WO2011126133A1 - 基板カートリッジ、基板保管装置及び基板処理システム - Google Patents

基板カートリッジ、基板保管装置及び基板処理システム Download PDF

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Abstract

基板カートリッジ( C T R ) は、収容部( 1 ) 、搬出口( 3 ) 、搬入口( 2 ) 及び案内部( 4 ) を備える。収容部( 1 ) は、帯状の基板( F B ) を収容する。搬出口( 3 )及び搬入口( 2 ) は、収容部( 1 ) に設けられ、基板( F B ) を通じる。案内部( 4 ) は、搬入口( 2 ) から搬出口( 3 ) まで基板( F B ) を案内する。案内部( 4 ) は可動案内板( 4 5 ) 及び移動ローラー( 4 7 、4 8 ) を含む。移動ローラー( 4 7 、4 8 ) は伸縮部( 5 2 b ) を含む。まず、可動案内板( 4 5 ) が水平に保持され、かつ、伸縮部( 5 2 b ) が収縮される。基板( F B ) の先端部は案内板( 4 5 ) 上に支持される。基板( F B ) が搬入ローラー( 2 3 ) で送り込まれるとき、案内板( 4 5 ) は垂直な姿勢へと回動される。基板( F B ) の搬入につれて、伸縮部( 5 2 b ) が徐々に延伸される。カートリッジ( C T R ) は、基板処理装置( F P A ) に接続される。

Description

基板カートリッジ、基板保管装置及び基板処理システム

 本発明は、基板カートリッジ、基板保管装置及び基板処理システムに関する。
 本願は、2010年4月9日に出願された米国仮出願61/322360号および2010年12月15日に出願された米国仮出願61/423207号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

 ディスプレイ装置などの表示装置を構成する表示素子として、例えば液晶表示素子、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子が知られている。現在、これらの表示素子では、各画素に対応して基板表面に薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)を形成する能動的素子(アクティブデバイス)が主流となってきている。

 近年では、シート状の基板(例えばフィルム部材など)上に表示素子を形成する技術が提案されている。このような技術として、例えばロール・トゥ・ロール方式(以下、単に「ロール方式」と表記する)と呼ばれる手法が知られている(例えば、特許文献1参照)。ロール方式は、基板供給側の供給用ローラーに巻かれた1枚のシート状の基板(例えば、帯状のフィルム部材)を送り出すと共に送り出された基板を基板回収側の回収用ローラーで巻き取りながら、供給用ローラーと回収用ローラーとの間に設置された処理装置により基板に所望の加工を施していくものである。

 そして、基板が送り出されてから巻き取られるまでの間に、例えば複数の搬送ローラー等を用いて基板が搬送され、複数の処理装置(ユニット)を用いてTFTを構成するゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体膜、ソース・ドレイン電極等を形成し、基板の被処理面上に表示素子の構成要素を順次形成する。例えば、有機ELの素子を形成する場合には、発光層、陽極、陰極、電気回路等を基板上に順次形成する。

 回収ローラーに巻かれた基板を送り出す際には、巻き取りの際に最後尾であった部分が先端となって基板が送り出されることになる。このため、基板に対してパターン形成等を繰り返し行う場合には、基板の巻き取り時と基板の送り出し時とで、パターン形成処理の順序を逆にする必要が考えられる。このように、基板の先頭及び最後尾をその都度管理する必要があるため、管理上の負担が大きくなる場合がある。

国際公開第2006/100868号パンフレット

 ロール・トゥ・ロール方式では、基板一枚の長さが長いため、基板の管理の負担を軽減することが求められている。

 本発明に係る態様は、基板の管理上の負担を軽減することが可能な基板管理装置、基板カートリッジ及び基板処理システムを提供することを目的とする。

 一態様による基板カートリッジは、帯状に形成された基板を収容する収容部と、当該収容部に設けられ、基板を搬出する搬出口と、収容部に設けられ、基板を搬入する搬入口と、当該搬入口から収容部に収容された基板の先端部を搬出口に案内する案内部とを備える。

 一態様による基板処理システムは、本発明の第一の態様に従う基板カートリッジと、当該基板カートリッジと接続する接続部を有する基板処理装置とを備える。

 一態様による基板保管装置は、帯状に形成され可撓性を有する基板を長手方向に複数回折り返して保持する基板保管装置であって、基板の表面同士が互いに向い合うように当該基板を折り返す第一折り返し部と、基板のうち第一折り返し部に対して一方の側に折り返された第一部分の裏面同士が互いに向い合うように第一部分を折り返す第二折り返し部と、基板のうち第二折り返し部によって第一折返し部とは反対側に折り返された第二部分を第一折り返し部に向けて方向転換する方向転換部と、基板のうち方向転換部で方向転換された第三部分の一部が基板のうち第一折り返し部によって第一部分とは他方の側に折り返された第四部分の表面または裏面に沿うように、第三部分を折り返す第三折り返し部とを備える。

 本発明に係る態様によれば、基板の管理上の負担を軽減することが可能となる。

第一実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 本実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 本実施形態に係る基板カートリッジの一部の構成を示す図。 本実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図。 本実施形態に係る基板処理システムの一部の動作を示す図。 本実施形態に係る基板処理システムの一部の動作を示す図。 第二実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 本実施形態に係る基板カートリッジの構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 基板処理システムの他の構成を示す図。 基板カートリッジの他の構成を示す図。 第三実施形態に係る基板カートリッジの一部の構成を示す図。 第四実施形態に係る基板保管装置の構成を示す斜視図。 第五実施形態に係る基板保管装置の構成を示す断面図。 第六実施形態に係る基板保管装置の構成を示す断面図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。 基板保管装置の他の構成を示す図。

 [第一実施形態] 
 図面を参照して、第一実施形態を説明する。 
 図1は、本実施形態に係る基板カートリッジCTRの構成を示す側断面図である。 
 図1に示すように、基板カートリッジ(或いはシート・ストッカー)CTRは、帯状に形成されたシート基板(例えば、帯状のフィルム部材)を収容する収容部1と、当該収容部1にシート基板を搬入する搬入口2と、当該収容部1からシート基板を搬出する搬出口3と、収容部1内においてシート基板を搬入口2から搬出口3へと案内する案内部4と、制御部5と、被接続口6とを備えている。基板カートリッジCTRは、例えば、製造工場の床面Fなどに載置されて用いられる。

 以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。具体的には、床面Fと平行な平面上の所定方向をX軸方向、当該平面上においてX軸方向に直交する方向をY軸方向、当該平面に垂直な方向をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。

 シート基板としては、例えば樹脂フィルムやステンレス鋼などの箔(フォイル)を用いることができる。例えば、樹脂フィルムは、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、エチレンビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、酢酸ビニル樹脂、などの材料を用いることができる。

 シート基板のY方向(短尺方向)の寸法は例えば50cm~2m程度に形成されており、X方向(長尺方向)の寸法は例えば10m以上に形成されている。勿論、この寸法は一例に過ぎず、これに限られることは無い。例えばシート基板のY方向の寸法が50cm以下であっても構わないし、2m以上であっても構わない。本実施形態においては、Y方向の寸法が2mを超えるシート基板であっても好適に用いられる。また、シート基板のX方向の寸法が10m以下であっても構わない。

 シート基板は、例えば、1mm以下の厚みを有し、可撓性を有するように形成されている。ここで可撓性とは、例えば基板に少なくとも自重程度の所定の力を加えても線断したり破断したりすることはなく、該基板を撓めることが可能な性質をいう。また、例えば上記所定の力によって屈曲する性質も可撓性に含まれる。また、上記可撓性は、該基板の材質、大きさ、厚さ、又は温度などの環境、等に応じて変わる。なお、シート基板としては、1枚の帯状の基板を用いても構わないが、複数の単位基板を接続して帯状に形成される構成としても構わない。

 シート基板は、例えば200℃程度の熱を受けても寸法が変わらないように熱膨張係数が小さい方が好ましい。例えば、無機フィラーを樹脂フィルムに混合して熱膨張係数を小さくすることができる。無機フィラーの例としては、酸化チタン、酸化亜鉛、アルミナ、酸化ケイ素などが挙げられる。

 収容部1は、例えば複数の壁面を有するケース10を有している。当該複数の壁面は、例えば直方体の各面を構成する位置に配置されている。ケース10は、例えば-Z側の面が床面Fに直接接触するように載置されても構わないし、例えばキャスターなどを介して床面Fに設置された構成としても構わない。ケース10に開閉可能な蓋部(不図示)が設けられた構成であっても構わない。

 搬入口2は、ケース10のうち例えば+X側の壁面10aに形成されている。搬入口2には、例えばガイド板21及び22と、搬入ローラー(駆動ローラー)23とが設けられている。ガイド板21及び22は、シート基板の表面及び裏面を挟む位置に設けられている。ガイド板21は、ガイド板22に対して+X側に突出するように形成されている。搬入ローラー23は、搬入口2から搬入されたシート基板を収容部1の内部に案内する。

 搬出口3は、ケース10のうち例えば+X側の壁面10aに形成されている。さらに、搬出口3は、この壁面10aのうち上方側(+Z側)に形成されている。搬出口3は、例えば搬入口2の下方側(-Z側)に配置されている。このように、本実施形態では、搬入口2と搬出口3とがケース10の同一の壁面10aに配置されている。また、当該壁面10aには、外部との被接続口6が設けられている。搬出口3には、例えばガイド板31及び32と、搬出ローラー(駆動ローラー)33とが設けられている。ガイド板31及び32は、シート基板の表面及び裏面を挟む位置に設けられている。ガイド板31は、ガイド板32に対して+X側に突出するように形成されている。搬出ローラー33は、ケース10内のシート基板を搬出口3へと案内する。

 案内部4は、ケース10の内部に設けられている。案内部4は、固定案内板41、第一ローラー(駆動ローラー)42、平行案内板43、第二ローラー(駆動ローラー)44、可動案内板45及び複数の折り返し機構46を有している。この折り返し機構46は、搬入口2及び搬出口3が配置された壁面10aからケース10の奥行き方向に沿って複数個配置されている。

 固定案内板41は、搬入ローラー23の直後から第一ローラー42の直前に渡って、ケース10の内壁に水平に固定された板状部材である。固定案内板41は、例えばX方向に平行に配置されている。固定案内板41のY方向の寸法は、例えばシート基板の短手方向の寸法よりも大きくなるように形成されているが、シート基板のY方向の幅の両側を支え、シート基板の幅方向の中央部は支えないような構成でも良い。また、固定案内板41を複数の案内板に分割し、この複数の案内板をX方向に沿って等間隔置きに配置する構成であっても良い。固定案内板41は、例えば搬入ローラー23によって搬入されたシート基板を-X方向に案内する。

 第一ローラー42は、固定案内板41の-X側端部の近傍に配置されている。第一ローラー42は、θY方向に回転可能となるようにケース10の内壁に固定されている。第一ローラー42は、固定案内板41によって案内されたシート基板を平行案内板43へと搬送する。

 平行案内板43は、ケース10に固定された板状部材である。平行案内板43は、+X側に配置された内側案内板43aと、-X側に配置された外側案内板43bとを有している。内側案内板43a及び外側案内板43bは、水平面に対して起立した状態、すなわち、板面がYZ平面に平行になった状態で対向して配置されている。

 内側案内板43aと外側案内板43bとは、シート基板が通過可能となるように隙間(本実施形態では、X方向の隙間)を空けて配置されている。内側案内板43a及び外側案内板43bは、それぞれ+Z側の端部が例えば第一ローラー42に向けて+X側に湾曲して形成されていると共に、それぞれ-Z側の端部が例えば第二ローラー44に向けて+X側に湾曲して形成されている。

 第二ローラー44は、ケース10内部の奥行き側(-X側)の端部であって、平行案内板43の-Z側端部の近傍に配置されている。第二ローラー44は、θY方向に回転可能に設けられている。第二ローラー44は、平行案内板43によって案内されたシート基板の表面及び裏面を挟み込んで、可動案内板45へと搬送する。第一ローラー42及び第二ローラー44には、例えば不図示の回転駆動機構が接続されている。

 可動案内板45は、第二ローラー44によって搬送されたシート基板を案内する。図2は、図1におけるA-A断面に沿った構成を示す図である。図2に示すように、ケース10の+Y側の壁部10b及び-Y側の壁部10cの内面には、それぞれ凹部11が形成されている。当該凹部11は、例えばX方向に長手となるように形成されている。凹部11には、例えばθX方向に回転可能に取り付けられた軸部12が設けられている。

 可動案内板45は、軸部12を介してケース10に取り付けられている。軸部12は、θX方向に回転可能となっている。軸部12は、不図示の回転駆動機構に接続されている。当該回転駆動機構は、例えば制御部5の制御により、軸部12の回転角度、回転速度、回転のタイミングなどを調整されるが、基本的な動作は、図2のように、可動案内板45がほぼ水平になった状態と、凹部11に収納されるほぼ垂直な状態との間で回動すれば良い。

 軸部12の回転角度を調整することにより、例えば可動案内板45は、例えばY方向に平行な状態と、Z方向に平行な状態(先端部が-Z方向を向いた状態)とに切り替えられるようになっている。可動案内板45が、例えばY方向に平行な状態においては、第二ローラー44によって搬送されたシート基板のY方向の両端部をそれぞれ支持するようになっている。また、可動案内板45が、例えばZ方向に平行な状態においては、凹部11内に収容されるようになっている。このように、可動案内板45は、シート基板の案内経路上に出し入れ可能に設けられている。

 図1に示すように、複数の折り返し機構46は、第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48を有している。折り返し機構46のそれぞれは、互いに同じ構成である。第一移動ローラー47は、例えばシート基板の-Z側に複数配置されている。複数の第一移動ローラー47は、例えばX方向に沿って所定の間隔をあけて配置されている。第二移動ローラー48は、例えばシート基板の+Z側に複数配置されている。複数の第二移動ローラー48は、例えばX方向に沿って所定の間隔をあけて配列されている。

 各第二移動ローラー48は、X方向において、それぞれ隣接する第一移動ローラー47の間に配置されている。このため、第一移動ローラー47と第二移動ローラー48とは、例えばX方向において交互に配置されている。また、例えば第一移動ローラー47と第二移動ローラー48とは、例えばXY面上で見たときに重ならないように配置されている。

 図3は、折り返し機構46の構成を示す図である。 
 図3に示すように、第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48は、それぞれ同一の構成となっており、図3に示した状態の折り返し機構46を図2に示すケース10内に下側に取り付けることによって、第1移動ローラー47が構成され、図3に示した状態の折り返し機構46を上下反転させて、図2に示すケース10の上側に取り付けることによって、第2移動ローラー48が構成される。第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48は、それぞれ固定部51、可動部52、支持部53及びローラー部54を有している。

 固定部51は、例えばケース10の内壁に固定させる一対の駆動源51aと、当該一対の駆動源51aを連結する棒状のガイドロッド51bとを有している。固定部51は、例えばガイドロッド51bがY軸に平行になるように、一対の駆動源51aが位置合わせされて固定されている。一対の駆動源51aは、例えば空圧や油圧式のピストンや、ポールネジとナットを使った構成などを用いることができる。駆動源51aは、例えば制御部5によって駆動量、駆動のタイミングなどが制御されるようになっている。

 可動部52は、ガイドロッド51bに沿って移動可能な一対のスライダ52aと、当該一対のスライダ52aの移動に伴ってZ方向に伸縮する伸縮部52bとを有している。一対のスライダ52aは、例えば一対の駆動源51aのそれぞれによって移動されるようになっている。図3に示す構成では、例えば一対のスライダ52aが左右方向の中央に移動することにより、伸縮部52bが+Z側に伸びることになる。また、一対のスライダ52aが図中左右方向の端部に移動することにより、伸縮部52bが-Z方向に縮むことになる。
 なお、折り返し機構46の伸縮部52bが最も縮んでいる状態を初期状態とする。

 支持部53は、伸縮部52bの+Z側の先端に固定されている。支持部53は、伸縮部52bの伸縮動作により、Z方向に移動可能に設けられている。支持部53には、ローラー部54が取り付けられている。ローラー部54は、例えばθY方向に回転可能に設けられている。ローラー部54は、例えばシート基板が掛けられる部分である。なお、シート基板を折り曲げるローラー部54の直径は、シート基板をU字状に折り返した時に、シート基板が塑性変形しない範囲内に設定される。例えば、厚さ50μm程度のPET(ポリエチレンテレフタラート)やPEN(ポリエチレンナフタレート)のシート基板でも、未加工の状態と、そのシートの表面にアルミ等の金属皮膜やUV硬化樹脂層等を堆積させた加工状態とでは、U字状折り返し時に許容される最小曲率半径も異なってくるので、ローラー部54の直径は保管すべきシート基板の状態(例えば、シート基板に対して処理を行う処理プロセスの内容等)を勘案して選択される。

 図1、図2では、第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48のそれぞれについて、伸縮部52bが縮んでいる状態が示されている。当該伸縮部52bが伸びた状態になることにより、図1に示すように、ローラー部54は、第一移動ローラー47については位置47Sに配置され、第二移動ローラー48については位置48Sに配置される。

 図4は、本発明の実施の形態に係る基板処理システムSYSの構成を示す図である。 
 図4に示すように、基板処理システムSYSは、シート基板FBを供給する基板供給部SU、シート基板FBの被処理面Fpに対して処理を行う基板処理装置PR、シート基板FBを回収する基板回収部CL、及び、これらの各部を制御する制御装置CONTを有している。

 本実施形態では、基板供給部SU及び基板回収部CLを兼用する装置として、上記の基板カートリッジCTRが用いられている。基板処理装置PRには、基板カートリッジCTRとの接続部CNが設けられている。基板処理装置PRの当該接続部CNは、例えば基板カートリッジCTRの被接続口6に接続される構成となっている。当該基板処理システムSYSは、例えば工場などに設置される。本実施形態では、基板カートリッジCTRの搬出口3が基板供給部SUとして機能し、搬入口2が基板回収部CLとして機能する。

 基板処理システムSYSは、基板カートリッジCTRの搬出口3からシート基板FBが送り出されてから、基板カートリッジCTRの搬入口2でシート基板FBを回収するまでの間に、シート基板FBの表面に各種処理を実行する。基板処理システムSYSは、シート基板FB上に例えば有機EL素子、液晶表示素子等の表示素子(電子デバイス)を形成する場合に用いることができる。勿論、これらの素子以外の素子を形成する場合において基板処理システムSYSを用いても構わない。

 基板カートリッジCTRは、収容部1に収容されたシート基板FBを搬出口3から基板処理装置PRへ送り出して供給する。また、基板カートリッジCTRは、基板処理装置PRからのシート基板FBを搬入口2から回収する。さらに、基板カートリッジCTRは、案内部4によって、例えば搬入口2から回収したシート基板FBの先端部を搬出口3へと案内する。

 基板処理装置PRは、基板カートリッジCTRの搬出口3から供給されるシート基板FBを当該基板カートリッジCTRの搬入口2へと搬送すると共に、搬送の過程でシート基板FBの被処理面Fpに対して処理を行う。基板処理装置PRは、例えば処理装置PA、搬送装置CV及びアライメント装置(不図示)などを有している。

 処理装置PAは、シート基板FBの被処理面Fpに対して例えばTFTや、有機EL素子を形成するための各種処理部を有している。このような処理部としては、例えば被処理面Fp上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、TFTや有機EL素子を駆動するための電極を形成するための電極形成装置、発光層を形成するための発光層形成装置などが挙げられる。より具体的には、液滴塗布装置(例えばインクジェット型塗布装置、スクリーン印刷型塗布装置など)、蒸着装置、スパッタリング装置などの成膜装置や、露光装置、現像装置、表面改質装置、洗浄装置などが挙げられる。これらの各装置は、例えばシート基板FBの搬送経路上に適宜設けられている。なお、処理装置PAとして、例えばシート基板FBの搬送方向の先端部にリーダー部を取り付けるリーダー取付部を用いても構わない。

 搬送装置CVは、基板処理装置PR内において例えばシート基板FBを搬入口2側へ搬送するローラー装置Rを有している。ローラー装置Rは、シート基板FBの搬送経路に沿って例えば複数設けられている。複数のローラー装置Rのうち少なくとも一部のローラー装置Rには、駆動機構(不図示)が取り付けられている。このようなローラー装置Rが回転することにより、シート基板FBがX軸方向に搬送されるようになっている。複数のローラー装置Rのうち例えば一部のローラー装置Rが搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられた構成であっても構わない。また、搬送装置CVは、シート基板FBの先端部にリーダーが取り付けられている場合には、当該リーダーを保持するリーダー保持部CVLを有する構成であっても構わない。

 搬送装置CVは、シート基板FBの搬入位置と搬出位置とが共に基板処理装置PRの+X側となるようにシート基板FBを搬送する。例えば、搬送装置CVは、折り返しローラーRRを有している。この折り返しローラーRRにより、搬送装置CVは、例えば基板処理装置PRの+X側端部から供給されるシート基板FBを-X側に搬送し、折り返しローラーRRによって+X側に折り返して、当該基板処理装置PRの+X側端部に戻すようにシート基板FBを搬送する。

 アライメント装置は、例えばシート基板FBの幅方向の両端部に設けられたアライメントマークを検出し、その検出結果に基づいて、処理装置PAに対するシート基板FBのアライメント動作を行う。アライメント装置は、シート基板FBに設けられたアライメントマーク検出するアライメントカメラや、当該アライメントカメラの検出結果に基づいてシート基板FBを例えばX方向、Y方向、Z方向、θX方向、θY方向及びθZ方向のうち少なくとも一方向に微調整する調整機構などを有している。

 上記のように構成された基板処理システムSYSは、制御装置CONTの制御により、有機EL素子、液晶表示素子などの表示素子(電子デバイス)を製造する。以下、上記構成の基板処理装置FPAを用いて表示素子を製造する工程を図5も参照して説明する。

 まず、基板カートリッジCTRを基板処理装置PRの接続部CNに取り付ける。基板カートリッジCTRには、シート基板FBを搬入する搬入口2と、シート基板FBを搬出する搬出口3とが図1に示すように同一の壁面10aに設けられているため、当該壁面10aの被接続口6を接続部CNに接続すれば良いことになる。即ち、接続部CNとカートリッジ側の被接続口6との機械的な連結精度で、カートリッジCTRを処理装置PRに対して簡単に且つ正確に接続することができる。
 なお、基板カートリッジCTRに収容されているシート基板FBは、図6に示すように、複数の第一ローラー42及び複数の第二ローラー44に巻き掛けられ、複数折り返された状態で収容されている。そして、後述するような方法によって、基板カートリッジCTRからのシート基板FBが搬出される。

 基板カートリッジCTRを取り付けた後、制御部5は、搬出口3からシート基板FBが送り出されるように搬出ローラー33を回転させる。制御装置CONTは、シート基板FBが搬出口3から送り出されてから搬入口2へ回収されるまでの間に、基板処理装置PRの搬送装置CVによってシート基板FBを当該基板処理装置PR内で適宜搬送させつつ、処理装置PAによって表示素子の構成要素をシート基板FB上に順次形成させる。

 一方、制御部5は、基板処理装置PRにより処理された当該シート基板FBを搬入口2の搬入ローラー23でカートリッジCTR内に引き込む。このような搬出ローラー33及び搬入ローラー23の制御により、シート基板FBの被処理面Fpを基板処理装置PRに対して連続的に搬送することができる。基板カートリッジCTRにおいては、基板処理装置PRを介したシート基板FBが搬入ローラー23を介して固定案内板41に案内される。

 固定案内板41に案内されたシート基板FBは、例えば図5に示すように、第一ローラー42、平行案内板43、第二ローラー44を介して可動案内板45に到達する。このとき、制御部5は、一対の可動案内板45を共にY方向に平行な状態にしておくと共に、第一移動ローラー47を有する折り返し機構46の伸縮部52b及び第二移動ローラー48を有する折り返し機構46の伸縮部52bを収縮させた状態(図2の状態)にしておく。すなわち、折り返し機構46の伸縮部52bを初期状態にしておく。

 すると、シート基板FBの先端部は、Y方向の両端を可動案内板45に支持された状態で+X方向へ案内される。制御部5は、搬出ローラー33を介したシート基板FBの先端部がガイド板31に支持された状態(図5の状態)になると、搬出ローラー33の駆動を停止させる。

 搬出ローラー33の駆動を停止させた後、制御部5は、搬入ローラー23を一時的に停止させ、シート基板FBの先端部を挟持する。制御部5は、第一ローラー42及び第二ローラー44の駆動を駆動軸から切り離すと共に、シート基板FBの移動によって従動的に回転可能な状態とする。その後、制御部5は、搬入ローラー23の駆動を再開させる。

 搬入ローラー23の駆動が再開されると、シート基板FBが再び搬入口2より送り込まれ、搬入ローラー23、第一ローラー42及び第二ローラー44を介して可動案内板45へと案内される。制御部5は、可動案内板45を凹部11内に収容させた後、第二ローラー44からのシート基板FBの搬送量に応じて、シート基板FBに過剰な張力を掛けないように、第一移動ローラー47(54)及び第二移動ローラー48(54)を徐々に上方或いは下方へ移動するように、折り返し機構46の伸縮部52bを延伸させる。

 この動作により、第一移動ローラー47はシート基板FBの-Z側の面から当該シート基板FBを+Z方向に徐々に押し上げていく。一方、第二移動ローラー48はシート基板FBの+Z側の面から当該シート基板FBを-Z方向に徐々に押し下げていく。この結果、図6に示すように、第一移動ローラー47を有する折り返し機構46の伸縮部52b及び第二移動ローラー48を有する折り返し機構46の伸縮部52bが共に伸びた状態となる。また、シート基板FBは、当該第一移動ローラー47の一部及び第二移動ローラー48の一部に巻き掛けられ、X方向に複数回折り返された状態で収容される。第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48が可動範囲の最大まで伸びた状態となった後、制御部5は、搬入ローラー23の駆動を停止させる。

 第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48は、X方向に位置が重ならないように配置されているため、当該第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48を移動させる過程において、シート基板FBが接触することなく当該第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48に巻き掛けられて折り返される。このため、第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48が可動範囲内の最大位置に移動した状態においても、シート基板FB同士は互いに接触していない状態(非接触状態)となる。

 この状態からシート基板FBを搬出する際には、制御部5は、搬入ローラー23の駆動を停止させたまま(シート基板FBの終端部を挟持したまま)、搬出ローラー33や第一ローラー42、第二ローラー44などを駆動させる。同時に、制御部5は、第一移動ローラー47を有する折り曲げ機構46の伸縮部52b及び第二移動ローラー48を有する折り曲げ機構46の伸縮部52bを徐々に収縮させるように駆動源51aを制御する。この場合、制御部5は、複数の折り曲げ機構46の伸縮部52bのうち、基板カートリッジCTRの奥行側から壁面10a側に向かって順に折り曲げ機構46の伸縮部52を延伸させていくことが望ましい。シート基板FBが第二ローラー44と搬出ローラー33との間でほぼ水平に張った状態になった後、制御部5は、シート基板FBの終端を搬入ローラー23から解放するとともに、可動案内板45をY方向に平行な状態とし、シート基板FBの終端を搬出ローラー33まで案内する。このようにシート基板FBを供給し、回収しつつ、基板処理装置PRにおいてシート基板FBに処理を行うようにする。

 以上のように、本実施形態によれば、シート基板FBを収容する収容部1と、当該収容部1に設けられシート基板FBを搬出する搬出口3と、収容部1に設けられシート基板FBを搬入する搬入口2と、当該搬入口2から収容部1に収容されたシート基板FBの先端部Fhを搬出口3に案内する案内部4とを備えることとしたので、基板カートリッジCTRに収容されたシート基板FBを送り出す際には、収容時におけるシート基板FBの先端部Fhが先端となるように送り出されることになる。このため、シート基板FBの先端及び最後尾をその都度管理する必要が無い。これにより、基板処理システムSYSにおいてもシート基板FBの管理上の負担が軽減することができる。

 [第二実施形態] 
 次に、本発明の第二実施形態を説明する。 
 本実施形態に係る基板カートリッジは、可動案内板45の構成が第一実施形態とは異なっているため、当該相違点を中心に説明する。他の構成については、第一実施形態と同一であるため、説明を省略あるいは簡略化する。

 図7は、本実施形態に係る基板カートリッジCTR2の構成を示す図である。図8は、図7におけるB-B断面に沿った構成を示す図である。 
 図7及び図8に示すように、本実施形態では、可動案内板45がX方向に分割され、複数の板状部材45aがX方向に互いに離れた状態で配置されている。すなわち、可動案内板45は、例えば短冊状に形成されている。各板状部材45aは、例えば個別に回転可能に設けられる構成としても構わないし、例えば複数の板状部材45aが一体的に回転可能な構成としても構わない。また、各板状部材45aの一部同士が互いに連結された形状(櫛歯状)であっても構わない。

 可動案内板45を短冊状(又は櫛歯状)に形成することにより、例えばシート基板FBの先端部Fhが第二ローラー44から搬出ローラー33に送られる間、各第一移動ローラー47のローラー部54を位置54Fに持ち上げておくことができる。当該位置54Fは、可動案内板45を構成する複数の板状部材45aの上面と各ローラー部54の外周上面とがほぼ同じ高さ(Z方向の位置)になる位置である。このため、シート基板FBの搬送案内経路を安定的に確保することができる。

 本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。 
 例えば、上記実施形態では、搬入口2が+Z側、搬出口が-Z側に配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図9Aに示すように、搬入口2が-Z側(下側)、搬出口3が+Z側(上側)に配置された構成であっても構わない。図9Aに示す構成においては、-Z側の搬入口2から搬入されたシート基板FBは、-Z側に配置された固定案内板41によって-X方向に案内された後、第一ローラー(駆動ローラ)42及び平行案内板43を介して+Z方向に案内されるようになっている。平行案内板43及び第二ローラー(駆動ローラ)44を介したシート基板FBは、例えば+Z側に配置された可動案内板45及び折り返し機構46に案内されるようになっている。

 先の実施形態では、折り返し機構46においてシート基板FBの表面側及び裏面側に配置される第一移動ローラー47及び第二移動ローラー48の両方がZ方向の逆方向に上下動する構成であったが、本実施態様では、例えば図9Aに示すように、シート基板FBの装填初期状態、即ち、シート基板FBの先端部が搬出口3に達し、搬出口3からローラー44の間でシート基板がほぼ水平に保持された状態のときにシートの上方に位置する第二移動ローラー48の方を、-Z方向に移動する構成とした。その為、第一移動ローラー47はカートリッジCTR内の上方(+Z方向)位置に転動可能に軸支されている。

 図9Aに示す構成においては、例えば第一移動ローラー47が固定されており、第二移動ローラー48のみが、カートリッジCTRの両側壁(図9Aの紙面と平行な面内の側壁)にZ方向に細長く形成された案内溝に案内されて、Z方向に移動可能な構成となっている。その為、第二移動ローラー48の各々の両端には、その案内溝に係合するように突出した軸部が、例えば図9Aに示した第一移動ローラー47と同様に形成されている。

 固定的に配置される第一移動ローラー47には、例えば図9Bに示すように、ローラー47の両端側に突出した軸部47Aの各々にリング状ベアリング47Bが転動可能に設けられ、このベアリング47Bに可動案内板45の上方両端が取り付けられている。この為、第一移動ローラー47が、θY方向に回転しても、可動案内板45は図9A中に実線で示したようなほぼ水平な状態(X方向にほぼ平行)、或いは、破線で示したほぼ垂直な状態(Z方向にほぼ平行)に切り替えられる。この切り替えはシート基板FBの搬送シーケンスに応じて、不図示の駆動機構により、複数の第一移動ローラー47の各々に軸支された可動案内板45に対して同時に、又は順次(シーケンシャル)に行なわれる。

 可動案内板45は、例えばX方向に平行(或いは、シート進行方向に若干の上り勾配を与えた斜め)に配置された状態では、隣接する第一移動ローラー47の間を埋めるように配置された状態となる。但し、案内板45の先端が、図9Aに示すように、隣接するローラー47とは接触しない程度の隙間を設けるようにしても良い。また、Z方向に平行に配置された状態では、図9Bに示すように、隣接する第一移動ローラー47の間から退避した状態となる。

 また、図9Aに示す構成では、第二移動ローラー48のZ方向への移動のタイミングを調整するスライダ部材49が設けられている。スライダ部材49は、各第二移動ローラー48の両端の軸部に係合させる支持部(爪部)と、当該軸部を案内する案内凹部溝とを有している。例えば隣接する2つの第二移動ローラー48を例に挙げて説明する。

 図10に示すように、当該スライダ部材49は、例えば隣接する2つの第二移動ローラー48の軸部48Aa及び48Abを支持する支持部(爪部)49c、49dと、当該軸部48Aa及び48Abを案内する案内凹部溝49a、49bとを有している。隣接する支持部49c及び49dは、それぞれX方向の寸法が異なっている。具体的には、支持部49cのX方向の寸法は、支持部49dのX方向の寸法よりも大きく形成されている。

 このため、図11A、図11B、図11C及び図11Dに示すように、スライダ部材49を+X方向に移動させた場合、X方向の寸法が短い方の支持部49dに支持された軸部48Abの方が先に支持状態が解消され、当該軸部48Abを有する第二移動ローラー48がシート基板FBを押し下げながら-Z方向に移動する。更にスライダ部材49を+X方向に移動させると、X方向の寸法が大きい方の支持部49cに支持された軸部48Aaの支持状態が解消され、当該軸部48Aaを有する第二移動ローラー48もシート基板FBを押し下げながら-Z方向に移動する。このように、X方向の寸法が所定量ずつ異なる支持部を有するようにスライダ部材49が形成されているため、例えばスライダ部材49を+X方向に移動させることで、X方向に配置された第二移動ローラー48の-Z方向の移動(降下)のタイミングを調整することができる。

 また、スライダ部材49によって各第二移動ローラー48の軸部を再度保持する場合には、例えば図12Aに示すように、全ての第二移動ローラー48が第一移動ローラー47のZ方向の位置とほぼ等しくなった状態において、例えばスライダ部材49全体を-Z側から+Z側へ移動させる。即ち、図9Aのように、全ての第二移動ローラー48が最も下側に位置してシート基板FBが最も長く収容(ストック)された状態から、シート基板FBが搬出口3から順次処理装置側に引き出されていく際、駆動停止状態にした第一ローラー(駆動ローラー)42や第二ローラー(駆動ローラー)44によってシート基板FBが滑ることなく圧接(ニップ)されていると、各第二移動ローラー48は、シート基板FBの搬出口3からの繰り出し量に応じて徐々に上方(+Z方向)に移動し、図12Aのような状態に至る。その後、図12Bに示すように、案内凹部溝49e及び案内凹部溝49fとそれぞれの第二移動ローラー48の軸部48Aa、48Abとの位置が合うようにスライダ部材49をX方向に移動し、軸部48Aa、48Abを案内凹部溝49e、49fにそれぞれ入れ込むようにする。スライダ部材49が全ての第二移動ローラー48の軸部を支持する状態になった後、例えば第二ローラー44及び搬出ローラー33を駆動させ、シート基板FBを搬出する。

 なお、図13A及び図13Bに示すように、スライダ部材49の一部に例えば係合エッジ部49gを設ける構成としても構わない。この場合、案内凹部溝49aのX方向の寸法L1と、案内凹部溝49bのX方向の寸法L2とが同一の寸法となるように形成しておく。この場合、図13Bに示すように、全ての第二移動ローラー48が-Z方向の最下部に移動した後、スライダ部材49をそのまま-Z方向に移動させた場合、案内凹部溝49aに係合している軸部48Aaは、その位置では案内凹部溝49hを介して自由に+Z側に移動可能である。一方、案内凹部溝49bに係合している軸部48Abは、当該係合エッジ部49gにより+Z側への移動が係止される。
 以上の実施形態では、第二移動ローラー48の自重によってシート基板FBを-Z側に押し下げる為、シート基板FBを搬出口3から引き出す際、各第二移動ローラー48の転がり摩擦が極めて小さいと仮定すると、第二移動ローラー48の自重に応じたテンションがシート基板FBに付与されることになる。よって第二移動ローラー48の重量を選定することで、処理装置に送り込むシート基板FBのテンションを適当な範囲に設定することが可能となる。

 また、上記実施形態においては、基板カートリッジCTRのケース10の同一壁面10aに搬入口2及び搬出口3を設ける構成としたが、これに限られることは無く、例えば図14に示すように、搬入口2と搬出口3とがケース10の異なる壁面に配置された構成としても構わない。

 図14に示すように、基板カートリッジCTRのケース10には、例えば壁面10a及び10dが設けられている。このうち、壁面10aには搬入口2が設けられている。壁面10dには搬出口3が設けられている。なお、図14には搬入口2が+Z側、搬出口3が-Z側に配置された構成が示されているが、これに限られることは無く、搬入口2及び搬出口3のZ方向上の位置は任意に設定することができる(+Z側、-Z側、Z方向の中央など適宜設定することが可能)。また、壁面10a及び壁面10dのそれぞれにおいて、被接続口6A及び6Dが設けられている。

 図15は、図14に示す基板カートリッジCTRを用いた基板処理システムSYSの構成を示す概略図である。 
 図15に示すように、この場合、基板処理装置PRは、+X側及び-X側の両端部において基板カートリッジCTRに接続されている。例えば、+X側の端部の接続部CNは、基板カートリッジCTRの壁面10a側の被接続口6Aに接続されている。また、-X側の端部の接続部CNは、基板カートリッジCTRの壁面10d側の被接続口6Dに接続されている。このように、基板供給部SU及び基板回収部CLとして、それぞれ別個に基板カートリッジCTRを用いることもできる。この場合、基板供給部SUに設置される基板カートリッジCTRにはシート基板を先の図6、図9Aのように保管し、基板回収部CLには空の基板カートリッジCTRを配置し、基板処理装置PRにて処理・加工されたシート基板を、基板回収部CL側の基板カートリッジCTRで回収しても良い。

 また、上記実施形態では、基板カートリッジCTRの搬入口2及び搬出口3はそれぞれ1つずつ設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、搬入口2及び搬出口3の少なくとも一方が複数設けられた構成であっても構わない。例えば図16に示す構成では、1つのケース10に複数の搬出口(例えば2つの搬出口3A及び3B)が設けられた構成となっている。また、案内部4は、搬入口2からケース10に収容されるシート基板FBから搬出口3A及び3Bまでの案内経路を切り替える経路切替機構(可動ガイド板等)40を有している。当該経路切替機構40の切り替え動作は、例えば制御部5によって制御可能とすることができる。なお、図16に示す構成では、複数の搬出口3A、3Bが設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば搬入口2が複数(2つ、又は、3つ以上)設けられた構成としても構わないし、搬出口3を3つ以上設けた構成としても構わない。また、図16に示す構成では、搬入口2と搬出口3(3A及び3B)とを別々の壁面10a、10dに配置させた例を挙げて説明したが、これに限られることは無く、同一の壁面に複数の搬入口2及び搬出口3が形成された構成としても構わない。勿論、複数の壁面(例えば壁面10a及び10dのそれぞれ)に複数の搬入口2及び搬出口3が形成された構成としても構わない。

 さらに、搬入口、搬出口は基板カートリッジCTRのケース10の天井部分に設けても良く、このようにすると、製造工場の2階に基板処理装置PR群が設置される場合に、1階に設置された基板カートリッジCTRと階上の基板処理装置PRとの間で、効率的にシート基板を搬送することができる。

 [第三実施形態] 
 次に、図17を参照して、本発明の第三実施形態を説明する。 
 本実施形態に係る基板カートリッジは、その内部でシート基板を多数回折り返す為の第一移動ローラー47と第二移動ローラー48の上下動の機構が、先の第一実施形態とは異なっているため、当該相違点を中心に説明する。他の構成については、第一実施形態と同一であるため、説明を省略あるいは簡略化する。

 先の図5~図8に示した第一実施形態において、互いに隣り合った第一移動ローラー47と第二移動ローラー48は、Z方向の移動が逆位相(相補的)になる。このことから、図17のように、互いに隣り合う第一移動ローラー47と第二移動ローラー48の対を、タイミングベルト103A,103Bの両端に吊り下げた構成とする。当該タイミングベルト103A,103Bは、例えばカートリッジ内の側壁上方に回転可能に軸支されたプーリ100A,100Bに、逆U字状に掛けられた構成とする。

 各タイミングベルト103A、103Bの端部は、ローラー47、48の両端の軸部を転動可能に支持するベアリング47B、48Bに固定される。第一移動ローラー47と第二移動ローラー48の各自重がほぼ等しいものとすると、理想状態ではプーリ100A、100Bに回転駆動力(トルク)を与えなくても、ローラー47、48の各高さ位置は、その位置を保ち続ける。

 同軸に構成される一対のプーリ100A、100Bの一方、例えばプーリ100A側には、プーリ100A、100Bと同軸に駆動プーリ102が固定され、X方向に隣り合った駆動プーリ102との間には無端ベルト104が掛け渡されている。従って、X方向の最も端にある駆動プーリ102をモーターにて駆動すると、全ての駆動プーリ102、即ち全てのプーリ100A、100Bが同じ速度で回転し、例えば、全ての第一移動ローラー47が一斉に上方に移動するときは、全ての第二移動ローラー48が一斉に下方に移動する。

 図17は先の第一実施形態の図5(又は図7)の状態(初期装填状態)を示し、シート基板FBは各第一移動ローラー47の上方であって各第二移動ローラー48の下方の空間に装填される。その状態で、モーターにより駆動される駆動プーリ102を回転させると、全ての第一移動ローラー47が一斉に上方に移動し、シート基板FBの裏面を支持しつつ最も上方の位置まで持ち上げ、同時に、全ての第二移動ローラー48が一斉に下方に移動し、シート基板FBの表面と接触しつつ最も下方の位置まで引き下げ、これにより、先の図6と同様の状態でシート基板FBがカートリッジ内に保管される。

  [第四実施形態] 
 図18は、第四実施形態に係る基板保管装置の構成を示す斜視図である。
 図18に示すように、基板保管装置STRは、帯状に形成され可撓性を有する基板Sを収容する容器CTと、基板Sが掛けられる複数の折り返し部RCとを有する。基板保管装置STRは、例えば床面FLに載置された容器CTに基板Sを収容すると共に複数の折り返し部RCに掛けた状態で保管する。

 以下、基板保管装置STRの説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。以下の図においては、XYZ直交座標系のうち床面FLをXY平面としている。XY平面のうち基板Sの短手方向をY軸方向とし、Y軸方向に直交する方向をX方向としている。また、床面FL(XY平面)に垂直な方向をZ軸方向としている。

 容器CTは、例えば外形が直方体に形成されており、6つの壁面を有している。容器CTの内部には、当該6つの壁面で囲まれた収容室RMが形成されている。容器CTは、同一の壁面CTaに2つの開口部(EN、EX)を有している。一方の開口部は、収容室RMに基板を搬入する基板搬入口ENである。他方の開口部は、収容室RMの基板を搬出する基板搬出口EXである。本実施形態では、基板搬入口ENが基板搬出口EXの-Z側に配置された構成を例に挙げて説明するが、勿論逆の配置であっても構わない。

 収容室RMのうち基板搬入口ENの近傍には、搬入ローラーRnが設けられている。搬入ローラーRnは、基板SをZ方向に挟む位置に一対設けられている。搬入ローラーRnは、基板搬入口ENから搬入される基板Sを収容室RMに引き込むように回転可能である。

 収容室RMのうち基板搬出口EXの近傍には、搬出ローラーRxが設けられている。搬出ローラーRxは、基板SをZ方向に挟む位置に一対設けられている。搬出ローラーRxは、基板搬出口EXから搬出される基板Sを収容室RMの外部に送り出すように回転可能である。

 複数の折り返し部RCは、収容室RMに設けられた複数個(ここでは15個)のローラーR1~R15のいずれかを有する。各ローラーR1~R15は、それぞれY方向に平行な軸部Raを有している。各ローラーR1~R15は、当該軸部Raが例えば容器CTの+Y側及び-Y側の壁部に回転可能に支持されている。各ローラーR1~R15の軸部Raの周りには、収容された基板Sが掛けられる円筒状の外周部Rbが設けられている。

 各ローラーR1~R15は、基板搬入口ENから基板搬出口EXまでの基板Sの搬送経路に順に配置されている。以下、ローラーR1~R15の配置について具体的に説明する。

 複数のローラーR1~R15のうち、4つのローラーR1、R3、R5及びR7は、X軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。同様に、3つのローラーR2、R4及びR6についても、X軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。当該3つのローラーR2、R4及びR6は、上記の4つのローラーR1、R3、R5及びR7よりも-Z側に配置されている。

 また、ローラーR1~R15のうち4つのローラーR9、R11、R13及びR15についても、X軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。当該4つのローラーR9、R11、R13及びR15は、上記の4つのローラーR1、R3、R5及びR7の+Z側に隣接して配置されている。

 更に、ローラーR1~R15のうち3つのローラーR10、R12及びR14についても、X軸方向に平行な直線上に並ぶように配置されている。当該3つのローラーR10、R12及びR14は、上記の4つのローラーR1、R3、R5及びR7よりも-Z側であって、上記の3つのローラーR2、R4及びR6の+Z側に隣接して配置されている。 
 このようにX方向に並んだローラーの列がZ方向に4列設けられた構成になっている。

 4列のローラーのうち、Z方向の両端に配置される2列(+Z側端部:ローラーR9、R11、R13及びR15、-Z側端部:ローラーR2、R4及びR6)のローラーについては、他の2列に比べてローラーの径が大きくなるように形成されている。

 このように、ローラーR1~R15のうち径の異なるローラーR1とローラーR15との2つがZ方向に隣り合うように並んで配置されている(但し、ローラーR1の径<ローラーR15の径。以下、単に「R1<R15」のように表記する)。また、ローラーR2及びR14(R14<R2)、ローラーR3及びR13(R3<R13)、ローラーR4及びR12(R12<R4)、ローラーR5及びR11(R5<R11)、ローラーR6及びR10(R10<R6)、ローラーR7及びR9(R9<R7)、のそれぞれについても、Z方向に隣り合うように並んで配置されている。

 基板Sは、ローラーR1~R15に順に掛けられていくことにより、基板搬入口ENから基板搬出口EXまでの搬送経路を案内されるようになっている。基板Sは、基板搬入口ENからローラーR7までの各ローラーに+X方向に順に掛けられる。具体的には、基板Sは、ローラーR1によって-Z方向に折り返される。基板SのうちローラーR1の下流側は、ローラーR2によって+Z方向に折り返される。基板SのうちローラーR2の下流側は、ローラーR3によって-Z方向に折り返される。このように、ローラーR1からローラーR7まで、基板Sは+Z方向と-Z方向とに交互に折り返される。

 ローラーR7に掛けられた基板Sは、方向転換用のローラーR8を経由してローラーR9に掛けられる。この基板Sは、ローラーR9から基板搬出口EXまでの各ローラー(R9~R15)に-X方向に順に掛けられる。具体的には、基板Sは、ローラーR9によって-Z方向に折り返される。基板SのうちローラーR9の下流側は、ローラーR10によって+Z方向に折り返される。基板SのうちローラーR10の下流側は、ローラーR11によって-Z方向に折り返される。このように、ローラーR9からローラーR15まで、基板Sは+Z方向と-Z方向とに交互に折り返され、X方向に基板Sが重なるように収容される。

 このような搬送経路で基板搬入口ENから基板搬出口EXに案内される基板Sは、基板搬入口ENにおいては第一面Saが+Z側に向けられ、第二面Sbが-Z側に向けられた状態となっている。また、基板搬出口EXにおいては第一面Saが-Z側に向けられ、第二面Sbが+Z側に向けられた状態となっている。

 本実施形態では、ローラーR6において、基板Sの第一面Sa同士が互いに向き合うように基板Sが折り返されている。なお、基板SのうちローラーR6によって当該ローラーR6の下流側に折り返された部分を第一部分S1と表記する。また、基板SのうちローラーR6によって第一部分S1とは逆方向に折り返された部分を第四部分S4と表記する。

 ローラーR7においては、第一部分S1の第二面Sb同士が互いに向き合うように当該第一部分S1が折り返されている。なお、基板SのうちローラーR7によって当該ローラーR7の下流側に折り返された部分を第二部分S2と表記する。

 ローラーR8及びローラーR9においては、この第二部分S2がローラーR6に向かうように方向転換されている。なお、基板SのうちローラーR8及びローラーR9によって方向転換された部分を第三部分S3と表記する。

 ローラーR10においては、この第三部分S3が、第四部分S4の第一面Saに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Sが例えば基板搬入口ENから基板搬出口EXへ移動する状態において第三部分S3と第四部分S4とが逆方向に移動するように、当該第三部分S3がローラーR10によって折り返されている。

 ローラーR6からローラーR10にかけて、上記のように基板Sが折り返されているため、基板SのうちローラーR1~R7に掛けられる部分と、基板SのうちローラーR9~R15に掛けられる部分とが、Z方向に重なるように配置されることになる。本実施形態においては、収容室RMのうちZ方向の端面側のローラー列よりも中央部側のローラー列の方がローラーの径が小さくなっているため、基板SのうちZ方向に重なる部分同士が接触しないようになっている。

 ローラーR1~R15に掛けられた基板SのうちローラーR1とローラーR2との間の部分は、YZ平面に平行になっている。このように、上記の4列のローラー列のうち+Z側から2列目のローラー列を構成する4つのローラーR1、R3、R5及びR7と、最も-Z側のローラー列を構成する3つのローラーR2、R4及びR6との間に配置される基板SがYZ平面に平行になるように、ローラーR1~R7のX方向の位置が調整されている。

 同様に、上記の4列のローラー列のうち最も+Z側のローラー列を構成する4つのローラーR9、R11、R13及びR15と、-Z側から2番目のローラー列を構成する3つのローラーR10、R12及びR14との間に配置される基板SがYZ平面に平行になるように、ローラーR9~R15のX方向の位置が調整されている。

 なお、上記説明では、基板Sが基板搬入口ENから基板搬出口EXに向けて収容室RMを移動する場合を例に挙げて説明したが、例えば基板Sが基板搬出口EXから基板搬入口ENに向けて収容室RMを移動する場合であっても、同様の説明が可能である。なお、この場合、基板Sの移動方向が上記説明とは逆になるため、基板搬出口EX側を上流側、基板搬入口EN側を下流側として説明する。

 図18に示すように、例えばローラーR10において、基板Sの第二面Sb同士が互いに向き合うように基板Sが折り返されている。なお、基板SのうちローラーR10によって当該ローラーR10の下流側に折り返された部分を第一部分T1と表記する。また、基板SのうちローラーR10によって第一部分T1とは逆方向に折り返された部分を第四部分T4と表記する。

 ローラーR9においては、第一部分T1の第一面Sa同士が互いに向き合うように当該第一部分T1が折り返されている。なお、基板SのうちローラーR9によって当該ローラーR9の下流側に折り返された部分を第二部分T2と表記する。

 ローラーR9及びローラーR8においては、この第二部分T2がローラーR10に向かうように方向転換されている。なお、基板SのうちローラーR8及びローラーR9によって方向転換された部分を第三部分T3と表記する。

 ローラーR6においては、この第三部分T3が、第四部分T4の第二面Sbに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Sが例えば基板搬出口EXから基板搬入口ENへ移動する状態において第三部分T3と第四部分T4とが逆方向に移動するように、当該第三部分T3がローラーR6によって折り返されている。

 このように、基板Sが基板搬出口EXから基板搬入口ENへ移動する場合においても、ローラーR10からローラーR6にかけて、上記のように基板Sが折り返されていることになる。このため、基板SのうちローラーR1~R7に掛けられる部分と、基板SのうちローラーR9~R15に掛けられる部分とが、Z方向に重なるように配置されることになる。

 以上のように、本実施形態によれば、基板SがX方向に重なるように波状に折り返されると共にZ方向に複数重なるように配置された状態で収容室RMに収容されるため、収容室RMの限られたスペースに対して効率良く基板Sを収容することができる。これにより、基板Sの収容能力の高い基板保管装置STRが得られる。

 [第五実施形態] 
 次に、本発明の第五実施形態を説明する。 
 図19は、本実施形態に係る基板保管装置STR2の構成を示す図である。本実施形態では、複数の折り返し部RCの構成が第四実施形態とは異なっているため、この点を中心に説明する。なお、他の構成については、第四実施形態と同一である。第四実施形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略あるいは簡略化する。なお、本実施形態では、第四実施形態と同様にXYZ直交座標系を用いて説明する。 
 図19に示すように、基板保管装置STR2は、基板SがZ方向に三重に配置されるように複数の折り返し部RCが構成されている。折り返し部RCは、複数個のローラーR21~ローラーR44のいずれかを有している。

 ローラーR21~R44のうち、収容室RMのZ方向中央部に対して-Z側には11個のローラーが配置されている。このうち、4つのローラーR21、R23、R25及びR27と、4つのローラーR29、R31、R33及びR35と、3つのローラーR37、R39及びR41とがそれぞれX方向に一列ずつ並んでいる。

 また、ローラーR21~R44のうち、収容室RMのZ方向中央部に対して+Z側には13個のローラーが配置されている。このうち、3つのローラーR22、R24及びR26と、4つのローラーR28、R30、R32及びR34と、4つのローラーR36、R38、R40及びR42と、がそれぞれX方向に一列ずつ並んでいる。また、容器CTの+Z側の内壁に沿ってローラーR43及びR44が設けられている。

 このように、本実施形態では、X方向に並んだローラーの列がZ方向に6列設けられた構成になっている。この6列のローラー列は、収容室RMのZ方向中央部から+Z側に3列、-Z側に3列設けられている。収容室RMのうちZ方向の端部側のローラー列から中央部側のローラー列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっている。

 基板Sは、基板搬入口ENから搬入ローラーRnを介して収容室RMに搬入された後、ローラーR21によって+Z方向に折り返される。基板SのうちローラーR21の下流側は、ローラーR22によって-Z方向に折り返される。当該基板Sは、ローラーR23~R27において、同様に交互に+Z方向及び-Z方向に折り返される。

 基板SのうちローラーR27の下流側は、方向転換用のローラーR28によって折り返され、方向が転換される。基板SのうちローラーR28の下流側は、ローラーR29~R34において+Z方向及び-Z方向に交互に折り返され、方向転換用のローラーR35によって折り返され、再度方向が転換される。

 基板SのうちローラーR35の下流側は、ローラーR36~R41において+Z方向及び-Z方向に交互に折り返され、方向転換用のローラーR42及びR43によって折り返され、方向が転換される。このように、基板Sは、X方向において重なった状態で配置されることになる。また、基板SのうちローラーR43の下流側は、基板搬出口EXへ向けられ、ローラーR44に掛けられた後、搬出ローラーRxを介して基板搬出口EXから搬出される。

 ローラーR21~R42に掛けられる基板Sのうち、例えばローラーR21とローラーR22との間の部分は、YZ平面に平行になっている。このように、基板Sのうち収容室RMのZ方向の中央部を跨いで掛けられる部分がYZ平面に平行になるように、ローラーR21~R42のX方向の位置が調整されている。

 本実施形態では、ローラーR26において、基板Sの第二面Sb同士が互いに向き合うように基板Sが折り返されている。なお、基板SのうちローラーR26によって当該ローラーR26の下流側に折り返された部分を第一部分S21と表記する。また、基板SのうちローラーR26によって第一部分S21とは逆方向に折り返された部分を第四部分S24と表記する。

 ローラーR27においては、第一部分S21の第一面Sa同士が互いに向き合うように当該第一部分S21が折り返されている。なお、基板SのうちローラーR27によって当該ローラーR27の下流側に折り返された部分を第二部分S22と表記する。

 ローラーR28及びローラーR29においては、この第二部分S22がローラーR26に向かうように方向転換されている。なお、基板SのうちローラーR28及びローラーR29によって方向転換された部分を第三部分S23と表記する。

 ローラーR30においては、この第三部分S23が、第四部分S24の第一面Saに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Sが例えば基板搬入口ENから基板搬出口EXへ移動する状態において第三部分S23と第四部分S24とが逆方向に移動するように、当該第三部分S23がローラーR30によって折り返されている。

 ローラーR26からローラーR30にかけて、上記のように基板Sが折り返されているため、基板SのうちローラーR21~R27に掛けられる部分と、基板SのうちローラーR29~R35に掛けられる部分とが、Z方向に重なるように配置されることになる。

 また、ローラーR33において、基板Sの第二面Sb同士が互いに向き合うように基板Sが折り返されている。なお、基板SのうちローラーR33によって当該ローラーR33の下流側に折り返された部分を第一部分T21と表記する。また、基板SのうちローラーR33によって第一部分T21とは逆方向に折り返された部分を第四部分T24と表記する。

 ローラーR34においては、第一部分T21の第一面Sa同士が互いに向き合うように当該第一部分T21が折り返されている。なお、基板SのうちローラーR34によって当該ローラーR34の下流側に折り返された部分を第二部分T22と表記する。

 ローラーR35及びローラーR36おいては、この第二部分T22がローラーR33に向かうように方向転換されている。なお、基板SのうちローラーR35及びローラーR36によって方向転換された部分を第三部分T23と表記する。

 ローラーR37においては、この第三部分T23が、第四部分T24の第一面Saに沿うように折り返されている。同時に、例えば基板Sが例えば基板搬入口ENから基板搬出口EXへ移動する状態において第三部分T23と第四部分T24とが逆方向に移動するように、当該第三部分T23がローラーR37によって折り返されている。

 ローラーR33からローラーR37にかけて、上記のように基板Sが折り返されているため、基板SのうちローラーR29~R35に掛けられる部分と、基板SのうちローラーR36~R42に掛けられる部分とが、Z方向に重なるように配置されることになる。

 本実施形態においては、収容室RMのうちZ方向の端面側のローラー列から中央部側のローラー列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっているため、基板SのうちZ方向に重なる部分同士が接触しないようになっている。
 尚、径の小さいローラーの直径の決め方は、前述した第一実施形態で説明した通りである。

 以上のように、本実施形態によれば、基板SがX方向に重なるように波状に折り返されると共にZ方向に三重となるように配置された状態で収容室RMに収容されるため、収容室RMの限られたスペースに対して効率良く基板Sを収容することができる。これにより、基板Sの収容能力の高い基板保管装置STR2が得られる。

 [第六実施形態] 
 次に、本発明の第六実施形態を説明する。 
 図20は、本実施形態に係る基板保管装置STR3の構成を示す図である。本実施形態においては、基板搬入口ENと基板搬出口EXとが容器CTのうち異なる面に設けられている点で、上記第五実施形態とは異なっている。また、これに伴い、折り返し部RCの構成が第五実施形態とは異なっている。他の構成については、第五実施形態と同一である。なお、本実施形態では、上記実施形態と同様にXYZ直交座標系を用いて説明する。

 図20に示すように、基板搬入口ENは、容器CTのうち-X側の壁部CTaに設けられている。これに対して、基板搬出口EXは、容器CTのうち+X側の壁部CTbに設けられている。このように基板搬入口EN及び基板搬出口EXが、容器CTのうちX方向上の異なる壁部に設けられている。

 ローラーR21~R42の配置は第五実施形態と同一である。したがって、基板Sの第一部分S21~第四部分S24、第一部分T21~第四部分T24の位置関係についても、第五実施形態と同一である。本実施形態では、第五実施形態におけるローラーR43及びR44が設けられておらず、その分、収容室RMのスペースを小さくすることができるようになっている。

 また、ローラーR43における基板Sの折り返しが無いため、基板搬入口ENから搬入される基板Sの第一面Sa及び第二面Sbの位置関係と、基板搬出口EXから搬出される基板Sの第一面Sa及び第二面Sbの位置関係とを同一とすることができる。具体的には、基板搬入口ENにおいても基板搬出口EXにおいても、基板Sの第一面Saが+Z側に向けられ、第二面Sbが-Z側に向けられることになる。

 本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。 
 例えば、上記第五実施形態及び第六実施形態では、基板Sのうち収容室RMのZ方向の中央部を跨いで掛けられる部分がYZ平面に平行になるように、ローラーR21~R42のX方向の位置が調整された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。

 収容室RMのうちZ方向の端部側から中央部側に向かって、X方向に配置されるローラーR36、R38、R40、R42の径、X方向に配置されるローラーR28、R30、R32、R34の径、X方向に配置されるローラーR22、R24,R26の径が段階的に小さくなり、また、収容室RMの中央部側から床方向に向かって、X方向に配置されるローラーR37、R39、R41の径、X方向に配置されるローラーR35、R33、R31、R29の径、X方向に配置されるローラーR21、R23、R25、R27の径が段階的に大きくなる構成であれば、例えば図21に示すように、基板Sのうち収容室RMのZ方向の中央部を跨いで掛けられる部分がYZ平面に対して傾くようにローラーR21~R42が配置されている構成であっても構わない。この場合、上記第五実施形態及び第六実施形態に比べて、ローラーのX方向の距離が小さくなる。このため、容器CTをX方向にコンパクトにすることができる。
 なお、図21において、最小径のローラーR24、R37の直径の制限については、前述した第一実施形態で説明した通りである。また、図20における最小径の複数の各ローラーの直径の制限についても同様である。

 なお、図21においては、ローラーR23、R33及びR37と、ローラーR24、R32及びR38との間の基板Sを代表させて説明しているが、他の部分においても同様の説明が可能である。また、第四実施形態においても、収容室RMのうちZ方向の端部側のローラーR36、R38、R40、R42の列から中央部側のローラーR22、R24,R26の列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっているため、同様の説明が可能である。

 また、上記実施形態の各構成においては、基板搬入口ENから基板Sを搬入させた後、基板Sが各ローラーR21~R42に掛けられるように当該基板Sを案内するガイド部が収容室RMに適宜設けられる構成としても構わない。これにより、基板Sを確実に各ローラーR21~R42に掛けることができる。

 また、上記実施形態の変形例として、例えば図22に示すようなローラーの配置することも可能である。複数のローラーのうちZ方向に隣接する3つのローラーR43、R28、R42、3つのローラーR27、R29、R41、3つのローラーR26、R30、R40、3つのローラーR25、R31、R39、3つのローラーR24、R32、R38、3つのローラーR23、R33、R37、3つのローラーR22、R34、R36のそれぞれについてY方向に伸びた軸Ra(図18)の両端を連結部材210(この連結部材210は、Z方向に移動可能)によって連結する。すなわち、3つのローラーR43、R28、R42は連結部材210aに取り付けられ、3つのローラーR27、R29、R41は連結部材210bに取り付けられ、3つのローラーR26、R30、R40は連結部材210cに取り付けられ、3つのローラーR25、R31、R39は連結部材210dに取り付けられ、3つのローラーR24、R32、R38は連結部材210eに取り付けられ、3つのローラーR23、R33、R37は連結部材210fに取り付けられ、3つのローラーR22、R34、R36は連結部材20gに取り付けられる。そして、各3つのローラーのうち2つがX方向に並ぶように、かつ、残り1つのローラーが+Z側及び-Z側に交互にはみ出すように、連結部材210a~210gを配置させておく。すなわち、ローラーR42、R29、R40、R31、R38、R33、R36がX方向に並んで配置され、ローラーR28、R27、R30、R25、R32、R23、R34がX方向に並んで配置される。また、ローラーR41、R39、R37が+Z側にはみ出し、ローラーR43、R26、R24、R22が-Z側にはみ出している。X方向に並んだ2列のローラーのうち、ローラーR28、R27、R30、R25、R32、R23、R34の列の+X側には、固定ローラー220Aを配置し、ローラーR42、R29、R40、R31、R38、R33、R36の列の-X側には、固定ローラー220Bを配置させておく。

 この状態で、図22に示すように、まず搬入ローラーRnから基板Sを+X方向に直線状に搬送し、ローラーR34とローラーR22との間、ローラーR32とローラーR24との間、ローラーR30とローラーR26との間、ローラーR28とローラー43との間を抜けるように+X側の固定ローラー220Aまで到達させ、当該固定ローラー220Aで-X方向に折り返させる。次に、ローラーR28とローラー42との間、ローラーR29とローラーR27との間、ローラーR40とローラーR30との間、ローラーR31とローラーR25との間、ローラーR38とローラーR32との間、ローラーR33とローラーR32との間、ローラーR36とローラーR34との間を抜けるように-X側の固定ローラー220Bまで到達させ、当該固定ローラー220Bで+X方向に折り返させる。その後、ローラーR37とローラーR33との間、ローラーR39とローラーR31との間、ローラーR41とローラーR29との間を抜けるように搬出ローラーRxに到達させる。

 次に、図23に示すように、連結部材210a、210c、210e、210gを+Z側に移動させ、連結部材210b、210d、210fを-Z側に移動させる。この動作により、各ローラーに基板Sが掛けられた状態となる。この構成により、短時間で基板Sを各ローラーに掛けることができる。

 また、上記実施形態においては、各ローラーの構成について、軸部Ra及び外周部Rbを有する構成であり、外周部Rbが円筒状に形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。 
 例えば図24A及び図24Bに示すように、シート基板FBを折り返すための折り返し部のローラーR22として、軸部231及び複数のフランジ部232を有するディスクローラー233を備える構成であっても構わない。この場合、軸部231は複数のフランジ部232同士を連結する連結部を兼ねている。なお、図24A及び図24Bには第五実施形態及び第六実施形態のローラーR22、R32及びR36を代表させて示しているが、他のローラーであっても同様の構成とすることができる。また、第四実施形態のローラーであっても同様の構成としても構わない。

 図24Bに示すように、複数のフランジ部232は、Y方向に間隔をあけて並んで配置されている。軸部231のY方向の中央部に連結されるフランジ部232同士の間隔は、軸部231のY方向の端部に連結されるフランジ部232同士の間隔よりも広くなっている。また、軸部231のY方向の中央部に連結されるフランジ部232のY方向の寸法(厚さ)は、軸部231のY方向の端部に連結されるフランジ部232厚さよりも大きくなっている。この構成はあくまでも一例であり、例えばフランジ部232同士がY方向に等ピッチで配置されていても構わないし、フランジ部232の厚さが全て等しく形成されていても構わない。

 また、例えば図25及び図26に示すように、折り返し部の径が大きくなる箇所に対しては、軸部231及び複数のフランジ部232を有する2つのディスクローラー233を組み合わせて配置させてもよい。この構成において、図26に示すように、2つのディスクローラー233をY方向にずらし、2つのディスクローラー233のうち一方が有するフランジ部232の間に、2つのディスクローラー233のうち他方が有するフランジ部232が入り込む構成にすることができる。この場合、2つのディスクローラー233のX方向の間隔を調整することにより、折り返し部の径を所望の値に設定することができる。このためZ方向の寸法が大きくなるのを抑えることができる。

 また、シート基板FBにおいて、異なる径を有する折り返し部の全てに対して同一構成のディスクローラー233を用いることができる。更に、軸部231同士の間隔Pをフランジ部232の径よりも狭くすることもできるため、設計の幅が広がることになる。

 なお、図25においては、Z方向にディスクローラー233の組が3組隣接する構成を例に挙げているが、これに限られることは無く、例えばZ方向にディスクローラー233が2組隣接する構成や4組以上隣接する構成であっても同様の説明が可能である。なお、図25に示す構成では、Z方向に隣接するディスクローラー233の間隔が等しくなっているが、異なる間隔としても構わない。
 この場合においても、フランジ部232の最小径は、シート基板FBをU字状に折り返しても塑性変形しない範囲内に設定される。

 なお、図24A、図24B、図25及び図26に示すディスクローラー233については軸部231とフランジ部232とが固定された構成であっても構わないし、軸部231とフランジ部232とが独立して回転可能とされた構成であっても構わない。

 また、図27及び図28に示すように、流体パッド240を用いてエアターンバーとした構成であっても構わない。図28は、図27におけるA-A断面に沿った構成を示す図である。図27及び図28に示す構成においては、基板SのY方向の両端部を支持する位置に一対のローラー244が設けられている。ローラー244は、円筒状に形成された外周面244aを有している。一対のローラー244は、シャフト242を介して側壁245に回転可能に支持されている。

 一対のローラー244の間には、複数の流体パッド240が設けられている。複数の流体パッド240は、例えばY方向に間隔を空けて配置されている。流体パッド240は、軸受241を介してシャフト242に支持されている。流体パッド240は、円弧状に形成されたパッド面240aを有している。パッド面240aの径は、ローラー244の外周面244aの径に対応するように設定されている。パッド面240a及び外周面244aは、位置関係が固定された状態になっている。流体パッド240は、側壁245に固定された係止ピン246により、シャフト242回りにはほとんど回転しないように構成されている。

 流体パッド240のパッド面240aには、溝部240bが形成されている。溝部240bは、流体パッド240の内部に設けられた流路247及び当該流路247に接続されたチューブ249を介して気体供給部248に接続されている。気体供給部248は、圧搾気体を供給可能である。気体供給部248からの気体は、流路247を介して溝部240bに供給され、パッド面240a上に噴出されるようになっている。

 図27に示す構成においては、基板SのY方向の両端部は、ローラー244の外周面244aに摩擦接触して支持されるようになっている。この状態でローラー244が回転すると、外周面244aを介してローラー244の回転が基板Sに伝達され、基板Sが移動するようになっている。基板Sがローラー244に掛けられた状態で気体供給部248から気体が供給されると、基板Sの被支持面とパッド面240aとの間に流体層250が形成されることになる。なお、上記の流体パッド240のパッド面240aを規定する径は、ローラー244の径とほぼ同じであるが、流体層250の厚み(数μm~数十μm)を考慮して僅かに小さくしても構わない。

 流体パッド240によって形成される流体層250の周方向(シャフト242の回転方向)の長さは基板Sと摩擦接触するローラー244の周方向の長さと同程度になるように設定される。図27に示す例では、ほぼ180度となるように設定されている。

 なお、ローラー244としては、基板Sに所望のテンションを与えた状態で基板Sを移動する際に、基板Sとの摩擦接触により自由回転する従動ローラーとしての構成であっても構わないし、シャフト242に不図示のモータ等の駆動機構が接続された駆動ローラーとしての構成であっても構わない。

 また、例えば図29に示すように、上記の流体パッド240及びローラー244の構成をX方向に複数配置させて、シート基板FBの折り返し部の径を調整する構成としても構わない。このような構成の場合、流体パッド240のパッド面240aのうち周方向の全領域が基板Sに対向するのではなく、図29に示すように周方向において特定の四分の一の領域のみが基板Sに対向することになる。このため、パッド面240aには予め当該四分の一の領域のみに溝部240bを形成しておくようにする。これにより、流体層250の周方向の範囲を調整することができる。

 また、例えば図30に示すように、エアベアリング機構260を用いる構成であっても構わない。このエアベアリング機構260は、一対のガイド部材261と、当該一対のガイド部材261を保持する保持部材262と、ガイド部材261にエアを供給するエア供給部263とを有している。

 ガイド部材261は、例えばセラミックス製の多孔質部材などによって形成されている。ガイド部材261の表面(ガイド面)261は、円筒面の一部(90°程度)として形成されている。ガイド面261aからは、例えばエア供給部263からのエアが噴出するようになっている。保持部材262は、一対のガイド部材261を保持する。保持部材262には、+X側及び-X側にガイド面261aを向けた一対のガイド部材261がX方向に間隔を開けた状態で保持されている。

 図31は、折り返し部に、上記エアベアリング機構260を用いた構成を示している。図31に示すように、Z方向に隣接してエアベアリング機構260が用いられているが、折り返し部ごとに保持部材262のX方向の寸法が異なっている。具体的には、最も+Z側に配置されるエアベアリング機構260の保持部材262AのX方向の寸法が最も大きく、当該保持部材262Aに対して-Z側の保持部材262B、保持部材262C及び保持部材262Dは、この順に徐々にX方向の寸法が小さくなるように形成されている。

 このように、保持部材262の寸法を調整することにより、折り返し部における径を変化させることができる。また、ローラーを用いる場合に比べて、Z方向の寸法が略半分で住むため、コンパクトな構成とすることができる。このため、Z方向に折り返し部を多数設けることができるし、容器のZ方向の寸法を小さくすることもできる。

 また、上記実施形態では、折り返し部としてローラーを用いる場合、Y方向におけるローラーの径を一定にする構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図32Aに示すように、外周部RbのY方向の端部から中央部に至るにつれて径が大きくなる構成であっても構わない。また、図32Bに示すように、外周部RbのY方向の端部から中央部に至るにつれて径が小さくなる構成であっても構わない。

 また、上記実施形態では、折り返し部としてローラーを用いる構成において、収容室RMのうちZ方向の端部側のローラー列から中央部側のローラー列にかけてローラーの径が段階的に小さくなっている構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図33に示すように、全てのローラーの径を同一とする構成であっても構わない。

 この場合、Z方向に隣接するローラー組同士のX方向におけるピッチL3を、上記実施形態における当該ピッチに比べて大きくすれば良い。また、Z方向に隣接するローラー組同士がX方向に所定距離L4をおいて配置されるようにすれば良い。このようにローラーの径が全て同一の場合であっても、本発明を適用することができる。

 CTR…基板カートリッジ FB…シート基板 SYS…基板処理システム PR…基板処理装置 CONT…制御装置 CN…接続部 Fh…先端部 1…収容部 2…搬入口 3、3A、3B…搬出口 4…案内部 5…制御部 S…基板 Sa…第一面 Sb…第二面 S1、S21、T1、T21…第一部分 S2、S22、T2、T22…第二部分 S3、S23、T3、T23…第三部分 S4、S24、T4、T24…第四部分 CT…容器 CTa、CTb…壁面 FL…床面 RM…収容室 EN…基板搬入口 EX…基板搬出口 Rn…搬入ローラー Rx…搬出ローラー 、R1~R15、R21~R44、244…ローラー Ra…軸部 Rb…外周部 231…軸部 232…フランジ部 233…ディスクローラー 240…流体パッド 240a…パッド面 240b…溝部 248…気体供給部 250…流体層 260…エアベアリング機構 261…ガイド部材 261a…ガイド面 262…保持部材 263…エア供給部 STR、STR2、STR3…基板保管装置

Claims (34)

  1.  帯状に形成された基板を収容する収容部と、
     前記収容部に設けられ、前記基板を搬出する搬出口と、
     前記収容部に設けられ、前記基板を搬入する搬入口と、
     前記搬入口から前記収容部に収容された前記基板の先端部を前記搬出口に案内する案内部と
     を備える基板カートリッジ。
  2.  前記案内部は、前記収容部内で前記基板を複数回折り返す
     請求項1に記載の基板カートリッジ。
  3.  前記案内部は、折り返された前記基板同士が非接触状態になるように、前記基板を保持する
     請求項2に記載の基板カートリッジ。
  4.  前記案内部は、
     前記基板の表面側に接触可能な複数の第一案内部材と、
     前記第一案内部材の間に配置され、前記基板の裏面側に接触可能な複数の第二案内部材と、
     前記複数の第一案内部材と、前記複数の第二案内部材とを相対的に移動させ、前記第一案内部材を前記表面側に接触させるとともに、前記第二案内部材を前記裏面側に接触させる移動機構と、を有する
     請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  5.  前記移動機構は、複数の前記第一案内部材のそれぞれの移動タイミングを調整する第一調整機構を有する
     請求項4に記載の基板カートリッジ。
  6.  前記移動機構は、複数の前記第二案内部材のそれぞれの移動タイミングを調整する第二調整機構を有する
     請求項4又は請求項5に記載の基板カートリッジ。
  7.  前記案内部は、前記基板の案内経路上に出し入れ可能な第三案内部材を有する
     請求項4から請求項6のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  8.  前記案内部は、前記基板の案内状況に応じて前記第三案内部材の出し入れを切り替える切替機構を有する
     請求項7に記載の基板カートリッジ。
  9.  前記案内部は、前記基板の案内経路に配置され、前記基板が通過可能な間隔を空けて対向配置された一対の案内板を有する
     請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  10.  前記一対の案内板は、水平面に対して起立した状態で設けられる第一案内板と、前記第一案内板に対して対向配置された前記第二案内板とを有する
     請求項9の記載の基板カートリッジ。
  11.  前記収容部は、複数の壁面を有し、
     前記搬出口及び前記搬入口は、前記複数の壁面のうち、同一の壁面に配置されている
     請求項1から請求項10のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  12.  前記収容部は、複数の壁面を有し、
     前記搬出口及び前記搬入口は、前記複数の壁面のうち異なる壁面にそれぞれ配置されている
     請求項1から請求項11のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  13.  前記搬出口及び前記搬入口のうち少なくとも一方は、前記収容部に複数設けられ、
     前記案内部は、複数の案内経路を切り替えて案内する経路切替機構を有する
     請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  14.  前記第一案内部材及び前記第二案内部材は、円筒状に形成されている
     請求項4から請求項13のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  15.  前記第一案内部材及び前記第二案内部材は、円周方向に回転可能に支持されている
     請求項4から請求項13のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジ。
  16.  請求項1から請求項15のうちいずれか一項に記載の基板カートリッジと、
     前記基板カートリッジと接続する接続部を有する基板処理装置と
     を備える基板処理システム。
  17.  前記基板カートリッジは、前記基板処理装置に接続される被接続部を有し、
     前記搬出口及び前記搬入口は、前記被接続部に設けられる
     請求項16に記載の基板処理システム。
  18.  前記被接続部は、前記基板処理装置に対向させる第一面を有し、
     前記搬出口及び前記搬入口は、前記第一面に設けられる
     請求項17に記載の基板処理システム。
  19.  前記被接続部は、前記基板処理装置に対向させる第二面を有し、
     前記搬出口及び前記搬入口のうち少なくとも一方は、前記第二面に設けられる
     請求項18に記載の基板処理システム。
  20.  前記基板処理装置は、前記基板カートリッジの前記搬入口に対して供給する基板の先端にリーダーを取り付けるリーダー取付部を有する
     請求項16から請求項19のうちいずれか一項に記載の基板処理システム。
  21.  前記基板処理装置は、前記基板カートリッジの前記搬出口から出される前記基板の先端に取り付けられるリーダーを保持するリーダー保持部を有する
     請求項20の記載の基板処理システム。
  22.  前記基板処理装置は、複数設けられ、
     複数の前記基板処理装置のそれぞれに前記基板カートリッジを搬送する搬送装置を更に備える
     請求項16から請求項21のうちいずれか一項に記載の基板処理システム。
  23.  帯状に形成され可撓性を有する基板を長手方向に複数回折り返して保持する基板保管装置であって、
     前記基板の表面同士が互いに向い合うように当該基板を折り返す第一折り返し部と、
     前記基板のうち前記第一折り返し部に対して一方の側に折り返された第一部分の裏面同士が互いに向い合うように前記第一部分を折り返す第二折り返し部と、
     前記基板のうち前記第二折り返し部によって前記第一折返し部とは反対側に折り返された第二部分を前記第一折り返し部に向けて方向転換する方向転換部と、
     前記基板のうち前記方向転換部で方向転換された第三部分の一部が前記基板のうち前記第一折り返し部によって前記第一部分とは他方の側に折り返された第四部分の表面または裏面に沿うように、前記第三部分を折り返す第三折り返し部と
     を備える基板保管装置。
  24.  前記第一折り返し部、前記第二折り返し部、前記第三折り返し部及び前記方向転換部を収容する収容部と、
     前記基板を前記収容部に搬入する搬入部と、
     前記基板を前記収容部から搬出する搬出部と、
     前記搬入部から前記第一折り返し部及び前記第三折り返し部の一方に前記基板を案内する第一案内部と、
     前記第一折り返し部及び前記第三折り返し部の他方から前記搬出部に前記基板を案内する第二案内部と
     を更に備える請求項23に記載の基板保管装置。
  25.  前記収容部は、複数の壁面を有し、
     前記搬入部及び前記搬出部は、前記複数の壁面のうち、同一の壁面に設けられている
     請求項24に記載の基板保管装置。
  26.  前記収容部は、複数の壁面を有し、
     前記搬入部及び前記搬出部は、前記複数の壁面のうちそれぞれ異なる壁面に設けられている
     請求項24に記載の基板保管装置。
  27.  前記第一折り返し部、前記第二折り返し部、前記第三折り返し部及び前記方向転換部は、それぞれ前記基板が掛けられる基板掛部を少なくとも1つ有する
     請求項23から請求項26のうちいずれか一項に記載の基板保管装置。
  28.  前記基板掛部のうち少なくとも3つは、一直線上に配置されている
     請求項23から請求項27のうちいずれか一項に記載の基板保管装置。
  29.  前記基板掛部は、円筒状に形成されている
     請求項27又は請求項28に記載の基板保管装置。
  30.  前記基板掛部は、前記一直線の一方向に沿って徐々に径が小さくなるように形成されている
     請求項29に記載の基板保管装置。
  31.  前記基板掛部は、
     中心軸が一致するように前記基板の短手方向に複数配置され、それぞれ外周面において前記基板の一部を支持するフランジ部と、
     複数の前記フランジ部同士を連結する連結部と、を有する
     請求項30に記載の基板保管装置。
  32.  前記基板掛部は、
     前記基板が掛けられる領域と前記基板との間に流体を配置可能に設けられ、前記流体を介して前記基板の少なくとも一部を支持する流体パッド
     を有する
     請求項27から請求項31のうちいずれか一項に記載の基板保管装置。
  33.  前記流体パッドは、掛けられた状態の前記基板の長手方向に分離可能に設けられており、
     前記流体パッドの分離された各部は、前記長手方向に移動可能に設けられている
     請求項32に記載の基板保管装置。
  34.  前記流体パッドは、前記基板の短手方向に複数設けられ、それぞれが前記基板の一部を支持するように配置されている
     請求項32又は請求項33に記載の基板保管装置。
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