JP7208811B2 - ゴム板から離型剤を剥離する剥離方法、および、チャックテーブルの製造方法 - Google Patents
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Description
そのため、チャックテーブルでは、基台と、保持面を形成するゴム板とが、接着剤によって接着されている。
また、本発明のチャックテーブルの製造方法は、本剥離方法を含んでいる。このため、ゴム板から容易に離型剤を剥離することができるので、チャックテーブルの生産性を高めることが可能である。
図1に示すように、被加工物の一例であるパッケージ基板Wは、例えば、所定の合金あるいはシリコン等からなる、矩形状の外形を有する基板である。パッケージ基板Wの表面Wa上には、複数(図示の例では3つ)のデバイス領域Wa1が形成されている。各デバイス領域Wa1は、余剰領域Wa2によって囲まれている。
(剥離工程)
本製造方法では、まず、ゴム板13から、ゴム板13の製造過程において付着した離型剤を剥離する。すなわち、この工程では、図3に示すように、ゴム板13を支持するための支持テーブル21が用いられる。
剥離装置41は、樹脂製の環状ブラシ43、環状ブラシ43を矢印R方向に回転させるための回転手段45、ならびに、回転手段45および環状ブラシ43をZ軸方向に沿って上下に移動させる昇降手段47を備えている。
ゴム板13が支持面23に載置されると、支持面吸引孔27が吸引源31に連通されて、ゴム板13に吸引力が作用する。これにより、ゴム板13が、支持面23に吸着保持され、固定される。
ゴム板13の一方の面から離型剤を剥離した後、図7に示すように、ゴム板13は、一方の面を上にして、支持台61上に載置される。支持台61の上方には、接着剤塗布部材71が配置されている。接着剤塗布部材71は、接着剤を吐出するノズル73、ノズル73に接着剤を供給する接着剤供給部75、および、ノズル73を支持台61の上方で水平方向に沿って移動させる水平方向移動手段77を備えている。
基台11とゴム板13とを接着した後、図1に示した吸引孔19を形成する。図8に示すように、本実施形態では、基台11には、図1に示した吸引孔19に対応する基台貫通孔19aが予め形成されている。基台貫通孔19aは、基台11を、その厚み方向に貫通するように形成されている。
この構成でも、ゴム板13は、その一方の面が環状ブラシ43に接触した状態で、環状ブラシ43に対してX軸方向に沿って従動される。これにより、ゴム板13における一方の面の略全面に環状ブラシ43を接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。
21:支持テーブル、33:レール、
23:支持面、25:吸引路、27:支持面吸引孔、31:吸引源、
32:エア供給源、
41:剥離装置、43:環状ブラシ、47:昇降手段、
45:回転手段、51:スピンドル、53:モータ、
61:支持台、
71:接着剤塗布部材、73:ノズル、75:接着剤供給部、
77:水平方向移動手段、
81:ドリル
Claims (2)
- 離型剤が付着したゴム板から該離型剤を剥離する剥離方法であって、
該ゴム板の一方の面を上にした状態で、該ゴム板の他方の面を、支持テーブルの支持面によって支持する支持工程と、
該支持面に対して垂直な方向から僅かに傾けられた回転軸を軸に環状ブラシを回転させ、該環状ブラシの下面を、該回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、該支持面に支持されている該ゴム板の一方の面に接触させ、該荷重の強弱を用いて、該ゴム板を、該支持面に平行で該回転軸の傾き方向に直交する方向に従動させながら、該一方の面の該離型剤を剥離する環状ブラシ接触工程と、
を含む、剥離方法。 - 矩形の基台と、該基台に接着剤を用いて接着された長尺状のゴム板とを含み、被加工物を保持するチャックテーブルの製造方法であって、
離型剤が付着した該ゴム板の少なくとも一方の面の該離型剤を、請求項1記載の剥離方法を用いて剥離する剥離工程と、
該離型剤が剥離された該ゴム板の一方の面と該基台の上面との少なくともいずれかの面に接着剤を塗布し、該基台の上面と該ゴム板の一方の面とを接着する接着工程と、
少なくとも該ゴム板を貫通する吸引源に連通可能な吸引孔を形成する吸引孔形成工程と、
を含む、チャックテーブルの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP7208811B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117119667B (zh) * | 2023-09-16 | 2024-03-12 | 北京核力同创科技有限公司 | 一种回旋加速器剥离靶装置和方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006229129A (ja) | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Fujitsu Ltd | 真空吸着装置 |
JP2010115811A (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | ゴムシート部材に付着した防着剤の除去方法および装置 |
JP2015216202A (ja) | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6135926A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-20 | Bridgestone Corp | ゴムチユ−ブの余剰離型剤除去装置 |
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JP2010115811A (ja) | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | ゴムシート部材に付着した防着剤の除去方法および装置 |
JP2015216202A (ja) | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル |
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JP2020126910A (ja) | 2020-08-20 |
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