CN114721231B - 一种用于光刻版清洗的工装夹具 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于光刻版清洗的工装夹具,包括顶部卡槽板、一号矩形槽、腔体、一号凹槽和容纳槽，所述一号支撑板的外壁安装有滚轮，所述二号支撑板的外壁安装有一号电机，所述一号电机的输出端安装有转轮，所述二号矩形槽的内壁安装有一号压力传感器，所述一号压力传感器的外壁安装有一号气缸。本发明通过安装有滚轮、转轮和一号电机，感应器检测到光刻版时，一号气缸带动转轮移动，使得光刻版被挤压在滚轮和转轮之间，夹持力度合适时，此时一号电机旋转带动转轮旋转，转轮旋转带动光刻版缓缓向下移动，此结构完成了光刻版的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害。

Description

一种用于光刻版清洗的工装夹具

技术领域

本发明涉及工装夹具技术领域，具体为一种用于光刻版清洗的工装夹具。

背景技术

光刻版是半导体芯片制造过程中必不可少的工具，接触式曝光方式使得光刻版在使用中被残胶、油污等污染，污染后不仅会影响曝光质量，还会减少光刻版使用寿命。所以受污染的光刻版需要使用化学试剂进行清洗，目前清洗方法是将一块光刻版放置在片架中，片架静置于硫酸槽中清洗，这种方法清洗效率低，片架在酸槽中拿取不方便，且有安全隐患。

现有的工装夹具存在的缺陷是：

1、专利文件CN215659944U公开了一种工装夹具，“该工装夹具包括底座、驱动件、活动件、和面板，面板设于底座上，驱动件设于底座上方，活动件与驱动件连接，且活动件位于底座与面板之间，面板上方设有至少一个固定孔，至少一个固定孔用于放置待紧固件；其中，驱动件可在第一状态和第二状态之间切换，在驱动件处于第一状态时，活动件处于第一位置，活动件与待紧固件不接触；在驱动件处于第二状态时，活动件处于第二位置，活动件与待紧固件抵接。本实用新型提供的技术方案解决了现有的装配方式较为繁琐，导致生产效率低下的问题”，但是其工装夹具无自动装料结构，使得光刻版手动装入易磕碰损坏；

2、专利文件CN214922454U公开了一种工装夹具，“包括装夹台，用于放置工件，装夹台上表面开设有收纳槽，装夹台一侧设有固定块；夹具臂，活动连接于装夹台上，夹具臂能与固定块配合以夹紧工件，夹具臂与收纳槽相匹配；移动驱动件，与夹具臂相连，用于驱动夹具臂在装夹台上移动。根据本实用新型提供的工装夹具，夹具臂可以收进装夹台，避免碰撞，结构简单，省时省力”，但是其工装夹具无自动夹持结构，使得光刻版在清洗时易晃动，影响清理效果；

3、专利文件CN214558584U公开了一种工装夹具，“包括夹具主体和提升装置，所述夹具主体包括底板、压紧机构和磁吸装置，所述磁吸装置和所述压紧机构设置在所述底板上，所述压紧机构用于压紧工件，所述磁吸装置用于顶托在所述工件底部；所述提升装置包括上压板和转动提升机构，所述上压板用于盖设在所述工件顶部并与所述磁吸装置吸附，所述上压板与所述转动提升机构可脱卸连接，所述转动提升机构用于带动所述上压板移动。本实用新型的工装夹具，通过磁吸装置透过工件吸住上压板，能够有效保障工件在被焊接的过程中保持平整不变形”，但是其工装夹具无自动伸展结构，需人为控制该工装夹具浸入速度，使得硫酸易溅起，有一定的危险性；

4、专利文件CN213289917U公开了一种工装夹具，“包括底座，底座的上侧壁面固定连接有夹持机构，夹持机构包括主轴，主轴的外侧壁面固定连接有传动柱，传动柱的外侧壁面固定连接有齿轮带和蜗轮带，蜗轮带的外侧壁面啮合连接有蜗杆，蜗杆转动连接于底座的内侧壁面，主轴的上侧壁面固定连接有行动盘，行动盘的内侧壁面啮合连接有卡爪，卡爪滑动连接于滑动盘的内侧壁面，底座的内侧壁面卡接有传动机构，本夹具不仅可以进行两个夹持机构的单独夹持工作，还可通过传动机构，调整为使用传动机构对两个夹持机构进行同步夹持操作，用以解决在进行多个工件加工时，需逐个进行操作的问题，可提高工作效率”，但是其工装夹具无收集结构，使得清理后未溶解的颗粒易对后续的清洗造成影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于光刻版清洗的工装夹具，以解决上述背景技术中提出的无自动装料结构、无自动夹持结构、无自动伸展结构和无收集结构问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻版清洗的工装夹具，包括顶部卡槽板、一号矩形槽、腔体、一号凹槽和容纳槽，所述顶部卡槽板的内壁开设有一号矩形槽；

所述一号矩形槽的内壁安装有一号支撑板，所述一号支撑板的外壁安装有滚轮，所述顶部卡槽板的内壁开设有二号矩形槽，所述二号矩形槽的内壁安装有一号伸缩杆，所述一号伸缩杆的一端安装有二号支撑板，所述二号支撑板的外壁安装有一号电机，所述一号电机的输出端安装有转轮，所述二号矩形槽的内壁安装有一号压力传感器，所述一号压力传感器的外壁安装有一号气缸，且一号气缸的输出端与二号支撑板的外壁连接，所述顶部卡槽板的顶部安装有感应器；

所述顶部卡槽板的内壁开设有一号凹槽；

所述顶部卡槽板的底部安装有支柱，支柱的底部安装有底部卡槽板，顶部卡槽板的内壁安装有光刻版，顶部卡槽板的顶部安装有提手，提手的顶部安装有连接板，底部卡槽板的内壁安装有中间板；

所述中间板的内壁开设有腔体，腔体的内壁安装有一号弹簧，一号弹簧的一端安装有嵌入块，嵌入块的外壁安装有支撑杆，支撑杆的一端安装有夹板，夹板的外壁安装有软垫，夹板的底部安装有斜板；

所述中间板的内部底壁安装有按压杆，且按压杆的底部延伸进腔体的内部，按压杆的底部安装有底板，腔体的内壁安装有连杆，且连杆的一端与底板的外壁连接，连杆的一端安装有顶杆，腔体的内壁安装有扶持板，且顶杆的顶部延伸出扶持板的顶部，中间板的底部安装有复位杆；

所述一号凹槽的内壁安装有二号电机，二号电机的输出端安装有小齿轮，一号凹槽的内壁安装有连接轴，连接轴的外壁安装有传动齿，连接轴的外壁安装有大齿轮，且大齿轮与小齿轮啮合，提手的外壁开设有齿槽，且齿槽与传动齿啮合；

所述顶部卡槽板的内壁开设有二号凹槽，二号凹槽的内壁安装有电磁铁，二号凹槽的内壁安装有固定板，固定板的外壁安装有二号弹簧，二号弹簧的一端安装有扶紧板，扶紧板的外壁安装有横杆，且横杆的一端延伸出固定板的外壁，横杆的一端安装有铁板；

所述中间板的顶部开设有容纳槽，容纳槽的内部底壁安装有二号气缸，二号气缸的输出端安装有支撑块，容纳槽的内部底壁安装有二号伸缩杆，且二号伸缩杆的顶部与支撑块的底部连接，支撑块的顶部安装有三号电机，三号电机的输出端安装有扇叶；

所述容纳槽的内壁安装有密封板，中间板的底部安装有底杆，底杆的底部安装有二号压力传感器，中间板的底部安装有滤网；

该工装夹具的工作步骤如下：

S1：将光刻版放入该工装夹具时，将光刻版沿着顶部卡槽板的卡槽嵌入，感应器检测到光刻版时，一号气缸带动二号支撑板移动，二号支撑板移动带动转轮移动，使得光刻版被挤压在滚轮和转轮之间，且一号压力传感器感知转轮对光刻版的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机旋转带动转轮旋转，转轮旋转带动光刻版缓缓向下移动，此结构完成了光刻版的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害；

S2：当光刻版被运输到底部卡槽板时，光刻版嵌入中间板内，一号弹簧使得夹板的软垫始终与光刻版保持贴合，且光刻版的底部按压按压杆，按压杆移动带动底板移动，底板移动带动连杆移动，连杆移动带动顶杆向上移动，顶杆移动挤压斜板，使得斜板被挤压移动，斜板移动带动夹板移动，使得夹板将光刻版夹紧，此结构在光刻版安装时自动完成夹紧，夹持牢固且方便，推动复位杆即可取消夹紧，较为方便；

S3：光刻版在该夹具完成安装时，握住连接板，将该光刻版挪移至硫酸槽上方，此时电磁铁通电，电磁铁吸附铁板，铁板带动横杆移动，横杆移动带动扶紧板移动，使得二号弹簧对扶紧板的挤压收回，使得提手不再被限制，此时二号电机旋转带动小齿轮旋转，小齿轮旋转带动大齿轮缓慢旋转，大齿轮旋转带动传动齿旋转，传动齿旋转带动顶部卡槽板缓慢向下移动，使得该夹具缓慢浸入硫酸槽内，此结构使得工装夹具可自动缓慢浸入硫酸槽内，避免人工直接放入使得硫酸溅起，提高了安全性；

S4：当该工装夹具完全浸入硫酸槽内时，底杆的二号压力传感器与硫酸槽的底部接触，此时二号气缸带动支撑块移动，支撑块移动带动三号电机移动，三号电机移动带动扇叶移动，使得扇叶移动出容纳槽，使得扇叶处于各光刻版之间，此时三号电机旋转带动扇叶旋转，扇叶旋转使得各光刻版之间的液体可快速完成更迭，提高了清洗效果，且扇叶旋转将液体导向底部使得清理出未溶解的杂质滤除在滤网上，避免颗粒的遗留对后续清洗造成影响。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.本发明通过安装有滚轮、转轮和一号电机，将光刻版放入该工装夹具时，将光刻版沿着顶部卡槽板的卡槽嵌入，感应器检测到光刻版时，一号气缸带动二号支撑板移动，二号支撑板移动带动转轮移动，使得光刻版被挤压在滚轮和转轮之间，且一号压力传感器感知转轮对光刻版的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机旋转带动转轮旋转，转轮旋转带动光刻版缓缓向下移动，此结构完成了光刻版的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害；

2.本发明通过安装有夹板、按压杆和顶杆，当光刻版被运输到底部卡槽板时，光刻版嵌入中间板内，一号弹簧使得夹板的软垫始终与光刻版保持贴合，且光刻版的底部按压按压杆，按压杆移动带动底板移动，底板移动带动连杆移动，连杆移动带动顶杆向上移动，顶杆移动挤压斜板，使得斜板被挤压移动，斜板移动带动夹板移动，使得夹板将光刻版夹紧，此结构在光刻版安装时自动完成夹紧，夹持牢固且方便，推动复位杆即可取消夹紧，较为方便；

3.本发明通过安装有传动齿、电磁铁和小齿轮，光刻版在该夹具完成安装时，握住连接板，将该光刻版挪移至硫酸槽上方，此时电磁铁通电，电磁铁吸附铁板，铁板带动横杆移动，横杆移动带动扶紧板移动，使得二号弹簧对扶紧板的挤压收回，使得提手不再被限制，此时二号电机旋转带动小齿轮旋转，小齿轮旋转带动大齿轮缓慢旋转，大齿轮旋转带动传动齿旋转，传动齿旋转带动顶部卡槽板缓慢向下移动，使得该夹具缓慢浸入硫酸槽内，此结构使得工装夹具可自动缓慢浸入硫酸槽内，避免人工直接放入使得硫酸溅起，提高了安全性；

4.本发明通过安装有滤网、扇叶和二号气缸，当该工装夹具完全浸入硫酸槽内时，底杆的二号压力传感器与硫酸槽的底部接触，此时二号气缸带动支撑块移动，支撑块移动带动三号电机移动，三号电机移动带动扇叶移动，使得扇叶移动出容纳槽，使得扇叶处于各光刻版之间，此时三号电机旋转带动扇叶旋转，扇叶旋转使得各光刻版之间的液体可快速完成更迭，提高了清洗效果，且扇叶旋转将液体导向底部使得清理出未溶解的杂质滤除在滤网上，避免颗粒的遗留对后续清洗造成影响。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的底部结构示意图；

图3为本发明的顶部卡槽板结构示意图；

图4为本发明的中间板结构示意图；

图5为本发明的腔体结构示意图；

图6为本发明的一号凹槽示意图；

图7为本发明的大齿轮结构示意图；

图8为本发明的容纳槽结构示意图。

图中：1、顶部卡槽板；101、支柱；102、底部卡槽板；103、光刻版；104、提手；105、连接板；106、中间板；2、一号矩形槽；201、一号支撑板；202、滚轮；203、二号矩形槽；204、一号伸缩杆；205、二号支撑板；206、一号电机；207、转轮；208、一号压力传感器；209、一号气缸；210、感应器；3、腔体；301、一号弹簧；302、嵌入块；303、支撑杆；304、夹板；305、软垫；306、斜板；4、按压杆；401、底板；402、连杆；403、扶持板；404、顶杆；405、复位杆；5、一号凹槽；501、二号电机；502、小齿轮；503、连接轴；504、传动齿；505、大齿轮；506、齿槽；6、二号凹槽；601、电磁铁；602、固定板；603、二号弹簧；604、扶紧板；605、横杆；606、铁板；7、容纳槽；701、二号气缸；702、二号伸缩杆；703、支撑块；704、三号电机；705、扇叶；8、密封板；801、底杆；802、二号压力传感器；803、滤网。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图1－图8，本发明提供的一种实施例：一种用于光刻版清洗的工装夹具，包括顶部卡槽板1、一号矩形槽2、腔体3、一号凹槽5和容纳槽7，顶部卡槽板1的底部安装有支柱101，支柱101的底部安装有底部卡槽板102，顶部卡槽板1的内壁安装有光刻版103，顶部卡槽板1的顶部安装有提手104，提手104的顶部安装有连接板105，底部卡槽板102的内壁安装有中间板106，光刻版103嵌入顶部卡槽板1和底部卡槽板102之间，支柱101将顶部卡槽板1和底部卡槽板102连接在一起，提手104方便取拿；

顶部卡槽板1的内壁开设有一号矩形槽2，一号矩形槽2的内壁安装有一号支撑板201，一号支撑板201的外壁安装有滚轮202，顶部卡槽板1的内壁开设有二号矩形槽203，二号矩形槽203的内壁安装有一号伸缩杆204，一号伸缩杆204对二号支撑板205起支撑作用，一号伸缩杆204的一端安装有二号支撑板205，二号支撑板205的外壁安装有一号电机206，一号电机206的输出端安装有转轮207，二号矩形槽203的内壁安装有一号压力传感器208，一号压力传感器208的外壁安装有一号气缸209，且一号气缸209的输出端与二号支撑板205的外壁连接，顶部卡槽板1的顶部安装有感应器210，将光刻版103放入该工装夹具时，将光刻版103沿着顶部卡槽板1的卡槽嵌入，感应器210检测到光刻版103时，一号气缸209带动二号支撑板205移动，二号支撑板205移动带动转轮207移动，使得光刻版103被挤压在滚轮202和转轮207之间，且一号压力传感器208感知转轮207对光刻版103的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机206旋转带动转轮207旋转，转轮207旋转带动光刻版103缓缓向下移动，此结构完成了光刻版103的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版103与该夹具产生磕碰而造成损害；

中间板106的内壁开设有腔体3，腔体3的内壁安装有一号弹簧301，一号弹簧301的一端安装有嵌入块302，嵌入块302的外壁安装有支撑杆303，支撑杆303的一端安装有夹板304，夹板304的外壁安装有软垫305，夹板304的底部安装有斜板306，中间板106的内部底壁安装有按压杆4，且按压杆4的底部延伸进腔体3的内部，按压杆4的底部安装有底板401，腔体3的内壁安装有连杆402，且连杆402的一端与底板401的外壁连接，连杆402的一端安装有顶杆404，腔体3的内壁安装有扶持板403，且顶杆404的顶部延伸出扶持板403的顶部，中间板106的底部安装有复位杆405，当光刻版103被运输到底部卡槽板102时，光刻版103嵌入中间板106内，一号弹簧301使得夹板304的软垫305始终与光刻版103保持贴合，且光刻版103的底部按压按压杆4，按压杆4移动带动底板401移动，底板401移动带动连杆402移动，连杆402移动带动顶杆404向上移动，顶杆404移动挤压斜板306，使得斜板306被挤压移动，斜板306移动带动夹板304移动，使得夹板304将光刻版103夹紧，此结构在光刻版103安装时自动完成夹紧，夹持牢固且方便，推动复位杆405即可取消夹紧，较为方便；

顶部卡槽板1的内壁开设有一号凹槽5，一号凹槽5的内壁安装有二号电机501，二号电机501的输出端安装有小齿轮502，一号凹槽5的内壁安装有连接轴503，连接轴503的外壁安装有传动齿504，连接轴503的外壁安装有大齿轮505，且大齿轮505与小齿轮502啮合，提手104的外壁开设有齿槽506，且齿槽506与传动齿504啮合，顶部卡槽板1的内壁开设有二号凹槽6，二号凹槽6的内壁安装有电磁铁601，二号凹槽6的内壁安装有固定板602，固定板602的外壁安装有二号弹簧603，二号弹簧603的一端安装有扶紧板604，扶紧板604的外壁安装有横杆605，且横杆605的一端延伸出固定板602的外壁，横杆605的一端安装有铁板606，光刻版103在该夹具完成安装时，握住连接板105，将该光刻版挪移至硫酸槽上方，此时电磁铁601通电，电磁铁601吸附铁板606，铁板606带动横杆605移动，横杆605移动带动扶紧板604移动，使得二号弹簧603对扶紧板604的挤压收回，使得提手104不再被限制，此时二号电机501旋转带动小齿轮502旋转，小齿轮502旋转带动大齿轮505缓慢旋转，大齿轮505旋转带动传动齿504旋转，传动齿504旋转带动顶部卡槽板1缓慢向下移动，使得该夹具缓慢浸入硫酸槽内，此结构使得工装夹具可自动缓慢浸入硫酸槽内，避免人工直接放入使得硫酸溅起，提高了安全性；

中间板106的顶部开设有容纳槽7，容纳槽7的内部底壁安装有二号气缸701，二号气缸701的输出端安装有支撑块703，容纳槽7的内部底壁安装有二号伸缩杆702，且二号伸缩杆702的顶部与支撑块703的底部连接，支撑块703的顶部安装有三号电机704，三号电机704的输出端安装有扇叶705，容纳槽7的内壁安装有密封板8，中间板106的底部安装有底杆801，底杆801的底部安装有二号压力传感器802，中间板106的底部安装有滤网803，当该工装夹具完全浸入硫酸槽内时，底杆801的二号压力传感器802与硫酸槽的底部接触，此时二号气缸701带动支撑块703移动，支撑块703移动带动三号电机704移动，三号电机704移动带动扇叶705移动，使得扇叶705移动出容纳槽7，使得扇叶705处于各光刻版103之间，此时三号电机704旋转带动扇叶705旋转，扇叶705旋转使得各光刻版103之间的液体可快速完成更迭，提高了清洗效果，且扇叶705旋转将液体导向底部使得清理出未溶解的杂质滤除在滤网803上，避免颗粒的遗留对后续清洗造成影响。

该工装夹具的工作步骤如下：

S1：将光刻版103放入该工装夹具时，将光刻版103沿着顶部卡槽板1的卡槽嵌入，感应器210检测到光刻版103时，一号气缸209带动二号支撑板205移动，二号支撑板205移动带动转轮207移动，使得光刻版103被挤压在滚轮202和转轮207之间，且一号压力传感器208感知转轮207对光刻版103的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机206旋转带动转轮207旋转，转轮207旋转带动光刻版103缓缓向下移动，此结构完成了光刻版103的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版103与该夹具产生磕碰而造成损害；

S2：当光刻版103被运输到底部卡槽板102时，光刻版103嵌入中间板106内，一号弹簧301使得夹板304的软垫305始终与光刻版103保持贴合，且光刻版103的底部按压按压杆4，按压杆4移动带动底板401移动，底板401移动带动连杆402移动，连杆402移动带动顶杆404向上移动，顶杆404移动挤压斜板306，使得斜板306被挤压移动，斜板306移动带动夹板304移动，使得夹板304将光刻版103夹紧，此结构在光刻版103安装时自动完成夹紧，夹持牢固且方便，推动复位杆405即可取消夹紧，较为方便；

S3：光刻版103在该夹具完成安装时，握住连接板105，将该光刻版挪移至硫酸槽上方，此时电磁铁601通电，电磁铁601吸附铁板606，铁板606带动横杆605移动，横杆605移动带动扶紧板604移动，使得二号弹簧603对扶紧板604的挤压收回，使得提手104不再被限制，此时二号电机501旋转带动小齿轮502旋转，小齿轮502旋转带动大齿轮505缓慢旋转，大齿轮505旋转带动传动齿504旋转，传动齿504旋转带动顶部卡槽板1缓慢向下移动，使得该夹具缓慢浸入硫酸槽内，此结构使得工装夹具可自动缓慢浸入硫酸槽内，避免人工直接放入使得硫酸溅起，提高了安全性；

S4：当该工装夹具完全浸入硫酸槽内时，底杆801的二号压力传感器802与硫酸槽的底部接触，此时二号气缸701带动支撑块703移动，支撑块703移动带动三号电机704移动，三号电机704移动带动扇叶705移动，使得扇叶705移动出容纳槽7，使得扇叶705处于各光刻版103之间，此时三号电机704旋转带动扇叶705旋转，扇叶705旋转使得各光刻版103之间的液体可快速完成更迭，提高了清洗效果，且扇叶705旋转将液体导向底部使得清理出未溶解的杂质滤除在滤网803上，避免颗粒的遗留对后续清洗造成影响。

工作原理，将光刻版103放入该工装夹具时，将光刻版103沿着顶部卡槽板1的卡槽嵌入，感应器210检测到光刻版103时，一号气缸209带动二号支撑板205移动，二号支撑板205移动带动转轮207移动，使得光刻版103被挤压在滚轮202和转轮207之间，且一号压力传感器208感知转轮207对光刻版103的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机206旋转带动转轮207旋转，转轮207旋转带动光刻版103缓缓向下移动，此结构完成了光刻版103的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版103与该夹具产生磕碰而造成损害，当光刻版103被运输到底部卡槽板102时，光刻版103嵌入中间板106内，一号弹簧301使得夹板304的软垫305始终与光刻版103保持贴合，且光刻版103的底部按压按压杆4，按压杆4移动带动底板401移动，底板401移动带动连杆402移动，连杆402移动带动顶杆404向上移动，顶杆404移动挤压斜板306，使得斜板306被挤压移动，斜板306移动带动夹板304移动，使得夹板304将光刻版103夹紧，此结构在光刻版103安装时自动完成夹紧，夹持牢固且方便，推动复位杆405即可取消夹紧，较为方便，光刻版103在该夹具完成安装时，握住连接板105，将该光刻版挪移至硫酸槽上方，此时电磁铁601通电，电磁铁601吸附铁板606，铁板606带动横杆605移动，横杆605移动带动扶紧板604移动，使得二号弹簧603对扶紧板604的挤压收回，使得提手104不再被限制，此时二号电机501旋转带动小齿轮502旋转，小齿轮502旋转带动大齿轮505缓慢旋转，大齿轮505旋转带动传动齿504旋转，传动齿504旋转带动顶部卡槽板1缓慢向下移动，使得该夹具缓慢浸入硫酸槽内，此结构使得工装夹具可自动缓慢浸入硫酸槽内，避免人工直接放入使得硫酸溅起，提高了安全性，当该工装夹具完全浸入硫酸槽内时，底杆801的二号压力传感器802与硫酸槽的底部接触，此时二号气缸701带动支撑块703移动，支撑块703移动带动三号电机704移动，三号电机704移动带动扇叶705移动，使得扇叶705移动出容纳槽7，使得扇叶705处于各光刻版103之间，此时三号电机704旋转带动扇叶705旋转，扇叶705旋转使得各光刻版103之间的液体可快速完成更迭，提高了清洗效果，且扇叶705旋转将液体导向底部使得清理出未溶解的杂质滤除在滤网803上，避免颗粒的遗留对后续清洗造成影响。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (2)

1.一种用于光刻版清洗的工装夹具，包括顶部卡槽板（1）、一号矩形槽（2）、腔体（3）、一号凹槽（5）和容纳槽（7），其特征在于：所述顶部卡槽板（1）的内壁开设有一号矩形槽（2）；

所述一号矩形槽（2）的内壁安装有一号支撑板（201），所述一号支撑板（201）的外壁安装有滚轮（202），所述顶部卡槽板（1）的内壁开设有二号矩形槽（203），所述二号矩形槽（203）的内壁安装有一号伸缩杆（204），所述一号伸缩杆（204）的一端安装有二号支撑板（205），所述二号支撑板（205）的外壁安装有一号电机（206），所述一号电机（206）的输出端安装有转轮（207），所述二号矩形槽（203）的内壁安装有一号压力传感器（208），所述一号压力传感器（208）的外壁安装有一号气缸（209），且一号气缸（209）的输出端与二号支撑板（205）的外壁连接，所述顶部卡槽板（1）的顶部安装有感应器（210）；

所述顶部卡槽板（1）的内壁开设有一号凹槽（5）；

所述顶部卡槽板（1）的底部安装有支柱（101），支柱（101）的底部安装有底部卡槽板（102），顶部卡槽板（1）的内壁安装有光刻版（103），顶部卡槽板（1）的顶部安装有提手（104），提手（104）的顶部安装有连接板（105），底部卡槽板（102）的内壁安装有中间板（106）；

所述中间板（106）的内壁开设有腔体（3），腔体（3）的内壁安装有一号弹簧（301），一号弹簧（301）的一端安装有嵌入块（302），嵌入块（302）的外壁安装有支撑杆（303），支撑杆（303）的一端安装有夹板（304），夹板（304）的外壁安装有软垫（305），夹板（304）的底部安装有斜板（306）；

所述中间板（106）的内部底壁安装有按压杆（4），且按压杆（4）的底部延伸进腔体（3）的内部，按压杆（4）的底部安装有底板（401），腔体（3）的内壁安装有连杆（402），且连杆（402）的一端与底板（401）的外壁连接，连杆（402）的一端安装有顶杆（404），腔体（3）的内壁安装有扶持板（403），且顶杆（404）的顶部延伸出扶持板（403）的顶部，中间板（106）的底部安装有复位杆（405）；

所述一号凹槽（5）的内壁安装有二号电机（501），二号电机（501）的输出端安装有小齿轮（502），一号凹槽（5）的内壁安装有连接轴（503），连接轴（503）的外壁安装有传动齿（504），连接轴（503）的外壁安装有大齿轮（505），且大齿轮（505）与小齿轮（502）啮合，提手（104）的外壁开设有齿槽（506），且齿槽（506）与传动齿（504）啮合；

所述顶部卡槽板（1）的内壁开设有二号凹槽（6），二号凹槽（6）的内壁安装有电磁铁（601），二号凹槽（6）的内壁安装有固定板（602），固定板（602）的外壁安装有二号弹簧（603），二号弹簧（603）的一端安装有扶紧板（604），扶紧板（604）的外壁安装有横杆（605），且横杆（605）的一端延伸出固定板（602）的外壁，横杆（605）的一端安装有铁板（606）；

所述中间板（106）的顶部开设有容纳槽（7），容纳槽（7）的内部底壁安装有二号气缸（701），二号气缸（701）的输出端安装有支撑块（703），容纳槽（7）的内部底壁安装有二号伸缩杆（702），且二号伸缩杆（702）的顶部与支撑块（703）的底部连接，支撑块（703）的顶部安装有三号电机（704），三号电机（704）的输出端安装有扇叶（705）；

所述容纳槽（7）的内壁安装有密封板（8），中间板（106）的底部安装有底杆（801），底杆（801）的底部安装有二号压力传感器（802），中间板（106）的底部安装有滤网（803）。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具的使用方法，其特征在于，该工装夹具的工作步骤如下：

S1：将光刻版（103）放入该工装夹具时，将光刻版（103）沿着顶部卡槽板（1）的卡槽嵌入，感应器（210）检测到光刻版（103）时，一号气缸（209）带动二号支撑板（205）移动，二号支撑板（205）移动带动转轮（207）移动，使得光刻版（103）被挤压在滚轮（202）和转轮（207）之间，且一号压力传感器（208）感知转轮（207）对光刻版（103）的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机（206）旋转带动转轮（207）旋转，转轮（207）旋转带动光刻版（103）缓缓向下移动，此结构完成了光刻版（103）的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版（103）与该夹具产生磕碰而造成损害；

S2：当光刻版（103）被运输到底部卡槽板（102）时，光刻版（103）嵌入中间板（106）内，一号弹簧（301）使得夹板（304）的软垫（305）始终与光刻版（103）保持贴合，且光刻版（103）的底部按压按压杆（4），按压杆（4）移动带动底板（401）移动，底板（401）移动带动连杆（402）移动，连杆（402）移动带动顶杆（404）向上移动，顶杆（404）移动挤压斜板（306），使得斜板（306）被挤压移动，斜板（306）移动带动夹板（304）移动，使得夹板（304）将光刻版（103）夹紧，此结构在光刻版（103）安装时自动完成夹紧，夹持牢固且方便，推动复位杆（405）即可取消夹紧，较为方便；

S3：光刻版（103）在该夹具完成安装时，握住连接板（105），将该光刻版挪移至硫酸槽上方，此时电磁铁（601）通电，电磁铁（601）吸附铁板（606），铁板（606）带动横杆（605）移动，横杆（605）移动带动扶紧板（604）移动，使得二号弹簧（603）对扶紧板（604）的挤压收回，使得提手（104）不再被限制，此时二号电机（501）旋转带动小齿轮（502）旋转，小齿轮（502）旋转带动大齿轮（505）缓慢旋转，大齿轮（505）旋转带动传动齿（504）旋转，传动齿（504）旋转带动顶部卡槽板（1）缓慢向下移动，使得该夹具缓慢浸入硫酸槽内，此结构使得工装夹具可自动缓慢浸入硫酸槽内，避免人工直接放入使得硫酸溅起，提高了安全性；

S4：当该工装夹具完全浸入硫酸槽内时，底杆（801）的二号压力传感器（802）与硫酸槽的底部接触，此时二号气缸（701）带动支撑块（703）移动，支撑块（703）移动带动三号电机（704）移动，三号电机（704）移动带动扇叶（705）移动，使得扇叶（705）移动出容纳槽（7），使得扇叶（705）处于各光刻版（103）之间，此时三号电机（704）旋转带动扇叶（705）旋转，扇叶（705）旋转使得各光刻版（103）之间的液体可快速完成更迭，提高了清洗效果，且扇叶（705）旋转将液体导向底部使得清理出未溶解的杂质滤除在滤网（803）上，避免颗粒的遗留对后续清洗造成影响。

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