CN2833883Y - 硅片篮 - Google Patents

硅片篮 Download PDF

Info

Publication number
CN2833883Y
CN2833883Y CN 200520066746 CN200520066746U CN2833883Y CN 2833883 Y CN2833883 Y CN 2833883Y CN 200520066746 CN200520066746 CN 200520066746 CN 200520066746 U CN200520066746 U CN 200520066746U CN 2833883 Y CN2833883 Y CN 2833883Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon chip
inserted sheet
fixed head
bar
sheet bar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 200520066746
Other languages
English (en)
Inventor
左国军
黄进权
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen S. C New Energy Equipment Co., Ltd.
Original Assignee
SHENZHEN SC EXACT EQUIPMENT CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHENZHEN SC EXACT EQUIPMENT CO Ltd filed Critical SHENZHEN SC EXACT EQUIPMENT CO Ltd
Priority to CN 200520066746 priority Critical patent/CN2833883Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN2833883Y publication Critical patent/CN2833883Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片生产加工中，存载、周转硅片的硅片篮，其包括设于两端的固定板(1)、分别设于该固定板上端两侧的固定杆(2)、设于该固定板(1)下部的可作上下位置调整的支撑杆(3)，所述固定板(1)中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔(4)，该安装槽孔中设有可沿固定板(1)横向作位置调整的插片杆(5)，该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽(6)，所述固定板(1)的顶端卡接一压杆(7)。本实用新型通过调整插片杆及支撑杆的位置，使得一套硅片盒可适用多种规格的硅片，并且硅片存放量大大增加，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模自动化生产的需要。

Description

硅片篮
技术领域
本实用新型涉及一种用于硅片加工生产中，硅片的放置、存载及周转的工艺周转装置。
背景技术
随着半导体科学技术的飞速的发展，硅片的广泛应用涉及到现代社会的各行各业。因此，硅片的生产加工量不断攀升，随之形成大规模流水生产。通常待加工硅片放置于周转装置中，通过生产线由机械手操作，进行每道工序的流水加工作业。现有的周转装置主要是采用框式结构的硅片盒来放置硅片。这种硅片盒根据不同硅片的径向尺寸设计出对应尺寸的盒子，以便加工使用。然而，随着大规模加工生产的需求，以及不同规格尺寸硅片的出现，传统结构的硅片盒，已不能满足需要，其存在以下明显的缺点：
1、一种硅片盒不能放置不同规格的硅片，即不同规格的硅片必须放置于不同规格的硅片盒中，生产加工中需要配置多种规格的硅片盒，以致加工成本大幅度升高；
2、单个硅片盒安放硅片的数量较少，最多才能放置25片硅片。要想加大硅片盒的容积，扩大放置数量，则由于硅片盒的变形较大，无法满足机械化生产的工艺要求；
3、随着硅片加工工艺的改进和完善，现有硅片盒已不能适应硅片自动干燥工艺的生产要求。
为了满足硅片大规模生产的需要，并适应新工艺的要求，业界非常希望能够出现一种能同时适应多种规格，大存载量、价格便宜的硅片存载及周转装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是要解决现有硅片加工生产过程中，硅片的存载、周转装置规格繁杂、互相不通用、不能满足大规模生产加工需要及不能适应新工艺要求的技术问题，提出一种通用性强，可适应多种规格硅片、能满足大规模加工需求以及成本低廉的硅片篮。
为解决上述问题，本实用新型的技术方案是构造一种硅片篮，其包括设于两端的固定板、设于固定板下部的可作上下位置调整的支撑杆，所述固定板中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔，该安装槽孔中设有可沿固定板横向作位置调整的插片杆，该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽。
其中，所述固定板的顶端卡接一压杆。
所述两侧的插片杆可以沿所述固定板的横向同时作位置调整，也可以一侧的插片杆固定连接，另一侧的插片杆沿所述固定板的横向作位置调整。
所述插片杆外表面的凹槽为梯形凹槽。
本实用新型的较佳实施例，所述的安装槽孔为设有三个位置的横向三环连接形状的安装槽孔。
所述的固定板、压杆、支撑杆和插片杆由耐腐蚀和耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)或耐腐蚀而不耐高温的聚丙稀塑材(PP)制作。
所述插片杆、压杆、支撑光杆的芯部可以设有一金属杆。
本实用新型由两侧的插片杆和下部的支撑杆用来支撑和限定硅片，通过调整两侧插片杆之间的距离，来适应放置不同尺寸规格的硅片；在固定板的顶端卡接一压杆可以防止加工或转运时硅片的向上串动；插片杆外表面设置的梯形凹槽，可以方便平稳顺利将硅片插入或取出；采用由耐腐蚀和耐高温的PVDF、PTFE及PFA塑材制作的硅片盒的零件，可以满足强腐蚀和高温处理的加工工艺要求；在插片杆、压杆、支撑光杆的芯部设置一金属杆，加强了本实用新型的刚度和强度，在各种环境下，尤其是高温环境下不易变形，并可以满足各种生产工艺的要求，本产品可放置多于100片的硅片。本实用新型使得硅片存放量大大增加，一套装置可适用多种规格的硅片。并且结构简单，加工方便，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模机械化生产的需要。
附图说明
下面结合附图和较佳实施例对本实用新型作详细的说明，其中：
图1是本实用新型较佳实施例的立体图；
图2是本实用新型实施例的主视图；
图3是图2的侧视图；
图4是本实用新型实施例固定板的主视图；
图5是本实用新型较佳实施例插片杆凹槽的放大图。
具体实施方式
图1、图2和图3示出了本实用新型较佳实施例的结构，所述的硅片篮，其包括：设于两端的固定板1、用螺钉8连接于该固定板1下部的可作上下三个位置调整的支撑杆3。固定板1中部的两侧纵向分别设有三排横向的安装槽孔4(请参阅图4)，该安装槽孔中用螺钉8连接有可沿固定板1横向作位置调整的插片杆5，两插片杆的外表面分别设有相对的可插放硅片的梯形凹槽6(请参阅图5)，所述固定板1的顶端卡接一可以自由卡入或取出的压杆7。
如图4所示，所述的安装槽孔4为设有三个位置的横向三环连接形状的安装槽孔。插片杆5沿安装槽孔4可同时作横向三个位置的调整，即将两边的插片杆靠拢到最近的第一位置时，硅片篮可用于放置103×103规格硅片9。当将插片杆5置于其他位置时，硅片篮又可以放置125×125规格硅片10或156×156规格硅片11(如图3所示)。将安装槽孔4设计成三环连接形状，便于插片杆5的定位，以确保插片杆5之间距离的精确。本实用新型另一实施例中，也可以将一侧插片杆4固定连接，此时的安装槽孔4就是一个圆孔(图中未示出)，另一侧的插片杆4可沿固定板1的横向作位置调整。这同样可以改变两插片杆之间的距离，达到放置不同规格硅片的目的。固定板1、支撑杆3、压杆7和插片杆5可由耐腐蚀和耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)、也可由耐腐而不耐高温的聚丙稀塑材(PP)制作。插片杆5、支撑光杆3、压杆7注塑成型，而且在其芯部同时设置一金属杆(图中未示出)。
当然，也可将安装槽孔4设计成其他的形状，也可根据需要设置安装槽孔4或支撑杆3纵向及横向位置的数量，只要可以使得插片杆能作横向的位置调整、支撑杆3作纵向的位置的调整，以达到放置不同规格硅片的目的，都是本实用新型所表达的内容。
本实用新型使用时，先根据不同硅片的规格调整好两侧插片杆5之间的距离以及支撑杆3位置，以适应放置不同尺寸规格的硅片。将顶部的压杆7取掉，将硅片沿两插片杆相对的梯形凹槽6自由放入或取出，利用两侧的插片杆和下部的支撑杆来支撑和限制硅片的移动。硅片放好后，再将压杆7卡入固定板1的顶端，这样可以防止加工或转运时，硅片的向上串动。在插片杆5、支撑光杆3、压杆7的芯部设置一加强金属杆，使得本结构的硅片盒不仅可放置多于100片的硅片，而且刚度和强度好，在各种环境下，都不易变形。采用由耐腐蚀和耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)塑材制作的硅片盒的零件，可以满足强腐蚀和高温处理的加工工艺的要求。本实用新型结构简单，加工方便，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模自动化生产的需要。

Claims (7)

1、一种硅片篮，其特征在于，包括设于两端的固定板(1)设于该固定板(1)下部的可作上下位置调整的支撑光杆(3)所述固定板(1)中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔(4)，该安装槽孔中设有可沿固定板(1)横向作位置调整的插片杆(5)，该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽(6)。
2、根据权利要求1所述的硅片篮，其特征在于，所述固定板(1)的顶端卡接一压杆(7)。
3、根据权利要求2所述的硅片篮，其特征在于，所述两侧的插片杆(5)沿所述固定板(1)的横向可同时作位置调整或一侧插片杆(5)固定连接，另一侧的插片杆(5)可沿所述固定板(1)的横向作位置调整。
4、根据权利要求3所述的硅片篮，其特征在于，所述插片杆外表面的凹槽(6)为梯形凹槽。
5、根据权利要求1至4任一项所述的硅片篮，其特征在于，所述的安装槽孔(4)为设有三个位置的横向三环连接形状的安装槽孔。
6、根据权利要求5所述的硅片篮，其特征在于，所述的固定板(1)、支撑杆(3)和插片杆(5)可由耐腐蚀、耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)或耐腐蚀而不耐高温的聚丙稀(PP)塑材制作。
7、根据权利要求6所述的硅片篮，其特征在于，所述插片杆(5)、支撑光杆(3)、压杆(7)的芯部设有一金属杆。
CN 200520066746 2005-11-08 2005-11-08 硅片篮 Expired - Lifetime CN2833883Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200520066746 CN2833883Y (zh) 2005-11-08 2005-11-08 硅片篮

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200520066746 CN2833883Y (zh) 2005-11-08 2005-11-08 硅片篮

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2833883Y true CN2833883Y (zh) 2006-11-01

Family

ID=37198196

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200520066746 Expired - Lifetime CN2833883Y (zh) 2005-11-08 2005-11-08 硅片篮

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN2833883Y (zh)

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102176422A (zh) * 2011-03-23 2011-09-07 北京市塑料研究所 大容量方形硅片承载花篮及其制造方法
CN102172584A (zh) * 2011-02-14 2011-09-07 常州亿晶光电科技有限公司 硅料方段酸洗专用装载装置
CN103021900A (zh) * 2011-09-20 2013-04-03 宜兴市环洲微电子有限公司 石英法篮
CN103165498A (zh) * 2012-07-27 2013-06-19 北京市塑料研究所 一种硅片承载器的制造方法
CN103157640A (zh) * 2011-12-09 2013-06-19 龙焱能源科技（杭州）有限公司 一种玻璃清洗花篮
CN103258765A (zh) * 2013-05-09 2013-08-21 北京市塑料研究所 硅片承载器转换架
CN104368560A (zh) * 2014-11-05 2015-02-25 东晶锐康晶体（成都）有限公司 一种大片晶片提篮
CN105470179A (zh) * 2015-12-30 2016-04-06 无锡赛晶太阳能有限公司 一种新型花篮筐
CN105489538A (zh) * 2015-12-21 2016-04-13 上海提牛机电设备有限公司 改良型芯片腐蚀提篮
CN106783701A (zh) * 2015-11-19 2017-05-31 亿力鑫系统科技股份有限公司 晶圆承载装置
CN107737765A (zh) * 2017-11-13 2018-02-27 常州市杰洋精密机械有限公司 硅片清洗花篮
CN107768479A (zh) * 2016-08-19 2018-03-06 隆基绿能科技股份有限公司 片材承载治具
CN107790435A (zh) * 2017-11-27 2018-03-13 维达力实业(深圳)有限公司 用于玻璃盖板加工的定位篮筐
CN108508174A (zh) * 2018-05-02 2018-09-07 浙江特勤卫星导航科技有限公司 一种北斗智能污水柜
CN108666249A (zh) * 2017-03-31 2018-10-16 奇景光电股份有限公司 晶圆卡匣及其制造方法
CN108735856A (zh) * 2017-04-21 2018-11-02 隆基绿能科技股份有限公司 硅片检测方法及其所用的硅片承载装置
CN109292455A (zh) * 2018-09-20 2019-02-01 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于结晶自动线的片盒
EP3428960A3 (en) * 2017-07-14 2019-02-06 Beijing Juntai Innovation Technology Co., Ltd Wafer supporting apparatus
CN110014333A (zh) * 2019-05-16 2019-07-16 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 一种自动流体扫光机
CN110026832A (zh) * 2019-05-16 2019-07-19 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 一种流体扫光机
CN110052901A (zh) * 2019-05-16 2019-07-26 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 自动上下料流体扫光机自动线
CN110211907A (zh) * 2019-05-24 2019-09-06 上海提牛机电设备有限公司 一种芯片卡匣及晶圆清洗设备
CN110600411A (zh) * 2019-09-18 2019-12-20 江西展宇新能源股份有限公司 一种用于快速制绒的单晶花篮及其插片杆
TWI695446B (zh) * 2018-09-17 2020-06-01 利達國際股份有限公司 基板載具及其定位件與支撐件
CN114558865A (zh) * 2021-12-16 2022-05-31 杭州大和热磁电子有限公司 一种石英片清洗固定装置及固定方法
CN115831836A (zh) * 2022-12-07 2023-03-21 友上智能科技(苏州)有限公司 一种自动调节片篮角度的硅片湿制程搬运机器人

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102172584A (zh) * 2011-02-14 2011-09-07 常州亿晶光电科技有限公司 硅料方段酸洗专用装载装置
CN102176422B (zh) * 2011-03-23 2012-10-03 北京市塑料研究所 大容量方形硅片承载花篮及其制造方法
CN102176422A (zh) * 2011-03-23 2011-09-07 北京市塑料研究所 大容量方形硅片承载花篮及其制造方法
CN103021900B (zh) * 2011-09-20 2015-06-17 宜兴市环洲微电子有限公司 石英法篮
CN103021900A (zh) * 2011-09-20 2013-04-03 宜兴市环洲微电子有限公司 石英法篮
CN103157640A (zh) * 2011-12-09 2013-06-19 龙焱能源科技（杭州）有限公司 一种玻璃清洗花篮
CN103165498B (zh) * 2012-07-27 2015-07-15 北京市塑料研究所 一种硅片承载器的制造方法
CN103165498A (zh) * 2012-07-27 2013-06-19 北京市塑料研究所 一种硅片承载器的制造方法
CN103258765A (zh) * 2013-05-09 2013-08-21 北京市塑料研究所 硅片承载器转换架
CN103258765B (zh) * 2013-05-09 2016-06-01 北京市塑料研究所 硅片承载器转换架
CN104368560A (zh) * 2014-11-05 2015-02-25 东晶锐康晶体（成都）有限公司 一种大片晶片提篮
CN106783701A (zh) * 2015-11-19 2017-05-31 亿力鑫系统科技股份有限公司 晶圆承载装置
CN105489538B (zh) * 2015-12-21 2018-05-11 上海提牛机电设备有限公司 芯片腐蚀提篮
CN105489538A (zh) * 2015-12-21 2016-04-13 上海提牛机电设备有限公司 改良型芯片腐蚀提篮
CN105470179A (zh) * 2015-12-30 2016-04-06 无锡赛晶太阳能有限公司 一种新型花篮筐
CN107768479A (zh) * 2016-08-19 2018-03-06 隆基绿能科技股份有限公司 片材承载治具
CN107768479B (zh) * 2016-08-19 2021-01-05 隆基绿能科技股份有限公司 片材承载治具
CN108666249A (zh) * 2017-03-31 2018-10-16 奇景光电股份有限公司 晶圆卡匣及其制造方法
CN108735856A (zh) * 2017-04-21 2018-11-02 隆基绿能科技股份有限公司 硅片检测方法及其所用的硅片承载装置
EP3428960A3 (en) * 2017-07-14 2019-02-06 Beijing Juntai Innovation Technology Co., Ltd Wafer supporting apparatus
CN107737765A (zh) * 2017-11-13 2018-02-27 常州市杰洋精密机械有限公司 硅片清洗花篮
CN107790435A (zh) * 2017-11-27 2018-03-13 维达力实业(深圳)有限公司 用于玻璃盖板加工的定位篮筐
CN107790435B (zh) * 2017-11-27 2024-04-05 维达力实业(深圳)有限公司 用于玻璃盖板加工的定位篮筐
CN108508174B (zh) * 2018-05-02 2023-09-29 浙江特勤卫星导航科技有限公司 一种北斗智能污水柜
CN108508174A (zh) * 2018-05-02 2018-09-07 浙江特勤卫星导航科技有限公司 一种北斗智能污水柜
TWI695446B (zh) * 2018-09-17 2020-06-01 利達國際股份有限公司 基板載具及其定位件與支撐件
CN109292455A (zh) * 2018-09-20 2019-02-01 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于结晶自动线的片盒
CN110052901A (zh) * 2019-05-16 2019-07-26 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 自动上下料流体扫光机自动线
CN110026832A (zh) * 2019-05-16 2019-07-19 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 一种流体扫光机
CN110014333A (zh) * 2019-05-16 2019-07-16 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 一种自动流体扫光机
CN110211907A (zh) * 2019-05-24 2019-09-06 上海提牛机电设备有限公司 一种芯片卡匣及晶圆清洗设备
CN110600411A (zh) * 2019-09-18 2019-12-20 江西展宇新能源股份有限公司 一种用于快速制绒的单晶花篮及其插片杆
CN114558865A (zh) * 2021-12-16 2022-05-31 杭州大和热磁电子有限公司 一种石英片清洗固定装置及固定方法
CN115831836A (zh) * 2022-12-07 2023-03-21 友上智能科技(苏州)有限公司 一种自动调节片篮角度的硅片湿制程搬运机器人
CN115831836B (zh) * 2022-12-07 2024-04-19 友上智能科技(苏州)有限公司 一种自动调节片篮角度的硅片湿制程搬运机器人

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN2833883Y (zh) 硅片篮
CN203048139U (zh) 管装smd元件平管入料机构
CN207930663U (zh) 一种气浮对中定位装置
CN109896295A (zh) 一种海绵自动供料装置
CN201141945Y (zh) 框架式可调清洗篮
CN206263247U (zh) 一种铸件模具自动脱料装置
CN202507345U (zh) 一种高精度x/y轴调节系统
CN219258154U (zh) 一种丝锭天轨丝架
CN215095936U (zh) 一种纸箱板抓取机械手
CN206982644U (zh) 一种用于支撑顶棚用支撑件及结构
CN202144385U (zh) 食品传送机械用可调节的挡板结构
CN206345453U (zh) 一种用于手机屏幕玻璃的运输架
CN202384375U (zh) 带有金属框架的组装式大容量硅片花篮
CN209829902U (zh) 一种铜丝线切割缩径加工生产线
CN206590517U (zh) 管状物撷取送料装置
CN104648995B (zh) 钢珠滑轨珠条分料机
CN210671445U (zh) 一种便于收纳的育苗装置
CN206853735U (zh) 一种用于辅助基底溶剂热生长的支架
CN208036835U (zh) 一种塑料连接器手动装管治具
CN204954794U (zh) 一种便于存取玻璃的汽车玻璃存放架
CN206839634U (zh) 零件夹持装置
CN113086728B (zh) 一种瓦楞纸板承托式逐张移取装置
CN208663029U (zh) 紧固件自动锁付机构及自动锁付生产线
CN212859409U (zh) 一种用于配合机械手的进料机存放装置
CN205685638U (zh) 一种软管的注头注塑机

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP02 Change in the address of a patent holder

Address after: First floor, A13 building, four hang Lin Hang industrial area, Baoan District, Shenzhen, 518000

Patentee after: Shenzhen SC Exact Equipment Co., Ltd.

Address before: Guangdong city of Shenzhen province Fuyong baishixia Eastern New Development Zone ninth, zip code: 518000

Patentee before: Shenzhen SC Exact Equipment Co., Ltd.

ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SHENZHEN JIEJIA WEICHUANG MICROELECTRONICS EQUIPME

Free format text: FORMER OWNER: SHENZHEN SC EXACT EQUIPMENT CO., LTD.

Effective date: 20110318

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 518000 1/F, BUILDING A13, LINPOKENG INDUSTRIAL AREA, HAOSI, SHAJING SUBDISTRICT, BAOAN DISTRICT, SHENZHEN CITY TO: 518000 1/F, BUILDING A4, LINPOKENG INDUSTRIAL AREA, HAOSI, SHAJING SUBDISTRICT, BAOAN DISTRICT, SHENZHEN CITY

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20110318

Address after: 518000, Shenzhen Baoan District manhole Street oyster four Lin slope pit Industrial Zone, A4 building, first floor

Patentee after: Shenzhen Jiejiachuang Microelectronic Equipment Co., Ltd.

Address before: 518000, Shenzhen Baoan District manhole Street oyster four Lin slope pit Industrial Zone, A13 building, first floor

Patentee before: Shenzhen SC Exact Equipment Co., Ltd.

C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: SHENZHEN S.C NEW ENERGY TECHNOLOGY CORPORATION

Free format text: FORMER NAME: SHENZHEN JIEJIA WEICHUANG MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.

CP03 Change of name, title or address

Address after: 518000, Guangdong, Shenzhen province Baoan District manhole Street oyster four Lin slope pit Industrial Zone A4 and No. A6 workshop

Patentee after: Shenzhen S. C New Energy Equipment Co., Ltd.

Address before: 518000, Shenzhen Baoan District manhole Street oyster four Lin slope pit Industrial Zone, A4 building, first floor

Patentee before: Shenzhen Jiejiachuang Microelectronic Equipment Co., Ltd.

CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20061101

EXPY Termination of patent right or utility model