CN201430157Y - 一种硅晶承载装置 - Google Patents
一种硅晶承载装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201430157Y CN201430157Y CN2009201337873U CN200920133787U CN201430157Y CN 201430157 Y CN201430157 Y CN 201430157Y CN 2009201337873 U CN2009201337873 U CN 2009201337873U CN 200920133787 U CN200920133787 U CN 200920133787U CN 201430157 Y CN201430157 Y CN 201430157Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- end plate
- gag lever
- lever post
- silicon wafer
- bogey
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种硅晶承载装置,该装置包括有第一端板、第二端板,在第一端板和第二端板之间上端平行设置有第一限位杆、第二限位杆,且第一端板、第一限位杆、第二端板、第二限位杆依次呈矩形固定连接,形成容置硅晶的空间;在第一端板和第二端板之间下端设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆和第二限位杆平行的支撑杆;第一限位杆、第二限位杆相对之一侧均开设有用以装卡硅晶的牙口;第一端板、第二端板上端之两侧均开设有卡勾。该承载装置结构简洁,利于清洗液流动,本身重量和尺寸小,长期使用不会变形、不会污染硅片。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种承载装置,具体而言,是关于一种方形太阳能电池硅晶的承载装置。
背景技术
目前,太阳能电池的生产和应用是世界上增长最快的产业之一。太阳能电池大都采用半导体材料制造,其中多晶硅电池约占50%左右,是太阳能电池中成本低、产量增长最快的一个品种。。
在太阳能硅电池的生产工艺中,需要使用硅晶承载器,在一定温度下的NaOH溶液、HCI溶液、HF溶液中对硅晶进行清洗。该承载器需满足硅晶转换的要求,并长期使用不变形,使用时不污染硅晶。
现有的硅晶承载器都是用于半导体硅晶及晶片的承载,这些硅晶均为圆形,其承载结构无法满足方形硅晶的承载要求;同时,现有承载器构造过于复杂,本身重量过重;承载器的结构形状不利于清洗液的顺畅流动,容易造成清洗液滞留在硅晶上。
此外,现有的硅晶承载器其生产工艺需要用液体和气体对承载器内硅晶浸泡洗涤,其中的化学洗液含有强酸、强碱等腐蚀性液体,且需在高温(180℃)下使用。
因此,盛装硅晶的承载器,要求不但能够长期耐受清洗液的温度、清洗液的酸、碱腐蚀,还要有较强的刚性、强度精确的外形尺寸和严格的产品重量,以满足硅晶生产线和清洗设备的要求。
实用新型内容
鉴于上述方形硅晶承载器的特殊需求以及现有技术存在的不足,本实用新型提出了一种硅晶承载装置,该承载装置结构简洁,利于清洗液流动,且本身重量和尺寸较小,长期使用不会变形、不会污染硅片。
一种硅晶承载装置,其特征在于,该装置包括有第一端板、第二端板,在第一端板和第二端板之间上端平行设置有第一限位杆、第二限位杆,且第一端板、第一限位杆、第二端板、第二限位杆依次呈矩形固定连接,形成容置硅晶的空间;在第一端板和第二端板之间下端设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆和第二限位杆平行的支撑杆;所述第一限位杆、第二限位杆相对之一侧均开设有用以装卡硅晶的牙口;所述第一端板、第二端板上端之两侧均开设有卡勾。
进一步,所述第一限位杆、第二限位杆之间的距离为所承载的硅晶的长度。
进一步,所述支撑杆与第一限位杆、第二限位杆之间的距离小于或等于所承载的硅晶的高度。
进一步,所述第一端板、第二端板的材料为聚四氟乙烯。
进一步,所述第一限位杆、第二限位杆、支撑杆的材料为氟塑料。
进一步,所述第一端板、第二端板的下端均开设有导流孔。
进一步,所述牙口是平滑结构。
进一步,在第一限位杆、第二限位杆与支撑杆之间有水平平行设置的第三限位杆、第四限位杆,分别位于第一限位杆、第二限位杆的正下方。
采用本实用新型的硅晶承载装置,由于其结构主要为端板和杆结构组成,结构简洁,刚性较强,使得其本身重量和尺寸较小;此外,由于在承载装置底部开设有导流孔,保证了清洗液的通畅流动,有效的避免了清洗液滞留。
附图说明
以下结合附图对本实用新型的硅晶承载装置的结构特征和性能加以详细说明。
图1为本实用新型的硅晶承载装置的立体视图。
具体实施方式
请参阅图1,为本实用新型的硅晶承载装置示意图。
该承载装置包括有第一端板1、第二端板2,在第一端板1和第二端板2之间上端水平平行设置有第一限位杆3、第二限位杆4,且第一端板1、第一限位杆3、第二端板2、第二限位杆4依次呈矩形固定连接,形成容置硅晶(图中未示出硅晶)的空间。第一限位杆3、第二限位杆4之间的距离为所承载的硅晶的长度。
在第一端板1和第二端板2下端设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆3和第二限位杆4平行的支撑杆5。该支撑杆5与第一限位杆3、第二限位杆4之间的距离小于或等于所承载的硅晶的高度。
为了保证承载装置能够满足硅晶的高温、强酸、强碱和高刚度生产工艺要求(在150℃以下的NaOH溶液、HCl溶液、HF溶液中对硅晶进行清洗、转换),第一端板1、第二端板2的材料为聚四氟乙烯,第一限位杆3、第二限位杆4、支撑杆5的材料为氟塑料。
在所述第一限位杆3、第二限位杆4相对之一侧均开设有用以装卡硅晶的牙口6,该牙口6是平滑过渡的,使得方形硅晶在硅晶承载装置内可以随意插入、取出,硅晶在进出承载器方向并不完全垂直时,可以自动调整至正确位置,顺利进出,没有阻碍,也不至于损坏硅晶。
在第一端板1、第二端板2上端之两侧均开设有卡勾7。该卡勾7用来放置夹持工具以操作和紧固该硅晶承载装置。
在第一端板1、第二端板2的下端均开设有导流孔8。由于方形硅晶底部平直,很容易造成清洗液滞留。因此,在承载装置底部开设导流孔8之后,能够将清洗液通畅导出,避免滞留。
为了在清洗时,更好的固定硅晶,在第一限位杆3、第二限位杆4与支撑杆5之间有水平平行设置的第三限位杆9、第四限位杆10,分别位于第一限位杆3、第二限位杆4的正下方。
综合以上,本实用新型提供的硅晶承载装置,由于其结构主要为端板和杆结构组成,结构简洁,刚性和强度都较高,使得其本身重量和尺寸较小;此外,由于在承载装置底部开设有导流孔,保证了清洗液的通畅流动,有效的避免了清洗液滞留。
Claims (8)
1、一种硅晶承载装置,其特征在于,该装置包括有第一端板、第二端板,在第一端板和第二端板之间上端平行设置有第一限位杆、第二限位杆,且第一端板、第一限位杆、第二端板、第二限位杆依次呈矩形固定连接,形成容置硅晶的空间;在第一端板和第二端板之间下端设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆和第二限位杆平行的支撑杆;所述第一限位杆、第二限位杆相对之一侧均开设有用以装卡硅晶的牙口;所述第一端板、第二端板上端之两侧均开设有卡勾。
2、如权利要求1所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一限位杆、第二限位杆之间的距离为所承载的硅晶的长度。
3、如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述支撑杆与第一限位杆、第二限位杆之间的距离小于或等于所承载的硅晶的高度。
4、如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一端板、第二端板的材料为聚四氟乙烯。
5、如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一限位杆、第二限位杆、支撑杆的材料为氟塑料。
6、如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一端板、第二端板的下端均开设有导流孔。
7、如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述牙口是平滑结构。
8、如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,在第一限位杆、第二限位杆与支撑杆之间有水平平行设置的第三限位杆、第四限位杆,分别位于第一限位杆、第二限位杆的正下方。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009201337873U CN201430157Y (zh) | 2009-07-05 | 2009-07-05 | 一种硅晶承载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009201337873U CN201430157Y (zh) | 2009-07-05 | 2009-07-05 | 一种硅晶承载装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201430157Y true CN201430157Y (zh) | 2010-03-24 |
Family
ID=42033899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009201337873U Expired - Fee Related CN201430157Y (zh) | 2009-07-05 | 2009-07-05 | 一种硅晶承载装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201430157Y (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107768479A (zh) * | 2016-08-19 | 2018-03-06 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 片材承载治具 |
EP3428960A3 (en) * | 2017-07-14 | 2019-02-06 | Beijing Juntai Innovation Technology Co., Ltd | Wafer supporting apparatus |
-
2009
- 2009-07-05 CN CN2009201337873U patent/CN201430157Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107768479A (zh) * | 2016-08-19 | 2018-03-06 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 片材承载治具 |
CN107768479B (zh) * | 2016-08-19 | 2021-01-05 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 片材承载治具 |
EP3428960A3 (en) * | 2017-07-14 | 2019-02-06 | Beijing Juntai Innovation Technology Co., Ltd | Wafer supporting apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201655813U (zh) | 晶体硅太阳能电池钝化膜 | |
CN201430157Y (zh) | 一种硅晶承载装置 | |
CN200967049Y (zh) | 太阳能电池硅片专用清洗篮 | |
CN207149539U (zh) | 一种硅片用清洗花篮 | |
CN201887071U (zh) | 一种太阳能槽式清洗制绒设备 | |
CN207511376U (zh) | 一种接驳机 | |
CN202384375U (zh) | 带有金属框架的组装式大容量硅片花篮 | |
CN203045573U (zh) | 夹钳装置 | |
CN208580720U (zh) | 一种大载片量石英舟 | |
CN201780983U (zh) | 大容量硅晶片承载装置 | |
CN201555503U (zh) | 蘑菇头型密封导流支架 | |
CN203179851U (zh) | 一种可以防止硅片悬浮的花篮 | |
CN202332880U (zh) | 一种卡槽式太阳能电池组件安装结构 | |
CN209367302U (zh) | 一种高效稳定的搬舟机构 | |
CN205508774U (zh) | 一种半导体晶片清洗花篮 | |
CN202616272U (zh) | 一种小花篮放置结构 | |
CN202429723U (zh) | 一种新型机械手 | |
CN218471908U (zh) | 一种硅片提篮 | |
CN205146832U (zh) | 一种硅片清洗用花篮 | |
CN204220585U (zh) | 一种清洗夹持装置 | |
CN201611665U (zh) | 太阳电池硅片制绒工艺用工装 | |
CN204836073U (zh) | 一种带有升降清洗装置的太阳能光伏板 | |
CN201749848U (zh) | 一种用于制造整流器的引线框架 | |
CN219443764U (zh) | 一种用于半导体加工的浸锡机除尘锡池 | |
CN210722967U (zh) | 一种用于芯片的清洗装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
DD01 | Delivery of document by public notice | ||
DD01 | Delivery of document by public notice |
Addressee: Shenzhen Mingschin High-Polymer Technology Co., Ltd. Document name: Notification to Pay the Fees |
|
DD01 | Delivery of document by public notice | ||
DD01 | Delivery of document by public notice |
Addressee: Shenzhen Mingschin High-Polymer Technology Co., Ltd. Document name: Notification of Termination of Patent Right |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100324 Termination date: 20170705 |