JPH03245936A - 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板 - Google Patents

非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板

Info

Publication number
JPH03245936A
JPH03245936A JP2041160A JP4116090A JPH03245936A JP H03245936 A JPH03245936 A JP H03245936A JP 2041160 A JP2041160 A JP 2041160A JP 4116090 A JP4116090 A JP 4116090A JP H03245936 A JPH03245936 A JP H03245936A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
adhesive
machining
processing table
board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2041160A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiichi Higano
日向野 栄一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2041160A priority Critical patent/JPH03245936A/ja
Publication of JPH03245936A publication Critical patent/JPH03245936A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本願発明は、アルミニウム、銅等の非磁性金属からなる
被加工物に研磨、研削等の加工を施すため該被加工物を
加工台上に着脱自在にセットする方法及びそれに使用さ
れる加工台板に関する。
(従来の技術) 従来、例えば回転研磨軸による研磨装置において、可動
テーブル上に、多数の吸引小孔をセット面に開口させた
加工台板を固定し、該加工台板のセット面に非磁性金属
の被加工物をのせると共に、バキューム装置により上記
吸引小孔を通じて被加工物に吸引作用を加えて加工台板
セット面に吸着させ、研磨後上記吸着を解除して被加工
物を取り出すセット方法が使用されている。
(考案が解決しようとする課題) しかし、上記の従来方法では、被加工物の加工台板セッ
ト面への当接面に溝があったり、上記当接面から上方へ
貫通する孔がある場合は、被加工物への吸引作用が働か
ず、セット不能となる欠点があった。
本願発明は、非磁性金属の被加工物を溝や貫通孔の有無
にかかわりなく加工台板上に確実にセットすることを課
題とする。
(課題を解決するための手段) 上記課題を解決する手段として、本願第1発明は、 非磁性金属からなる被加工物の当接面に速乾性金属接着
剤を塗布し、 ついで、平坦なセット面に多数の凹溝を設けてなる加工
台板に対し、上記被加工物の接着剤塗布面をそのセット
面に圧接しつつ摺動させて余分の接着剤を上記凹溝内に
落しこんで該被加工物の当接面と加工台板のセット面と
の開の接着剤を均一厚さで薄層化し、ついで被加工物を
加工台板セット面の所定位置に接着し、 次に、上記被加工物に所定の加工を施した後、上記接着
部に接着剥離剤を加えて被加工物を加工台板から分離す
る、 ことを特徴とする非磁性金属材の加工台板上へのセット
方法を提案し、 又、本願第1発明は、 被加工物を接着すべき平坦なセット面に多数の凹溝を形
成した、 ことを特徴とする加工台板を提案する。
本願発明のセット方法における「速乾性金属接着剤」に
は、シアノアクリレート系金属接着剤(例えば商品名セ
メダイン3000ゴールド)、その他種々の速乾性金属
接着剤が使用され、又「接着剥離剤」は、接着された被
加工物を加工台板から剥離できるようにする溶剤タイプ
等のものがあり、−例としてシアノアクリレート系金属
接着剤で接着したものに対しては、N、N−ジメチルホ
ルムアミドを主成分とする接着剥離剤が使用される。
以下、回転研磨軸を備えた研磨装置において、被加工物
を加工台上に着脱自在にセットする方法及びそれに使用
される加工台板の実施例について図面を参照して説明す
る。
(実施例) 初めに、使用する研磨装置の概略について説明する。第
1図において、台枠(1)の上部に上面に多数のT形溝
を有するテーブル(2)を前後及び左右の2方向に駆動
できるように水平に支持し、該テーブル(2〕の上方に
ヘッド(3)を昇降駆動できるように支柱(4)に支持
させ、該ヘッド(3)に円盤状の回転研磨軸(5)を支
持させである。
上記のような研磨装置のテーブル(2)上面に、上面に
多数本のマグネットバー(7)・・・を埋設してなるマ
グネット板(6)を、上記テーブル(2)のT形溝を用
いてボルト・ナツト(8)により固定し、このマグネッ
ト板(6)上に鉄製の加工台板(9)をマグネットの吸
引力により着脱自在に吸着させである。上記加工台板(
9)は第2図示のように長方形板状体で、その被加工物
をセットす八き平坦な上面すなわちセット面(10)に
、多数本の直線状凹溝(11)・・を互に一定小間隔を
あけて平行に形成したものである。(12)は必要によ
り使用されるストップバーで、断面り字形に形成され、
そのL字形の一辺を上記凹溝(11)内に着脱自在に嵌
めこんで他辺をセット面(10)上に突出させ、該突出
部で被加工物のセットを強化する。
本発明の被加工物の加工台上へのセット方法の例につい
て次に説明する。予め上記ストップバー(12)を取付
けた加工台板(9)を、上記マグネット板(6)の上面
に、凹溝(11)・・を前後方向へ向けた状態で吸着固
定させる。まず、被加工物(m)として、本例では銅の
長方形板が提供され、この被加工物(m)の上記加工台
板(9)に当接すべき平坦な当接面にシアノアクリレー
ト系速乾性金属接着剤(13)を塗布し、該接着剤(1
3)が硬化しない間にその接着剤塗布面を上記加工台板
(9)のセット面(10)上に当接し、そして該被加工
物(m)をセット面(10)に押圧しつつ凹溝(11)
・・・と直交する方向へ往復摺動させると、第3図示の
ように被加工物(m)と加工台板(9)との間の接着剤
(13)が均等にならされながら余分の接着剤を凹溝(
11)・・・内に落しこんで次第に均一厚さの薄い接着
剤層に形成されていく。接着剤(13)の硬化が近づい
たら、上記被加工物(m)の一端をストップバー(I2
)に当でて所定加工位置に位置決めし、その位置で接着
剤(13)を完全硬化させる。この場合、均一厚さの薄
い接着剤層で被加工物(m)を接着するから、該被加工
物を正確に水平状態にセットすることができる。
上記接着剤(13)の硬化後、回転研磨輪(5)の被加
工物(m、)への降下と戻り上昇、テーブル(2)の左
方への研磨移動と右方への戻り移動及び前方への研磨位
置変更移動を適宜行うことにより被加工物(m)の研磨
を行う。
研磨完了後、被加工物(m)の接着された加工台板(9
)をマグネット板(6)から外し、ついでこれをN、N
−ジメチルホルムアミドを主成分とする接着剥離液の中
に浸漬して被加工物(m)を加工台板(9)から分離す
る。
本願発明のセット方法に使用される加工台板における凹
溝の構造は、上側のばか接着剤の落しこみに適するもの
であればよく、その−例として第4図は、互に平行する
凹溝(lla)・・・と、これと直交する凹溝(Il’
a)・・・とからなる格子状凹溝である。
格子状凹溝では、一方の凹溝(lla)に嵌めこんだス
トップバー(12a)と、他方の凹溝(12’a)に嵌
めこんだストップバー(12’a)とによって第4図示
のように被加工物のセットを2辺で強化することができ
る。
又、本願発明の加工台板は研磨装置のテーブル(2)上
に直接着脱自在に取付けてもよく、その場合、加工台板
に、第4図示のように相対する両側端に取付片(14a
)・・・を突設し、該取付片をテーブル(2)のT形溝
を用いてボルトナツトにより着脱自在に固定する。
(発明の効果) 本願第1発明の非磁性金属材の加工台上へのセット方法
によれば、被加工物の加工台板セット面への当接面に溝
があったり、当接面から上方へ貫通する孔がある場合で
あっても、被加工物を加工台板セット面に確実にセット
することができ、しかもセット操作において被加工物と
加工台板セット面との間に均一厚さの接着剤薄層を形成
し、それにより被加工物を加工台板のセット面と正確な
平行状態にセットすることができ、事後の研磨、研削等
の加工を設計通りに行うことができるのである。
本願第2発明の加工台板によれば、上記第1発明におけ
る被加工物の加工台板への接着を有効に行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
図面は本願発明の実施に使用されるものを示し、第1図
は研磨装置の正面図、第2図は加工台板の拡大斜面図、
第3図は被加工物の接着操作状態を示す一部の拡大図、
第4図は加工台板の他の実施例の拡大平面図である。 m、ma”被加工物、 9 、9a−加工台板、 10
.10a−セット面、11、lla、11 ’ a−凹
溝。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非磁性金属からなる被加工物の当接面に速乾性金
    属接着剤を塗布し、 平坦なセット面に多数の凹溝を設けてなる 加工台板に対し、上記被加工物の接着剤塗布面をそのセ
    ット面に圧接しつつ摺動させて余分の接着剤を上記凹溝
    内に落しこんで該被加工物の当接面と加工台板のセット
    面との間の接着剤を均一厚さで薄層化し、ついで被加工
    物を加工台板セット面の所定位置に接着し、次に、上記
    被加工物に所定の加工を施した 後、上記接着部に接着剥離剤を加えて被加工物を加工台
    板から分離する、 ことを特徴とする非磁性金属材の加工台板 上へのセット方法。
  2. (2)被加工物を接着すべき平坦なセット面に多数の凹
    溝を形成した、 ことを特徴とする加工台板。
JP2041160A 1990-02-23 1990-02-23 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板 Pending JPH03245936A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2041160A JPH03245936A (ja) 1990-02-23 1990-02-23 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2041160A JPH03245936A (ja) 1990-02-23 1990-02-23 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03245936A true JPH03245936A (ja) 1991-11-01

Family

ID=12600673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2041160A Pending JPH03245936A (ja) 1990-02-23 1990-02-23 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03245936A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002052430A (ja) * 2000-08-07 2002-02-19 Kanetec Co Ltd 工作物固定装置
WO2006118117A1 (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Olympus Corporation 走査型プローブ顕微鏡用走査ステージ
KR102034437B1 (ko) * 2019-08-06 2019-11-08 박성호 비자성 부품 제작용 지그 및 이를 이용한 비자성 제품 제작 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142247B2 (ja) * 1977-05-26 1986-09-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142247B2 (ja) * 1977-05-26 1986-09-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002052430A (ja) * 2000-08-07 2002-02-19 Kanetec Co Ltd 工作物固定装置
WO2006118117A1 (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Olympus Corporation 走査型プローブ顕微鏡用走査ステージ
KR102034437B1 (ko) * 2019-08-06 2019-11-08 박성호 비자성 부품 제작용 지그 및 이를 이용한 비자성 제품 제작 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0426982B2 (ja)
WO2006038030A3 (en) Equipment for wafer bonding
WO2001026137A3 (en) Three dimensional device integration method and integrated device
JPH03245936A (ja) 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板
WO2000025360A1 (en) Operating method and device
JP5912696B2 (ja) 研削方法
JPH1092776A (ja) 被加工物用保護部材及びウエーハの研磨方法
JPH01153267A (ja) セラミックス板の表面仕上げ方法
JPH05152263A (ja) 両面研磨機によるシリコンウエーハの片面研磨方法
JP4026090B2 (ja) 接着治具
JP2003001538A (ja) ワークの固定用治具および固定方法
JP2875899B2 (ja) 薄膜磁気ヘッド用コアスライダの加工用治具取付方法
JPS62181869A (ja) 半導体ウエハの研磨方法
JPH08118176A (ja) 小物クランプ用治具
JPS6377626A (ja) 工作物の固定方法
JPH02201711A (ja) 磁気ヘッド製造装置
JPH08174395A (ja) 高平坦ガラス基板の製造方法
JPS61209842A (ja) 加工治具
JPH0453645A (ja) 硬脆材加工時の固定方法
JP2021137890A (ja) ワークの研削方法及びワークの固定治具
JPS62132988A (ja) 接着工法
JPS62228362A (ja) セラミツクス製ブロツク部品の両面研削方法
JP2001252840A (ja) ワーク取付方法
KR950002575Y1 (ko) 강판의 접착장치
JPH0339204A (ja) セラミックス材料の加工方法