JP5838964B2 - 基板カートリッジ及び基板処理システム - Google Patents

Description

本発明は、基板カートリッジ及び基板処理システムに関する。
本願は、２０１０年４月９日に出願された米国仮出願６１／３２２３６０号および２０１０年１２月１５日に出願された米国仮出願６１／４２３２０７号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

ディスプレイ装置などの表示装置を構成する表示素子として、例えば液晶表示素子、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子が知られている。現在、これらの表示素子では、各画素に対応して基板表面に薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を形成する能動的素子（アクティブデバイス）が主流となってきている。

近年では、シート状の基板（例えばフィルム部材など）上に表示素子を形成する技術が提案されている。このような技術として、例えばロール・トゥ・ロール方式（以下、単に「ロール方式」と表記する）と呼ばれる手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。ロール方式は、基板供給側の供給用ローラーに巻かれた１枚のシート状の基板（例えば、帯状のフィルム部材）を送り出すと共に送り出された基板を基板回収側の回収用ローラーで巻き取りながら、供給用ローラーと回収用ローラーとの間に設置された処理装置により基板に所望の加工を施していくものである。

そして、基板が送り出されてから巻き取られるまでの間に、例えば複数の搬送ローラー等を用いて基板が搬送され、複数の処理装置(ユニット)を用いてＴＦＴを構成するゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体膜、ソース・ドレイン電極等を形成し、基板の被処理面上に表示素子の構成要素を順次形成する。例えば、有機ＥＬの素子を形成する場合には、発光層、陽極、陰極、電気回路等を基板上に順次形成する。

回収ローラーに巻かれた基板を送り出す際には、巻き取りの際に最後尾であった部分が先端となって基板が送り出されることになる。このため、基板に対してパターン形成等を繰り返し行う場合には、基板の巻き取り時と基板の送り出し時とで、パターン形成処理の順序を逆にする必要が考えられる。このように、基板の先頭及び最後尾をその都度管理する必要があるため、管理上の負担が大きくなる場合がある。

国際公開第２００６／１００８６８号パンフレット

ロール・トゥ・ロール方式では、基板一枚の長さが長いため、基板の管理の負担を軽減することが求められている。

本発明に係る態様は、基板の管理上の負担を軽減することが可能な基板カートリッジ及び基板処理システムを提供することを目的とする。

一態様による基板カートリッジは、可撓性を有する帯状の長い基板に電子デバイスを形成する為の処理を施す処理装置に接続可能な基板カートリッジであって、複数の壁面で囲まれた空間を有し、該空間内に前記基板を長手方向に関して複数回折り返して収納すると共に、前記複数の壁面のうち前記処理装置と対向可能な壁面に設けられ、前記基板を長手方向に沿って前記処理装置に向けて搬出する搬出口と、前記複数の壁面のうち前記処理装置と対向可能な壁面に設けられ、前記基板を前記処理装置から回収する為に前記基板を長手方向に沿って搬入する搬入口とを備えた収容部と、前記収容部の空間内の複数の位置の各々に設けられ、前記基板を長手方向に関して折り返して非接触状態で支持するように、前記基板を表面側から支持可能な複数の第１ローラーと、前記第１ローラーの間に配置され、前記基板を裏面側から支持可能な複数の第２ローラーとを含む折り返し機構と、前記基板の前記表面側が前記第１ローラーで折り曲げて支持され、前記基板の前記裏面側が前記第２ローラーで折り曲げて支持されるように、前記複数の第１ローラーと前記複数の第２ローラーとを相対的に移動させる移動機構と、前記収容部の空間内に設けられ、前記搬入口から前記収容部に搬入する前記基板の先端部が前記搬出口まで案内されるように、前記複数の第１ローラー及び第２ローラーの間で前記基板の搬送経路となる一部に沿った位置と、前記搬送経路から退避した位置との間で可動な可動案内板と、を備える。

一態様による基板処理システムは、本発明の第一の態様に伴う基板カートリッジと、当該基板カートリッジと接続する接続部を有し、前記基板に前記電子デバイスを形成する為の前記処理装置とを備える。

本発明に係る態様によれば、基板の管理上の負担を軽減することが可能となる。

第一実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 本実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 本実施形態に係る基板カートリッジの一部の構成を示す図。 本実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図。 本実施形態に係る基板処理システムの一部の動作を示す図。 本実施形態に係る基板処理システムの一部の動作を示す図。 第二実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 本実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板処理システムの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 第三実施形態に係る基板カートリッジの一部の構成を示す図。 第四実施形態に係る基板保管装置の構成を示す斜視図。 第五実施形態に係る基板保管装置の構成を示す断面図。 第六実施形態に係る基板保管装置の構成を示す断面図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。

［第一実施形態］
図面を参照して、第一実施形態を説明する。
図１は、本実施形態に係る基板カートリッジＣＴＲの構成を示す側断面図である。
図１に示すように、基板カートリッジ（或いはシート・ストッカー）ＣＴＲは、帯状に形成されたシート基板（例えば、帯状のフィルム部材）を収容する収容部１と、当該収容部１にシート基板を搬入する搬入口２と、当該収容部１からシート基板を搬出する搬出口３と、収容部１内においてシート基板を搬入口２から搬出口３へと案内する案内部４と、制御部５と、被接続口６とを備えている。基板カートリッジＣＴＲは、例えば、製造工場の床面Ｆなどに載置されて用いられる。

以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。具体的には、床面Ｆと平行な平面上の所定方向をＸ軸方向、当該平面上においてＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向、当該平面に垂直な方向をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。

シート基板としては、例えば樹脂フィルムやステンレス鋼などの箔（フォイル）を用いることができる。例えば、樹脂フィルムは、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、エチレンビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、酢酸ビニル樹脂、などの材料を用いることができる。

シート基板のＹ方向（短尺方向）の寸法は例えば５０ｃｍ〜２ｍ程度に形成されており、Ｘ方向（長尺方向）の寸法は例えば１０ｍ以上に形成されている。勿論、この寸法は一例に過ぎず、これに限られることは無い。例えばシート基板のＹ方向の寸法が５０ｃｍ以下であっても構わないし、２ｍ以上であっても構わない。本実施形態においては、Ｙ方向の寸法が２ｍを超えるシート基板であっても好適に用いられる。また、シート基板のＸ方向の寸法が１０ｍ以下であっても構わない。

シート基板は、例えば、１ｍｍ以下の厚みを有し、可撓性を有するように形成されている。ここで可撓性とは、例えば基板に少なくとも自重程度の所定の力を加えても線断したり破断したりすることはなく、該基板を撓めることが可能な性質をいう。また、例えば上記所定の力によって屈曲する性質も可撓性に含まれる。また、上記可撓性は、該基板の材質、大きさ、厚さ、又は温度などの環境、等に応じて変わる。なお、シート基板としては、１枚の帯状の基板を用いても構わないが、複数の単位基板を接続して帯状に形成される構成としても構わない。

シート基板は、例えば２００℃程度の熱を受けても寸法が変わらないように熱膨張係数が小さい方が好ましい。例えば、無機フィラーを樹脂フィルムに混合して熱膨張係数を小さくすることができる。無機フィラーの例としては、酸化チタン、酸化亜鉛、アルミナ、酸化ケイ素などが挙げられる。

収容部１は、例えば複数の壁面を有するケース１０を有している。当該複数の壁面は、例えば直方体の各面を構成する位置に配置されている。ケース１０は、例えば−Ｚ側の面が床面Ｆに直接接触するように載置されても構わないし、例えばキャスターなどを介して床面Ｆに設置された構成としても構わない。ケース１０に開閉可能な蓋部（不図示）が設けられた構成であっても構わない。

搬入口２は、ケース１０のうち例えば＋Ｘ側の壁面１０ａに形成されている。搬入口２には、例えばガイド板２１及び２２と、搬入ローラー（駆動ローラー）２３とが設けられている。ガイド板２１及び２２は、シート基板の表面及び裏面を挟む位置に設けられている。ガイド板２１は、ガイド板２２に対して＋Ｘ側に突出するように形成されている。搬入ローラー２３は、搬入口２から搬入されたシート基板を収容部１の内部に案内する。

搬出口３は、ケース１０のうち例えば＋Ｘ側の壁面１０ａに形成されている。さらに、搬出口３は、この壁面１０ａのうち上方側（＋Ｚ側）に形成されている。搬出口３は、例えば搬入口２の下方側（−Ｚ側）に配置されている。このように、本実施形態では、搬入口２と搬出口３とがケース１０の同一の壁面１０ａに配置されている。また、当該壁面１０ａには、外部との被接続口６が設けられている。搬出口３には、例えばガイド板３１及び３２と、搬出ローラー（駆動ローラー）３３とが設けられている。ガイド板３１及び３２は、シート基板の表面及び裏面を挟む位置に設けられている。ガイド板３１は、ガイド板３２に対して＋Ｘ側に突出するように形成されている。搬出ローラー３３は、ケース１０内のシート基板を搬出口３へと案内する。

案内部４は、ケース１０の内部に設けられている。案内部４は、固定案内板４１、第一ローラー（駆動ローラー）４２、平行案内板４３、第二ローラー（駆動ローラー）４４、可動案内板４５及び複数の折り返し機構４６を有している。この折り返し機構４６は、搬入口２及び搬出口３が配置された壁面１０ａからケース１０の奥行き方向に沿って複数個配置されている。

固定案内板４１は、搬入ローラー２３の直後から第一ローラー４２の直前に渡って、ケース１０の内壁に水平に固定された板状部材である。固定案内板４１は、例えばＸ方向に平行に配置されている。固定案内板４１のＹ方向の寸法は、例えばシート基板の短手方向の寸法よりも大きくなるように形成されているが、シート基板のＹ方向の幅の両側を支え、シート基板の幅方向の中央部は支えないような構成でも良い。また、固定案内板４１を複数の案内板に分割し、この複数の案内板をＸ方向に沿って等間隔置きに配置する構成であっても良い。固定案内板４１は、例えば搬入ローラー２３によって搬入されたシート基板を−Ｘ方向に案内する。

第一ローラー４２は、固定案内板４１の−Ｘ側端部の近傍に配置されている。第一ローラー４２は、θＹ方向に回転可能となるようにケース１０の内壁に固定されている。第一ローラー４２は、固定案内板４１によって案内されたシート基板を平行案内板４３へと搬送する。

平行案内板４３は、ケース１０に固定された板状部材である。平行案内板４３は、＋Ｘ側に配置された内側案内板４３ａと、−Ｘ側に配置された外側案内板４３ｂとを有している。内側案内板４３ａ及び外側案内板４３ｂは、水平面に対して起立した状態、すなわち、板面がＹＺ平面に平行になった状態で対向して配置されている。

内側案内板４３ａと外側案内板４３ｂとは、シート基板が通過可能となるように隙間（本実施形態では、Ｘ方向の隙間）を空けて配置されている。内側案内板４３ａ及び外側案内板４３ｂは、それぞれ＋Ｚ側の端部が例えば第一ローラー４２に向けて＋Ｘ側に湾曲して形成されていると共に、それぞれ−Ｚ側の端部が例えば第二ローラー４４に向けて＋Ｘ側に湾曲して形成されている。

第二ローラー４４は、ケース１０内部の奥行き側（−Ｘ側）の端部であって、平行案内板４３の−Ｚ側端部の近傍に配置されている。第二ローラー４４は、θＹ方向に回転可能に設けられている。第二ローラー４４は、平行案内板４３によって案内されたシート基板の表面及び裏面を挟み込んで、可動案内板４５へと搬送する。第一ローラー４２及び第二ローラー４４には、例えば不図示の回転駆動機構が接続されている。

可動案内板４５は、第二ローラー４４によって搬送されたシート基板を案内する。図２は、図１におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。図２に示すように、ケース１０の＋Ｙ側の壁部１０ｂ及び−Ｙ側の壁部１０ｃの内面には、それぞれ凹部１１が形成されている。当該凹部１１は、例えばＸ方向に長手となるように形成されている。凹部１１には、例えばθＸ方向に回転可能に取り付けられた軸部１２が設けられている。

可動案内板４５は、軸部１２を介してケース１０に取り付けられている。軸部１２は、θＸ方向に回転可能となっている。軸部１２は、不図示の回転駆動機構に接続されている。当該回転駆動機構は、例えば制御部５の制御により、軸部１２の回転角度、回転速度、回転のタイミングなどを調整されるが、基本的な動作は、図２のように、可動案内板４５がほぼ水平になった状態と、凹部１１に収納されるほぼ垂直な状態との間で回動すれば良い。

軸部１２の回転角度を調整することにより、例えば可動案内板４５は、例えばＹ方向に平行な状態と、Ｚ方向に平行な状態（先端部が−Ｚ方向を向いた状態）とに切り替えられるようになっている。可動案内板４５が、例えばＹ方向に平行な状態においては、第二ローラー４４によって搬送されたシート基板のＹ方向の両端部をそれぞれ支持するようになっている。また、可動案内板４５が、例えばＺ方向に平行な状態においては、凹部１１内に収容されるようになっている。このように、可動案内板４５は、シート基板の案内経路上に出し入れ可能に設けられている。

図１に示すように、複数の折り返し機構４６は、第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８を有している。折り返し機構４６のそれぞれは、互いに同じ構成である。第一移動ローラー４７は、例えばシート基板の−Ｚ側に複数配置されている。複数の第一移動ローラー４７は、例えばＸ方向に沿って所定の間隔をあけて配置されている。第二移動ローラー４８は、例えばシート基板の＋Ｚ側に複数配置されている。複数の第二移動ローラー４８は、例えばＸ方向に沿って所定の間隔をあけて配列されている。

各第二移動ローラー４８は、Ｘ方向において、それぞれ隣接する第一移動ローラー４７の間に配置されている。このため、第一移動ローラー４７と第二移動ローラー４８とは、例えばＸ方向において交互に配置されている。また、例えば第一移動ローラー４７と第二移動ローラー４８とは、例えばＸＹ面上で見たときに重ならないように配置されている。

図３は、折り返し機構４６の構成を示す図である。
図３に示すように、第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８は、それぞれ同一の構成となっており、図３に示した状態の折り返し機構４６を図２に示すケース１０内に下側に取り付けることによって、第１移動ローラー４７が構成され、図３に示した状態の折り返し機構４６を上下反転させて、図２に示すケース１０の上側に取り付けることによって、第２移動ローラー４８が構成される。第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８は、それぞれ固定部５１、可動部５２、支持部５３及びローラー部５４を有している。

固定部５１は、例えばケース１０の内壁に固定させる一対の駆動源５１ａと、当該一対の駆動源５１ａを連結する棒状のガイドロッド５１ｂとを有している。固定部５１は、例えばガイドロッド５１ｂがＹ軸に平行になるように、一対の駆動源５１ａが位置合わせされて固定されている。一対の駆動源５１ａは、例えば空圧や油圧式のピストンや、ポールネジとナットを使った構成などを用いることができる。駆動源５１ａは、例えば制御部５によって駆動量、駆動のタイミングなどが制御されるようになっている。

可動部５２は、ガイドロッド５１ｂに沿って移動可能な一対のスライダ５２ａと、当該一対のスライダ５２ａの移動に伴ってＺ方向に伸縮する伸縮部５２ｂとを有している。一対のスライダ５２ａは、例えば一対の駆動源５１ａのそれぞれによって移動されるようになっている。図３に示す構成では、例えば一対のスライダ５２ａが左右方向の中央に移動することにより、伸縮部５２ｂが＋Ｚ側に伸びることになる。また、一対のスライダ５２ａが図中左右方向の端部に移動することにより、伸縮部５２ｂが−Ｚ方向に縮むことになる。
なお、折り返し機構４６の伸縮部５２ｂが最も縮んでいる状態を初期状態とする。

支持部５３は、伸縮部５２ｂの＋Ｚ側の先端に固定されている。支持部５３は、伸縮部５２ｂの伸縮動作により、Ｚ方向に移動可能に設けられている。支持部５３には、ローラー部５４が取り付けられている。ローラー部５４は、例えばθＹ方向に回転可能に設けられている。ローラー部５４は、例えばシート基板が掛けられる部分である。なお、シート基板を折り曲げるローラー部５４の直径は、シート基板をＵ字状に折り返した時に、シート基板が塑性変形しない範囲内に設定される。例えば、厚さ５０μｍ程度のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）やＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）のシート基板でも、未加工の状態と、そのシートの表面にアルミ等の金属皮膜やＵＶ硬化樹脂層等を堆積させた加工状態とでは、Ｕ字状折り返し時に許容される最小曲率半径も異なってくるので、ローラー部５４の直径は保管すべきシート基板の状態（例えば、シート基板に対して処理を行う処理プロセスの内容等）を勘案して選択される。

図１、図２では、第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８のそれぞれについて、伸縮部５２ｂが縮んでいる状態が示されている。当該伸縮部５２ｂが伸びた状態になることにより、図１に示すように、ローラー部５４は、第一移動ローラー４７については位置４７Ｓに配置され、第二移動ローラー４８については位置４８Ｓに配置される。

図４は、本発明の実施の形態に係る基板処理システムＳＹＳの構成を示す図である。
図４に示すように、基板処理システムＳＹＳは、シート基板ＦＢを供給する基板供給部ＳＵ、シート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに対して処理を行う基板処理装置ＰＲ、シート基板ＦＢを回収する基板回収部ＣＬ、及び、これらの各部を制御する制御装置ＣＯＮＴを有している。

本実施形態では、基板供給部ＳＵ及び基板回収部ＣＬを兼用する装置として、上記の基板カートリッジＣＴＲが用いられている。基板処理装置ＰＲには、基板カートリッジＣＴＲとの接続部ＣＮが設けられている。基板処理装置ＰＲの当該接続部ＣＮは、例えば基板カートリッジＣＴＲの被接続口６に接続される構成となっている。当該基板処理システムＳＹＳは、例えば工場などに設置される。本実施形態では、基板カートリッジＣＴＲの搬出口３が基板供給部ＳＵとして機能し、搬入口２が基板回収部ＣＬとして機能する。

基板処理システムＳＹＳは、基板カートリッジＣＴＲの搬出口３からシート基板ＦＢが送り出されてから、基板カートリッジＣＴＲの搬入口２でシート基板ＦＢを回収するまでの間に、シート基板ＦＢの表面に各種処理を実行する。基板処理システムＳＹＳは、シート基板ＦＢ上に例えば有機ＥＬ素子、液晶表示素子等の表示素子（電子デバイス）を形成する場合に用いることができる。勿論、これらの素子以外の素子を形成する場合において基板処理システムＳＹＳを用いても構わない。

基板カートリッジＣＴＲは、収容部１に収容されたシート基板ＦＢを搬出口３から基板処理装置ＰＲへ送り出して供給する。また、基板カートリッジＣＴＲは、基板処理装置ＰＲからのシート基板ＦＢを搬入口２から回収する。さらに、基板カートリッジＣＴＲは、案内部４によって、例えば搬入口２から回収したシート基板ＦＢの先端部を搬出口３へと案内する。

基板処理装置ＰＲは、基板カートリッジＣＴＲの搬出口３から供給されるシート基板ＦＢを当該基板カートリッジＣＴＲの搬入口２へと搬送すると共に、搬送の過程でシート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに対して処理を行う。基板処理装置ＰＲは、例えば処理装置ＰＡ、搬送装置ＣＶ及びアライメント装置（不図示）などを有している。

処理装置ＰＡは、シート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに対して例えばＴＦＴや、有機ＥＬ素子を形成するための各種処理部を有している。このような処理部としては、例えば被処理面Ｆｐ上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、ＴＦＴや有機ＥＬ素子を駆動するための電極を形成するための電極形成装置、発光層を形成するための発光層形成装置などが挙げられる。より具体的には、液滴塗布装置（例えばインクジェット型塗布装置、スクリーン印刷型塗布装置など）、蒸着装置、スパッタリング装置などの成膜装置や、露光装置、現像装置、表面改質装置、洗浄装置などが挙げられる。これらの各装置は、例えばシート基板ＦＢの搬送経路上に適宜設けられている。なお、処理装置ＰＡとして、例えばシート基板ＦＢの搬送方向の先端部にリーダー部を取り付けるリーダー取付部を用いても構わない。

搬送装置ＣＶは、基板処理装置ＰＲ内において例えばシート基板ＦＢを搬入口２側へ搬送するローラー装置Ｒを有している。ローラー装置Ｒは、シート基板ＦＢの搬送経路に沿って例えば複数設けられている。複数のローラー装置Ｒのうち少なくとも一部のローラー装置Ｒには、駆動機構（不図示）が取り付けられている。このようなローラー装置Ｒが回転することにより、シート基板ＦＢがＸ軸方向に搬送されるようになっている。複数のローラー装置Ｒのうち例えば一部のローラー装置Ｒが搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられた構成であっても構わない。また、搬送装置ＣＶは、シート基板ＦＢの先端部にリーダーが取り付けられている場合には、当該リーダーを保持するリーダー保持部ＣＶＬを有する構成であっても構わない。

搬送装置ＣＶは、シート基板ＦＢの搬入位置と搬出位置とが共に基板処理装置ＰＲの＋Ｘ側となるようにシート基板ＦＢを搬送する。例えば、搬送装置ＣＶは、折り返しローラーＲＲを有している。この折り返しローラーＲＲにより、搬送装置ＣＶは、例えば基板処理装置ＰＲの＋Ｘ側端部から供給されるシート基板ＦＢを−Ｘ側に搬送し、折り返しローラーＲＲによって＋Ｘ側に折り返して、当該基板処理装置ＰＲの＋Ｘ側端部に戻すようにシート基板ＦＢを搬送する。

アライメント装置は、例えばシート基板ＦＢの幅方向の両端部に設けられたアライメントマークを検出し、その検出結果に基づいて、処理装置ＰＡに対するシート基板ＦＢのアライメント動作を行う。アライメント装置は、シート基板ＦＢに設けられたアライメントマーク検出するアライメントカメラや、当該アライメントカメラの検出結果に基づいてシート基板ＦＢを例えばＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向のうち少なくとも一方向に微調整する調整機構などを有している。

上記のように構成された基板処理システムＳＹＳは、制御装置ＣＯＮＴの制御により、有機ＥＬ素子、液晶表示素子などの表示素子（電子デバイス）を製造する。以下、上記構成の基板処理装置ＦＰＡを用いて表示素子を製造する工程を図５も参照して説明する。

まず、基板カートリッジＣＴＲを基板処理装置ＰＲの接続部ＣＮに取り付ける。基板カートリッジＣＴＲには、シート基板ＦＢを搬入する搬入口２と、シート基板ＦＢを搬出する搬出口３とが図１に示すように同一の壁面１０ａに設けられているため、当該壁面１０ａの被接続口６を接続部ＣＮに接続すれば良いことになる。即ち、接続部ＣＮとカートリッジ側の被接続口６との機械的な連結精度で、カートリッジＣＴＲを処理装置ＰＲに対して簡単に且つ正確に接続することができる。
なお、基板カートリッジＣＴＲに収容されているシート基板ＦＢは、図６に示すように、複数の第一ローラー４２及び複数の第二ローラー４４に巻き掛けられ、複数折り返された状態で収容されている。そして、後述するような方法によって、基板カートリッジＣＴＲからのシート基板ＦＢが搬出される。

基板カートリッジＣＴＲを取り付けた後、制御部５は、搬出口３からシート基板ＦＢが送り出されるように搬出ローラー３３を回転させる。制御装置ＣＯＮＴは、シート基板ＦＢが搬出口３から送り出されてから搬入口２へ回収されるまでの間に、基板処理装置ＰＲの搬送装置ＣＶによってシート基板ＦＢを当該基板処理装置ＰＲ内で適宜搬送させつつ、処理装置ＰＡによって表示素子の構成要素をシート基板ＦＢ上に順次形成させる。

一方、制御部５は、基板処理装置ＰＲにより処理された当該シート基板ＦＢを搬入口２の搬入ローラー２３でカートリッジＣＴＲ内に引き込む。このような搬出ローラー３３及び搬入ローラー２３の制御により、シート基板ＦＢの被処理面Ｆｐを基板処理装置ＰＲに対して連続的に搬送することができる。基板カートリッジＣＴＲにおいては、基板処理装置ＰＲを介したシート基板ＦＢが搬入ローラー２３を介して固定案内板４１に案内される。

固定案内板４１に案内されたシート基板ＦＢは、例えば図５に示すように、第一ローラー４２、平行案内板４３、第二ローラー４４を介して可動案内板４５に到達する。このとき、制御部５は、一対の可動案内板４５を共にＹ方向に平行な状態にしておくと共に、第一移動ローラー４７を有する折り返し機構４６の伸縮部５２ｂ及び第二移動ローラー４８を有する折り返し機構４６の伸縮部５２ｂを収縮させた状態（図２の状態）にしておく。すなわち、折り返し機構４６の伸縮部５２ｂを初期状態にしておく。

すると、シート基板ＦＢの先端部は、Ｙ方向の両端を可動案内板４５に支持された状態で＋Ｘ方向へ案内される。制御部５は、搬出ローラー３３を介したシート基板ＦＢの先端部がガイド板３１に支持された状態（図５の状態）になると、搬出ローラー３３の駆動を停止させる。

搬出ローラー３３の駆動を停止させた後、制御部５は、搬入ローラー２３を一時的に停止させ、シート基板ＦＢの先端部を挟持する。制御部５は、第一ローラー４２及び第二ローラー４４の駆動を駆動軸から切り離すと共に、シート基板ＦＢの移動によって従動的に回転可能な状態とする。その後、制御部５は、搬入ローラー２３の駆動を再開させる。

搬入ローラー２３の駆動が再開されると、シート基板ＦＢが再び搬入口２より送り込まれ、搬入ローラー２３、第一ローラー４２及び第二ローラー４４を介して可動案内板４５へと案内される。制御部５は、可動案内板４５を凹部１１内に収容させた後、第二ローラー４４からのシート基板ＦＢの搬送量に応じて、シート基板ＦＢに過剰な張力を掛けないように、第一移動ローラー４７（５４）及び第二移動ローラー４８（５４）を徐々に上方或いは下方へ移動するように、折り返し機構４６の伸縮部５２ｂを延伸させる。

この動作により、第一移動ローラー４７はシート基板ＦＢの−Ｚ側の面から当該シート基板ＦＢを＋Ｚ方向に徐々に押し上げていく。一方、第二移動ローラー４８はシート基板ＦＢの＋Ｚ側の面から当該シート基板ＦＢを−Ｚ方向に徐々に押し下げていく。この結果、図６に示すように、第一移動ローラー４７を有する折り返し機構４６の伸縮部５２ｂ及び第二移動ローラー４８を有する折り返し機構４６の伸縮部５２ｂが共に伸びた状態となる。また、シート基板ＦＢは、当該第一移動ローラー４７の一部及び第二移動ローラー４８の一部に巻き掛けられ、Ｘ方向に複数回折り返された状態で収容される。第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８が可動範囲の最大まで伸びた状態となった後、制御部５は、搬入ローラー２３の駆動を停止させる。

第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８は、Ｘ方向に位置が重ならないように配置されているため、当該第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８を移動させる過程において、シート基板ＦＢが接触することなく当該第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８に巻き掛けられて折り返される。このため、第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８が可動範囲内の最大位置に移動した状態においても、シート基板ＦＢ同士は互いに接触していない状態（非接触状態）となる。

この状態からシート基板ＦＢを搬出する際には、制御部５は、搬入ローラー２３の駆動を停止させたまま（シート基板ＦＢの終端部を挟持したまま）、搬出ローラー３３や第一ローラー４２、第二ローラー４４などを駆動させる。同時に、制御部５は、第一移動ローラー４７を有する折り曲げ機構４６の伸縮部５２ｂ及び第二移動ローラー４８を有する折り曲げ機構４６の伸縮部５２ｂを徐々に収縮させるように駆動源５１ａを制御する。この場合、制御部５は、複数の折り曲げ機構４６の伸縮部５２ｂのうち、基板カートリッジＣＴＲの奥行側から壁面１０ａ側に向かって順に折り曲げ機構４６の伸縮部５２を延伸させていくことが望ましい。シート基板ＦＢが第二ローラー４４と搬出ローラー３３との間でほぼ水平に張った状態になった後、制御部５は、シート基板ＦＢの終端を搬入ローラー２３から解放するとともに、可動案内板４５をＹ方向に平行な状態とし、シート基板ＦＢの終端を搬出ローラー３３まで案内する。このようにシート基板ＦＢを供給し、回収しつつ、基板処理装置ＰＲにおいてシート基板ＦＢに処理を行うようにする。

以上のように、本実施形態によれば、シート基板ＦＢを収容する収容部１と、当該収容部１に設けられシート基板ＦＢを搬出する搬出口３と、収容部１に設けられシート基板ＦＢを搬入する搬入口２と、当該搬入口２から収容部１に収容されたシート基板ＦＢの先端部Ｆｈを搬出口３に案内する案内部４とを備えることとしたので、基板カートリッジＣＴＲに収容されたシート基板ＦＢを送り出す際には、収容時におけるシート基板ＦＢの先端部Ｆｈが先端となるように送り出されることになる。このため、シート基板ＦＢの先端及び最後尾をその都度管理する必要が無い。これにより、基板処理システムＳＹＳにおいてもシート基板ＦＢの管理上の負担が軽減することができる。

［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態を説明する。
本実施形態に係る基板カートリッジは、可動案内板４５の構成が第一実施形態とは異なっているため、当該相違点を中心に説明する。他の構成については、第一実施形態と同一であるため、説明を省略あるいは簡略化する。

図７は、本実施形態に係る基板カートリッジＣＴＲ２の構成を示す図である。図８は、図７におけるＢ−Ｂ断面に沿った構成を示す図である。
図７及び図８に示すように、本実施形態では、可動案内板４５がＸ方向に分割され、複数の板状部材４５ａがＸ方向に互いに離れた状態で配置されている。すなわち、可動案内板４５は、例えば短冊状に形成されている。各板状部材４５ａは、例えば個別に回転可能に設けられる構成としても構わないし、例えば複数の板状部材４５ａが一体的に回転可能な構成としても構わない。また、各板状部材４５ａの一部同士が互いに連結された形状（櫛歯状）であっても構わない。

可動案内板４５を短冊状（又は櫛歯状）に形成することにより、例えばシート基板ＦＢの先端部Ｆｈが第二ローラー４４から搬出ローラー３３に送られる間、各第一移動ローラー４７のローラー部５４を位置５４Ｆに持ち上げておくことができる。当該位置５４Ｆは、可動案内板４５を構成する複数の板状部材４５ａの上面と各ローラー部５４の外周上面とがほぼ同じ高さ（Ｚ方向の位置）になる位置である。このため、シート基板ＦＢの搬送案内経路を安定的に確保することができる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態では、搬入口２が＋Ｚ側、搬出口が−Ｚ側に配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図９Ａに示すように、搬入口２が−Ｚ側（下側）、搬出口３が＋Ｚ側（上側）に配置された構成であっても構わない。図９Ａに示す構成においては、−Ｚ側の搬入口２から搬入されたシート基板ＦＢは、−Ｚ側に配置された固定案内板４１によって−Ｘ方向に案内された後、第一ローラー（駆動ローラ）４２及び平行案内板４３を介して＋Ｚ方向に案内されるようになっている。平行案内板４３及び第二ローラー（駆動ローラ）４４を介したシート基板ＦＢは、例えば＋Ｚ側に配置された可動案内板４５及び折り返し機構４６に案内されるようになっている。

先の実施形態では、折り返し機構４６においてシート基板ＦＢの表面側及び裏面側に配置される第一移動ローラー４７及び第二移動ローラー４８の両方がＺ方向の逆方向に上下動する構成であったが、本実施態様では、例えば図９Ａに示すように、シート基板ＦＢの装填初期状態、即ち、シート基板ＦＢの先端部が搬出口３に達し、搬出口３からローラー４４の間でシート基板がほぼ水平に保持された状態のときにシートの上方に位置する第二移動ローラー４８の方を、−Ｚ方向に移動する構成とした。その為、第一移動ローラー４７はカートリッジＣＴＲ内の上方（＋Ｚ方向）位置に転動可能に軸支されている。

図９Ａに示す構成においては、例えば第一移動ローラー４７が固定されており、第二移動ローラー４８のみが、カートリッジＣＴＲの両側壁（図９Ａの紙面と平行な面内の側壁）にＺ方向に細長く形成された案内溝に案内されて、Ｚ方向に移動可能な構成となっている。その為、第二移動ローラー４８の各々の両端には、その案内溝に係合するように突出した軸部が、例えば図９Ａに示した第一移動ローラー４７と同様に形成されている。

固定的に配置される第一移動ローラー４７には、例えば図９Ｂに示すように、ローラー４７の両端側に突出した軸部４７Ａの各々にリング状ベアリング４７Ｂが転動可能に設けられ、このベアリング４７Ｂに可動案内板４５の上方両端が取り付けられている。この為、第一移動ローラー４７が、θＹ方向に回転しても、可動案内板４５は図９Ａ中に実線で示したようなほぼ水平な状態（Ｘ方向にほぼ平行）、或いは、破線で示したほぼ垂直な状態（Ｚ方向にほぼ平行）に切り替えられる。この切り替えはシート基板ＦＢの搬送シーケンスに応じて、不図示の駆動機構により、複数の第一移動ローラー４７の各々に軸支された可動案内板４５に対して同時に、又は順次（シーケンシャル）に行なわれる。

可動案内板４５は、例えばＸ方向に平行（或いは、シート進行方向に若干の上り勾配を与えた斜め）に配置された状態では、隣接する第一移動ローラー４７の間を埋めるように配置された状態となる。但し、案内板４５の先端が、図９Ａに示すように、隣接するローラー４７とは接触しない程度の隙間を設けるようにしても良い。また、Ｚ方向に平行に配置された状態では、図９Ｂに示すように、隣接する第一移動ローラー４７の間から退避した状態となる。

また、図９Ａに示す構成では、第二移動ローラー４８のＺ方向への移動のタイミングを調整するスライダ部材４９が設けられている。スライダ部材４９は、各第二移動ローラー４８の両端の軸部に係合させる支持部（爪部）と、当該軸部を案内する案内凹部溝とを有している。例えば隣接する２つの第二移動ローラー４８を例に挙げて説明する。

図１０に示すように、当該スライダ部材４９は、例えば隣接する２つの第二移動ローラー４８の軸部４８Ａａ及び４８Ａｂを支持する支持部（爪部）４９ｃ、４９ｄと、当該軸部４８Ａａ及び４８Ａｂを案内する案内凹部溝４９ａ、４９ｂとを有している。隣接する支持部４９ｃ及び４９ｄは、それぞれＸ方向の寸法が異なっている。具体的には、支持部４９ｃのＸ方向の寸法は、支持部４９ｄのＸ方向の寸法よりも大きく形成されている。

このため、図１１Ａ、図１１Ｂ、図１１Ｃ及び図１１Ｄに示すように、スライダ部材４９を＋Ｘ方向に移動させた場合、Ｘ方向の寸法が短い方の支持部４９ｄに支持された軸部４８Ａｂの方が先に支持状態が解消され、当該軸部４８Ａｂを有する第二移動ローラー４８がシート基板ＦＢを押し下げながら−Ｚ方向に移動する。更にスライダ部材４９を＋Ｘ方向に移動させると、Ｘ方向の寸法が大きい方の支持部４９ｃに支持された軸部４８Ａａの支持状態が解消され、当該軸部４８Ａａを有する第二移動ローラー４８もシート基板ＦＢを押し下げながら−Ｚ方向に移動する。このように、Ｘ方向の寸法が所定量ずつ異なる支持部を有するようにスライダ部材４９が形成されているため、例えばスライダ部材４９を＋Ｘ方向に移動させることで、Ｘ方向に配置された第二移動ローラー４８の−Ｚ方向の移動（降下）のタイミングを調整することができる。

また、スライダ部材４９によって各第二移動ローラー４８の軸部を再度保持する場合には、例えば図１２Ａに示すように、全ての第二移動ローラー４８が第一移動ローラー４７のＺ方向の位置とほぼ等しくなった状態において、例えばスライダ部材４９全体を−Ｚ側から＋Ｚ側へ移動させる。即ち、図９Ａのように、全ての第二移動ローラー４８が最も下側に位置してシート基板ＦＢが最も長く収容（ストック）された状態から、シート基板ＦＢが搬出口３から順次処理装置側に引き出されていく際、駆動停止状態にした第一ローラー（駆動ローラー）４２や第二ローラー（駆動ローラー）４４によってシート基板ＦＢが滑ることなく圧接（ニップ）されていると、各第二移動ローラー４８は、シート基板ＦＢの搬出口３からの繰り出し量に応じて徐々に上方（＋Ｚ方向）に移動し、図１２Ａのような状態に至る。その後、図１２Ｂに示すように、案内凹部溝４９ｅ及び案内凹部溝４９ｆとそれぞれの第二移動ローラー４８の軸部４８Ａａ、４８Ａｂとの位置が合うようにスライダ部材４９をＸ方向に移動し、軸部４８Ａａ、４８Ａｂを案内凹部溝４９ｅ、４９ｆにそれぞれ入れ込むようにする。スライダ部材４９が全ての第二移動ローラー４８の軸部を支持する状態になった後、例えば第二ローラー４４及び搬出ローラー３３を駆動させ、シート基板ＦＢを搬出する。

なお、図１３Ａ及び図１３Ｂに示すように、スライダ部材４９の一部に例えば係合エッジ部４９ｇを設ける構成としても構わない。この場合、案内凹部溝４９ａのＸ方向の寸法Ｌ１と、案内凹部溝４９ｂのＸ方向の寸法Ｌ２とが同一の寸法となるように形成しておく。この場合、図１３Ｂに示すように、全ての第二移動ローラー４８が−Ｚ方向の最下部に移動した後、スライダ部材４９をそのまま−Ｚ方向に移動させた場合、案内凹部溝４９ａに係合している軸部４８Ａａは、その位置では案内凹部溝４９ｈを介して自由に＋Ｚ側に移動可能である。一方、案内凹部溝４９ｂに係合している軸部４８Ａｂは、当該係合エッジ部４９ｇにより＋Ｚ側への移動が係止される。
以上の実施形態では、第二移動ローラー４８の自重によってシート基板ＦＢを−Ｚ側に押し下げる為、シート基板ＦＢを搬出口３から引き出す際、各第二移動ローラー４８の転がり摩擦が極めて小さいと仮定すると、第二移動ローラー４８の自重に応じたテンションがシート基板ＦＢに付与されることになる。よって第二移動ローラー４８の重量を選定することで、処理装置に送り込むシート基板ＦＢのテンションを適当な範囲に設定することが可能となる。

また、上記実施形態においては、基板カートリッジＣＴＲのケース１０の同一壁面１０ａに搬入口２及び搬出口３を設ける構成としたが、これに限られることは無く、例えば図１４に示すように、搬入口２と搬出口３とがケース１０の異なる壁面に配置された構成としても構わない。

図１４に示すように、基板カートリッジＣＴＲのケース１０には、例えば壁面１０ａ及び１０ｄが設けられている。このうち、壁面１０ａには搬入口２が設けられている。壁面１０ｄには搬出口３が設けられている。なお、図１４には搬入口２が＋Ｚ側、搬出口３が−Ｚ側に配置された構成が示されているが、これに限られることは無く、搬入口２及び搬出口３のＺ方向上の位置は任意に設定することができる（＋Ｚ側、−Ｚ側、Ｚ方向の中央など適宜設定することが可能）。また、壁面１０ａ及び壁面１０ｄのそれぞれにおいて、被接続口６Ａ及び６Ｄが設けられている。

図１５は、図１４に示す基板カートリッジＣＴＲを用いた基板処理システムＳＹＳの構成を示す概略図である。
図１５に示すように、この場合、基板処理装置ＰＲは、＋Ｘ側及び−Ｘ側の両端部において基板カートリッジＣＴＲに接続されている。例えば、＋Ｘ側の端部の接続部ＣＮは、基板カートリッジＣＴＲの壁面１０ａ側の被接続口６Ａに接続されている。また、−Ｘ側の端部の接続部ＣＮは、基板カートリッジＣＴＲの壁面１０ｄ側の被接続口６Ｄに接続されている。このように、基板供給部ＳＵ及び基板回収部ＣＬとして、それぞれ別個に基板カートリッジＣＴＲを用いることもできる。この場合、基板供給部ＳＵに設置される基板カートリッジＣＴＲにはシート基板を先の図６、図９Ａのように保管し、基板回収部ＣＬには空の基板カートリッジＣＴＲを配置し、基板処理装置ＰＲにて処理・加工されたシート基板を、基板回収部ＣＬ側の基板カートリッジＣＴＲで回収しても良い。

また、上記実施形態では、基板カートリッジＣＴＲの搬入口２及び搬出口３はそれぞれ１つずつ設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、搬入口２及び搬出口３の少なくとも一方が複数設けられた構成であっても構わない。例えば図１６に示す構成では、１つのケース１０に複数の搬出口（例えば２つの搬出口３Ａ及び３Ｂ）が設けられた構成となっている。また、案内部４は、搬入口２からケース１０に収容されるシート基板ＦＢから搬出口３Ａ及び３Ｂまでの案内経路を切り替える経路切替機構（可動ガイド板等）４０を有している。当該経路切替機構４０の切り替え動作は、例えば制御部５によって制御可能とすることができる。なお、図１６に示す構成では、複数の搬出口３Ａ、３Ｂが設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば搬入口２が複数（２つ、又は、３つ以上）設けられた構成としても構わないし、搬出口３を３つ以上設けた構成としても構わない。また、図１６に示す構成では、搬入口２と搬出口３（３Ａ及び３Ｂ）とを別々の壁面１０ａ、１０ｄに配置させた例を挙げて説明したが、これに限られることは無く、同一の壁面に複数の搬入口２及び搬出口３が形成された構成としても構わない。勿論、複数の壁面（例えば壁面１０ａ及び１０ｄのそれぞれ）に複数の搬入口２及び搬出口３が形成された構成としても構わない。

さらに、搬入口、搬出口は基板カートリッジＣＴＲのケース１０の天井部分に設けても良く、このようにすると、製造工場の２階に基板処理装置ＰＲ群が設置される場合に、１階に設置された基板カートリッジＣＴＲと階上の基板処理装置ＰＲとの間で、効率的にシート基板を搬送することができる。

［第三実施形態］
次に、図１７を参照して、本発明の第三実施形態を説明する。
本実施形態に係る基板カートリッジは、その内部でシート基板を多数回折り返す為の第一移動ローラー４７と第二移動ローラー４８の上下動の機構が、先の第一実施形態とは異なっているため、当該相違点を中心に説明する。他の構成については、第一実施形態と同一であるため、説明を省略あるいは簡略化する。

先の図５〜図８に示した第一実施形態において、互いに隣り合った第一移動ローラー４７と第二移動ローラー４８は、Ｚ方向の移動が逆位相（相補的）になる。このことから、図１７のように、互いに隣り合う第一移動ローラー４７と第二移動ローラー４８の対を、タイミングベルト１０３Ａ，１０３Ｂの両端に吊り下げた構成とする。当該タイミングベルト１０３Ａ，１０３Ｂは、例えばカートリッジ内の側壁上方に回転可能に軸支されたプーリ１００Ａ，１００Ｂに、逆Ｕ字状に掛けられた構成とする。

各タイミングベルト１０３Ａ、１０３Ｂの端部は、ローラー４７、４８の両端の軸部を転動可能に支持するベアリング４７Ｂ、４８Ｂに固定される。第一移動ローラー４７と第二移動ローラー４８の各自重がほぼ等しいものとすると、理想状態ではプーリ１００Ａ、１００Ｂに回転駆動力（トルク）を与えなくても、ローラー４７、４８の各高さ位置は、その位置を保ち続ける。

同軸に構成される一対のプーリ１００Ａ、１００Ｂの一方、例えばプーリ１００Ａ側には、プーリ１００Ａ、１００Ｂと同軸に駆動プーリ１０２が固定され、Ｘ方向に隣り合った駆動プーリ１０２との間には無端ベルト１０４が掛け渡されている。従って、Ｘ方向の最も端にある駆動プーリ１０２をモーターにて駆動すると、全ての駆動プーリ１０２、即ち全てのプーリ１００Ａ、１００Ｂが同じ速度で回転し、例えば、全ての第一移動ローラー４７が一斉に上方に移動するときは、全ての第二移動ローラー４８が一斉に下方に移動する。

図１７は先の第一実施形態の図５（又は図７）の状態（初期装填状態）を示し、シート基板ＦＢは各第一移動ローラー４７の上方であって各第二移動ローラー４８の下方の空間に装填される。その状態で、モーターにより駆動される駆動プーリ１０２を回転させると、全ての第一移動ローラー４７が一斉に上方に移動し、シート基板ＦＢの裏面を支持しつつ最も上方の位置まで持ち上げ、同時に、全ての第二移動ローラー４８が一斉に下方に移動し、シート基板ＦＢの表面と接触しつつ最も下方の位置まで引き下げ、これにより、先の図６と同様の状態でシート基板ＦＢがカートリッジ内に保管される。

［第四実施形態］
図１８は、第四実施形態に係る基板保管装置の構成を示す斜視図である。
図１８に示すように、基板保管装置ＳＴＲは、帯状に形成され可撓性を有する基板Ｓを収容する容器ＣＴと、基板Ｓが掛けられる複数の折り返し部ＲＣとを有する。基板保管装置ＳＴＲは、例えば床面ＦＬに載置された容器ＣＴに基板Ｓを収容すると共に複数の折り返し部ＲＣに掛けた状態で保管する。

以下、基板保管装置ＳＴＲの説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。以下の図においては、ＸＹＺ直交座標系のうち床面ＦＬをＸＹ平面としている。ＸＹ平面のうち基板Ｓの短手方向をＹ軸方向とし、Ｙ軸方向に直交する方向をＸ方向としている。また、床面ＦＬ（ＸＹ平面）に垂直な方向をＺ軸方向としている。

容器ＣＴは、例えば外形が直方体に形成されており、６つの壁面を有している。容器ＣＴの内部には、当該６つの壁面で囲まれた収容室ＲＭが形成されている。容器ＣＴは、同一の壁面ＣＴａに２つの開口部（ＥＮ、ＥＸ）を有している。一方の開口部は、収容室ＲＭに基板を搬入する基板搬入口ＥＮである。他方の開口部は、収容室ＲＭの基板を搬出する基板搬出口ＥＸである。本実施形態では、基板搬入口ＥＮが基板搬出口ＥＸの−Ｚ側に配置された構成を例に挙げて説明するが、勿論逆の配置であっても構わない。

収容室ＲＭのうち基板搬入口ＥＮの近傍には、搬入ローラーＲｎが設けられている。搬入ローラーＲｎは、基板ＳをＺ方向に挟む位置に一対設けられている。搬入ローラーＲｎは、基板搬入口ＥＮから搬入される基板Ｓを収容室ＲＭに引き込むように回転可能である。

収容室ＲＭのうち基板搬出口ＥＸの近傍には、搬出ローラーＲｘが設けられている。搬出ローラーＲｘは、基板ＳをＺ方向に挟む位置に一対設けられている。搬出ローラーＲｘは、基板搬出口ＥＸから搬出される基板Ｓを収容室ＲＭの外部に送り出すように回転可能である。

複数の折り返し部ＲＣは、収容室ＲＭに設けられた複数個（ここでは１５個）のローラーＲ１〜Ｒ１５のいずれかを有する。各ローラーＲ１〜Ｒ１５は、それぞれＹ方向に平行な軸部Ｒａを有している。各ローラーＲ１〜Ｒ１５は、当該軸部Ｒａが例えば容器ＣＴの＋Ｙ側及び−Ｙ側の壁部に回転可能に支持されている。各ローラーＲ１〜Ｒ１５の軸部Ｒａの周りには、収容された基板Ｓが掛けられる円筒状の外周部Ｒｂが設けられている。

各ローラーＲ１〜Ｒ１５は、基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸまでの基板Ｓの搬送経路に順に配置されている。以下、ローラーＲ１〜Ｒ１５の配置について具体的に説明する。

複数のローラーＲ１〜Ｒ１５のうち、４つのローラーＲ１、Ｒ３、Ｒ５及びＲ７は、Ｘ軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。同様に、３つのローラーＲ２、Ｒ４及びＲ６についても、Ｘ軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。当該３つのローラーＲ２、Ｒ４及びＲ６は、上記の４つのローラーＲ１、Ｒ３、Ｒ５及びＲ７よりも−Ｚ側に配置されている。

また、ローラーＲ１〜Ｒ１５のうち４つのローラーＲ９、Ｒ１１、Ｒ１３及びＲ１５についても、Ｘ軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。当該４つのローラーＲ９、Ｒ１１、Ｒ１３及びＲ１５は、上記の４つのローラーＲ１、Ｒ３、Ｒ５及びＲ７の＋Ｚ側に隣接して配置されている。

更に、ローラーＲ１〜Ｒ１５のうち３つのローラーＲ１０、Ｒ１２及びＲ１４についても、Ｘ軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。当該３つのローラーＲ１０、Ｒ１２及びＲ１４は、上記の４つのローラーＲ１、Ｒ３、Ｒ５及びＲ７よりも−Ｚ側であって、上記の３つのローラーＲ２、Ｒ４及びＲ６の＋Ｚ側に隣接して配置されている。
このようにＸ方向に並んだローラーの列がＺ方向に４列設けられた構成になっている。

４列のローラーのうち、Ｚ方向の両端に配置される２列（＋Ｚ側端部：ローラーＲ９、Ｒ１１、Ｒ１３及びＲ１５、−Ｚ側端部：ローラーＲ２、Ｒ４及びＲ６）のローラーについては、他の２列に比べてローラーの径が大きくなるように形成されている。

このように、ローラーＲ１〜Ｒ１５のうち径の異なるローラーＲ１とローラーＲ１５との２つがＺ方向に隣り合うように並んで配置されている（但し、ローラーＲ１の径＜ローラーＲ１５の径。以下、単に「Ｒ１＜Ｒ１５」のように表記する）。また、ローラーＲ２及びＲ１４（Ｒ１４＜Ｒ２）、ローラーＲ３及びＲ１３（Ｒ３＜Ｒ１３）、ローラーＲ４及びＲ１２（Ｒ１２＜Ｒ４）、ローラーＲ５及びＲ１１（Ｒ５＜Ｒ１１）、ローラーＲ６及びＲ１０（Ｒ１０＜Ｒ６）、ローラーＲ７及びＲ９（Ｒ９＜Ｒ７）、のそれぞれについても、Ｚ方向に隣り合うように並んで配置されている。

基板Ｓは、ローラーＲ１〜Ｒ１５に順に掛けられていくことにより、基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸまでの搬送経路を案内されるようになっている。基板Ｓは、基板搬入口ＥＮからローラーＲ７までの各ローラーに＋Ｘ方向に順に掛けられる。具体的には、基板Ｓは、ローラーＲ１によって−Ｚ方向に折り返される。基板ＳのうちローラーＲ１の下流側は、ローラーＲ２によって＋Ｚ方向に折り返される。基板ＳのうちローラーＲ２の下流側は、ローラーＲ３によって−Ｚ方向に折り返される。このように、ローラーＲ１からローラーＲ７まで、基板Ｓは＋Ｚ方向と−Ｚ方向とに交互に折り返される。

ローラーＲ７に掛けられた基板Ｓは、方向転換用のローラーＲ８を経由してローラーＲ９に掛けられる。この基板Ｓは、ローラーＲ９から基板搬出口ＥＸまでの各ローラー（Ｒ９〜Ｒ１５）に−Ｘ方向に順に掛けられる。具体的には、基板Ｓは、ローラーＲ９によって−Ｚ方向に折り返される。基板ＳのうちローラーＲ９の下流側は、ローラーＲ１０によって＋Ｚ方向に折り返される。基板ＳのうちローラーＲ１０の下流側は、ローラーＲ１１によって−Ｚ方向に折り返される。このように、ローラーＲ９からローラーＲ１５まで、基板Ｓは＋Ｚ方向と−Ｚ方向とに交互に折り返され、Ｘ方向に基板Ｓが重なるように収容される。

このような搬送経路で基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸに案内される基板Ｓは、基板搬入口ＥＮにおいては第一面Ｓａが＋Ｚ側に向けられ、第二面Ｓｂが−Ｚ側に向けられた状態となっている。また、基板搬出口ＥＸにおいては第一面Ｓａが−Ｚ側に向けられ、第二面Ｓｂが＋Ｚ側に向けられた状態となっている。

本実施形態では、ローラーＲ６において、基板Ｓの第一面Ｓａ同士が互いに向き合うように基板Ｓが折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ６によって当該ローラーＲ６の下流側に折り返された部分を第一部分Ｓ１と表記する。また、基板ＳのうちローラーＲ６によって第一部分Ｓ１とは逆方向に折り返された部分を第四部分Ｓ４と表記する。

ローラーＲ７においては、第一部分Ｓ１の第二面Ｓｂ同士が互いに向き合うように当該第一部分Ｓ１が折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ７によって当該ローラーＲ７の下流側に折り返された部分を第二部分Ｓ２と表記する。

ローラーＲ８及びローラーＲ９においては、この第二部分Ｓ２がローラーＲ６に向かうように方向転換されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ８及びローラーＲ９によって方向転換された部分を第三部分Ｓ３と表記する。

ローラーＲ１０においては、この第三部分Ｓ３が、第四部分Ｓ４の第一面Ｓａに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Ｓが例えば基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸへ移動する状態において第三部分Ｓ３と第四部分Ｓ４とが逆方向に移動するように、当該第三部分Ｓ３がローラーＲ１０によって折り返されている。

ローラーＲ６からローラーＲ１０にかけて、上記のように基板Ｓが折り返されているため、基板ＳのうちローラーＲ１〜Ｒ７に掛けられる部分と、基板ＳのうちローラーＲ９〜Ｒ１５に掛けられる部分とが、Ｚ方向に重なるように配置されることになる。本実施形態においては、収容室ＲＭのうちＺ方向の端面側のローラー列よりも中央部側のローラー列の方がローラーの径が小さくなっているため、基板ＳのうちＺ方向に重なる部分同士が接触しないようになっている。

ローラーＲ１〜Ｒ１５に掛けられた基板ＳのうちローラーＲ１とローラーＲ２との間の部分は、ＹＺ平面に平行になっている。このように、上記の４列のローラー列のうち＋Ｚ側から２列目のローラー列を構成する４つのローラーＲ１、Ｒ３、Ｒ５及びＲ７と、最も−Ｚ側のローラー列を構成する３つのローラーＲ２、Ｒ４及びＲ６との間に配置される基板ＳがＹＺ平面に平行になるように、ローラーＲ１〜Ｒ７のＸ方向の位置が調整されている。

同様に、上記の４列のローラー列のうち最も＋Ｚ側のローラー列を構成する４つのローラーＲ９、Ｒ１１、Ｒ１３及びＲ１５と、−Ｚ側から２番目のローラー列を構成する３つのローラーＲ１０、Ｒ１２及びＲ１４との間に配置される基板ＳがＹＺ平面に平行になるように、ローラーＲ９〜Ｒ１５のＸ方向の位置が調整されている。

なお、上記説明では、基板Ｓが基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸに向けて収容室ＲＭを移動する場合を例に挙げて説明したが、例えば基板Ｓが基板搬出口ＥＸから基板搬入口ＥＮに向けて収容室ＲＭを移動する場合であっても、同様の説明が可能である。なお、この場合、基板Ｓの移動方向が上記説明とは逆になるため、基板搬出口ＥＸ側を上流側、基板搬入口ＥＮ側を下流側として説明する。

図１８に示すように、例えばローラーＲ１０において、基板Ｓの第二面Ｓｂ同士が互いに向き合うように基板Ｓが折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ１０によって当該ローラーＲ１０の下流側に折り返された部分を第一部分Ｔ１と表記する。また、基板ＳのうちローラーＲ１０によって第一部分Ｔ１とは逆方向に折り返された部分を第四部分Ｔ４と表記する。

ローラーＲ９においては、第一部分Ｔ１の第一面Ｓａ同士が互いに向き合うように当該第一部分Ｔ１が折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ９によって当該ローラーＲ９の下流側に折り返された部分を第二部分Ｔ２と表記する。

ローラーＲ９及びローラーＲ８においては、この第二部分Ｔ２がローラーＲ１０に向かうように方向転換されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ８及びローラーＲ９によって方向転換された部分を第三部分Ｔ３と表記する。

ローラーＲ６においては、この第三部分Ｔ３が、第四部分Ｔ４の第二面Ｓｂに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Ｓが例えば基板搬出口ＥＸから基板搬入口ＥＮへ移動する状態において第三部分Ｔ３と第四部分Ｔ４とが逆方向に移動するように、当該第三部分Ｔ３がローラーＲ６によって折り返されている。

このように、基板Ｓが基板搬出口ＥＸから基板搬入口ＥＮへ移動する場合においても、ローラーＲ１０からローラーＲ６にかけて、上記のように基板Ｓが折り返されていることになる。このため、基板ＳのうちローラーＲ１〜Ｒ７に掛けられる部分と、基板ＳのうちローラーＲ９〜Ｒ１５に掛けられる部分とが、Ｚ方向に重なるように配置されることになる。

以上のように、本実施形態によれば、基板ＳがＸ方向に重なるように波状に折り返されると共にＺ方向に複数重なるように配置された状態で収容室ＲＭに収容されるため、収容室ＲＭの限られたスペースに対して効率良く基板Ｓを収容することができる。これにより、基板Ｓの収容能力の高い基板保管装置ＳＴＲが得られる。

［第五実施形態］
次に、本発明の第五実施形態を説明する。
図１９は、本実施形態に係る基板保管装置ＳＴＲ２の構成を示す図である。本実施形態では、複数の折り返し部ＲＣの構成が第四実施形態とは異なっているため、この点を中心に説明する。なお、他の構成については、第四実施形態と同一である。第四実施形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略あるいは簡略化する。なお、本実施形態では、第四実施形態と同様にＸＹＺ直交座標系を用いて説明する。
図１９に示すように、基板保管装置ＳＴＲ２は、基板ＳがＺ方向に三重に配置されるように複数の折り返し部ＲＣが構成されている。折り返し部ＲＣは、複数個のローラーＲ２１〜ローラーＲ４４のいずれかを有している。

ローラーＲ２１〜Ｒ４４のうち、収容室ＲＭのＺ方向中央部に対して−Ｚ側には１１個のローラーが配置されている。このうち、４つのローラーＲ２１、Ｒ２３、Ｒ２５及びＲ２７と、４つのローラーＲ２９、Ｒ３１、Ｒ３３及びＲ３５と、３つのローラーＲ３７、Ｒ３９及びＲ４１とがそれぞれＸ方向に一列ずつ並んでいる。

また、ローラーＲ２１〜Ｒ４４のうち、収容室ＲＭのＺ方向中央部に対して＋Ｚ側には１３個のローラーが配置されている。このうち、３つのローラーＲ２２、Ｒ２４及びＲ２６と、４つのローラーＲ２８、Ｒ３０、Ｒ３２及びＲ３４と、４つのローラーＲ３６、Ｒ３８、Ｒ４０及びＲ４２と、がそれぞれＸ方向に一列ずつ並んでいる。また、容器ＣＴの＋Ｚ側の内壁に沿ってローラーＲ４３及びＲ４４が設けられている。

このように、本実施形態では、Ｘ方向に並んだローラーの列がＺ方向に６列設けられた構成になっている。この６列のローラー列は、収容室ＲＭのＺ方向中央部から＋Ｚ側に３列、−Ｚ側に３列設けられている。収容室ＲＭのうちＺ方向の端部側のローラー列から中央部側のローラー列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっている。

基板Ｓは、基板搬入口ＥＮから搬入ローラーＲｎを介して収容室ＲＭに搬入された後、ローラーＲ２１によって＋Ｚ方向に折り返される。基板ＳのうちローラーＲ２１の下流側は、ローラーＲ２２によって−Ｚ方向に折り返される。当該基板Ｓは、ローラーＲ２３〜Ｒ２７において、同様に交互に＋Ｚ方向及び−Ｚ方向に折り返される。

基板ＳのうちローラーＲ２７の下流側は、方向転換用のローラーＲ２８によって折り返され、方向が転換される。基板ＳのうちローラーＲ２８の下流側は、ローラーＲ２９〜Ｒ３４において＋Ｚ方向及び−Ｚ方向に交互に折り返され、方向転換用のローラーＲ３５によって折り返され、再度方向が転換される。

基板ＳのうちローラーＲ３５の下流側は、ローラーＲ３６〜Ｒ４１において＋Ｚ方向及び−Ｚ方向に交互に折り返され、方向転換用のローラーＲ４２及びＲ４３によって折り返され、方向が転換される。このように、基板Ｓは、Ｘ方向において重なった状態で配置されることになる。また、基板ＳのうちローラーＲ４３の下流側は、基板搬出口ＥＸへ向けられ、ローラーＲ４４に掛けられた後、搬出ローラーＲｘを介して基板搬出口ＥＸから搬出される。

ローラーＲ２１〜Ｒ４２に掛けられる基板Ｓのうち、例えばローラーＲ２１とローラーＲ２２との間の部分は、ＹＺ平面に平行になっている。このように、基板Ｓのうち収容室ＲＭのＺ方向の中央部を跨いで掛けられる部分がＹＺ平面に平行になるように、ローラーＲ２１〜Ｒ４２のＸ方向の位置が調整されている。

本実施形態では、ローラーＲ２６において、基板Ｓの第二面Ｓｂ同士が互いに向き合うように基板Ｓが折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ２６によって当該ローラーＲ２６の下流側に折り返された部分を第一部分Ｓ２１と表記する。また、基板ＳのうちローラーＲ２６によって第一部分Ｓ２１とは逆方向に折り返された部分を第四部分Ｓ２４と表記する。

ローラーＲ２７においては、第一部分Ｓ２１の第一面Ｓａ同士が互いに向き合うように当該第一部分Ｓ２１が折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ２７によって当該ローラーＲ２７の下流側に折り返された部分を第二部分Ｓ２２と表記する。

ローラーＲ２８及びローラーＲ２９においては、この第二部分Ｓ２２がローラーＲ２６に向かうように方向転換されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ２８及びローラーＲ２９によって方向転換された部分を第三部分Ｓ２３と表記する。

ローラーＲ３０においては、この第三部分Ｓ２３が、第四部分Ｓ２４の第一面Ｓａに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Ｓが例えば基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸへ移動する状態において第三部分Ｓ２３と第四部分Ｓ２４とが逆方向に移動するように、当該第三部分Ｓ２３がローラーＲ３０によって折り返されている。

ローラーＲ２６からローラーＲ３０にかけて、上記のように基板Ｓが折り返されているため、基板ＳのうちローラーＲ２１〜Ｒ２７に掛けられる部分と、基板ＳのうちローラーＲ２９〜Ｒ３５に掛けられる部分とが、Ｚ方向に重なるように配置されることになる。

また、ローラーＲ３３において、基板Ｓの第二面Ｓｂ同士が互いに向き合うように基板Ｓが折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ３３によって当該ローラーＲ３３の下流側に折り返された部分を第一部分Ｔ２１と表記する。また、基板ＳのうちローラーＲ３３によって第一部分Ｔ２１とは逆方向に折り返された部分を第四部分Ｔ２４と表記する。

ローラーＲ３４においては、第一部分Ｔ２１の第一面Ｓａ同士が互いに向き合うように当該第一部分Ｔ２１が折り返されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ３４によって当該ローラーＲ３４の下流側に折り返された部分を第二部分Ｔ２２と表記する。

ローラーＲ３５及びローラーＲ３６おいては、この第二部分Ｔ２２がローラーＲ３３に向かうように方向転換されている。なお、基板ＳのうちローラーＲ３５及びローラーＲ３６によって方向転換された部分を第三部分Ｔ２３と表記する。

ローラーＲ３７においては、この第三部分Ｔ２３が、第四部分Ｔ２４の第一面Ｓａに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Ｓが例えば基板搬入口ＥＮから基板搬出口ＥＸへ移動する状態において第三部分Ｔ２３と第四部分Ｔ２４とが逆方向に移動するように、当該第三部分Ｔ２３がローラーＲ３７によって折り返されている。

ローラーＲ３３からローラーＲ３７にかけて、上記のように基板Ｓが折り返されているため、基板ＳのうちローラーＲ２９〜Ｒ３５に掛けられる部分と、基板ＳのうちローラーＲ３６〜Ｒ４２に掛けられる部分とが、Ｚ方向に重なるように配置されることになる。

本実施形態においては、収容室ＲＭのうちＺ方向の端面側のローラー列から中央部側のローラー列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっているため、基板ＳのうちＺ方向に重なる部分同士が接触しないようになっている。
尚、径の小さいローラーの直径の決め方は、前述した第一実施形態で説明した通りである。

以上のように、本実施形態によれば、基板ＳがＸ方向に重なるように波状に折り返されると共にＺ方向に三重となるように配置された状態で収容室ＲＭに収容されるため、収容室ＲＭの限られたスペースに対して効率良く基板Ｓを収容することができる。これにより、基板Ｓの収容能力の高い基板保管装置ＳＴＲ２が得られる。

［第六実施形態］
次に、本発明の第六実施形態を説明する。
図２０は、本実施形態に係る基板保管装置ＳＴＲ３の構成を示す図である。本実施形態においては、基板搬入口ＥＮと基板搬出口ＥＸとが容器ＣＴのうち異なる面に設けられている点で、上記第五実施形態とは異なっている。また、これに伴い、折り返し部ＲＣの構成が第五実施形態とは異なっている。他の構成については、第五実施形態と同一である。なお、本実施形態では、上記実施形態と同様にＸＹＺ直交座標系を用いて説明する。

図２０に示すように、基板搬入口ＥＮは、容器ＣＴのうち−Ｘ側の壁部ＣＴａに設けられている。これに対して、基板搬出口ＥＸは、容器ＣＴのうち＋Ｘ側の壁部ＣＴｂに設けられている。このように基板搬入口ＥＮ及び基板搬出口ＥＸが、容器ＣＴのうちＸ方向上の異なる壁部に設けられている。

ローラーＲ２１〜Ｒ４２の配置は第五実施形態と同一である。したがって、基板Ｓの第一部分Ｓ２１〜第四部分Ｓ２４、第一部分Ｔ２１〜第四部分Ｔ２４の位置関係についても、第五実施形態と同一である。本実施形態では、第五実施形態におけるローラーＲ４３及びＲ４４が設けられておらず、その分、収容室ＲＭのスペースを小さくすることができるようになっている。

また、ローラーＲ４３における基板Ｓの折り返しが無いため、基板搬入口ＥＮから搬入される基板Ｓの第一面Ｓａ及び第二面Ｓｂの位置関係と、基板搬出口ＥＸから搬出される基板Ｓの第一面Ｓａ及び第二面Ｓｂの位置関係とを同一とすることができる。具体的には、基板搬入口ＥＮにおいても基板搬出口ＥＸにおいても、基板Ｓの第一面Ｓａが＋Ｚ側に向けられ、第二面Ｓｂが−Ｚ側に向けられることになる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記第五実施形態及び第六実施形態では、基板Ｓのうち収容室ＲＭのＺ方向の中央部を跨いで掛けられる部分がＹＺ平面に平行になるように、ローラーＲ２１〜Ｒ４２のＸ方向の位置が調整された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。

収容室ＲＭのうちＺ方向の端部側から中央部側に向かって、Ｘ方向に配置されるローラーＲ３６、Ｒ３８、Ｒ４０、Ｒ４２の径、Ｘ方向に配置されるローラーＲ２８、Ｒ３０、Ｒ３２、Ｒ３４の径、Ｘ方向に配置されるローラーＲ２２、Ｒ２４，Ｒ２６の径が段階的に小さくなり、また、収容室ＲＭの中央部側から床方向に向かって、Ｘ方向に配置されるローラーＲ３７、Ｒ３９、Ｒ４１の径、Ｘ方向に配置されるローラーＲ３５、Ｒ３３、Ｒ３１、Ｒ２９の径、Ｘ方向に配置されるローラーＲ２１、Ｒ２３、Ｒ２５、Ｒ２７の径が段階的に大きくなる構成であれば、例えば図２１に示すように、基板Ｓのうち収容室ＲＭのＺ方向の中央部を跨いで掛けられる部分がＹＺ平面に対して傾くようにローラーＲ２１〜Ｒ４２が配置されている構成であっても構わない。この場合、上記第五実施形態及び第六実施形態に比べて、ローラーのＸ方向の距離が小さくなる。このため、容器ＣＴをＸ方向にコンパクトにすることができる。
なお、図２１において、最小径のローラーＲ２４、Ｒ３７の直径の制限については、前述した第一実施形態で説明した通りである。また、図２０における最小径の複数の各ローラーの直径の制限についても同様である。

なお、図２１においては、ローラーＲ２３、Ｒ３３及びＲ３７と、ローラーＲ２４、Ｒ３２及びＲ３８との間の基板Ｓを代表させて説明しているが、他の部分においても同様の説明が可能である。また、第四実施形態においても、収容室ＲＭのうちＺ方向の端部側のローラーＲ３６、Ｒ３８、Ｒ４０、Ｒ４２の列から中央部側のローラーＲ２２、Ｒ２４，Ｒ２６の列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっているため、同様の説明が可能である。

また、上記実施形態の各構成においては、基板搬入口ＥＮから基板Ｓを搬入させた後、基板Ｓが各ローラーＲ２１〜Ｒ４２に掛けられるように当該基板Ｓを案内するガイド部が収容室ＲＭに適宜設けられる構成としても構わない。これにより、基板Ｓを確実に各ローラーＲ２１〜Ｒ４２に掛けることができる。

また、上記実施形態の変形例として、例えば図２２に示すようなローラーの配置することも可能である。複数のローラーのうちＺ方向に隣接する３つのローラーＲ４３、Ｒ２８、Ｒ４２、３つのローラーＲ２７、Ｒ２９、Ｒ４１、３つのローラーＲ２６、Ｒ３０、Ｒ４０、３つのローラーＲ２５、Ｒ３１、Ｒ３９、３つのローラーＲ２４、Ｒ３２、Ｒ３８、３つのローラーＲ２３、Ｒ３３、Ｒ３７、３つのローラーＲ２２、Ｒ３４、Ｒ３６のそれぞれについてＹ方向に伸びた軸Ｒａ（図１８）の両端を連結部材２１０（この連結部材２１０は、Ｚ方向に移動可能）によって連結する。すなわち、３つのローラーＲ４３、Ｒ２８、Ｒ４２は連結部材２１０ａに取り付けられ、３つのローラーＲ２７、Ｒ２９、Ｒ４１は連結部材２１０ｂに取り付けられ、３つのローラーＲ２６、Ｒ３０、Ｒ４０は連結部材２１０ｃに取り付けられ、３つのローラーＲ２５、Ｒ３１、Ｒ３９は連結部材２１０ｄに取り付けられ、３つのローラーＲ２４、Ｒ３２、Ｒ３８は連結部材２１０ｅに取り付けられ、３つのローラーＲ２３、Ｒ３３、Ｒ３７は連結部材２１０ｆに取り付けられ、３つのローラーＲ２２、Ｒ３４、Ｒ３６は連結部材２０ｇに取り付けられる。そして、各３つのローラーのうち２つがＸ方向に並ぶように、かつ、残り１つのローラーが＋Ｚ側及び−Ｚ側に交互にはみ出すように、連結部材２１０ａ〜２１０ｇを配置させておく。すなわち、ローラーＲ４２、Ｒ２９、Ｒ４０、Ｒ３１、Ｒ３８、Ｒ３３、Ｒ３６がＸ方向に並んで配置され、ローラーＲ２８、Ｒ２７、Ｒ３０、Ｒ２５、Ｒ３２、Ｒ２３、Ｒ３４がＸ方向に並んで配置される。また、ローラーＲ４１、Ｒ３９、Ｒ３７が＋Ｚ側にはみ出し、ローラーＲ４３、Ｒ２６、Ｒ２４、Ｒ２２が−Ｚ側にはみ出している。Ｘ方向に並んだ２列のローラーのうち、ローラーＲ２８、Ｒ２７、Ｒ３０、Ｒ２５、Ｒ３２、Ｒ２３、Ｒ３４の列の＋Ｘ側には、固定ローラー２２０Ａを配置し、ローラーＲ４２、Ｒ２９、Ｒ４０、Ｒ３１、Ｒ３８、Ｒ３３、Ｒ３６の列の−Ｘ側には、固定ローラー２２０Ｂを配置させておく。

この状態で、図２２に示すように、まず搬入ローラーＲｎから基板Ｓを＋Ｘ方向に直線状に搬送し、ローラーＲ３４とローラーＲ２２との間、ローラーＲ３２とローラーＲ２４との間、ローラーＲ３０とローラーＲ２６との間、ローラーＲ２８とローラー４３との間を抜けるように＋Ｘ側の固定ローラー２２０Ａまで到達させ、当該固定ローラー２２０Ａで−Ｘ方向に折り返させる。次に、ローラーＲ２８とローラー４２との間、ローラーＲ２９とローラーＲ２７との間、ローラーＲ４０とローラーＲ３０との間、ローラーＲ３１とローラーＲ２５との間、ローラーＲ３８とローラーＲ３２との間、ローラーＲ３３とローラーＲ３２との間、ローラーＲ３６とローラーＲ３４との間を抜けるように−Ｘ側の固定ローラー２２０Ｂまで到達させ、当該固定ローラー２２０Ｂで＋Ｘ方向に折り返させる。その後、ローラーＲ３７とローラーＲ３３との間、ローラーＲ３９とローラーＲ３１との間、ローラーＲ４１とローラーＲ２９との間を抜けるように搬出ローラーＲｘに到達させる。

次に、図２３に示すように、連結部材２１０ａ、２１０ｃ、２１０ｅ、２１０ｇを＋Ｚ側に移動させ、連結部材２１０ｂ、２１０ｄ、２１０ｆを−Ｚ側に移動させる。この動作により、各ローラーに基板Ｓが掛けられた状態となる。この構成により、短時間で基板Ｓを各ローラーに掛けることができる。

また、上記実施形態においては、各ローラーの構成について、軸部Ｒａ及び外周部Ｒｂを有する構成であり、外周部Ｒｂが円筒状に形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。
例えば図２４Ａ及び図２４Ｂに示すように、シート基板ＦＢを折り返すための折り返し部のローラーＲ２２として、軸部２３１及び複数のフランジ部２３２を有するディスクローラー２３３を備える構成であっても構わない。この場合、軸部２３１は複数のフランジ部２３２同士を連結する連結部を兼ねている。なお、図２４Ａ及び図２４Ｂには第五実施形態及び第六実施形態のローラーＲ２２、Ｒ３２及びＲ３６を代表させて示しているが、他のローラーであっても同様の構成とすることができる。また、第四実施形態のローラーであっても同様の構成としても構わない。

図２４Ｂに示すように、複数のフランジ部２３２は、Ｙ方向に間隔をあけて並んで配置されている。軸部２３１のＹ方向の中央部に連結されるフランジ部２３２同士の間隔は、軸部２３１のＹ方向の端部に連結されるフランジ部２３２同士の間隔よりも広くなっている。また、軸部２３１のＹ方向の中央部に連結されるフランジ部２３２のＹ方向の寸法（厚さ）は、軸部２３１のＹ方向の端部に連結されるフランジ部２３２厚さよりも大きくなっている。この構成はあくまでも一例であり、例えばフランジ部２３２同士がＹ方向に等ピッチで配置されていても構わないし、フランジ部２３２の厚さが全て等しく形成されていても構わない。

また、例えば図２５及び図２６に示すように、折り返し部の径が大きくなる箇所に対しては、軸部２３１及び複数のフランジ部２３２を有する２つのディスクローラー２３３を組み合わせて配置させてもよい。この構成において、図２６に示すように、２つのディスクローラー２３３をＹ方向にずらし、２つのディスクローラー２３３のうち一方が有するフランジ部２３２の間に、２つのディスクローラー２３３のうち他方が有するフランジ部２３２が入り込む構成にすることができる。この場合、２つのディスクローラー２３３のＸ方向の間隔を調整することにより、折り返し部の径を所望の値に設定することができる。このためＺ方向の寸法が大きくなるのを抑えることができる。

また、シート基板ＦＢにおいて、異なる径を有する折り返し部の全てに対して同一構成のディスクローラー２３３を用いることができる。更に、軸部２３１同士の間隔Ｐをフランジ部２３２の径よりも狭くすることもできるため、設計の幅が広がることになる。

なお、図２５においては、Ｚ方向にディスクローラー２３３の組が３組隣接する構成を例に挙げているが、これに限られることは無く、例えばＺ方向にディスクローラー２３３が２組隣接する構成や４組以上隣接する構成であっても同様の説明が可能である。なお、図２５に示す構成では、Ｚ方向に隣接するディスクローラー２３３の間隔が等しくなっているが、異なる間隔としても構わない。
この場合においても、フランジ部２３２の最小径は、シート基板ＦＢをＵ字状に折り返しても塑性変形しない範囲内に設定される。

なお、図２４Ａ、図２４Ｂ、図２５及び図２６に示すディスクローラー２３３については軸部２３１とフランジ部２３２とが固定された構成であっても構わないし、軸部２３１とフランジ部２３２とが独立して回転可能とされた構成であっても構わない。

また、図２７及び図２８に示すように、流体パッド２４０を用いてエアターンバーとした構成であっても構わない。図２８は、図２７におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。図２７及び図２８に示す構成においては、基板ＳのＹ方向の両端部を支持する位置に一対のローラー２４４が設けられている。ローラー２４４は、円筒状に形成された外周面２４４ａを有している。一対のローラー２４４は、シャフト２４２を介して側壁２４５に回転可能に支持されている。

一対のローラー２４４の間には、複数の流体パッド２４０が設けられている。複数の流体パッド２４０は、例えばＹ方向に間隔を空けて配置されている。流体パッド２４０は、軸受２４１を介してシャフト２４２に支持されている。流体パッド２４０は、円弧状に形成されたパッド面２４０ａを有している。パッド面２４０ａの径は、ローラー２４４の外周面２４４ａの径に対応するように設定されている。パッド面２４０ａ及び外周面２４４ａは、位置関係が固定された状態になっている。流体パッド２４０は、側壁２４５に固定された係止ピン２４６により、シャフト２４２回りにはほとんど回転しないように構成されている。

流体パッド２４０のパッド面２４０ａには、溝部２４０ｂが形成されている。溝部２４０ｂは、流体パッド２４０の内部に設けられた流路２４７及び当該流路２４７に接続されたチューブ２４９を介して気体供給部２４８に接続されている。気体供給部２４８は、圧搾気体を供給可能である。気体供給部２４８からの気体は、流路２４７を介して溝部２４０ｂに供給され、パッド面２４０ａ上に噴出されるようになっている。

図２７に示す構成においては、基板ＳのＹ方向の両端部は、ローラー２４４の外周面２４４ａに摩擦接触して支持されるようになっている。この状態でローラー２４４が回転すると、外周面２４４ａを介してローラー２４４の回転が基板Ｓに伝達され、基板Ｓが移動するようになっている。基板Ｓがローラー２４４に掛けられた状態で気体供給部２４８から気体が供給されると、基板Ｓの被支持面とパッド面２４０ａとの間に流体層２５０が形成されることになる。なお、上記の流体パッド２４０のパッド面２４０ａを規定する径は、ローラー２４４の径とほぼ同じであるが、流体層２５０の厚み（数μｍ〜数十μｍ）を考慮して僅かに小さくしても構わない。

流体パッド２４０によって形成される流体層２５０の周方向（シャフト２４２の回転方向）の長さは基板Ｓと摩擦接触するローラー２４４の周方向の長さと同程度になるように設定される。図２７に示す例では、ほぼ１８０度となるように設定されている。

なお、ローラー２４４としては、基板Ｓに所望のテンションを与えた状態で基板Ｓを移動する際に、基板Ｓとの摩擦接触により自由回転する従動ローラーとしての構成であっても構わないし、シャフト２４２に不図示のモータ等の駆動機構が接続された駆動ローラーとしての構成であっても構わない。

また、例えば図２９に示すように、上記の流体パッド２４０及びローラー２４４の構成をＸ方向に複数配置させて、シート基板ＦＢの折り返し部の径を調整する構成としても構わない。このような構成の場合、流体パッド２４０のパッド面２４０ａのうち周方向の全領域が基板Ｓに対向するのではなく、図２９に示すように周方向において特定の四分の一の領域のみが基板Ｓに対向することになる。このため、パッド面２４０ａには予め当該四分の一の領域のみに溝部２４０ｂを形成しておくようにする。これにより、流体層２５０の周方向の範囲を調整することができる。

また、例えば図３０に示すように、エアベアリング機構２６０を用いる構成であっても構わない。このエアベアリング機構２６０は、一対のガイド部材２６１と、当該一対のガイド部材２６１を保持する保持部材２６２と、ガイド部材２６１にエアを供給するエア供給部２６３とを有している。

ガイド部材２６１は、例えばセラミックス製の多孔質部材などによって形成されている。ガイド部材２６１の表面（ガイド面）２６１は、円筒面の一部（９０°程度）として形成されている。ガイド面２６１ａからは、例えばエア供給部２６３からのエアが噴出するようになっている。保持部材２６２は、一対のガイド部材２６１を保持する。保持部材２６２には、＋Ｘ側及び−Ｘ側にガイド面２６１ａを向けた一対のガイド部材２６１がＸ方向に間隔を開けた状態で保持されている。

図３１は、折り返し部に、上記エアベアリング機構２６０を用いた構成を示している。図３１に示すように、Ｚ方向に隣接してエアベアリング機構２６０が用いられているが、折り返し部ごとに保持部材２６２のＸ方向の寸法が異なっている。具体的には、最も＋Ｚ側に配置されるエアベアリング機構２６０の保持部材２６２ＡのＸ方向の寸法が最も大きく、当該保持部材２６２Ａに対して−Ｚ側の保持部材２６２Ｂ、保持部材２６２Ｃ及び保持部材２６２Ｄは、この順に徐々にＸ方向の寸法が小さくなるように形成されている。

このように、保持部材２６２の寸法を調整することにより、折り返し部における径を変化させることができる。また、ローラーを用いる場合に比べて、Ｚ方向の寸法が略半分で住むため、コンパクトな構成とすることができる。このため、Ｚ方向に折り返し部を多数設けることができるし、容器のＺ方向の寸法を小さくすることもできる。

また、上記実施形態では、折り返し部としてローラーを用いる場合、Ｙ方向におけるローラーの径を一定にする構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図３２Ａに示すように、外周部ＲｂのＹ方向の端部から中央部に至るにつれて径が大きくなる構成であっても構わない。また、図３２Ｂに示すように、外周部ＲｂのＹ方向の端部から中央部に至るにつれて径が小さくなる構成であっても構わない。

また、上記実施形態では、折り返し部としてローラーを用いる構成において、収容室ＲＭのうちＺ方向の端部側のローラー列から中央部側のローラー列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっている構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図３３に示すように、全てのローラーの径を同一とする構成であっても構わない。

この場合、Ｚ方向に隣接するローラー組同士のＸ方向におけるピッチＬ３を、上記実施形態における当該ピッチに比べて大きくすれば良い。また、Ｚ方向に隣接するローラー組同士がＸ方向に所定距離Ｌ４をおいて配置されるようにすれば良い。このようにローラーの径が全て同一の場合であっても、本発明を適用することができる。

ＣＴＲ…基板カートリッジ ＦＢ…シート基板 ＳＹＳ…基板処理システム ＰＲ…基板処理装置 ＣＯＮＴ…制御装置 ＣＮ…接続部 Ｆｈ…先端部 １…収容部 ２…搬入口 ３、３Ａ、３Ｂ…搬出口 ４…案内部 ５…制御部 Ｓ…基板 Ｓａ…第一面 Ｓｂ…第二面 Ｓ１、Ｓ２１、Ｔ１、Ｔ２１…第一部分 Ｓ２、Ｓ２２、Ｔ２、Ｔ２２…第二部分 Ｓ３、Ｓ２３、Ｔ３、Ｔ２３…第三部分 Ｓ４、Ｓ２４、Ｔ４、Ｔ２４…第四部分 ＣＴ…容器 ＣＴａ、ＣＴｂ…壁面 ＦＬ…床面 ＲＭ…収容室 ＥＮ…基板搬入口 ＥＸ…基板搬出口 Ｒｎ…搬入ローラー Ｒｘ…搬出ローラー 、Ｒ１〜Ｒ１５、Ｒ２１〜Ｒ４４、２４４…ローラー Ｒａ…軸部 Ｒｂ…外周部 ２３１…軸部 ２３２…フランジ部 ２３３…ディスクローラー ２４０…流体パッド ２４０ａ…パッド面 ２４０ｂ…溝部 ２４８…気体供給部 ２５０…流体層 ２６０…エアベアリング機構 ２６１…ガイド部材 ２６１ａ…ガイド面 ２６２…保持部材 ２６３…エア供給部 ＳＴＲ、ＳＴＲ２、ＳＴＲ３…基板保管装置

Claims (12)

1. 可撓性を有する帯状の長い基板に電子デバイスを形成する為の処理を施す処理装置に接続可能な基板カートリッジであって、
   複数の壁面で囲まれた空間を有し、該空間内に前記基板を長手方向に関して複数回折り返して収納すると共に、前記複数の壁面のうち前記処理装置と対向可能な壁面に設けられ、前記基板を長手方向に沿って前記処理装置に向けて搬出する搬出口と、前記複数の壁面のうち前記処理装置と対向可能な壁面に設けられ、前記基板を前記処理装置から回収する為に前記基板を長手方向に沿って搬入する搬入口とを備えた収容部と、
   前記収容部の空間内の複数の位置の各々に設けられ、前記基板を長手方向に関して折り返して非接触状態で支持するように、前記基板を表面側から支持可能な複数の第１ローラーと、前記第１ローラーの間に配置され、前記基板を裏面側から支持可能な複数の第２ローラーとを含む折り返し機構と、
   前記基板の前記表面側が前記第１ローラーで折り曲げて支持され、前記基板の前記裏面側が前記第２ローラーで折り曲げて支持されるように、前記複数の第１ローラーと前記複数の第２ローラーとを相対的に移動させる移動機構と、
   前記収容部の空間内に設けられ、前記搬入口から前記収容部に搬入する前記基板の先端部が前記搬出口まで案内されるように、前記複数の第１ローラー及び第２ローラーの間で前記基板の搬送経路となる一部に沿った位置と、前記搬送経路から退避した位置との間で可動な可動案内板と、
   を備える基板カートリッジ。
2. 前記移動機構によって前記複数の第１ローラーと前記複数の第２ローラーとが相対的に移動する前の状態では、前記可動案内板を前記基板の搬送経路となる一部に沿った位置に配置し、前記基板の案内状況に応じて前記基板の搬送経路に沿った位置から退避するように切り替える切替機構を有する、
   請求項１に記載の基板カートリッジ。
3. 前記収容部の空間内に設けられ、前記搬入口から前記折り返し機構までの前記基板の搬送経路に沿って配置される固定案内板または平行案内板を有する、
   請求項１または請求項２に記載の基板カートリッジ。
4. 前記平行案内板は、前記基板が通過可能な間隔を空けて対向配置された一対の案内板を含む、
   請求項３に記載の基板カートリッジ。
5. 前記搬出口及び前記搬入口は、前記収容部の前記複数の壁面のうち、同一の壁面に配置されている
   請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
6. 前記搬出口及び前記搬入口は、前記収容部の前記複数の壁面のうち異なる壁面にそれぞれ配置されている
   請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
7. 前記搬出口及び前記搬入口のうち少なくとも一方は、前記収容部の前記複数の壁面のいずれかに複数設けられ、
   前記収容部内には、複数の搬送経路を切り替えて前記基板の先端部を案内する経路切替機構を有する
   請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
8. 工場の床面に設置する為に、前記収容部の下面に設けられるキャスターを有する
   請求項１から請求項７のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
9. 請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジと、
   前記基板カートリッジと接続する接続部を有し、前記基板に前記電子デバイスを形成する為の前記処理装置と
   を備える基板処理システム。
10. 前記基板カートリッジは、前記処理装置に接続される被接続部を有し、
    前記搬出口及び前記搬入口は、前記被接続部に設けられる
    請求項９に記載の基板処理システム。
11. 前記処理装置は、前記基板カートリッジの前記搬入口に対して供給する前記基板の先端部としてリーダーを取り付けるリーダー取付部を有する、
    請求項９又は請求項１０のいずれか一項に記載の基板処理システム。
12. 前記処理装置は、前記基板カートリッジの前記搬出口から搬出される前記基板の先端部として取り付けられるリーダーを保持するリーダー保持部を有する
    請求項９又は請求項１０のいずれか一項に記載の基板処理システム。

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