JPS59152060A - ワ−クの接着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば半導体装置に用いるシリコンウェハ、
バブルメモリ装置に用いられるＧＧＧ（ガドリ拳ガリウ
ム・ガ・−ネ、ント）ウェハ、ディジタル磁気ヘッド又
はｉＶ［Ｉ　Ｃ（マイクロ波集積回路）素子に用いられ
るフェライト基板、更に（ま５ＡＷ（表面波）フィルタ
に用いられる圧電セラミクス基板等のウニ・・又は基板
を両面研摩する際＆Ｃ金属治具に効率良く接着する方法
ｖｃ関−ｆる。

一般に、この種のウエノ・・基板のう・・ノピノグ、ポ
リシングの技術は、その後に加工して得られる素子又は
装置の特注・品質を左右するため重要なポイントである
。、またウエノ・・基板を境面研摩する場合は面の平担
度の外に両面の平行度等も重要で・ある。

従って、この遣ワークを高品位とｆるため１（はウニ・
・・基板を切断し定ものを研摩し、更にダイヤモンドペ
ースト等を研削材として用（Ａで鏡面仕上げされる。具
体的Ｃτは、第１図に示ｆ：ｏ＜、ウェハ・基板等のワ
ーク１を接着剤で接着した金属製剛体２を、ワーク面を
向けて研４定盤３　ＩＣ載置し、公転、駆動される定盤
３と自転する１１す１川本２との間（Ｃダイヤモンドペ
ーストを注入して行なわれることが多い。

ところで、ワーク１０両面を研摩する沁は、■粗研卓上
がりのワークを加熱された金属製剛体に熱可塑性接着剤
にて接着し、■まず片面を研摩し。

■その後剛体を加熱してワークを取外し、ワークに付着
した残滓を除去するため洗浄し、■次にワークの面を反
対にして上記■〜■の過程を繰返丁ことになって因る。

しかし、このような方法でワークの接着を行なう場合は
接着及び剥離に要する工数が多く、作業性が極めて悪い
。

本発明はかかる点に鑑み、夫々軟化点の異なる第１及び
第２の接着剤と塗布した第１及び第２の金属性剛体に被
研摩ワークを合理的に接着・剥離を行なうことにより、
従来のこの種方法に要−ｆる工数を大幅に低減するワー
クの接着方法を提案することを主たる′１的とする。

以下本発明の一実施例について図面を参照しながら詳細
に説明”する。

第２図は本発明方法の一例を示す工程図を示す。

５．６は第１及び第２の金属製剛体を示し、これらはワ
ーク付着面に夫々第１及び第２の接着剤７゜８が塗布さ
れており、ホットプレート等の加熱装置９により予め加
熱さね、ている。加熱装置９による第１及び第２の剛体
５，６は第１及び第２の接着剤７，８の軟化点より高く
なるようにすることにより、第１の剛体５のｇｌの接着
剤７上にワーク１０を載置することによりワーク１０が
第１の剛体５と一体になる。

次に、同図Ｂに示す如く、接着ガイド１１上に第２の剛
体６を載置すると共に、付着面が相対向ｆるように第１
の剛体５を位置せしめて重ねる。

従って、ワーク１０の上面に第１の１ｉｉｌＪ体５う一
１下面に第２の剛体６が一体になる。

仄に同図Ｃに示ｆ々口〈、第２の剛体６のみを冷却する
ｔめ、水槽１３に満たした冷却水１４に触れるようにす
ることにより、第２の接着剤８が早く硬化してワ・−り
１０と第２の剛体６とが強固に一体化されると共に、未
だ軟化状態にある第１の接着剤７と共に第１の剛体５を
上方に引上げることにより、ワーク１０が稟１の剛体５
から離れることになる（同図り参照）。従って、予め片
面が研摩されたワーク１００反対面を第２の剛体６に一
体化された状態で鏡面研摩することができる。

この場合、第１の接着剤７と第２の接着剤８との軟化点
を異なるように設定することができる。

ｆなわち第１の接着剤７に軟化点５０℃の松やにロウ（
白化精工（株）製　フラットローワックス）を用論、第
２の接着剤ｆ３に軟化点６０°Ｃの同系樹脂（白化精工
（株）製　ステッキワックス）を用いることにより、加
熱・冷却の管理を容易にかつ短時間で処理することがで
きる。尚、上記接着剤は一例であり、その他の熱可塑性
・熱硬化性のものを用いることを妨げない。

尚、上述例にお（ハては第１及び稟２の金属剛体５．６
の移動方向を上下に設定したが、これに代えて前後又は
左右方向に設定することも可能であるＱ 以上述べた如く本発明によれば、ワークが第１の接着剤
で接着された第１の金属製１剛体と、播着面（Ｃ第２の
接着剤を塗布した第２の金属製剛体とを上記第１及び第
２の接着剤の軟化点以上にて加熱する過程と、上記軟化
点以上の温度で上記第２の金属製剛体の第２の接着面に
上記ワークを重ねる過程と、上記第２の金属ｄ　＋ｉ’
ｌｌ１体を冷却して上記第２の金属製剛体とワークとが
接着した時点で上記第１の金属製剛体を除去−Ｔるよう
に構成したので、従来方法を採用した場合に要する時間
が約４５分であったのに対して約８分と極めて短時間で
処理することかでき、生産性の大幅な向上となる。しか
も第１の剛体から第２の剛体へワークを移替える際、従
来はかけ・スクラッチ等が発生して歩留りの悪化が多か
ったが、本発明によれば、このような欠点は殆ど生ぜず
歩留りが向上する効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はワークの研、秘方法の説明に供する図、第２図
Ａ、　　Ｂ、　　Ｃ，Ｄは本発明の一列を示す工程図で
ある。 ５・・・ｇｌの金属製剛体、６・・・第２の金、１．ｉ
ｉ製剛体。 ７・・・第１の接着剤、８・・・第２の接着剤、９・・
・加熱装置、１０・・・ワーク、１４・・・冷却水。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　ワークが第１の接着剤で接着された第１の金属製
   剛体と、接着面に第２の接着層剤を塗布した第２の金属
   製剛体とを上記第１及び第２の接着剤の軟化点以上にて
   加熱する過程と、上記軟（ヒ点以上の温度で上記第２の
   金属製剛体の第２の接着面に上記ワークを重ねる過程と
   。 上記第２の金属製剛体を冷却して上記第２の金属製剛体
   とワークとが接着した時点で上記第１の金属製剛体を除
   去するようにしたことを特徴とするワークの接着方法。 ２、上記第２の接着剤は上記第１の接着剤の軟化点より
   高く設定した特許請求の範囲第１項記載のワークの接着
   方法。