JP4518573B2 - ホウ素の外部拡散を防ぎ応力を減少させるためのn▲下2▼o窒化酸化物トレンチ側壁 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体の処理方法に関し、より詳細には、ホウ素の外部拡散を防ぎ応力を減少させるトレンチ分離プロセスに関する。
背景情報
安価で、高速で、電力消耗の少ないマイクロプロセッサの要求が高くなっているため、集積回路(IC)の素子集積密度を高めなければならない。高まる要求を満たすために、超大規模集積回路(VLSI)技術が進歩し続けて来た。回路の寸法を十分に最小にするために、ICをすべての点で縮小しなければならない。トランジスタの寸法を最小にする他に、各素子が互いに独立に動作できるように、半導体基板上の半導体素子を隣りの半導体素子から物理的かつ電気的に分離するはたらきをするフィールド領域の寸法を最小にしなければならない。
一般に、シリコン基板上に作成できるトランジスタの数は、トランジスタのサイズとシリコン基板の利用可能な表面積によってのみ制限される。トランジスタは、シリコン基板の活性領域だけに作成することができ、活性領域を互いに分離するために基板の分離領域が使用される。したがって、シリコン基板の表面のトランジスタの数を最大にするためには、基板の利用可能な活性領域の表面積を最大にする必要がある。活性領域の表面積は、シリコン基板の分離領域を最小にすることにより最大になる。分離領域を十分に最小にするためには、分離領域の幅が、所与のフォトリソグラフィ技術によって印刷可能な最小幅に近くなければならない。
そのような分離領域を形成するために開発された1つの技術は、トレンチ技術として知られている。トレンチ分離構造は、基板にトレンチ領域をエッチングし、次にこのトレンチにあるタイプのトレンチ充填材料を埋めることによってシリコン基板に形成される。その後で、従来の処理方法でトランジスタまたは半導体素子を形成するためにそのトレンチ分離構造に隣接した活性領域を利用することができる。
半導体基板に形成されたトレンチを埋めるために使用される材料は、トレンチ分離構造の強固さと分離品質において重要な役割をする。一般に、トレンチは、たとえば、二酸化シリコン(酸化物)などの絶縁材料が充填される。
図1a〜kに、トレンチ分離構造を形成する従来技術の方法の一例を示す。図1aは、パッド酸化物層120と研磨ストップ層130を付着した半導体基板110を示す。研磨ストップ層は、たとえば窒化シリコンなどの窒化物で形成することができる。次に、図1bに示したように、研磨ストップ層130とパッド酸化物層120をパターニングし、エッチングして、開口部140を形成する。研磨ストップ層130とパッド酸化物層120が、周知のフォトリソグラフィ・マスキング技術とエッチング技術(図示せず)を使用してパターニングできることは、当業者には明らかであろう。
研磨ストップ層130とパッド酸化物120をパターニングした後で、図1cに示したように、基板110をエッチングし、トレンチ145を形成する。しかしながら、トレンチ145をエッチングした後、トレンチの側壁は汚れており、そのため、トレンチ側壁から残骸を除去するためにプレクリーニング段階を実行する。次に、図1dに示したように、トレンチ内に犠牲酸化物層150を形成する。次に、図1eに示したように、犠牲酸化物層150を除去し、側壁を清浄な残骸のない状態にする。
次に、図1fに示したように、トレンチ内にトレンチ側壁酸化物160を形成する。トレンチ側壁酸化物160は、犠牲酸化物150よりも高品質(すなわち純粋)で、トレンチ内に残す。次に、図1gに示したように、トレンチに酸化物を充填し、トレンチ充填酸化物170を形成する。トレンチに化学気相成長法(CVD)技術を利用して酸化物を充填できることは当業者には明らかであることに注意されたい。トレンチを埋めた後、図1hに示したように、トレンチ充填酸化物170を研磨し、研磨ストップ層130の上の余分な酸化物を除去する。
次に、図1iに示したように、研磨ストップ層130を除去する。研磨ストップ層130は、従来のエッチング技術を使用して除去できることは当業者には明らかであることに注意されたい。研磨ストップ層130を除去した後で、図1jに示したように、エッチバック段階を実行して、トレンチ内にトレンチ側壁酸化物160とトレンチ充填酸化物170を隔離する。このエッチバック段階は、化学機械的研磨(CMP)技術を使用して実行できることは当業者には明らかであることに注意されたい。
トレンチ分離技術によって生じる問題がいくつかある。その1つの問題は、図1jに示したような、「バーズピーク」または尖った上角部190の形成である。トレンチの尖った上角部190には、より強力な電磁界(電界)が生じることがある。トレンチの尖った上角部は、後でトレンチの両側に活性領域を形成するときに問題を引き起こす。たとえば、ゲート絶縁酸化物層を基板とトレンチの上全体に成長させてトレンチの近くにトランジスタを形成するとき、トレンチの上角部が尖っているため、ゲート酸化物層を均一な厚さに成長させることができない。図1kに示したように、薄いゲート酸化物層180の上角部190のまわりの厚さがきわめて薄くなる。薄いゲート酸化物層は、強い電磁界にさらされると破壊されることがある。たとえば、トランジスタが形成され、機能しているとき、尖った上角部190に強い電界が発生し、薄いゲート酸化物180が障害を受け、素子の性能を低下させる望ましくない寄生容量と漏れ電圧が生じることがある。
尖った上角部は、トレンチに充填するときにも問題となる。前述のように、トレンチは、一般に、化学気相成長法(CVD)技術を使用して埋められ、トレンチには、酸化物、ポリシリコン、それらの組合せなどの材料が充填される。CVDプロセスは構造物にプラズマを当てる。そのプラズマは、尖った角部のまわりに電界を発生させ、堆積プロセスを不均一にしたり、トレンチ充填物にギャップやボイドを生成したりすることがある。
トレンチ分離技術によって生じるもう1つの問題は、半導体素子領域、たとえばトランジスタ(図2に示した)のソース220とドレイン230の領域からトレンチ245領域へのドーパントの外部拡散である。外部拡散は、特に、幅が狭いNチャネル・トランジスタで顕著であり、素子の寸法が小さくなるほど(たとえば、幅が狭いほど)、外部拡散の影響が大きくなる。素子領域からのドーパントの外部拡散は、いくつかの影響を有する。ドーパント濃度が高いほどトランジスタのしきい値電圧が高くなることは当技術分野では周知である。したがって、素子領域からチャネル内へのドーパントの外部拡散によって、トランジスタのドーパント濃度が低下し、それにより素子のしきい値電圧が低下する。たとえば、ソース領域220の隣りの領域250内のドーパントがトレンチ245に外部拡散すると、領域250のドーパント濃度は、領域255のドーパント濃度よりも低くなる。したがって、領域250のしきい値電圧は、領域255のしきい値電圧よりも低くなる。
また、ドーパントの外部拡散によって、オフリーク電流が大きくなることがある。オフリーク電流は、ゲート240に印加される電圧がゼロ(Vg=0)で、ドレイン電圧(Vd)が電源電圧(Vcc)(すなわち、一般に、電源は、Vcc=1.8ボルトでもよい)のときに、トランジスタのソース220からドレイン230に流れる寄生(すなわち、有害か望ましくない)電流である。オフリーク電流は、ソースの電圧がゼロ(Vs=0)になるように最小にすることが望ましい。しかしながら、ドーパントがトレンチ内に外部拡散し、たとえばソース領域の近くのドーパント(たとえば、領域250からのドーパント)が、トレンチ内に拡散すると、ソース領域の近くのしきい値電圧が、チャネルとドレイン領域のしきい値電圧よりも低くなり、ソース220からドレイン230に寄生電流が流れることがある。
トレンチ内へのドーパントの外部拡散を少なくするために使用される従来技術の1つの方法は、側壁酸化物160の表面を窒素プラズマで処理し、側壁酸化物160を窒素を多く含む酸化物面に変化させることである。窒素を多く含む酸化物面を作成することによって、ドーパントがトレンチ内に拡散しにくくなる。しかしながら、窒素プラズマを使用するだけではドーパントの外部拡散を制御するのに十分な障壁を作成できないことが分かった。窒素プラズマを使用すると、いくつかの領域に障壁が生成されるが、窒素だけでは酸化物層と十分に反応せず、十分な障壁が形成されない。したがって、ドーパントの外部拡散がまだ起こっており、寄生電流が引き続き問題となる。
前述の従来技術の分離技術のさらに他の問題は、その技術が、32Åよりも厚い薄いゲート酸化物層を使用する素子には有効であるが、素子の特性が縮小するにつれて、ゲート酸化物が薄くなるとき(32Å以下)、前述のトレンチ分離技術は利用できなくなる。すなわち、素子寸法が0.35μ技術から0.25μ以下の技術に移行するとき、従来技術のトレンチ分離技術は不適切である。
したがって、ドーパントの外部拡散を防ぎ、薄いゲート酸化物を均一に付着することができ、より薄いゲート酸化物の使用を可能にするトレンチ分離構造とその構造を作成する方法が必要とされる。
発明の要旨
半導体基板に分離構造を形成する方法を説明する。まず、半導体基板にトレンチをエッチングする。次に、トレンチに第1の酸化物層を作成する。この第1の酸化物層は、酸化窒素(酸化二窒素:N2O)ガス雰囲気中でN2O窒化段階にかけ、第1の酸化物層上にオキシ窒化物面と、半導体基板と第1の酸化物層の間にシリコン・オキシ窒化物界面を形成する。次に、第2の酸化物層が、第1の酸化物層のオキシ窒化物面上に堆積される。
本発明のさらに他の特徴および利点は、以下の詳細な説明、図面および請求の範囲から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
本発明は、以下の添付図面において、制限ではなく例として示される。
図1aは、パッド酸化物層と研磨ストップ層を付着した半導体基板の断面図を示す。
図1bは、パッド酸化物層と研磨ストップ層をパターニングした後の図1aの構造の断面図を示す。
図1cは、半導体基板にトレンチをエッチングした後の図1bの構造の断面図を示す。
図1dは、トレンチに犠牲酸化物を付着した後の図1cの構造の断面図を示す。
図1eは、プレクリーニング段階を実行して犠牲酸化物を除去した後の図1dの構造の断面図を示す。
図1fは、トレンチ側壁酸化物を形成した後の図1eの構造の断面図を示す。
図1gは、トレンチを酸化物で完全に埋めた後の図1fの構造の断面図を示す。
図1hは、研磨段階を実行した後の図1gの構造の断面図を示す。
図1iは、研磨ストップ層を除去した後の図1hの構造の断面図を示す。
図1jは、エッチバック段階を実行した後の図1iの構造の断面図を示す。
図1kは、薄いゲート酸化物を成長させた後の図1jの構造の断面図を示す。
図2は、活性領域の近くの従来技術トレンチ分離構造を示す。
図3aは、パッド酸化物層と研磨ストップ層を付着させた半導体基板の断面図を示す。
図3bは、パッド酸化物層と研磨ストップ層をパターニングした後の図3aの構造の断面図を示す。
図3cは、半導体基板にトレンチをエッチングした後の図3bの構造の断面図を示す。
図3dは、トレンチの上角部を丸くするプレクリーニング段階を実行した後の図3cの構造の断面図である。
図3eは、N2O窒化とアニール段階の間の図3dの構造の断面図を示す。
図3fは、オキシ窒化物面とシリコン・オキシ窒化物境界を形成した後の図3eの構造の断面図を示す。
図3gは、トレンチを酸化物で完全に埋めた後の図3fの構造の断面図を示す。
図3hは、研磨段階を実行した後の図3gの構造の断面図を示す。
図3iは、研磨ストップ層を除去した後の図3hの構造の断面図を示す。
図3jは、エッチバック段階を実行した後の図3iの構造の断面図を示す。
図3kは、薄いゲート酸化物を成長させた後の図3jの構造の断面図を示す。
図4は、活性領域の近くの本発明のトレンチ分離構造の実施形態を示す。
詳細な説明
ホウ素の外部拡散を防ぎ応力を減少させるためにN2O窒化酸化物トレンチ側壁を形成する方法を開示する。以下の説明では、本発明の完全な理解を与えるために、特定の材料、プロセス・パラメータ、寸法などの多数の特定の詳細について説明する。しかしながら、本発明を実施するためにこれらの特定の詳細を利用しなくてもよいことは、当業者には明らかであろう。他の例において、本発明を無駄に不明瞭にするのを避けるために、周知の材料や方法については詳細に説明しない。
本発明は、ドーパントの外部拡散を防ぎ、薄いゲート酸化物の均一な堆積を可能にし、より薄いゲート酸化物の使用を可能にするトレンチ分離構造とその構造を作成する方法について説明する。半導体素子の製造において、本発明は、トレンチと活性領域の間に障壁を形成するために使用され、それにより、活性領域のドーパントがトレンチ内に外部拡散できないようにする。
半導体素子を形成するとき、ひとつの活性領域を別の活性領域から分離するために、活性領域の近くに分離トレンチを形成することがある。図3a〜kは、本発明の1つの実施形態を示す。図3aは、パッド酸化物層320と研磨ストップ層330を堆積した半導体基板310を示す。半導体基板310は、シリコンで作成することができ、研磨ストップ層330は、たとえば窒化シリコンなどの窒化物で作成することができる。本発明の1つの実施形態において、研磨ストップ層330は、約1800Åの厚さを有し、パッド酸化物320は、約100Åの厚さを有する。次に、研磨ストップ層330とパッド酸化物層320をパターニングして、図3bに示したような開口部340を形成する。研磨ストップ層330とパッド酸化物層320は、周知のフォトリソグラフィ・マスキング技術とエッチング技術(図示せず)を使用してパターニングできることは当業者には明らかであろう。
研磨ストップ層330とパッド酸化物320をパターニングした後で、図3cに示したように、基板310をエッチングしてトレンチ345を形成する。しかしながら、トレンチ345をエッチングした後、トレンチの側壁は清浄でなく、プレクリーニング段階を実行してトレンチ側壁から残骸を除去する。トレンチのプレクリーニング段階は、SC1、SC2およびHFからなる化学作用を利用して実行される。標準クリーニング1(SC1)は、NH4OH、H2O2およびH2Oの組合せであり、標準クリーニング2(SC2)は、HCl、H2O2およびH2Oの組合せである。プレクリーニング段階は、プレクリーニング化学作用により、シリコン半導体基板310の一部を消耗するだけの時間行われる。プレクリーニング段階の間のシリコンの消耗により、トレンチの尖った上角部390が丸くなり、図3dに示したように、「バーズビーク」作用が減少し、丸い上角部395が形成される。したがって、プレクリーニング段階が長いほど、トレンチの上角部395が丸くなる。トレンチ345の上角部が丸くなるので、強い電磁界が生じなくなり、トレンチに隣接した活性領域に半導体素子を形成するためのより薄いゲート酸化物380(図3kに示した)の均一な堆積が可能になる。
次に、図3eに示したように、トレンチ内にトレンチ側壁酸化物360を形成する。トレンチ側壁酸化物360は、約900〜1050℃の範囲の温度で、約150〜350Åの範囲の厚さに成長させることができる。本発明の好ましい実施形態において、トレンチ側壁酸化物360は、約1000℃の温度で約250Åに成長させた熱酸化物である。
トレンチ側壁酸化物360を形成した後で、図3eに示したように、トレンチ側壁酸化物360を、酸化窒素(N2O)ガス雰囲気中でN2O窒化段階とアニール段階を実施する。窒化段階とアニール段階は、第1の酸化物層上にトレンチ内の応力を低減するオキシ窒化物面と、トレンチ345の隣りの活性領域からドーパント外部拡散をなくすはたらきをする半導体基板と第1の酸化物層の間のシリコン・オキシ窒化物界面(障壁)を形成する。アニール段階は、VDF炉内で、温度900℃、継続時間約5〜35分、N2Oガス雰囲気で行うことができる。本発明の1つの実施形態において、N2Oガス雰囲気とアニールは、継続時間約15分、温度約1000℃で実行される。窒化酸化物は、トレンチ側壁酸化物360と反応して、図3fに示したように、トレンチ側壁酸化物360の表面にオキシ窒化物面365と、シリコン半導体基板310とトレンチ側壁酸化物360の間にシリコン・オキシ窒化物界面366を作成する。
N2Oガス雰囲気を使用すると、窒素プラズマだけを使用する場合よりも多くの面と反応し、それにより、ひずみを防ぐためにトレンチの側壁酸化物上により良好で強固なオキシ窒化物面が作成され、またトレンチ側壁酸化物とシリコン半導体基板の間に、障壁としてはたらき、活性領域からのドーパントの拡散を防ぐシリコン・オキシ窒化物界面が作成される。窒素プラズマだけを使用すると、化学作用だけしか起こらないので、良好なオキシ窒化物やシリコン・オキシ窒化物は作成されない。しかしながら、窒化酸化物を使用すると、N2Oとトレンチ側壁酸化物とシリコン半導体基板の間の良好な化学反応により、良好なオキシ窒化物とシリコン・オキシ窒化物が形成される。
次に、図3gに示したように、トレンチは、酸化物で埋められトレンチ充填酸化物370が形成される。化学気相成長法(CVD)技術を使用してトレンチを酸化物で埋めることができることは当業者には明らかであることに注意されたい。本発明の1つの実施形態では、トレンチ充填酸化物370の厚さは、充填するトレンチの寸法に大きく依存する。さらに、トレンチ充填酸化物370の厚さは、次の平坦化エッチバック段階の間に適切な平坦化とプロセス制御を行えるように選択されなければならない。本発明のもう1つの実施形態では、トレンチ充填酸化物370は、たとえばプラズマ・エッチングCVD(PECVD)、熱CVD(ThCVD)、減圧CVD(LPCVD)などの方法によって形成することができ、TEOSと酸素以外の反応化学種またはそれらと共に他の反応化学種を使用して形成することができる。たとえば、トレンチ充填酸化物370は、PSG(phosphosilicate glass)、BSG(borosilicate glass)またはBPSG(borophosphosilicate glass)を形成するドーパントを含む。
トレンチを埋めるために使用される材料を選択するときに考慮すべき重要な点は、選択した材料が、半導体基板の表面を覆うために使用される下地材料と異ならなければならないことである。たとえば、研磨ストップ層330として窒化物層を使用する本発明の1つの実施形態では、トレンチを埋めるために使用される材料は、窒化物ではないことが好ましい。この方式で、後で説明する次の平坦化エッチバック・プロセスの間に処理と化学作用を実施して、トレンチ充填材料のエッチバックが、基礎マスク層で確実に止まるようにすることができる。本発明の他の実施形態では、トレンチを埋めるために使用される単一のCVD酸化物層を、利用される特定の用途に適したトレンチ材料の多層スタックと交換することができることに注意されたい。
トレンチを埋めた後で、図3hに示したように、トレンチ充填酸化物370を研磨(または平坦化)して、研磨ストップ層330上の余分な酸化物を除去する。次に、図3iに示したように、研磨ストップ層330を除去する。研磨ストップ層330を従来のエッチング技術を使用して除去できることは当業者には明らかであることに注意されたい。研磨ストップ層330を除去した後、図3jに示したように、エッチバック段階を実行して、トレンチ内にトレンチ側壁酸化物360とトレンチ充填酸化物370を隔離する。このエッチバック段階は、化学機械的研磨(CMP)技術を使用して実行することができることは当業者には明らかであることに注意されたい。
本発明は、トレンチ分離技術を利用した際の従来技術において起きていたいくつかの問題を解決する。本発明により解決されるそのような1つの問題は、「バーズビーク」または尖った上角部の作用である。前に説明したように、トレンチ345の上角部390は、処理中に丸くされ、丸い上角部395が形成される。したがって、丸い上角部395は、強い電磁界(電界)を生じない。本発明が丸い上角部395を作成するので、本発明は、また、トレンチの両側に活性領域を形成する際の尖った上角部に関連した問題のいくつかを解決する。たとえば、トランジスタをトレンチの隣りに形成し、ゲート絶縁酸化物層を基板とトレンチの上に成長させるとき、本発明のトレンチの上角部が丸くなっているため、ゲート酸化物層380は、均一な厚さで成長する。図3kに示したように、丸い上角部395にある薄いゲート酸化物層380の厚さは、トレンチ345と基板310の水平面の上にあるゲート酸化物層と同じ厚さ(すなわち、均一の厚さ)である。したがって、薄いゲート酸化物層380は、強い電磁界を受けたときに破壊しにくい。たとえば、トランジスタが形成され、機能しているとき、丸い上角部395が、電界をより均一に分散させ(あるいは収集せず)、したがって、素子の性能を低下させる望ましくない寄生容量と漏れ電圧を防ぐはたらきをする。
丸い上角部395は、また、トレンチを埋めるプロセスを支援する。前述のように、トレンチは、一般に、化学気相成長法(CVD)技術を使用して埋められ、酸化物などの材料がトレンチに充填される。トレンチ345の上角部が丸くされるため、尖った上角部のまわりに電界を発生させる(または作り出す)傾向があるプラズマに構造物をさらすCVDプロセスは、本発明の丸い上角部395のまわりにそのような電界を発生させない。したがって、本発明の丸い上角部により、均一な堆積プロセスが可能になり、トレンチ充填時にギャップやボイドが形成される可能性を小さくする。
本発明は、また、トレンチ分離応力と、半導体素子領域から、たとえばトランジスタのソース420とドレイン430領域から(図4に示した)トレンチ領域445内へのドーパントの外部拡散のトレンチ分離技術に関連した問題を解決する。特に、本発明は、Nチェネル・トランジスタにおけるホウ素ドーパントの外部拡散を防ぐことができる。前に説明したように、外部拡散は、特に、狭い幅を有するNチェネル・トランジスタにおいて著しく、したがって、素子の寸法が小さくなるほど(たとえば、幅が狭くなるほど)、外部拡散の影響を受けやすくなる。
本発明は、オキシ窒化物面465とシリコン・オキシ窒化物界面466を作成することによって、トレンチの応力と、Nチェネル・トランジスタからのホウ素の外部拡散を減少させるかまたはなくす。オキシ窒化物面465は、酸化物層の間のトレンチ分離構造内にある応力を減少させる。シリコン・オキシ窒化物界面466は、トレンチ側壁酸化物460とトレンチ充填酸化物470内にホウ素ドーパントが拡散するのを防ぐ。したがって、活性領域のドーパント濃度が安定していると、活性領域内のしきい値電圧が安定し、装置の性能を低下させる寄生電流の影響を受けにくい。たとえば、ソース領域420の隣りの領域450内のドーパントが、トレンチ445内に外部拡散しない場合は、領域450内のドーパント濃度は、領域455内のドーパント濃度とほぼ同じままである。したがって、領域450のしきい値電圧は、領域455のしきい値電圧とほぼ同じになる。
本発明を使用してドーパントの外部拡散を制御または防止することにより、オフリーク電流も減少する。前に述べたように、オフリーク電流は、ゲート440に印加される電圧がゼロ(Vg=O)で、ドレイン電圧(Vd)が電源電圧(Vcc)(すなわち、一般に、電源はVcc=1.8ボルトでもよい)のときに、トランジスタのソース420からドレイン430に流れる寄生(すなわち、不良または望ましくない)電流である。ソースの電圧がゼロ(Vs=0)になるように漏れ電流を最小にすることが望ましい。本発明の使用により、トレンチ内へドーパントの外部拡散が防止され、たとえばソース領域(たとえば、領域450からのドーパント)の近くのドーパントが、トレンチ内に拡散しなくなるため、ソース領域の近くのしきい値電圧は、チャネルとドレイン領域内のしきい値電圧とほぼ同じになり、したがってソース420からドレイン430に寄生電流が流れなくなる。
本発明のもう1つの利点は、従来技術よりも薄いゲート酸化物層を使用できることである。ゲート酸化物をより均一に成長させることができ、トレンチ内へのドーパントの外部拡散を防ぐことができるので、約32Å以下のより薄いゲート酸化物を使用することができる。したがって、特性が縮小するにつれて、たとえば0.35μm技術から0.25μm以下の技術に移行するとき、本発明のトレンチ分離技術は、たとえば32Å以下のより薄いゲート酸化物の使用することができる。
以上、N2O窒化酸化物のトレンチ側壁を形成して、ホウ素の外部拡散を防ぎ応力を減少させる方法を開示した。特定の機器、パラメータ、方法および材料を含む特定の実施形態を説明したが、開示した実施形態に対する様々な修正は、この開示を読んでいる当業者には明らかであろう。したがって、これらの実施形態は、単なる例示であり、広範な本発明を制限せず、本発明は、示し説明した特定の実施形態に制限されないことを理解されたい。
Claims (5)
- 半導体基板に分離構造を形成する方法であって、
a)記半導体基板にトレンチをエッチングする段階と、
b)前記トレンチ内の第1の酸化物層を形成する段階と、
c)前記第1の酸化物層を酸化窒素(N2O)ガス雰囲気中でアニールして、前記第1の酸化物層上にオキシ窒化物面を形成し、前記第1の酸化物層と前記半導体基板との間にシリコン・オキシ窒化物界面を形成する段階と、
d)前記第1の酸化物層の前記オキシ窒化物面上に、第2の酸化物層を堆積させる段階とを含む方法。 - 半導体基板内に分離構造を形成する方法であって、
a)前記半導体基板にトレンチをエッチングする段階と、
b)前記半導体基板の一部を消耗し、そして前記トレンチの尖った上角部を丸くするようにプレクリーニングする段階と、
c)前記トレンチ内に熱酸化物を成長させて、第1の酸化物層を形成する段階と、
d)前記第1の酸化物層を酸化窒素(N2O)ガス雰囲気中でアニールして、前記第1の酸化物層上にオキシ窒化物面を形成し、前記第1の酸化物層と前記半導体基板の間にシリコン・オキシ窒化物界面を形成し、前記N2O基体雰囲気処理段階が、前記半導体基板の一部を消耗し、前記トレンチの上角部を丸くする段階と、
e)前記第1の酸化物層の前記オキシ窒化物面上に第2の酸化物層を堆積させる段階と、
f)化学機械的研磨エッチバック段階を実行して、前記トレンチ内の前記第1と第2の酸化物層を分離する段階と
を含む方法。 - 半導体基板内に分離構造を形成する方法であって、
a)前記半導体基板上にパッド酸化物層を形成する段階と、
b)前記パッド酸化物層上に研磨ストップ層を形成する段階と、
c)前記研磨ストップ層と前記パッド酸化物層をパターニングしてエッチングする段階と、
d)前記半導体基板内にトレンチをエッチングする段階と、
e)前記半導体基板の一部を消耗し、そして前記トレンチの尖った上角部を丸くするようにプレクリーニングする段階と、
f)前記トレンチ内に第1の酸化物層を形成して、第1のトレンチ酸化物層を形成する段階と、
g)前記第1の酸化物層を酸化窒素(N2O)ガス雰囲気中でアニールして、前記第1の酸化物層上にオキシ窒化物面を形成し、前記第1の酸化物層と前記半導体基板の間にシリコン・オキシ窒化物界面を形成し、前記N2O基体雰囲気処理段階が、前記半導体基板の一部を消耗し、前記トレンチの上角部を丸くする段階と、
h)前記第1のトレンチ酸化物層の前記オキシ窒化物面上に、第2のトレンチ酸化物層を堆積させる段階と、
i)前記第2のトレンチ酸化物層を研磨して、前記第2のトレンチ酸化物層の前記研磨ストップ層の上の部分を除去する段階と、
j)前記研磨ストップ層を除去する段階と、
k)化学機械的研磨エッチバック段階を実行して、前記トレンチ内の前記第1と第2の酸化物層を分離する段階と、
l)半導体素子の形成に使用するために、前記半導体基板と前記トレンチの上に薄いゲート酸化物層を形成する段階と、
を含む方法。 - 半導体基板に形成された分離構造であって、
前記半導体基板内のトレンチと、
前記トレンチの内面に形成され、オキシ窒化物面を有する第1の酸化物層と、
前記第1の酸化物層と前記半導体基板の間のシリコン・オキシ窒化物界面と、
前記トレンチ内の、前記第1の酸化物層の前記オキシ窒化物面上に直接配置された第2の酸化物層と
を含む分離構造。 - 半導体基板内に形成された分離構造であって、
前記半導体基板内のトレンチと、
前記トレンチの内側に形成され、オキシ窒化物面を有する第1の酸化物層と、
前記第1の酸化物層と前記半導体基板の間のシリコン・オキシ窒化物界面と、
前記トレンチ内に、前記第1の酸化物層の前記オキシ窒化物面上に直配置された第2の酸化物層とを有する分離構造と、
前記分離構造の隣りにあり、32Å未満の厚さを有する薄いゲート酸化物層を含むトランジスタと
を含む半導体素子。
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US6114741A (en) * | 1996-12-13 | 2000-09-05 | Texas Instruments Incorporated | Trench isolation of a CMOS structure |
US5780346A (en) * | 1996-12-31 | 1998-07-14 | Intel Corporation | N2 O nitrided-oxide trench sidewalls and method of making isolation structure |
US5763315A (en) * | 1997-01-28 | 1998-06-09 | International Business Machines Corporation | Shallow trench isolation with oxide-nitride/oxynitride liner |
JPH10214888A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US6096662A (en) * | 1997-03-26 | 2000-08-01 | Advanced Micro Devices, Inc. | NH3 /N2 plasma treatment to enhance the adhesion of silicon nitride to thermal oxide |
US6399462B1 (en) * | 1997-06-30 | 2002-06-04 | Cypress Semiconductor Corporation | Method and structure for isolating integrated circuit components and/or semiconductor active devices |
JPH11111710A (ja) * | 1997-10-01 | 1999-04-23 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
TW501230B (en) * | 1997-10-04 | 2002-09-01 | United Microelectronics Corp | Manufacture method shallow trench isolation |
US6284633B1 (en) * | 1997-11-24 | 2001-09-04 | Motorola Inc. | Method for forming a tensile plasma enhanced nitride capping layer over a gate electrode |
US6080682A (en) * | 1997-12-18 | 2000-06-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Methodology for achieving dual gate oxide thicknesses |
US6051478A (en) * | 1997-12-18 | 2000-04-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of enhancing trench edge oxide quality |
JPH11204788A (ja) * | 1998-01-19 | 1999-07-30 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
KR100280106B1 (ko) * | 1998-04-16 | 2001-03-02 | 윤종용 | 트렌치 격리 형성 방법 |
US5989977A (en) * | 1998-04-20 | 1999-11-23 | Texas Instruments - Acer Incorporated | Shallow trench isolation process |
US6727569B1 (en) * | 1998-04-21 | 2004-04-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of making enhanced trench oxide with low temperature nitrogen integration |
US6153480A (en) * | 1998-05-08 | 2000-11-28 | Intel Coroporation | Advanced trench sidewall oxide for shallow trench technology |
KR100289340B1 (ko) * | 1998-06-12 | 2001-06-01 | 윤종용 | 트렌치격리제조방법 |
US6248429B1 (en) | 1998-07-06 | 2001-06-19 | Micron Technology, Inc. | Metallized recess in a substrate |
US6156620A (en) * | 1998-07-22 | 2000-12-05 | Lsi Logic Corporation | Isolation trench in semiconductor substrate with nitrogen-containing barrier region, and process for forming same |
US6355540B2 (en) * | 1998-07-27 | 2002-03-12 | Acer Semicondutor Manufacturing Inc. | Stress-free shallow trench isolation |
JP4592837B2 (ja) * | 1998-07-31 | 2010-12-08 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6245638B1 (en) * | 1998-08-03 | 2001-06-12 | Advanced Micro Devices | Trench and gate dielectric formation for semiconductor devices |
US6265282B1 (en) * | 1998-08-17 | 2001-07-24 | Micron Technology, Inc. | Process for making an isolation structure |
US6274498B1 (en) * | 1998-09-03 | 2001-08-14 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming materials within openings, and method of forming isolation regions |
US6372601B1 (en) | 1998-09-03 | 2002-04-16 | Micron Technology, Inc. | Isolation region forming methods |
KR100292616B1 (ko) * | 1998-10-09 | 2001-07-12 | 윤종용 | 트렌치격리의제조방법 |
JP2000133700A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
TW396521B (en) * | 1998-11-06 | 2000-07-01 | United Microelectronics Corp | Process for shallow trench isolation |
US6200880B1 (en) * | 1998-11-16 | 2001-03-13 | United Microelectronics Corp. | Method for forming shallow trench isolation |
US6483736B2 (en) | 1998-11-16 | 2002-11-19 | Matrix Semiconductor, Inc. | Vertically stacked field programmable nonvolatile memory and method of fabrication |
US6245635B1 (en) * | 1998-11-30 | 2001-06-12 | United Microelectronics Corp. | Method of fabricating shallow trench isolation |
US6080637A (en) * | 1998-12-07 | 2000-06-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Shallow trench isolation technology to eliminate a kink effect |
JP3955404B2 (ja) * | 1998-12-28 | 2007-08-08 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置の製造方法 |
KR100470160B1 (ko) * | 1998-12-30 | 2005-04-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 소자분리막 형성 방법 |
US6037238A (en) * | 1999-01-04 | 2000-03-14 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Process to reduce defect formation occurring during shallow trench isolation formation |
KR100322531B1 (ko) * | 1999-01-11 | 2002-03-18 | 윤종용 | 파임방지막을 이용하는 반도체소자의 트랜치 소자분리방법 및이를 이용한 반도체소자 |
US6027982A (en) * | 1999-02-05 | 2000-02-22 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Method to form shallow trench isolation structures with improved isolation fill and surface planarity |
JP2000260867A (ja) * | 1999-03-09 | 2000-09-22 | Toshiba Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US6180489B1 (en) * | 1999-04-12 | 2001-01-30 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Formation of finely controlled shallow trench isolation for ULSI process |
KR100319620B1 (ko) * | 1999-05-10 | 2002-01-05 | 김영환 | 반도체 소자의 격리구조 및 그 제조방법 |
JP2000323563A (ja) | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
US6255194B1 (en) * | 1999-06-03 | 2001-07-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Trench isolation method |
JP4649006B2 (ja) * | 1999-07-16 | 2011-03-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US6200881B1 (en) * | 1999-07-23 | 2001-03-13 | Worldwide Semiconductor Manufacturing Corp. | Method of forming a shallow trench isolation |
US6323106B1 (en) * | 1999-09-02 | 2001-11-27 | Lsi Logic Corporation | Dual nitrogen implantation techniques for oxynitride formation in semiconductor devices |
JP2001085511A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 素子分離方法 |
KR100338767B1 (ko) | 1999-10-12 | 2002-05-30 | 윤종용 | 트렌치 소자분리 구조와 이를 갖는 반도체 소자 및 트렌치 소자분리 방법 |
US6313011B1 (en) * | 1999-10-28 | 2001-11-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. (Kpenv) | Method for suppressing narrow width effects in CMOS technology |
JP2001144170A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
EP1104936A1 (en) * | 1999-11-25 | 2001-06-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a semiconductor device, and semiconductor device manufactured thereby |
US6174787B1 (en) * | 1999-12-30 | 2001-01-16 | White Oak Semiconductor Partnership | Silicon corner rounding by ion implantation for shallow trench isolation |
US6495449B1 (en) * | 2000-03-07 | 2002-12-17 | Simplus Systems Corporation | Multilayered diffusion barrier structure for improving adhesion property |
US6670266B2 (en) * | 2000-03-07 | 2003-12-30 | Simplus Systems Corporation | Multilayered diffusion barrier structure for improving adhesion property |
US6368931B1 (en) * | 2000-03-27 | 2002-04-09 | Intel Corporation | Thin tensile layers in shallow trench isolation and method of making same |
US8575719B2 (en) | 2000-04-28 | 2013-11-05 | Sandisk 3D Llc | Silicon nitride antifuse for use in diode-antifuse memory arrays |
US6313007B1 (en) | 2000-06-07 | 2001-11-06 | Agere Systems Guardian Corp. | Semiconductor device, trench isolation structure and methods of formations |
KR20020002161A (ko) * | 2000-06-29 | 2002-01-09 | 박종섭 | 반도체 소자분리막 형성방법 |
KR100339890B1 (ko) * | 2000-08-02 | 2002-06-10 | 윤종용 | 자기정렬된 셸로우 트렌치 소자분리 방법 및 이를 이용한불휘발성 메모리 장치의 제조방법 |
US6417070B1 (en) | 2000-12-13 | 2002-07-09 | International Business Machines Corporation | Method for forming a liner in a trench |
US6432797B1 (en) * | 2001-01-25 | 2002-08-13 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Simplified method to reduce or eliminate STI oxide divots |
DE10104037A1 (de) * | 2001-01-31 | 2002-08-22 | Elmos Semiconductor Ag | Substrat für integrierte Halbleiterkomponenten |
US6335259B1 (en) * | 2001-02-22 | 2002-01-01 | Macronix International Co., Ltd. | Method of forming shallow trench isolation |
US7267037B2 (en) | 2001-05-05 | 2007-09-11 | David Walter Smith | Bidirectional singulation saw and method |
US20020197823A1 (en) * | 2001-05-18 | 2002-12-26 | Yoo Jae-Yoon | Isolation method for semiconductor device |
JP5121102B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2013-01-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
KR100428768B1 (ko) * | 2001-08-29 | 2004-04-30 | 삼성전자주식회사 | 트렌치 소자 분리형 반도체 장치 및 그 형성 방법 |
US6777307B1 (en) * | 2001-12-04 | 2004-08-17 | Cypress Semiconductor Corp. | Method of forming semiconductor structures with reduced step heights |
DE10162065A1 (de) * | 2001-12-17 | 2003-06-26 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Grabenätzen |
US20040108573A1 (en) * | 2002-03-13 | 2004-06-10 | Matrix Semiconductor, Inc. | Use in semiconductor devices of dielectric antifuses grown on silicide |
US20030194871A1 (en) * | 2002-04-15 | 2003-10-16 | Macronix International Co., Ltd. | Method of stress and damage elimination during formation of isolation device |
TWI252565B (en) * | 2002-06-24 | 2006-04-01 | Hitachi Ltd | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
KR100486757B1 (ko) * | 2002-07-15 | 2005-05-03 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 소자 격리 특성을 향상시킨 이미지센서 및 그 제조 방법 |
JPWO2004023549A1 (ja) * | 2002-08-30 | 2006-01-05 | Spansion Japan株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US6784075B2 (en) | 2002-09-10 | 2004-08-31 | Silicon Integrated Systems Corp. | Method of forming shallow trench isolation with silicon oxynitride barrier film |
US6727160B1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-27 | Silicon Integrated Systems Corp. | Method of forming a shallow trench isolation structure |
KR100497603B1 (ko) * | 2003-03-17 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 트렌치 소자 분리 방법 및 이를 이용한 불휘발성 메모리장치의 제조방법 |
US6887798B2 (en) * | 2003-05-30 | 2005-05-03 | International Business Machines Corporation | STI stress modification by nitrogen plasma treatment for improving performance in small width devices |
US7996825B2 (en) * | 2003-10-31 | 2011-08-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Cross-file inlining by using summaries and global worklist |
JP2005277196A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP2006024895A (ja) * | 2004-06-07 | 2006-01-26 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US20060003546A1 (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-05 | Andreas Klipp | Gap-filling for isolation |
KR100607330B1 (ko) * | 2004-10-25 | 2006-07-28 | 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. | 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법 |
JP2007035823A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Elpida Memory Inc | トレンチ形成方法、半導体装置の製造方法および半導体装置 |
KR100731102B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-06-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서 및 이의 제조방법 |
KR100678645B1 (ko) * | 2006-01-13 | 2007-02-06 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US7635655B2 (en) * | 2006-03-30 | 2009-12-22 | Tokyo Electron Limited | Method for replacing a nitrous oxide based oxidation process with a nitric oxide based oxidation process for substrate processing |
KR100854870B1 (ko) * | 2006-05-12 | 2008-08-28 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조방법 |
JP4446202B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2010-04-07 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
KR100829600B1 (ko) | 2006-10-02 | 2008-05-14 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치의 제조 방법 |
KR100845102B1 (ko) * | 2006-12-20 | 2008-07-09 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자의 소자분리막 형성방법 |
KR100842749B1 (ko) * | 2007-03-27 | 2008-07-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체소자의 트렌치 소자분리막 형성방법 |
JP2009283494A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
US8043933B2 (en) * | 2008-11-24 | 2011-10-25 | Applied Materials, Inc. | Integration sequences with top surface profile modification |
JP5549410B2 (ja) * | 2010-06-18 | 2014-07-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US8921183B2 (en) * | 2010-12-08 | 2014-12-30 | Nanya Technology Corporation | Method for fabricating trench isolation structure |
FR2972564B1 (fr) * | 2011-03-08 | 2016-11-04 | S O I Tec Silicon On Insulator Tech | Procédé de traitement d'une structure de type semi-conducteur sur isolant |
CN103295950B (zh) * | 2012-02-27 | 2015-05-20 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 浅沟槽隔离结构的制作方法 |
US8829642B2 (en) * | 2012-03-29 | 2014-09-09 | The Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Science | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
KR102317646B1 (ko) * | 2015-04-14 | 2021-10-27 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3883889A (en) * | 1974-04-15 | 1975-05-13 | Micro Power Systems Inc | Silicon-oxygen-nitrogen layers for semiconductor devices |
US3976524A (en) * | 1974-06-17 | 1976-08-24 | Ibm Corporation | Planarization of integrated circuit surfaces through selective photoresist masking |
US4621414A (en) * | 1985-03-04 | 1986-11-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of making an isolation slot for integrated circuit structure |
US4960727A (en) * | 1987-11-17 | 1990-10-02 | Motorola, Inc. | Method for forming a dielectric filled trench |
US4871689A (en) * | 1987-11-17 | 1989-10-03 | Motorola Inc. | Multilayer trench isolation process and structure |
US5004703A (en) * | 1989-07-21 | 1991-04-02 | Motorola | Multiple trench semiconductor structure method |
JP2932552B2 (ja) * | 1989-12-29 | 1999-08-09 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US5387540A (en) * | 1993-09-30 | 1995-02-07 | Motorola Inc. | Method of forming trench isolation structure in an integrated circuit |
US5593912A (en) * | 1994-10-06 | 1997-01-14 | International Business Machines Corporation | SOI trench DRAM cell for 256 MB DRAM and beyond |
JPH08203884A (ja) | 1995-01-31 | 1996-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | オキシナイトライド膜およびその形成方法ならびにそのオキシナイトライド膜を用いた素子分離酸化膜の形成方法 |
US5985735A (en) * | 1995-09-29 | 1999-11-16 | Intel Corporation | Trench isolation process using nitrogen preconditioning to reduce crystal defects |
US5719085A (en) * | 1995-09-29 | 1998-02-17 | Intel Corporation | Shallow trench isolation technique |
US5780346A (en) | 1996-12-31 | 1998-07-14 | Intel Corporation | N2 O nitrided-oxide trench sidewalls and method of making isolation structure |
DE69824368T2 (de) * | 1997-04-07 | 2005-06-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Herstellungsverfahren einer halbleitervorrichtung mit flacher grabenisolation |
-
1996
- 1996-12-31 US US08/775,571 patent/US5780346A/en not_active Expired - Lifetime
-
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1998
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