JPH01153267A - セラミックス板の表面仕上げ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はセラミックス板の表面仕上げ方法に係り、特に
平面研削盤を用いてセラミックス板の表面を効率的に平
面研削して仕上げる方法に関する。

［従来の技術］ 従来、平面研削盤を用いて表面研削作業を行う際の被研
削材の固定方法としては、各種の固定用治具を用いる方
法が一般に採用されている。例えば、バイスやチャック
等の固定用治具を用いる方法があり、チャックとしては
、電磁チャック、真空チャック等の特殊チャックもある
。

その他、接着剤を用いて被研削材を固定する方法もある
。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、バイスやチャック等の被研削材に圧力を
かけて固定する治具は、セラミックス板に対して用いた
場合、締め具合や締め方によって、セラミックス板が割
れたり、欠けたりすることがある。電磁チャック等の磁
力を利用した治具では、プラスチックやセラミックス等
の非磁性材料の固定はできず、また、真空チャックでは
、真空ポンプの吸引力を利用しているため、多孔質のも
のや曲りのあるものには、不向きである。

一方、接着剤を用いた固定では、固着や取りはずしに時
間がかかり、加熱器や耐熱具が必要となる上に、火傷の
危険性もある。また、接着剤の塗布状況を正確に知るこ
とができないため、被研削材の加工後の正確な寸法を予
測することが困難で、高精度の加工を行なうことができ
ない。しかも、接着剤が付着して製品が汚れるという問
題もある。

本発明は上記従来の問題点、即ち、被研削材に割れやか
けが生じる恐れがある、着脱に要する時間が長い、着脱
の際加熱器等が必要となる、製品に汚れが生じる恐れが
ある、製品の寸法精度が安定しない等の問題を解決する
ものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明のセラミックス板の表面仕上げ方法は、セラミッ
クス板の裏面及び側面に粘着テープ又は粘着シートを貼
り付けた後、平面研削盤に取り付けて研削することを特
徴とする。

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明のセラミックス板の表面仕上げ方法を説
明する概略断面図、第２図はセラミックス板に粘着テー
プを貼った状態を示す裏面からの斜視図、第３図はセラ
ミックス板を平面研削盤に固定した状態を示す平面図で
ある。

図示の如く、本発明の方法は、セラミックス板１を平面
研削するにあたり、セラミックス板の裏面１ａ及び側面
ｔｂ、ｔｂ’　に粘着テープ又は粘着シート２を貼り付
けた後、研削機の平面研削盤３に固定用治具４にて固定
して取り付け、回転する砥石５等の研削具で研削するも
のである。

本発明において、粘着テープ又は粘着シートを貼る面は
、被研削材のセラミックス板の裏面即ち被研削面と対向
する面及び、側面即ち被研削面と直交する面である。な
お、側面は必ずしも４側面に粘着テープ又は粘着シート
を貼る必要はなく、セラミックス板を平面研削盤に固定
する治具が対向する１対の治具である場合（即ち、固定
用ブロックが２個の場合）には、第２図に示す如く、そ
の治具と当接する２個面にのみ貼るようにしても良い。

また、セラミックス板の裏面及び側面は、必ずしもその
全面を粘着テープ又は粘着シートで被うようにする必要
はなく、その一部分のみに貼り付けても良いが、その殆
ど全面を粘着テープ又は粘着シートで被うようにするこ
とにより、セラミックス板の割れ、欠は等がより確実に
防止され、著しく優れた効果が得られる。従って、粘着
テープのように幅の狭いものを用いる場合には、第２図
に示す如く、粘着テープ又は粘着シートを治具による力
が加えられる方向に貼り、裏面１ａ及び側面１ｂ、ｌｂ
’のほぼ全面を被うようにするのが好ましい。

本発明で用いる粘着テープ又は粘着シートとしては、厚
さが均一で薄く、しかもある程度の弾性を有する粘着テ
ープ又は粘着シートが好ましく、例えば、厚さ１ｍｍ以
下とりわけ０．５ｍｍ以下程度のビニールテープ等を用
いることができる。

一方、セラミックス板１を平面研削盤３に固定する治具
４としては、従来より用いられているチャック等を用い
ることができるが、本発明においては、特に電磁チャッ
ク等の鉄製平面研削盤３に磁力にて固着して被研削材を
固定する治具春用いるのが好ましい。この場合、電磁チ
ャックの治具４の高さは、セラミックス板の研削後の目
標寸法の高さより若干低い程度とし、治具４は第３図に
示す如くセラミックス板の４個辺に用い、４方向からセ
ラミックス板を固定するようにするのが好ましい。この
場合において、治具４とセラミックス３との間には粘着
テープ又は粘着シートを介在させるように、粘着テープ
又は粘着シーｉ・をセラミックス板１の４側面に貼り付
けるようにする。

このような本発明の方法によれば、緻密質、多孔質を問
わず、あらゆる種類のセラミックスについて、平板から
若干の曲面部のあるものまで、効率良く平面研削を行な
うことができる。

［作用］ セラミックス板と固定用治具及び研削板との間に、粘着
テープ又は粘着シートを介在させると、このテープ又は
シートがセラミックス板に加えられる衝撃力を吸収し、
セラミックス板に割れや欠けが発生するのを防ぐことが
できる。

本発明の方法では、接着剤を用いないため、着脱時間が
短く、手間がかからず、加熱具等も不要で、また汚れも
つかない。そして、粘着テープ又はシートを用いている
ため、その厚さを正確に知ることができ、製品の仕上り
寸法の予測が正確に行えるので、加工精度の高いものが
安定して得られる。

［実施例コ 以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に
説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。説明の便宜上、まず
比較例について説明する。

比較例１ ６０ｍｍｘ６０ｍｍｘ５ｍｍ　（厚さ）のマグネシア焼
結体を用意し、この焼結体を平面研削盤に熱可塑性接着
剤を用いて固定した。固定のためには、１０分間加熱し
、その後１０分□間冷却する必要があった。

固定後、２００Ｍのダイヤモンド砥石を用い、周速９５
０ｍ／ｍｉｎで深さ１ｍｍ、幅１６ｍｍ、送り速度５０
ｍｍ／ｍｉｎで加工を行つた。その結果、接着剤の不均
一な分布により焼結体に割れが生じて研削が行なえなか
ったり、あるいは厚さに±０．０５ｍｍのずれが発生し
て平行度の低いものしか得られなかった。

実施例１ 比較例１で用いたと同様のマグネシア焼結体の裏面及び
側面に厚さ０．１ｍｍのビニールテープを貼った後、固
定用治具として高さ２．５ｍｍの鉄板ブロックを用いて
電磁チャックにより平面研削盤に固定し、同様に研削を
行なった。

その結果、砥石の送り速度を７０　ｍ　ｍ　／　ｍ　ｉ
　ｎに加速することができ、しかも、厚さのずれは０．
０１ｍｍ以下と殆ど無視できる程度の高精度に加工され
た製品が得られた。なお、脱着に要する時間は１分で済
んだ。

［発明の効果］ 以上詳述した通り、本発明のセラミックス板の表面仕上
げ方法は、セラミックス板の裏面及び側面に粘着テープ
又はシートを貼り付けた後、平面研削盤に取り付けて研
削するものであって、■　被研削材に割れや欠けが生じ
ることが殆どない。

■　平面研削盤への着脱に要する時間は１分程度で良く
、作業性に優れる。

■　着脱の際に加熱具や耐熱具を必要としない。

■　製品に汚れがつく恐れがない。

■　高い加工精度で研削することができ、製品の寸法精
度を向上することができる。

等の効果を有する。

このため、本発明の方法によれば、高精度で高価値の製
品を効率的に得ることが可能とされる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のセラミックス板の表面仕上げ方法を説
明する概略断面図、第２図はセラミックス板に粘着テー
プを貼った状態を示す裏面からの斜視図、第３図はセラ
ミックス板を平面研削盤に固定した状態を示す平面図で
ある。 １・・・セラミックス板、 ２・・・粘着テープ又は粘着シート、 ３・・・平面研削盤、 ４・・・固定用治具。 代理人　弁理士　　重　野　　剛

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）セラミックス板を平面研削するにあたり、該セラ
   ミックス板の裏面及び側面に粘着テープ又は粘着シート
   を貼り付けた後、平面研削盤に取り付けて研削すること
   を特徴とするセラミックス板の表面仕上げ方法。