CN208580720U - 一种大载片量石英舟 - Google Patents

Abstract

一种大载片量石英舟，包括两块平行布置的端板，两块端板之间固设有中间定位棒、左侧上定位棒和右侧上定位棒，中间定位棒位于左侧上定位棒和右侧上定位棒之间，左侧上定位棒与中间定位棒之间设有左侧下定位棒，右侧上定位棒与中间定位棒之间设有右侧下定位棒，左侧下定位棒和右侧下定位棒的高度低于中间定位棒的高度，左侧下定位棒和右侧下定位棒的上部、左侧上定位棒的右侧、右侧上定位棒的左侧、以及中间定位棒的左右两侧均沿轴向设有多个用于定位硅片的定位部，左侧上定位棒、左侧下定位棒及中间定位棒左侧的各定位部对应布置，右侧上定位棒、右侧下定位棒及中间定位棒右侧的各定位部对应布置。本实用新型具有成本低、容量大、可靠性高等优点。

Description

一种大载片量石英舟

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种大载片量石英舟。

背景技术

扩散/氧化是太阳能电池制造过程中至关重要的一步，现有扩散/氧化炉设备广泛应用于125×125mm或156×156mm方形硅片太阳能器件制造中的扩散、氧化、退火工艺，因而提高扩散/氧化炉的产能具有重大意义。石英舟作为扩散/氧化炉设备的载片石英器件，广泛应用于光伏及半导体行业，其结构形式有水平插片和菱形插片两种，由于自动化设备的不断发展进步，目前行业内普遍采用插片机装片，取代了以往效率极低的人工手动插片。石英舟载片量从最初的400片、500片、1000片上升至目前广泛采用的1200片，如何进一步提高石英舟的载片量从而提升设备产能成为亟待解决的问题。

现阶段采用的1200片石英舟，长度达到1594mm，满载时石英舟总重量达到23Kg。石英舟的长度直接决定了反应室和推舟系统(用于将装载硅片的石英舟推送至反应室内进行工艺，工艺完成后从反应室内取出石英舟)的长度，继续加长石英舟将导致设备整体加长，增加设备占地面积和成本；同时推舟系统为悬臂结构，载片石英舟的主要承重结构为碳化硅杆/桨，碳化硅杆/桨的悬臂长度增加，则碳化硅杆/桨的前端变形量会大幅度增加，容易发生断桨或拖舟现象，导致设备可靠性降低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、成本低、容量大、可靠性高的石英舟。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种大载片量石英舟，包括两块平行布置的端板，两块端板之间固设有中间定位棒、左侧上定位棒和右侧上定位棒，所述中间定位棒位于所述左侧上定位棒和右侧上定位棒之间，所述左侧上定位棒与所述中间定位棒之间设有至少一根左侧下定位棒，所述右侧上定位棒与所述中间定位棒之间设有至少一根右侧下定位棒，所述左侧下定位棒和右侧下定位棒的高度低于中间定位棒的高度，所述左侧下定位棒和右侧下定位棒的上部、左侧上定位棒的右侧、右侧上定位棒的左侧、以及中间定位棒的左右两侧均沿轴向设有多个用于定位硅片的定位部，所述左侧上定位棒、左侧下定位棒及中间定位棒左侧的各定位部一一对应布置，所述右侧上定位棒、右侧下定位棒及中间定位棒右侧的各定位部一一对应布置。

作为上述技术方案的进一步改进：两块所述端板之间设有至少一块支撑板，所述支撑板中部穿设有中间加强筋、且左右两侧穿设有侧边加强筋，所述中间加强筋和所述侧边加强筋两端分别与两块所述端板固定连接，所述支撑板中部设有中间上凸部、且左右两侧设有侧边上凸部，所述中间上凸部与所述中间定位棒固定连接，左侧的所述侧边上凸部与所述左侧上定位棒固定连接，右侧的所述侧边上凸部与所述右侧上定位棒固定连接。

作为上述技术方案的进一步改进：各所述端板的外侧设有供机械手取放石英舟的取放部。

作为上述技术方案的进一步改进：所述取放部包括两个圆柱状凸起。

作为上述技术方案的进一步改进：所述定位部为凹槽结构。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型公开的大载片量石英舟，包括左侧上定位棒、右侧上定位棒、左侧下定位棒、右侧下定位棒以及中间定位棒，中间定位棒比左侧下定位棒、右侧下定位棒高，相关联的各定位棒上的各定位部一一对应设置，从而可形成左右双排结构，硅片可以并排布置，载片量是现有石英舟的两倍，已有的自动插片设备无需过多改进即可兼容，同时仅增加宽度方向尺寸，而不增加长度方向尺寸，可以避免增加设备长度导致的占地面积和成本增加，避免增加推舟杆/桨的悬臂长度，不易出现断桨或拖舟现象，具有较高的可靠性。

附图说明

图1是本实用新型大载片量石英舟的立体结构示意图。

图2是本实用新型大载片量石英舟的俯视结构示意图。

图3是图2中A-A的放大图。

图4是本实用新型中的支撑板的结构示意图。

图中各标号表示：1、端板；2、中间定位棒；31、左侧上定位棒；32、右侧上定位棒；41、左侧下定位棒；42、右侧下定位棒；5、定位部；6、支撑板；61、中间上凸部；62、侧边上凸部；71、中间加强筋；72、侧边加强筋；8、取放部；9、硅片；10、推舟杆/桨。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1至图4示出了本实用新型大载片量石英舟的一种实施例，本实施例的大载片量石英舟，包括两块平行布置的端板1，两块端板1之间固设有中间定位棒2、左侧上定位棒31和右侧上定位棒32，中间定位棒2位于左侧上定位棒31和右侧上定位棒32之间，左侧上定位棒31与中间定位棒2之间设有至少一根左侧下定位棒41，右侧上定位棒32与中间定位棒2之间设有至少一根右侧下定位棒42，左侧下定位棒41和右侧下定位棒42的高度低于中间定位棒2的高度，中间定位棒2优选与左侧上定位棒31和右侧上定位棒32平齐，左侧下定位棒41和右侧下定位棒42的上部、左侧上定位棒31的右侧、右侧上定位棒32的左侧、以及中间定位棒2的左右两侧均沿轴向设有多个用于定位硅片9的定位部5，左侧上定位棒31、左侧下定位棒41及中间定位棒2左侧的各定位部5一一对应布置，右侧上定位棒32、右侧下定位棒42及中间定位棒2右侧的各定位部5一一对应布置，也即对硅片9的左侧、右侧及下侧进行定位，并保证各硅片9相互平行放置。作为优选的技术方案，左侧下定位棒41和右侧下定位棒42均设置两根，相较于仅设置一根的方案，能够对硅片9下部提供更好的支撑，但是会增加成本和石英舟的自身重量；大载片量石英舟部件之间的固定连接采用焊接，要求整体退火以控制焊接变形，同时与方形硅片9配装加工，一个定位部5内对应两片硅片9，倾斜角度优选3°；为了适应自动插片机的要求，各定位棒上的第一个定位部5距离端板1的位置误差小于±0.05mm，每200个定位部5的累计误差不得超过0.1mm。

该大载片量石英舟包括左侧上定位棒31、右侧上定位棒32、左侧下定位棒41、右侧下定位棒42以及中间定位棒2，中间定位棒2比左侧下定位棒41、右侧下定位棒42高，相关联的各定位棒上的各定位部5(例如左侧上定位棒31、左侧下定位棒41和中间定位棒2左侧的定位部5)一一对应设置，从而可形成左右双排结构，硅片9可以并排布置，载片量是现有石英舟的两倍，可达到2400片，已有的自动插片设备无需过多改进即可兼容，同时仅增加宽度方向尺寸，而不增加长度方向尺寸，可以避免增加设备长度导致的占地面积和成本增加，避免增加推舟杆/桨10的悬臂长度，不易出现断桨或拖舟现象，具有较高的可靠性。

进一步地，两块端板1之间设有至少一块支撑板6，支撑板6中部穿设有中间加强筋71、且左右两侧穿设有侧边加强筋72，中间加强筋71和侧边加强筋72两端分别与两块端板1固定连接，支撑板6中部设有中间上凸部61、且左右两侧设有侧边上凸部62，中间上凸部61与中间定位棒2固定连接，左侧的侧边上凸部62与左侧上定位棒31固定连接，右侧的侧边上凸部62与右侧上定位棒32固定连接。随着石英舟的载片量增加了一倍，设置支撑板6可以提高石英舟的整体性，具有良好的机械强度和承载能力，不易变形和晃动，且不过多增加自身重量。作为优选的技术方案，两块端板1之间均匀设置两块支撑板6。

进一步地，本实施例中，各端板1的外侧设有供机械手取放石英舟的取放部8。机械手可以利用取放部8将石英舟放置于推舟杆/桨10上。作为优选的技术方案，取放部8包括两个圆柱状凸起，圆柱状凸起与端板1采用焊接。本实施例中，定位部5为凹槽结构，结构简单，插片取片方便。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (5)

1.一种大载片量石英舟，其特征在于：包括两块平行布置的端板(1)，两块端板(1)之间固设有中间定位棒(2)、左侧上定位棒(31)和右侧上定位棒(32)，所述中间定位棒(2)位于所述左侧上定位棒(31)和右侧上定位棒(32)之间，所述左侧上定位棒(31)与所述中间定位棒(2)之间设有至少一根左侧下定位棒(41)，所述右侧上定位棒(32)与所述中间定位棒(2)之间设有至少一根右侧下定位棒(42)，所述左侧下定位棒(41)和右侧下定位棒(42)的高度低于中间定位棒(2)的高度，所述左侧下定位棒(41)和右侧下定位棒(42)的上部、左侧上定位棒(31)的右侧、右侧上定位棒(32)的左侧、以及中间定位棒(2)的左右两侧均沿轴向设有多个用于定位硅片(9)的定位部(5)，所述左侧上定位棒(31)、左侧下定位棒(41)及中间定位棒(2)左侧的各定位部(5)一一对应布置，所述右侧上定位棒(32)、右侧下定位棒(42)及中间定位棒(2)右侧的各定位部(5)一一对应布置。

2.根据权利要求1所述的大载片量石英舟，其特征在于：两块所述端板(1)之间设有至少一块支撑板(6)，所述支撑板(6)中部穿设有中间加强筋(71)、且左右两侧穿设有侧边加强筋(72)，所述中间加强筋(71)和所述侧边加强筋(72)两端分别与两块所述端板(1)固定连接，所述支撑板(6)中部设有中间上凸部(61)、且左右两侧设有侧边上凸部(62)，所述中间上凸部(61)与所述中间定位棒(2)固定连接，左侧的所述侧边上凸部(62)与所述左侧上定位棒(31)固定连接，右侧的所述侧边上凸部(62)与所述右侧上定位棒(32)固定连接。

3.根据权利要求1或2所述的大载片量石英舟，其特征在于：各所述端板(1)的外侧设有供机械手取放石英舟的取放部(8)。

4.根据权利要求3所述的大载片量石英舟，其特征在于：所述取放部(8)包括两个圆柱状凸起。

5.根据权利要求1或2所述的大载片量石英舟，其特征在于：所述定位部(5)为凹槽结构。