JP3244020B2 - 炭化ケイ素系無機繊維及びその製造方法 - Google Patents
炭化ケイ素系無機繊維及びその製造方法Info
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Description
と共に優れた耐アルカリ性及び高い耐熱性を有する炭化
ケイ素系無機繊維及びその製造方法に関する。
及び力学的特性を生かして、プラスチックス又はセラミ
ックスの強化繊維として利用されている。そして、この
炭化ケイ素系無機繊維及びその製法については既に多く
の提案がされている。例えば、特公昭58−38535
号公報には、ケイ素及び炭素を主な骨格成分とする有機
ケイ素重合体を紡糸し、紡糸繊維を酸化性雰囲気中で低
温加熱して不融化し、不融化繊維を高温焼成して炭化ケ
イ素繊維を製造する方法が開示されている。
は、ケイ素−炭素−チタン−酸素からなる炭化ケイ素系
無機繊維が開示されており、特公昭58−5286号公
報には、ポリカルボシランのケイ素原子の一部をチタン
原子と酸素原子を介して結合させたポリチタノカルボシ
ランを紡糸し、紡糸繊維を不融化し、不融化繊維を焼成
して、上記のケイ素−炭素−チタン−酸素からなる炭化
ケイ素系無機繊維を製造する方法が開示されている。
無機繊維は、上記したように、優れた耐熱性及び力学的
特性を有している一方で、耐アルカリ性が充分ではない
ことが指摘されている。炭化ケイ素系無機繊維の耐アル
カリ性を試験する方法が、ジャーナル・オブ・アメリカ
ン・セラミック・ソサイアティ、78[7]1992−
96(1995)に記載されている。この試験方法は、
炭化ケイ素系繊維を塩化ナトリウムの室温における飽和
水溶液に浸漬した後乾燥し、ついで、空気中、1000
℃で2時間加熱処理した後に、その力学的特性を測定す
る方法(以下この方法を「耐アルカリ試験法」と言
う。)である。この耐アルカリ試験法は炭化ケイ素系無
機繊維のNaClに対する耐久性を調べるために行われ
る加速試験法である。
アルカリ試験法に供した場合、繊維が酸化による著しい
分解を受け、繊維表面にはトリジマイト(鱗珪石塩)の
結晶相が生成し、またその近傍ではβ−SiCの結晶粒
の成長も認められ、繊維の力学的特性に重大な悪影響を
及ぼすことが記載されている。
ン部材のような、高温構造材料の強化繊維としての用途
が期待されている。航空機が海洋上を飛行する場合に
は、海水中に含まれるNaClがエンジン部材に付着す
ることを考慮する必要があり、それによる急激な力学的
特性の低下は重大事故を引き起こす可能性がある。従っ
て、上記の高温構造材料に使用される炭化ケイ素系無機
繊維のNaClに対する耐久性を改善することはきわめ
て重要な課題である。
機繊維は、1300℃までの環境下では優れた引張強度
及び弾性率を示すが、上記方法において、不融化繊維を
1400℃以上の高温で熱処理して無機繊維を調製する
場合には、無機繊維の引張強度が低下する傾向を示すと
いう問題があった。
酸素が含まれているが、この酸素の多くは、基本的には
繊維中のケイ素と何らかの結合を有しており、ケイ素の
酸化物の状態として存在している。また、前駆体法によ
り得られる炭化ケイ素系無機繊維は、一般にケイ素に対
して非化学量論的組成の余剰炭素を含有している。従っ
て、高温における上記繊維の分解では、このケイ素の酸
化物が繊維中の余剰炭素と反応してCO及びSiOを生
成する。この過程が上記繊維の高温における強度低下の
主原因であると考えられている。
は塩基には侵されないが、酸によって侵される。他方、
酸性の酸化物や化合物は酸には侵されないが、塩基によ
って侵される。例えば、SiO2、TiO2、SiC、B
4C、Si3N4は、いずれも弱酸性で耐酸性には優れて
いるが、耐アルカリ性には劣る化合物である。これに対
して、Al2O3は両性で、耐酸性及び耐アルカリ性共に
比較的バランスの取れた化合物である。さらに、Mg
O、ThO2は弱塩基性であり、耐アルカリ性には優れ
ているが耐酸性には劣る化合物である。BeO及びMg
Al2O4は、いずれもAl2O3よりは塩基性が強く、い
ずれも耐アルカリ性に優れた化合物である。このように
材料自体の酸性度あるいは塩基性度が、その材料の耐食
性と密接に関連している。
る炭化ケイ素系無機繊維であっても、その酸化物が両性
又は塩基性を示する金属元素を少量含有するだけで、予
想を大幅に上回って、飛躍的に耐アルカリ性が向上する
ことを見いだした。
繊維が17重量%以下の酸素を含有していても、その酸
素の一部又は大部分を強固に捕獲し得る金属元素を繊維
中に含有させておくことにより、1500℃以上の高温
においても酸素の脱離が抑制され、その結果、きわめて
耐熱性の優れた無機繊維が得られることを知見した。
族の金属原子からなる群から選択され、その酸化物が両
性又は塩基性を示す金属原子を0.1重量%以上含有
し、酸素含有量が17重量%以下であり、ケイ素に対す
る炭素の割合(C/Si)が原子比で1〜1.7の範囲
内であり、密度が2.7g/cm3 未満である炭化ケイ
素系無機繊維が提供される。また、本発明によれば、ケ
イ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で1.5以上
であるポリシランに、2A族、3A族及び3B族の金属
原子からなる群から選択され、その酸化物が両性又は塩
基性を示す金属原子の化合物を添加し、不活性ガス中、
加熱反応して金属含有有機ケイ素重合体を調製する第1
工程、金属含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊
維を得る第2工程、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中50〜
170℃で不融化して不融化繊維を調製する第3工程、
不融化繊維を不活性雰囲気中で予備加熱して予備加熱繊
維を調製する第4工程、予備加熱繊維を不活性ガス雰囲
気あるいは還元性ガス雰囲気で高温焼成して炭化ケイ素
系無機繊維を調製する第5工程からなる炭化ケイ素系無
機繊維の製造方法が提供される。
ず説明する。本発明の炭化ケイ素系無機繊維は、ケイ素
及び炭素と、2A族、3A族及び3B族の金属原子から
なる群から選択され、その酸化物が両性又は塩基性を示
す金属原子、及び場合により酸素から構成される。そし
て、この繊維は、上記の金属原子を含有していること、
及びケイ素に対する炭素の割合が特定範囲内にあり、密
度が2.7g/cm3 未満であることを特徴としてい
る。
基性を示す金属原子とはつぎのように定義される。即
ち、金属酸化物の試料を数十μm程度にまで粉砕し、無
水ベンゼンに分散させ、分散液にハメット指示薬の中で
共役酸のpKaが最も大きいニュートラル・レッド(p
Ka:6.8)を滴下したときに、色の変化が認められ
ない場合に、酸化物が両性又は塩基性を示す金属原子と
する。この試験法の詳細は、触媒、11[6]210−
216(1969)に記載されている。
なる群から選択され、その酸化物として両性又は塩基性
を示す金属原子の具体例としては、アルミニウム、マグ
ネシウム、ベリリウム、バリウム、ストロンチウム、ト
リウム、イットリウム及びカルシウムを挙げることがで
きる。これらの金属原子の炭化ケイ素系無機繊維中の割
合は、0.1重量%以上、好ましくは0.3重量%以上
である。金属原子の割合が0.1重量%未満であると、
炭化ケイ素系無機繊維の耐アルカリ性が充分には改善さ
れない。炭化ケイ素系無機繊維中の金属原子の含有割合
の上限については特別の制限はないが、過度に含有割合
を大きくすると、炭化ケイ素系無機繊維の力学的特性が
低下するようになるので、金属原子の含有割合の上限は
通常10重量%である。尚、上記金属原子は単独で導入
されていてもよく、2種以上が導入されていてもよい。
は、ケイ素に対する炭素の割合が原子比で1〜1.7の
範囲内であることが必要である。この比が1未満である
と、本質的に高い強度を有する繊維とならず、また、繊
維の耐アルカリ性が低下する。この比が1.7を越える
と、高温の空気中での炭素の引き抜き反応による劣化が
激しく起こり、耐アルカリ性が低下する。
る製造方法の第1工程において使用されることのあるホ
ウ素含有重合体であるポリボロシロキサンに由来するホ
ウ素を含有することがある。しかし、ホウ素は本発明の
無機繊維の耐アルカリ性に悪影響を及ぼすので、無機繊
維中のホウ素の含有量は0.4重量%以下であることが
好ましい。
くは、耐アルカリ試験後の強度が試験前の強度の50%
以上を保持している。また、本発明の炭化ケイ素系無機
繊維は酸素を含むこともあるが、酸素の含有割合は繊維
に対して17重量%以下、好ましくは15重量%以下で
ある。酸素の含有割合が17重量%を超えると、140
0℃以上での酸素の脱離量が増大し、それに伴って繊維
中のβ−SiC結晶の成長が顕著になり、1500℃で
の強度保持率が低下する。
る金属元素として、酸素を強固に捕獲し得る金属元素を
選択することにより、1500℃以上の高温においても
酸素の脱離が抑制され、繊維は優れた耐アルカリ性と共
にきわめて優れた耐熱性を示す。このような金属原子と
しては、アルミニウム、マグネシウム、ベリリウム、バ
リウム、ストロンチウム、トリウム、イットリウム及び
カルシウムを挙げることができる。本発明の無機繊維
は、1500℃のアルゴン中で1時間加熱処理した後の
強度保持率が50%以上、好ましくは、70%以上であ
る。
製造方法を工程毎に説明する。 第1工程 第1工程では、前駆重合体である金属含有有機ケイ素重
合体を調製する。ポリシランは、例えば「有機ケイ素化
合物の化学」化学同人(1972年)に記載の方法に従
い、1種類以上のジクロロシランをナトリウムを用いて
脱塩素反応させることにより得られる、鎖状又は環状の
重合体であり、その数平均分子量は通常300〜100
0である。本発明におけるポリシランは、ケイ素の側鎖
として、水素原子、低級アルキル基、アリール基、フェ
ニル基又はシリル基を有することができるが、いずれの
場合も、ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で
1.5以上であることが必要である。この条件を満足し
ないと、最終的に得られる炭化ケイ素系無機繊維におけ
るケイ素に対する炭素の原子比が1以上にならない場合
もあり、好ましくない。
又は環状のポリシランを加熱して得られる、ポリシラン
結合単位に加えて一部にカルボシラン結合を含む有機ケ
イ素重合体を包含する。このような有機ケイ素重合体は
それ自体公知の方法で調製することができる。調製法の
例としては、鎖状又は環状のポリシランを400〜70
0℃の比較的高い温度で加熱反応する方法、このポリシ
ランにフェニル基含有ポリボロシロキサンを加えて25
0〜500℃の比較的低い温度で加熱反応する方法を挙
げることができる。こうして得られる有機ケイ素重合体
の数平均分子量は通常1000〜5000である。
昭53−42330号公報及び同53−50299号公
報に記載の方法に従って調製することができる。例え
ば、フェニル含有ポリボロシロキサンは、ホウ酸と1種
類以上のジオルガノクロロシランとの脱塩酸縮合反応に
よって調製することができ、その数平均分子量は通常5
00〜10000である。フェニル基含有ポリボロシロ
キサンの添加量は、ポリシラン100重量部に対して通
常15重量部以下である。フェニル基含有ポリボロシロ
キサンの添加量が過度に高いと、最終的に得られる炭化
ケイ素系無機繊維中のホウ素の含有量が高くなり、この
無機繊維の耐アルカリ性が低下するようになる。従っ
て、フェニル基含有ポリボロシロキサンは、本発明の無
機繊維中のホウ素の含有割合が0.4重量%以下となる
量で使用することが好ましい。
て両性又は塩基性を示す金属(M)のアルコキシド、ア
セチルアセトキシド化合物、カルボニル化合物、又はシ
クロペンタジエニル化合物の所定量を添加し、不活性ガ
ス中、通常250〜350℃の範囲の温度で1〜10時
間反応することにより、原料である金属含有有機ケイ素
重合体を調製することができる。上記金属は、最終的に
得られる炭化ケイ素系無機繊維中の金属の含有割合が
0.1重量%以上になる割合で使用され、具体的割合は
本発明の教示に従って当業者が適宜に決定することがで
きる。
R)n(式中、Mは前記金属を、Rは炭素数1〜8のア
ルキル基を示し、nはMの原子値である。)で表すこと
ができ、金属のエトキシド、ブトキシド、ヘキソキシ
ド、オクトキシドを例示することができる。
シランのケイ素原子の少なくとも一部が、金属原子と酸
素原子を介してあるいは介さずに結合された構造を有す
る、橋かけ重合体である。
繊維を得る。前駆重合体である金属含有有機ケイ素重合
体を溶融紡糸及び乾式紡糸のようなそれ自体公知の方法
によって紡糸し、紡糸繊維を得ることができる。
繊維を調製する。不融化の目的は、紡糸繊維を構成する
ポリマ−間に酸素原子による橋かけ点を形成させて、後
続の第4工程における予備加熱において不融化繊維が溶
融せず、かつ隣接する繊維同士が融着しないようにする
ことである。酸素含有雰囲気を構成するガスとしては、
空気、酸素、オゾンが例示される。不融化温度は50〜
170℃であり、不融化時間は不融化温度に依存する
が、通常、数分から30時間である。
理によって、得られる不融化繊維に酸素が取り込まれる
が、本発明の無機繊維における酸素含有量を17重量%
以下にするために、不融化繊維中の酸素含有量が14重
量%になるように、不融化条件を制御することが好まし
い。従って、後続する第4工程で繊維の溶融及び融着が
防止できるに必要最小限の酸素が繊維中に取り込まれる
温度条件を採用することが重要である。なお、上記のよ
うに最終の無機繊維の酸素含有量が14重量%以下にな
る条件下では、電子線あるいはγ線を用いた不融化方法
も採用することができる。
備加熱して予備加熱繊維を調製する。不活性雰囲気を構
成するガスとしては、窒素、アルゴンなどを例示するこ
とができる。加熱温度は通常150〜800℃であり、
加熱時間は数分ないし20時間である。不融化繊維を不
活性雰囲気中で予備加熱することによって、繊維への酸
素の取り込みを防止しつつ、繊維を構成するポリマ−の
橋かけ反応をより進行させ、前駆体金属重合体からの不
融化繊維の優れた伸びを維持しつつ、強度をより向上さ
せることができる、これにより、最終工程における焼成
を作業性よく安定に行うことができる。
式で、アルゴンのような不活性ガス雰囲気中、あるいは
水素のような還元性ガス雰囲気中、1000〜1700
℃の範囲内の温度で加熱処理することによって、本発明
の無機繊維を調製する。
て、特別の言及がない限り、「部」及び「%」は、それ
ぞれ、「重量部」及び「重量%」を示す。無機繊維の引
張強度及び弾性率はモノフィラメント法によりチャック
間長さ25mmにより測定した。また、無機繊維の強度
保持率は、初期強度(σ0 )と1500℃のアルゴン中
で1時間加熱処理した繊維の強度(σt )から下記式に
より求めた。 強度保持率(%)=(σt /σ0 )×100
ス気流下にキシレンを加熱還流させながら、ジメチルジ
クロロシラン1034重量部を滴下し、引き続き10時
間加熱還流し沈澱物を生成させた。この沈澱をろ過し、
メタノール、ついで水で洗浄して、白色のポリジメチル
シラン420部を得た。
を窒素ガス雰囲気下にn−ブチルエーテル中、100〜
120℃で加熱し、生成した白色樹脂状物をさらに真空
中400℃で1時間加熱することによって、フェニル基
含有ポリボロシロキサン530部を得た。
例2で得られたフェニル基含有ポリボロシロキサン10
部を添加し、窒素ガス雰囲気中、350℃で熱縮合し
て、カルボシラン単位とシロキサン単位との比が10
0:0.93である有機ケイ素重合体を得た。この有機
ケイ素重合体におけるケイ素原子に対する炭素原子の割
合はモル比で2.05であった。この有機ケイ素重合体
100部を溶解したキシレン溶液にアルミニウムトリブ
トキシド16部を加え、窒素ガス気流下に320℃で架
橋反応させることによって、ポリアルミノカルボシラン
を調製した。
で溶融紡糸した後、空気中150℃で1時間加熱処理し
て不融化した。不融化繊維中の酸素含有量は5.8重量
%であった。不融化繊維をさらに窒素中320℃で10
時間加熱して、予備加熱繊維を得た。
理して無機繊維を得た。得られた無機繊維の化学組成
は、Si:55.1%、C:35.5%、O:7.95
%、Al:1.06%であり、原子比で示すと、Si:
C:O:Al=1:1.50:0.25:0.020で
あった。この無機繊維の引張強度は305kg/mm2
であり、弾性率は18.5t/mm2 であり、1500
℃のアルゴン中で1時間加熱処理した後の強度保持率は
87%であった。
後の引張強度及び弾性率は、それぞれ、192kg/m
m2及び18.3t/mm2であり、初期強度の63%を
保持していた。耐アルカリ試験法に供した後の無機繊維
の表面の粒子構造を図1に示す。図1から、表面はきわ
めてきれいな状態を保っていた。
00部のキシレン溶液にアルミニウムトリブトキシド8
部を加え、窒素ガス気流下に290℃で架橋反応させ
て、ポリアルミノカルボシランを得た。このポリアルミ
ノカルボシランを255℃で溶融紡糸し、紡糸繊維を空
気中160℃で1時間加熱処理して不融化繊維を得た。
不融化繊維の酸素含有量は6.1%であった。不融化繊
維を窒素中300℃で10時間加熱処理して予備加熱繊
維を得た。
理して無機繊維を得た。得られた無機繊維の化学組成
は、Si:55.2%、C:34.3%、O:9.8
%、Al:0.55%であり、原子比で示すと、Si:
C:O:Al=1:1.45:0.31:0.010で
あった。この無機繊維の引張強度は325kg/mm2
であり、弾性率は17.2t/mm2 であり、1500
℃のアルゴン中で1時間加熱処理した後の強度保持率は
78%であった。
後の引張強度及び弾性率は、それぞれ、182kg/m
m2及び17.1t/mm2であり、初期強度の56%を
保持していた。また、耐アルカリ試験法に供した後の無
機繊維の表面は実施例1のそれと同様に、きわめてきれ
いな状態を保っていた。
00部のキシレン溶液にマグネシウムエトキシド16部
を加え、窒素ガス気流下に300℃で架橋反応させて、
ポリマグネノカルボシランを得た。このポリマグネノカ
ルボシランを248℃で溶融紡糸し、紡糸繊維を空気中
163℃で1時間加熱処理して不融化繊維を得た。不融
化繊維の酸素含有量は5.8%であった。不融化繊維を
窒素中310℃で10時間加熱処理して予備加熱繊維を
得た。
理して無機繊維を得た。得られた無機繊維の化学組成
は、Si:55.9%、C:33.2%、O:10.1
%、Mg:0.61%であり、原子比で示すと、Si:
C:O:Mg=1:1.39:0.32:0.013で
あった。この無機繊維の引張強度は301kg/mm2
であり、弾性率は16.8t/mm2 であり、1500
℃のアルゴン中で1時間加熱処理した後の強度保持率は
73%であった。
後の引張強度及び弾性率は、それぞれ、175kg/m
m2及び16.3t/mm2であり、初期強度の58%を
保持していた。また、耐アルカリ試験法に供した後の無
機繊維の表面は実施例1のそれと同様に、きわめてきれ
いな状態を保っていた。
00部のキシレン溶液にイットリウムアセチルアセトネ
ート20部を加え、窒素ガス気流下に310℃で架橋反
応させて、イットリウム変成ポリカルボシランを得た。
この変成ポリカルボシランを253℃で溶融紡糸し、紡
糸繊維を空気中155℃で1時間加熱処理して不融化繊
維を得た。不融化繊維の酸素含有量は6.2%であっ
た。不融化繊維を窒素中290℃で12時間加熱処理し
て予備加熱繊維を得た。
理して無機繊維を得た。得られた無機繊維の化学組成
は、Si:54.8%、C:33.4%、O:9.8
%、Y:2%であり、原子比で示すと、Si:C:O:
Y=1:1.43:0.31:0.011であった。こ
の無機繊維の引張強度は298kg/mm2 であり、弾
性率は17.3t/mm2 であり、1500℃のアルゴ
ン中で1時間加熱処理した後の強度保持率は79%であ
った。
後の引張強度及び弾性率は、それぞれ、182kg/m
m2及び16.9t/mm2であり、初期強度の61%を
保持していた。また、耐アルカリ試験法に供した後の無
機繊維の表面は実施例1のそれと同様に、きわめてきれ
いな状態を保っていた。
例2で得られたフェニル基含有ポリボロシロキサン10
部を添加し、窒素ガス雰囲気中、430℃で熱縮合し
て、カルボシラン単位とシロキサン単位との比が10
0:0.4である有機ケイ素重合体を得た。この有機ケ
イ素重合体を250℃で溶融紡糸したした後、空気中1
60℃で1時間加熱処理して不融化繊維を調製し、この
不融化繊維を、さらに、窒素中300℃で10時間加熱
して予備加熱繊維を得た。この予備加熱繊維を窒素中1
300℃で加熱処理して無機繊維を調製した。得られた
無機繊維の化学組成は、Si:56.0%、C:34.
0%、O:10.0%であり、原子比で示すと、Si:
C:O=1:1.42:0.31であった。この無機繊
維の引張強度は305kg/mm2 であり、弾性率は1
7.5t/mm2 と高い値を示したが、1500℃のア
ルゴン中で1時間加熱処理した後の強度保持率は10%
に過ぎなかった。
後に繊維の状態を観察したところ、繊維束の状態で融着
しており、非常に脆く、繊維強度の測定が不可能であっ
た。また、耐アルカリ試験後の繊維の表面は図2に示す
ように、激しく浸食されていた。
例2で得られたフェニル基含有ポリボロシロキサン1部
を添加し、窒素ガス雰囲気中380℃で10時間熱縮合
して、数平均分子量1700の有機ケイ素重合体を得
た。この有機ケイ素重合体100部を溶解したキシレン
溶液にテトラブトキシチタン10部を加え、窒素ガス気
流下に320℃で架橋反応させて、ポリチタノカルボシ
ランを得た。このポリチタノカルボシランを225℃で
溶融紡糸した後、空気中170℃で1時間加熱処理して
不融化繊維を調製し、この不融化繊維を、さらに、窒素
中300℃で10時間加熱して予備加熱繊維を得た。こ
の予備加熱繊維を窒素中1300℃で加熱処理して無機
繊維を調製した。
%、C:31%、O:12.6%、Ti:2%であり、
原子比で示すと、Si:C:O:Ti=1:1.34:
0.41:0.02であった。この無機繊維の引張強度
は350kg/mm2、弾性率は17t/mm2であっ
た。1500℃のアルゴン中で1時間加熱処理した後の
強度保持率は35%に過ぎなかった。耐アルカリ試験法
に供した後の無機織維は非常に脆く、繊維強度の測定が
不可能であった。また、耐アルカリ試験後の繊維の表面
は図3に示すように、激しく浸食されていた。
カリ試験後の繊維表面の粒子構造を示す図面に代える写
真である。
カリ試験後の繊維表面の粒子構造を示す図面に代える写
真である。
カリ試験後の繊維表面の粒子構造を示す図面に代える写
真である。
Claims (5)
- 【請求項1】2A族、3A族及び3B族の金属原子から
なる群から選択され、その酸化物が両性又は塩基性を示
す金属原子を0.1重量%以上含有し、酸素含有量が1
7重量%以下であり、ケイ素に対する炭素の割合(C/
Si)が原子比で1〜1.7の範囲内であり、密度が
2.7g/cm3 未満であることを特徴とする炭化ケイ
素系無機繊維。 - 【請求項2】NaClの室温における飽和水溶液に浸漬
した後乾燥し、ついで1000℃の空気中で2時間加熱
処理した際の強度保持率が50%以上である請求項1記
載の炭化ケイ素系無機繊維。 - 【請求項3】金属原子がアルミニウム、マグネシウム、
ベリリウム、バリウム、ストロンチウム、トリウム、イ
ットリウム及びカルシウムから選択される少なくとも一
種である請求項1記載の炭化ケイ素系無機繊維。 - 【請求項4】1500℃のアルゴン中で1時間加熱処理
した後の強度保持率が50%以上である請求項3記載の
炭化ケイ素系無機繊維。 - 【請求項5】ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル
比で1.5以上であるポリシランに、2A族、3A族及
び3B族の金属原子からなる群から選択され、その酸化
物が両性又は塩基性を示す金属原子の化合物を添加し、
不活性ガス中、加熱反応して金属含有有機ケイ素重合体
を調製する第1工程、金属含有有機ケイ素重合体を溶融
紡糸して紡糸繊維を得る第2工程、紡糸繊維を酸素含有
雰囲気中50〜170℃で不融化して不融化繊維を調製
する第3工程、不融化繊維を不活性雰囲気中で予備加熱
して予備加熱繊維を調製する第4工程、予備加熱繊維を
不活性ガス雰囲気あるいは還元性ガス雰囲気で高温焼成
して炭化ケイ素系無機繊維を調製する第5工程からなる
炭化ケイ素系無機繊維の製造方法。
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