JP5929324B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
[第一実施形態]
図1は、第一実施形態に係る基板処理装置100の構成を示す模式図である。
図1に示すように、基板処理装置100は、帯状に形成されたシート基板(例えば、帯状のフィルム部材)Sを供給する基板供給部2と、基板Sの表面(被処理面)Saに対して処理を行う基板処理部3と、基板Sを回収する基板回収部4と、これらの各部を制御する制御部CONTと、を有している。
搬送装置20は、第一案内部材21、第二案内部材22、第三案内部材23、振動付与部24及び駆動部25を有している。第一案内部材21、第二案内部材22及び第三案内部材23は、それぞれ円筒状に形成されており、各中心軸がY方向に平行となるように基板Sの搬送方向に沿って順に設けられている。基板Sは、第一案内部材21、第二案内部材22及び第三案内部材23に直接掛けられた状態で案内される。
図3に示すように、第二案内部材22の案内面22fには、微小の突起である凸部26が形成されている。当該凸部26は、案内面22fの周方向及び軸方向に複数設けられている。複数の凸部26は、例えば周方向に等しいピッチで配置されている。なお、複数の凸部26は、ランダムに配置されてもよい。基板Sは、当該複数の凸部26を介して第二案内部材22(単位ローラー部材22a〜22d)に接触している。
図9及び図10は、基板Sのうち第一案内部材21及び第二案内部材22に掛けられた部分を+Z側から見たときの状態を示す図である。図9は、単位ローラー部材22a〜22dに振動を付与しない状態を示している。図10は、単位ローラー部材22a〜22dのうち+Y側に配置される2つの単位ローラー部材22c及び22dに対して、上記第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与した状態を示している。
例えば、上記実施形態では、第二案内部材22にのみ振動付与部24が設けられた構成としたが、これに限られることは無く、例えば第一案内部材21や第三案内部材23など、案内面22fとは異なる案内面21f及び23fを有する案内部材に振動付与部24が設けられた構成としても構わない。この構成において、複数の案内面21f、22f及び23fに対して、例えば振動の種類、振動方向、振動の進行方向などが異なるように、振動を付与するようにしても構わない。
Claims (6)
- 長尺方向に所定の張力を与えた長尺のシート基板の表面と接触して、前記シート基板の搬送方向を変えるローラー部材を有する搬送装置において、
前記ローラー部材は、
前記シート基板の長尺方向と交差する幅方向に延びる中心軸の回りに回転可能であると共に、前記シート基板の幅方向を複数の部分に分けた部分毎に前記シート基板と接触する円筒面状の案内面を有する複数の単位ローラー部を備え、
前記複数の単位ローラー部の各々の案内面には、前記シート基板と接触すると共に、前記案内面に沿った周方向又は単位ローラー部の径方向に超音波振動を進行させる凸部が形成され、
前記複数の単位ローラー部の各々と前記シート基板との間の摩擦力を、前記シート基板の幅方向に異ならせるように、前記複数の単位ローラー部の各々の前記凸部に個別に前記超音波振動を付与する制御部を備える、
搬送装置。 - 前記振動は、正弦波振動を含み、
前記正弦波振動は、前記単位ローラー部の案内面によって案内される前記シート基板の搬送方向に対して逆方向に進行する
請求項1に記載の搬送装置。 - 前記凸部は、前記単位ローラー部の外周に複数設けられ、
複数の前記凸部は、前記シート基板の搬送方向に対して等しいピッチで配置されている
請求項2に記載の搬送装置。 - 前記凸部は、前記単位ローラー部の案内面のうち前記中心軸の方向の端部に配置されている
請求項3に記載の搬送装置。 - 前記複数の単位ローラー部は、それぞれ前記中心軸の方向に個別に移動可能に設けられている
請求項3に記載の搬送装置。 - 前記複数の単位ローラー部は、それぞれ前記中心軸の方向に対して個別に傾斜可能に設けられている
請求項3に記載の搬送装置。
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