JP4494856B2 - 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 - Google Patents
炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4494856B2 JP4494856B2 JP2004134305A JP2004134305A JP4494856B2 JP 4494856 B2 JP4494856 B2 JP 4494856B2 JP 2004134305 A JP2004134305 A JP 2004134305A JP 2004134305 A JP2004134305 A JP 2004134305A JP 4494856 B2 JP4494856 B2 JP 4494856B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- seed crystal
- crystal
- silicon carbide
- carbide single
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 261
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 106
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 105
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 title description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 13
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 41
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 15
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 14
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 13
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 5
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 5
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004430 X-ray Raman scattering Methods 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Description
Yu.M.Tairov and V.F.Tsvetkov, Journal of Crystal Growth,vol.52(1981)pp.146−150
(1) 炭化珪素単結晶成長用種結晶の坩堝蓋に接する面のそり・うねりが、10μm以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶成長用種結晶、
(2) 前記炭化珪素単結晶用種結晶の結晶成長面が、凹面であることを特徴とする(1)に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶、
(3) 炭化珪素単結晶成長用種結晶の研磨方法であって、片面ずつ両面を研磨する方法で、坦度÷研磨定盤直径の値が一万分の一以下である研磨定盤を使用して前記炭化珪素単結晶成長用種結晶の坩堝蓋に接する面を先に研磨し、坩堝蓋に接する面のそり・うねりを10μm以下とすることを特徴とする炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法、
(4) 前記炭化珪素単結晶成長用種結晶の坩堝蓋に接する面を研磨する方法が該種結晶をポリッシングブロックに貼付して研磨定盤に押付けながら回転させて研磨する方法であって、ダイヤモンド砥粒の粒度を小さく変えながら多段階で研磨した後、バフ研磨することを特徴とする(3)に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法、
(5) 前記炭化珪素成長用種結晶の結晶成長面を、凹面にすることを特徴とする(3)又は(4)に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法、
(6) (1)又は(2)に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶を用いた炭化珪素単結晶の結晶成長方法であって、該種結晶のそり・うねりが、10μm以下である面側を抜熱用坩堝蓋に密着させて、該坩堝に密着させた面とは反対の面の上に炭化珪素単結晶を成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶の結晶成長方法、である。
まず、種結晶として、口径75mmの(0001)面を有した六方晶系のSiC単結晶ウエハを用意した。この種結晶は、厚さ0.8mmで、SiC単結晶インゴットからスライスした両面が粗面の種結晶を、ダイヤモンド砥粒を用いた機械的研磨により片面ずつ鏡面研磨した。
比較例として、平坦性の悪い種結晶ウエハを用いて、成長実験を行った。まず、種結晶として、口径75mmの(0001)面を有した六方晶系のSiC単結晶ウエハを用意した。この種結晶のそり・うねりは10μm以上であり、概略凹面状の形状であった。
2 SiC結晶粉末原料、
3 坩堝(黒鉛あるいはタンタル等の高融点金属)、
4 黒鉛製坩堝蓋、
5 二重石英管、
6 支持棒、
7 黒鉛製フェルト(断熱材)、
8 ワークコイル、
9 高純度Arガス配管、
10 高純度Arガス用マスフローコントローラ、
11 真空排気装置。
Claims (6)
- 炭化珪素単結晶成長用種結晶の坩堝蓋に接する面のそり・うねりが、10μm以下であることを特徴とする炭化珪素単結晶成長用種結晶。
- 前記炭化珪素単結晶用種結晶の結晶成長面が、凹面であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶。
- 炭化珪素単結晶成長用種結晶の研磨方法であって、片面ずつ両面を研磨する方法で、平坦度÷研磨定盤直径の値が一万分の一以下である研磨定盤を使用して前記炭化珪素単結晶成長用種結晶の坩堝蓋に接する面を先に研磨し、坩堝蓋に接する面のそり・うねりを10μm以下とすることを特徴とする炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶成長用種結晶の坩堝蓋に接する面を研磨する方法が該種結晶をポリッシングブロックに貼付して研磨定盤に押付けながら回転させて研磨する方法であって、ダイヤモンド砥粒の粒度を小さく変えながら多段階で研磨した後、バフ研磨することを特徴とする請求項3に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法。
- 前記炭化珪素成長用種結晶の結晶成長面を、凹面にすることを特徴とする請求項3又は4に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶成長用種結晶を用いた炭化珪素単結晶の結晶成長方法であって、該種結晶のそり・うねりが、10μm以下である面側を抜熱用坩堝蓋に密着させて、該坩堝に密着させた面とは反対の面の上に炭化珪素単結晶を成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶の結晶成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004134305A JP4494856B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004134305A JP4494856B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005314167A JP2005314167A (ja) | 2005-11-10 |
JP4494856B2 true JP4494856B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=35441971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004134305A Expired - Lifetime JP4494856B2 (ja) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4494856B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11781244B2 (en) | 2018-01-24 | 2023-10-10 | Resonac Corporation | Seed crystal for single crystal 4H—SiC growth and method for processing the same |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8410488B2 (en) * | 2006-09-14 | 2013-04-02 | Cree, Inc. | Micropipe-free silicon carbide and related method of manufacture |
CN101255597B (zh) * | 2007-12-13 | 2011-07-13 | 西安理工大学 | 一种用曲面籽晶进行物理气相输运的晶体生长的方法 |
JP5193691B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2013-05-08 | 株式会社ブリヂストン | 単結晶の研磨方法 |
JP4937967B2 (ja) * | 2008-06-09 | 2012-05-23 | 新日本製鐵株式会社 | 炭化珪素エピタキシャルウェハの製造方法 |
JP5716998B2 (ja) * | 2011-06-01 | 2015-05-13 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素結晶インゴットおよび炭化珪素結晶ウエハ |
WO2014021365A1 (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体構造物、半導体装置及び該半導体構造物の製造方法 |
JP5944873B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2016-07-05 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 炭化珪素単結晶ウェハの内部応力評価方法、及び炭化珪素単結晶ウェハの反りの予測方法 |
JP6241254B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2017-12-06 | 住友電気工業株式会社 | 単結晶の製造方法 |
CN114457425B (zh) * | 2022-04-12 | 2022-08-23 | 杭州乾晶半导体有限公司 | 一种碳化硅籽晶重复循环利用的方法、装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58132458A (ja) * | 1982-01-25 | 1983-08-06 | Hoya Corp | 硬脆材料基板の平面研磨方法及び研磨装置 |
JPS6171966A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-12 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 金属板の研摩方法 |
JPS61152365A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-11 | Tohoku Metal Ind Ltd | 薄物素材の鏡面加工方法 |
JPH11239962A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Toshiba Corp | ラッピング定盤およびそれを用いたラッピング装置 |
JP2000191399A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶およびその製造方法 |
JP2002308697A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-23 | Nippon Steel Corp | 炭化珪素単結晶インゴット及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶育成用種結晶の装着方法 |
JP2003119098A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-23 | Denso Corp | 種結晶の固定方法および固定状態の評価方法 |
-
2004
- 2004-04-28 JP JP2004134305A patent/JP4494856B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58132458A (ja) * | 1982-01-25 | 1983-08-06 | Hoya Corp | 硬脆材料基板の平面研磨方法及び研磨装置 |
JPS6171966A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-12 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 金属板の研摩方法 |
JPS61152365A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-11 | Tohoku Metal Ind Ltd | 薄物素材の鏡面加工方法 |
JPH11239962A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Toshiba Corp | ラッピング定盤およびそれを用いたラッピング装置 |
JP2000191399A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶およびその製造方法 |
JP2002308697A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-23 | Nippon Steel Corp | 炭化珪素単結晶インゴット及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶育成用種結晶の装着方法 |
JP2003119098A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-23 | Denso Corp | 種結晶の固定方法および固定状態の評価方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11781244B2 (en) | 2018-01-24 | 2023-10-10 | Resonac Corporation | Seed crystal for single crystal 4H—SiC growth and method for processing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005314167A (ja) | 2005-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4964672B2 (ja) | 低抵抗率炭化珪素単結晶基板 | |
JP5304713B2 (ja) | 炭化珪素単結晶基板、炭化珪素エピタキシャルウェハ、及び薄膜エピタキシャルウェハ | |
JP5569112B2 (ja) | 炭化珪素単結晶ウェハの製造方法及びこの方法で得られた炭化珪素単結晶ウェハ | |
JP6109028B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット | |
JP4603386B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP5068423B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット、炭化珪素単結晶ウェハ及びその製造方法 | |
JP4585359B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
WO2021025077A1 (ja) | SiC基板の製造方法 | |
JP2006117512A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法とその方法によって成長した炭化珪素単結晶、単結晶インゴットおよび炭化珪素単結晶ウエーハ | |
JP2007119273A (ja) | 炭化珪素単結晶の成長方法 | |
JP4523733B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法並びに炭化珪素単結晶育成用種結晶の装着方法 | |
US20220333270A1 (en) | SiC SEED CRYSTAL AND METHOD FOR PRODUCING SAME, SiC INGOT PRODUCED BY GROWING SAID SiC SEED CRYSTAL AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SiC WAFER PRODUCED FROM SAID SiC INGOT AND SiC WAFER WITH EPITAXIAL FILM AND METHODS RESPECTIVELY FOR PRODUCING SAID SiC WAFER AND SAID SiC WAFER WITH EPITAXIAL FILM | |
JP4494856B2 (ja) | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 | |
JP4690906B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP2005239496A (ja) | 炭化珪素単結晶育成用炭化珪素原料と炭化珪素単結晶及びその製造方法 | |
JP4408247B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶と、それを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP2003104798A (ja) | 炭化珪素単結晶及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶育成用炭化珪素結晶原料 | |
JP5614387B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法、及び炭化珪素単結晶インゴット | |
JPH06107494A (ja) | ダイヤモンドの気相成長法 | |
JP5135545B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット育成用種結晶及びその製造方法 | |
JP4850807B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用坩堝、及びこれを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP5333363B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用炭化珪素原料及びそれを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP5370025B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット | |
WO2015012190A1 (ja) | SiC基板の製造方法 | |
JP2003137694A (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶と炭化珪素単結晶インゴット及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060907 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090728 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100406 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100408 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4494856 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |