JP4202641B2 - 回路基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板及びその製造方法に係り、特に高密度化、高速化に対応しうる回路基板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、コンピュータ等で使用される半導体部品は、急速に高密度化、高速化への対応が推進されている。これに伴い、回路基板についても、高密度化、高速化への対応が要請されている。
【0003】
従来の回路基板の一例について図7を用いて説明する。図7(a)は実装状態における従来の回路基板の構造を示す断面図、図7(b)は回路基板の構造を示す斜視図である。
【0004】
図7(a)に示すように、回路基板100は、実装基板106上に搭載されている。回路基板100と実装基板106とは、ハンダボール104a等を介して電気的に接続されている。回路基板100の上面には、デカップリングキャパシタ108が形成されている。実装基板106上に搭載された回路基板100上には、LSI基板110が搭載されている。回路基板100とLSI基板110とは、ハンダボール104b等を介して電気的に接続されている。
【0005】
回路基板100には、図7(b)に示すように貫通孔114が所定のピッチで形成されている。貫通孔114の内部には金属よりなるビア116が埋め込まれている。このような貫通孔114が形成された基板100上には、通常、デカップリングキャパシタ等の受動素子や、能動素子、電極等が形成されている。なお、図7(b)においては、これらの素子等を省略している。
【0006】
LSI基板110の所定の配線と、実装基板106の所定の配線とは、ビア116、電極パッド102a、102b、ハンダボール104a、104bを介して、電気的に接続されている。
【0007】
上述した回路基板としては、一般に、樹脂基板や、アルミナセラミックス、ガラスセラミックスからなるセラミック基板等が用いられている。
【0008】
樹脂基板は、次のようにして製造される。まず、配線として機能する銅箔内層板を、プリプレグと呼ばれる炭素繊維に熱硬化性樹脂を含浸したシートと交互に積層する。次いで、積層された銅箔内層板及びプリプレグを加圧し焼成することにより樹脂基板を製造する。次いで、ドリルを用いた機械加工により貫通孔を形成する。次いで、表面に銅めっき処理を施す。
【0009】
セラミック基板は、次にようにして製造される。まず、グリーンシートと呼ばれる焼結前のセラミックシートにパンチングにより開口部を形成する。次いで、表面に銅めっき処理を施す。次いで、複数枚のグリーンシートを積層し、加圧し焼成する。
【0010】
上述した各種基板に形成された貫通孔には、基板の表面と裏面とを電気的に接続するために、めっき法により金属が埋め込まれる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
高密度実装においては、基板に形成される貫通孔の径をより小さくし、そのピッチをより狭くすることが必要とされる。しかしながら、樹脂基板や焼成セラミック基板を用いた回路基板では、貫通孔の径を小さくしたり、貫通孔のピッチを狭くすることに限界がある。
【0012】
セラミック基板の場合は、貫通孔の形成時のパンチングが機械加工であるため、パンチの送りピッチよりも狭いピッチで貫通孔を形成することが困難である。
【0013】
樹脂基板の場合は、ドリルを用いた機械加工により貫通孔を形成するので、同様に、ドリルの送りピッチよりも狭いピッチで貫通孔を形成することは困難である。また、微細な貫通孔を形成するために細いドリルを用いた場合には、貫通孔の形成時にドリルが折れてしまったり、基板自体が破壊される可能性がある。特に、高いアスペクト比を有する貫通孔を狭いピッチで形成しようとする場合には、基板が破壊される可能性がより顕著なものになると考えられる。
【0014】
また、貫通孔内に金属を埋め込むためにめっき法を用いるが、金属膜の成長速度が遅いため、長時間のめっき時間が必要とされることとなる。例えば、めっき法により、直径50μm、深さ300μmの貫通孔内に金属を埋め込む場合には、およそ3日間のめっき処理を行わなければならない。
【0015】
さらに、貫通孔を高いアスペクト比を有するものとした場合には、めっき法による金属の埋め込みでは次のような難点がある。すなわち、貫通孔のアスペクト比が高くなるにつれて、めっき液が貫通孔に侵入するのが困難となり、貫通孔の内壁が部分的にめっきされなくなる。この結果、電気的導通の信頼性が低下することとなる。
【0016】
また、樹脂基板の場合には、高温の熱処理を行うと、基板から汚染ガスが放出されたり、基板自体が溶解してしまうため、キャパシタ等の受動素子を樹脂基板上に形成するのは困難である。セラミック基板の場合には、焼結により成形されるため、収縮のばらつき等により寸法安定性が劣ることや、金属配線にボイドが発生すること等の難点があり、微細化が困難である。
【0017】
ここで、上述した樹脂基板やセラミック基板に代えて、シリコン基板やガラス基板を用いることも考えられる。シリコン基板等を用いた場合には、フォトリソグラフィ技術による微細加工を適用することができる。したがって、シリコン基板等には、樹脂基板等に比べてより微細な貫通孔を形成することが可能である。さらには、シリコン基板やガラス基板は、LSIチップと同材或いは線膨張係数が近いため、温度変化に伴う応力の発生が抑制され、信頼性を向上することができるという利点もある。
【0018】
しかしながら、シリコン基板等に形成した微細な貫通孔に、めっき法により金属を埋め込むためには、樹脂基板等の場合と同様に長時間を要する。また、単に微細な貫通孔を狭いピッチで形成すると、基板の機械的強度が低下し、さらには基板自体が破壊されてしまう虞がある。また、単に狭いピッチで形成した微細な貫通孔に金属を埋め込んだ場合には、熱膨張係数の差違により基板に応力が加わり、基板が損傷してしまうことも考えられる。
【0019】
本発明の目的は、高密度実装に対応しうるとともに、短時間で製造可能な回路基板及びその製造方法を提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、貫通孔が形成されたシリコン基板と、前記貫通孔の内壁を、絶縁膜を介して被膜するとともに、前記貫通孔内に形成される空洞部に対して表面を露出する導電膜と、前記シリコン基板の少なくとも一側の面に形成され、前記貫通孔の開口部の少なくとも一部を覆う有機樹脂よりなる補強膜と、前記シリコン基板と前記補強膜との間に形成され、前記導電膜と電気的に接続された配線層とを有することを特徴とする回路基板により達成される。
【0021】
また、上記目的は、シリコン基板の一側の面に前記シリコン基板とエッチング特性が異なる膜を形成する工程と、前記シリコン基板の他側の面から前記シリコン基板をエッチングすることにより、前記シリコン基板に貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔の内壁に絶縁膜を形成するとともに、前記絶縁膜上に、前記貫通孔内の空洞部に対して表面を露出する導電膜を形成する工程と、前記シリコン基板の少なくとも一側の面に、前記貫通孔の開口部を覆う有機樹脂よりなる補強膜を形成する工程とを有することを特徴とする回路基板の製造方法により達成される。
【0022】
【発明の実施の形態】
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態による回路基板及びその製造方法について図1乃至図3を用いて説明する。図1は本実施形態による回路基板の構造を示す概略図、図2及び図3は本実施形態による回路基板の製造方法を示す工程断面図である。
【0023】
(回路基板)
まず、本実施形態による回路基板について図1を用いて説明する。図1(a)は本実施形態による回路基板の上面図、図1(b)は図1(a)のA−A′線断面図である。
【0024】
図1(b)に示すように、シリコン基板10に、所定のピッチで貫通孔12が形成されている。シリコン基板10の両面には、シリコン酸化膜14a、14bが形成されている。貫通孔12の内壁には、シリコン酸化膜14cが形成されている。
【0025】
シリコン酸化膜14aが形成されたシリコン基板10の上面には、所定の形状にパターニングされた導電膜からなる配線16a、16b、16cが形成されている。なお、配線16a、16b、16cは、シリコン基板10上に多数形成されているが、図1(a)では、3つのみ示している。
【0026】
シリコン酸化膜14cが形成された貫通孔12の内壁には、図1(a)及び図1(b)に示すように、導電膜18a、18b、18cが形成されている。導電膜18a、18b、18cは、内側の空洞部に露出している。
【0027】
各導電膜18a、18b、18cは、それぞれ配線16a、16b、16cに電気的に接続されている。
【0028】
配線16a、16b、16cが形成されたシリコン基板10の上面には、貫通孔12の開口部13を覆うように有機樹脂膜20が形成されている。有機樹脂膜20は、貫通孔12が形成された回路基板の機械的強度を補強する補強膜として機能するものである。有機樹脂膜20の材料としては、例えば粘度が20000mPa・s以上の高粘性のソルダーレジストのように印刷塗布できるものを用いることができる。また、フィルム状レジストのように加圧若しくは加熱又は接着剤により基板に貼り付けられるものを用いることができる。
【0029】
こうして、貫通孔12が金属等で埋め込まれていないために強度が低下したシリコン基板10が、加工が容易な有機樹脂膜20により補強されている。
【0030】
有機樹脂膜20には、図1(a)及び図1(b)に示すように、配線16a、16b、16cに達する複数の円形状の開口部22が所定の配列パターンで形成されている。
【0031】
各開口部22には、電極パッド及びハンダボール(図示せず)が形成される。
【0032】
シリコン酸化膜14bが形成されたシリコン基板10の下面には、所定の形状にパターニングされた電極24が形成されている。
【0033】
電極24は、貫通孔12の内壁に形成された導電膜18aを介して配線16aと電気的に接続されている。
【0034】
電極24の下面には、BST(BaxSr1-xTiO3)からなる誘電体膜26が形成されている。誘電体膜26の下面には、電極28が形成されている。こうして、電極14と誘電体膜26と電極28とからなるデカップリング型のキャパシタ30が構成されている。
【0035】
電極28は、貫通孔12の内壁に形成された導電膜18bを介して配線16bと電気的に接続されている。
【0036】
キャパシタ30が形成されたシリコン基板10の下面には、電極パッド及びハンダボール(図示せず)が設けられる。
【0037】
こうして、本実施形態による回路基板が構成されている。
【0038】
本実施形態による回路基板の上面には、LSI基板(図示せず)が搭載される。
【0039】
導電膜18aは、配線16a及びハンダボールを介して、例えばLSIの電源線に電気的に接続される。導電膜18bは、配線16b及びハンダボールを介して、例えばLSIの接地線に電気的に接続される。導電膜18cは、配線16c及びハンダボールを介して、例えばLSIの信号線に電気的に接続される。
【0040】
こうしてLSI基板が搭載された本実施形態による回路基板は、実装基板(図示せず)上に搭載される。
【0041】
導電膜18aは、電極24及びハンダボール等を介して、例えば実装基板の電源線に電気的に接続される。導電膜18bは、電極28及びハンダボール等を介して、例えば実装基板の電源線に電気的に接続される。
【0042】
こうして、本実施形態による回路基板上に搭載されたLSI基板の所定の配線が、配線16a、16b、16c、導電膜18a、18b、18c等を介して実装基板の所定の配線に接続される。
【0043】
このように、本実施形態による回路基板は、貫通孔12が金属で埋め込まれておらず、貫通孔12の内壁に形成された導電膜18a、18b、18cと、貫通孔12の開口部13を覆うように形成された有機樹脂膜20とを有することに主な特徴の一つがある。貫通孔12に金属を埋め込む場合には、回路基板の製造に長時間を要していた。これに対し、本実施形態では、貫通孔12に金属を埋め込むことなく、配線16a、16b、16cと電極24、28とを貫通孔12の内壁に形成された導電膜18a、18b、18cにより接続するため、回路基板の製造に要する時間を短縮することができる。
【0044】
また、シリコン基板10と熱膨張率が異なる金属が貫通孔12に埋め込まれていないので、高温の熱処理の際に回路基板に応力が生じるのを低減することができる。
【0045】
また、有機樹脂膜20により貫通孔12の開口部13を覆うことにより、基板のうねりや反りを低減することができ、回路基板の機械的強度を強く保つことができる。
【0046】
また、有機樹脂膜20は印刷塗布等により容易に形成することができるので、簡便に回路基板を補強することができる。
【0047】
(回路基板の製造方法)
次に、本実施形態による回路基板の製造方法について図2及び図3を用いて説明する。
【0048】
まず、例えば厚さ300μmのシリコン基板10を熱酸化し、両面に厚さ1μmのシリコン酸化膜14a、14bを形成する。
【0049】
次いで、シリコン酸化膜14a、14bを形成したシリコン基板10の一方の面にレジスト膜32を形成する。次いで、フォトリソグラフィ技術により、貫通孔12を形成するためのパターンを形成する(図2(a))。パターンのピッチは、例えば223μmとすることができる。パターンの直径は、50μmとすることができる。
【0050】
次いで、例えば反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)法により、レジスト膜32をマスクとしてシリコン酸化膜14aをエッチングする。
【0051】
次いで、RIE法により、シリコン酸化膜14bに対して高い選択比でシリコン基板10をエッチングする。これにより、シリコン基板10に貫通孔12が形成される。シリコン基板10の下面に形成されているシリコン酸化膜14bは、エッチングされることなく残される(図2(b))。
【0052】
上述のように、本実施形態では、リソグラフィ技術を用いてシリコン基板10に貫通孔12を形成する。このため、従来のドリルを用いた機械加工による場合等よりも微細な貫通孔12をより狭いピッチで形成することができ、高密度実装に対応しうる貫通孔12を形成することができる。
【0053】
また、本実施形態では、シリコン基板10の下面に形成されたシリコン酸化膜14bをエッチングすることなくシリコン基板10を選択的にエッチングするため、シリコン基板10が補強される。このため、微細な貫通孔12を狭いピッチで形成した場合であっても、貫通孔12を形成した際にシリコン基板10が破壊されるのを防止することができる。
【0054】
次いで、再度シリコン基板10を熱酸化することにより、貫通孔12の内壁にシリコン酸化膜14cを形成する(図2(c))。
【0055】
次いで、例えばスパッタ法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、シリコン酸化膜14bが形成されたシリコン基板10の下面に、例えばTiやCr、Cu等からなる導電膜34を形成する。(図2(d))。
【0056】
次いで、貫通孔12内に露出しているシリコン酸化膜14bをエッチングする(図3(a))。
【0057】
次いで、シリコン酸化膜14aが形成されたシリコン基板10の上面及びシリコン酸化膜14cが形成された貫通孔12の内壁に導電膜を形成する。導電膜の形成方法としては、例えば、スパッタ法等によりNiからなるシード層を形成し、その後電界めっき法によりAuからなる金属膜を成長することにより形成することができる。
【0058】
なお、導電膜は、以下のような方法によっても形成することができる。まず、10nmオーダーの大きさのCu微粒子が溶解した脂肪酸有機金属溶液をシリコン酸化膜14a、14cに塗布する。次いで、300℃、10分間の熱処理を行うことにより乾燥する。この工程を数回繰り返すことにより、0.2μmのCu膜を形成する。次いで、電解めっき法によりPt膜又はAu膜を0.5μm成長する。こうして、積層膜からなる導電膜が形成される。
【0059】
次いで、シリコン基板10の上面に形成された導電膜を、所定の形状にパターニングする。
【0060】
こうして、シリコン基板10の上面に配線16a、16b、16c(図1(a)参照)が形成されるとともに、貫通孔12の内壁に導電膜18a、18b、18cが形成される(図3(b))。
【0061】
次いで、シリコン基板10の下面に形成された導電膜34を電極24の形状にパターニングする。これにより、導電膜34からなる電極24が形成される。
【0062】
次いで、シリコン基板10の下面に形成された電極24上に、例えばゾルゲル法によりBST膜を形成する。次いで、BST膜を所定の形状にパターニングする。これにより、BSTからなる誘電体膜26が形成される。次いで、誘電体膜26上に導電膜からなる電極28を形成する。こうして、シリコン基板10の下面にキャパシタ30が形成される(図3(c))。
【0063】
キャパシタ30を構成する電極24、28により貫通孔12の下面側が覆われているので、回路基板の機械的強度が強く保たれる。
【0064】
次いで、配線16a、16bが形成されたシリコン基板10の上面に、例えば印刷法によりソルダーレジスト膜を形成する。
【0065】
次いで、ソルダーレジスト膜をパターニングする。これにより、配線16a、16bに達する直径110μmの円形状の開口部22が所定のピッチで形成される。こうして、配線16a、16bが形成されたシリコン基板10の上面に、貫通孔12の開口部13を覆うように有機樹脂膜20が形成される(図3(d))。
【0066】
以上のようにして、本実施形態による回路基板が製造される。
【0067】
従来の回路基板では、めっき法等によりほぼ完全に貫通孔に金属を埋め込んでいた。このため、従来の回路基板の製造には長時間を要していた。例えば、めっき法により、直径50μm、深さ300μmの貫通孔に金属を埋め込む場合には約60時間を要していた。
【0068】
これに対し、本実施形態では、貫通孔12を金属で完全には埋め込まずに、貫通孔12の内壁に導電膜18a、18b、18cを形成する。したがって、回路基板の製造に要する時間を従来に比べて大幅に短縮することが可能である。
【0069】
このように、本実施形態によれば、リソグラフィ技術を用いてシリコン基板10に貫通孔12を形成するので、微細な貫通孔12を狭いピッチで形成することができ、高密度実装に対応しうる回路基板を形成することができる。また、貫通孔12の形成の際には、シリコン基板10の下面に形成されたシリコン酸化膜14bをエッチングすることなくシリコン基板10を選択的にエッチングするため、シリコン基板10が補強され、シリコン基板10が破壊されるのを防止することができる。また、貫通孔12の開口部13を覆うように有機樹脂膜20を形成するので、回路基板の機械的強度を強く保つことができる。
【0070】
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態による回路基板及びその製造方法について図4及び図5を用いて説明する。図4は本実施形態による回路基板の構造を示す断面図、図5は本実施形態による回路基板の製造方法を示す工程断面図である。なお、図1乃至3に示す第1実施形態による回路基板及びその製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡略にする。
【0071】
まず、本実施形態による回路基板について図4を用いて説明する。図4(a)は本実施形態による回路基板の上面図、図4(b)は図4(a)のA−A′線断面図である。
【0072】
本実施形態による回路基板は、シリコン基板10の代わりにガラス基板36が用いられている点に主たる特徴がある。
【0073】
第1実施形態による回路基板では、シリコン基板10が用いられている。したがって、シリコン基板10に、配線16a、16b、16c、導電膜18a、18b、18c、電極24を形成するためには、シリコン酸化膜14a、14b、14cをシリコン基板10の表面に形成して絶縁する必要があった。
【0074】
これに対し、本実施形態による回路基板では、ガラス基板36が用いられている。このため、第1実施形態による場合と異なり、図4に示すように、ガラス基板36の表面にシリコン酸化膜等の絶縁膜を形成することなく絶縁性を確保することができる。したがって、簡便な構成にすることができる。
【0075】
次に、本実施形態による回路基板の製造方法について図5を用いて説明する。
【0076】
まず、例えば厚さ300μmのガラス基板36の下面に、CVD法やスパッタ法等を用いて導電膜34を形成する。
【0077】
本実施形態では、第1実施形態と異なり、ガラス基板36を用いる。このため、シリコン基板10を用いた第1実施形態による場合のように導電膜を形成する前にシリコン酸化膜等の絶縁膜を形成する必要がない。
【0078】
次いで、ガラス基板36の上面に、レジスト膜32を形成する。次いで、フォトリソグラフィ技術により、貫通孔12を形成するためのパターンを形成する(図5(a))。
【0079】
次いで、RIE法により、導電膜34に対して高い選択比でガラス基板36をエッチングする。これにより、ガラス基板36に貫通孔12が形成される。ガラス基板36の下面に形成されている導電膜34は、エッチングされることなく残される(図5(b))。
【0080】
ガラス基板36の下面に形成された導電膜34をエッチングすることなくガラス基板36を選択的にエッチングするため、導電膜34によりガラス基板36が補強される。このため、微細な貫通孔12を狭いピッチで形成した場合であっても、ガラス基板36が破壊されるのを防止することができる。
【0081】
次いで、第1実施形態と同様にして、貫通孔12の内壁に導電膜18a、18b、18cを形成するとともに、ガラス基板36の上面に配線16a、16bを形成する(図5(c))。
【0082】
次いで、ガラス基板36の下面に形成された導電膜34を電極24の形状にパターニングする。これにより、導電膜34からなる電極24が形成される。
【0083】
次いで、ガラス基板36の下面に形成された電極24上に、例えばゾルゲル法によりBST膜を形成する。次いで、BST膜を所定の形状にパターニングする。これにより、BSTからなる誘電体膜26が形成される。次いで、誘電体膜26上に導電膜からなる電極28を形成する。こうして、ガラス基板36の下面にキャパシタ30が形成される(図5(c))。
【0084】
キャパシタ30を構成する電極24、28により貫通孔12の下面側が覆われているので、回路基板の機械的強度が強く保たれる。
【0085】
次いで、配線16a、16bが形成されたガラス基板36の上面に、例えば印刷法によりソルダーレジスト膜を形成する。
【0086】
次いで、ソルダーレジスト膜をパターニングする。これにより、配線16a、16bに達する直径110μmの円形状の開口部22が所定のピッチで形成される。こうして、配線16a、16bが形成されたガラス基板36の上面に、貫通孔12の開口部13を覆うように有機樹脂膜20が形成される(図5(d))。
【0087】
以上のようにして、本実施形態による回路基板が製造される。
【0088】
このように、本実施形態によれば、貫通孔12を形成する際に、ガラス基板36の下面に形成された導電膜34をエッチングすることなくガラス基板36を選択的にエッチングするため、ガラス基板36が補強され、ガラス基板36が破壊されるのを防止することができる。また、絶縁性のガラス基板36を用いているため、ガラス基板36の表面に絶縁膜を別途形成する必要がない。したがって、第1実施形態に比べて製造工程をより簡便にすることができる。
【0089】
[変形実施形態]
本発明の上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
【0090】
上記実施形態では、シリコン基板10又はガラス基板36を用いる場合を例に説明したが、シリコン基板10又はガラス基板36に限定されるものではなく、他のあらゆる基板を用いることができる。
【0091】
また、上記実施形態では、シリコン基板10又はガラス基板36の一側の面のみに有機樹脂膜20を形成したが、両面に有機樹脂膜を形成してもよい。
【0092】
また、上記実施形態では、有機樹脂膜20により貫通孔12の開口部13を完全に覆う場合を例に説明したが、必ずしも完全に覆わなくてもよく、例えば、一部のみを覆うようにしてもよい。例えば、図6に示すように、貫通孔12の開口部13を覆う有機樹脂膜20に開口部が形成されていてもよい。この場合、貫通孔12の開口部13を覆うように有機樹脂膜20を形成した後、貫通孔12の開口部13を覆う有機樹脂膜20の中央付近を例えばリソグラフィ技術により開口する。貫通孔12の開口部13を覆う有機樹脂膜20に開口部を形成することにより、その後の熱処理等において、貫通孔12内の空気が自由に排出される。これにより、貫通孔12内の空気の膨張による有機樹脂膜20等の損傷を防止することができる。
【0093】
また、上記実施形態では、回路基板を強度を強くするために有機樹脂膜20を用いていたが、有機樹脂膜20に限定されるものではない。貫通孔12の開口部13を覆うことにより回路基板を補強することができる膜であれば、他のあらゆる膜を用いることができる。
【0094】
また、上記実施形態では、RIE法により貫通孔12を形成していたが、RIE法に限定されるものではなく、他のあらゆるエッチング方法を適用してもよい。
【0095】
また、上記実施形態では、エッチングにより貫通孔12を形成していたが、貫通孔12の形成方法は、エッチングに限定されるものではない。例えば、サンドブラスト(Sandblasting)法により、鋼の粒、砂、その他の砥粒材を基板に噴射することにより貫通孔12を形成してもよい。
【0096】
また、上記実施形態では、シリコン基板10又はガラス基板36の上面に配線16を形成し、下面に電極24、誘電体膜26、電極28を形成していたが、これに限定されるものではなく、配線等を適宜形成することができる。
【0097】
また、上記実施形態では、回路基板に、キャパシタ30を形成していたが、その他の受動素子や能動素子を形成してもよい。
【0098】
また、第1実施形態では、シリコン基板10の両面及び貫通孔12の内壁に、シリコン酸化膜14a、14b、14cを絶縁膜として形成していたが、シリコン酸化膜14a、14b、14cに限定されるものではなくシリコン窒化膜など他の絶縁膜を形成してもよい。
【0099】
(付記1) 貫通孔が形成された基板と、前記貫通孔の内壁に被膜され、内側の空洞部に露出する導電膜と、前記基板の少なくとも一側の面に形成され、前記貫通孔の開口部の少なくとも一部を覆う有機樹脂よりなる補強膜とを有することを特徴とする回路基板。
【0100】
(付記2) 付記1記載の回路基板において、前記基板と前記補強膜との間に形成され、前記導電膜に電気的に接続された配線層を更に有することを特徴とする回路基板。
【0101】
(付記3) 付記2記載の回路基板において、前記導体膜は、前記配線層を介して外部に電気的に接続されることを特徴とする回路基板。
【0102】
(付記4) 付記1乃至3のいずれかに記載の回路基板において、前記基板の他側の面に形成され、前記導電膜に電気的に接続された他の導電膜を更に有することを特徴とする回路基板。
【0103】
(付記5) 付記4記載の回路基板において、前記貫通孔は、前記他の導体膜により覆われていることを特徴とする回路基板。
【0104】
(付記6) 付記4又は5記載の回路基板において、前記他の導電膜は、キャパシタの一方の電極であることを特徴とする回路基板。
【0105】
(付記7) 付記1乃至6のいずれかに記載の回路基板において、前記基板は、シリコン基板又はガラス基板であることを特徴とする回路基板。
【0106】
(付記8) 付記1乃至7のいずれかに記載の回路基板において、前記補強膜は、有機樹脂よりなることを特徴とする回路基板。
【0107】
(付記9) 基板に貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔の内壁に、内側の空洞部に露出する導電膜を形成する工程と、前記基板の少なくとも一側の面に、前記貫通孔の開口部を覆う有機樹脂よりなる補強膜を形成する工程とを有することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0108】
(付記10) 付記9記載の回路基板の製造方法において、前記貫通孔を形成する工程の前に、前記基板の一側の面に前記基板とエッチング特性が異なる膜を形成する工程を更に有し、前記貫通孔を形成する工程では、前記基板の他側の面から前記基板をエッチングすることにより前記貫通孔を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0109】
(付記11) 付記9記載の回路基板の製造方法において、前記貫通孔を形成する工程では、サンドブラスト法により前記基板に前記貫通孔を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0110】
(付記12) 付記9乃至11のいずれかに記載の回路基板の製造方法において、前記導電膜を形成する工程では、めっき法により前記貫通孔の内壁に前記導電膜を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0111】
(付記13) 付記12記載の回路基板の製造方法において、前記導電膜を形成する工程の前に、金属微粒子を含有する液体を塗布して乾燥することにより前記貫通孔の内壁に前記金属微粒子を付着させる工程を更に有することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0112】
(付記14) 付記9乃至13のいずれかに記載の回路基板の製造方法において、前記補強膜を形成する工程では、粘性が20000mPa・s以上の有機樹脂を前記基板に塗布することにより、前記有機樹脂よりなる前記補強膜を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0113】
(付記15) 付記9乃至13のいずれかに記載の回路基板の製造方法において、前記補強膜を形成する工程では、フィルムを前記基板に貼り付けることにより前記フィルムよりなる前記補強膜を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0114】
(付記16) 付記9乃至15記載の回路基板の製造方法において、前記補強膜を形成する工程の後に、前記補強膜に前記貫通孔に達する開口部を形成する工程を更に有することを特徴とする回路基板の製造方法。
【0115】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、貫通孔に金属が埋め込まれておらず、貫通孔の内壁に基板両面の電極、配線等を電気的に接続する導電膜が形成され、貫通孔を覆うように補強膜が形成されているので、微細な貫通孔が狭いピッチで形成されていても基板の機械的強度の低下を招くことない。したがって、高密度実装に対応しうる回路基板を提供することができる。
【0116】
また、本発明によれば、貫通孔に金属を埋め込まずに、貫通孔の内壁に基板両面の電極、配線等を電気的に接続する導電膜を形成するので、回路基板の製造に要する時間を従来に比べて大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態による回路基板の構造を示す概略図である。
【図2】本発明の第1実施形態による回路基板の製造方法を示す工程断面図(その1)である。
【図3】本発明の第1実施形態による回路基板の製造方法を示す工程断面図(その2)である。
【図4】本発明の第2実施形態による回路基板の構造を示す概略図である。
【図5】本発明の第2実施形態による回路基板の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】本発明の変形例による回路基板の構造を示す断面図である。
【図7】従来の回路基板の構造を示す概略図である。
【符号の説明】
10…シリコン基板
12…貫通孔
13…開口部
14a、14b、14c…シリコン酸化膜
16a、16b、16c…配線
18a、18b、18c…導電膜
20…有機樹脂膜
22…開口部
24…電極
26…誘電体膜
28…電極
30…キャパシタ
32…レジスト膜
34…導電膜
36…ガラス基板
100…回路基板
102a、102b…電極パッド
104a、104b…ハンダボール
106…実装基板
108…デカップリングキャパシタ
110…LSI基板
114…貫通孔
116…ビア
Claims (8)
- 貫通孔が形成されたシリコン基板と、
前記貫通孔の内壁を、絶縁膜を介して被膜するとともに、前記貫通孔内に形成される空洞部に対して表面を露出する導電膜と、
前記シリコン基板の少なくとも一側の面に形成され、前記貫通孔の開口部の少なくとも一部を覆う有機樹脂よりなる補強膜と、
前記シリコン基板と前記補強膜との間に形成され、前記導電膜と電気的に接続された配線層と
を有することを特徴とする回路基板。 - 請求項1記載の回路基板において、
前記導電膜は、前記配線層を介して外部に電気的に接続される
ことを特徴とする回路基板。 - 請求項1又は2記載の回路基板において、
前記シリコン基板の他側の面に形成され、前記導電膜に電気的に接続された他の導電膜を更に有する
ことを特徴とする回路基板。 - 請求項3記載の回路基板において、
前記貫通孔は、前記他の導電膜により覆われている
ことを特徴とする回路基板。 - シリコン基板の一側の面に前記シリコン基板とエッチング特性が異なる膜を形成する工程と、
前記シリコン基板の他側の面から前記シリコン基板をエッチングすることにより、前記シリコン基板に貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔の内壁に絶縁膜を形成するとともに、前記絶縁膜上に、前記貫通孔内の空洞部に対して表面を露出する導電膜を形成する工程と、
前記シリコン基板の少なくとも一側の面に、前記貫通孔の開口部を覆う有機樹脂よりなる補強膜を形成する工程と
を有することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 請求項5記載の回路基板の製造方法において、
前記導電膜を形成する工程では、めっき法により前記貫通孔の内壁に前記導電膜を形成する
ことを特徴とする回路基板の製造方法。 - 請求項5又は6記載の回路基板の製造方法において、
前記補強膜を形成する工程では、粘性が20000mPa・s以上の有機樹脂を前記シリコン基板に塗布することにより、前記有機樹脂よりなる前記補強膜を形成する
ことを特徴とする回路基板の製造方法。 - 請求項5乃至7のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法において、
前記補強膜を形成する工程の後に、前記補強膜に前記貫通孔に達する開口部を形成する工程を更に有することを特徴とする回路基板の製造方法。
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