JPH01153242A - 被加工物の形伏制御方法 - Google Patents
被加工物の形伏制御方法Info
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- JPH01153242A JPH01153242A JP62308451A JP30845187A JPH01153242A JP H01153242 A JPH01153242 A JP H01153242A JP 62308451 A JP62308451 A JP 62308451A JP 30845187 A JP30845187 A JP 30845187A JP H01153242 A JPH01153242 A JP H01153242A
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- slider member
- melt resin
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
- B23Q3/06—Work-clamping means
- B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、被加工物の形状制御方法に関し、被加工物を
支持体に接着して加工する場合に、接着剤としてホット
メルト樹脂を使用し、その硬化熱処理温度を制御して、
被加工物の形状を制御することにより、接着する前の被
加工物の形状を保存して接着し、またはμｍオーダの領
域で形状を制御し、高精度加工ができるようにしたもの
である。本発明に係る形状制御方法は、例えば、浮上型
磁気ヘッドの製造工程において、読み書き素子を担持す
るスライダの浮上面を、所定のギヤップディブスが得ら
れるように加工する際等に適用して有効なものである。
支持体に接着して加工する場合に、接着剤としてホット
メルト樹脂を使用し、その硬化熱処理温度を制御して、
被加工物の形状を制御することにより、接着する前の被
加工物の形状を保存して接着し、またはμｍオーダの領
域で形状を制御し、高精度加工ができるようにしたもの
である。本発明に係る形状制御方法は、例えば、浮上型
磁気ヘッドの製造工程において、読み書き素子を担持す
るスライダの浮上面を、所定のギヤップディブスが得ら
れるように加工する際等に適用して有効なものである。
〈従来の技術〉
浮上型磁気ヘッドの製造工程において、読み書き素子を
担持するスライダの浮上面を研磨加工する場合、従来は
、第４図及び第５図に示すように、支持体（治具）１に
被加工物となるヘッドピース集合体２を接着しておき、
矢印ａ１方向に面回転する回転体３の表面にヘッドピー
ス集合体２を接触させて研磨加工を施す。回転体３は錫
等の軟質金属でなる研磨部材３１の背面に、機械的強度
の大きな支持部材３２を、接着剤３３で接着した構造と
なっている。研磨加工に当っては、ダイヤモンド粒子等
を含む研磨材を供給しながら、研磨部材３１の表面（イ
）にヘッドピース集合体２の下面を接触させる。支持体
１は矢印す、またはｂ２で示す回転半径方向に平行移動
させ、研磨部材３１の表面（イ）の全面で研磨が行なわ
れるようにする。矢印ａ２は回転体３及びヘッドピース
集合体２の自転の方向を示している。
担持するスライダの浮上面を研磨加工する場合、従来は
、第４図及び第５図に示すように、支持体（治具）１に
被加工物となるヘッドピース集合体２を接着しておき、
矢印ａ１方向に面回転する回転体３の表面にヘッドピー
ス集合体２を接触させて研磨加工を施す。回転体３は錫
等の軟質金属でなる研磨部材３１の背面に、機械的強度
の大きな支持部材３２を、接着剤３３で接着した構造と
なっている。研磨加工に当っては、ダイヤモンド粒子等
を含む研磨材を供給しながら、研磨部材３１の表面（イ
）にヘッドピース集合体２の下面を接触させる。支持体
１は矢印す、またはｂ２で示す回転半径方向に平行移動
させ、研磨部材３１の表面（イ）の全面で研磨が行なわ
れるようにする。矢印ａ２は回転体３及びヘッドピース
集合体２の自転の方向を示している。
ヘッドピース集合体２は、第６図に示すように、エポキ
シ接着剤または瞬間接着剤等の接着剤４を用いて支持体
１の研磨側の面１０１に固着しである。ヘッドピース集
合体２は、セラミック構造体でなるスライダ部材２１を
共用して、複数の磁気ヘッド要素Ｑ１〜Ｑ、を一方向に
形成したものである。
シ接着剤または瞬間接着剤等の接着剤４を用いて支持体
１の研磨側の面１０１に固着しである。ヘッドピース集
合体２は、セラミック構造体でなるスライダ部材２１を
共用して、複数の磁気ヘッド要素Ｑ１〜Ｑ、を一方向に
形成したものである。
研磨に当っては、スライダ部材２１の下面２１１を、ス
ライダ部材２１に付与されたマーカを基準にして、磁気
ヘッド要素Ｑ１〜Ｑｎまでの距離がｄ８となるように研
磨する。距Ｍｄｔは磁気ヘッドにおけるギャップデプス
に対応する。
ライダ部材２１に付与されたマーカを基準にして、磁気
ヘッド要素Ｑ１〜Ｑｎまでの距離がｄ８となるように研
磨する。距Ｍｄｔは磁気ヘッドにおけるギャップデプス
に対応する。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところで、磁気ヘッド要素を担持するスライダ部材はセ
ラミック構造体でなるものであり、例えば第７図に示す
如く、μｍオーダの領域の歪を生じることがある。第７
図は、スライダ部材２１には湾曲歪を生じているが、磁
気ヘッド要素Ｑ、〜Ｑ５が同一位置にある場合を示して
いる。第７図に示す湾曲歪は比較的単純であり、実際に
はもっと複雑な形状を呈することもある。上述のような
歪を持つスライダ部材２１を、エポキシ接着剤または瞬
間接着剤等の接着剤４を用いて、支持体１に接着して、
研磨加工を行なおうとすると、接着剤４の硬化収縮力が
スライダ部材２１の持つ剛性よりも大きいのが普通であ
るため、第８図に示すように、スライダ部材２１が接着
剤４の硬化収縮力によフて湾曲歪が修正される如く変形
する。このため、第８図に示すように、スライダ部材２
１の下面２１１から磁気ヘッド要素Ｑ１〜Ｑ５までの深
さが、個々に凹凸状に変化してしまい、磁気ヘッド要素
Ｑ！〜Ｑ５のギャップデプスｄｌｌを同時研磨加工によ
って所定値に設定することが困難になるという問題点が
あった。
ラミック構造体でなるものであり、例えば第７図に示す
如く、μｍオーダの領域の歪を生じることがある。第７
図は、スライダ部材２１には湾曲歪を生じているが、磁
気ヘッド要素Ｑ、〜Ｑ５が同一位置にある場合を示して
いる。第７図に示す湾曲歪は比較的単純であり、実際に
はもっと複雑な形状を呈することもある。上述のような
歪を持つスライダ部材２１を、エポキシ接着剤または瞬
間接着剤等の接着剤４を用いて、支持体１に接着して、
研磨加工を行なおうとすると、接着剤４の硬化収縮力が
スライダ部材２１の持つ剛性よりも大きいのが普通であ
るため、第８図に示すように、スライダ部材２１が接着
剤４の硬化収縮力によフて湾曲歪が修正される如く変形
する。このため、第８図に示すように、スライダ部材２
１の下面２１１から磁気ヘッド要素Ｑ１〜Ｑ５までの深
さが、個々に凹凸状に変化してしまい、磁気ヘッド要素
Ｑ！〜Ｑ５のギャップデプスｄｌｌを同時研磨加工によ
って所定値に設定することが困難になるという問題点が
あった。
く問題点を解決するための手段〉
上述する従来の問題点を解決するため、本発明に係る被
加工物の形状制御方法は、被加工物を支持体に接着して
加工する場合に、接着剤としてホットメルト樹脂を使用
し、前記ホットメルト樹脂の硬化熱処理温度を制御して
、前記被加工物の形状を制御することを特徴とする。
加工物の形状制御方法は、被加工物を支持体に接着して
加工する場合に、接着剤としてホットメルト樹脂を使用
し、前記ホットメルト樹脂の硬化熱処理温度を制御して
、前記被加工物の形状を制御することを特徴とする。
〈作用〉
ホットメルト樹脂は、エポキシ樹脂や瞬間接着剤等と異
なって、硬化熱処理時の温度勾配の選択によって、硬化
接着力を広い範囲で制御できる。
なって、硬化熱処理時の温度勾配の選択によって、硬化
接着力を広い範囲で制御できる。
従って、ホットメルト樹脂の硬化熱処理温度を制御して
、ホットメルト樹脂から被加工物に加わる硬化接着力を
制御し、被加工物の形状をμｍオーダの領域で制御でき
る。
、ホットメルト樹脂から被加工物に加わる硬化接着力を
制御し、被加工物の形状をμｍオーダの領域で制御でき
る。
〈実施例〉
第１図は本発明に係る被加工物の形状制御方法を示す図
である。この実施例では、第７図で説明したように、ス
ライダ部材２１には湾曲歪を生じているが、磁気ヘッド
要素Ｑ１〜Ｑ５が同一位置にある場合に、その形状を保
存する形状制御方法を示している。この場合には、ホッ
トメルト樹脂５によって支持体１にスライダ部材２１を
接着する場合、その硬化収縮力によって、スライダ部材
２１が変形しないように、硬化熱処理温度を制御する。
である。この実施例では、第７図で説明したように、ス
ライダ部材２１には湾曲歪を生じているが、磁気ヘッド
要素Ｑ１〜Ｑ５が同一位置にある場合に、その形状を保
存する形状制御方法を示している。この場合には、ホッ
トメルト樹脂５によって支持体１にスライダ部材２１を
接着する場合、その硬化収縮力によって、スライダ部材
２１が変形しないように、硬化熱処理温度を制御する。
このような温度制御は、ホットメルト樹脂５の硬化収縮
力がスライダ部材２１の剛性よりも大きくならない温度
上昇勾配となるように、硬化熱処理温度を制御すること
によって可能である。
力がスライダ部材２１の剛性よりも大きくならない温度
上昇勾配となるように、硬化熱処理温度を制御すること
によって可能である。
このスライダ部材２１の形状保存により、磁気ヘッド要
素Ｑ＋−Ｑｓを同一位置に保つことができるので、磁気
ヘッド要素Ｑ１〜Ｑ５を一定のギャップデプスｄ、どな
るように、同時に研磨することができる。
素Ｑ＋−Ｑｓを同一位置に保つことができるので、磁気
ヘッド要素Ｑ１〜Ｑ５を一定のギャップデプスｄ、どな
るように、同時に研磨することができる。
上述の形状保存の他に、積極的に形状を変えることも可
能である。例えば第２図に示すように、磁気ヘッド要素
Ｑ１〜Ｑｓの位置が異なる場合等には、ホットメルト樹
脂５の硬化熱処理温度の勾配を急にする等して、硬化収
縮力を強め、第３図に示すように、スライダ部材２１に
硬化収縮力による引張力を加え、磁気ヘッド要素Ｑ ｌ
−Ｑ ｓが同一位置になるようにすることも可能である
。
能である。例えば第２図に示すように、磁気ヘッド要素
Ｑ１〜Ｑｓの位置が異なる場合等には、ホットメルト樹
脂５の硬化熱処理温度の勾配を急にする等して、硬化収
縮力を強め、第３図に示すように、スライダ部材２１に
硬化収縮力による引張力を加え、磁気ヘッド要素Ｑ ｌ
−Ｑ ｓが同一位置になるようにすることも可能である
。
上記実施例では、ヘッドピース集合体の形状制御を例に
とって説明したが、他の加工物の形状制御にも適用でき
ることは言うまでもない。
とって説明したが、他の加工物の形状制御にも適用でき
ることは言うまでもない。
〈発明の効果〉
以上述べたように、本発明は、被加工物を支持体に接着
して加工する場合に、接着剤としてホットメルト樹脂を
使用し、その硬化熱処理温度を制御して、被加工物の形
状を制御することにより、接着する前の被加工物の形状
を保存して接着し、またはμｍオーダの領域で形状を制
御し、高精度加工を行なうことができる。
して加工する場合に、接着剤としてホットメルト樹脂を
使用し、その硬化熱処理温度を制御して、被加工物の形
状を制御することにより、接着する前の被加工物の形状
を保存して接着し、またはμｍオーダの領域で形状を制
御し、高精度加工を行なうことができる。
第１図は本発明に係る形状制御方法を示す図、第２図は
本発明に係る形状制御方法の適用される被加工物の書面
図、第３図は第２図に示された被加工物の形状制御方法
を示す図、第４図は従来の研磨装置を用いた研磨方法を
説明する平面図、第５図は同じくその正面図、第６図は
従来の支持体と被加工物との接着構造を示す拡大図、第
７図は被加工物の歪を示す図、第８図は第７図に示した
被加工物を研磨加工するときの問題点を示す図である。 １・・・支持体 ２・・・被加工物５・・
・ホットメルト樹脂 第４図 第５図
本発明に係る形状制御方法の適用される被加工物の書面
図、第３図は第２図に示された被加工物の形状制御方法
を示す図、第４図は従来の研磨装置を用いた研磨方法を
説明する平面図、第５図は同じくその正面図、第６図は
従来の支持体と被加工物との接着構造を示す拡大図、第
７図は被加工物の歪を示す図、第８図は第７図に示した
被加工物を研磨加工するときの問題点を示す図である。 １・・・支持体 ２・・・被加工物５・・
・ホットメルト樹脂 第４図 第５図
Claims (1)
- （１）被加工物を支持体に接着して加工する場合に、接
着剤としてホットメルト樹脂を使用し、前記ホットメル
ト樹脂の硬化熱処理温度を制御して、前記被加工物の形
状を制御することを特徴とする被加工物の形状制御方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308451A JPH01153242A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 被加工物の形伏制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62308451A JPH01153242A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 被加工物の形伏制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153242A true JPH01153242A (ja) | 1989-06-15 |
Family
ID=17981180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62308451A Pending JPH01153242A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 被加工物の形伏制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153242A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6238276B1 (en) | 1998-11-27 | 2001-05-29 | Alps Electric Co., Ltd. | Sizing lapping apparatus |
| US6299507B1 (en) | 1999-01-28 | 2001-10-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film magnetic head manufacturing method and apparatus |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP62308451A patent/JPH01153242A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6238276B1 (en) | 1998-11-27 | 2001-05-29 | Alps Electric Co., Ltd. | Sizing lapping apparatus |
| US6299507B1 (en) | 1999-01-28 | 2001-10-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film magnetic head manufacturing method and apparatus |
| US6419552B2 (en) | 1999-01-28 | 2002-07-16 | Alps Electric Co Ltd | Thin-film magnetic head manufacturing method and apparatus |
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