JP2013189307A - 搬送装置及び基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に対してより効率的に乾燥処理を行うことができる搬送装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】帯状のシート基板ＦＢを搬送する搬送装置３０であって、シート基板ＦＢを案内する案内ローラーＧＲと、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲに複数回巻き付けるための巻き付け機構８０と、案内ローラーＧＲを加熱する加熱装置ＨＴとを備えることによって、シート基板ＦＢを搬送する過程でシート基板ＦＢに対して乾燥処理を行うことができる。このため、別途乾燥装置を設ける必要が無く、基板に対してより効率的に乾燥処理を行うことができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、搬送装置及び基板処理装置に関する。

ディスプレイ装置などの表示装置を構成する表示素子として、例えば液晶表示素子、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子、電子ペーパに用いられる電気泳動素子などが知られている。現在、これらの表示素子として、基板表面に薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：ＴＦＴ）と呼ばれるスイッチング素子や増幅素子を形成した後、その上にそれぞれの表示デバイスを形成する能動的表示素子（アクティブディプレーデバイス）が主流となってきている。

近年では、帯状の基板（例えばフィルム部材など）上に表示素子を形成する技術が提案されている。このような技術として、例えばロール・トゥ・ロール方式（以下、単に「ロール方式」と表記する）と呼ばれる手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。ロール方式は、基板供給側の供給用ローラーに巻かれた１枚の帯状の基板（例えば、シート状のフィルム部材）を送り出すと共に送り出された基板を基板回収側の回収用ローラーで巻き取りながら基板を搬送する。

そして、基板が送り出されてから巻き取られるまでの間に、例えば複数の搬送ローラー等を用いて基板が搬送され、複数の処理装置（ユニット）を用いてＴＦＴを構成するゲート電極、ゲート酸化膜、半導体膜、ソース・ドレイン電極等を形成し、基板の被処理面上に表示素子の構成要素を順次形成する。例えば、有機ＥＬの素子を形成する場合には、発光層、陽極、陰極、電気回路等を基板上に順次形成する。これらの形成工程の中には、膜塗布工程等が含まれており、この膜塗布工程の後に、当該基板に対して加熱処理などを施し、基板を乾燥させる必要がある場合がある。この場合、例えば乾燥機構を別途設ける必要性がある。

国際公開第２００８／１２９８１９号

しかしながら、乾燥機構を別途設ける場合、基板の搬送経路途中に、当該乾燥機構を配置しなければならず、装置全体が大型化してしまう。また、他の形成工程とは別に乾燥工程を加える必要性があるため、工程数が増えてしまう。したがって、より効率的に基板の乾燥を行う構成が求められている。

以上のような事情に鑑み、本発明は、基板に対してより効率的に乾燥処理を行うことができる搬送装置及び基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明の第一の態様に従えば、帯状のシート基板を搬送する搬送装置であって、シート基板を案内する案内ローラーと、シート基板を案内ローラーに複数回巻き付けるための巻き付け機構と、案内ローラーを加熱する加熱装置とを備える搬送装置が提供される。

本発明の第二の態様に従えば、帯状のシート基板を搬送する搬送装置と、シート基板に対して所定の処理を行う処理装置とを備え、搬送装置として、本発明の第一の態様に従う搬送装置が用いられる基板処理装置が提供される。

本発明の態様によれば、基板に対してより効率的に乾燥処理を行うことができる。

本発明の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す図。 本実施形態に係る搬送装置の構成を示す図。 本実施形態に係る搬送装置の他の構成を示す図。 本実施形態に係る搬送装置の他の構成を示す図。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の第一実施形態に係る基板処理装置ＦＰＡの構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理装置ＦＰＡは、帯状に形成されたシート基板（例えば、帯状のフィルム部材）ＦＢを供給する基板供給部ＳＵ、シート基板ＦＢの表面（被処理面）に対して処理を行う基板処理部ＰＲ、シート基板ＦＢを回収する基板回収部ＣＬ、及び、これらの各部を制御する制御部ＣＯＮＴを有している。基板処理装置ＦＰＡは、例えば製造工場の床部などに設置される。

なお、本実施形態では、図１に示すようにＸＹＺ座標系を設定し、以下では適宜このＸＹＺ座標系を用いて説明を行う。ＸＹＺ座標系は、例えば、水平面に沿ってＸ軸及びＹ軸が設定され、鉛直方向に沿って上向きにＺ軸が設定される。また、基板処理装置ＦＰＡは、全体としてＸ軸に沿って、そのマイナス側（−側）からプラス側（＋側）へシート基板ＦＢを搬送する。その際、帯状のシート基板ＦＢの幅方向（短尺方向）は、Ｙ軸方向に設定される。

基板処理装置ＦＰＡは、基板供給部ＳＵからシート基板ＦＢが送り出されてから、基板回収部ＣＬによってシート基板ＦＢが回収されるまでの間に、シート基板ＦＢの表面に各種処理を実行する装置である。基板処理装置ＦＰＡは、シート基板ＦＢ上に例えば有機ＥＬ素子、液晶表示素子等の表示素子（電子デバイス）を形成する場合に用いることができる。

基板処理装置ＦＰＡにおいて処理対象となるシート基板ＦＢとしては、例えば樹脂フィルムやステンレス鋼などの箔（フォイル）を用いることができる。例えば、樹脂フィルムは、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、エチレンビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、酢酸ビニル樹脂、などの材料を用いることができる。

シート基板ＦＢは、例えば２００℃程度の熱を受けても寸法が変わらないように熱膨張係数が小さい方が好ましい。例えば、無機フィラーを樹脂フィルムに混合して熱膨張係数を小さくすることができる。無機フィラーの例としては、酸化チタン、酸化亜鉛、アルミナ、酸化ケイ素などが挙げられる。

シート基板ＦＢのＹ方向（短尺方向）の寸法は例えば５０ｃｍ〜２ｍ程度に形成されており、Ｘ方向（長尺方向）の寸法は例えば１０ｍ以上に形成されている。勿論、この寸法は一例に過ぎず、これに限られることは無い。例えばシート基板ＦＢのＹ方向の寸法が５０ｃｍ以下であっても構わないし、２ｍ以上であっても構わない。本実施形態においては、Ｙ方向の寸法が２ｍを超えるシート基板ＦＢであっても好適に用いられる。また、シート基板ＦＢのＸ方向の寸法が１０ｍ以下であっても構わない。

シート基板ＦＢは、例えば１ｍｍ以下の厚みを有し、可撓性を有するように形成されている。ここで可撓性とは、基板に自重程度の力を加えても剪断したり破断したりすることはなく、該基板を撓めることが可能な性質をいう。また、自重程度の力によって屈曲する性質も可撓性に含まれる。また、上記可撓性は、該基板の材質、大きさ、厚さ、又は温度などの環境、等に応じて変わる。なお、シート基板ＦＢとしては、１枚の帯状の基板を用いても構わないが、複数の単位基板を接続して帯状に形成される構成としても構わない。

基板供給部ＳＵは、例えばロール状に巻かれたシート基板ＦＢを基板処理部ＰＲに向けて送り出し、シート基板ＦＢを基板処理部３内に供給する。この場合、基板供給部ＳＵには、シート基板ＦＢを巻き付ける軸部及び当該軸部を回転させる回転駆動装置などが設けられる。さらに、基板供給部ＳＵは、例えばロール状に巻かれた状態のシート基板ＦＢを覆うカバー部を備える構成であっても構わない。なお、基板供給部ＳＵは、ロール状に巻かれたシート基板ＦＢを送り出す機構に限定されず、ロール状に巻かれていない状態、例えば、折り重ねられた基板ＦＢをその長さ方向に順次送り出す機構を含むものであればよい。

基板回収部ＣＬは、基板処理部ＰＲを通過したシート基板ＦＢを例えばロール状に巻きとって回収する。基板回収部ＣＬには、基板供給部ＳＵと同様に、シート基板ＦＢを巻き付けるための軸部及び当該軸部を回転させる回転駆動装置、回収したシート基板ＦＢを覆うカバー部などが設けられている。なお、基板処理部ＰＲにおいてシート基板ＦＢがパネル状に切断される場合などには例えばシート基板ＦＢを重ねた状態で回収するなど、ロール状に巻いた状態とは異なる状態でシート基板ＦＢを回収する構成であっても構わない。

基板処理部ＰＲは、基板供給部ＳＵから供給されるシート基板ＦＢを基板回収部ＣＬへ搬送すると共に、搬送の過程でシート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに対して処理を行う。基板処理部ＰＲは、例えば処理装置１０、搬送装置３０及びアライメント装置５０を有している。

処理装置１０は、シート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに対して例えば有機ＥＬ素子を形成するための各種装置を有している。このような装置としては、例えば被処理面Ｆｐ上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、電極を形成するための電極形成装置、発光層を形成するための発光層形成装置などが挙げられる。より具体的には、液滴塗布装置（例えばインクジェット型塗布装置、スクリーン印刷型塗布装置など）、成膜装置（例えば蒸着装置、スパッタリング装置など）、露光装置、現像装置、表面改質装置、洗浄装置などが挙げられる。これらの各装置は、シート基板ＦＢの搬送経路に沿って適宜設けられる。

搬送装置３０は、基板処理部ＰＲ内にシート基板ＦＢを搬入するローラー部材Ｒ１と、処理装置１０でシート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに処理が施された後、他の処理装置又は基板回収部ＣＬ側へシート基板ＦＢを搬送するローラー部材Ｒ２とを備える。なお、図１に示したローラー部材Ｒ１、Ｒ２の他に、必要に応じて、複数のローラー部材を配置することも可能である。また、ローラー部材Ｒ１、Ｒ２又は複数のローラー部材のうち、すくなくとも一つのローラー部材には、駆動機構（不図示）を取り付けても良い。

このように駆動機構が設けられたローラー部材を回転駆動させることにより、シート基板ＦＢがＸ軸方向に搬送されるようになっている。複数のローラー部材のうち一つのローラー部材がシート基板ＦＢの表面と交差する方向に移動可能に設けられた構成であっても構わない。また、搬送装置３０は、処理装置１０の下流側において、例えばシート基板ＦＢを乾燥させる乾燥用の案内ローラーＧＲ（ＧＲ１及びＧＲ２）を有している。

アライメント装置５０は、シート基板ＦＢの位置（例えば、シート基板ＦＢの短尺方向のエッジ位置）又はシート基板ＦＢに形成されたアライメントマークを検出し、処理装置１０に対するシート基板ＦＢの位置、すなわち、アライメント動作を行う。アライメント装置５０は、シート基板ＦＢの位置又はアライメントマークを検出するアライメントカメラ５１と、当該アライメントカメラ５１の検出結果に基づいてシート基板ＦＢの位置及び姿勢の少なくとも一方を調整する調整装置５２とを有している。

アライメントカメラ５１は、例えばシート基板ＦＢに形成されたアライメントマークを検出し、検出結果を制御部ＣＯＮＴに送信する。制御部ＣＯＮＴは、当該検出結果に基づいてシート基板ＦＢの位置情報を求め、当該位置情報に基づいて調整装置５２による調整量を制御する。

調整装置５２は、シート基板ＦＢの搬送方向に関して、処理装置１０の上流側に配置されるローラー部材（図１では、ローラー部材Ｒ１）と、処理装置１０の下流側に配置されるローラー部材（図１では、ローラー部材Ｒ２）との少なくとも一方を、Ｙ方向の面内でその中心軸を傾斜させたり、Ｚ方向の面内でその中心軸を傾斜させたりすることによって、処理装置１０に対するシート基板ＦＢの位置を調整することが可能である。

図２は、搬送装置３０の構成を示す図である。
図２に示すように、搬送装置３０は、案内ローラーＧＲ、加熱装置ＨＴ及び巻き付け装置８０を有している。案内ローラーＧＲは、シート基板ＦＢの搬送方向（Ｘ方向）に互いに隣接して配置された第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２を有している。第一案内ローラーＧＲ１はシート基板ＦＢの搬送方向の上流側（−Ｘ側）に配置されており、第二案内ローラーＧＲ２は当該搬送方向の下流側（＋Ｘ側）に配置されている。

第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２は、例えば、銅、アルミ等の材質を加工して円筒形状に形成されている。なお、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２のＸ方向の長さは、ローラー部材Ｒ１、Ｒ２の長さに比べて、数倍程度長い。第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２のＸ方向の長さは、シート基板ＦＢを巻き付ける回数によって、任意に決定することができる。

当該第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２は、例えば同一径及び同一高さ（Ｘ方向の寸法）に形成されている。第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２は、例えば中心軸がＸ方向に平行となるように配置されており、不図示の駆動機構などによってθＸ方向に回転可能に設けられている。

加熱装置ＨＴは、案内ローラーＧＲの内部に設けられている。加熱装置ＨＴは、案内ローラーＧＲを加熱する。加熱装置ＨＴは、第一案内ローラーＧＲ１に設けられた第一加熱装置ＨＴ１と、第二案内ローラーＧＲ２に設けられた第二加熱装置ＨＴ２とを有している。加熱装置ＨＴは、それぞれ電熱線などの発熱機構を有している。

例えば、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２は、以下のように構成される。第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２は、その中心軸方向に貫通孔が形成されており、この貫通孔に発熱機構が配置されている。そして、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２に発熱機構が配置された後、各ローラーの軸方向両端部は、回転軸（不図示）が取り付けられた蓋部材が取り付けられる構成である。

また、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２の構成として、この構成に限らず、以下のような構成であってもよい。第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２には、シート基板ＦＢの裏面を案内する案内面が形成されている。そこで、この案内面に、複数の凹部を形成し、この凹部に、加熱装置ＨＴとして、電熱線等の発熱機構を配置してもよい。なお、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２の案内面は、電熱線等の発熱機構が配置された後、表面の凹凸が許容範囲内に収まるように、金属コーティング加工を施し、案内面の凹凸を小さくすることができる。

第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２は、例えば上記の制御部ＣＯＮＴによって加熱温度や加熱のタイミングなどを制御可能になっている。このように加熱装置ＨＴは、第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２により、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２を個別に加熱できる構成となっている。

また、第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２は、それぞれ第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２の中心軸方向に亘って複数配置してもよい。この構成の場合、第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２は、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２の中心軸方向にそれぞれ温度勾配を形成可能である。

このような第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２の構成の一例として、例えば第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２の内部にそれぞれ電熱線などが配置されている構成の場合、当該電熱線が第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２のそれぞれについてＸ方向の複数箇所に配置された構成などが挙げられる。当該構成を採用する場合、複数箇所の電熱線のそれぞれについて独立して発熱量を調整可能な構成とすれば良い。

この構成においては、第一加熱装置ＨＴ１及び第二加熱装置ＨＴ２により、それぞれ第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２は、Ｘ方向における発熱量に差がついた状態で加熱される。このため、第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２に温度勾配が形成されることになる。勿論、上記構成はあくまで一例であり、他の構成を採用しても構わない。

また、温度勾配の態様としては、例えば、第一加熱装置ＨＴ１については第一案内ローラーＧＲ１の−Ｘ側から＋Ｘ側にかけて徐々に温度が高くなるように温度勾配を形成し、第二加熱装置ＨＴ２については第二案内ローラーＧＲ２の−Ｘ側から＋Ｘ側にかけて徐々に温度が低くなるように温度勾配を形成するなどの態様が可能である。

この場合、シート基板ＦＢに対して徐々に加熱温度を高くしつつ加熱を行うことができ、加熱処理が終了する際には加熱温度を低くしてクールダウンさせることができる。このため、シート基板ＦＢに対する負担を極力抑えることができる。なお、案内ローラーＧＲに温度勾配を形成せずに、案内ローラーＧＲのＸ方向について均一の温度として加熱する態様であっても勿論構わない。

勿論、温度勾配の態様としては、上記の態様に限られることは無く、他の態様であっても構わない。例えば第一案内ローラーＧＲ１の−Ｘ側から第二案内ローラーＧＲ２の＋Ｘ側にかけて温度を徐々に高くしていく態様であっても構わないし、逆に温度を徐々に低くしていく態様であっても構わない。

巻き付け装置８０は、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲに複数回巻き付ける装置である。巻き付け装置８０は、第一案内ローラーＧＲ１に設けられた第一巻き付け装置８１と、第二案内ローラーＧＲ２に設けられた第二巻き付け装置８２とを有している。第一巻き付け装置８１及び第二巻き付け装置８２は、それぞれ第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２の位置及び姿勢のうち少なくとも一方を調整可能である。このため、第一巻き付け装置８１及び第二巻き付け装置８２は、シート基板ＦＢと第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２との間の位置関係を調整可能になっている。

例えば、第一巻き付け装置８１は、第一案内ローラーＧＲ１のＸ軸方向における中央部を中心に、半時計方向に所定角度傾斜させる。このように、第一案内ローラーＧＲ１を傾斜させるとシート基板ＦＢは、第一案内ローラーＧＲ１の一方の端部ＧＲ１Ｌに対して斜め方向から進入することになる。

そのため第一案内ローラーＧＲ１には、図２に示すように、シート基板ＦＢがＸ方向にずれた状態で螺旋状に巻き付けることができるようになっている。このように、第一巻き付け装置８１は、シート基板ＦＢが第一案内ローラーＧＲ１の回転軸方向に重ならず、かつ、それぞれの回転軸方向にずれるようにシート基板ＦＢを第一案内ローラーＧＲ１に巻き付けることができる。そして、シート基板ＦＢは、第一案内ローラーＧＲ１の他方の端部ＧＲ１Ｒから搬出され、後述する第二案内ローラーＧＲ２の他方の端部ＧＲ２Ｒに搬入される。

第二巻き付け装置８１は、第二案内ローラーＧＲ１のＸ軸方向における中央部を中心に、時計方向に所定角度傾斜させる。この傾斜角度は、第一案内ローラーＧＲ１の角度に対して、符合が反転した同角度にすることができる。このように、第二案内ローラーＧＲ１を傾斜させるとシート基板ＦＢは、第二案内ローラーＧＲ２の他方の端部ＧＲ２Ｒに対して斜め方向から進入することになる。

そのため第二案内ローラーＧＲ１には、図２に示すように、シート基板ＦＢが−Ｘ方向にずれた状態で螺旋状に巻き付けることができるようになっている。

そして、シート基板ＦＢは、第二案内ローラーＧＲ２の一方の端部ＧＲ２Ｌから搬出され、ローラー部材Ｒ２もしくは他のローラー部材Ｒ２で案内される。

このように、第二巻き付け装置８２は、シート基板ＦＢが第二案内ローラーＧＲ２の回転軸方向に重ならず、かつ、それぞれの回転軸方向にずれるようにシート基板ＦＢを第二案内ローラーＧＲ２に巻き付けることができる。

このように、第一案内ローラーＧＲ１と第二案内ローラーＧＲ２に対するシート基板ＦＢの巻き付け方向を逆にしておくことにより、第一案内ローラーＧＲ１にシート基板ＦＢが進入してきた方向と、第二案内ローラーＧＲ２から送出していく方向とを同じ方向にすることが可能になる。

なお、第二案内ローラーＧＲ２の一方の端部ＧＲ２Ｌから搬出されたシート基板ＦＢがＸ方向の面内で傾く可能性がある場合には、あらかじめローラー部材Ｒ２（他のローラー部材）の位置又は姿勢を調整しておけばよい。

巻き付け装置８０の具体的な構成としては、例えばシート基板ＦＢの先端部を保持し、案内ローラーＧＲの案内面をＸ方向に螺旋状に移動可能な移動子（不図示）が設けられる構成とすることができる。この場合、当該移動子がシート基板ＦＢの一部分を保持した状態で、案内ローラーＧＲの周りを螺旋状に移動することにより、案内ローラーＧＲにシート基板ＦＢをＸ方向に螺旋状に巻き付けることができる。また、この場合、例えば移動子を案内するガイドレールなどを案内ローラーＧＲの周りに配置させておいても構わない。

上記のように構成された基板処理装置ＦＰＡは、制御部ＣＯＮＴの制御により、ロール方式によって有機ＥＬ素子、液晶表示素子などの表示素子（電子デバイス）を製造する。以下、上記構成の基板処理装置ＦＰＡを用いて表示素子を製造する工程を説明する。

まず、不図示のローラーに巻き付けられた帯状のシート基板ＦＢを基板供給部ＳＵに取り付ける。制御部ＣＯＮＴは、この状態から基板供給部ＳＵから当該シート基板ＦＢが送り出されるように、不図示のローラーを回転させる。そして、基板処理部ＰＲを通過した当該シート基板ＦＢを基板回収部ＣＬに設けられた不図示のローラーで巻き取らせる。この基板供給部ＳＵ及び基板回収部ＣＬを制御することによって、シート基板ＦＢの被処理面Ｆｐを基板処理部ＰＲに対して連続的に搬送することができる。

制御部ＣＯＮＴは、シート基板ＦＢが基板供給部ＳＵから送り出されてから基板回収部ＣＬで巻き取られるまでの間に、基板処理部ＰＲの搬送装置３０によってシート基板ＦＢを当該基板処理部ＰＲ内で適宜搬送させつつ、処理装置１０によって表示素子の構成要素をシート基板ＦＢ上に順次形成させる。シート基板ＦＢに対する処理によっては、例えば液状体を用いた処理（シート基板ＦＢの被処理面Ｆｐに膜形成処理、又はメッキ処理等）を行った後など、当該シート基板ＦＢに対して乾燥処理を行う必要があることがある。

この場合、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲにおいて適宜加熱して乾燥させることもできる。案内ローラーＧＲにシート基板ＦＢを巻き付ける際には、制御部ＣＯＮＴは、巻き付け装置８０（８１、８２）によってシート基板ＦＢと案内ローラーＧＲとの間の位置関係を調整しつつ、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲの中心軸方向にずれるように螺旋状に巻き付ける。

シート基板ＦＢを巻きつけた後、制御部ＣＯＮＴは、例えば案内ローラーＧＲのうち第一案内ローラーＧＲ１の第一加熱装置ＨＴ１及び第二案内ローラーＧＲ２の第二加熱装置ＨＴ２の温度勾配をそれぞれ調整しつつ第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２を加熱する。シート基板ＦＢは、加熱された第一案内ローラーＧＲ１及び第二案内ローラーＧＲ２の表面に接触して搬送される。このため、シート基板ＦＢが加熱され、例えばシート基板ＦＢ上に配置された液状体が気化する。このように、シート基板ＦＢを搬送しつつ、当該シート基板ＦＢに対して乾燥処理が行われることとなる。

以上のように、本実施形態によれば、シート基板ＦＢを搬送する搬送装置３０が、シート基板ＦＢを案内する案内ローラーＧＲと、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲに複数回巻き付けるための巻き付け装置８０と、案内ローラーＧＲを加熱する加熱装置ＨＴとを備えるため、シート基板ＦＢを搬送する過程で当該シート基板ＦＢに対して乾燥処理を行うことができる。このため、別途乾燥装置を設ける必要が無く、基板に対してより効率的に乾燥処理を行うことができる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態の構成に加えて、図３に示すように、案内ローラーＧＲの表面にシート基板ＦＢを位置決めするガイド部９０及びシート基板ＦＢの裏面を非接触で保持する保持機構が設けられた構成としても構わない。なお、保持機構は、差動排気を利用して、シート基板ＦＢの裏面が案内ローラーＧＲの表面に対して、所定のギャップを空けた状態で、シート基板ＦＢを案内する構成にすることができる。

この場合、シート基板ＦＢがガイド部９０に沿って位置決めされて搬送されるため、所期の搬送精度を維持することができる。また、例えば案内ローラーＧＲにおいて温度を調整しやすい位置などがあれば、当該温度を調整しやすい位置をシート基板ＦＢが通過するようにガイド部９０を配置した構成であっても構わない。これにより、効率的な乾燥処理が可能となる。

また、上記実施形態においては、案内ローラーＧＲとして第一案内ローラーＧＲ１と第二案内ローラーＧＲ２とをＸ方向に並べて配置させた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば１つの案内ローラーＧＲのみを配置した構成や、３つ以上の案内ローラーＧＲを配置した構成などであっても構わない。また、複数の案内ローラーＧＲをＸ方向に並べる構成に限られず、Ｙ方向あるいはＺ方向に並べた構成としても構わない。

また、上記実施形態においては、巻き付け装置８０がシート基板ＦＢを案内ローラーＧＲに対して１重の螺旋状に巻きつける構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば図４に示すように、複数重（例えば２重）の螺旋状に巻き付ける構成としても構わない。

また、上記実施形態においては、巻き付け装置８０がシート基板ＦＢを保持して案内ローラーＧＲの周りを螺旋状に移動することで、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲに巻き付ける構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば巻き付け装置８０が案内ローラーＧＲを移動させることでシート基板ＦＢを巻き付けるようにする構成であっても構わない。

また、上記実施形態においては、シート基板ＦＢを案内ローラーＧＲに対してＸ方向に螺旋状に巻き付けた態様を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、シート基板ＦＢ同士が重なるように案内ローラーＧＲに巻き付けるような態様であっても構わない。

ＥＬ…有機 ＦＰＡ…基板処理装置 ＦＢ…シート基板 ＣＯＮＴ…制御部 ＧＲ…案内ローラー ＧＲ１…第一案内ローラー ＧＲ２…第二案内ローラー ＨＴ…加熱装置 ＨＴ１…第一加熱装置 ＨＴ２…第二加熱装置 １０…処理装置 ３０…搬送装置 ５０…アライメント装置 ８０…巻き付け機構 ８１…第一巻き付け装置 ８２…第二巻き付け装置 ９０…ガイド部

Claims (9)

1. 帯状のシート基板を搬送する搬送装置であって、
   前記シート基板を案内する案内ローラーと、
   前記シート基板を前記案内ローラーに複数回巻き付けるための巻き付け機構と、
   前記案内ローラーを加熱する加熱装置と
   を備える搬送装置。
2. 前記巻き付け機構は、前記シート基板が前記案内ローラーの回転軸方向に重ならずに徐々にずれるように前記シート基板を前記案内ローラーに巻き付ける
   請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記巻き付け機構は、前記案内ローラーに対して、前記シート基板を位置決めするガイド部を有する
   請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記巻き付け機構は、前記シート基板に対して、前記案内ローラーの位置を調整する調整部を有する
   請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記案内ローラーは、複数設けられており、
   複数の前記案内ローラーは、前記シート基板の搬送経路に互いに隣接するように配置されている
   請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の搬送装置。
6. 前記加熱装置は、前記案内ローラーごとに独立して加熱温度を調整可能である
   請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記加熱装置は、前記案内ローラーの内部に設けられている
   請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の搬送装置。
8. 前記加熱装置は、前記案内ローラーの中心軸方向に温度勾配を形成可能である
   請求項１から請求項７のうちいずれか一項に記載の搬送装置。
9. 帯状のシート基板を搬送する搬送装置と、
   前記シート基板に対して所定の処理を行う処理装置と
   を備え、
   前記搬送装置として、請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載の搬送装置が用いられる
   基板処理装置。

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