JPS61152365A - 薄物素材の鏡面加工方法 - Google Patents
薄物素材の鏡面加工方法Info
- Publication number
- JPS61152365A JPS61152365A JP59271876A JP27187684A JPS61152365A JP S61152365 A JPS61152365 A JP S61152365A JP 59271876 A JP59271876 A JP 59271876A JP 27187684 A JP27187684 A JP 27187684A JP S61152365 A JPS61152365 A JP S61152365A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- work
- plane
- ring
- finishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は多結晶フェライト材料の薄物の表面を高精度な
平面度、平行度に加工する精密研摩方法に関する。
平面度、平行度に加工する精密研摩方法に関する。
磁気ヘッド用材料として用いられている多結晶フェライ
ト材料の表面を精密平面に加工する加工方法として、現
在ラッピングが多用されているが、仕上面が滑らかで精
度が高いものを得ることができるという長所の反面、高
精度な平面度を得ることは困難であった。
ト材料の表面を精密平面に加工する加工方法として、現
在ラッピングが多用されているが、仕上面が滑らかで精
度が高いものを得ることができるという長所の反面、高
精度な平面度を得ることは困難であった。
従来の片面鏡面加工方法を第１図に示す。第１図におい
て、１は多結晶フェライト材（以下ワークと呼ぶ）であ
り、２は真ちゅう製のリングである。リング２を加熱し
、接着剤によって１リング６個ずつワーク１をこすりつ
けて接着する。その後、ラッピングマシンを用い、 Ｇ
Ｃ≠１５００もしくは＋６０００で粗研摩を行ない、ダ
イヤモンドパウダーまたはペースト（ＳＤ＋１〜＋ １
／２ ）で鏡面加工を行なうものである。
て、１は多結晶フェライト材（以下ワークと呼ぶ）であ
り、２は真ちゅう製のリングである。リング２を加熱し
、接着剤によって１リング６個ずつワーク１をこすりつ
けて接着する。その後、ラッピングマシンを用い、 Ｇ
Ｃ≠１５００もしくは＋６０００で粗研摩を行ない、ダ
イヤモンドパウダーまたはペースト（ＳＤ＋１〜＋ １
／２ ）で鏡面加工を行なうものである。
接着した状態での加工面平面度は、ポリシング定盤の平
坦度が良ければ、高精度の平面度に仕上がっている。し
かしながら、前記の加工の後、ワーク１をリング２より
はがした場合、ワーク１が湾曲する傾向にある。
坦度が良ければ、高精度の平面度に仕上がっている。し
かしながら、前記の加工の後、ワーク１をリング２より
はがした場合、ワーク１が湾曲する傾向にある。
この傾向はワークを加工した場合に起こる加工歪み（ト
ワイマン効果）によるものと考えられ、ワークが薄い程
、この加工歪みが現われやすいものと考えられている。
ワイマン効果）によるものと考えられ、ワークが薄い程
、この加工歪みが現われやすいものと考えられている。
この結果、ワークが１龍程度の薄物フェライト材になる
と極端に湾曲し、平面度が悪いという欠点がある。
と極端に湾曲し、平面度が悪いという欠点がある。
本発明は上述の欠点を解決するもので、加工後、素材に
加工歪みが現われるものと見込んで。
加工歪みが現われるものと見込んで。
素材の鏡面にすべき第１の面とは反射筒２の面を最初に
粗研摩加工し、逆に反らせてから９次に、鏡面にすべき
第１の面の粗研摩加工を行う。
粗研摩加工し、逆に反らせてから９次に、鏡面にすべき
第１の面の粗研摩加工を行う。
この後、第１の面を鏡面加工し、加工治具（リング）か
ら素材をはずし、第１の面の歪みを解放させることによ
り、良好な平面度の素材を得ることができる。更に良好
な平面度を得るには。
ら素材をはずし、第１の面の歪みを解放させることによ
り、良好な平面度の素材を得ることができる。更に良好
な平面度を得るには。
再度、該第１の面を鏡面加工する。
以下本発明の実施例について、第１図及び第２図を参照
して説明する。
して説明する。
先ず素材の変形及び残留応力の影響を無くするために両
面ラップ加工による材料の平行度を確保して、さらに熱
処理（９００℃〜９５０℃）により歪み取りを行なう。
面ラップ加工による材料の平行度を確保して、さらに熱
処理（９００℃〜９５０℃）により歪み取りを行なう。
第１図及び第２図Ｉの様にリング２にワーク１を６枚ず
つ接着剤３によって接着する。このときワーク１には加
重をあまりかけず、軽く押しつけるようにする。なお、
ワーク１のリング２に接着されている面は、鏡面にすべ
き第１の面Ｂである。
つ接着剤３によって接着する。このときワーク１には加
重をあまりかけず、軽く押しつけるようにする。なお、
ワーク１のリング２に接着されている面は、鏡面にすべ
き第１の面Ｂである。
次に第２図の■の様に鏡面にすべき第１の面Ｂの裏側に
なる第２の面ＡをＧＣす１５ＱＯにより５分間粗研摩加
工し、ワーク１をリング２よりはがす。この時、素材１
は鏡面にすべき第１の面Ｂが中央部が高くなるように変
形する。次に。
なる第２の面ＡをＧＣす１５ＱＯにより５分間粗研摩加
工し、ワーク１をリング２よりはがす。この時、素材１
は鏡面にすべき第１の面Ｂが中央部が高くなるように変
形する。次に。
第２図ｍの如く、ワーク１を裏返し、また前記と同様に
、ワーク１の第２の面Ａをリング２に接着し、 ＧＣ４
Ｎ５００ （４分）で加工を行なう。その後、前加工の
状態のまま、第２図■のように。
、ワーク１の第２の面Ａをリング２に接着し、 ＧＣ４
Ｎ５００ （４分）で加工を行なう。その後、前加工の
状態のまま、第２図■のように。
Ｓ Ｄ ＋ １／２により鏡面加工（３０分）を行なう
。
。
以上によりワーク１の両面を同等の加工をすることによ
り、第２図Ｖの如く、高精度な平面度（ワーク厚１龍で
０．５μ以下）と平行度（ワーク厚１龍で１μ以下）を
得ることができる。
り、第２図Ｖの如く、高精度な平面度（ワーク厚１龍で
０．５μ以下）と平行度（ワーク厚１龍で１μ以下）を
得ることができる。
さらに、リング２を加熱してワーク１をゆるめる。ここ
で、第２図■の如く、前記のトワイマン効果が現われ、
湾曲状態となる。この状態でリング２を冷し、ワーク１
を固定して、再度。
で、第２図■の如く、前記のトワイマン効果が現われ、
湾曲状態となる。この状態でリング２を冷し、ワーク１
を固定して、再度。
鏡面加工を行なう。この状態が第２図■に示されている
。
。
この加工工程により、平行度は若干悪くなるが、ワーク
１をリング２よシはがした状態（第２図■）で高精度平
面度（ワーク厚１Ｎで０．３μ以下）を得ることができ
る。
１をリング２よシはがした状態（第２図■）で高精度平
面度（ワーク厚１Ｎで０．３μ以下）を得ることができ
る。
以上のように本発明によれば、薄物素材（０，５〜１．
２ｍ）の鏡面にすべき第１の面の反対側の第２の面を粗
加工して、変形させておき９次に第１の面を粗加工及び
鏡面加工をすることにより。
２ｍ）の鏡面にすべき第１の面の反対側の第２の面を粗
加工して、変形させておき９次に第１の面を粗加工及び
鏡面加工をすることにより。
片面鏡面で平面度、平行度の良好な素材を得ることがで
きる。
きる。
又、上述したように９本発明によれば、上述の加工によ
る素材の加工歪みを取り除いた後。
る素材の加工歪みを取り除いた後。
素材の第１の面をもう一度鏡面加工を行なうことにより
、ワークの平面度を保つことができるものである。
、ワークの平面度を保つことができるものである。
第１図はリングにワークを接着した状態を示した斜視図
、第２図は本発明に従う加工工程を表わす説明図である
。 ｌ・・・多結晶フェライト材（ワーク）、 ２・・・リ
ング、３・・・接着剤。
、第２図は本発明に従う加工工程を表わす説明図である
。 ｌ・・・多結晶フェライト材（ワーク）、 ２・・・リ
ング、３・・・接着剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、薄物素材の第１の面を鏡面加工する方法において、
前記素材の前記第１の面を加工治具に接着した状態で、
該素材の前記第１の面とは反対側の第２の面を粗研摩加
工し、該素材を前記加工治具から外し、該素材の前記第
２の面を前記加工治具に接着した状態で、該素材の前記
第１の面を粗研摩加工、更には鏡面加工し、該素材を前
記加工治具から外すことを特徴とする薄物素材の鏡面加
工方法。 ２、薄物素材の第１の面を鏡面加工する方法において、
前記素材の前記第１の面を加工治具に接着した状態で、
該素材の前記第１の面とは反対側の第２の面を粗研摩加
工し、該素材を前記加工治具から外し、該素材の前記第
２の面を前記加工治具に接着した状態で、該素材の前記
第１の面を粗研摩加工、更には鏡面加工し、該素材を前
記加工治具から外し、再び該素材の第２の面を前記加工
治具に接着した状態で、該素材の前記第１の面を鏡面加
工し、該素材を前記加工治具から外すことを特徴とする
薄物素材の鏡面加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59271876A JPS61152365A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | 薄物素材の鏡面加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59271876A JPS61152365A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | 薄物素材の鏡面加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61152365A true JPS61152365A (ja) | 1986-07-11 |
Family
ID=17506128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59271876A Pending JPS61152365A (ja) | 1984-12-25 | 1984-12-25 | 薄物素材の鏡面加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61152365A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005314167A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Steel Corp | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 |
-
1984
- 1984-12-25 JP JP59271876A patent/JPS61152365A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005314167A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Steel Corp | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 |
| JP4494856B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-06-30 | 新日本製鐵株式会社 | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 |
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