JP3218170U - シリコンウエハーの載置装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】引っ掻き傷を回避して歩留まりを向上させるシリコンウエハーの載置装置を提供する。
【解決手段】載置装置は、平行に対向設置される第1、第2固定板1a、1bと、平行に対向設置され、夫々の第1端が第1固定板に固定連結され且つ夫々の第2端が第2固定板に固定連結されると共に、円柱状の本体と半球状の端部を備える複数の位置制限柱21が夫々設置される第1、第2の上部固定ロッド2と、第1、第2上部固定ロッドの下に平行に設置され、第1端が第1固定板に固定連結され、第2端が第2固定板に固定連結される下部固定ロッド3とを備える。シリコンウエハーの両側辺は、それぞれ第1、第2上部固定ロッドにおける隣接する2つの位置制限柱の間から挿入し、且つ、シリコンウエハーの底辺は、下部固定ロッドに受け止められる。
【選択図】図1
【解決手段】載置装置は、平行に対向設置される第1、第2固定板1a、1bと、平行に対向設置され、夫々の第1端が第1固定板に固定連結され且つ夫々の第2端が第2固定板に固定連結されると共に、円柱状の本体と半球状の端部を備える複数の位置制限柱21が夫々設置される第1、第2の上部固定ロッド2と、第1、第2上部固定ロッドの下に平行に設置され、第1端が第1固定板に固定連結され、第2端が第2固定板に固定連結される下部固定ロッド3とを備える。シリコンウエハーの両側辺は、それぞれ第1、第2上部固定ロッドにおける隣接する2つの位置制限柱の間から挿入し、且つ、シリコンウエハーの底辺は、下部固定ロッドに受け止められる。
【選択図】図1
Description
本開示は、太陽電池の技術分野に関し、例えばシリコンウエハーの載置装置に関する。
シリコンをベースとして製造される太陽電池、例えば通常の電池、真性薄層を持つヘテロ接合(Heterojunction with Intrinsic Thin layer、HIT)電池、バックコンタクト(Interdigitated Back Contact、IBC)電池、PERL(Passivated emitter and rear locally diffused)電池、裏面電極型構造のヘテロ接合(Heterojunction Back Contact、HBC)電池及びPERC(Passivated Emitter and Rear Contact)電池等は、構造上にいずれも結晶シリコンを含む。シリコンウエハーがパッシベーションされる前の、シリコンウエハーの洗浄、テクスチャ形成、乾燥などのプロセスにおけるシリコンウエハーの歩留まりは、電池の生産ラインの全体のコスト低下、歩留まりを確保する基礎である。シリコンウエハー表面の清潔度の向上も、電池セルの効率の向上を確保するための必要前提である。そのため、電池の製造工程において、シリコンウエハーを載置する工具の設計と選択が特に重要である。
従来技術では、結晶シリコンを量産する生産ラインにおいて、シリコンウエハーのテクスチャ形成や洗浄用のシリコンウエハーを載置する装置に、シリコンウエハー位置制限ロッドが設置され、当該シリコンウエハー位置制限ロッドは一般的に歯状であり、シリコンウエハーを取り扱うと、シリコンウエハー表面が歯状の先端に傷つけられやすく、後続のプロセスに影響を与え、効率の低下と外観の不良を起こす。
シリコンウエハーを載置する装置に支持ロッドが更に設置され、支持ロッドが適切に設計されないと、シリコンウエハーのテクスチャ形成、洗浄及び乾燥のデッドスペースを形成しやすく、例えば、シリコンウエハーの縁部にテクスチャ形成不良、洗浄不良又はウォーターマークの発生などの現象が現れる。
本願は、シリコンウエハーの引っ掻き傷を回避して歩留まりを向上させるシリコンウエハーの載置装置を提供することを目的とする。
本願は、
第1固定板及び第2固定板を含む一対の固定板と、
第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結され、円柱状の本体と半球状の端部を含む複数の位置制限柱が設置された上部固定ロッドと、
第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結された下部固定ロッドと、
を備えるシリコンウエハーの載置装置を提供する。
第1固定板及び第2固定板を含む一対の固定板と、
第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結され、円柱状の本体と半球状の端部を含む複数の位置制限柱が設置された上部固定ロッドと、
第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結された下部固定ロッドと、
を備えるシリコンウエハーの載置装置を提供する。
一実施例において、前記下部固定ロッドに複数の位置制限溝が設置される。
一実施例において、前記下部固定ロッドは、横板と、前記横板にそれぞれ鉛直固定された複数の係止板とを含み、前記複数の係止板において隣接する係止板同士の間に、それぞれ位置制限溝が形成される。
一実施例において、前記下部固定ロッドは、板体と、複数の位置制限突起とを含み、前記複数の位置制限突起は、前記板体に設置され、前記複数の位置制限突起において隣接する位置制限突起同士の間に、それぞれ位置制限溝が形成される。
一実施例において、各前記位置制限突起が半円柱状である。
一実施例において、前記板体の各前記位置制限溝にオーバーフロー穴が開設される。
一実施例において、前記位置制限柱の数は、1−300の数値範囲にある。
一実施例において、前記第1固定板及び前記第2固定板に、それぞれ対流穴が設置される。
一実施例において、前記第1固定板及び前記第2固定板に、前記載置装置を取り出しやすくするための工具係合溝が設置される。
本願は、
対向設置される第1固定板及び第2固定板と、
対向設置される第1上部固定ロッド及び第2上部固定ロッドであって、前記第1上部固定ロッドの第1端が前記第1固定板に固定連結され、前記第1上部固定ロッドの第2端が記第2固定板に固定連結され、前記第2上部固定ロッドの第1端が前記第1固定板に固定連結され、前記第2上部固定ロッドの第2端が前記第2固定板に固定連結され、前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドのそれぞれに、円柱状の本体と半球状の端部を備える複数の位置制限柱が設置される第1上部固定ロッド及び第2上部固定ロッドと、
前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドの下に設置され、第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結される下部固定ロッドと、を備えるシリコンウエハーの載置装置を更に提供する。
対向設置される第1固定板及び第2固定板と、
対向設置される第1上部固定ロッド及び第2上部固定ロッドであって、前記第1上部固定ロッドの第1端が前記第1固定板に固定連結され、前記第1上部固定ロッドの第2端が記第2固定板に固定連結され、前記第2上部固定ロッドの第1端が前記第1固定板に固定連結され、前記第2上部固定ロッドの第2端が前記第2固定板に固定連結され、前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドのそれぞれに、円柱状の本体と半球状の端部を備える複数の位置制限柱が設置される第1上部固定ロッド及び第2上部固定ロッドと、
前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドの下に設置され、第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結される下部固定ロッドと、を備えるシリコンウエハーの載置装置を更に提供する。
一実施例において、前記シリコンウエハーの両側辺は、それぞれ前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドにおける隣接する位置制限柱同士の間から挿入され、且つ前記シリコンウエハーの底辺は、前記下部固定ロッドに受け止められる。
一実施例において、前記下部固定ロッドは、前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドに対して平行である。
一実施例において、前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドに設置される位置制限柱の数は同じであり、且つ1対1対応で配列される。
一実施例において、前記第1上部固定ロッドは、同側に固定される2つの第1上部固定ロッドを含み、2つの前記第1上部固定ロッドは、鉛直方向に沿って配列され、前記シリコンウエハーの第1側辺を固定するように構成され、前記第2上部固定ロッドは、同側に固定される2つの第2上部固定ロッドを含み、2つの前記第2上部固定ロッドは、鉛直方向に沿って配列され、前記シリコンウエハーの第2側辺を固定するように構成され、且つ、2つの前記第1上部固定ロッドの高さは、それぞれ2つの前記第2上部固定ロッドの高さと1対1対応で同じである。
一実施例において、前記下部固定ロッドに複数の位置制限溝が設置される。
一実施例において、各前記位置制限溝の幅は、前記シリコンウエハーの厚さより大きい。
一実施例において、各前記位置制限溝の幅は、前記シリコンウエハーの厚さの3倍−5倍の範囲にある。
一実施例において、前記下部固定ロッドの形状が円柱状であり、各前記位置制限溝は、前記下部固定ロッドにおいて溝加工することによって形成される。
一実施例において、各前記位置制限溝の長さは、前記下部固定ロッドの直径以下であり、各前記位置制限溝の深さは、前記下部固定ロッドの半径以下である。
一実施例において、前記下部固定ロッドは、板体と複数の位置制限突起を備え、前記複数の位置制限突起が前記板体に設置され、前記複数の位置制限突起において、隣接する位置制限突起同士の間にそれぞれ位置制限溝が形成される。
一実施例において、各前記位置制限突起が半円柱状である。
一実施例において、前記下部固定ロッドの各前記位置制限溝に、オーバーフロー穴が開設される。
一実施例において、前記位置制限柱の数は1−300の数値範囲にある。
一実施例において、前記第1固定板及び前記第2固定板に、それぞれ対流穴が設置される。
一実施例において、前記第1固定板及び前記第2固定板に、それぞれ前記載置装置を取り出しやすくするための工具係合溝が設置される。
前記第1上部固定ロッドの形状及び前記第2上部固定ロッドの形状は、両方とも円柱状である。
本願に係るシリコンウエハーの載置装置は、位置制限柱の本体を円柱状にするとともに、端部を半球状にすることによって、シリコンウエハーの引っ掻き傷を回避でき、歩留まりを向上させた。
以下、図面に例示される本願の実施例を説明する。ここで、全ての図面にわたって同じ又は類似の符号は、同じ又は類似の要素、或いは同じ又は類似の機能を有する要素を示す。以下、図面を参照しながら説明する実施例は、例示的なものであり、本願を説明するためのみに用いられ、本願を限定するものとして解釈することはできない。
図1は、一実施例に係るシリコンウエハーの載置装置の構造平面図であり、図2は、図1におけるAでの拡大図である。
図1は、一実施例に係るシリコンウエハーの載置装置の構造平面図であり、図2は、図1におけるAでの拡大図である。
図1に示すように、本実施例は、シリコンウエハーの載置装置を提供する。当該シリコンウエハーの載置装置は、支持構造を提供するための一対の固定板を備える。一対の固定板は、第1固定板1aと第2固定板1bを含む。当該シリコンウエハーの載置装置は、上部固定ロッド2と下部固定ロッド3を更に備える。上部固定ロッド2及び下部固定ロッド3は、両方とも対になって設置してもよく、上部固定ロッド2及び下部固定ロッド3の形状は、両方とも円柱状であってもよい。
図1と図2を同時に参照する。ここで、各上部固定ロッド2の第1端は、第1固定板1aに固定連結され、各上部固定ロッド2の第2端は、第2固定板1bに固定連結され、各上部固定ロッド2に、シリコンウエハーの第1端を位置制限するための複数の位置制限柱21が設置される。位置制限柱21は、円柱状の本体と半球状の端部を備える。各下部固定ロッド3の第1端は、第1固定板1aに固定連結され、各下部固定ロッド3の第2端は、第2固定板1bに固定連結される。位置制限柱21の数は複数である。本実施例において、載置装置全体のサイズに応じて、位置制限柱21の数を1−300の数値範囲に設定することができる。
シリコンウエハーを洗浄する際に、シリコンウエハーの第2端は、下部固定ロッド3に配置される。一実施例において、各下部固定ロッド3に、シリコンウエハーの第2端を位置制限するための複数の位置制限溝31が設置される。このようにして、シリコンウエハーの第2端を位置制限溝31に配置し、シリコンウエハーの第1端を隣接する位置制限柱21同士の間に配置できる。位置制限柱21は、本体が円柱状であるとともに、半球状の端部を備えるような形状であるため、シリコンウエハーの引っ掻き傷を回避することができ、歩留まりが向上する。
位置制限溝31の構造については様々な態様がある。一実施態様では、下部固定ロッド3は、横板と横板に鉛直固定された複数の係止板を備え、複数の係止板のうちの隣接する係止板同士の間に、それぞれ位置制限溝が形成される。
図2を参照し、一実施形態として、複数の位置制限突起32を設置することによって上記位置制限溝31を形成してもよい。一実施例において、位置制限溝31は、円柱状の下部固定ロッド3において溝加工し、複数の位置制限突起32及び位置制限溝31を形成する。位置制限溝31の長さは、下部固定ロッド3の直径以下であり、位置制限溝31の深さは、下部固定ロッド3の半径以下かつ5mm以上である。
一実施例において、下部固定ロッド3は、板体と複数の位置制限突起32を備え、複数の位置制限突起32が板体に設置され、複数の位置制限突起32において隣接する位置制限突起32同士の間に、それぞれ位置制限溝31が形成される。
シリコンウエハーの引っ掻き傷を更に回避するために、一実施例において、上記位置制限突起32を半円柱状にする。位置制限突起32は、他の形状であってもよく、面取りすればシリコンウエハーの引っ掻き傷を回避できることは理解されるであろう。
上記実施例を基に、本実施例に係るシリコンウエハーの載置装置において、板体の各位置制限溝31に、オーバーフロー穴33が開設される。オーバーフロー穴33を設置することで、液体又はガスの流れを強化し、シリコンウエハーの洗浄、テクスチャ形成または乾燥に現れたデッドスペースによるシリコンウエハーの洗浄不良を減少することができる。また、加工手順が完了すると、取出装置は、位置制限溝の液溜めを回避し、溶液の排除を加速できる。更に、シリコンウエハーを当該洗浄装置とともに洗浄溶液に入れると、溶液には、オーバーフロー穴33によって気泡が発生し、溶液における空気が、シリコンウエハーが配置される位置制限溝31に流れることで、シリコンウエハーが位置制限溝31において左右に揺動する。従来技術においてシリコンウエハーが静止状態であることに比べて、洗浄装置(又は洗浄バスケット)の痕跡が残留するような現象を回避した。
引き続き図1を参照し、一実施例において、第1固定板1a及び第2固定板1bに、それぞれ液体やガスの流れを強化し、溶液又はガスの均一性を向上させ、洗浄、テクスチャ形成、乾燥の効果の向上に寄与する対流穴4が設置される。
一実施例において、第1固定板1a及び第2固定板1bに工具係合溝11が設置される。第1固定板1aの上端及び第2固定板1bの上端に、当該洗浄装置を取り出しやすくするための工具係合溝11がそれぞれ設置される。
図3は、本実施例に係る他のシリコンウエハーの載置装置の構造平面図であり、図4は、図3に示すシリコンウエハーの載置装置の斜視図である。図4において、第1固定板1a、第2固定板1b、第1上部固定ロッド2a、第2上部固定ロッド2b及び下部固定ロッド3のみを示し、図3における位置制限柱21等の他の構造を示さない。図3と図4を参照し、本実施例に係るシリコンウエハーの載置装置は、対向設置される第1固定板1a及び第2固定板1bと、対向設置される第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bであって、第1上部固定ロッド2aの第1端が第1固定板1aに固定連結され、第1上部固定ロッド2aの第2端が第2固定板1bに固定連結され、第2上部固定ロッド2bの第1端が第1固定板1aに固定連結され、第2上部固定ロッド2bの第2端が第2固定板1bに固定連結され、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bのそれぞれに、円柱状の本体と半球状の端部を備える複数の位置制限柱21が設置される第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bと、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bの下に設置され、第1端が第1固定板1aに固定連結され、第2端が第2固定板1bに固定連結される下部固定ロッド3(図1において2つの下部固定ロッド3を例とする)と備える。
一実施例において、シリコンウエハーの両側辺は、それぞれ第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bにおける隣接する位置制限柱21同士の間から挿入し、且つシリコンウエハーの底辺は、下部固定ロッド3に受け止められる。
一実施例において、第1上部固定ロッド2aと第2上部固定ロッド2bとは平行に設置され、下部固定ロッド3は、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bに対して平行に設置されるとともに、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bの下に位置される。
一実施例において、第1固定板1a及び第2固定板1bの形状は、第1上部固定ロッド2a、第2上部固定ロッド2b及び下部固定ロッド3を支持できれば、任意の形状であってもよい。例えば、第1固定板1a及び第2固定板1bの形状は、両方とも直方体又は円柱体等の形状であってもよい。
一実施例において、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bに設置される位置制限柱21の数は同じであり、且つ1対1対応で配列される。
一実施例において、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bの構造では、第1上部固定ロッド2aにおける位置制限柱21を有する側の向きは、第2上部固定ロッド2bにおける位置制限柱21を有する側の向きと異なること以外、同じである。
一実施例において、第1上部固定ロッド2aの数は、1つ又は複数であってもよく、第2上部固定ロッド2bの数は、1つ又は複数であってもよい。
一実施例において、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bの数は、同じである。例えば、第1上部固定ロッド2aは、同側に固定される2つの第1上部固定ロッド2aを含む。2つの第1上部固定ロッド2aは、鉛直方向に沿って配列される。第2上部固定ロッド2bは、同側に固定される2つの第2上部固定ロッド2bを含む。2つの第2上部固定ロッド2bは、鉛直方向に沿って配列される。さらに、シリコンウエハーをより安定に固定するように、2つの第1上部固定ロッド2aによってシリコンウエハーの第1側を固定し、2つの第2上部固定ロッド2bによってシリコンウエハーの第2側を固定する。
一実施例において、2つの第1上部固定ロッド2aの高さは、2つの第2上部固定ロッド2bの高さと同じであり、且つそれぞれ一対一に対応してもよい。
一実施例において、1つ又は複数の下部固定ロッド3によってシリコンウエハーの底辺を受け止めるように、下部固定ロッド3の数は、1つ又は複数であってもよい。
シリコンウエハーを載置する際に、シリコンウエハーの第1側辺は、第1上部固定ロッド2aにおける隣接する位置制限柱21同士の間に配置され、第1側辺と対向するシリコンウエハーの第2側辺は、第2上部固定ロッド2bにおける隣接する位置制限柱21同士の間に配置される。さらに、第1上部固定ロッド2a及び第2上部固定ロッド2bによって、シリコンウエハーの第1側辺及び第2側辺を固定する。第1側辺及び第2側辺にそれぞれ隣接するシリコンウエハーの底辺は、下部固定ロッド3に配置される。さらに、下部固定ロッド3でシリコンウエハーの底辺を受け止めることによって、シリコンウエハーの載置を実現する。
位置制限柱21の本体の形状が円柱状であり、且つ端部の形状が半球状であるため、載置装置によるシリコンウエハーへの引っ掻き傷を回避することができ、歩留まりが向上する。
一実施例において、位置制限柱21の数は、載置装置全体のサイズに応じて設置してもよく、載置のシリコンウエハーの数は、位置制限柱21の数によって決められる。一実施例において、位置制限柱21の数は、1−300の数値範囲にある。
一実施例において、下部固定ロッド3に複数の位置制限溝31が設置される。シリコンウエハーの底辺は、位置制限溝31に配置される。
一実施例において、シリコンウエハーの位置制限溝31からの脱落を回避するように、各位置制限溝31の深さを5mm以上にする。
一実施例において、各位置制限溝31の幅は、シリコンウエハーの厚さより大きい。
一実施例において、各位置制限溝31の幅は、シリコンウエハーの厚さの3倍−5倍の範囲にある。
位置制限溝31の実施形態は、様々である。以下、例を挙げて説明する。
図5と図6を参照し、図5は本実施例に係る下部固定ロッドの正面図であり、図6は、図5に示す下部固定ロッドの平面図である。一実施例において、下部固定ロッド3の形状が円柱状であり、各位置制限溝31は、下部固定ロッド31において溝加工することによって形成され、隣接する位置制限溝31同士の間に1つの位置制限突起32が形成される。
一実施例において、各位置制限溝31の長さは、下部固定ロッド3の直径以下であり、各位置制限溝31の深さは、下部固定ロッド3の半径以下である。
図7と図8を参照し、図7は、本実施例に係る他の下部固定ロッドの正面図であり、図8は、図7に示す下部固定ロッドの平面図である。一実施例において、下部固定ロッド3は、板体34と複数の位置制限突起32を備え、複数の位置制限突起32が板体34に設置され、複数の位置制限突起32において隣接する位置制限突起32同士の間に、それぞれ位置制限溝31が形成される。
一実施例において、位置制限突起32の形状が半円柱状である。
一実施例において、下部固定ロッド3の各位置制限溝31にオーバーフロー穴33が開設される。例えば、図5に示す下部固定3の各位置制限溝31にオーバーフロー穴33が開設され、オーバーフロー穴33の平面図は、図9に示すようである。オーバーフロー穴33を設置することで、液体又はガスの流れを強化し、シリコンウエハーの洗浄、テクスチャ形成または乾燥に現れたデッドスペースによるシリコンウエハーの洗浄不良を減少することができる。また、加工手順が完了すると、取出装置は、位置制限溝の液溜めを回避し、溶液の排除を加速できる。更に、シリコンウエハーを当該洗浄装置とともに洗浄溶液に入れると、溶液には、オーバーフロー穴33によって気泡が発生し、溶液における空気が、シリコンウエハーが配置される位置制限溝31に流れることで、シリコンウエハーが位置制限溝31において左右に揺動する。従来技術においてシリコンウエハーが静止状態であることに比べて、洗浄の痕跡が残留するような現象を回避した。
図10を参照し、図10は、本実施例に係る第1固定板の側面図である。第2固定板の側面図は第1固定板の側面図と同じである。一実施例において、第1固定板1a及び第2固定板1bに、それぞれ対流穴4が設置される。
一実施例において、第1固定板1a及び第2固定板1bに、それぞれ複数の対流穴4が設置される。
一実施例において、対流穴4の形状及び位置は任意設定してもよい。例えば、対流穴4の横断面は、円形、正方形又は三角形等の形状であってもよい。
一実施例において、第1固定板1a及び第2固定板上1bに、それぞれ載置装置を取り出しやすくするための工具係合溝が設置される。
一実施例において、工具係合溝は、第1固定板1aの頂上部及び第2固定板2aの頂上部にそれぞれ設置され、又は、第1固定板1aにおいて第1上部固定ロッド2aの第1端に繋がる側面と対向する側面、及び第2固定板1bにおいて第1上部固定ロッド2aの第2端に繋がる側面と対向する側面にそれぞれ設置されてもよい。
一実施例において、第1固定板1aにおける工具係合溝の高さは、第2固定板1bにおける工具係合溝の高さと一致する。
一実施例において、第1上部固定ロッド2aの形状及び第2上部固定ロッド2bの形状は、それぞれ円柱状である。
図11を参照し、図11は、本実施例に係る他のシリコンウエハーの載置装置の構造平面図である。一実施例において、シリコンウエハーをより確実に固定するために、載置装置は、押えロッド5を更に含んでもよい。押えロッド5の第1端が第1固定板1aに固定連結され、押えロッド5の第2端が第2固定板1bに固定連結され、押え板5は、シリコンウエハーの底辺と対向するシリコンウエハーの頂辺を固定するように構成される。
一実施例において、押えロッド5に複数の位置制限溝31が設置され、シリコンウエハーの第4側は、押えロッド5の位置制限溝31に配置される。
以上、図面に示す実施例に基づいて本願の構造、特徴及び効果を説明したが、本願の実施例に過ぎない。
1a 第1固定板
1b 第2固定板
11 工具係合溝
2 上部固定ロッド
2a 第1上部固定ロッド
2b 第2上部固定ロッド
21 位置制限柱
3 下部固定ロッド
31 位置制限溝
32 位置制限突起
33 オーバーフロー穴
34 板体
4 対流穴
5 押えロッド
1b 第2固定板
11 工具係合溝
2 上部固定ロッド
2a 第1上部固定ロッド
2b 第2上部固定ロッド
21 位置制限柱
3 下部固定ロッド
31 位置制限溝
32 位置制限突起
33 オーバーフロー穴
34 板体
4 対流穴
5 押えロッド
Claims (15)
- 対向設置される第1固定板及び第2固定板と、
対向設置される第1上部固定ロッド及び第2上部固定ロッドであって、前記第1上部固定ロッドの第1端が前記第1固定板に固定連結され、前記第1上部固定ロッドの第2端が前記第2固定板に固定連結され、前記第2上部固定ロッドの第1端が前記第1固定板に固定連結され、前記第2上部固定ロッドの第2端が前記第2固定板に固定連結され、前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドのそれぞれに、円柱状の本体と半球状の端部を備える複数の位置制限柱が設置される第1上部固定ロッド及び第2上部固定ロッドと、
前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドの下に設置され、第1端が前記第1固定板に固定連結され、第2端が前記第2固定板に固定連結される下部固定ロッドと、を備える、シリコンウエハーの載置装置。 - 前記第1上部固定ロッド及び前記第2上部固定ロッドに設置される位置制限柱の数は同じであり、且つ1対1対応で配列される、請求項1に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記第1上部固定ロッドは、同側に固定される2つの第1上部固定ロッドを含み、2つの前記第1上部固定ロッドは、鉛直方向に沿って配列され、前記シリコンウエハーの第1側辺を固定するように構成され、前記第2上部固定ロッドは、同側に固定される2つの第2上部固定ロッドを含み、2つの前記第2上部固定ロッドは、鉛直方向に沿って配列され、前記シリコンウエハーの第2側辺を固定するように構成され、且つ、2つの前記第1上部固定ロッドの高さは、それぞれ2つの前記第2上部固定ロッドの高さと1対1対応で同じである、請求項1又は2に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記下部固定ロッドに複数の位置制限溝が設置される、請求項1、2又は3に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 各前記位置制限溝の幅は、前記シリコンウエハーの厚さより大きい、請求項4に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 各前記位置制限溝の幅は、前記シリコンウエハーの厚さの3倍−5倍の範囲にある、請求項5に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記下部固定ロッドの形状が円柱状であり、各前記位置制限溝は、前記下部固定ロッドにおいて溝加工することによって形成される、請求項4、5又は6に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 各前記位置制限溝の長さは、前記下部固定ロッドの直径以下であり、各前記位置制限溝の深さは、前記下部固定ロッドの半径以下である、請求項7に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記下部固定ロッドは、板体と複数の位置制限突起を備え、前記複数の位置制限突起が前記板体に設置され、前記複数の位置制限突起において、隣接する位置制限突起同士の間にそれぞれ位置制限溝が形成される、請求項4、5又は6に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 各前記位置制限突起が半円柱状である、請求項9に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記下部固定ロッドの各前記位置制限溝に、オーバーフロー穴が開設される、請求項4から10のいずれか1項に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記位置制限柱の数は1−300の数値範囲にある、請求項1から11のいずれか1項に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記第1固定板及び前記第2固定板に、それぞれ対流穴が設置される、請求項1から12のいずれか1項に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記第1固定板及び前記第2固定板に、それぞれ前記載置装置を取り出しやすくするための工具係合溝が設置される、請求項1から13のいずれか1項に記載のシリコンウエハーの載置装置。
- 前記第1上部固定ロッドの形状及び前記第2上部固定ロッドの形状は、両方とも円柱状である、請求項1から14のいずれか1項に記載のシリコンウエハーの載置装置。
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