JP2009283739A - 配線基板および配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スルーホール14が形成された金属箔付樹脂基板と、金属箔表面とスルーホール14の内壁面に形成された第1給電層16および第1給電層16に積層された第1めっき層20とにより形成された第1配線層22と、スルーホール14と、第1配線層22の配線パターン間に充填され、第1配線層22の表面とその端面とが面一に形成された樹脂材30と、樹脂材30の端面および第1配線層22の表面に形成された第2給電層40と、第2給電層40に積層された第2めっき層44とにより形成された第2配線層46とを備えていることを特徴とする配線基板100である。
【選択図】図5
Description
配線基板には基板の両面に形成した配線を電気的に接続するためにスルーホールを設け、スルーホールの内壁面に形成した導体層を介して両面の配線層を電気的に接続したものがある。
更なる高密度化および高速化を実現するための半導体装置の配線基板として、配線基板に対する電子部品の搭載領域を拡大するために、スルーホールの直上位置にも電子部品を搭載させることができる配線基板も提案されている。このような配線基板は、スルーホールの直上位置に導体層となる蓋めっきが形成されている。
また、サブトラクティブ法により形成した配線パターンは、配線の寸法誤差が大きくなり、同一層内における配線パターンのインピーダンス特性が低下してしまうといった課題も有している。
すなわち、スルーホールが形成された金属箔付樹脂基板と、前記金属箔表面と前記スルーホールの内壁面に形成された第1の給電層および該第1の給電層に積層された第1のめっき層とにより形成された第1の配線層と、前記スルーホールと、前記第1の配線層の配線パターン間に充填され、前記第1の配線層の表面とその端面とが面一に形成された樹脂材と、前記樹脂材の端面および前記第1の配線層の表面に形成された第2の給電層と、該第2の給電層に積層された第2のめっき層とにより形成された第2の配線層とを備えていることを特徴とする配線基板である。
また、前記第2の配線層には、絶縁層を介して前記第2の配線層と電気的に接続する上層の配線層が形成されていることを特徴とする。
これらにより、より高密度な配線パターンを形成することができる。
また、前記蓋めっき部は、5μm以上のめっき厚さに形成されていることを特徴とする。これにより、スルーホール内壁面付近における接続信頼性を向上させることができる。
また、前記第2の配線層の表面に、絶縁層を介して前記第2の配線層に電気的に接続する上層の配線層を形成する工程をさらに有していることを特徴とする。これによりさらに高密度な配線パターンを形成することができる。
図1〜図5は、本実施形態における配線基板の製造方法における各段階の状態を示す断面図である。
図5(b)に示すように、本実施形態における配線基板100は、両面に金属箔である銅箔12が貼り付けられた樹脂基板10に形成されたスルーホールを介して樹脂基板10の両面に配線層50が形成され、樹脂30が充てんされたスルーホールを覆う配置に蓋めっき部44aが形成されている。支持体である樹脂基板10の上下面に形成された配線層50は、スルーホール内に形成された導体層(無電解銅めっき層16および電解銅めっき層20)により導通している。本実施形態における蓋めっき部44aおよび配線層50は、セミアディティブ法により形成したものである。
まず、図1(a)に示すように、銅箔12によって両面が被覆された樹脂基板10を準備し、銅箔12と樹脂基板10を板厚方向に貫通するスルーホール14を形成する(第1工程)。本実施形態においては、樹脂基板10として、厚さ3〜30μmの銅箔12が表面に貼り付けられた両面銅箔付樹脂基板を用いている。スルーホール14は、例えばドリル加工によって形成することができる。
無電解銅めっき層16を形成した後、樹脂基板10の両面の全面に、フィルムレジスト17をラミネートする(第3工程)。本実施形態においては、感光性樹脂製のフィルムレジスト17を用いた実施形態について説明するが、フィルムレジスト17に替えて感光性の液体レジストを用いることももちろん可能である。フィルムレジスト17がスルーホール14の開口部を覆う配置でラミネートした状態を図1(C)に示す。
電解銅めっき層20を所定の厚さに析出させた後、図2(C)に示すように、めっきレジスト18を除去する(第6工程)。めっきレジスト18の除去はエッチング液を用いたウェットエッチング、或いは、ドライエッチングを用いることができる。
次に、図3(b)に示すように、スルーホール14の内部空間を充てんすると共に、配線パターンとなる導体層の部分を覆うように樹脂基板10の両面を樹脂30によって被覆する(第8工程)。樹脂30を被覆する方法としてはスキージ等を用いたいわゆる印刷法、樹脂基板10の両面から樹脂フィルムをラミネートする方法を用いることができる。
次に、図4(b)に示すように、無電解銅めっき膜40にめっきレジスト42を形成する(第11工程)。めっきレジスト42の形成方法は、先に説明した第1の給電層である無電解銅めっき膜16に形成しためっきレジスト18と同様に、感光性のフィルムレジストをラミネートし、露光および現像する方法により形成することができる。ここでも先述と同様に感光性のフィルムレジスト17に替えて感光性の液状レジストを用いることができる。
このようにしてめっきレジスト42が形成されたら、第2のめっき層である電解銅めっき層44を形成する(第12工程)。図4(c)に示すように、電解銅めっき層44を所定の厚さに析出させる。
電解銅めっき層44の形成後、めっきレジスト42の除去を行う(第13工程)。
続いて第2の給電層である無電解銅めっき膜40を除去する(図5(b):第15工程)ことにより、第2の配線層46と蓋めっき部44aとをそれぞれ独立したパターンに形成することができ、第1の配線層22と第2の配線層46とからなる配線層50を有する配線基板100を得ることができる。蓋めっき部44aの仕上がり厚さ寸法は5μm以上であることが好ましい。
第1の実施形態における配線基板100の配線パターン50は、樹脂基板10の両面に1層のみ形成しているが、図5(b)に示した配線基板の上面および下面のそれぞれにビルドアップ法により配線層を積層して形成することができる。本実施形態においては、第1実施形態で形成した配線基板100にビルドアップ法を用いて多層の配線層50を設ける際の配線基板の製造方法について説明を行う。図6〜図8は、第2実施形態における配線基板の各製造工程における状態を示す断面図である。
次に、図7(b)に示すように、無電解銅めっき膜70をめっき給電層として無電解銅めっき膜70の表面に第3のめっき層としての電解銅めっき層74を析出させる(第20工程)。
電解銅めっき層74を所定の厚さに析出させた後、めっきレジスト72を除去(図8(a):第21工程)し、第3給電層である無電解銅めっき膜70の露出部分を除去する(図8(b):第22工程)。
以上に説明した配線基板100の製造方法にかかる実施形態においては、図3(c)に示すように第1のめっき層である電解銅めっき層20と樹脂30とが面一となるように研磨した後、図4(a)以降に示すように、研磨面を基準面としてセミアディティブ法により配線層50や蓋めっき部44aを形成している形態について説明したが、図3(c)に示す状態とした後、図9および図10のそれぞれに示すように、研磨面に絶縁層となるビルドアップ樹脂90を貼付する工程(図9(a))、ビルドアップ樹脂90にビア穴92を形成する工程(図9(b))、ビルドアップ樹脂90およびビア穴92の表面に給電層(無電解銅めっき膜、銅スパッタ膜等)94を成膜する工程(図9(c))、給電層94にめっきレジスト96を形成する工程(図10(a))、めっきレジスト96を用いて電解銅めっき層98を形成する工程(図10(b))、めっきレジスト96を除去する工程(図10(c))、露出した給電層94を除去する工程を経ることにより、ビルドアップ配線層99を形成した配線基板100(図11参照)を得ることができる。
また、以上のようにして形成したビルドアップ配線層99に対して絶縁層(ビルドアップ樹脂)を介してビルドアップ配線層99と電気的に接続する上層のビルドアップ配線層を単数または複数層に積層させることももちろん可能である。
12 銅箔(金属箔)
14 スルーホール
16 無電解銅めっき膜(第1の給電層)
17 感光性レジストフィルム
18 めっきレジスト
20 電解銅めっき層(第1のめっき層)
22 第1の配線層
30 樹脂
40 電解銅めっき膜(第2の給電層)
42 めっきレジスト
44 電解銅めっき層(第2のめっき層)
44a 蓋めっき部
46 第2の配線層
50 配線層
60 絶縁層
62,92 ビア穴
70 無電解銅めっき膜(第3の給電層)
72 めっきレジスト
74 電解銅めっき層(第3のめっき層)
80 上層の配線層
90 ビルドアップ樹脂
94 給電層
96 めっきレジスト
98 電解銅めっき層
99 ビルドアップ配線層
100 配線基板
Claims (7)
- スルーホールが形成された金属箔付樹脂基板と、
前記金属箔表面と前記スルーホールの内壁面に形成された第1の給電層および該第1の給電層に積層された第1のめっき層とにより形成された第1の配線層と、
前記スルーホールと、前記第1の配線層の配線パターン間に充填され、前記第1の配線層の表面とその端面とが面一に形成された樹脂材と、
前記樹脂材の端面および前記第1の配線層の表面に形成された第2の給電層と、該第2の給電層に積層された第2のめっき層とにより形成された第2の配線層とを備えていることを特徴とする配線基板。 - 前記第2の配線層には、前記スルーホールの端面を覆う蓋めっき部が含まれていることを特徴とする請求項1記載の配線基板。
- 前記第2の配線層には、絶縁層を介して前記第2の配線層と電気的に接続する上層の配線層が形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の配線基板。
- 前記蓋めっき部は、5μm以上のめっき厚さに形成されていることを特徴とする請求項2または3記載の配線基板。
- 両面に金属箔が貼り付けられてなる金属箔付樹脂基板にスルーホールを形成する工程と、
前記金属箔の表面および前記スルーホールの内壁面に第1の給電層を形成する工程と、
前記第1の給電層に第1のめっきマスクを形成する工程と、
前記第1のめっきマスクにより、前記第1の給電層に第1のめっき層を積層する工程と、
前記第1のめっきマスクを除去する工程と、
前記第1の給電層および前記金属箔の前記第1のめっきマスクにより被覆されていた部位を除去し、第1の配線層を形成する工程と、
前記樹脂基板表面および前記第1の配線層を樹脂材により被覆すると共に、前記スルーホールを前記樹脂材により充填する工程と、
前記第1の配線層の表面と前記樹脂材の表面とが面一になるまで前記樹脂材を研磨する工程と、
前記第1の配線層および前記樹脂材の表面に第2の給電層を形成する工程と、
前記第2の給電層に第2のめっきマスクを形成する工程と、
前記第2のめっきマスクにより前記第2の給電層に第2のめっき層を形成する工程と、
前記第2のめっきマスクを除去する工程と、
前記第2の給電層が露出する部位を除去し、第2の配線層を形成する工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記第2のめっき層を形成する工程において、前記スルーホールに充填された前記樹脂材の端面を覆う蓋めっき部を施すことを特徴とする請求項5記載の配線基板の製造方法。
- 前記第2の配線層の表面に、絶縁層を介して前記第2の配線層に電気的に接続する上層の配線層を形成する工程をさらに有していることを特徴とする請求項5または6記載の配線基板の製造方法。
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