子机器的制法及它们的制品 | |
CN108156753A (zh) | 表面处理铜箔、附载体铜箔、积层体、印刷配线板的制造方法及电子机器的制造方法 | |
CN108696987A (zh) | 表面处理铜箔、附有载体的铜箔、积层体、印刷布线板的制造方法及电子机器的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |