JP2021137890A - ワークの研削方法及びワークの固定治具 - Google Patents

ワークの研削方法及びワークの固定治具 Download PDF

Info

Publication number
JP2021137890A
JP2021137890A JP2020035660A JP2020035660A JP2021137890A JP 2021137890 A JP2021137890 A JP 2021137890A JP 2020035660 A JP2020035660 A JP 2020035660A JP 2020035660 A JP2020035660 A JP 2020035660A JP 2021137890 A JP2021137890 A JP 2021137890A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
instant adhesive
hole
jig
introduction hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020035660A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7240738B2 (ja
Inventor
長宏 澤田
Nagahiro Sawada
長宏 澤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokiwa Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Tokiwa Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokiwa Manufacturing Co Ltd filed Critical Tokiwa Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2020035660A priority Critical patent/JP7240738B2/ja
Publication of JP2021137890A publication Critical patent/JP2021137890A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7240738B2 publication Critical patent/JP7240738B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

【課題】 ワークを平面研削機のテーブル上に保持するにあたり、ワークの材質等に左右されない汎用性を持ち、また、ワークの研削面が可能な限り水平に近い状態に固定することができる固定治具を提供する。【解決手段】 所定の厚みを有し上下両端面のそれぞれの平面度が高いブロック状の立体物として形成された治具本体10に、上下両端面のいずれか一方面から他方面に向けて穿孔された複数の瞬間接着剤導入孔11aと、他方面に瞬間接着剤導入孔と連通状に穿設されたワーク接着用孔11bを形成し、瞬間接着剤導入孔は開口部及び内部体積を大きく設定しているのに対し、ワーク接着用孔は開口部及び内部体積を小さく設定していることを特徴としている。【選択図】 図4

Description

本発明は、平面研削機においてワークを保持する固定治具を用いたワークの研削方法及び平面研削機に使用されるワークの固定治具に関するものである。
一般に、平面研削機を用いてワーク(被研削物)の研削加工を行う場合、ワークの厚みを整える、言い換えれば、ワーク両端面のそれぞれの平面度を高くすることを目的とする場合が多い。この目的を達成するためには、平面研削機のテーブルにワークの研削面が可能な限り水平に近い状態を保持し得るように固定されていることが大前提となる。そこで、平面研削機のテーブル上にワークを固定する方法に着目すると、従来、以下に述べるような方法が採用されている。まず1つ目の方法として、平面研削機のテーブルにいわゆる電磁チャックを設け、この電磁チャックの磁力を利用するものが存在している(特許文献1)。すなわち、この方法では、特許文献1に示されているように、ワークを研削する際、ワークをテーブルに設けられた電磁チャックに載置した後、電磁チャックに通電して磁力を発生させ、ワークを電磁チャックに吸着することで、テーブル上にワークを固定している。また、他の方法として、いわゆるクランプを利用するものが存在している(特許文献2)。すなわち、この方法では、特許文献2に示されているように、テーブルに設けられた治具上にワークを載置した後、ワークの周囲をワーク固定ブロックで挟み込み、このワーク固定ブロックにボルトを締付することでワークをテーブル上に固定している。さらに、他の方法として、接着剤を利用したものが存在している(特許文献3)。すなわち、この方法では、特許文献3に示されているように、テーブル上に載置した治具の上面に接着剤を塗布し、その治具上にワークを接着させて固定している。
特開2002−52443 特開2016−209945 特開2000−326163
しかしながら、特許文献1に示されているように、電磁チャックを利用する場合、ワークの材質が、例えば、アルミニウムやセラミックといった非磁性体であると、当然のことながら、ワークは電磁チャックに吸着されない。また、ワークが極端に厚みの薄いものであると、電磁チャックを通電しても、その磁力線がワークを突き抜けてしまい、やはり、電磁チャックにワークを適切に吸着させることができない場合がある。すなわち、ワークの固定手段として、電磁チャックのみを設けた平面研削機では、非磁性体からなるワーク、あるいは、極端に厚みの薄いワークをテーブルに固定して研削することが、事実上できないことになってしまう。また、特許文献2に示されているように、クランプを利用した場合には、ワークの形状が、ある程度が整っているものであれば問題はないが、ワークの側面の形状が不均一な場合、例えば、ワークの側面に不規則な凹みや凸部があるような場合には、ワークをクランプにバランスよく保持することができず、やはり、ワークをテーブル上に固定できないといったことも起こり得る。さらに、特許文献3に示されているように、接着剤を利用する場合においては、治具の上面に接着剤を完全に均一な状態で塗布することはきわめて困難である。すなわち、治具上面に接着剤の塗りムラがどうしてもできてしまい、これが凹凸となるため、必然的に、ここに接着したワークの上面も水平に近い状態を保持できなくなってしまい、ひいては、ワークの研削面の平面度を高め、ワークの厚みを整えるような研削は難しい。
そこで、本発明は、上記課題を解決すべく、平面研削機の被研削物となるワークを平面研削機のテーブル上に保持させるにあたり、その研削面が可能な限り水平な状態で固定されるようにし、しかも、ワークの材質、厚み、形状といったワークそのものに由来する特質についても問題としない汎用性の高いワークの研削方法及びワークの固定治具を提供することを目的としている。
前記課題を解決するために本発明に係るワークの研削方法は、テーブルに固定されたワークを回転する砥石に接触させて研削する平面研削機において、ワークをテーブルに保持するために固定治具を用いて行うワークの研削方法であって、前記固定治具は、所定の厚みを有し上下両端面のそれぞれの平面度が高いブロック状の立体物として形成された治具本体に、前記上下両端面のいずれか一方面から他方面に向けて穿孔された複数の瞬間接着剤導入孔と、前記他方面に前記瞬間接着剤導入孔と連通状に穿設されたワーク接着用孔が形成されていると共に、前記瞬間接着剤導入孔は開口部及び内部体積を大きく設定しているのに対し、前記ワーク接着用孔は開口部及び内部体積を小さく設定して形成されており、前記ワークをその研削する面と反対側の面を上にしていずれかの場所に載置する工程と、前記載置したワークの上に前記治具本体をその瞬間接着剤導入孔が上になるように載置する工程と、前記ワーク上に載置した前記治具本体の前記複数の瞬間接着剤導入孔のうち、必要なものに瞬間接着剤を導入する工程と、前記瞬間接着剤導入孔から導入された前記瞬間接着剤が前記ワーク接着用孔に到達し前記治具本体と前記ワークとが接着するまで放置する工程と、前記ワークが接着された状態の前記治具本体を反転して該ワークが上側になるように前記テーブルに固定する工程と、前記テーブルに固定された前記治具本体に接着された前記ワークを回転する砥石により研削する工程とからなることを特徴としている。
また、本発明に係るワークの固定治具は、テーブルに固定されたワークを回転する砥石に接触させて研削する平面研削機に使用されるワークの固定治具であって、所定の厚みを有し上下両端面のそれぞれの平面度が高いブロック状の立体物として形成された治具本体に、前記上下両端面のいずれか一方面から他方面に向けて穿孔された複数の瞬間接着剤導入孔と、前記他方面に前記瞬間接着剤導入孔と連通状に穿設されたワーク接着用孔を形成し、前記瞬間接着剤導入孔は開口部及び内部体積を大きく設定しているのに対し、前記ワーク接着用孔は開口部及び内部体積を小さく設定していることを特徴としている。
また、前記瞬間接着剤導入孔には、前記ワーク接着用孔との間に該瞬間接着剤導入孔から該ワーク接着用孔に向かって傾斜するテーパー部が形成されていることが望ましい。
さらに、本発明において、前記テーブルに電磁チャックが設けられていると共に、前記治具本体は該電磁チャックの磁力により前記テーブルに吸着保持される磁性体によって形成されていることが望ましい。
本発明によれば、平面研削機の被研削物となるワークを平面研削機のテーブル上に保持させるにあたり、その研削面が可能な限り水平な状態で固定することができ、しかも、ワークの材質、厚み、形状といったワークそのものに由来する特質についても考慮することなく研削することができる。
平面研削機の斜視図。 平面研削機の側面図。 ワークの固定治具の斜視図。 ワークの固定治具を使用してワークを研削する工程を示す断面図。
以下、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。なお、本発明は、平面研削機に使用されることを前提としているので、まず、一般的な平面研削機の構成について、図1及び図2を参照しつつ簡単に説明しておく。図1は平面研削機の斜視図、図2は平面研削機の側面図である。
平面研削機Aは、基台1、作業台部2、砥石支持部3、砥石4、操作盤5等を設けて概略構成されている。具体的には、平面研削機Aは、地面に設置する直方体箱状の基台1を備え、その基台1の上方に作業台部2を形成している。そして、この作業台部2は、基台1の真上に位置させて設けたサドル2aと、このサドル2aの真上に位置させて設けたテーブル2bとからなり、このうち、サドル2aは、油圧シリンダ(不図示)によって前後方向へ往復移動可能に、テーブル2bは、油圧シリンダ(不図示)によって左右方向へ往復移動可能になっている。また、サドル2aの前方には、2つのハンドル6a,6bが設けられており、これら2つのハンドルのうち、左側に位置するハンドルは、テーブル2bを左右方向に移動させる左右送りハンドル6bで、右側に位置するハンドルは、サドル2aを前後方向に移動させる前後送りハンドル6aである。また、テーブル2bの上面には、取付具(不図示)によって電磁チャック7が固定されている。なお、詳細は後述するが、本実施形態に係る固定治具Bは、電磁チャック7に載置され、その磁力によって電磁チャック7に吸着した状態で使用される。さらに、基台1には、砥石支持部3が形成されている。具体的には、砥石支持部3は、基台1の後端側中央に設けられた縦長箱状のコラム3aと、このコラム3aの前方へ突出するように設けられた砥石頭3bとによって構成されており、砥石頭3bは、コラム3aに対して上下に往復移動可能になっている。さらに、砥石頭3bの前端部には、円盤形状の砥石4が回転自在に装着されている。また、基台1の左側面には、操作盤5が設けられている。この操作盤5は、該操作盤5に設けられているスイッチを操作することによって、制御装置(不図示)に所定の作業を指示することができるようになっている。
なお、上に示した平面研削機Aは、あくまでも一例であり、本発明を実現するにあたり、他の構成からなる平面研削機を用いることも当然可能である。例えば、上記の平面研削機Aには、テーブルの下に前後方向へ移動するサドルを設けているが、あえてサドルを設けなくても、テーブルそのものが左右方向のみならず、前後方向へ移動するように構成されていてもよい。また、上記の平面研削機Aは、サドルやテーブルを手動でも移動させられるようにするためのハンドルを設けているが、このようなハンドルを設けず、すべて制御装置によって自動化していてもよい。さらに、上記の平面研削機Aには、電磁チャックを設けた例を示したが、電磁チャック以外の方法で、ワークの固定治具をテーブルに固定できるようにしてもよい。要するに、ワークの固定治具を保持し得るテーブルと、テーブルから所定間隔をおいた位置に回転自在に砥石が設けられている平面研削機であれば、本発明を適用することができる。
次に、ワークの固定治具の具体的な構成について、図3及び図4を参照しつつ説明する。図3は固定治具の上下両端面のそれぞれを示す斜視図、図4は固定治具にワークを固定して研削する方法を示した断面図である。固定治具Bは、磁性体である鉄製のブロック状の立体物である治具本体に、複数の孔を穿孔することによって構成されている。なお、本実施形態における治具本体10は、上下両端面のそれぞれが矩形であって、所定の厚みを有する直方体形状に形成されている。すなわち、治具本体10は、上下両端面のそれぞれがいずれも、縦横寸法が95mm×110mmに設定された長方形であり、また、高さ、すなわち、厚みが25mmに設定された直方体に形成されている。また、治具本体10の上下両端面のそれぞれは、いずれも平面度を高くしていて、治具本体10を水平な面を有するいずれかの場所に載置すると、治具本体10の上面も水平に近い状態を保持することになる。
もっとも、前述した治具本体10は、あくまでも一例であり、所定の厚みを有すると共に、平面度の高い上下両端面を有していればよい。換言すれば、その上下両端面は、必ずしも矩形である必要はなく、円形、多角形、それ以外の異形であっても問題は無い。また、治具本体10の厚みについても、複数の孔を穿孔し得る厚みであれば、任意に選択可能である。さらに、治具本体10の材質も、必ずしも鉄製である必要はない。すなわち、上述の電磁チャックを備えた平面研削機Aに使用される場合には、電磁チャックの磁力によって、平面研削機Aのテーブルに固定治具を固定し得ることから鉄等の磁性体であることが望ましいが、平面研削機が電磁チャックを備えていない場合には、非磁性体からなる固定治具を他の方法によってテーブル上に固定しても良い。
前記治具本体10には、上下に貫通する複数の孔11,11・・・がマトリックス状の配列に穿孔されている。そして、これら、複数の孔11,11・・・は、治具本体10の上下両端の一方面と他方面で孔の内径が異ならせてある。すなわち、図3(a)に示されているように、一方の面は、大径の孔となっており、図3(b)に示されているように、他方の面は、小径の孔になっている。具体的には、この実施形態において、大径の孔は直径が12mm、小径の孔は直径が1.8mmに設定されている。このうち、大径の孔は、瞬間接着剤Sを導入するための瞬間接着剤導入孔11aであり、小径の孔は、挿入された瞬間接着剤SをワークWに接触させてワークWを固定治具Bに接着させるためのワーク接着用孔11bとなっている。なお、各孔の中心間ピッチは、15mmになっている。また、瞬間接着剤導入孔11aは、深く穿孔されているのに対し、ワーク接着用孔11bは、きわめて浅く穿設されている。すなわち、瞬間接着剤導入孔11aは、一方面から他方面に到達寸前の位置まで穿孔されていて、ワーク接着用孔11bは、ほぼ深さを持たない程度に穿設されて瞬間接着剤導入孔11aと連通している。さらに、瞬間接着剤導入孔11aは、その下端部近辺まで同一径に穿孔されているが、それより下方においてテーパー部11cを形成している。具体的には、瞬間接着剤導入孔11aには、ワーク接着用孔11bと連通する直前、すなわち、瞬間接着剤導入孔11aの下端部とワーク接着用孔11bとの間に、ワーク接着用孔11bに向かって傾斜するテーパー部11cが形成されている。
なお、前述の実施形態において、瞬間接着剤導入孔11aとワーク接着用孔11bの双方が円形に穿設された孔である例を示したが、必ずしもこれに限られるものではない。すなわち、瞬間接着剤導入孔11aは、その開口部と内部体積が大きく設定されているのに対し、ワーク接着用孔11bは、瞬間接着剤導入孔11aよりも開口部と内部体積が小さく設定されていればよく、例えば、多角形に穿孔されていても本発明の目的は達成できる。また、上記実施形態において、瞬間接着剤導入孔11aとワーク接着用孔11bからなる複数の孔が、治具本体10に対し、マトリックス状に配列されている例を示したが、複数の孔が所定間隔で穿孔されていれば、ランダムに穿孔されるなどしていても問題はない。また、瞬間接着剤導入孔11aの開口部の直径を12mm、ワーク接着用孔11bの開口部の直径を1.8mmとした例を示したが、これらに限られず任意に設定可能である。さらに、各孔の中心間ピッチが15mmである例を示したが、この間隔も任意に設定可能である。
次に、上記のように構成された固定治具を使ってワークW研削する方法について説明する。 ワークWを平面研削機Aによって研削するにあたっては、まず、その準備として、図4(a)に示すように、ワークWをいずれかの場所、この例では、電磁チャック7の上面に載置する。この時、ワークWの研削面が下側となるようにワークWを接地させる。次に、図4(b)に示されているように、電磁チャック7に載置したワークWの上面(研削する面と反対側の面)に、治具本体10を載置する。この時、治具本体10における瞬間接着剤導入孔11aの開口部が上側、ワーク接着用孔11bの開口部が下側を向くようにする。すなわち、治具本体10のワーク接着用孔11bの開口部のある側の面をワークWの上面に当接させる。そして、図4(c)に示されているように、治具本体10の瞬間接着剤導入孔11aからシアノアクリレート系の瞬間接着剤Sを導入する。なお、瞬間接着剤Sは、複数の孔11,11・・・のうち、治具本体10の下面がワークWの上面に位置しているもののみとすると共に、治具本体10の下面がワークWの上面に位置している孔の全ての孔11,11・・・に導入する。ちなみに、1つの孔11に導入する瞬間接着剤Sの量は、数滴ずつでよい。その後、治具本体10の瞬間接着剤導入孔11aから導入された瞬間接着剤Sが乾燥するまで放置する(図4(d))。この時間は、概ね1〜10分程度である。これにより、治具本体10にワークWが強固に接着されることになる。しかも、治具本体10の重量によって、ワークWと治具本体10の間には隙間がなくなり、ワークWと治具本体10の間に瞬間接着剤が一切はみ出ることがない。ちなみに、瞬間接着剤導入孔11aとワーク接着用孔11bの間にテーパー部11cが形成されているため、乾燥した瞬間接着剤がテーパー部11cに引っ掛かるように作用することになり、ワークWと治具本体10とがより強固に接着されることになる。次に、図4(e)に示されているように、ワークWが接着された状態の治具本体10を反転させて電磁チャック7の上面に載置し直す。すなわち、ここで、治具本体10が下側、ワークWが上側という位置関係に代わる。そして、電磁チャック7に通電すると、治具本体10は、電磁チャック7に吸着される。換言すれば、ワークWは固定治具Bを介して電磁チャック7を備えたテーブルに固定されることになる。あとは、平面研削機Aの通常の操作によって、ワークWの研削面を砥石によって研削する(図4(f))。ワークWの一方面の研削が終了したら、ワークWを固定治具Bから外す必要があるが、これについては、次の手順により行う。まず、ワークWが接着された状態の固定治具Bを反転させていずれかの場所に置き直す。すなわち、再び、ワークWが下側に位置するように接地させる。そして、今度は、治具本体10の瞬間接着剤導入孔11aからアセトン等の液体を導入する。これにより、固定治具Bの孔の中で固まっていた瞬間接着剤Sが溶解されて、固定治具BとワークWの接着状態が解除される。ちなみに、瞬間接着剤導入孔11aとワーク接着用孔11bの境目部分に溶解し粘度が低くなった瞬間接着剤が残存することがあるが、先端が鋭利な棒状の部材やヘラによって残存箇所を抉れば、テーパー部11cが傾斜状になっていることから、容易にワーク接着用孔11bから排出させることができる。なお、ワークWの反対側の面も研削する必要がある場合には、さらに、固定治具Bに付着している瞬間接着剤Sをアセトン液で洗浄して除去する。そして、ワークWの既に研削した面と反対側の面を下側にして、いずれかの場所に載置し、再び、上述の手順を繰り返す。このように、上下両端面のいずれもが平面度の高い固定治具Bに対して、研削対象となるワークWの研削面も水平に近い状態を保持して研削することができるので、ひいては、ワークWの研削面の平面度をきわめて高い状態に仕上げることができる。
A 平面研削機
B 固定治具
W ワーク
S 瞬間接着剤
2b テーブル
4 砥石
7 電磁チャック
10 治具本体
11a 瞬間接着剤導入孔
11b ワーク接着用孔
11c テーパー部

Claims (4)

  1. テーブルに固定されたワークを回転する砥石に接触させて研削する平面研削機において、ワークをテーブルに保持するために固定治具を用いて行うワークの研削方法であって、
    前記固定治具は、所定の厚みを有し上下両端面のそれぞれの平面度が高いブロック状の立体物として形成された治具本体に、前記上下両端面のいずれか一方面から他方面に向けて穿孔された複数の瞬間接着剤導入孔と、前記他方面に前記瞬間接着剤導入孔と連通状に穿設されたワーク接着用孔が形成されていると共に、前記瞬間接着剤導入孔は開口部及び内部体積を大きく設定しているのに対し、前記ワーク接着用孔は開口部及び内部体積を小さく設定して形成されており、
    前記ワークをその研削する面と反対側の面を上にしていずれかの場所に載置する工程と、
    前記載置したワークの上に前記治具本体をその瞬間接着剤導入孔が上になるように載置する工程と、
    前記ワーク上に載置した前記治具本体の前記複数の瞬間接着剤導入孔のうち、必要なものに瞬間接着剤を導入する工程と、
    前記瞬間接着剤導入孔から導入された前記瞬間接着剤が前記ワーク接着用孔に到達し前記治具本体と前記ワークとが接着するまで放置する工程と、
    前記ワークが接着された状態の前記治具本体を反転して該ワークが上側になるように前記テーブルに固定する工程と、
    前記テーブルに固定された前記治具本体に接着された前記ワークを回転する砥石により研削する工程とからなるワークの研削方法。
  2. テーブルに固定されたワークを回転する砥石に接触させて研削する平面研削機に使用されるワークの固定治具であって、
    所定の厚みを有し上下両端面のそれぞれの平面度が高いブロック状の立体物として形成された治具本体に、前記上下両端面のいずれか一方面から他方面に向けて穿孔された複数の瞬間接着剤導入孔と、前記他方面に前記瞬間接着剤導入孔と連通状に穿設されたワーク接着用孔を形成し、
    前記瞬間接着剤導入孔は開口部及び内部体積を大きく設定しているのに対し、前記ワーク接着用孔は開口部及び内部体積を小さく設定していることを特徴とするワークの固定治具。
  3. 前記瞬間接着剤導入孔には、前記ワーク接着用孔との間に該瞬間接着剤導入孔から該ワーク接着用孔に向かって傾斜するテーパー部が形成されていることを特徴とする請求項2記載のワークの固定治具。
  4. 前記テーブルに電磁チャックが設けられていると共に、前記治具本体は該電磁チャックの磁力により前記テーブルに吸着保持される磁性体によって形成されていることを特徴とする請求項2又は請求項3のいずれかに記載のワークの固定治具。
JP2020035660A 2020-03-03 2020-03-03 ワークの研削方法及びワークの固定治具 Active JP7240738B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020035660A JP7240738B2 (ja) 2020-03-03 2020-03-03 ワークの研削方法及びワークの固定治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020035660A JP7240738B2 (ja) 2020-03-03 2020-03-03 ワークの研削方法及びワークの固定治具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021137890A true JP2021137890A (ja) 2021-09-16
JP7240738B2 JP7240738B2 (ja) 2023-03-16

Family

ID=77667352

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020035660A Active JP7240738B2 (ja) 2020-03-03 2020-03-03 ワークの研削方法及びワークの固定治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7240738B2 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142247U (ja) * 1984-08-22 1986-03-18 ティーディーケイ株式会社 精密研摩用治具
JPS61110307A (ja) * 1984-10-31 1986-05-28 Nec Kansai Ltd 磁気ヘツドコアの研磨方法
JPS62162455A (ja) * 1986-06-06 1987-07-18 Hitachi Ltd ウエハ研削方法
JP2001291690A (ja) * 2000-01-31 2001-10-19 Shin Etsu Handotai Co Ltd 研磨装置及び方法
JP2002052443A (ja) * 2000-08-08 2002-02-19 Okamoto Machine Tool Works Ltd 平面研削装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142247U (ja) * 1984-08-22 1986-03-18 ティーディーケイ株式会社 精密研摩用治具
JPS61110307A (ja) * 1984-10-31 1986-05-28 Nec Kansai Ltd 磁気ヘツドコアの研磨方法
JPS62162455A (ja) * 1986-06-06 1987-07-18 Hitachi Ltd ウエハ研削方法
JP2001291690A (ja) * 2000-01-31 2001-10-19 Shin Etsu Handotai Co Ltd 研磨装置及び方法
JP2002052443A (ja) * 2000-08-08 2002-02-19 Okamoto Machine Tool Works Ltd 平面研削装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP7240738B2 (ja) 2023-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012512042A (ja) 加工物を正確に固定された位置に保持するための磁気締付け装置
US20120280019A1 (en) Ultrasonic welding apparatus
JP2021137890A (ja) ワークの研削方法及びワークの固定治具
KR101963859B1 (ko) 반도체 에칭용 샤워헤드 제조 장치 및 제조 방법, 및 제조 장치의 제조 방법
JP7182800B2 (ja) ワークの固定治具
CN102700233A (zh) 生产具有硬质材料颗粒的基体的方法和设备
JP2000141202A (ja) バリ取り方法およびバリ取り機
JP2003048130A (ja) ワーク固定治具
US4870743A (en) Quick change tool assembly for ultrasonic machine tool
JP7208811B2 (ja) ゴム板から離型剤を剥離する剥離方法、および、チャックテーブルの製造方法
JP4353997B2 (ja) ワークの切断装置
WO2020100394A1 (ja) レーザ加工装置
JPS6384870A (ja) 砥粒流動加工装置
CN210046114U (zh) 一种硬质合金杆不通孔打孔用夹具
JP4147258B2 (ja) ワークの切断方法及び切断装置
CN214186912U (zh) 一种机械设计用加工夹具
JP2015098078A (ja) ワイヤ放電加工機における棒状または板状のワークの保持具
JPH03245936A (ja) 非磁性金属材の加工台上へのセット方法及びそれに使用される加工台板
JP2000094171A (ja) 切断加工システム
KR200475774Y1 (ko) 절삭 가공용 바이스
JP2000006011A (ja) 貼着兼孔開け装置
JPH0541644U (ja) ワ−ク取付装置
JP2000334603A (ja) 加工装置
KR0159758B1 (ko) 볼 플레이트
JP6045981B2 (ja) 砥石製造方法及び砥石製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210707

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220420

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220517

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220715

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220816

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20221014

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221214

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230131

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230227

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7240738

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150