JPH0482664A - 研削加工方法 - Google Patents
研削加工方法Info
- Publication number
- JPH0482664A JPH0482664A JP19661090A JP19661090A JPH0482664A JP H0482664 A JPH0482664 A JP H0482664A JP 19661090 A JP19661090 A JP 19661090A JP 19661090 A JP19661090 A JP 19661090A JP H0482664 A JPH0482664 A JP H0482664A
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- JP
- Japan
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- workpiece
- center
- grinding
- worked
- grindstone
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- Pending
Links
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- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 4
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明ζ瓜 平板状の被加工物の研削加工方法に関する
ものであム 従来の技術 従来の研削加工方法を第３図に示す。砥石回転軸１ａと
平行な回転軸４ａに保持された回転自在なテーブル４に
平板状の被加工物２を、その中心が前記テーブル４の
回転中心に一致するように取付け、前記テーブル４の回
転中心が砥石１の側面の周縁に位置するように前記砥石
ｌを配置し前記砥石１と前記テーブル４とを回転させな
がら回転軸に平行な方向に送り運転を与えて前記被加工
物２を砥石ｌの側面で加工するものであも発明が解決し
ようとする課題 従来の研削加工方法では 被加工物に一度に砥石が接触
するため接触面積が広く研削抵抗が太きｔ〜 このため
被加工物には大きな弾性変形が発生し必要とする加工精
度（特に平面度や板厚精度）が得られないという問題点
があった 本発明（友 上記課題に鑑へ 加工中の研削抵抗を低減
させて高精度な平面形状に加工できる研削加工方法を提
供することを目的とすム 課題を解決するための手段 本発明＆友 上記問題点を解決するため艮 砥石回転軸
と平行な回転軸に保持された回転自在なテ−プルに 治
具に加圧接着された被加工物の中心と、前記テーブルの
回転中心が一致するように前記被加工物を取付け、前記
砥石と前記テーブルとを回転させながら回転軸に直交す
る方向に送り運転を与えて、前記砥石の研削面が前記被
加工物の中心まで達したとき艮 数秒間保持することで
前記被加工物の平面を仕上げ研削加工するものである。
ものであム 従来の技術 従来の研削加工方法を第３図に示す。砥石回転軸１ａと
平行な回転軸４ａに保持された回転自在なテーブル４に
平板状の被加工物２を、その中心が前記テーブル４の
回転中心に一致するように取付け、前記テーブル４の回
転中心が砥石１の側面の周縁に位置するように前記砥石
ｌを配置し前記砥石１と前記テーブル４とを回転させな
がら回転軸に平行な方向に送り運転を与えて前記被加工
物２を砥石ｌの側面で加工するものであも発明が解決し
ようとする課題 従来の研削加工方法では 被加工物に一度に砥石が接触
するため接触面積が広く研削抵抗が太きｔ〜 このため
被加工物には大きな弾性変形が発生し必要とする加工精
度（特に平面度や板厚精度）が得られないという問題点
があった 本発明（友 上記課題に鑑へ 加工中の研削抵抗を低減
させて高精度な平面形状に加工できる研削加工方法を提
供することを目的とすム 課題を解決するための手段 本発明＆友 上記問題点を解決するため艮 砥石回転軸
と平行な回転軸に保持された回転自在なテ−プルに 治
具に加圧接着された被加工物の中心と、前記テーブルの
回転中心が一致するように前記被加工物を取付け、前記
砥石と前記テーブルとを回転させながら回転軸に直交す
る方向に送り運転を与えて、前記砥石の研削面が前記被
加工物の中心まで達したとき艮 数秒間保持することで
前記被加工物の平面を仕上げ研削加工するものである。
作用
上記の手段をとることにより、砥石と被加工物と＆よ
徐々に接触を行いつつ研削加工が行なわれることになる
ので、加工中の研削抵抗も従来に比べて十分に低下し被
加工物の弾性変形も小さくで叡 又 砥石側面の周縁部
が被加工物の中心に達した最終段階で、砥石と被加工物
を数秒間接触した状態に保持することで、被加工物の表
面の微小凹凸を研削し高精度な平面形状に加工すること
が可能となム 実施例 第１図ζよ 本発明の実施例を示す加工状態医第２図（
戴 同実施例の砥石の研削面を示す部分断面図であも １は砥石 ２は被加工ｖＡ ３は治具 ４はテープ＆
５はチャツ久 であり砥石１は回転運動と同時凶 第
１図において上下及び左右方向に移動可能に保持され
かス その回転軸１ａがテーブル４の回転軸４ａと平行
になるように配置されていも 又 前記テーブル４にζ
友 たとえばマグネットチャックであるチャック５を前
記テーブル４の回転中心と一致するように取り付けてあ
り、治具３は磁性金属であム 第２図に示すよう＆ミ 砥石１の側面の周縁部を凸形状
に成形し この凸部先端を円弧形状にドレッシングして
砥石の研削面としていも 被加工物２を、たとえば熱硬化性の接着剤で前記治具３
に加圧接着し 前記チャック５ ！Ｑ 前記被加工物
２の回転中心と前記チャ・ンク５の回転中心とが一致す
るように前記治具３を取り付け、前記砥石１の研削面が
被加工物２に接触しないように配置し 前記砥石１と前
記テーブル４とを回転させながら回転軸１ａに平行な方
向に所定の取り化量だけ送りを与えた徽 回転軸１ａに
直交する方向に送り運転を与え前記砥石１の研削面が前
記被加工物２の中心まで達したときく 数秒間両者を接
触状態に保持し前記被加工物２の平面を仕上げ研削加工
すム この場合、回転軸に直交する方向に送ることで被加工物
２の１回転あたりの砥石接触面積を小さくでき、又 砥
石１の研削面を円弧形状にドレッシングすることで、砥
石１の接触面積も最少にすることかでま 加工中の研削
抵抗を低減させ、加工中の被加工物２の弾性変形を最少
にす４ 又砥石の凸部の研削面が被加工物の回転中心位
置に達した時に 砥石の前記直交方向の送りを停止して
砥石１と被加工物２を数秒間接触状態に保持することで
、被加工物２の表面の微小凹凸を研削し被加工物２の平
面を仕上げ研削加工することができも 上記実施例によれば 弾性変形の比較的大きな被加工物
の平面形状を高精度に研削加工することが可能であａ
又 磁性体の治具を使用することで、被加工物の着脱も
容易となム なお上記実施例で１よ 接着に熱硬化性の接着剤を用い
た力丈 熱可塑性の接着剤を用いてもよ１．％この場合
（よ 被加工物の治具からの取り外しがより容易にでき
も 発明の詳細 な説明したように本発明ζよ 砥石回転軸と平行な回転
軸に保持された回転自在なテーブノ囲ミ治具に加圧接着
された被加工物の中心と、前記テーブルの回転中心が一
致するように前記被加工物を取付け、前記砥石と前記テ
ーブルとを回転させながら回転軸に直交する方向に送り
運転を与えて前記砥石の研削面が前記被加工物の中心ま
で達したときに 数秒間保持することで前記被加工物の
平面を高精度に仕上げ研削加工することができその実用
的効果は太きｔ〜
徐々に接触を行いつつ研削加工が行なわれることになる
ので、加工中の研削抵抗も従来に比べて十分に低下し被
加工物の弾性変形も小さくで叡 又 砥石側面の周縁部
が被加工物の中心に達した最終段階で、砥石と被加工物
を数秒間接触した状態に保持することで、被加工物の表
面の微小凹凸を研削し高精度な平面形状に加工すること
が可能となム 実施例 第１図ζよ 本発明の実施例を示す加工状態医第２図（
戴 同実施例の砥石の研削面を示す部分断面図であも １は砥石 ２は被加工ｖＡ ３は治具 ４はテープ＆
５はチャツ久 であり砥石１は回転運動と同時凶 第
１図において上下及び左右方向に移動可能に保持され
かス その回転軸１ａがテーブル４の回転軸４ａと平行
になるように配置されていも 又 前記テーブル４にζ
友 たとえばマグネットチャックであるチャック５を前
記テーブル４の回転中心と一致するように取り付けてあ
り、治具３は磁性金属であム 第２図に示すよう＆ミ 砥石１の側面の周縁部を凸形状
に成形し この凸部先端を円弧形状にドレッシングして
砥石の研削面としていも 被加工物２を、たとえば熱硬化性の接着剤で前記治具３
に加圧接着し 前記チャック５ ！Ｑ 前記被加工物
２の回転中心と前記チャ・ンク５の回転中心とが一致す
るように前記治具３を取り付け、前記砥石１の研削面が
被加工物２に接触しないように配置し 前記砥石１と前
記テーブル４とを回転させながら回転軸１ａに平行な方
向に所定の取り化量だけ送りを与えた徽 回転軸１ａに
直交する方向に送り運転を与え前記砥石１の研削面が前
記被加工物２の中心まで達したときく 数秒間両者を接
触状態に保持し前記被加工物２の平面を仕上げ研削加工
すム この場合、回転軸に直交する方向に送ることで被加工物
２の１回転あたりの砥石接触面積を小さくでき、又 砥
石１の研削面を円弧形状にドレッシングすることで、砥
石１の接触面積も最少にすることかでま 加工中の研削
抵抗を低減させ、加工中の被加工物２の弾性変形を最少
にす４ 又砥石の凸部の研削面が被加工物の回転中心位
置に達した時に 砥石の前記直交方向の送りを停止して
砥石１と被加工物２を数秒間接触状態に保持することで
、被加工物２の表面の微小凹凸を研削し被加工物２の平
面を仕上げ研削加工することができも 上記実施例によれば 弾性変形の比較的大きな被加工物
の平面形状を高精度に研削加工することが可能であａ
又 磁性体の治具を使用することで、被加工物の着脱も
容易となム なお上記実施例で１よ 接着に熱硬化性の接着剤を用い
た力丈 熱可塑性の接着剤を用いてもよ１．％この場合
（よ 被加工物の治具からの取り外しがより容易にでき
も 発明の詳細 な説明したように本発明ζよ 砥石回転軸と平行な回転
軸に保持された回転自在なテーブノ囲ミ治具に加圧接着
された被加工物の中心と、前記テーブルの回転中心が一
致するように前記被加工物を取付け、前記砥石と前記テ
ーブルとを回転させながら回転軸に直交する方向に送り
運転を与えて前記砥石の研削面が前記被加工物の中心ま
で達したときに 数秒間保持することで前記被加工物の
平面を高精度に仕上げ研削加工することができその実用
的効果は太きｔ〜
第１図は 本発明の実施例を示す加工状態医第２図番上
同実施例の砥石の部分断面図 第３図！；Ｌ 従
来の研削加工方法を示す加工状態図であも１・・・砥Ｋ
ｌａ・・・回転＊［Ｌ２・ ・被加工法 ３・・・治Ａ
４・・・テープに４ａ・・・回転線 ５・・・チャック
。
同実施例の砥石の部分断面図 第３図！；Ｌ 従
来の研削加工方法を示す加工状態図であも１・・・砥Ｋ
ｌａ・・・回転＊［Ｌ２・ ・被加工法 ３・・・治Ａ
４・・・テープに４ａ・・・回転線 ５・・・チャック
。
Claims (1)
- 砥石を用いて被加工物の平面を研削する研削加工方法に
おいて、砥石回転軸と平行な回転軸に保持された回転自
在なテーブルに、治具に加圧接着された被加工物の中心
と、前記テーブルの回転中心が一致するように前記被加
工物を取付け、前記砥石と前記テーブルとを回転させな
がら回転軸に直交する方向に送り運転を与えて、前記砥
石の研削面が前記被加工物の中心まで達したときに、数
秒間、前記砥石と前記被加工物を接触状態に保持する研
削加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19661090A JPH0482664A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 研削加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19661090A JPH0482664A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 研削加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482664A true JPH0482664A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16360621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19661090A Pending JPH0482664A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 研削加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0482664A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001022484A1 (fr) * | 1999-09-20 | 2001-03-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Procede de fabrication d'une tranche de semi-conducteur |
| JP2013026499A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧粉磁心及びその製造方法、並びにコイル部品 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP19661090A patent/JPH0482664A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001022484A1 (fr) * | 1999-09-20 | 2001-03-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Procede de fabrication d'une tranche de semi-conducteur |
| JP2013026499A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧粉磁心及びその製造方法、並びにコイル部品 |
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