JP4052790B2 - ディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜の製造法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子およびその製造法に係り、詳細には改善された構造の素子分離膜を持つ半導体素子および素子分離膜の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】
トレンチ素子分離方法は、狭い素子分離距離を確保することができ、素子分離膜が形成された半導体基板の表面トポロジーを減少させることができるために、半導体集積回路素子の製造に広く利用されている。特に、トレンチ素子分離方法は、選択的酸化による素子分離方法(Local Oxidation of Silicon:以下、「LOCOS」と称する)にて問題になるパンチスルー現象および素子分離膜の厚さ縮みのような問題を誘発しないという長所を持っている。しかし、トレンチ素子分離方法はLOCOS方法に比べ製造工程が複雑であるという短所も持っている。
【0003】
このトレンチ素子分離方法は、半導体基板の所定部分にトレンチを形成する段階と、トレンチをギャップ充填絶縁膜で充填する段階とで進行することが一般的である。
【0004】
ところで、前記トレンチは、乾式蝕刻法(たとえば、反応性イオン蝕刻法)を用いて形成されるために、トレンチの内壁に損傷が生じる。このため、熱酸化膜をトレンチ内壁に形成してトレンチの内壁を安定化させている。それだけでなく、トレンチ内壁がこれ以上酸化されることを防止するために、酸素に対する拡散遮断能力に優れた窒化膜ライナを熱酸化膜上に追加で形成した後、トレンチ内部をギャップ充填絶縁膜で充填している。この窒化膜ライナを形成する場合、トレンチ形成過程にて蝕刻マスクとして使われたパッド窒化膜を除去する時に、窒化膜ライナが素子分離膜内にリセスされ後続工程にて問題を引き起こす。
【0005】
図1Aを参照すれば、従来のトレンチ素子分離方法は、まず、半導体基板100上にパッド酸化膜102とパッド窒化膜104とが積層されたマスクパターンMを形成する。その後、マスクパターンMを蝕刻マスクとして使用して半導体基板100を所定の深さに蝕刻することにより、トレンチTを形成する。そうした後、トレンチTを形成する過程にてトレンチTの内壁に形成された損傷を回復するために、トレンチTの内壁に熱酸化膜106を形成する。それから、酸素の拡散によりトレンチTの内壁が酸化されることを防止するために熱酸化膜106上に窒化膜ライナ108を形成する。次いで、ギャップ充填絶縁膜110を半導体基板100の全面に形成した後、マスクパターンM上に形成された窒化膜ライナ108と実質的に同じレベルにギャップ充填絶縁膜110を平坦化する。
【0006】
図1Bを参照すれば、燐酸をエッチャントとして使用する湿式蝕刻工程を行い、パッド窒化膜104とトレンチTの外部に形成された窒化膜ライナ108を除去する。
【0007】
ところで、パッド窒化膜104を完全に除去するために過度蝕刻を実施する過程にて、トレンチTの内部に形成された窒化膜ライナ108も共に蝕刻される。その結果、トレンチTの内部にはディボット(divot)112が形成され、窒化膜ライナ108が半導体基板100の上部表面からリセスDされる。窒化膜ライナ108がパッド窒化膜104を蝕刻する過程にてリセスDされれば、後続段階にて問題が生じる。
【0008】
図1Cを参照すれば、化学機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing、以下「CMP」と称する)法を用い、ギャップ充填絶縁膜110の上部表面を半導体基板100の上部表面と実質的に同じレベルに平坦化させる。その結果、トレンチTの内部に素子分離膜110’が形成される。その後、パッド酸化膜102をフッ酸溶液を用いて除去する。
【0009】
ところで、パッド酸化膜102が除去される過程にてディボット112により露出された素子分離膜110’の側壁も共に蝕刻されディボット112が拡張される。トレンチT内部でのディボット112の発生は、後続するゲート電極形成段階にて問題を招く。すなわち、ゲート電極を形成するために、まず半導体基板100上に熱酸化膜114を形成する。それから、ポリシリコン膜116を半導体基板100の全面に形成する。この時、トレンチTの内部に形成されたディボット112にもポリシリコン膜116が充填され、隣接するゲート電極間にブリッジを招く。それだけでなく、半導体素子の動作特性、たとえばスレショルド電圧にも影響を及ぼすようになる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする技術的課題は、工程が単純で素子分離膜内にディボットが生じることを防止できる素子分離膜製造法を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記技術的課題を達成するための本発明に係る素子分離膜製造法は、まず半導体基板内にトレンチを形成する。そうした後、トレンチが形成された半導体基板の全面に熱酸化膜を形成する。その後、熱酸化膜上に厚さ40Åないし500Åの窒化膜ライナを形成する。それから、トレンチをギャップ充填絶縁膜で埋込みつつ、前記トレンチの上部コーナーに形成された窒化膜ライナを除去する。そうした後、前記窒化膜ライナを平坦化停止膜として使用して半導体基板の全面を平坦化した後、平坦化阻止膜として機能した窒化膜ライナを除去する。
また、本発明においては、前記窒化膜ライナを形成する段階は、厚さ40Åないし300Åの窒化膜ライナを形成することを特徴とする。
【0015】
前記トレンチは次のような段階を進行して形成されうる。まず、半導体基板上に素子分離領域の幅にパターニングされた感光膜パターンを形成する。そうした後、前記感光膜パターンを蝕刻マスクとして半導体基板を所定の深さに蝕刻することにより、半導体基板内にトレンチを形成する。それから、前記感光膜パターンを除去する。
【0016】
前記トレンチを埋込むギャップ充填絶縁膜を形成しつつトレンチ上部コーナー部分に形成された窒化膜ライナを除去する段階は、トレンチ上部コーナー部分に形成された窒化膜ライナを分離させるか、薄くする段階であることが望ましい。
【0017】
前記トレンチ上部コーナー部分に形成された窒化膜ライナを除去しつつギャップ充填絶縁膜にトレンチを埋込むために、物質膜を蒸着させられるだけでなく蒸着される物質膜を蝕刻もできる方法を用い、ギャップ充填絶縁膜を形成することが望ましい。たとえば、高密度プラズマCVD工程を行い、ギャップ充填絶縁膜を形成できる。
【0018】
場合により、ギャップ充填絶縁膜を形成しつつトレンチ上部コーナーの窒化膜ライナを除去するために蝕刻装置と蒸着装置を行き来してギャップ充填絶縁膜を形成することもできる。
【0019】
場合により、ギャップ充填絶縁膜を形成しつつトレンチ上部コーナーの窒化膜ライナを除去するために蝕刻工程と蒸着工程をインサイチュに行える装置を用い、ギャップ充填絶縁膜を形成することもできる。
【0020】
本発明による素子分離膜製造法は、平坦化した窒化膜ライナを除去した後で次のような段階をさらに含むことができる。
【0021】
まず、平坦化阻止膜として機能した窒化膜ライナが除去され露出された熱酸化膜を除去する。そうした後、熱酸化膜が除去され露出された半導体基板上に犠牲酸化膜を形成する。それから、犠牲酸化膜が形成された半導体基板の全面にイオンを注入した後、犠牲酸化膜を除去する。
【0022】
窒化膜ライナを平坦化阻止膜として使用してギャップ充填絶縁膜を平坦化する段階は、酸化セリウム系の研磨剤および/または強陰イオン性界面活性剤を含むスラリーを使用するCMP工程を行い、ギャップ充填絶縁膜を平坦化する段階であることが望ましい。
【0023】
前記スラリーの水素イオン指数(pH)は7程度であることが望ましい。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下では貼付した図面を参考にして本発明によるY字形の素子分離膜を持つ半導体素子、およびディボット発生を防止し工程が簡単な前記素子分離膜の製造法についての望ましい実施の形態を詳細に説明する。しかし、本発明の実施の形態はいろいろな他の形に変形できて、本発明の範囲が次に詳述する実施の形態に限定されるものと解釈されてはならない。本発明の実施の形態は本発明が属する技術分野で平均的な知識を持った者に本発明をより完全に説明するために提供される。図面上で層や領域などの厚さは説明の明確性のために誇張されたものである。図面上で同じ符号は同じ要素を指す。さらに、ある層が他の層あるいは基板の上部にあると記載した場合、前記ある層が前記他の層または基板の上部に直接存在することもあり、その間に第3の層が介在することもある。そして、以下に開示される実施の形態にて記述される工程段階以外にも、素子の特性を向上させるための多様な段階が追加されうることはもちろんである。
【0025】
図2を参照すれば、本発明による半導体素子は、Y字形の素子分離膜117を半導体基板100内に含む。さらに、前記素子分離膜117の左右側には第1傾斜部S1および第2傾斜部S2が形成されており、半導体基板100と素子分離膜117との間には熱酸化膜118と窒化膜ライナ119とが形成されている。
【0026】
前記第1傾斜部S1は熱酸化膜118および窒化膜ライナ119の上部面と素子分離膜117との界面であり、前記第2傾斜部S2は素子分離膜117と窒化膜ライナ119側壁との界面である。前記熱酸化膜118はシリコン酸化膜であり、前記窒化膜ライナ119はシリコン窒化膜またはシリコン酸化窒化膜でありうる。前記第1傾斜部S1と第2傾斜部S2とのなす角θは90゜より大きく180゜より小さいことが望ましい。
【0027】
以下では図3ないし図15を参照して、本発明による素子分離膜製造法の第1および第2の実施の形態を詳細に説明する。
【0028】
<第1の実施の形態>
図3を参照すれば、まず、半導体基板100上に蝕刻マスクとして使われる感光膜パターン120を通常の方法、たとえばフォトリソグラフィ工程を行いて形成する。感光膜パターン120は半導体基板100の一部、すなわち素子分離領域が形成されるところを露出させる。
【0029】
そうした後、感光膜パターン120を蝕刻マスクとして使用して半導体基板100を蝕刻することにより、半導体基板100内にトレンチTを形成する。トレンチTは異方性蝕刻特性のよい乾式蝕刻法を用い形成することが望ましい。たとえば、塩素(Cl2)と臭化水素(HBr)を蝕刻ガスに使用する乾式蝕刻法を使用できる。トレンチTの深さは、活性領域上に形成される半導体素子、たとえばトランジスタを電気的に分離するのに充分な深さに形成する。たとえば、トレンチTは0.25μm程度の深さに形成する。
【0030】
図4を参照すれば、半導体基板100上に形成された感光膜パターン120を除去する。感光膜パターン120は通常の方法、たとえば酸素プラズマを用い除去できる。それから、半導体基板100の上部表面およびトレンチTの内壁に熱酸化膜122を形成する。熱酸化膜122は30Åないし500Åの間の厚さに形成できる。
【0031】
熱酸化膜122は、トレンチTを形成するための乾式蝕刻工程にてトレンチTの内壁に生じた欠陥を除去する。言い換えれば、トレンチTの内壁に露出された半導体基板100の表面を安定した結合状態(SiとO2との結合)に維持することにより、トレンチTの表面を通した漏洩電流を防止する。かつ、熱酸化膜122はトレンチT底面のコーナー部分をラウンドすることにより、機械的ストレスがトレンチT底面のコーナー部分に集中することを緩和する。一方、半導体基板100上に形成された熱酸化膜122はパッド酸化膜として機能する。
【0032】
熱酸化膜122を形成した後、熱酸化膜122上に薄い窒化膜ライナ124を形成する。窒化膜ライナ124は通常の方法、たとえばCVD(ChmicalVapor Deposition)法、SACVD(Sub−Atmospheric Chemical Vapor Deposition)、LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)法またはPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法を用い形成できる。トレンチTの内部に形成された窒化膜ライナ124は、ギャップ充填絶縁膜でトレンチTを埋込む後続段階にてトレンチTの側壁が酸化されることを防止する。そして、トレンチTの外部に形成された窒化膜ライナ124は後続するギャップ充填絶縁膜の平坦化段階にて平坦化阻止膜として機能する。
【0033】
一方、窒化膜ライナ124および後続段階にてトレンチTを充填するギャップ充填絶縁膜は熱膨張係数が互いに違うために、窒化膜ライナ124をあまり厚く形成すれば、限界値以上の機械的ストレスを半導体基板100内に誘発することもある。さらに、後続段階にて平坦化阻止膜として機能した窒化膜ライナ124を除去する時、所要工程時間を延ばす。その結果、平坦化阻止膜として機能した窒化膜ライナ124の除去が均一になされないこともある。従って、窒化膜ライナ124は40Åないし500Å程度の厚さに形成することが望ましい。
【0034】
図5を参照すれば、トレンチTの上部コーナーにて窒化膜ライナ124を第1窒化膜ライナ124aと第2窒化膜ライナ124bに分離(I参照)しつつ、ギャップ充填絶縁膜126にトレンチTを埋込む。ギャップ充填絶縁膜126は通常の方法、たとえばCVD法、SACVD法、LPCVD法またはPECVD法を用い形成できる。ギャップ充填絶縁膜126はシリコン酸化膜、シリコン酸化窒化膜、PSG(Phospho Silicate Glass)膜、BPSG(Boro Phospho Silicate Glass)膜、TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)膜、PE−TEOS(Plasma Enhanced Tetra Ethyl Ortho Silicate)膜、オゾン−TEOS膜またはUSG(Undopped Silicate Glass)膜などが好ましく使用できる。
【0035】
窒化膜ライナ124をトレンチTの上部コーナー部分にて分離(I)するために、蒸着工程と蝕刻工程とを同時に行える装置を用い、ギャップ充填絶縁膜126を形成できる。あるいは、蒸着工程と蝕刻工程をインサイチュで行える装置を用い、ギャップ充填絶縁膜126を形成することもできる。あるいは、蒸着装置と蝕刻装置を行き来してギャップ充填絶縁膜126を形成することもできる。
【0036】
まず、窒化膜ライナ124を第1窒化膜ライナ124aと第2窒化膜ライナ124bに分離(I)するために、高密度プラズマ(HDP:High Density Plasma)CVD工程を行い、ギャップ充填絶縁膜126を形成する方法について説明する。
【0037】
HDP CVD工程は、化学気相蒸着法とスパッタリング方式による蝕刻法が結びついた技術であり、物質膜を蒸着するための蒸着ガスだけチャンバ内に供給されるのではなく、蒸着される物質膜をスパッタリング方式で蝕刻できるスパッタリングガスもチャンバ内に供給される。たとえば、シリコン酸化膜にトレンチを埋込む時には、シランガス(SiH4)と酸素ガス(O2)が蒸着ガスとしてチャンバ内に供給され、不活性ガス(たとえば、Arガス)がスパッタリングガスとしてチャンバ内に供給される。供給された蒸着ガスとスパッタリングガスとの一部は高周波電力によりチャンバ内に誘発されたプラズマによりイオン化される。
【0038】
一方、半導体基板がローディングされたチャンバ内のウェーハチャック(たとえば、静電チャック)にはバイアスされた高周波電力が印加されるために、イオン化された蒸着ガスおよびスパッタリングガスは半導体基板の表面に加速される。加速された蒸着ガスイオンはシリコン酸化膜を形成し、加速されたスパッタリングガスイオンは蒸着されたシリコン酸化膜をスパッタリングする。
【0039】
前記のようなHDP CVD工程のメカニズムが本発明による素子分離膜製造法に適用され窒化膜ライナ124が分離される過程は、図6を参照とした本発明の実施の形態に関する説明からより明確になる。
【0040】
図6を参照すれば、HDP CVD工程によるギャップ充填絶縁膜126の蒸着が始まると、チャンバ内のプラズマ内でイオン化された蒸着ガスにより窒化膜ライナ124上にギャップ充填絶縁膜126の形成が始まる。
【0041】
前述したように前記ギャップ充填絶縁膜126は蒸着と同時にスパッタリングされる。この時、ギャップ充填絶縁膜126が蒸着される速度はギャップ充填絶縁膜126がスパッタリングされる速度よりは速い。ところで、ギャップ充填絶縁膜126がスパッタリングガスイオン(たとえば、Ar+イオン)により蝕刻される速度は、トレンチTの入口コーナー部分(矢印B参照)が他の部分(矢印A参照)より3倍ないし4倍ほど速い。従って、ギャップ充填絶縁膜126形成の初期段階では、トレンチTの内部に蒸着されるギャップ充填絶縁膜126のプロフィルがV字形を持つようになる。その結果、HDP CVD工程の工程条件を適切に調節すれれば、HDP CVD工程の初期段階にてトレンチTの上部コーナー部分で窒化膜ライナ124を第1窒化膜ライナ124aと第2窒化膜ライナ124bとに分離(I)することができる。
【0042】
それだけでなく、HDP CVD工程を行いて、トレンチTをギャップ充填絶縁膜126で埋込むことで、トレンチTの内部にボイドが形成されることを防止できる。なぜなら、トレンチTの上部コーナー部分にてギャップ充填絶縁膜126が最も速くスパッタリングされるためにトレンチTの入口にてオーバーハングが生じないためである。
【0043】
一方、HDP CVD工程は下記式(1)により限定されるD/S比により制御できる。
【0044】
D/S比=ギャップ充填絶縁膜126が蒸着される速度÷蒸着されたギャップ充填絶縁膜126がスパッタリングされる速度 …(1)
ところで、本発明者はD/S比が約3より小さくなれば、縦横比が3以上のトレンチTをボイドなくギャップ充填絶縁膜126に充填することができるということと、蒸着されるギャップ充填絶縁膜126以外の他の周辺物質膜をクリッピングできるということを確認した。
【0045】
このような事実を利用してD/S比を適切に調節しつつHDP CVD工程を行えば、HDP CVD工程の初期段階にてトレンチTの上部コーナーに形成された窒化膜ライナ124をクリッピングして分離(I)することができる。従って、HDP CVD工程の初期段階にて窒化膜ライナ124を分離させるためにD/S比は2ないし5の間に調節することが望ましい。
【0046】
一方、D/S比を調節するためには、プラズマを生じるためのソースパワー、半導体基板がローディングされるウェーハチャックに印加するバイアス高周波電力、供給される蒸着ガスの流量、およびスパッタリングガスの流量を調節せねばならない。従って、D/S比を前記のような範囲内に調節するために次の通りHDP CVD工程の工程条件を調節することが望ましい。
【0047】
HDP CVD工程が行われる装置にてプラズマを生じるソースパワーは3000Wないし5000Wの間、ウェーハチャックに印加されるバイアスパワーは800Wないし1000Wの間、シリコンソースガス(たとえば、SiH4)の流量は30sccmないし150sccmの間、酸素ソースガス(たとえば、O2)の流量は60sccmないし200sccmの間、スパッタリングガス(たとえば、Ar)の流量は20sccmないし400sccmの間に調節することが望ましい。
【0048】
D/S比を前記のような条件に調節しつつHDP CVD工程をトレンチTが完全に埋込まれる時点まで行えば、図5に示したような結果物が得られる。
【0049】
次いで、トレンチTを充填するギャップ充填絶縁膜126を蒸着装置と蝕刻装置を行き来しつつ形成する場合、トレンチTの上部コーナー部分にて窒化膜ライナ124を分離させる過程について説明する。
【0050】
図7を参照すれば、蒸着装置にてギャップ充填絶縁膜126を窒化膜ライナ124上に所定の厚さに形成する。たとえば、ギャップ充填絶縁膜126は200Åないし500Åの間の厚さに形成できる。前記蒸着装置としてはCVD装置、PECVD装置、LPCVD装置またはSACVD装置を使用できる。
【0051】
図8を参照すれば、蝕刻装置にてギャップ充填絶縁膜126を蝕刻してトレンチTの上部コーナー部分で窒化膜ライナ124を第1窒化膜ライナ124aと第2窒化膜ライナ124bとに分離(I)する。蝕刻装置としてはRIE(Reactive Ion Etching)装置、MERIE(Magnetic Enhanced Reactive Ion Etching)装置、イオンミリング装置またはTPPE(High Pressure Plasma Etching)装置を使用できる。
【0052】
前述したように、ギャップ充填絶縁膜126はトレンチTの上部コーナー部分にて最も速く蝕刻される。その結果、トレンチTの上部コーナー部分にて窒化膜ライナ124は第1窒化膜ライナ124aと第2窒化膜ライナ124bとに分離(I)される。窒化膜ライナ124を第1窒化膜ライナ124aと第2窒化膜ライナ124bとに分離(I)した後、再び半導体基板100を蒸着装置にローディングしてギャップ充填絶縁膜126を続けて蒸着する。そうすると、図5に示したような結果物を得ることができる。
【0053】
一方、前記では蒸着−蝕刻−蒸着の順序でギャップ充填絶縁膜126を形成する場合について説明した。しかし、蒸着装置と蝕刻装置とを行き来してギャップ充填絶縁膜126を形成する方法はこれに限定されるものではない。場合により、蒸着−蝕刻−蒸着−蝕刻−蒸着の順序でギャップ充填絶縁膜126を形成することもできる。このような場合、窒化膜ライナ124の分離(I)は最初の蝕刻段階にて生じることもあり、2番目の蝕刻段階にて生じることもある。蒸着装置と蝕刻装置とを行き来してギャップ充填絶縁膜126を形成する場合にも、トレンチTの内部にボイドが形成されることを防止できる。その理由についてはHDP CVD工程を行いギャップ充填絶縁膜126を形成する方法を開示しつつ説明した。
【0054】
一方、ギャップ充填絶縁膜126にトレンチTを埋込む過程にて窒化膜ライナ124を分離するために、蒸着工程と蝕刻工程とをインサイチュに実施できる装置を使用することもできる。これに関する説明は、図7ないし図8を参照して説明した蒸着装置と蝕刻装置とを行き来しつつギャップ充填絶縁膜126を形成する場合と類似しているので省略する。すなわち、蒸着−蝕刻装置を用いギャップ充填絶縁膜126を形成する場合には、一つの装置にて蒸着工程と蝕刻工程とを交互に行うことにより、ギャップ充填絶縁膜126を形成できる。
【0055】
図9を参照すれば、窒化膜ライナ124を分離した後、ギャップ充填絶縁膜126を第2窒化膜ライナ124bの上部表面と実質的に同じレベルに平坦化する。その結果、素子分離膜126’が形成される。たとえば、ギャップ充填絶縁膜126はCMP法またはエッチバック方法を用い平坦化できる。前記平坦化工程では第2窒化膜ライナ124bを平坦化阻止膜として使用する。たとえば、CMP法を用いギャップ充填絶縁膜126を平坦化する場合、第2窒化膜ライナ124bはCMPストッパとして機能する。従って、CMP法により用いられるスラリーは第2窒化膜ライナ124bよりギャップ充填絶縁膜126をより速く蝕刻できることを選択することが望ましい。
【0056】
たとえば、シリカ系列の研磨剤または酸化セリウム系の研磨剤を含むスラリーを使用できる。特に、酸化セリウム系の研磨剤を含むスラリーを使用する場合、前記酸化セリウム系の研磨剤以外に強陰イオン性の界面活性剤を一層含んだスラリーを使用することが望ましい。
【0057】
そして、前記スラリーのpHは、ギャップ充填絶縁膜126および第2窒化膜ライナ124bが各々陰および陽のゼータポテンシャル(zeta potential)値を持つように設定することが望ましい。スラリーのpHが上記の通りに設定されれば、陽のゼータ電位を持つ第2窒化膜ライナ124bにだけ陰イオン性の界面活性剤が接着されるために、酸化セリウム系の研磨剤と第2窒化膜ライナ124bとの反応が抑制される。言い換えれば、陰のゼータ電位を持つギャップ充填絶縁膜126の表面には界面活性剤が接着しないので、ギャップ充填絶縁膜126だけが酸化セリウム系の研磨剤により除去される。
【0058】
本発明者の実験によれば、スラリーのpHを約7程度に維持すれば、第2窒化膜ライナ124bとギャップ充填絶縁膜126とのCMP蝕刻選択比は1:48ほどになると確認された。従って、CMP法を使用する平坦化工程にて酸化セリウム系のスラリーを使用すれば、第2窒化膜ライナ124bは非常に優れた蝕刻阻止膜として機能できるようになる。その結果、CMP法を使用した平坦化工程にて工程マージンが増加し均等の厚さの素子分離膜126’を形成できる。
【0059】
さらに、本発明者の実験によれば、酸化セリウム系のスラリーはpH値の変化に鈍くpH値が変化してもギャップ充填絶縁膜126の蝕刻速度はそれほど大きい変化を見せないことを確認した。従って、酸化セリウム系の研磨剤を含むスラリーを用い、ギャップ充填絶縁膜126を平坦化すれば、CMP法を使用した平坦化工程にてpHに関する工程マージンを増加させることができる。
【0060】
一方、トレンチTに充填されたギャップ充填絶縁膜126の上部コーナーには陰の傾斜面128が形成されているために、CMP法を用いギャップ充填絶縁膜126を平坦化する時にスラリー内に含まれた研磨剤が素子分離領域に入り込む確率が小さくなる。その結果、CMP法を使用した平坦化工程にて微細なスクラッチおよびスクラッチでは発見されない極細な損傷が半導体基板100の上部表面に生じる可能性が減るようになる。このように、平坦化工程中に半導体基板100の上部表面にスクラッチのような損傷の発生が緩和されれば、後続工程にて形成されるゲート絶縁膜の信頼性を向上させられる。
【0061】
図10を参照すれば、第2窒化膜ライナ124bを除去する。第2窒化膜ライナは湿式蝕刻法またはプラズマを利用する乾式蝕刻法を用い除去できる。湿式蝕刻法により除去する場合には、燐酸溶液を含むエッチャントを使用することが望ましい。たとえば、第2窒化膜ライナ124bを100Å程度の厚さに形成した場合、165℃の燐酸溶液を用い、約5分ほど湿式蝕刻すれば第2窒化膜ライナ124bを除去できる。
【0062】
一方、第1窒化膜ライナ124aは第2窒化膜ライナ124bを除去する段階にてエッチャント、たとえば燐酸溶液により蝕刻されない。なぜなら、前述したように第1窒化膜ライナ124aはギャップ充填絶縁膜126にトレンチTを埋込む過程にてトレンチTの内部に埋没するためである。従って、従来のように素子分離領域と活性領域との境界にてディボットが形成されることを防止できる。その結果、以後に行われるゲート電極形成段階にて隣接するゲート電極間にブリッジが誘発することを防止できる。
【0063】
さらに、第2窒化膜ライナ124bを除去するための蝕刻工程、たとえば湿式蝕刻工程にて工程マージンが増加する。すなわち、第2窒化膜ライナ124bを完全に除去するために過度蝕刻を実施しても問題はない。言い換えれば、第1窒化膜ライナ124aがトレンチTに埋没していて過度蝕刻を実施しても第1窒化膜ライナ124aは蝕刻されない。たとえば、第2窒化膜ライナ124bの厚さが100Åである場合、165℃の燐酸溶液を用い第2窒化膜ライナ124bを除去する時に、5分以上、たとえば30分の間湿式蝕刻を実施しても第1窒化膜ライナ124aの蝕刻によるディボットの発生が防げる。
【0064】
図10のII部分を拡大した図11を参照すれば、第2窒化膜ライナ124bが除去されれば、素子分離膜126’の上部コーナー部分に形成された陰の傾斜面128の一部が露出される。露出された陰の傾斜面128が素子分離膜126’の上部表面となす傾斜角θは約45゜である。一方、陰の傾斜面128が露出される高さHは除去された第2窒化膜ライナ124bの厚さに対応する。たとえば、除去された窒化膜ライナ124bの厚さが約300Åの場合に、露出された陰の傾斜面128の高さもまた約300Å程度となる。
【0065】
ところで、露出された陰の傾斜面128と素子分離膜126’の上部表面がなす傾斜角θは等方性蝕刻を通じて大きくすることができる。特に、等方性蝕刻が理想的な場合には露出された陰の傾斜面128の高さHだけ半導体基板100の全面を蝕刻すれば傾斜角θを90゜にすることができる。
【0066】
さらに、露出された陰の傾斜面128の高さH以上を蝕刻すれば傾斜角θを90゜以上に大きくできる。たとえば、露出された陰の傾斜面128の高さHが300Åの場合に、300Å程度を等方性蝕刻すれば傾斜角θを90゜に大きくでき、素子分離膜126’の上部表面を半導体基板100の上部表面と実質的に同じレベルでできる。その結果、半導体基板100全面の表面トポロジーが減り、後続する集積工程の工程マージンを増加させることができる。たとえば、ゲート絶縁膜およびゲート電極用導電膜を順次に形成した後、ゲート電極をパターニングするためのフォトリソグラフィ工程にて焦点深度の均一度を向上させられる。
【0067】
ところで、本発明によれば素子分離膜126’の上部表面を半導体基板100の上部表面と実質的に同じレベルにして、傾斜角θを大きくするために別の工程を行わない。しかし、半導体基板100上に形成された熱酸化膜除去の段階、犠牲酸化工程を通じて形成されたイオン注入用の犠牲酸化膜除去段階を後続段階にて行えば、陰の傾斜面128の露出高さHだけ、あるいはそれ以上を等方性蝕刻できるようになる。これについては素子分離膜126’の上部コーナー部分を拡大した図12ないし図14を参照して詳細に説明する。
【0068】
図12を参照すれば、素子分離膜126’により限定される活性領域130上に形成された熱酸化膜122を除去する。熱酸化膜122は等方性蝕刻特性に優れた湿式蝕刻法を用い除去することが望ましい。たとえば、フッ酸溶液またはBOE(Buffered Oxide Etchant)溶液を用い、熱酸化膜122を除去できる。この時、熱酸化膜122が除去される過程にて素子分離膜126’も等方性蝕刻される。その結果、熱酸化膜122が除去される過程にて活性領域130の上部表面が低くなっただけ素子分離膜126’の上部表面も低くなる。たとえば、熱酸化膜122を除去する過程にて活性領域130の上部表面が150Å程度低くなる場合、素子分離膜126’の上部表面も150Å程度低くなる。一方、前述したように傾斜角θは素子分離膜126’が等方性蝕刻される過程にて大きくなる。
【0069】
図13を参照すれば、素子分離膜126’により限定される活性領域130上にイオン注入用の犠牲酸化膜132を形成する。犠牲酸化膜132は熱酸化方法を用い、20Åから200Åの厚さに形成できる。次いで、イオン注入工程を行う。イオン注入工程は半導体基板100内の不純物注入、ウェル形成、チャンネル阻止層形成あるいはスレショルド電圧調節のために行う。犠牲酸化膜132はCMP法によるギャップ充填絶縁膜126の平坦化段階にて半導体基板100の活性領域130上に誘発された損傷を治癒する機能を果たすだけではなく、前記イオン注入工程にて緩衝膜としての役割を果たす。
【0070】
図14を参照すれば、活性領域130上に形成された犠牲酸化膜132を除去する。犠牲酸化膜132は等方性蝕刻特性に優れた湿式蝕刻法を用い除去することが望ましい。たとえば、フッ酸溶液あるいはBOE溶液を用い犠牲酸化膜132を除去できる。
【0071】
一方、犠牲酸化膜132が除去される過程にて素子分離膜126’も等方性蝕刻される。従って、犠牲酸化膜132の除去段階にて活性領域130の上部表面が低くなっただけ、素子分離膜126’の上部表面も低くなる。たとえば、犠牲酸化膜132が除去されて活性領域の上部表面が200Å程度低くなった場合に、素子分離膜126’の上部表面も200Å程度低くなる。その結果、素子分離膜126’の上部表面が活性領域130の上部表面と実質的に同じレベルに低くなり、傾斜角θも大きくなる。
【0072】
陰の傾斜面(図11の128参照)の露出高さ(図11のH参照)が300Åの場合に、熱酸化膜122の除去段階および犠牲酸化膜132の除去段階にて等方性蝕刻により素子分離膜126’の上部表面が300Å以上低くなる場合には傾斜角θは90゜以上になって、300Å程度低くなる場合には傾斜角θは90゜程度となる。結局、陰の傾斜面128の一部分が露出され素子分離膜126’が半導体基板100の上部表面から突起したとしても、素子分離膜126’の突起した部分は後続段階にて実質的に除去される。従って、CMP法を用い半導体基板100の全面を平坦化しなくても、半導体基板100の上部表面のトポロジーを向上させられる。
【0073】
前述したように、本発明はギャップ充填絶縁膜126にトレンチTを埋込む過程にてトレンチTの上部コーナー部分で窒化膜ライナ124を分離した。その結果、平坦化阻止膜の第2窒化膜ライナ124bを除去すれば、陰の傾斜面128が半導体基板100の上部に突起し、半導体基板100全面のトポロジーが減少する。しかし、第2窒化膜ライナ124bの厚さが500Å以下であるため、露出される陰の傾斜面128の高さが低い。従って、CMP法による平坦化工程を行わなくとも、後続段階が進行する間半導体基板100全面のトポロジーが再び向上する。
【0074】
<第2の実施の形態>
本発明による素子分離膜製造法の第2の実施の形態はギャップ充填絶縁膜126にトレンチTを埋込む段階を除き、前記第1の実施の形態と同一に進行する。従って、本発明による素子分離膜製造法の第2の実施の形態を説明するにあたりギャップ充填絶縁膜126にトレンチTを埋込む段階だけを説明する。
【0075】
図15を参照すれば、窒化膜ライナ124が形成された半導体基板100の全面にトレンチTを埋込むギャップ充填絶縁膜126を形成する。ギャップ充填絶縁膜126は第1の実施の形態の場合のような物質膜および同じ方法を用い形成できる。ただし、第1の実施の形態のようにギャップ充填絶縁膜126を形成する時にトレンチT上部コーナー部分にて窒化膜ライナ124を分離させるのではなく、厚さだけを薄くする。
【0076】
このように、トレンチTの上部コーナー部分の窒化膜ライナ124が薄くなれば、平坦化阻止膜として機能した窒化膜ライナ124を除去する段階にてトレンチTの内部に形成された窒化膜ライナ124の損傷が緩和される。なぜなら、トレンチTの上部コーナー部分の窒化膜ライナ124が薄くなるほどエッチャントの移動が円滑ではないためである。従って、窒化膜ライナ124が分離された場合と程度の差はあるだろうが、同じ種類の技術的効果が達成される。
【0077】
以上実施の形態を参照として本発明を説明したが、これは例示的なことにすぎない。従って、本発明が属する技術分野で通常の知識を持った者ならば、開示された実施の形態から多様な変形実施の形態または均等な他の実施の形態を案出できることはもちろんである。
【0078】
【発明の効果】
本発明による素子分離膜製造法は感光膜パターンを蝕刻マスクとして使用してトレンチを形成するために工程が簡単である。さらに、薄い窒化膜ライナを二重に活用できる。すなわち、トレンチ内部に形成する窒化膜ライナはトレンチ側壁の酸化を防止し、半導体基板上に形成された窒化膜ライナは平坦化阻止膜として機能する。そして、トレンチ上部コーナー部分にて窒化膜ライナを分離したり、厚さを薄くするために、平坦化阻止膜として機能した窒化膜ライナを除去しても、トレンチ内部にディボットが生じることを防止できる。合わせて、窒化膜ライナを除去しても陰の傾斜面の露出高が低いために、後続段階を進行して陰の傾斜面を実質的に除去できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来のトレンチ素子分離方法が持っている問題点を説明するための工程断面図である。
【図2】 本発明による半導体素子についての実施の形態を図示した断面図である。
【図3】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図4】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図5】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図6】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図7】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図8】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図9】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図10】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図11】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図12】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図13】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図14】 本発明による素子分離膜製造法の第1の実施の形態を図示する工程断面図である。
【図15】 本発明による素子分離膜製造法の第2の実施の形態を図示する工程断面図である。
【符号の説明】
100 半導体基板
117 素子分離膜
118 熱酸化膜
119 窒素膜ライナ
S1 第1傾斜部
S2 第2傾斜部
Claims (13)
- (a)半導体基板内にトレンチを形成する段階と、
(b)前記トレンチが形成された前記半導体基板の全面に熱酸化膜を形成する段階と、
(c)前記熱酸化膜上に厚さ40Åないし500Åの窒化膜ライナを形成する段階と、
(d)前記トレンチをギャップ充填絶縁膜で埋込みつつ、前記トレンチの上部コーナーに形成された前記窒化膜ライナを除去する段階と、
(e)前記窒化膜ライナを平坦化阻止膜として使用して前記半導体基板の全面を平坦化する段階と、
(f)前記ギャップ充填絶縁膜に対する平坦化段階にて露出された窒化膜ライナを除去する段階とを含むことを特徴とするディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。 - 前記窒化膜ライナを形成する段階は、厚さ40Åないし300Åの窒化膜ライナを形成することを特徴とする請求項1に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(a)段階は、前記半導体基板上に素子分離領域の幅にパターニングされた感光膜パターンを形成する段階と、前記感光膜パターンを蝕刻マスクとして前記半導体基板を所定深さに蝕刻することにより、前記半導体基板内に前記トレンチを形成する段階と、前記感光膜パターンを除去する段階とを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(d)段階は、前記トレンチを埋込む前記ギャップ充填絶縁膜を形成しつつ前記トレンチの上部コーナー部分にて前記窒化膜ライナを分離させる段階であることを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(d)段階は、前記トレンチを埋込む前記ギャップ充填絶縁膜を形成しつつ前記トレンチの上部コーナー部分に形成された前記窒化膜ライナを薄くする段階であることを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(d)段階は、物質膜を蒸着できるだけでなく、蒸着される物質膜の蝕刻もできる方法を用いて、ギャップ充填絶縁膜を形成する段階であることを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(d)段階は、蝕刻装置と蒸着装置を行き来してギャップ充填絶縁膜を形成する段階であることを特徴とする請求項1に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(d)段階は、蝕刻工程と蒸着工程をインサイチュで行える装置を用い、ギャップ充填絶縁膜を形成する段階であることを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(d)段階は、高密度プラズマCVD法を用い、ギャップ充填絶縁膜を形成する段階であることを特徴とする請求項6に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(f)段階を進行した後、前記半導体基板上に形成された熱酸化膜を除去する段階と、前記熱酸化膜が除去され露出された前記半導体基板上に犠牲酸化膜を形成する段階と、前記犠牲酸化膜が形成された半導体基板の全面にイオンを注入する段階と、前記犠牲酸化膜を除去する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(e)段階は、酸化セリウム系の研磨剤が含まれたスラリーを使用する化学機械的研磨方法によりギャップ充填絶縁膜を平坦化する段階であることを特徴をする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記(e)段階は、酸化セリウム系の研磨剤と強陰イオン性界面活性剤を含むスラリーを使用する化学機械的研磨方法により前記ギャップ充填絶縁膜を平坦化する段階であることを特徴とする請求項1または2に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
- 前記スラリーのpHは7程度であることを特徴とする請求項11または12に記載のディボット発生を防止し工程が簡単な素子分離膜製造法。
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