KR20180034708A

KR20180034708A - 기판 카트리지, 기판 보관 장치 및 기판 처리 시스템

Info

Publication number: KR20180034708A
Application number: KR1020187008827A
Authority: KR
Inventors: 도모히데 하마다; 도루 기우치
Original assignee: 가부시키가이샤 니콘
Priority date: 2010-04-09
Filing date: 2011-04-11
Publication date: 2018-04-04
Also published as: KR20130037674A; JP5838964B2; HK1175154A1; KR101788348B1; CN102834340A; WO2011126133A1; KR20170118243A; JPWO2011126133A1; TWI574904B; KR101892424B1; TW201210926A; CN102834340B; KR101845682B1

Abstract

기판 카트리지(CTR)는, 수용부(1), 반출구(3), 반입구(2) 및 안내부(4)를 구비한다. 수용부(1)는, 띠 모양의 기판(FB)을 수용한다. 반출구(3) 및 반입구(2)는, 수용부(1)에 마련되며, 기판(FB)을 통과시킨다. 안내부(4)는, 반입구(2)로부터 반출구(3)까지 기판(FB)을 안내한다. 안내부(4)는 가동 안내판(45) 및 이동 롤러(47, 48)를 포함한다. 이동 롤러(47 , 48)는 신축부(52b)를 포함한다. 우선, 가동 안내판(45)이 수평으로 유지되고, 또한, 신축부(52b)가 수축된다. 기판(FB)의 선단부는 안내판(45) 상에 지지된다. 기판(FB)이 반입 롤러(23)에서 이송될 때, 안내판(45)은 수직인 자세로 회동된다. 기판(FB)의 반입에 따라, 신축부(52b)가 서서히 연신(延伸)된다. 카트리지(CTR)는, 기판 처리 장치(FPA)에 접속된다.

Description

기판 카트리지, 기판 보관 장치 및 기판 처리 시스템 {SUBSTRATE CARTRIDGE, SUBSTRATE STORAGE DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}

본 발명은, 기판 카트리지, 기판 보관 장치 및 기판 처리 시스템에 관한 것이다.

본원은, 2010년 4월 9일에 출원된 미국 가출원 61/322360호 및 2010년 12월 15일에 출원된 미국 가출원 61/423207호에 근거하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

디스플레이 장치 등의 표시 장치를 구성하는 표시 소자로서, 예를 들면 액정 표시 소자, 유기 전계 발광(유기 EL) 소자가 알려져 있다. 현재, 이들의 표시 소자로는, 각 화소에 대응하여 기판 표면에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor：TFT)를 형성하는 능동적 소자(액티브 디바이스)가 주류가 되어 오고 있다.

최근에는, 시트 모양의 기판(예를 들면 필름 부재 등) 상에 표시 소자를 형성하는 기술이 제안되고 있다. 이와 같은 기술로서, 예를 들면 롤·투·롤 방식(이하, 단지「롤 방식」으로 표기함)으로 불리는 수법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 롤 방식은, 기판 공급측의 공급용 롤러에 감긴 1매의 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 송출함과 아울러 송출된 기판을 기판 회수측의 회수용 롤러로 권취하면서, 공급용 롤러와 회수용 롤러와의 사이에 마련된 처리 장치에 의해 기판에 원하는 가공을 실시해 가는 것이다.

그리고, 기판이 송출되고 나서 권취될 때까지의 사이에, 예를 들면 복수의 반송 롤러 등을 이용하여 기판이 반송되고, 복수의 처리 장치(유니트)를 이용하여 TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체막, 소스·드레인 전극 등을 형성하며, 기판의 피처리면 상에 표시 소자의 구성요소를 순차 형성한다. 예를 들면, 유기 EL 소자를 형성하는 경우에는, 발광층, 양극, 음극, 전기 회로 등을 기판상에 순차 형성한다.

회수 롤러에 감긴 기판을 송출할 때에는, 권취할 때에 맨 끝에서 만난 부분이 선단이 되어 기판이 송출되게 된다. 이 때문에, 기판에 대해서 패턴 형성 등을 반복하여 행하는 경우에는, 기판의 권취시와 기판의 송출시에서, 패턴 형성 처리의 순서를 역(逆)으로 할 필요가 고려된다. 이와 같이, 기판의 선두 및 맨 끝을 그때마다 관리할 필요가 있기 때문에, 관리상의 부담이 커지는 경우가 있다.

특허 문헌 1 : 국제공개 제2006／100868호 팜플렛

롤·투·롤 방식에서는, 기판 1매의 길이가 길기 때문에, 기판의 관리 부담을 경감하는 것이 요구되고 있다.

본 발명에 관한 형태는, 기판의 관리상의 부담을 경감하는 것이 가능한 기판 관리 장치, 기판 카트리지 및 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

일 형태에 의한 기판 카트리지는, 띠 모양으로 형성된 기판을 수용하는 수용부와, 해당 수용부에 마련되며, 기판을 반출하는 반출구와, 수용부에 마련되며, 기판을 반입하는 반입구와, 해당 반입구로부터 수용부에 수용된 기판의 선단부를 반출구로 안내하는 안내부를 구비한다.

일 형태에 의한 기판 처리 시스템은, 본 발명의 제1 형태에 따르는 기판 카트리지와, 해당 기판 카트리지와 접속하는 접속부를 가지는 기판 처리 장치를 구비한다.

일 형태에 의한 기판 보관 장치는, 띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판을 길이 방향으로 복수회 접어서 유지하는 기판 보관 장치로서, 기판의 표면끼리가 서로 마주보도록 해당 기판을 접는 제1 접음부와, 기판 중 제1 접음부에 대해서 일방측으로 접힌 제1 부분의 이면끼리가 서로 마주보도록 제1 부분을 접는 제2 접음부와, 기판 중 제2 접음부에 의해서 제1 접음부와는 반대측으로 접힌 제2 부분을 제1 접음부를 향해서 방향 전환하는 방향 전환부와, 기판 중 방향 전환부에서 방향 전환된 제3 부분의 일부가 기판 중 제1 접음부에 의해서 제1 부분과는 타방측으로 접힌 제4 부분의 표면 또는 이면을 따르도록, 제3 부분을 접는 제3 접음부를 구비한다.

본 발명에 관한 형태에 의하면, 기판의 관리상의 부담을 경감하는 것이 가능해진다.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 기판 카트리지의 구성을 나타내는 도면.
도 2는 본 실시 형태에 관한 기판 카트리지의 구성을 나타내는 도면.
도 3은 본 실시 형태에 관한 기판 카트리지의 일부의 구성을 나타내는 도면.
도 4는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 구성을 나타내는 도면.
도 5는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 일부의 동작을 나타내는 도면.
도 6은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 일부의 동작을 나타내는 도면.
도 7은 제2 실시 형태에 관한 기판 카트리지의 구성을 나타내는 도면.
도 8은 본 실시 형태에 관한 기판 카트리지의 구성을 나타내는 도면.
도 9a는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 9b는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 10은 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 11a는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 11b는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 11c는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 11d는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 12a는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 12b는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 13a는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 13b는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 14는 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 15는 기판 처리 시스템의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 16은 기판 카트리지의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 17은 제3 실시 형태에 관한 기판 카트리지의 일부의 구성을 나타내는 도면.
도 18은 제4 실시 형태에 관한 기판 보관 장치의 구성을 나타내는 사시도.
도 19는 제5 실시 형태에 관한 기판 보관 장치의 구성을 나타내는 단면도.
도 20은 제6 실시 형태에 관한 기판 보관 장치의 구성을 나타내는 단면도.
도 21은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 22는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 23은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 24a는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 24b는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 25는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 26은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 27은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 28은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 29는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 30은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 31은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 32a는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 32b는 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 33은 기판 보관 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.

[제1 실시 형태］　

도면을 참조하여, 제1 실시 형태를 설명한다. 　

도 1은, 본 실시 형태에 관한 기판 카트리지(CTR)의 구성을 나타내는 측단면도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 카트리지(혹은 시트·스토커(stocker), CTR)는, 띠 모양으로 형성된 시트 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 수용하는 수용부(1)와, 해당 수용부(1)에 시트 기판을 반입하는 반입구(2)와, 해당 수용부(1)로부터 시트 기판을 반출하는 반출구(3)와, 수용부(1) 내에서 시트 기판을 반입구(2)로부터 반출구(3)로 안내하는 안내부(4)와, 제어부(5)와, 피접속구(6)를 구비하고 있다. 기판 카트리지(CTR)는, 예를 들면, 제조 공장의 바닥면(F) 등에 재치(載置)되어 사용된다.

이하의 설명에서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해서 설명한다. 구체적으로는, 바닥면(F)과 평행한 평면 상의 소정 방향을 X축 방향, 해당 평면 상에서 X축 방향에 직교하는 방향을 Y축 방향, 해당 평면에 수직인 방향을 Z축 방향으로 한다. 또, X축, Y축, 및 Z축 주위의 회전(경사) 방향을 각각, θX, θY, 및 θZ 방향으로 한다.

시트 기판으로서는, 예를 들면 수지 필름이나 스테인리스강 등의 박(箔, 포일)을 이용할 수 있다. 예를 들면, 수지 필름은, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 아세트산 비닐 수지 등의 재료를 이용할 수 있다.

시트 기판의 Y 방향(짧은 방향)의 치수는 예를 들면 50cm ~ 2m정도로 형성되어 있고, X 방향(길이 방향)의 치수는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 불과하며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판의 Y 방향의 치수가 50cm 이하라도 상관없고, 2m 이상이라도 상관없다. 본 실시 형태에서는, Y 방향의 치수가 2m를 넘는 시트 기판이라도 바람직하게 이용된다. 또, 시트 기판의 X 방향의 치수가 10m 이하라도 상관없다.

시트 기판은, 예를 들면, 1mm 이하의 두께를 가지며, 가요성(可撓性)을 가지도록 형성되어 있다. 여기서 가요성이란, 예를 들면 기판에 적어도 자중 정도의 소정의 힘을 가해도 단선하거나 파단하거나 하는 것은 아니고, 해당 기판을 굽히는 것이 가능한 성질을 말한다. 또, 예를 들면 상기 소정의 힘에 의해서 굴곡하는 성질도 가요성에 포함된다. 또, 상기 가요성은, 해당 기판의 재질, 크기, 두께, 또는 온도 등의 환경 등에 따라 변한다. 또한, 시트 기판으로서는, 1매의 띠 모양의 기판을 이용해도 상관없지만, 복수의 단위 기판을 접속하여 띠 모양으로 형성되는 구성으로 해도 상관없다.

시트 기판은, 예를 들면 200℃ 정도의 열을 받아도 치수가 변하지 않도록 열팽창 계수가 작은 것이 바람직하다. 예를 들면, 무기 필러(filler)를 수지 필름에 혼합하여 열팽창 계수를 작게 할 수 있다. 무기 필러의 예로서는, 산화 티탄, 산화 아연, 알루미나, 산화 규소 등을 들 수 있다.

수용부(1)는, 예를 들면 복수의 벽면을 가지는 케이스(10)를 가지고 있다. 해당 복수의 벽면은, 예를 들면 직방체의 각 면을 구성하는 위치에 배치되어 있다. 케이스(10)는, 예를 들면 -Z측의 면이 바닥면(F)에 직접 접촉하도록 재치되어도 상관없고, 예를 들면 캐스터(caster) 등을 매개로 바닥면(F)에 설치된 구성으로 해도 상관없다. 케이스(10)에 개폐 가능한 덮개부(미도시)가 마련된 구성이라도 상관없다.

반입구(2)는, 케이스(10) 중 예를 들면 ＋X측의 벽면(10a)에 형성되어 있다. 반입구(2)에는, 예를 들면 가이드판(21 및 22)과, 반입 롤러(구동 롤러, 23)가 마련되어 있다. 가이드판(21 및 22)은, 시트 기판의 표면 및 이면(裏面)을 사이에 두는 위치에 마련되어 있다. 가이드판(21)은, 가이드판(22)에 대해서 ＋X측으로 돌출하도록 형성되어 있다. 반입 롤러(23)는, 반입구(2)로부터 반입된 시트 기판을 수용부(1)의 내부로 안내한다.

반출구(3)는, 케이스(10) 중 예를 들면 ＋X측의 벽면(10a)에 형성되어 있다. 게다가, 반출구(3)는, 이 벽면(10a) 중 상부측(＋Z측)에 형성되어 있다. 반출구(3)는, 예를 들면 반입구(2)의 하부측(－Z측)에 배치되어 있다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 반입구(2)와 반출구(3)가 케이스(10)의 동일한 벽면(10a)에 배치되어 있다. 또, 해당 벽면(10a)에는, 외부와의 피접속구(6)가 마련되어 있다. 반출구(3)에는, 예를 들면 가이드판(31 및 32)과, 반출 롤러(구동 롤러, 33)가 마련되어 있다. 가이드판(31 및 32)은, 시트 기판의 표면 및 이면을 사이에 끼우는 위치에 마련되어 있다. 가이드판(31)은, 가이드판(32)에 대해서 ＋X측으로 돌출하도록 형성되어 있다. 반출 롤러(33)는, 케이스(10) 내의 시트 기판을 반출구(3)로 안내한다.

안내부(4)는, 케이스(10)의 내부에 마련되어 있다. 안내부(4)는, 고정 안내판(41), 제1 롤러(구동 롤러, 42), 평행 안내판(43), 제2 롤러(구동 롤러, 44), 가동 안내판(45) 및 복수의 접음 기구(46)를 가지고 있다. 이 접음 기구(46)는, 반입구(2) 및 반출구(3)가 배치된 벽면(10a)으로부터 케이스(10)의 안쪽 방향을 따라서 복수개 배치되어 있다.

고정 안내판(41)은, 반입 롤러(23)의 직후부터 제1 롤러(42)의 직전에 걸쳐, 케이스(10)의 내벽에 수평하게 고정된 판 모양 부재이다. 고정 안내판(41)은, 예를 들면 X 방향으로 평행하게 배치되어 있다. 고정 안내판(41)의 Y 방향의 치수는, 예를 들면 시트 기판의 짧은 방향의 치수 보다도 크게 되도록 형성되어 있지만, 시트 기판의 Y 방향의 폭 양측을 지지하고, 시트 기판의 폭 방향의 중앙부는 지지하지 않을 것 같은 구성으로도 좋다. 또, 고정 안내판(41)을 복수의 안내판으로 분할하고, 이 복수의 안내판을 X 방향을 따라서 등간격으로 배치하는 구성이라도 좋다. 고정 안내판(41)은, 예를 들면 반입 롤러(23)에 의해서 반입된 시트 기판을 -X 방향으로 안내한다.

제1 롤러(42)는, 고정 안내판(41)의 -X측 단부의 근방에 배치되어 있다. 제1 롤러(42)는, θY 방향으로 회전 가능해지도록 케이스(10)의 내벽에 고정되어 있다. 제1 롤러(42)는, 고정 안내판(41)에 의해서 안내된 시트 기판을 평행 안내판(43)으로 반송한다.

평행 안내판(43)은, 케이스(10)에 고정된 판 모양 부재이다. 평행 안내판(43)은, ＋X측에 배치된 내측 안내판(43a)과, －X측에 배치된 외측 안내판(43b)을 가지고 있다. 내측 안내판(43a) 및 외측 안내판(43b)은, 수평면에 대해서 기립한 상태, 즉, 판면이 YZ 평면에 평행하게 된 상태로 대향하여 배치되어 있다.

내측 안내판(43a)과 외측 안내판(43b)은, 시트 기판이 통과 가능해지도록 틈새(본 실시 형태에서는, X 방향의 틈새)를 두고 배치되어 있다. 내측 안내판(43a) 및 외측 안내판(43b)은, 각각 ＋Z측의 단부가 예를 들면 제1 롤러(42)를 향해서 ＋X측으로 만곡(灣曲)하여 형성되어 있음과 아울러, 각각 -Z측의 단부가 예를 들면 제2 롤러(44)를 향해서 ＋X측으로 만곡하여 형성되어 있다.

제2 롤러(44)는, 케이스(10) 내부의 안쪽측(－X측)의 단부로서, 평행 안내판(43)의 -Z측 단부의 근방에 배치되어 있다. 제2 롤러(44)는, θY 방향으로 회전 가능하게 마련되어 있다. 제2 롤러(44)는, 평행 안내판(43)에 의해서 안내된 시트 기판의 표면 및 이면을 사이에 끼워 넣어, 가동 안내판(45)으로 반송한다. 제1 롤러(42) 및 제2 롤러(44)에는, 예를 들면 미도시한 회전 구동 기구가 접속되어 있다.

가동 안내판(45)은, 제2 롤러(44)에 의해서 반송된 시트 기판을 안내한다. 도 2는, 도 1에서의 A－A단면을 따른 구성을 나타내는 도면이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 케이스(10)의 ＋Y측의 벽부(10b) 및 -Y측의 벽부(10c)의 내면에는, 각각 오목부(11)가 형성되어 있다. 해당 오목부(11)는, 예를 들면 X 방향으로 길게 되도록 형성되어 있다. 오목부(11)에는, 예를 들면 θX 방향으로 회전 가능하게 장착된 축부(12)가 마련되어 있다.

가동 안내판(45)은, 축부(12)를 매개로 케이스(10)에 장착되어 있다. 축부(12)는, θX 방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 축부(12)는, 미도시한 회전 구동 기구에 접속되어 있다. 해당 회전 구동 기구는, 예를 들면 제어부(5)의 제어에 의해, 축부(12)의 회전 각도, 회전 속도, 회전의 타이밍 등이 조정되지만, 기본적인 동작은, 도 2와 같이, 가동 안내판(45)이 거의 수평이 된 상태와, 오목부(11)에 수납되는 거의 수직인 상태와의 사이에서 회동하면 좋다.

축부(12)의 회전 각도를 조정하는 것에 의해, 예를 들면 가동 안내판(45)은, 예를 들면 Y 방향으로 평행한 상태와, Z 방향으로 평행한 상태(선단부가 -Z 방향을 향한 상태)로 전환되도록 되어 있다. 가동 안내판(45)이, 예를 들면 Y 방향으로 평행한 상태에서는, 제2 롤러(44)에 의해서 반송된 시트 기판의 Y 방향의 양단부를 각각 지지하도록 되어 있다. 또, 가동 안내판(45)이, 예를 들면 Z 방향으로 평행한 상태에서는, 오목부(11) 내에 수용되도록 되어 있다. 이와 같이, 가동 안내판(45)은, 시트 기판의 안내 경로 상에 출입 가능하게 마련되어 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 접음 기구(46)는, 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)를 가지고 있다. 접음 기구(46)의 각각은, 서로 동일한 구성이다. 제1 이동 롤러(47)는, 예를 들면 시트 기판의 -Z측에 복수 배치되어 있다. 복수의 제1 이동 롤러(47)는, 예를 들면 X 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 제2 이동 롤러(48)는, 예를 들면 시트 기판의 ＋Z측에 복수 배치되어 있다. 복수의 제2 이동 롤러(48)는, 예를 들면 X 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배열되어 있다.

각 제2 이동 롤러(48)는, X 방향에서, 각각 인접하는 제1 이동 롤러(47)의 사이에 배치되어 있다. 이 때문에, 제1 이동 롤러(47)와 제2 이동 롤러(48)는, 예를 들면 X 방향에서 교대로 배치되어 있다. 또, 예를 들면 제1 이동 롤러(47)와 제2 이동 롤러(48)는, 예를 들면 XY면 상에서 보았을 때에 겹치지 않도록 배치되어 있다.

도 3은, 접음 기구(46)의 구성을 나타내는 도면이다. 　

도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)는, 각각 동일한 구성으로 되어 있으며, 도 3에 나타낸 상태의 접음 기구(46)를 도 2에 나타내는 케이스(10) 내에 하측에 장착하는 것에 의해서, 제1 이동 롤러(47)가 구성되고, 도 3에 나타낸 상태의 접음 기구(46)를 상하 반전시켜, 도 2에 나타내는 케이스(10)의 상측에 장착하는 것에 의해서, 제2 이동 롤러(48)가 구성된다. 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)는, 각각 고정부(51), 가동부(52), 지지부(53) 및 롤러부(54)를 가지고 있다.

고정부(51)는, 예를 들면 케이스(10)의 내벽에 고정시키는 한 쌍의 구동원(51a)과, 해당 한 쌍의 구동원(51a)을 연결하는 막대 모양의 가이드 로드(51b)를 가지고 있다. 고정부(51)는, 예를 들면 가이드 로드(51b)가 Y축으로 평행하게 되도록, 한 쌍의 구동원(51a)이 위치 맞춤되어 고정되어 있다. 한 쌍의 구동원(51a)은, 예를 들면 공압이나 유압식의 피스톤이나, 폴(pole) 나사와 너트를 사용한 구성 등을 이용할 수 있다. 구동원(51a)은, 예를 들면 제어부(5)에 의해서 구동량, 구동의 타이밍 등이 제어되도록 되어 있다.

가동부(52)는, 가이드 로드(51b)를 따라서 이동 가능한 한 쌍의 슬라이더(52a)와, 해당 한 쌍의 슬라이더(52a)의 이동에 수반하여 Z 방향으로 신축하는 신축부(52b)를 가지고 있다. 한 쌍의 슬라이더(52a)는, 예를 들면 한 쌍의 구동원(51a)의 각각에 의해서 이동되도록 되어 있다. 도 3에 나타내는 구성에서는, 예를 들면 한 쌍의 슬라이더(52a)가 좌우 방향의 중앙으로 이동하는 것에 의해, 신축부(52b)가 ＋Z측으로 신장되게 된다. 또, 한 쌍의 슬라이더(52a)가 도면 중 좌우 방향의 단부로 이동하는 것에 의해, 신축부(52b)가 -Z 방향으로 수축하게 된다.

또한, 접음 기구(46)의 신축부(52b)가 가장 수축하고 있는 상태를 초기 상태로 한다.

지지부(53)는, 신축부(52b)의 ＋Z측의 선단에 고정되어 있다. 지지부(53)는, 신축부(52b)의 신축 동작에 의해, Z 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 지지부(53)에는, 롤러부(54)가 장착되어 있다. 롤러부(54)는, 예를 들면 θY 방향으로 회전 가능하게 마련되어 있다. 롤러부(54)는, 예를 들면 시트 기판이 걸리는 부분이다. 또한, 시트 기판을 접어 구부리는 롤러부(54)의 직경은, 시트 기판을 U자 모양으로 접었을 때에, 시트 기판이 소성 변형 하지 않는 범위 내로 설정된다. 예를 들면, 두께 50㎛ 정도의 PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트)나 PEN(폴리에틸렌 나프탈레이트)의 시트 기판에서도, 미가공 상태와, 그 시트의 표면에 알루미늄 등의 금속 피막이나 UV경화 수지층 등을 퇴적시킨 가공 상태에서는, U자 모양으로 접을 때에 허용되는 최소 곡률 반경도 달라지므로, 롤러부(54)의 직경은 보관해야 할 시트 기판 상태(예를 들면, 시트 기판에 대해서 처리를 행하는 처리 프로세스의 내용 등)를 감안하여 선택된다.

도 1, 도 2에서는, 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)의 각각에 대해서, 신축부(52b)가 수축하고 있는 상태가 나타내어져 있다. 해당 신축부(52b)가 신장한 상태로 되는 것에 의해, 도 1에 나타내는 바와 같이, 롤러부(54)는, 제1 이동 롤러(47)에 대해서는 위치(47S)에 배치되고, 제2 이동 롤러(48)에 대해서는 위치(48S)에 배치된다.

도 4는, 본 발명의 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템(SYS)의 구성을 나타내는 도면이다. 　

도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 시스템(SYS)은, 시트 기판(FB)을 공급하는 기판 공급부(SU), 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행하는 기판 처리 장치(PR), 시트 기판(FB)을 회수하는 기판 회수부(CL) 및 이들의 각 부를 제어하는 제어 장치(CONT)를 가지고 있다.

본 실시 형태에서는, 기판 공급부(SU) 및 기판 회수부(CL)를 겸용하는 장치로서, 상기의 기판 카트리지(CTR)가 이용되고 있다. 기판 처리 장치(PR)에는, 기판 카트리지(CTR)와의 접속부(CN)가 마련되어 있다. 기판 처리 장치(PR)의 해당 접속부(CN)는, 예를 들면 기판 카트리지(CTR)의 피접속구(6)에 접속되는 구성으로 되어 있다. 해당 기판 처리 시스템(SYS)은, 예를 들면 공장 등에 마련된다. 본 실시 형태에서는, 기판 카트리지(CTR)의 반출구(3)가 기판 공급부(SU)로서 기능을 하고, 반입구(2)가 기판 회수부(CL)로서 기능을 한다.

기판 처리 시스템(SYS)은, 기판 카트리지(CTR)의 반출구(3)로부터 시트 기판(FB)이 송출되고 나서, 기판 카트리지(CTR)의 반입구(2)에서 시트 기판(FB)을 회수할 때까지의 사이에, 시트 기판(FB)의 표면에 각종 처리를 실행한다. 기판 처리 시스템(SYS)은, 시트 기판(FB) 상에 예를 들면 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 형성하는 경우에 이용할 수 있다. 물론, 이들의 소자 이외의 소자를 형성하는 경우에서 기판 처리 시스템(SYS)을 이용해도 상관없다.

기판 카트리지(CTR)는, 수용부(1)에 수용된 시트 기판(FB)을 반출구(3)로부터 기판 처리 장치(PR)로 송출하여 공급한다. 또, 기판 카트리지(CTR)는, 기판 처리 장치(PR)로부터의 시트 기판(FB)을 반입구(2)로부터 회수한다. 게다가, 기판 카트리지(CTR)는, 안내부(4)에 의해서, 예를 들면 반입구(2)로부터 회수한 시트 기판(FB)의 선단부를 반출구(3)로 안내한다.

기판 처리 장치(PR)는, 기판 카트리지(CTR)의 반출구(3)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 해당 기판 카트리지(CTR)의 반입구(2)로 반송함과 아울러, 반송 과정에서 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행한다. 기판 처리 장치(PR)는, 예를 들면 처리 장치(PA), 반송 장치(CV) 및 얼라이먼트 장치(미도시) 등을 가지고 있다.

처리 장치(PA)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 예를 들면 TFT나, 유기 EL소자를 형성하기 위한 각종 처리부를 가지고 있다. 이와 같은 처리부로서는, 예를 들면 피처리면(Fp) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, TFT나 유기 EL소자를 구동하기 위한 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성 장치 등을 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 액적(液滴) 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스크린 인쇄형 도포 장치 등), 증착 장치, 스퍼터링(sputtering) 장치 등의 성막 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등을 들 수 있다. 이들의 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다. 또한, 처리 장치(PA)로서, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 방향의 선단부에 리더부를 장착하는 리더 장착부를 이용해도 상관없다.

반송 장치(CV)는, 기판 처리 장치(PR) 내에서 예를 들면 시트 기판(FB)을 반입구(2)측으로 반송하는 롤러 장치(R)를 가지고 있다. 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 적어도 일부의 롤러 장치(R)에는, 구동 기구(미도시)가 장착되어 있다. 이와 같은 롤러 장치(R)가 회전하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 X축 방향으로 반송되도록 되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 예를 들면 일부의 롤러 장치(R)가 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 마련된 구성이라도 상관없다. 또, 반송 장치(CV)는, 시트 기판(FB)의 선단부에 리더가 장착되어 있는 경우에는, 해당 리더를 유지하는 리더 유지부(CVL)를 가지는 구성이라도 상관없다.

반송 장치(CV)는, 시트 기판(FB)의 반입 위치와 반출 위치가 함께 기판 처리 장치(PR)의 ＋X측이 되도록 시트 기판(FB)을 반송한다. 예를 들면, 반송 장치(CV)는, 접음 롤러(RR)를 가지고 있다. 이 접음 롤러(RR)에 의해, 반송 장치(CV)는, 예를 들면 기판 처리 장치(PR)의 ＋X측 단부로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 -X측으로 반송하고, 접음 롤러(RR)에 의해서 ＋X측으로 접어, 해당 기판 처리 장치(PR)의 ＋X측 단부로 되돌리도록 시트 기판(FB)을 반송한다.

얼라이먼트 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 폭 방향의 양단부에 마련된 얼라이먼트 마크를 검출하고, 그 검출 결과에 근거하여, 처리 장치(PA)에 대한 시트 기판(FB)의 얼라이먼트 동작을 행한다. 얼라이먼트 장치는, 시트 기판(FB)에 마련된 얼라이먼트 마크를 검출하는 얼라이먼트 카메라나, 해당 얼라이먼트 카메라의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)을 예를 들면 X 방향, Y 방향, Z 방향, θX 방향, θY 방향 및 θZ 방향 중 적어도 일방향으로 미세 조정하는 조정 기구 등을 가지고 있다.

상기와 같이 구성된 기판 처리 시스템(SYS)은, 제어 장치(CONT)의 제어에 의해, 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 제조한다. 이하, 상기 구성의 기판 처리 장치(FPA)를 이용하여 표시 소자를 제조하는 공정을 도 5를 참조하여 설명한다.

우선, 기판 카트리지(CTR)를 기판 처리 장치(PR)의 접속부(CN)에 장착한다. 기판 카트리지(CTR)에는, 시트 기판(FB)을 반입하는 반입구(2)와, 시트 기판(FB)을 반출하는 반출구(3)가 도 1에 나타내는 바와 같이 동일한 벽면(10a)에 마련되어 있기 때문에, 해당 벽면(10a)의 피접속구(6)를 접속부(CN)에 접속하면 좋게 된다. 즉, 접속부(CN)와 카트리지측의 피접속구(6)와의 기계적인 연결 정밀도로, 카트리지(CTR)를 처리 장치(PR)에 대해서 간단하게 또한 정확하게 접속할 수 있다.

또한, 기판 카트리지(CTR)에 수용되어 있는 시트 기판(FB)은, 도 6에 나타내는 바와 같이, 복수의 제1 롤러(42) 및 복수의 제2 롤러(44)에 감기고, 복수 접힌 상태로 수용되어 있다. 그리고, 후술하는 바와 같은 방법에 의해서, 기판 카트리지(CTR)로부터의 시트 기판(FB)이 반출된다.

기판 카트리지(CTR)를 장착한 후, 제어부(5)는, 반출구(3)로부터 시트 기판(FB)이 송출되도록 반출 롤러(33)를 회전시킨다. 제어 장치(CONT)는, 시트 기판(FB)이 반출구(3)로부터 송출되고 나서 반입구(2)로 회수될 때까지의 사이에, 기판 처리 장치(PR)의 반송 장치(CV)에 의해서 시트 기판(FB)을 해당 기판 처리 장치(PR) 내에서 적절히 반송시키면서, 처리 장치(PA)에 의해서 표시 소자의 구성 요소를 시트 기판(FB) 상에 순차 형성시킨다.

한편, 제어부(5)는, 기판 처리 장치(PR)에 의해 처리된 해당 시트 기판(FB)을 반입구(2)의 반입 롤러(23)에 의해 카트리지(CTR) 내로 끌어 들인다. 이와 같은 반출 롤러(33) 및 반입 롤러(23)의 제어에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 기판 처리 장치(PR)에 대해서 연속적으로 반송할 수 있다. 기판 카트리지(CTR)에서는, 기판 처리 장치(PR)를 통과한 시트 기판(FB)이 반입 롤러(23)를 매개로 고정 안내판(41)으로 안내된다.

고정 안내판(41)으로 안내된 시트 기판(FB)은, 예를 들면 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 롤러(42), 평행 안내판(43), 제2 롤러(44)를 통해 가동 안내판(45)에 도달한다. 이 때, 제어부(5)는, 한 쌍의 가동 안내판(45)을 함께 Y 방향으로 평행한 상태로 해 둠과 아울러, 제1 이동 롤러(47)를 가지는 접음 기구(46)의 신축부(52b) 및 제2 이동 롤러(48)를 가지는 접음 기구(46)의 신축부(52b)를 수축시킨 상태(도 2 상태)로 해 둔다. 즉, 접음 기구(46)의 신축부(52b)를 초기 상태로 해 둔다.

그러면, 시트 기판(FB)의 선단부는, Y 방향의 양단이 가동 안내판(45)에 지지된 상태에서 ＋X 방향으로 안내된다. 제어부(5)는, 반출 롤러(33)를 통과한 시트 기판(FB)의 선단부가 가이드판(31)에 지지된 상태(도 5 상태)가 되면, 반출 롤러(33)의 구동을 정지시킨다.

반출 롤러(33)의 구동을 정지시킨 후, 제어부(5)는, 반입 롤러(23)를 일시적으로 정지시켜, 시트 기판(FB)의 선단부를 끼워 지지한다. 제어부(5)는, 제1 롤러(42) 및 제2 롤러(44)의 구동을 구동축으로부터 떼어냄과 아울러, 시트 기판(FB)의 이동에 의해서 종동적(從動的)으로 회전 가능한 상태로 한다. 그 후, 제어부(5)는, 반입 롤러(23)의 구동을 재개시킨다.

반입 롤러(23)의 구동이 재개되면, 시트 기판(FB)이 다시 반입구(2)로부터 이송되어, 반입 롤러(23), 제1 롤러(42) 및 제2 롤러(44)를 통해 가동 안내판(45)으로 안내된다. 제어부(5)는, 가동 안내판(45)을 오목부(11) 내에 수용시킨 후, 제2 롤러(44)로부터의 시트 기판(FB)의 반송량에 따라서, 시트 기판(FB)에 과잉 장력을 걸지 않도록, 제1 이동 롤러(47(54)) 및 제2 이동 롤러(48(54))를 서서히 상부 혹은 하부로 이동하도록, 접음 기구(46)의 신축부(52b)를 연신시킨다.

이 동작에 의해, 제1 이동 롤러(47)는 시트 기판(FB)의 -Z측의 면으로부터 해당 시트 기판(FB)을 ＋Z 방향으로 서서히 밀려 올라 간다. 한편, 제2 이동 롤러(48)는 시트 기판(FB)의 ＋Z측의 면으로부터 해당 시트 기판(FB)을 -Z 방향으로 서서히 눌려 내려간다. 이 결과, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 이동 롤러(47)를 가지는 접음 기구(46)의 신축부(52b) 및 제2 이동 롤러(48)를 가지는 접음 기구(46)의 신축부(52b)가 함께 신장한 상태가 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 해당 제1 이동 롤러(47)의 일부 및 제2 이동 롤러(48)의 일부에 감겨, X 방향으로 복수회 접힌 상태로 수용된다. 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)가 가동 범위의 최대까지 신장한 상태가 된 후, 제어부(5)는, 반입 롤러(23)의 구동을 정지시킨다.

제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)는, X 방향으로 위치가 겹치지 않도록 배치되어 있기 때문에, 해당 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)를 이동시키는 과정에서, 시트 기판(FB)이 접촉하지 않고 해당 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)에 감겨 접힌다. 이 때문에, 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48)가 가동 범위 내의 최대 위치로 이동한 상태에서도, 시트 기판(FB)끼리는 서로 접촉하고 있지 않는 상태(비접촉 상태)가 된다.

이 상태로부터 시트 기판(FB)을 반출할 때에는, 제어부(5)는, 반입 롤러(23)의 구동을 정지시킨 채로(시트 기판(FB)의 종단부(終端部)를 끼워 지지한 채로), 반출 롤러(33)나 제1 롤러(42), 제2 롤러(44) 등을 구동시킨다. 동시에, 제어부(5)는, 제1 이동 롤러(47)를 가지는 접음 기구(46)의 신축부(52b) 및 제2 이동 롤러(48)를 가지는 접음 기구(46)의 신축부(52b)를 서서히 수축시키도록 구동원(51a)을 제어한다. 이 경우, 제어부(5)는, 복수의 접음 기구(46)의 신축부(52b) 중, 기판 카트리지(CTR)의 안쪽측으로부터 벽면(10a)측을 향하여 순서로 접음 기구(46)의 신축부(52)를 연신시켜 가는 것이 바람직하다. 시트 기판(FB)이 제2 롤러(44)와 반출 롤러(33)와의 사이에서 거의 수평으로 팽팽한 상태로 된 후, 제어부(5)는, 시트 기판(FB)의 종단을 반입 롤러(23)로부터 해방함과 아울러, 가동 안내판(45)을 Y 방향으로 평행한 상태로 하여, 시트 기판(FB)의 종단을 반출 롤러(33)까지 안내한다. 이와 같이 시트 기판(FB)을 공급하고, 회수하면서, 기판 처리 장치(PR)에서 시트 기판(FB)에 처리를 행하도록 한다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 시트 기판(FB)을 수용하는 수용부(1)와, 해당 수용부(1)에 마련되어 시트 기판(FB)을 반출하는 반출구(3)와, 수용부(1)에 마련되어 시트 기판(FB)을 반입하는 반입구(2)와, 해당 반입구(2)로부터 수용부(1)에 수용된 시트 기판(FB)의 선단부(Fh)를 반출구(3)로 안내하는 안내부(4)를 구비하는 것으로 했으므로, 기판 카트리지(CTR)에 수용된 시트 기판(FB)을 송출할 때에는, 수용시에서의 시트 기판(FB)의 선단부(Fh)가 선단이 되도록 송출되게 된다. 이 때문에, 시트 기판(FB)의 선단 및 맨 끝을 그때마다 관리할 필요가 없다. 이것에 의해, 기판 처리 시스템(SYS)에서도 시트 기판(FB)의 관리상의 부담을 경감할 수 있다.

[제2 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태를 설명한다. 　

본 실시 형태에 관한 기판 카트리지는, 가동 안내판(45)의 구성이 제1 실시 형태와는 다르기 때문에, 해당 차이점을 중심으로 설명한다. 다른 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일하기 때문에, 설명을 생략 혹은 간략화한다.

도 7은, 본 실시 형태에 관한 기판 카트리지(CTR2)의 구성을 나타내는 도면이다. 도 8은, 도 7에서의 B－B단면에 따른 구성을 나타내는 도면이다. 　

도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 가동 안내판(45)이 X 방향으로 분할되며, 복수의 판 모양 부재(45a)가 X 방향으로 서로 떨어진 상태로 배치되어 있다. 즉, 가동 안내판(45)은, 예를 들면 직사각 모양으로 형성되어 있다. 각 판 모양 부재(45a)는, 예를 들면 개별적으로 회전 가능하게 마련되는 구성으로 해도 상관없고, 예를 들면 복수의 판 모양 부재(45a)가 일체적으로 회전 가능한 구성으로 해도 상관없다. 또, 각 판 모양 부재(45a)의 일부끼리가 서로 연결된 형상(빗살 모양)이라도 상관없다.

가동 안내판(45)을 직사각 모양(또는 빗살 모양)으로 형성하는 것에 의해, 예를 들면 시트 기판(FB)의 선단부(Fh)가 제2 롤러(44)로부터 반출 롤러(33)로 보내지는 사이, 각 제1 이동 롤러(47)의 롤러부(54)를 위치(54F)로 들어 올려 둘 수 있다. 해당 위치(54F)는, 가동 안내판(45)을 구성하는 복수의 판 모양 부재(45a)의 상면과 각 롤러부(54)의 외주(外周) 상면이 거의 동일한 높이(Z 방향의 위치)가 되는 위치이다. 이 때문에, 시트 기판(FB)의 반송 안내 경로를 안정적으로 확보할 수 있다.

본 발명의 기술 범위는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다. 　

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 반입구(2)가 ＋Z측, 반출구가 -Z측에 배치된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 도 9a에 나타내는 바와 같이, 반입구(2)가 -Z측(하측), 반출구(3)가 ＋Z측(상측)에 배치된 구성이라도 상관없다. 도 9a에 나타내는 구성에서는, －Z측의 반입구(2)로부터 반입된 시트 기판(FB)은, －Z측에 배치된 고정 안내판(41)에 의해서 -X 방향으로 안내된 후, 제1 롤러(구동 롤러, 42) 및 평행 안내판(43)을 통해 ＋Z 방향으로 안내되도록 되어 있다. 평행 안내판(43) 및 제2 롤러(구동 롤러, 44)를 통과한 시트 기판(FB)은, 예를 들면 ＋Z측에 배치된 가동 안내판(45) 및 접음 기구(46)로 안내되도록 되어 있다.

앞의 실시 형태에서는, 접음 기구(46)에서 시트 기판(FB)의 표면측 및 이면측에 배치되는 제1 이동 롤러(47) 및 제2 이동 롤러(48) 양쪽 모두가 Z 방향의 역방향으로 상하 이동하는 구성이었지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 도 9a에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)의 장전(裝塡) 초기 상태, 즉, 시트 기판(FB)의 선단부가 반출구(3)에 도달하고, 반출구(3)로부터 롤러(44)의 사이에서 시트 기판이 거의 수평으로 유지된 상태인 때에 시트의 상부에 위치하는 제2 이동 롤러(48) 쪽을, -Z 방향으로 이동하는 구성으로 했다. 그 때문에, 제1 이동 롤러(47)는 카트리지(CTR) 내의 상부(＋Z 방향) 위치로 전동(轉動) 가능하게 축 지지되어 있다.

도 9a에 나타내는 구성에서는, 예를 들면 제1 이동 롤러(47)가 고정되어 있고, 제2 이동 롤러(48)만이, 카트리지(CTR)의 양측벽(도 9a의 지면과 평행한 면내의 측벽)에 Z 방향으로 가늘고 길게 형성된 안내홈으로 안내되어, Z 방향으로 이동 가능한 구성으로 되어 있다. 그 때문에, 제2 이동 롤러(48)의 각각의 양단에는, 그 안내홈에 맞물리도록 돌출한 축부가, 예를 들면 도 9a에 나타낸 제1 이동 롤러(47)와 동일하게 형성되어 있다.

고정적으로 배치되는 제1 이동 롤러(47)에는, 예를 들면 도 9b에 나타내는 바와 같이, 롤러(47)의 양단측으로 돌출한 축부(47A)의 각각에 링 모양 베어링(47B)이 전동 가능하게 마련되며, 이 베어링(47B)에 가동 안내판(45)의 상부 양단이 장착되어 있다. 이 때문에, 제1 이동 롤러(47)가, θY 방향으로 회전해도, 가동 안내판(45)은 도 9a 중에 실선으로 나타낸 바와 같은 거의 수평인 상태(X 방향으로 거의 평행), 혹은, 파선으로 나타낸 거의 수직인 상태(Z 방향으로 거의 평행)로 전환된다. 이 전환은 시트 기판(FB)의 반송 시퀀스(sequence)에 따라서, 미도시한 구동 기구에 의해, 복수의 제1 이동 롤러(47)의 각각에 축 지지된 가동 안내판(45)에 대해서 동시에, 또는 순차(시퀀셜(sequential))로 행해진다.

가동 안내판(45)은, 예를 들면 X 방향에 평행(혹은, 시트 진행 방향으로 약간의 상승 구배를 부여한 경사)하게 배치된 상태에서는, 인접하는 제1 이동 롤러(47)의 사이를 메우도록 배치된 상태가 된다. 단, 안내판(45)의 선단이, 도 9a에 나타내는 바와 같이, 인접하는 롤러(47)와는 접촉하지 않는 정도의 틈새를 마련하도록 해도 좋다. 또, Z 방향에 평행하게 배치된 상태에서는, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 인접하는 제1 이동 롤러(47)의 사이로부터 퇴피(退避)한 상태가 된다.

또, 도 9a에 나타내는 구성에서는, 제2 이동 롤러(48)의 Z 방향으로의 이동의 타이밍을 조정하는 슬라이더 부재(49)가 마련되어 있다. 슬라이더 부재(49)는, 각 제2 이동 롤러(48)의 양단의 축부에 맞물리는 지지부(손톱부)와, 해당 축부를 안내하는 안내 오목부 홈을 가지고 있다. 예를 들면 인접하는 2개의 제2 이동 롤러(48)를 예로 들어 설명한다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 해당 슬라이더 부재(49)는, 예를 들면 인접하는 2개의 제2 이동 롤러(48)의 축부(48Aa 및 48Ab)를 지지하는 지지부(손톱부, 49c, 49d)와, 해당 축부(48Aa 및 48Ab)를 안내하는 안내 오목부 홈(49a, 49b)을 가지고 있다. 인접하는 지지부(49c 및 49d)는, 각각 X 방향의 치수가 다르다. 구체적으로는, 지지부(49c)의 X 방향의 치수는, 지지부(49d)의 X 방향의 치수 보다도 크게 형성되어 있다.

이 때문에, 도 11a, 도 11b, 도 11c 및 도 11d에 나타내는 바와 같이, 슬라이더 부재(49)를 ＋X 방향으로 이동시킨 경우, X 방향의 치수가 짧은 쪽의 지지부(49d)에 지지된 축부(48Ab) 쪽이 먼저 지지 상태가 해소되어, 해당 축부(48Ab)를 가지는 제2 이동 롤러(48)가 시트 기판(FB)을 눌러 내리면서 -Z 방향으로 이동한다. 슬라이더 부재(49)를 ＋X 방향으로 더 이동시키면, X 방향의 치수가 큰 쪽의 지지부(49c)에 지지된 축부(48Aa)의 지지 상태가 해소되어, 해당 축부(48Aa)를 가지는 제2 이동 롤러(48)도 시트 기판(FB)을 눌러 내리면서 -Z 방향으로 이동한다. 이와 같이, X 방향의 치수가 소정량씩 다른 지지부를 가지도록 슬라이더 부재(49)가 형성되어 있기 때문에, 예를 들면 슬라이더 부재(49)를 ＋X 방향으로 이동시킴으로써, X 방향으로 배치된 제2 이동 롤러(48)의 -Z 방향의 이동(강하)의 타이밍을 조정할 수 있다.

또, 슬라이더 부재(49)에 의해서 각 제2 이동 롤러(48)의 축부를 재차 유지하는 경우에는, 예를 들면 도 12a에 나타내는 바와 같이, 모든 제2 이동 롤러(48)가 제1 이동 롤러(47)의 Z 방향의 위치와 거의 동일하게 된 상태에서, 예를 들면 슬라이더 부재(49) 전체를 -Z측으로부터 ＋Z측으로 이동시킨다. 즉, 도 9a와 같이, 모든 제2 이동 롤러(48)가 가장 하측에 위치하여 시트 기판(FB)이 가장 길게 수용(스톡(stock))된 상태로부터, 시트 기판(FB)이 반출구(3)로부터 순차적으로 처리 장치측으로 인출되어 갈 때, 구동 정지 상태로 한 제1 롤러(구동 롤러, 42)나 제2 롤러(구동 롤러, 44)에 의해서 시트 기판(FB)이 미끄러지지 않게 압접(壓接, 닙(nip))되어 있으면, 각 제2 이동 롤러(48)는, 시트 기판(FB)의 반출구(3)로부터의 투입량에 따라 서서히 상부(＋Z 방향)로 이동하여, 도 12a와 같은 상태에 이른다. 그 후, 도 12b에 나타내는 바와 같이, 안내 오목부 홈(49e) 및 안내 오목부 홈(49f)과 각각의 제2 이동 롤러(48)의 축부(48Aa, 48Ab)와의 위치가 맞도록 슬라이더 부재(49)를 X 방향으로 이동하여, 축부(48Aa, 48Ab)를 안내 오목부 홈(49e, 49f)에 각각 넣도록 한다. 슬라이더 부재(49)가 모든 제2 이동 롤러(48)의 축부를 지지하는 상태가 된 후, 예를 들면 제2 롤러(44) 및 반출 롤러(33)를 구동시켜, 시트 기판(FB)을 반출한다.

또한, 도 13a 및 도 13b에 나타내는 바와 같이, 슬라이더 부재(49)의 일부에 예를 들면 맞물림 엣지부(49g)를 마련하는 구성으로 해도 상관없다. 이 경우, 안내 오목부 홈(49a)의 X 방향의 치수(L1)와, 안내 오목부 홈(49b)의 X 방향의 치수(L2)가 동일한 치수가 되도록 형성해 둔다. 이 경우, 도 13b에 나타내는 바와 같이, 모든 제2 이동 롤러(48)가 -Z 방향의 최하부로 이동한 후, 슬라이더 부재(49)를 그대로 -Z 방향으로 이동시킨 경우, 안내 오목부 홈(49a)에 맞물려 있는 축부(48Aa)는, 그 위치에서는 안내 오목부 홈(49h)을 통해 자유롭게 ＋Z측으로 이동 가능하다. 한편, 안내 오목부 홈(49b)에 맞물려 있는 축부(48Ab)는, 해당 맞물림 엣지부(49g)에 의해 ＋Z측으로의 이동이 걸린다.

이상의 실시 형태에서는, 제2 이동 롤러(48)의 자중에 의해서 시트 기판(FB)을 -Z측에 눌러 내리기 때문에, 시트 기판(FB)을 반출구(3)로부터 인출할 때, 각 제2 이동 롤러(48)의 구름 마찰이 지극히 작다고 가정하면, 제2 이동 롤러(48)의 자중에 따른 텐션이 시트 기판(FB)에 부여되게 된다. 따라서 제2 이동 롤러(48)의 중량을 선정함으로써, 처리 장치로 보내는 시트 기판(FB)의 텐션을 적절한 범위로 설정하는 것이 가능해진다.

또, 상기 실시 형태에서는, 기판 카트리지(CTR)의 케이스(10)의 동일 벽면(10a)에 반입구(2) 및 반출구(3)을 마련하는 구성으로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 14에 나타내는 바와 같이, 반입구(2)와 반출구(3)가 케이스(10)의 다른 벽면에 배치된 구성으로 해도 상관없다.

도 14에 나타내는 바와 같이, 기판 카트리지(CTR)의 케이스(10)에는, 예를 들면 벽면(10a 및 10d)이 마련되어 있다. 이 중, 벽면(10a)에는 반입구(2)가 마련되어 있다. 벽면(10d)에는 반출구(3)가 마련되어 있다. 또한, 도 14에는 반입구(2)가 ＋Z측, 반출구(3)가 -Z측에 배치된 구성이 나타내어져 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 반입구(2) 및 반출구(3)의 Z 방향 상의 위치는 임의로 설정할 수 있다(＋Z측, －Z측, Z 방향의 중앙 등 적절히 설정하는 것이 가능). 또, 벽면(10a) 및 벽면(10d)의 각각에서, 피접속구(6A 및 6D)가 마련되어 있다.

도 15는, 도 14에 나타내는 기판 카트리지(CTR)를 이용한 기판 처리 시스템(SYS)의 구성을 나타내는 개략도이다. 　

도 15에 나타내는 바와 같이, 이 경우, 기판 처리 장치(PR)는, ＋X측 및 -X측의 양단부에서 기판 카트리지(CTR)에 접속되어 있다. 예를 들면, ＋X측의 단부의 접속부(CN)는, 기판 카트리지(CTR)의 벽면(10a)측의 피접속구(6A)에 접속되어 있다. 또, －X측의 단부의 접속부(CN)는, 기판 카트리지(CTR)의 벽면(10d)측의 피접속구(6D)에 접속되어 있다. 이와 같이, 기판 공급부(SU) 및 기판 회수부(CL)로서, 각각 별개로 기판 카트리지(CTR)를 이용할 수도 있다. 이 경우, 기판 공급부(SU)에 설치되는 기판 카트리지(CTR)에는 시트 기판을 앞의 도 6, 도 9a와 같이 보관하고, 기판 회수부(CL)에는 빈 기판 카트리지(CTR)를 배치하여, 기판 처리 장치(PR)에서 처리·가공된 시트 기판을, 기판 회수부(CL)측의 기판 카트리지(CTR)에서 회수해도 좋다.

또, 상기 실시 형태에서는, 기판 카트리지(CTR)의 반입구(2) 및 반출구(3)는 각각 1개씩 마련된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 반입구(2) 및 반출구(3) 중 적어도 일방이 복수 마련된 구성이라도 상관없다. 예를 들면 도 16에 나타내는 구성에서는, 1개의 케이스(10)에 복수의 반출구(예를 들면 2개의 반출구(3A 및 3B))가 마련된 구성으로 되어 있다. 또, 안내부(4)는, 반입구(2)로부터 케이스(10)에 수용되는 시트 기판(FB)으로부터 반출구(3A 및 3B)까지의 안내 경로를 전환하는 경로 전환 기구(가동 가이드판 등, 40)를 가지고 있다. 해당 경로 전환 기구(40)의 전환 동작은, 예를 들면 제어부(5)에 의해서 제어 가능하게 할 수 있다. 또한, 도 16에 나타내는 구성에서는, 복수의 반출구(3A, 3B)가 마련된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 반입구(2)가 복수(2개 또는 3개 이상) 마련된 구성으로 해도 상관없으며, 반출구(3)을 3개 이상 마련한 구성으로 해도 상관없다. 또, 도 16에 나타내는 구성에서는, 반입구(2)와 반출구(3(3A 및 3B))를 별도의 벽면(10a, 10d)에 배치시킨 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 동일한 벽면에 복수의 반입구(2) 및 반출구(3)가 형성된 구성으로 해도 상관없다. 물론, 복수의 벽면(예를 들면 벽면(10a 및 10d)의 각각)에 복수의 반입구(2) 및 반출구(3)가 형성된 구성으로 해도 상관없다.

게다가, 반입구, 반출구는 기판 카트리지(CTR)의 케이스(10)의 천장 부분에 마련해도 좋고, 이와 같이 하면, 제조 공장의 2층에 기판 처리 장치(PR)군이 설치되는 경우에, 1층에 설치된 기판 카트리지(CTR)와 계단 상의 기판 처리 장치(PR)와의 사이에서, 효율적으로 시트 기판을 반송할 수 있다.

[제3 실시 형태］　

다음에, 도 17을 참조하여, 본 발명의 제3 실시 형태를 설명한다. 　

본 실시 형태에 관한 기판 카트리지는, 그 내부에서 시트 기판을 다수회 접기 위한 제1 이동 롤러(47)와 제2 이동 롤러(48)의 상하 이동 기구가, 앞의 제1 실시 형태와는 다르기 때문에, 해당 차이점을 중심으로 설명한다. 다른 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일하기 때문에, 설명을 생략 혹은 간략화한다.

앞의 도 5 ~ 도 8에 나타낸 제1 실시 형태에서, 서로 이웃한 제1 이동 롤러(47)와 제2 이동 롤러(48)는, Z 방향의 이동이 역위상(逆位相, 상보적)이 된다. 이것으로부터, 도 17과 같이, 서로 이웃하는 제1 이동 롤러(47)와 제2 이동 롤러(48)의 쌍을, 타이밍 벨트(103A, 103B)의 양단에 매단 구성으로 한다. 해당 타이밍 벨트(103A, 103B)는, 예를 들면 카트리지 내의 측벽 상부에 회전 가능하게 축 지지된 풀리(100A, 100B)에, 역 U자 모양으로 걸린 구성으로 한다.

각 타이밍 벨트(103A, 103B)의 단부는, 롤러(47, 48)의 양단의 축부를 전동 가능하게 지지하는 베어링(47B, 48B)에 고정된다. 제1 이동 롤러(47)와 제2 이동 롤러(48)의 각 자중이 거의 동일한 것으로 하면, 이상(理想) 상태에서는 풀리(100A, 100B)에 회전 구동력(토크)을 가하지 않아도, 롤러(47, 48)의 각 높이 위치는, 그 위치를 계속 유지한다.

동축(同軸)으로 구성되는 한 쌍의 풀리(100A, 100B)의 일방, 예를 들면 풀리(100A)측에는, 풀리(100A, 100B)와 동축에 구동 풀리(102)가 고정되며, X 방향으로 서로 이웃한 구동 풀리(102)와의 사이에는 무단(無端) 벨트(104)가 걸쳐져 있다. 따라서, X 방향의 가장 단부에 있는 구동 풀리(102)를 모터로 구동하면, 모든 구동 풀리(102), 즉 모든 풀리(100A, 100B)가 동일한 속도로 회전하여, 예를 들면, 모든 제1 이동 롤러(47)가 일제히 상부로 이동할 때는, 모든 제2 이동 롤러(48)가 일제히 하부로 이동한다.

도 17은 앞의 제1 실시 형태의 도 5(또는 도 7) 상태(초기 장전 상태)를 나타내며, 시트 기판(FB)은 각 제1 이동 롤러(47)의 상부로서 각 제2 이동 롤러(48)의 하부의 공간에 장전된다. 그 상태에서, 모터에 의해 구동되는 구동 풀리(102)를 회전시키면, 모든 제1 이동 롤러(47)가 일제히 상부로 이동하여, 시트 기판(FB)의 이면을 지지하면서 가장 상부의 위치까지 들어 올리며, 동시에, 모든 제2 이동 롤러(48)가 일제히 하부로 이동하여, 시트 기판(FB)의 표면과 접촉하면서 가장 하부의 위치까지 끌어 내리며, 이것에 의해, 앞의 도 6과 동일한 상태에서 시트 기판(FB)이 카트리지 내에 보관된다.

[제4 실시 형태］　

도 18은, 제4 실시 형태에 관한 기판 보관 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 18에 나타내는 바와 같이, 기판 보관 장치(STR)는, 띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판(S)을 수용하는 용기(CT)와, 기판(S)이 걸리는 복수의 접음부(RC)를 가진다. 기판 보관 장치(STR)는, 예를 들면 바닥면(FL)에 재치된 용기(CT)에 기판(S)을 수용함과 아울러 복수의 접음부(RC)에 건 상태로 보관한다.

이하, 기판 보관 장치(STR)의 설명에서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해서 설명한다. 이하의 도면에서는, XYZ 직교 좌표계 중 바닥면(FL)을 XY평면으로 하고 있다. XY 평면 중 기판(S)의 짧은 방향을 Y축 방향으로 하고, Y축 방향에 직교하는 방향을 X 방향으로 하고 있다. 또, 바닥면(FL(XY평면))에 수직인 방향을 Z축 방향으로 하고 있다.

용기(CT)는, 예를 들면 외형이 직방체로 형성되어 있으며, 6개의 벽면을 가지고 있다. 용기(CT)의 내부에는, 해당 6개의 벽면으로 둘러싸인 수용실(RM)이 형성되어 있다. 용기(CT)는, 동일한 벽면(CTa)에 2개의 개구부(EN, EX)를 가지고 있다. 일방의 개구부는, 수용실(RM)에 기판을 반입하는 기판 반입구(EN)이다. 타방의 개구부는, 수용실(RM)의 기판을 반출하는 기판 반출구(EX)이다. 본 실시 형태에서는, 기판 반입구(EN)가 기판 반출구(EX)의 -Z측에 배치된 구성을 예로 들어 설명하지만, 물론 역(逆) 배치라도 상관없다.

수용실(RM) 중 기판 반입구(EN)의 근방에는, 반입 롤러(Rn)가 마련되어 있다. 반입 롤러(Rn)는, 기판(S)을 Z 방향으로 끼우는 위치에 한 쌍 마련되어 있다. 반입 롤러(Rn)는, 기판 반입구(EN)로부터 반입되는 기판(S)을 수용실(RM)로 끌어 들이도록 회전 가능하다.

수용실(RM) 중 기판 반출구(EX)의 근방에는, 반출 롤러(Rx)가 마련되어 있다. 반출 롤러(Rx)는, 기판(S)을 Z 방향으로 끼우는 위치에 한 쌍 마련되어 있다. 반출 롤러(Rx)는, 기판 반출구(EX)로부터 반출되는 기판(S)을 수용실(RM)의 외부에 송출하도록 회전 가능하다.

복수의 접음부(RC)는, 수용실(RM)에 마련된 복수개(여기에서는 15개)의 롤러(R1 ~ R15) 중 어느 하나를 가진다. 각 롤러(R1 ~ R15)는, 각각 Y 방향에 평행한 축부(Ra)를 가지고 있다. 각 롤러(R1 ~ R15)는, 해당 축부(Ra)가 예를 들면 용기(CT)의 ＋Y측 및 -Y측의 벽부에 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 롤러(R1 ~ R15)의 축부(Ra)의 주위에는, 수용된 기판(S)이 걸리는 원통 모양의 외주부(Rb)가 마련되어 있다.

각 롤러(R1 ~ R15)는, 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)까지의 기판(S)의 반송 경로에 순차적으로 배치되어 있다. 이하, 롤러(R1 ~ R15)의 배치에 대해서 구체적으로 설명한다.

복수의 롤러(R1 ~ R15) 중, 4개의 롤러(R1, R3, R5 및 R7)는, X축 방향에 평행한 직선 상에 나란히 배치되어 있다. 마찬가지로, 3개의 롤러(R2, R4 및 R6)에 대해서도, X축 방향에 평행한 직선 상에 나란히 배치되어 있다. 해당 3개의 롤러(R2, R4 및 R6)는, 상기 4개의 롤러(R1, R3, R5 및 R7) 보다도 -Z측에 배치되어 있다.

또, 롤러(R1 ~ R15) 중 4개의 롤러(R9, R11, R13 및 R15)에 대해서도, X축 방향에 평행한 직선 상에 나란히 배치되어 있다. 해당 4개의 롤러(R9, R11, R13 및 R15)는, 상기 4개의 롤러(R1, R3, R5 및 R7)의 ＋Z측에 인접하여 배치되어 있다.

게다가, 롤러(R1 ~ R15) 중 3개의 롤러(R10, R12 및 R14)에 대해서도, X축 방향에 평행한 직선 상에 나란히 배치되어 있다. 해당 3개의 롤러(R10, R12 및 R14)는, 상기 4개의 롤러(R1, R3, R5 및 R7) 보다도 -Z측으로서, 상기 3개의 롤러(R2, R4 및 R6)의 ＋Z측에 인접하여 배치되어 있다. 　

이와 같이 X 방향으로 늘어선 롤러의 열(列)이 Z 방향으로 4열 마련된 구성으로 되어 있다.

4열의 롤러 중, Z 방향의 양단에 배치되는 2열(＋Z측 단부：롤러(R9, R11, R13 및 R15), －Z측 단부：롤러(R2, R4 및 R6))의 롤러에 대해서는, 다른 2열에 비해 롤러의 지름이 크게 되도록 형성되어 있다.

이와 같이, 롤러(R1 ~ R15) 중 지름이 다른 롤러(R1)와 롤러(R15)의 2개가 Z 방향으로 서로 이웃하도록 나란히 배치되어 있다(단, 롤러(R1)의 지름 ＜ 롤러(R15)의 지름. 이하, 단지「R1 ＜ R15」와 같이 표기한다). 또, 롤러(R2) 및 롤러(R14)(R14 ＜ R2)), 롤러(R3) 및 롤러(R13)(R3 ＜ R13)), 롤러(R4) 및 롤러(R12)(R12 ＜ R4)), 롤러(R5) 및 롤러(R11)(R5 ＜ R11)), 롤러(R6) 및 롤러(R10)(R10 ＜ R6)), 롤러(R7) 및 롤러(R9)(R9 ＜ R7))의 각각에 대해서도, Z 방향으로 서로 이웃하도록 나란히 배치되어 있다.

기판(S)은, 롤러(R1 ~ R15)에 순차적으로 걸려 가는 것에 의해, 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)까지의 반송 경로로 안내되도록 되어 있다. 기판(S)은, 기판 반입구(EN)로부터 롤러(R7)까지의 각 롤러에 ＋X 방향으로 순차적으로 걸린다. 구체적으로는, 기판(S)은, 롤러(R1)에 의해서 -Z 방향으로 접힌다. 기판(S) 중 롤러(R1)의 하류측은, 롤러(R2)에 의해서 ＋Z 방향으로 접힌다. 기판(S) 중 롤러(R2)의 하류측은, 롤러(R3)에 의해서 -Z 방향으로 접힌다. 이와 같이, 롤러(R1)로부터 롤러(R7)까지, 기판(S)은 ＋Z 방향과 -Z 방향으로 교대로 접힌다.

롤러(R7)에 걸린 기판(S)은, 방향 전환용 롤러(R8)를 경유하여 롤러(R9)에 걸린다. 이 기판(S)은, 롤러(R9)로부터 기판 반출구(EX)까지의 각 롤러(R9 ~ R15)에 -X 방향으로 순차적으로 걸린다. 구체적으로는, 기판(S)은, 롤러(R9)에 의해서 -Z 방향으로 접힌다. 기판(S) 중 롤러(R9)의 하류측은, 롤러(R10)에 의해서 ＋Z 방향으로 접힌다. 기판(S) 중 롤러(R10)의 하류측은, 롤러(R11)에 의해서 -Z 방향으로 접힌다. 이와 같이, 롤러(R9)로부터 롤러(R15)까지, 기판(S)은 ＋Z 방향과 -Z 방향으로 교대로 접혀, X 방향으로 기판(S)이 겹치도록 수용된다.

이와 같은 반송 경로에서 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)로 안내되는 기판(S)은, 기판 반입구(EN)에서는 제1 면(Sa)이 ＋Z측을 향하게 되고, 제2 면(Sb)이 -Z측을 향하게 된 상태로 되어 있다. 또, 기판 반출구(EX)에서는 제1 면(Sa)이 -Z측을 향하게 되고, 제2 면(Sb)이 ＋Z측을 향하게 된 상태로 되어 있다.

본 실시 형태에서는, 롤러(R6)에서, 기판(S)의 제1 면(Sa)끼리가 서로 마주보도록 기판(S)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R6)에 의해서 해당 롤러(R6)의 하류측으로 접힌 부분을 제1 부분(S1)이라고 표기한다. 또, 기판(S) 중 롤러(R6)에 의해서 제1 부분(S1)과는 역방향으로 접힌 부분을 제4 부분(S4)이라고 표기한다.

롤러(R7)에서는, 제1 부분(S1)의 제2 면(Sb)끼리가 서로 마주보도록 해당 제1 부분(S1)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R7)에 의해서 해당 롤러(R7)의 하류측으로 접힌 부분을 제2 부분(S2)이라고 표기한다.

롤러(R8) 및 롤러(R9)에서는, 이 제2 부분(S2)이 롤러(R6)를 향하도록 방향 전환되어 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R8) 및 롤러(R9)에 의해서 방향 전환된 부분을 제3 부분(S3)이라고 표기한다.

롤러(R10)에서는, 이 제3 부분(S3)이, 제4 부분(S4)의 제1 면(Sa)을 따르도록 접혀 있다. 동시에, 예를 들면 기판(S)이 예를 들면 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)로 이동하는 상태에서 제3 부분(S3)과 제4 부분(S4)이 역방향으로 이동하도록, 해당 제3 부분(S3)이 롤러(R10)에 의해서 접혀 있다.

롤러(R6)로부터 롤러(R10)에 걸쳐서, 상기와 같이 기판(S)이 접혀 있기 때문에, 기판(S) 중 롤러(R1 ~ R7)에 걸리는 부분과, 기판(S) 중 롤러(R9 ~ R15)에 걸리는 부분이, Z 방향과 겹치도록 배치되게 된다. 본 실시 형태에서는, 수용실(RM) 중 Z 방향의 단면측(端面側)의 롤러열 보다도 중앙부측의 롤러열 쪽이 롤러의 지름이 작게 되어 있기 때문에, 기판(S) 중 Z 방향으로 겹치는 부분끼리가 접촉하지 않도록 되어 있다.

롤러(R1 ~ R15)에 걸린 기판(S) 중 롤러(R1)와 롤러(R2)와의 사이의 부분은, YZ 평면에 평행하게 되어 있다. 이와 같이, 상기 4열의 롤러열 중 ＋Z측으로부터 2 열째의 롤러열을 구성하는 4개의 롤러(R1, R3, R5 및 R7)와, 가장 -Z측의 롤러열을 구성하는 3개의 롤러(R2, R4 및 R6)와의 사이에 배치되는 기판(S)이 YZ 평면에 평행하게 되도록, 롤러(R1 ~ R7)의 X 방향의 위치가 조정되어 있다.

마찬가지로, 상기 4열의 롤러열 중 가장 ＋Z측의 롤러열을 구성하는 4개의 롤러(R9, R11, R13 및 R15)와, －Z측으로부터 2번째의 롤러열을 구성하는 3개의 롤러(R10, R12 및 R14)와의 사이에 배치되는 기판(S)이 YZ 평면에 평행하게 되도록, 롤러(R9 ~ R15)의 X 방향의 위치가 조정되어 있다.

또한, 상기 설명에서는, 기판(S)이 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)를 향하여 수용실(RM)을 이동하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 예를 들면 기판(S)이 기판 반출구(EX)로부터 기판 반입구(EN)를 향하여 수용실(RM)을 이동하는 경우라도, 동일한 설명이 가능하다. 또한, 이 경우, 기판(S)의 이동 방향이 상기 설명과는 역으로 되기 때문에, 기판 반출구(EX)측을 상류측, 기판 반입구(EN)측을 하류측으로 하여 설명한다.

도 18에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 롤러(R10)에서, 기판(S)의 제2 면(Sb)끼리가 서로 마주보도록 기판(S)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R10)에 의해서 해당 롤러(R10)의 하류측으로 접힌 부분을 제1 부분(T1)이라고 표기한다. 또, 기판(S) 중 롤러(R10)에 의해서 제1 부분(T1)과는 역방향으로 접힌 부분을 제4 부분(T4)이라고 표기한다.

롤러(R9)에서는, 제1 부분(T1)의 제1 면(Sa)끼리가 서로 마주보도록 해당 제1 부분(T1)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R9)에 의해서 해당 롤러(R9)의 하류측으로 접힌 부분을 제2 부분(T2)이라고 표기한다.

롤러(R9) 및 롤러(R8)에서는, 이 제2 부분(T2)이 롤러(R10)를 향하도록 방향 전환되어 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R8) 및 롤러(R9)에 의해서 방향 전환된 부분을 제3 부분(T3)이라고 표기한다.

롤러(R6)에서는, 이 제3 부분(T3)이, 제4 부분(T4)의 제2 면(Sb)을 따르도록 접혀 있다. 동시에, 예를 들면 기판(S)이 예를 들면 기판 반출구(EX)로부터 기판 반입구(EN)로 이동하는 상태에서 제3 부분(T3)과 제4 부분(T4)이 역방향으로 이동하도록, 해당 제3 부분(T3)이 롤러(R6)에 의해서 접혀 있다.

이와 같이, 기판(S)이 기판 반출구(EX)로부터 기판 반입구(EN)로 이동하는 경우에도, 롤러(R10)로부터 롤러(R6)에 걸쳐서, 상기와 같이 기판(S)이 접혀 있게 된다. 이 때문에, 기판(S) 중 롤러(R1 ~ R7)에 걸리는 부분과, 기판(S) 중 롤러(R9 ~ R15)에 걸리는 부분이, Z 방향으로 겹치도록 배치되게 된다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 기판(S)이 X 방향으로 겹치도록 물결 모양으로 접힘과 아울러 Z 방향으로 복수 겹치도록 배치된 상태로 수용실(RM)에 수용되기 때문에, 수용실(RM)의 한정된 스페이스에 대해서 효율 좋게 기판(S)을 수용할 수 있다. 이것에 의해, 기판(S)의 수용 능력이 높은 기판 보관 장치(STR)가 얻어진다.

[제5 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제5 실시 형태를 설명한다. 　

도 19는, 본 실시 형태에 관한 기판 보관 장치(STR2)의 구성을 나타내는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 복수의 접음부(RC)의 구성이 제4 실시 형태와는 다르기 때문에, 이 점을 중심으로 설명한다. 또한, 다른 구성에 대해서는, 제4 실시 형태와 동일하다. 제4 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략 혹은 간략화한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제4 실시 형태와 마찬가지로 XYZ 직교 좌표계를 이용하여 설명한다. 　

도 19에 나타내는 바와 같이, 기판 보관 장치(STR2)는, 기판(S)이 Z 방향으로 3중으로 배치되도록 복수의 접음부(RC)가 구성되어 있다. 접음부(RC)는, 복수개의 롤러(R21) ~ 롤러(R44) 중 어느 하나를 가지고 있다.

롤러(R21 ~ R44) 중, 수용실(RM)의 Z 방향 중앙부에 대해서 -Z측에는 11개의 롤러가 배치되어 있다. 이 중, 4개의 롤러(R21, R23, R25 및 R27)와, 4개의 롤러(R29, R31, R33 및 R35)와, 3개의 롤러(R37, R39 및 R41)가 각각 X 방향으로 일렬씩 늘어서 있다.

또, 롤러(R21 ~ R44) 중, 수용실(RM)의 Z 방향 중앙부에 대해서 ＋Z측에는 13개의 롤러가 배치되어 있다. 이 중, 3개의 롤러(R22, R24 및 R26)와, 4개의 롤러(R28, R30, R32 및 R34)와, 4개의 롤러(R36, R38, R40 및 R42)가 각각 X 방향으로 일렬씩 늘어서 있다. 또, 용기(CT)의 ＋Z측의 내벽을 따라서 롤러(R43 및 R44)가 마련되어 있다.

이와 같이, 본 실시 형태에서는, X 방향으로 늘어선 롤러의 열이 Z 방향으로 6열 마련된 구성으로 되어 있다. 이 6열의 롤러열은, 수용실(RM)의 Z 방향 중앙부로부터 ＋Z측에 3열, －Z측에 3열 마련되어 있다. 수용실(RM) 중 Z 방향의 단부측의 롤러열로부터 중앙부측의 롤러열에 걸쳐 롤러의 지름이 단계적으로 작아지게 되어 있다.

기판(S)은, 기판 반입구(EN)로부터 반입 롤러(Rn)를 매개로 수용실(RM)에 반입된 후, 롤러(R21)에 의해서 ＋Z 방향으로 접힌다. 기판(S) 중 롤러(R21)의 하류측은, 롤러(R22)에 의해서 -Z 방향으로 접힌다. 해당 기판(S)은, 롤러(R23 ~ R27)에서, 마찬가지로 교대로 ＋Z 방향 및 -Z 방향으로 접힌다.

기판(S) 중 롤러(R27)의 하류측은, 방향 전환용 롤러(R28)에 의해서 접혀, 방향이 전환된다. 기판(S) 중 롤러(R28)의 하류측은, 롤러(R29 ~ R34)에서 ＋Z 방향 및 -Z 방향으로 교대로 접히고, 방향 전환용 롤러(R35)에 의해서 접혀, 재차 방향이 전환된다.

기판(S) 중 롤러(R35)의 하류측은, 롤러(R36 ~ R41)에서 ＋Z 방향 및 -Z 방향으로 교대로 접히고, 방향 전환용 롤러(R42 및 R43)에 의해서 접혀, 방향이 전환된다. 이와 같이, 기판(S)은, X 방향에서 겹친 상태로 배치되게 된다. 또, 기판(S) 중 롤러(R43)의 하류측은, 기판 반출구(EX)로 향하게 되어, 롤러(R44)에 걸린 후, 반출 롤러(Rx)를 매개로 기판 반출구(EX)로부터 반출된다.

롤러(R21 ~ R42)에 걸리는 기판(S) 중, 예를 들면 롤러(R21)와, 롤러(R22)와의 사이의 부분은, YZ 평면에 평행하게 되어 있다. 이와 같이, 기판(S) 중 수용실(RM)의 Z 방향의 중앙부를 걸쳐 걸리는 부분이 YZ 평면에 평행하게 되도록, 롤러(R21 ~ R42)의 X 방향의 위치가 조정되어 있다.

본 실시 형태에서는, 롤러(R26)에서, 기판(S)의 제2 면(Sb)끼리가 서로 마주보도록 기판(S)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R26)에 의해서 해당 롤러(R26)의 하류측으로 접힌 부분을 제1 부분(S21)이라고 표기한다. 또, 기판(S) 중 롤러(R26)에 의해서 제1 부분(S21)과는 역방향으로 접힌 부분을 제4 부분(S24)이라고 표기한다.

롤러(R27)에서는, 제1 부분(S21)의 제1 면(Sa)끼리가 서로 마주보도록 해당 제1 부분(S21)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R27)에 의해서 해당 롤러(R27)의 하류측으로 접힌 부분을 제2 부분(S22)이라고 표기한다.

롤러(R28) 및 롤러(R29)에서는, 이 제2 부분(S22)이 롤러(R26)를 향하도록 방향 전환되어 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R28) 및 롤러(R29)에 의해서 방향 전환된 부분을 제3 부분(S23)이라고 표기한다.

롤러(R30)에서는, 이 제3 부분(S23)이, 제4 부분(S24)의 제1 면(Sa)을 따르도록 접혀 있다. 동시에, 예를 들면 기판(S)이 예를 들면 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)로 이동하는 상태에서 제3 부분(S23)과 제4 부분(S24)이 역방향으로 이동하도록, 해당 제3 부분(S23)이 롤러(R30)에 의해서 접혀 있다.

롤러(R26)로부터 롤러(R30)에 걸쳐서, 상기와 같이 기판(S)이 접혀 있기 때문에, 기판(S) 중 롤러(R21 ~ R27)에 걸리는 부분과, 기판(S) 중 롤러(R29 ~ R35)에 걸리는 부분이, Z 방향으로 겹치도록 배치되게 된다.

또, 롤러(R33)에서, 기판(S)의 제2 면(Sb)끼리가 서로 마주보도록 기판(S)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R33)에 의해서 해당 롤러(R33)의 하류측으로 접힌 부분을 제1 부분(T21)이라고 표기한다. 또, 기판(S) 중 롤러(R33)에 의해서 제1 부분(T21)과는 역방향으로 접힌 부분을 제4 부분(T24)이라고 표기한다.

롤러(R34)에서는, 제1 부분(T21)의 제1 면(Sa)끼리가 서로 마주보도록 해당 제1 부분(T21)이 접혀 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R34)에 의해서 해당 롤러(R34)의 하류측으로 접힌 부분을 제2 부분(T22)이라고 표기한다.

롤러(R35) 및 롤러(R36)에서는, 이 제2 부분(T22)이 롤러(R33)를 향하도록 방향 전환되어 있다. 또한, 기판(S) 중 롤러(R35) 및 롤러(R36)에 의해서 방향 전환된 부분을 제3 부분(T23)이라고 표기한다.

롤러(R37)에서는, 이 제3 부분(T23)이, 제4 부분(T24)의 제1 면(Sa)을 따르도록 접혀 있다. 동시에, 예를 들면 기판(S)이 예를 들면 기판 반입구(EN)로부터 기판 반출구(EX)로 이동하는 상태에서 제3 부분(T23)과 제4 부분(T24)이 역방향으로 이동하도록, 해당 제3 부분(T23)이 롤러(R37)에 의해서 접혀 있다.

롤러(R33)로부터 롤러(R37)에 걸쳐서, 상기와 같이 기판(S)이 접혀 있기 때문에, 기판(S) 중 롤러(R29 ~ R35)에 걸리는 부분과, 기판(S) 중 롤러(R36 ~ R42)에 걸리는 부분이, Z 방향으로 겹치도록 배치되게 된다.

본 실시 형태에서는, 수용실(RM) 중 Z 방향의 단면측의 롤러열로부터 중앙부측의 롤러열에 걸쳐 롤러의 지름이 단계적으로 작아지게 되어 있기 때문에, 기판(S) 중 Z 방향으로 겹치는 부분끼리가 접촉하지 않도록 되어 있다.

또한, 지름이 작은 롤러의 직경의 결정 방법은, 전술한 제1 실시 형태에서 설명한 바와 같다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 기판(S)이 X 방향으로 겹치도록 물결 모양으로 접힘과 아울러 Z 방향으로 3중이 되도록 배치된 상태로 수용실(RM)에 수용되기 때문에, 수용실(RM)의 한정된 스페이스에 대해서 효율 좋게 기판(S)을 수용할 수 있다. 이것에 의해, 기판(S)의 수용 능력이 높은 기판 보관 장치(STR2)가 얻어진다.

[제6 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제6 실시 형태를 설명한다. 　

도 20은, 본 실시 형태에 관한 기판 보관 장치(STR3)의 구성을 나타내는 도면이다. 본 실시 형태에서는, 기판 반입구(EN)와 기판 반출구(EX)가 용기(CT) 중 다른 면에 마련되어 있는 점에서, 상기 제5 실시 형태와는 다르다. 또, 이것에 수반하여, 접음부(RC)의 구성이 제5 실시 형태와는 다르다. 다른 구성에 대해서는, 제5 실시 형태와 동일하다. 또한, 본 실시 형태에서는, 상기 실시 형태와 마찬가지로 XYZ 직교 좌표계를 이용하여 설명한다.

도 20에 나타내는 바와 같이, 기판 반입구(EN)는, 용기(CT) 중 -X측의 벽부(CTa)에 마련되어 있다. 이것에 대해서, 기판 반출구(EX)는, 용기(CT) 중 ＋X측의 벽부(CTb)에 마련되어 있다. 이와 같이 기판 반입구(EN) 및 기판 반출구(EX)가, 용기(CT) 중 X 방향 상의 다른 벽부에 마련되어 있다.

롤러(R21 ~ R42)의 배치는 제5 실시 형태와 동일하다. 따라서, 기판(S)의 제1 부분(S21) ~ 제4 부분(S24), 제1 부분(T21) ~ 제4 부분(T24)의 위치 관계에 대해서도, 제5 실시 형태와 동일하다. 본 실시 형태에서는, 제5 실시 형태에서의 롤러(R43 및 R44)가 마련되어 있지 않아, 그 만큼, 수용실(RM)의 스페이스를 작게 할 수 있도록 되어 있다.

또, 롤러(R43)에서의 기판(S)의 접음이 없기 때문에, 기판 반입구(EN)로부터 반입되는 기판(S)의 제1 면(Sa) 및 제2 면(Sb)의 위치 관계와, 기판 반출구(EX)로부터 반출되는 기판(S)의 제1 면(Sa) 및 제2 면(Sb)의 위치 관계를 동일하게 할 수 있다. 구체적으로는, 기판 반입구(EN)에서도 기판 반출구(EX)에서도, 기판(S)의 제1 면(Sa)이 ＋Z측을 향하게 하고, 제2 면(Sb)이 -Z측을 향하게 한 것이 된다.

예를 들면, 상기 제5 실시 형태 및 제6 실시 형태에서는, 기판(S) 중 수용실(RM)의 Z 방향의 중앙부를 걸쳐 걸리는 부분이 YZ 평면에 평행하게 되도록, 롤러(R21 ~ R42)의 X 방향의 위치가 조정된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.

수용실(RM) 중 Z 방향의 단부측으로부터 중앙부측을 향하여, X 방향으로 배치되는 롤러(R36, R38, R40, R42)의 지름, X 방향으로 배치되는 롤러(R28, R30, R32, R34)의 지름, X 방향으로 배치되는 롤러(R22, R24, R26)의 지름이 단계적으로 작아지고, 또, 수용실(RM)의 중앙부측으로부터 바닥 방향을 향하여, X 방향으로 배치되는 롤러(R37, R39, R41)의 지름, X 방향으로 배치되는 롤러(R35, R33, R31, R29)의 지름, X 방향으로 배치되는 롤러(R21, R23, R25, R27)의 지름이 단계적으로 커지는 구성이면, 예를 들면 도 21에 나타내는 바와 같이, 기판(S) 중 수용실(RM)의 Z 방향의 중앙부를 걸쳐 걸리는 부분이 YZ 평면에 대해서 경사지도록 롤러(R21 ~ R42)가 배치되어 있는 구성이라도 상관없다. 이 경우, 상기 제5 실시 형태 및 제6 실시 형태에 비해, 롤러의 X 방향의 거리가 작게 된다. 이 때문에, 용기(CT)를 X 방향으로 컴팩트하게 할 수 있다.

또한, 도 21에서, 최소 지름의 롤러(R24, R37)의 직경의 제한에 대해서는, 전술한 제1 실시 형태에서 설명한 바와 같다. 또, 도 20에서의 최소 지름의 복수의 각 롤러의 직경의 제한에 대해서도 마찬가지이다.

또한, 도 21에서는, 롤러(R23, R33 및 R37)와, 롤러(R24, R32 및 R38)와의 사이의 기판(S)을 대표하여 설명하고 있지만, 다른 부분에서도 동일한 설명이 가능하다. 또, 제4 실시 형태에서도, 수용실(RM) 중 Z 방향의 단부측의 롤러(R36, R38, R40, R42)의 열로부터 중앙부측의 롤러(R22, R24, R26)의 열을 걸쳐서 롤러의 지름이 단계적으로 작아지고 있기 때문에, 동일한 설명이 가능하다.

또, 상기 실시 형태의 각 구성에서는, 기판 반입구(EN)로부터 기판(S)을 반입시킨 후, 기판(S)이 각 롤러(R21 ~ R42)에 걸리도록 해당 기판(S)을 안내하는 가이드부가 수용실(RM)에 적절히 마련되는 구성으로 해도 상관없다. 이것에 의해, 기판(S)을 확실히 각 롤러(R21 ~ R42)에 걸 수 있다.

또, 상기 실시 형태의 변형예로서, 예를 들면 도 22에 나타내는 롤러가 배치하는 것도 가능하다. 복수의 롤러 중 Z 방향으로 인접하는 3개의 롤러(R43, R28, R42), 3개의 롤러(R27, R29, R41), 3개의 롤러(R26, R30, R40), 3개의 롤러(R25, R31, R39), 3개의 롤러(R24, R32, R38), 3개의 롤러(R23, R33, R37), 3개의 롤러(R22, R34, R36)의 각각에 대해서 Y 방향으로 신장한 축(Ra, 도 18)의 양단을 연결 부재(210, 이 연결 부재(210)는, Z 방향으로 이동 가능)에 의해서 연결한다. 즉, 3개의 롤러(R43, R28, R42)는 연결 부재(210a)에 장착되고, 3개의 롤러(R27, R29, R41)는 연결 부재(210b)에 장착되고, 3개의 롤러(R26, R30, R40)는 연결 부재(210c)에 장착되고, 3개의 롤러(R25, R31, R39)는 연결 부재(210d)에 장착되고, 3개의 롤러(R24, R32, R38)는 연결 부재(210e)에 장착되고, 3개의 롤러(R23, R33, R37)는 연결 부재(210f)에 장착되며, 3개의 롤러(R22, R34, R36)는 연결 부재(210g)에 장착된다. 그리고, 각 3개의 롤러 중 2개가 X 방향으로 나란히, 또한, 나머지 1개의 롤러가 ＋Z측 및 -Z측에 교대로 비어져 나오도록, 연결 부재(210a ~ 210g)를 배치시켜 둔다. 즉, 롤러(R42, R29, R40, R31, R38, R33, R36)가 X 방향으로 나란히 배치되며, 롤러(R28, R27, R30, R25, R32, R23, R34)가 X 방향으로 나란히 배치된다. 또, 롤러(R41, R39, R37)가 ＋Z측으로 비어져 나와 있으며, 롤러(R43, R26, R24, R22)가 -Z측으로 비어져 나와 있다. X 방향으로 늘어선 2열의 롤러 중, 롤러(R28, R27, R30, R25, R32, R23, R34)의 열의 ＋X측에는, 고정 롤러(220A)를 배치하고, 롤러(R42, R29, R40, R31, R38, R33, R36)의 열의 -X측에는, 고정 롤러(220B)를 배치시켜 둔다.

이 상태에서, 도 22에 나타내는 바와 같이, 우선 반입 롤러(Rn)로부터 기판(S)을 ＋X 방향으로 직선 모양으로 반송하고, 롤러(R34)와 롤러(R22)와의 사이, 롤러(R32)와 롤러(R24)와의 사이, 롤러(R30)와 롤러(R26)와의 사이, 롤러(R28)와 롤러(43)와의 사이를 빠져 나가도록 ＋X측의 고정 롤러(220A)까지 도달시켜, 해당 고정 롤러(220A)로 -X 방향으로 접히게 한다. 다음에, 롤러(R28)와 롤러(42)와의 사이, 롤러(R29)와 롤러(R27)와의 사이, 롤러(R40)와 롤러(R30)와의 사이, 롤러(R31)와 롤러(R25)와의 사이, 롤러(R38)와 롤러(R32)와의 사이, 롤러(R33)와 롤러(R32)와의 사이, 롤러(R36)와 롤러(R34)와의 사이를 빠져 나가도록 -X측의 고정 롤러(220B)까지 도달시켜, 해당 고정 롤러(220B)로 ＋X 방향으로 접히게 한다. 그 후, 롤러(R37)와 롤러(R33)와의 사이, 롤러(R39)와 롤러(R31)와의 사이, 롤러(R41)와 롤러(R29)와의 사이를 빠져 나가도록 반출 롤러(Rx)에 도달시킨다.

다음에, 도 23에 나타내는 바와 같이, 연결 부재(210a, 210c, 210e, 210g)를＋Z측으로 이동시키고, 연결 부재(210b, 210d, 210f)를 -Z측으로 이동시킨다. 이 동작에 의해, 각 롤러에 기판(S)이 걸린 상태가 된다. 이 구성에 의해, 단시간에 기판(S)을 각 롤러에 걸 수 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 각 롤러의 구성에 대해서, 축부(Ra) 및 외주부(Rb)를 가지는 구성이며, 외주부(Rb)가 원통 모양으로 형성된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 　

예를 들면 도 24a 및 도 24b에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)을 접기 위한 접음부의 롤러(R22)로서, 축부(231) 및 복수의 플랜지부(232)를 가지는 디스크 롤러(233)를 구비하는 구성이라도 상관없다. 이 경우, 축부(231)는 복수의 플랜지부(232)끼리를 연결하는 연결부를 겸하고 있다. 또한, 도 24a 및 도 24b에는 제5 실시 형태 및 제6 실시 형태의 롤러(R22, R32 및 R36)를 대표하여 나타내고 있지만, 다른 롤러라도 동일한 구성으로 할 수 있다. 또, 제4 실시 형태의 롤러라도 동일한 구성으로 해도 상관없다.

도 24b에 나타내는 바와 같이, 복수의 플랜지부(232)는, Y 방향으로 간격을 두고 나란히 배치되어 있다. 축부(231)의 Y 방향의 중앙부에 연결되는 플랜지부(232)끼리의 간격은, 축부(231)의 Y 방향의 단부에 연결되는 플랜지부(232)끼리의 간격 보다도 넓게 되어 있다. 또, 축부(231)의 Y 방향의 중앙부에 연결되는 플랜지부(232)의 Y 방향의 치수(두께)는, 축부(231)의 Y 방향의 단부에 연결되는 플랜지부(232) 두께 보다도 크게 되어 있다. 이 구성은 어디까지나 일례이며, 예를 들면 플랜지부(232)끼리가 Y 방향으로 등(等)피치(pitch)로 배치되어 있어도 상관없고, 플랜지부(232)의 두께가 모두 동일하게 형성되어 있어도 상관없다.

또, 예를 들면 도 25 및 도 26에 나타내는 바와 같이, 접음부의 지름이 커지는 개소에 대해서는, 축부(231) 및 복수의 플랜지부(232)를 가지는 2개의 디스크 롤러(233)를 조합하여 배치시켜도 괜찮다. 이 구성에서, 도 26에 나타내는 바와 같이, 2개의 디스크 롤러(233)를 Y 방향으로 어긋나고, 2개의 디스크 롤러(233) 중 일방이 가지는 플랜지부(232)의 사이에, 2개의 디스크 롤러(233) 중 타방이 가지는 플랜지부(232)가 밀치고 들어가는 구성으로 할 수 있다. 이 경우, 2개의 디스크 롤러(233)의 X 방향의 간격을 조정하는 것에 의해, 접음부의 지름을 원하는 값으로 설정할 수 있다. 이 때문에 Z 방향의 치수가 커지는 것을 억제할 수 있다.

또, 시트 기판(FB)에서, 다른 지름을 가지는 접음부의 모두에 대해서 동일 구성의 디스크 롤러(233)를 이용할 수 있다. 게다가, 축부(231)끼리의 간격(P)을 플랜지부(232)의 지름 보다도 좁게 할 수도 있기 때문에, 설계의 폭이 넓어지게 된다.

또한, 도 25에서는, Z 방향으로 디스크 롤러(233)의 조(組)가 3조 인접하는 구성을 예로 들고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 Z 방향으로 디스크 롤러(233)가 2조 인접하는 구성이나 4조 이상 인접하는 구성이라도 동일한 설명이 가능하다. 또한, 도 25에 나타내는 구성에서는, Z 방향으로 인접하는 디스크 롤러(233)의 간격이 동일하게 되어 있지만, 다른 간격으로 해도 상관없다.

이 경우에서도, 플랜지부(232)의 최소 지름은, 시트 기판(FB)을 U자 모양으로 접어도 소성 변형하지 않는 범위 내로 설정된다.

또한, 도 24a, 도 24b, 도 25 및 도 26에 나타내는 디스크 롤러(233)에 대해서는 축부(231)와 플랜지부(232)가 고정된 구성이라도 상관없고, 축부(231)와 플랜지부(232)가 독립하여 회전 가능하게 된 구성이라도 상관없다.

또, 도 27 및 도 28에 나타내는 바와 같이, 유체 패드(240)를 이용하여 에어 턴 바(air turn bar)로 한 구성이라도 상관없다. 도 28은, 도 27에서의 A－A 단면에 따른 구성을 나타내는 도면이다. 도 27 및 도 28에 나타내는 구성에서는, 기판(S)의 Y 방향의 양단부를 지지하는 위치에 한 쌍의 롤러(244)가 마련되어 있다. 롤러(244)는, 원통 모양으로 형성된 외주면(244a)을 가지고 있다. 한 쌍의 롤러(244)는, 샤프트(242)를 매개로 측벽(245)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

한 쌍의 롤러(244)의 사이에는, 복수의 유체 패드(240)가 마련되어 있다. 복수의 유체 패드(240)는, 예를 들면 Y 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 유체 패드(240)는, 베어링(241)을 매개로 샤프트(242)에 지지되어 있다. 유체 패드(240)는, 원호 모양으로 형성된 패드면(240a)을 가지고 있다. 패드면(240a)의 지름은, 롤러(244)의 외주면(244a)의 지름에 대응하도록 설정되어 있다. 패드면(240a) 및 외주면(244a)은, 위치 관계가 고정된 상태로 되어 있다. 유체 패드(240)는, 측벽(245)에 고정된 걸림핀(246)에 의해, 샤프트(242) 주위로는 거의 회전하지 않도록 구성되어 있다.

유체 패드(240)의 패드면(240a)에는, 홈부(240b)가 형성되어 있다. 홈부(240b)는, 유체 패드(240)의 내부에 마련된 유로(247) 및 해당 유로(247)에 접속된 튜브(249)를 통해 기체 공급부(248)에 접속되어 있다. 기체 공급부(248)는, 압착 기체를 공급할 수 있다. 기체 공급부(248)로부터의 기체는, 유로(247)를 통해 홈부(240b)로 공급되어, 패드면(240a) 상으로 분출되도록 되어 있다.

도 27에 나타내는 구성에서는, 기판(S)의 Y 방향의 양단부는, 롤러(244)의 외주면(244a)에 마찰 접촉하여 지지되도록 되어 있다. 이 상태에서 롤러(244)가 회전하면, 외주면(244a)을 통해 롤러(244)의 회전이 기판(S)에 전달되어, 기판(S)이 이동하도록 되어 있다. 기판(S)이 롤러(244)에 걸린 상태에서 기체 공급부(248)로부터 기체가 공급되면, 기판(S)의 피지지면과 패드면(240a)과의 사이에 유체층(250)이 형성되게 된다. 또한, 상기의 유체 패드(240)의 패드면(240a)을 규정하는 지름은, 롤러(244)의 지름과 거의 동일하지만, 유체층(250)의 두께(수 ㎛ ~ 수십 ㎛)를 고려하여 약간 작게 해도 상관없다.

유체 패드(240)에 의해서 형성되는 유체층(250)의 원주 방향(샤프트(242)의 회전 방향)의 길이는 기판(S)과 마찰 접촉하는 롤러(244)의 원주 방향의 길이와 동일한 정도가 되도록 설정된다. 도 27에 나타내는 예에서는, 거의 180도가 되도록 설정되어 있다.

또한, 롤러(244)로서는, 기판(S)에 원하는 텐션을 가한 상태에서 기판(S)을 이동할 때에, 기판(S)과의 마찰 접촉에 의해 자유 회전하는 종동(從動) 롤러로서의 구성이라도 상관없고, 샤프트(242)에 미도시한 모터 등의 구동 기구가 접속된 구동 롤러로서의 구성이라도 상관없다.

또, 예를 들면 도 29에 나타내는 바와 같이, 상기 유체 패드(240) 및 롤러(244)의 구성을 X 방향으로 복수 배치시켜, 시트 기판(FB)의 접음부의 지름을 조정하는 구성으로 해도 상관없다. 이와 같은 구성의 경우, 유체 패드(240)의 패드면(240a) 중 원주 방향의 전(全) 영역이 기판(S)에 대향하는 것은 아니고, 도 29에 나타내는 바와 같이 원주 방향에서 특정의 4분의 1의 영역만이 기판(S)에 대향하게 된다. 이를 위해서, 패드면(240a)에는 미리 해당 4분의 1의 영역에만 홈부(240b)를 형성해 두도록 한다. 이것에 의해, 유체층(250)의 원주 방향의 범위를 조정할 수 있다.

또, 예를 들면 도 30에 나타내는 바와 같이, 에어 베어링 기구(260)를 이용하는 구성이라도 상관없다. 이 에어 베어링 기구(260)는, 한 쌍의 가이드 부재(261)와, 해당 한 쌍의 가이드 부재(261)를 유지하는 유지 부재(262)와, 가이드 부재(261)에 에어를 공급하는 에어 공급부(263)를 가지고 있다.

가이드 부재(261)는, 예를 들면 세라믹스제의 다공질 부재 등에 의해서 형성되어 있다. 가이드 부재(261)의 표면(가이드면, 261a)은, 원통면의 일부(90°정도)로서 형성되어 있다. 가이드면(261a)에서는, 예를 들면 에어 공급부(263)로부터의 에어가 분출하도록 되어 있다. 유지 부재(262)는, 한 쌍의 가이드 부재(261)를 유지한다. 유지 부재(262)에는, ＋X측 및 -X측에 가이드면(261a)을 향한 한 쌍의 가이드 부재(261)가 X 방향으로 간격을 둔 상태로 유지되어 있다.

도 31은, 접음부에, 상기 에어 베어링 기구(260)를 이용한 구성을 나타내고 있다. 도 31에 나타내는 바와 같이, Z 방향에 인접하여 에어 베어링 기구(260)가 이용되고 있지만, 접음부 마다 유지 부재(262)의 X 방향의 치수가 다르다. 구체적으로는, 가장 ＋Z측에 배치되는 에어 베어링 기구(260)의 유지 부재(262A)의 X 방향의 치수가 가장 크고, 해당 유지 부재(262A)에 대해서 -Z측의 유지 부재(262B), 유지 부재(262C) 및 유지 부재(262D)는, 이 순서로 서서히 X 방향의 치수가 작아지도록 형성되어 있다.

이와 같이, 유지 부재(262)의 치수를 조정하는 것에 의해, 접음부에서의 지름을 변화시킬 수 있다. 또, 롤러를 이용하는 경우에 비해, Z 방향의 치수가 대략 절반으로 되기 때문에, 컴팩트한 구성으로 할 수 있다. 이 때문에, Z 방향으로 접음부를 다수 마련할 수 있고, 용기의 Z 방향의 치수를 작게 할 수도 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 접음부로서 롤러를 이용하는 경우, Y 방향에서의 롤러의 지름을 일정하게 하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 도 32a에 나타내는 바와 같이, 외주부(Rb)의 Y 방향의 단부로부터 중앙부에 도달함에 따라 지름이 커지는 구성이라도 상관없다. 또, 도 32b에 나타내는 바와 같이, 외주부(Rb)의 Y 방향의 단부로부터 중앙부에 도달함에 따라 지름이 작아지는 구성이라도 상관없다.

또, 상기 실시 형태에서는, 접음부로서 롤러를 이용하는 구성에서, 수용실(RM) 중 Z 방향의 단부측의 롤러열로부터 중앙부측의 롤러열에 걸쳐서 롤러의 지름이 단계적으로 작아지고 있는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 도 33에 나타내는 바와 같이, 모든 롤러의 지름을 동일하게 하는 구성이라도 상관없다.

이 경우, Z 방향으로 인접하는 롤러조끼리의 X 방향에서의 피치(L3)를, 상기 실시 형태에서의 해당 피치에 비해 크게 하면 좋다. 또, Z 방향으로 인접하는 롤러조끼리가 X 방향으로 소정 거리(L4)를 두고 배치되도록 하면 좋다. 이와 같이 롤러의 지름이 모두 동일한 경우라도, 본 발명을 적용할 수 있다.

CTR … 기판 카트리지 　FB … 시트 기판
SYS … 기판 처리 시스템 　PR … 기판 처리 장치
CONT … 제어 장치 　CN … 접속부　
Fh … 선단부 　1 … 수용부　
2 … 반입구 　3, 3A, 3B … 반출구
4 … 안내부 　5 … 제어부
S … 기판 　Sa … 제1 면
Sb … 제2 면 　S1, S21, T1, T21 … 제1 부분
S2, S22, T2, T22 … 제2 부분　
S3, S23, T3, T23 … 제3 부분　
S4, S24, T4, T24 … 제4 부분　
CT … 용기 　CTa, CTb … 벽면
FL … 바닥면　 RM … 수용실
EN … 기판 반입구 　EX … 기판 반출구
Rn … 반입 롤러 　Rx … 반출 롤러
R1 ~ R15, R21 ~ R44, 244 … 롤러
Ra … 축부 Rb … 외주부
231 … 축부　 232 … 플랜지부
233 … 디스크 롤러　 240 … 유체 패드
240a … 패드면 240b … 홈부　
248 … 기체 공급부　 250 … 유체층
260 … 에어 베어링 기구　 261 … 가이드 부재
261a … 가이드면　 262 … 유지 부재
263 … 에어 공급부 STR, STR2, STR3 … 기판 보관 장치

Claims

가요성을 가지는 띠 모양의 시트 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리장치에 접속가능한 기판 카트리지로서,
복수의 벽면으로 둘러싸인 공간을 가지며, 상기 공간 내에 상기 시트 기판을 길이방향에 관하여 복수회 접어서 수용하는 수용부와,
상기 수용부의 복수의 벽면 중 상기 처리장치와 대향하는 제1 벽면에 마련되며, 상기 시트 기판을 길이방향을 따라서 상기 처리장치를 향하여 반출하는 반출구와,
상기 수용부의 상기 제1 벽면에 마련되며, 상기 시트 기판을 상기 처리장치로부터 회수하기 위해서 상기 시트 기판을 길이방향을 따라서 반입하는 반입구와,
상기 수용부 내에 마련되며, 상기 시트 기판의 표면측을 유지하도록 반송방향으로 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 안내부재와,
상기 수용부 내에 마련되며, 상기 시트 기판의 이면측을 유지하도록 반송방향으로 간격을 두고, 상기 복수의 제1 안내부재 각각의 사이에 배치되는 복수의 제2 안내부재와,
상기 반입구로부터 반입되는 상기 시트 기판의 선단을, 상기 제1 안내부재와 상기 제2 안내부재와의 사이를 통과시켜 상기 반출구로 안내하도록, 상기 시트 기판의 안내경로의 일부에 마련되는 제3 안내부재를 구비하는 기판 카트리지.
청구항 1에 있어서,
상기 시트 기판이 상기 제1 안내부재와 상기 제2 안내부재에 의해서 교호로 절곡되어 지지되도록, 상기 복수의 제1 안내부재와 상기 복수의 제2 안내부재를 상대적으로 이동가능하게 하는 이동기구를 더 구비하는 기판 카트리지.
청구항 2에 있어서,
상기 제3 안내부재는, 상기 수용부의 공간 내에 마련되며, 상기 반입구로부터 상기 수용부에 반입되는 상기 시트 기판의 선단부가 상기 반출구까지 안내되도록, 상기 복수의 제1 안내부재 및 제2 안내부재 사이에서 상기 시트 기판의 상기 안내경로가 되는 일부분을 따른 위치와, 상기 안내경로로부터 퇴피한 위치와의 사이에서 가동(可動)하는 가동안내판을 포함하는 기판 카트리지.
청구항 3에 있어서,
상기 반출구와 상기 반입구 각각은, 상기 수용부의 상기 복수의 벽면 중 동일한 벽면, 혹은 다른 벽면에 배치되는 기판 카트리지.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1 안내부재 또는 상기 제2 안내부재는, 접촉에 의해서 상기 시트 기판을 길이방향으로 절곡하도록 지지하는 롤러로 구성되는 기판 카트리지.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1 안내부재 또는 상기 제2 안내부재는, 상기 시트 기판의 길이방향을 따라서 원통면 모양으로 만곡된 가이드면으로부터 기체를 분출하여 상기 시트 기판을 에어 베어링 기구에 의해 지지하는 가이드 부재로 구성되는 기판 카트리지.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1 안내부재 또는 상기 제2 안내부재는, 상기 시트 기판의 길이방향과 직교하는 폭방향의 양 단부 각각에 접촉하는 한쌍의 롤러와, 상기 한쌍의 롤러 사이에 배치되어 원호 모양으로 형성된 패드면으로부터 기체를 분출하여 상기 시트 기판을 유체층에 의해 지지하는 유체패드로 구성되는 기판 카트리지.