JP2016172611A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】帯状の基材を傷つけることなく搬送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】1つまたは複数の搬送ロール11、12、13、14に沿わせながら所定の搬送経路で帯状の基材Wを搬送する搬送装置1であり、基材Wの搬送経路の少なくとも一部において、基材Wと搬送ロールとの間に帯状の基材保護部材Fを介在させる。
【選択図】図1
【解決手段】1つまたは複数の搬送ロール11、12、13、14に沿わせながら所定の搬送経路で帯状の基材Wを搬送する搬送装置1であり、基材Wの搬送経路の少なくとも一部において、基材Wと搬送ロールとの間に帯状の基材保護部材Fを介在させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、帯状の基材を搬送するための搬送装置に関するものである。
近年では、化学気相蒸着(Chemical Vapor Deposition、CVD)、スパッタリングなどの技術をフィルム、金属箔材などの帯状の基材(ウェブ)に適用することにより、有機薄膜太陽電池や有機ELなどの分野において薄くて軽量な製品の製造が行われている。この場合、帯状の基材は特許文献1に示すような、いわゆるウェブハンドリングにより搬送される。具体的には、巻き出しロールに巻き回された基材が当該巻き出しロールの回転により巻き出され、そして巻き取りロールに巻き取られる。これにより、巻き出しロールと巻き取りロールとの間で基材の搬送が行われる。
このようなウェブハンドリングにおいて、巻き出しロールと巻き取りロールとの間に搬送ロールが設けられ、この搬送ロールに沿わせるように基材を搬送することにより、基材の搬送経路が形成される。この搬送ロールの一部に、その搬送ロールの中心軸の方向と垂直でない方向から基材が送りこまれるように配置され、基材の進行方向を転換させる搬送ロールであるターンロールを含むことがある。
図4は、搬送ロールとして3本のターンロールが設けられた搬送経路の例である。図4内の矢印で示すように図面右側から搬送された基材Wがターンロール81、ターンロール82、ターンロール83に沿うように、この順番で搬送されることにより、ターンロール83から出て図面左側へ搬送される基材Wはターンロール81に差し掛かる基材Wに対して裏返しになっている。こうすることにより、基材Wに対して同じ側にプラズマCVD装置などの加工装置を並べた構成であっても基材Wの表面、裏面の両方に処理を行うことができる。
しかし、上記の搬送装置では、基材Wに傷を付けるおそれがあった。具体的には、搬送される基材と搬送ロールとの間に摩擦が生じ、この摩擦により基材Wの搬送ロールとの接触面に傷が付くおそれがあった。特に図4に示したターンロール81乃至83のようなターンロールは、搬送経路がずれることが無いように基本的には回転しないため、基材Wとの摩擦が大きくなっていた。
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、帯状の基材を傷つけることなく搬送することができる搬送装置を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために本発明の搬送装置は、1つまたは複数の搬送ロールに沿わせながら所定の搬送経路で帯状の基材を搬送する搬送装置であり、基材の搬送経路の少なくとも一部において、基材と前記搬送ロールとの間に帯状の基材保護部材を介在させることを特徴としている。
上記搬送装置によれば、基材と搬送ロールとの間に帯状の基材保護部材を介在させるため、基材を傷つけることなく搬送することができる。
また、前記基材保護部材が基材との間に介在される前記搬送ロールは、その搬送ロールの中心軸の方向と垂直でない方向から基材が送りこまれるように配置されて基材の進行方向を転換させる搬送ロールであるターンロールを含み、当該ターンロールは回転しないようにしても良い。
こうすることにより、特に摩擦が大きい搬送ロールであるターンロールと基材との直接的な接触を防ぐことができるため、より基材を傷つけることなく搬送することができる。
また、前記基材保護部材は始端と終端が連結されたループ形状を有するようにしても良い。
こうすることにより、基材の付け外しのタイミングに関係無く、連続して基材保護部材を使用し続けることができる。
また、前記基材保護部材が基材との間に介在される前記ターンロールは、直線方向に移動する機構を有し、前記基材保護部材の搬送経路には基材は沿わない前記ターンロールが設けられ、基材が沿わない前記ターンロールも直線方向に移動する機構を有するようにしても良い。
こうすることにより、基材の搬送位置の調整をしながらも基材保護部材の位置を維持することができる。
また、基材と前記搬送ロールとの間に前記基材保護部材を介在させる搬送経路の少なくとも一部は、減圧環境となっていても良い。
このような減圧環境下にも影響を受けることなく、基材保護部材によって基材を傷つけることなく搬送させることができる。
また、前記基材保護部材が基材との間に介在される前記搬送ロールの少なくとも一部は潤滑にされていると良い。
こうすることにより、基材の搬送を滑らかにすることができ、また、潤滑剤で基材が汚れることを防ぐことができる。
本発明の搬送装置によれば、帯状の基材を傷つけることなく搬送することができる。
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
図1は、本発明の一実施形態における搬送装置の概略図である。
搬送装置1は、図示しない巻き出しロールから巻き出され、図示しない巻き取りロールにより巻き取られる帯状の基材W(ウェブ)を所定の搬送経路に沿って搬送させる、すなわちウェブハンドリングを行うためのものである。なお、基材Wは、薄板の長尺体であり、たとえば、厚み0.01mm〜0.2mm、幅5mm〜50mmの平板形状を有する長尺体が適用される。また、材質として、特に限定しないが、ステンレス、銅等、樹脂フィルムが好適に用いられる。
この搬送装置1は、ターンロール11、ターンロール12、ターンロール13、およびターンロール14を備えており、基材Wはターンロール11に沿って搬送される。なお、本説明では、ターンロール11、ターンロール12、ターンロール13、およびターンロール14をまとめて搬送ロールとも呼ぶ。
また、搬送装置1は、帯状の基材保護部材Fをさらに備えており、この基材保護部材Fがターンロール11、ターンロール12、ターンロール13およびターンロール14に沿うようにループを形成しており、基材Wがターンロール11を通過する際、これら搬送ロールと基材Wとの間には基材保護部材Fが介在し、搬送ロールと基材Wとが直接接触しないようにしている。
また、ターンロール12の近傍にはカメラ21およびカメラ22が設けられており、それぞれ基材W、基材保護部材Fを撮像する。この撮像した画像をもとに、図示しない制御装置が基材W、基材保護部材Fの位置を随時認識できるようになっている。
基材保護部材Fは、基材Wの搬送経路の一部で搬送ロールと基材Wとの間に介在し、搬送ロールと基材Wとの接触を防ぐ帯状の部材である。この基材保護部材Fは、基材Wの搬送をより円滑にするために基材Wと同一の硬さもしくは基材Wより軟質な部材であることが好ましく、本実施形態では、樹脂フィルムもしくは樹脂ベルトが用いられている。
また、本実施形態では基材保護部材Fの始端と終端とは連結しており、ループした形状を有している。
また、基材保護部材Fの幅は基材Wの幅よりも大きく、具体的には基材Wの幅の2倍以上の幅であることが望ましい。これにより、少々基材Wの搬送位置がずれても、基材Wと搬送ロールとの間に基材保護部材Fが介在する状態を維持することができる。
ターンロール11は、略円筒形状を有する金属もしくは樹脂などからなる部材である。このターンロール11に対して基材Wおよび基材保護部材Fはターンロール11の中心軸の方向と垂直でない方向から送りこまれ、ターンロール11の円筒面に沿うように搬送される。これにより、ターンロール11に差し掛かる基材Wおよび基材保護部材Fの進行方向と、進行方向が転換されてターンロール11から出る基材Wおよび基材保護部材Fの進行方向とがねじれの位置関係になるようにすることができる。このターンロール11のような搬送ロールが搬送装置1に組み込まれることにより、基材Wの表面の向きを自在に調節することができ、また、基材Wを三次元的に搬送することもできる。
ここで、ターンロール11は自身の中心軸を回転の中心とするような回転運動はしない構成となっている。仮にターンロール11と接触している部材(ここでは基材保護部材F)とターンロール11との間に少しでも摩擦力が生じている場合にターンロール11が回転してしまうと、この回転につられてターンロール11と接触している部材の位置がずれてしまう。これを防ぐために、本実施形態ではターンロール11は回転運動はしない構成となっている。そのため、仮に基材保護部材Fが無かった場合には、基材Wがターンロール11に沿って通過する際に基材Wとターンロール11との間に大きな摩擦力が生じ、基材Wが傷付くおそれがある。
また、ターンロール11は図示しない直動機構を有し、直線方向(本実施形態ではY軸方向)に移動することができる。ここで、仮にターンロール11が直線方向に動かない構成であった場合、搬送装置1より上流の搬送過程において基材Wの搬送位置ずれが生じてターンロール11に送りこまれる基材WのX軸方向の位置にずれが生じた際に、ターンロール11から出る基材WにおいてY軸方向の位置ずれが生じる。これに対し、ターンロール11のX軸方向の位置を調整することにより、仮にターンロール11に送りこまれる基材WのX軸方向の位置にずれが生じても、ターンロール11から出る基材WのY軸方向の位置を所定の位置に維持することができる。
また、本実施形態ではターンロール11の円筒面には潤滑剤が供給される構成となっている。具体的には、ターンロール11の円筒面には多数の潤滑剤供給孔が設けられ、この潤滑剤供給孔から潤滑剤が流出する構成となっている。
ターンロール12乃至14は、ターンロール11と同様に略円筒形状を有する金属もしくは樹脂などからなる部材である。このターンロール12乃至14に対して基材保護部材Fはターンロール12乃至14の中心軸の方向と垂直でない方向から送りこまれ、ターンロール12乃至14の円筒面に沿うように搬送される。これにより、ターンロール12乃至14に差し掛かる基材保護部材Fの進行方向と、進行方向が転換されてターンロール12乃至14から出る基材保護部材Fの進行方向とがねじれの位置関係になるようにすることができる。
なお、これらターンロール12乃至14は基材Wの搬送経路から外れた位置に設けられており、基材Wはターンロール12乃至14に送りこまれず、基材保護部材Fのみがターンロール12乃至14に送りこまれる。なお、図1では基材Wはターンロール12およびターンロール14の近傍を通過しているが、基材保護部材Fと異なり各ターンロールに巻かれてはいないため、ターンロール12、ターンロール14もターンロール13と同様に基材Wの搬送経路から外れたものとしている。
ここで、ターンロール12乃至14はターンロール11と同様に自身の中心軸を回転の中心とするような回転運動はしない構成となっている。
また、ターンロール13はターンロール11と同様に図示しない直動機構を有し、直線方向(本実施形態ではX軸方向)に移動することができる。これにより、基材保護部材Fの位置ずれを修正することができる。
また、ターンロール12乃至14の円筒面には潤滑剤が供給される構成となっている。具体的には、ターンロール12の円筒面には多数の潤滑剤供給孔が設けられ、この潤滑剤供給孔から潤滑剤が流出する構成となっている。これによりターンロール12と基材保護部材Fとの間の摩擦を小さくすることができる。
また、本実施形態では、ターンロール11乃至14により基材保護部材Fの搬送方向を転換させながら搬送することにより、ループした基材保護部材Fを連続して搬送することが可能な形態となっている。ここで、上記の通りターンロール11乃至14は回転しないため、ターンロール11乃至14からは基材保護部材Fに駆動力を与えない。そのため、本実施形態では基材保護部材Fは基材Wとの摩擦によって駆動力が与えられ、搬送される。これに対し、基材保護部材Fの搬送経路の途中、たとえばターンロール13とターンロール14の間に回転駆動機構に接続された図示しないロールを設け、このロールの回転により基材保護部材Fに駆動力を与えても良い。
以上の搬送装置1により、基材保護部材Fが搬送ロールと基材Wとの間に介在する部分において基材Wが搬送ロールとの接触によって傷付くことを防ぐことができる。特に摩擦が大きくなるターンロール11において基材保護部材Fが介在することにより、基材Wが傷付く可能性を格段に低くすることができる。
また、本発明の搬送装置1は、穴の開いた基材Wや多孔質の基材Wにも適用可能である。
また、このように基材保護部材Fを搬送ロールと基材Wとの間に介在させる形態は、周囲圧力の高低に関係無く適用することが可能である。たとえば、プラズマCVD法による成膜を基材Wに施す場合、プラズマ発生源および基材Wの周囲環境は高度に減圧されている必要があるが、このような減圧環境であっても基材Wを傷つけずに搬送することができる。
また、基材保護部材Fがループ状の形状を有していることにより、基材Wの付け外しのタイミングに関係無く、連続して基材保護部材Fを使用し続けることができる。
また、ターンロール11乃至14の表面に潤滑剤が供給され、ターンロール11乃至14が潤滑にされることにより、ターンロール11乃至14と基材保護部材Fとの間の摩擦をより小さくすることができる。また、ターンロール11において、基材Wとターンロール11とは直接接触しないため、基材Wが潤滑剤で汚れることもない。
次に、本実施形態の搬送装置1における基材保護部材Fの位置調整動作を図2に示す。
上記の通り、本実施形態では基材保護部材Fの幅は基材Wの幅より大きく、基材Wの搬送位置に少々ずれが生じても、基材保護部材Fが基材Wと搬送ロールとの間に介在する状態を維持することができる。
ただし、本実施形態では、基材Wの搬送位置がずれた場合には、ターンロール12の近傍の基材Wの搬送位置を所定の位置に維持して搬送装置1から出る基材Wの位置を一定にするために、ターンロール11がX軸方向に移動する。このターンロール11の移動により基材保護部材Fの搬送経路も変化するため、本実施形態ではターンロール13もX軸方向に移動することにより、少なくとも基材Wが当接する部分の基材保護部材Fの搬送位置を一定にしている。
具体的には、ターンロール12近傍における基材Wの搬送位置が図2に2点鎖線で表した位置であるのが望ましいのに対し、図2のように基材Wの位置がずれた場合、カメラ21が撮像した画像を解析することにより図示しない制御装置が基材Wの搬送位置ずれを検知し、ターンロール11を(1)の矢印の向きに移動させる。これにより、ターンロール12の近傍の基材Wの搬送位置が(2)の矢印の向きに修正され、所定の搬送位置に戻される。
このターンロール11の移動にともない、基材保護部材Fの搬送位置が(3)の矢印の向きに移動する。この搬送位置の変化をカメラ22が撮像した画像を解析することにより図示しない制御装置が検知し、ターンロール13を(4)の矢印の向きに移動させる。
図3は、ターンロール11およびターンロール13の位置調整が完了した後の搬送装置1の形態である。搬送装置1に送り込まれたWの位置にずれが生じたのに合わせて、カメラ21で撮像する基材Wの位置およびカメラ22で撮像する基材保護部材Fの位置を所定の位置に維持するようにターンロール11およびターンロール13がそれぞれ図面上2点鎖線で表した当初の位置から移動することにより、ターンロール12近傍の基材Wおよび基材保護部材Fの搬送位置を所定の位置に維持することができる。すなわち、ターンロール11に送りこまれる基材保護部材Fの搬送位置を一定にし、基材Wとターンロール11の間に介在する状態を維持することが可能である。
以上の搬送装置により、帯状の基材を傷つけることなく搬送することができる。
また、本発明の搬送装置1は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。たとえば、図1に示す搬送装置1はターンロールでのみ構成されているが、これに限らず、基材Wおよび基材保護部材Fがそれぞれの中心軸の方向と略垂直である方向から送りこまれるように配置されたロールを含んでも良い。
また、上記の説明では、ターンロール13の位置調整はカメラ22で撮像した基材保護部材Fの座標をもとに制御しているが、それに限らず、リニアエンコーダなどで読み取ったターンロール11の位置情報をもとに制御しても構わない。
1 搬送装置
11 ターンロール
12 ターンロール
13 ターンロール
14 ターンロール
21 カメラ
22 カメラ
81 ターンロール
82 ターンロール
83 ターンロール
F 基材保護部材
W 基材
11 ターンロール
12 ターンロール
13 ターンロール
14 ターンロール
21 カメラ
22 カメラ
81 ターンロール
82 ターンロール
83 ターンロール
F 基材保護部材
W 基材
Claims (6)
- 1つまたは複数の搬送ロールに沿わせながら所定の搬送経路で帯状の基材を搬送する搬送装置であり、
基材の搬送経路の少なくとも一部において、基材と前記搬送ロールとの間に帯状の基材保護部材を介在させることを特徴とする、搬送装置。 - 前記基材保護部材が基材との間に介在される前記搬送ロールは、その搬送ロールの中心軸の方向と垂直でない方向から基材が送りこまれるように配置されて基材の進行方向を転換させる搬送ロールであるターンロールを含み、当該ターンロールは回転しないことを特徴とする、請求項1に記載の搬送装置。
- 前記基材保護部材は始端と終端が連結されたループ形状を有することを特徴とする、請求項1もしくは2のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記基材保護部材が基材との間に介在される前記ターンロールは、直線方向に移動する機構を有し、前記基材保護部材の搬送経路には基材は沿わない前記ターンロールが設けられ、基材が沿わない前記ターンロールも直線方向に移動する機構を有することを特徴とする、請求項3に記載の搬送装置
- 基材と前記搬送ロールとの間に前記基材保護部材を介在させる搬送経路の少なくとも一部は、減圧環境となっていることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記基材保護部材が基材との間に介在される前記搬送ロールの少なくとも一部は潤滑にされていることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015053056A JP2016172611A (ja) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015053056A JP2016172611A (ja) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016172611A true JP2016172611A (ja) | 2016-09-29 |
Family
ID=57008727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015053056A Pending JP2016172611A (ja) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2016172611A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019031706A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-28 | 株式会社アルバック | 炭素ナノ構造体成長用のcvd装置及び炭素ナノ構造体の製造方法 |
-
2015
- 2015-03-17 JP JP2015053056A patent/JP2016172611A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019031706A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-28 | 株式会社アルバック | 炭素ナノ構造体成長用のcvd装置及び炭素ナノ構造体の製造方法 |
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