JP7208811B2 - ゴム板から離型剤を剥離する剥離方法、および、チャックテーブルの製造方法 - Google Patents

ゴム板から離型剤を剥離する剥離方法、および、チャックテーブルの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、ゴム板から離型剤を剥離する剥離方法、および、チャックテーブルの製造方法に関する。
特許文献1に開示のように、パッケージ基板は、格子状のストリートを備えている。チャックテーブルに保持されたパッケージ基板に対して、切削ブレードをストリートに沿って切削送りすることによって、パッケージ基板が分割され、チップが形成される。
パッケージ基板を保持するチャックテーブルは、分割されたチップを一つずつ吸引保持するために、個々のチップを吸引源に連通するための吸引孔を備えている。
また、パッケージ基板を傷つけないように、チャックテーブルにおけるパッケージ基板が接する保持面には、ゴム板が配設されている。
そのため、チャックテーブルでは、基台と、保持面を形成するゴム板とが、接着剤によって接着されている。
特開2018-133432号公報
チャックテーブルにおけるゴム板の表面には、その製造過程で、離型剤が付着する。ゴム板に離型剤が付着していると接着剤の使用が困難となるため、接着の前に離型剤が除去される。
この離型剤の除去に、有機系のはがし剤を用いることも考えられる。しかし、はがし剤は人体に悪影響を及ぼす可能性があるため、機械的に離型剤を剥がす方が好ましい。そのため、従来、離型剤を剥がすために、ゴム板を移動させながら、ゴム板の表面をヤスリで擦っている。
しかし、従来の方法を実施するために必要な剥離装置は、ゴム板を保持する保持テーブル、保持テーブルをX軸方向に移動させる移動手段、および、ヤスリをゴム板に均等な圧力で押し当てる押し当て手段を備える複雑なものである。さらに、ヤスリの砥粒は剥がれやすいため、ヤスリを定期的に交換する必要があり、メンテナンス作業が面倒である。また、金属製のブラシで擦って離型剤を剥がすと、ゴム板の表面を傷つけてしまう恐れもある。
本発明の目的は、より簡単にゴム板から離型剤を剥離することにある。
本発明の剥離方法(本剥離方法)は、離型剤が付着したゴム板から該離型剤を剥離する剥離方法であって、該ゴム板の一方の面を上にした状態で、該ゴム板の他方の面を、支持テーブルの支持面によって支持する支持工程と、該支持面に対して垂直な方向から僅かに傾けられた回転軸を軸に環状ブラシを回転させ、該環状ブラシの下面を、該回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、該支持面に支持されている該ゴム板の一方の面に接触させ、該荷重の強弱を用いて、該ゴム板を、該支持面に平行で該回転軸の傾き方向に直交する方向に従動させながら、該一方の面の該離型剤を剥離する環状ブラシ接触工程と、を含む。
本発明のチャックテーブルの製造方法は、矩形の基台と、該基台に接着剤を用いて接着された長尺状のゴム板とを含み、被加工物を保持するチャックテーブルの製造方法であって、離型剤が付着した該ゴム板の少なくとも一方の面の該離型剤を、請求項1記載の剥離方法を用いて剥離する剥離工程と、該離型剤が剥離された該ゴム板の一方の面と該基台の上面との少なくともいずれかの面に接着剤を塗布し、該基台の上面と該ゴム板の一方の面とを接着する接着工程と、少なくとも該ゴム板を貫通する吸引源に連通可能な吸引孔を形成する吸引孔形成工程と、を含む。
本剥離方法では、環状ブラシの下面を、環状ブラシの回転軸の傾きに応じた荷重の強弱を用いて、ゴム板を従動させながら、ゴム板における一方の面の離型剤を剥離する。すなわち、ゴム板が、その一方の面が環状ブラシに接触した状態で、環状ブラシに対して従動される。
これにより、ゴム板における一方の面の略全面に環状ブラシを接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。また、環状ブラシの傾きを用いてゴム板を従動させているので、ゴム板を移動させる構成が不要であるため、離型剤の剥離が容易となる。
また、本発明のチャックテーブルの製造方法は、本剥離方法を含んでいる。このため、ゴム板から容易に離型剤を剥離することができるので、チャックテーブルの生産性を高めることが可能である。
本実施形態にかかるパッケージ基板の構成を示す上面図である。 本実施形態にかかるチャックテーブルの構成を示す上面図である。 剥離工程において、ゴム板が支持テーブルに配置された状態を示す説明図である。 環状ブラシの回転軸が、支持テーブルの支持面に対して+Y方向に傾いていることを示す説明図である。 剥離工程において、環状ブラシがゴム板の一方の面に接触した状態を示す説明図である。 剥離工程において、ゴム板および支持テーブルが+X方向に従動されている状態を示す説明図である。 接着工程において、ゴム板の一方の面に接着剤が塗布される様子を示す説明図である。 ゴム板と基台とが接着剤を介して接着されている様子を示す説明図である。 吸引孔形成工程を示す説明図である。 他の剥離工程において、ゴム板が支持テーブルに配置された状態を示す説明図である。 他の剥離工程において、環状ブラシがゴム板の一方の面に接触した状態を示す説明図である。 他の剥離工程において、支持テーブルの支持面上でゴム板が+X方向に従動されている状態を示す説明図である。
本実施形態にかかるチャックテーブルの製造方法(本製造方法)は、被加工物を保持するためのチャックテーブルを製造する方法である。
図1に示すように、被加工物の一例であるパッケージ基板Wは、例えば、所定の合金あるいはシリコン等からなる、矩形状の外形を有する基板である。パッケージ基板Wの表面Wa上には、複数(図示の例では3つ)のデバイス領域Wa1が形成されている。各デバイス領域Wa1は、余剰領域Wa2によって囲まれている。
デバイス領域Wa1は、表面Wa上で直交差する複数の分割予定ラインSによって、さらに複数の矩形領域に区画されている。各矩形領域には、デバイスDが配設されている。パッケージ基板Wが各分割予定ラインSに沿って切断されることで、各矩形領域は、デバイスDを備えるチップとなる。デバイス領域Wa1には、たとえば、分割予定ラインSおよびデバイスDを覆うように、エポキシ樹脂Jによるパッケージングがなされている。
図2に示すように、本製造方法において製造されるチャックテーブル1は、図1に示すパッケージ基板Wを吸着保持するものである。チャックテーブル1は、矩形状の平板からなる基台11、および、基台11上に接着剤を介して張り付けられるゴム板13を備えている。基台11は、汎用のエンジニアリング・プラスチックまたは合金等の材料からなる。ゴム板13は、長尺状であり、パッケージ基板Wを吸着保持する保持面を形成する。
図2に示すように、チャックテーブル1には、パッケージ基板Wの3つのデバイス領域Wa1のそれぞれに対応するように、3つの吸引領域15が形成されている。そして、各吸引領域15には、複数の略正方形状のデバイスチップ吸引領域17が形成されている。各デバイスチップ吸引領域17は、パッケージ基板Wの各デバイスDに、一対一で対応している。
各デバイスチップ吸引領域17の中央部には、チャックテーブル1のゴム板13および基台11を厚さ方向に貫通するように、吸引孔19が形成されている。吸引孔19は、図示しない吸引源に連通可能である。吸引孔19が吸引源に連通されることによって、デバイスチップ吸引領域17は、デバイスDを備えるチップを吸引保持することが可能となる。
このようなチャックテーブル1を製造する本製造方法の各工程について説明する。
(剥離工程)
本製造方法では、まず、ゴム板13から、ゴム板13の製造過程において付着した離型剤を剥離する。すなわち、この工程では、図3に示すように、ゴム板13を支持するための支持テーブル21が用いられる。
支持テーブル21の支持面23には、吸引路25に連通する複数の支持面吸引孔27が設けられている。支持面吸引孔27は、吸引路25を介して吸引源31に連通されることが可能である。また、支持テーブル21は、レール33上に、X軸方向に沿って移動可能に連結されている。
支持テーブル21の支持面23の上方には、剥離装置41が配されている。
剥離装置41は、樹脂製の環状ブラシ43、環状ブラシ43を矢印R方向に回転させるための回転手段45、ならびに、回転手段45および環状ブラシ43をZ軸方向に沿って上下に移動させる昇降手段47を備えている。
回転手段45は、回転駆動源の一例に相当する。回転手段45は、環状ブラシ43の上方に連結された、環状ブラシ43とともに回転可能なスピンドル51、および、スピンドル51を回転駆動するためのモータ53を含んでいる。
樹脂製の環状ブラシ43では、ブラシ直径はたとえば120mmであり、ブラシの材料はたとえばナイロンであり、ブラシの線径はたとえば0.9mmである。環状ブラシ43として、株式会社太陽商会のナイロンカップブラシ(CN-36)を用いることができる。
また、図4に示すように、回転手段45の回転軸、すなわち、環状ブラシ43の回転軸の延びる方向(スピンドル51の延びる方向)である方向Z1は、支持テーブル21の支持面23に垂直な方向(Z軸方向)から、+Y方向に僅かに傾けられている。すなわち、本実施形態では、環状ブラシ43の回転軸は、図3における紙面奥側に向かって倒れるように傾いている。
この工程では、まず、ゴム板13が、図3に示すように、支持テーブル21の支持面23に載置される。すなわち、ゴム板13の一方の面を上にした状態で、ゴム板13の他方の面が、支持テーブル21の支持面23によって支持される(支持工程)。
ゴム板13が支持面23に載置されると、支持面吸引孔27が吸引源31に連通されて、ゴム板13に吸引力が作用する。これにより、ゴム板13が、支持面23に吸着保持され、固定される。
次に、図5に示すように、回転手段45が、環状ブラシ43を、矢印R方向に沿って、上記の回転軸を軸に回転させる。この状態で、昇降手段47が、環状ブラシ43を、下方に移動させて、ゴム板13に接触させる。これにより、回転する環状ブラシ43の下面が、ゴム板13の一方の面に接触し、ここに付着している離型剤を剥離する(環状ブラシ接触工程)。
また、上記のように、環状ブラシ43の回転軸は、+Y方向に傾いている。このため、環状ブラシ43の下面におけるゴム板13の表面への押圧力(環状ブラシ43の荷重)は、回転軸の傾きに応じて、Y軸方向で異なっている。すなわち、ゴム板13における図5の紙面奥側の部分は、環状ブラシ43から、比較的に強い荷重を受ける。一方、ゴム板13における図5の紙面手前側の部分は、環状ブラシ43から、比較的に弱い荷重を受ける。
環状ブラシ43から強い荷重を受けるゴム板13の部分(図5の紙面奥側の部分)は、矢印R方向に回転する環状ブラシ43から、比較的に強い+X方向に沿う力を受ける。一方、環状ブラシ43から弱い荷重を受けるゴム板13の部分(図5の紙面手前側の部分)は、環状ブラシ43から、比較的に弱い-X方向に沿う力を受ける。このため、ゴム板13は、全体として、環状ブラシ43から、+X方向の力を受ける。これにより、ゴム板13は、ゴム板13を支持している支持テーブル21とともに、図6に示すように、レール33に沿って、+X方向に移動(従動)される。
このように、この剥離工程では、環状ブラシ43の下面を、環状ブラシ43の回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、ゴム板13の一方の面に接触させる。そして、荷重の強弱を用いて、ゴム板13を、支持面23に平行で、環状ブラシ43の回転軸の傾き方向に直交する方向(+X方向)に従動させながら、ゴム板13における一方の面の離型剤を剥離する。
(接着工程)
ゴム板13の一方の面から離型剤を剥離した後、図7に示すように、ゴム板13は、一方の面を上にして、支持台61上に載置される。支持台61の上方には、接着剤塗布部材71が配置されている。接着剤塗布部材71は、接着剤を吐出するノズル73、ノズル73に接着剤を供給する接着剤供給部75、および、ノズル73を支持台61の上方で水平方向に沿って移動させる水平方向移動手段77を備えている。
この工程では、離型剤が剥離されたゴム板13の一方の面における略全面に、水平方向移動手段77によって水平方向に移動されるノズル73を用いて、接着剤Gを塗布する。そして、図8に示すように、基台11の上面とゴム板13の一方の面とを、接着剤Gを介して接着する。
(吸引孔形成工程)
基台11とゴム板13とを接着した後、図1に示した吸引孔19を形成する。図8に示すように、本実施形態では、基台11には、図1に示した吸引孔19に対応する基台貫通孔19aが予め形成されている。基台貫通孔19aは、基台11を、その厚み方向に貫通するように形成されている。
したがって、本実施形態では、図9に示すように、ゴム板13における基台貫通孔19aに対応する部分に、矢印A方向に回転するドリル81を用いて、ゴム板13を貫通するゴム板貫通孔19bを形成する。これにより、吸引孔19を有するチャックテーブル1(図2参照)が形成される。
以上のように、本製造方法の剥離工程では、環状ブラシ43の下面を、環状ブラシ43の回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、ゴム板13の一方の面に接触させる。そして、荷重の強弱を用いて、ゴム板13を+X方向に従動させながら、ゴム板13における一方の面の離型剤を剥離する。すなわち、ゴム板13が、その一方の面が環状ブラシ43に接触した状態で、環状ブラシ43に対してX軸方向に沿って従動される。これにより、ゴム板13における一方の面の略全面に環状ブラシ43を接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。
また、本製造方法の剥離工程では、環状ブラシ43の傾きを用いて、ゴム板13を従動させている。したがって、ゴム板13を移動させる構成が不要であるため、離型剤の剥離が容易となるとともに、チャックテーブル1の生産性を高めることが可能となる。
なお、環状ブラシ43の直径は、ゴム板13の幅(Y軸方向の長さ)よりも大きいことが好ましい。これにより、ゴム板13の全面から離型剤を除去することが容易となる。
また、本実施形態では、図3に示したように、支持テーブル21が、レール33上に、X軸方向に沿って移動可能に連結されている。そして、剥離工程において、環状ブラシ43によって、ゴム板13および支持テーブル21が、X軸方向に沿って従動されている。これに代えて、剥離工程は、以下のように実施されてもよい。
すなわち、図10に示すように、支持テーブル21は、支持面吸引孔27が吸引路25を介してエア供給源32に連通されるように構成されていてもよい。この構成では、剥離工程の開始時に、ゴム板13は、支持テーブル21の左端からはみ出るように、支持テーブル21の支持面23に載置される。ここで、支持面吸引孔27がエア供給源32に連通されているため、ゴム板13は、支持面23に吸着保持されることなく、支持面23上を摺動することが可能である。
そして、この状態で、図11に示すように、回転手段45が環状ブラシ43を矢印R方向に沿って回転させるとともに、昇降手段47が、環状ブラシ43を下方に移動させてゴム板13に接触させる。これにより、回転する環状ブラシ43の下面が、ゴム板13の表面(一方の面)に接触し、ここに付着している離型剤を剥離する。
また、上記のように、環状ブラシ43の回転軸は、+Y方向に傾いている。このため、図5等を用いて示した場合と同様に、ゴム板13における図11の紙面奥側の部分は、矢印R方向に回転する環状ブラシ43から、比較的に強い+X方向に沿う力を受ける。一方、ゴム板13における図11の紙面手前側の部分は、環状ブラシ43から、比較的に弱い-X方向に沿う力を受ける。このため、ゴム板13は、全体として、環状ブラシ43から+X方向の力を受ける。これにより、ゴム板13は、図12に示すように、支持面23上を、+X方向に沿って摺動(従動)される
この構成でも、ゴム板13は、その一方の面が環状ブラシ43に接触した状態で、環状ブラシ43に対してX軸方向に沿って従動される。これにより、ゴム板13における一方の面の略全面に環状ブラシ43を接触させることが可能となるので、この面から離型剤を除去することが容易となる。
なお、この構成では、支持面23上でのゴム板13の回転(Y軸方向へのズレ)を抑制するために、支持テーブル21に、ゴム板13の側面を規制する壁面を設けてもよい。
また、図9に示すように、基台貫通孔19aは、ゴム板貫通孔19bよりも大きく形成されていることが好ましい。これにより、基台貫通孔19aに合わせてゴム板貫通孔19bを形成することが容易となる。
また、本実施形態では、基台11には、吸引孔19に対応する基台貫通孔19aが予め形成されている。これに限らず、ゴム板13に接着される基台11に、基台貫通孔19aが設けられていなくてもよい。この場合、吸引孔形成工程では、ドリル81を用いて、吸引孔19として、ゴム板13および基台11を貫通する孔が形成される。すなわち、吸引孔形成工程では、ゴム板13を貫通する孔、あるいは、ゴム板13および基台11を貫通する孔が形成される。
また、本実施形態では、接着工程において、ゴム板13における離型剤が剥離された面(一方の面)に、接着剤を塗布している。これに代えてあるいは加えて、基台11の上面に接着剤を塗布してもよい。すなわち、接着剤は、ゴム板13における一方の面と基台11の上面との少なくともいずれかの面に塗布されればよい。
1:チャックテーブル、11:基台、13:ゴム板、19:吸引孔、
21:支持テーブル、33:レール、
23:支持面、25:吸引路、27:支持面吸引孔、31:吸引源、
32:エア供給源、
41:剥離装置、43:環状ブラシ、47:昇降手段、
45:回転手段、51:スピンドル、53:モータ、
61:支持台、
71:接着剤塗布部材、73:ノズル、75:接着剤供給部、
77:水平方向移動手段、
81:ドリル

Claims (2)

  1. 離型剤が付着したゴム板から該離型剤を剥離する剥離方法であって、
    該ゴム板の一方の面を上にした状態で、該ゴム板の他方の面を、支持テーブルの支持面によって支持する支持工程と、
    該支持面に対して垂直な方向から僅かに傾けられた回転軸を軸に環状ブラシを回転させ、該環状ブラシの下面を、該回転軸の傾きに応じて荷重の強弱をつけて、該支持面に支持されている該ゴム板の一方の面に接触させ、該荷重の強弱を用いて、該ゴム板を、該支持面に平行で該回転軸の傾き方向に直交する方向に従動させながら、該一方の面の該離型剤を剥離する環状ブラシ接触工程と、
    を含む、剥離方法。
  2. 矩形の基台と、該基台に接着剤を用いて接着された長尺状のゴム板とを含み、被加工物を保持するチャックテーブルの製造方法であって、
    離型剤が付着した該ゴム板の少なくとも一方の面の該離型剤を、請求項1記載の剥離方法を用いて剥離する剥離工程と、
    該離型剤が剥離された該ゴム板の一方の面と該基台の上面との少なくともいずれかの面に接着剤を塗布し、該基台の上面と該ゴム板の一方の面とを接着する接着工程と、
    少なくとも該ゴム板を貫通する吸引源に連通可能な吸引孔を形成する吸引孔形成工程と、
    を含む、チャックテーブルの製造方法。
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