JPH0435864A - 両面研磨方法 - Google Patents
両面研磨方法Info
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- JPH0435864A JPH0435864A JP2143121A JP14312190A JPH0435864A JP H0435864 A JPH0435864 A JP H0435864A JP 2143121 A JP2143121 A JP 2143121A JP 14312190 A JP14312190 A JP 14312190A JP H0435864 A JPH0435864 A JP H0435864A
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- polishing holder
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Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ビデオテープレコーダ、ディジタルオーディ
オチーブレコーグやフロッピーディスクドライブレコー
ダなどの高密度磁気記録再生装置に好適な磁気ヘッドな
との両面研磨方法に関する。
オチーブレコーグやフロッピーディスクドライブレコー
ダなどの高密度磁気記録再生装置に好適な磁気ヘッドな
との両面研磨方法に関する。
従来の技術
近年、磁気ヘッドに代表される硬脆材料の研磨加工技術
は要求スペックの高度化で加工精度も超精密なものが要
望されている。
は要求スペックの高度化で加工精度も超精密なものが要
望されている。
特に遊離砥粒で加工するラッピングおよびポリンング技
術は研磨剤を介して被加工物と工具を擦り合わせるとい
った単純な操作で高品質、高精度の加工を行う研磨法で
あり、ヘッド材料としてガラスやフェライトといった硬
脆材料にも広く応用されている。
術は研磨剤を介して被加工物と工具を擦り合わせるとい
った単純な操作で高品質、高精度の加工を行う研磨法で
あり、ヘッド材料としてガラスやフェライトといった硬
脆材料にも広く応用されている。
以下、従来の両面研磨方法について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図は従来の磁気ヘッドの両面研磨方法であり、第２
図において、１０は金属研磨ホルダ、１１は被加工物、
１２は熱溶解性接着剤である。
図において、１０は金属研磨ホルダ、１１は被加工物、
１２は熱溶解性接着剤である。
第２図（ａｌは、被加工物１１を金属研磨ホルダ１０に
熱溶解性接着剤１２にて接着したものであり、Ｂ面を接
着面としＡ面が加工面となる。
熱溶解性接着剤１２にて接着したものであり、Ｂ面を接
着面としＡ面が加工面となる。
また、上記被加工物１１は第２図（ｂｌにおいて、所定
の平行度および面粗さに研磨されＡ面の研磨を完了する
。
の平行度および面粗さに研磨されＡ面の研磨を完了する
。
その後、第２図＋Ｃ＋において、金属研磨ホルダ１０お
よび被加工物１１は、加熱プレート上などで熱溶解性接
着剤１２を溶融させ被加工物１１を取り外す。
よび被加工物１１は、加熱プレート上などで熱溶解性接
着剤１２を溶融させ被加工物１１を取り外す。
次に、第２図（ｄｌにおいて、Ａ面を接着面として金属
研磨ホルダ１０に再度接着し、第２図ｆｅ）において、
Ｂ面の研磨加工を完了することで被加工物１１の両面研
磨が行える。
研磨ホルダ１０に再度接着し、第２図ｆｅ）において、
Ｂ面の研磨加工を完了することで被加工物１１の両面研
磨が行える。
また図では省略するが、一般的に磁気ヘッドにおけるギ
ャップ形成面はＢ面となり、その加工精度がプロセス上
の課題となる。
ャップ形成面はＢ面となり、その加工精度がプロセス上
の課題となる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら従来の研磨方法では片面研磨後、金属研磨
ホルダより被加工物を取り外し反転させるとともに再度
接着し、他面の研磨加工を行っているが、反転させ再接
着時の被加工物は研磨面と非研磨面の加工歪み差から大
きな反りを生じ易く、片面研磨後被加工物を強制的に押
圧し接着しても反り量を完全に強制できず、被加工物の
基準面（研磨面）がホルダに対し完全に密着しないこと
から、結果的に高精度の平坦度が得られないという課題
を有していた。
ホルダより被加工物を取り外し反転させるとともに再度
接着し、他面の研磨加工を行っているが、反転させ再接
着時の被加工物は研磨面と非研磨面の加工歪み差から大
きな反りを生じ易く、片面研磨後被加工物を強制的に押
圧し接着しても反り量を完全に強制できず、被加工物の
基準面（研磨面）がホルダに対し完全に密着しないこと
から、結果的に高精度の平坦度が得られないという課題
を有していた。
また、両面研磨機によって加工する方法も研磨技術とし
であるが、被加工物両面の端面だれが発生し易いことや
工具の平行平面度の精度および加工条件の管理が難しい
という加工上の課題があった。
であるが、被加工物両面の端面だれが発生し易いことや
工具の平行平面度の精度および加工条件の管理が難しい
という加工上の課題があった。
本発明はこのような従来の課題を解決するもので高精度
の平坦度が得られる両面研磨方法の提供を目的とする。
の平坦度が得られる両面研磨方法の提供を目的とする。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明の両面研磨方法は、
（イ）ガラス研磨ホルダ上に、片面か研磨済みの被加工
物か熱溶解性接着剤で接着された他の研磨ホルダを被加
工物を介して置き、 （ロ）被加工物とガラス研磨ホルダの接触面に紫外線硬
化タイプ感光性樹脂を注入し、ガラス研磨ホルダを通し
て紫外線を照射して前記紫外線硬化タイプ感光性樹脂を
硬化させて前記被加工物とガラス研磨ホルダを接着し、 （・・）加熱によって熱溶解性接着剤を溶解して他の研
磨ホルダを取り外し、 （ニ）ガラス研磨ホルダに固着した被加工物を研磨し、 （ネ）溶剤で紫外線硬化タイプ感光性樹脂を溶解し、ガ
ラス研磨ホルダから被加工物を取り外す工程からなる。
物か熱溶解性接着剤で接着された他の研磨ホルダを被加
工物を介して置き、 （ロ）被加工物とガラス研磨ホルダの接触面に紫外線硬
化タイプ感光性樹脂を注入し、ガラス研磨ホルダを通し
て紫外線を照射して前記紫外線硬化タイプ感光性樹脂を
硬化させて前記被加工物とガラス研磨ホルダを接着し、 （・・）加熱によって熱溶解性接着剤を溶解して他の研
磨ホルダを取り外し、 （ニ）ガラス研磨ホルダに固着した被加工物を研磨し、 （ネ）溶剤で紫外線硬化タイプ感光性樹脂を溶解し、ガ
ラス研磨ホルダから被加工物を取り外す工程からなる。
作用
本発明は、上記した方法により被加工物を両面研磨完了
まで研磨ホルダから取り外すことなく加工できることに
なる。
まで研磨ホルダから取り外すことなく加工できることに
なる。
実施例
以下、本発明の一実施例について図面を用いて説明する
。
。
第１図は、本発明における一実施例の磁気ヘッドの両面
研磨方法の工程図であり、第１図において、１は金属研
磨ホルダ、２は被加工物、３は熱溶解性接着剤、４はガ
ラス研磨ホルダ、５は紫外線硬化タイプ感光性樹脂、６
は光源である。
研磨方法の工程図であり、第１図において、１は金属研
磨ホルダ、２は被加工物、３は熱溶解性接着剤、４はガ
ラス研磨ホルダ、５は紫外線硬化タイプ感光性樹脂、６
は光源である。
第１図（ａｌは、第１の治具である高精度の平面を有し
た金属研磨ホルダ１を１００℃程度に加熱し、被加工物
２の接着面に熱溶解性接着剤３を薄く均一に適量塗布し
、被加工物２のＢ面を接着した後、Ａ面を所定の平行度
および面粗さで研磨加工を施す。
た金属研磨ホルダ１を１００℃程度に加熱し、被加工物
２の接着面に熱溶解性接着剤３を薄く均一に適量塗布し
、被加工物２のＢ面を接着した後、Ａ面を所定の平行度
および面粗さで研磨加工を施す。
第１図（ｂｌは、上記研磨加工後、第２の治具であるガ
ラス研磨ホルダ４上に研磨加工したＡ面を密着させ、被
加工物２の外端部に紫外線硬化タイプ感光性樹脂５を適
量塗布し、治具背面なとに設けた光源６で紫外線硬化タ
イプ感光性樹脂５を硬化させる。
ラス研磨ホルダ４上に研磨加工したＡ面を密着させ、被
加工物２の外端部に紫外線硬化タイプ感光性樹脂５を適
量塗布し、治具背面なとに設けた光源６で紫外線硬化タ
イプ感光性樹脂５を硬化させる。
また、上記接着完了後の両治具は、第１図ｆｃｌにおい
て、金属研磨ホルダ１を取り外すべく加熱プレート上で
約１００℃に加熱するとともに、熱溶解性接着剤３で接
着した被加工物２を金属研磨ホルダ１より取り外す。
て、金属研磨ホルダ１を取り外すべく加熱プレート上で
約１００℃に加熱するとともに、熱溶解性接着剤３で接
着した被加工物２を金属研磨ホルダ１より取り外す。
その後、第１図ｉｄ＋において、ガラス研磨ホルダ４に
接着された被加工物２のＢ面を任意の厚み寸法と平面度
および面粗さで研磨加工し両面研磨を完了する。
接着された被加工物２のＢ面を任意の厚み寸法と平面度
および面粗さで研磨加工し両面研磨を完了する。
また図では省略するか、研磨後の被加工物２はジクロル
エタンに浸漬し剥離する。
エタンに浸漬し剥離する。
以上のような方法で研磨された被加工物２の平行度は約
０．５μｍであり、従来の研磨方法による平行度の１〜
２μｍより優れたものであった。
０．５μｍであり、従来の研磨方法による平行度の１〜
２μｍより優れたものであった。
発明の効果
以上のように本発明の両面研磨方法によれば、磁気ヘッ
ドのような高平坦度加工が要求される被加工物において
も、安定した高精度の平行平面が得られ、加工能率か飛
躍的に向上するなど量産性に優れた効果か得られる。
ドのような高平坦度加工が要求される被加工物において
も、安定した高精度の平行平面が得られ、加工能率か飛
躍的に向上するなど量産性に優れた効果か得られる。
第１図ｆａｔ〜ｌｄｌは本発明の一実施例における両面
研磨の工程図、第２図（ａｌ〜ｔｅｌは従来の両面研磨
方法の工程図である。 ｌ・・・・・・金属研磨ホルダ（他の研磨ホルダ）、２
・・・・・・被加工物、３・・・・・・熱溶解性接着剤
、４・・・・・・ガラス研磨ホルダ、５・・・・・・紫
外線硬化タイプ感光性樹脂、６・・・・・・光源。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名宝＠研壱ホ
ルダ（慣の破壱小ルダノ 櫂 加 工 − 第１図 覧％Ｎｌ優１シ９イブ轍た町甜簡 究 暑 第２図 Ｉ
研磨の工程図、第２図（ａｌ〜ｔｅｌは従来の両面研磨
方法の工程図である。 ｌ・・・・・・金属研磨ホルダ（他の研磨ホルダ）、２
・・・・・・被加工物、３・・・・・・熱溶解性接着剤
、４・・・・・・ガラス研磨ホルダ、５・・・・・・紫
外線硬化タイプ感光性樹脂、６・・・・・・光源。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名宝＠研壱ホ
ルダ（慣の破壱小ルダノ 櫂 加 工 − 第１図 覧％Ｎｌ優１シ９イブ轍た町甜簡 究 暑 第２図 Ｉ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （イ）ガラス研磨ホルダ上に、片面が研磨済みの被加工
物が熱溶解性接着剤で接着された他の研磨ホルダを被加
工物を介して置き、 （ロ）被加工物とガラス研磨ホルダの接触面に紫外線硬
化タイプ感光性樹脂を注入し、ガラス研磨ホルダを通し
て紫外線を照射して前記紫外線硬化タイプ感光性樹脂を
硬化させて前記被加工物とガラス研磨ホルダを接着し、 （ハ）加熱によって熱溶解性接着剤を溶解して他の研磨
ホルダを取り外し、 （ニ）ガラス研磨ホルダに接着した被加工物を研磨し、 （ホ）溶剤で紫外線硬化タイプ感光性樹脂を溶解し、ガ
ラス研磨ホルダから被加工物を取り外すことを特徴とす
る両面研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14312190A JPH0725025B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 両面研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14312190A JPH0725025B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 両面研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0435864A true JPH0435864A (ja) | 1992-02-06 |
| JPH0725025B2 JPH0725025B2 (ja) | 1995-03-22 |
Family
ID=15331407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14312190A Expired - Lifetime JPH0725025B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 両面研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725025B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06155117A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-06-03 | Okuma Mach Works Ltd | 低剛性ワークの加工方法 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP14312190A patent/JPH0725025B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06155117A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-06-03 | Okuma Mach Works Ltd | 低剛性ワークの加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0725025B2 (ja) | 1995-03-22 |
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