JP3100849B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP3100849B2 JP06277509A JP27750994A JP3100849B2 JP 3100849 B2 JP3100849 B2 JP 3100849B2 JP 06277509 A JP06277509 A JP 06277509A JP 27750994 A JP27750994 A JP 27750994A JP 3100849 B2 JP3100849 B2 JP 3100849B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体記憶装置に係わ
り、特に誤動作の少ない、ビット線対間の電位差を増幅
するためのセンスアンプを具備する半導体記憶装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】図14は、従来のダイナミック型RAM
のビット線対、イコライズ回路、センスアンプの回路図
である。図14に示すように、メモリセルアレイ100
内の図示せぬメモリセルに接続されたビット線BL、お
よび図示せぬ他のメモリセルに接続された、ビット線B
Lと対をなすビット線BBLが設けられている。ビット
線BL、BBLは、メモリセルとDQバス101とを互
いに接続する。DQバス101はI/Oバッファ102
に接続されている。I/Oバッファ102は、装置外部
からDQバス101へ、およびDQバス101から装置
外部へとデ−タのやりとりを行う。
【0003】ビット線BLとBBLとの間には、ビット
線BLの電位とビット線BBLの電位との間の電位差を
イコライズするためのビット線イコライズ回路103が
設けられている。イコライズ回路103は、ロウ系制御
回路104からのイコライズ信号BEQによりオン/オ
フ制御される。
【0004】さらにビット線BLとBBLとの間には、
ビット線BLの電位とビット線BBLの電位との間の電
位差を増幅するためのセンスアンプ105が設けられて
いる。センスアンプ105は、ロウ系制御回路104か
らの活性化信号SENにより活性化されるセンスアンプ
駆動回路106により駆動される。センスアンプ105
は、PMOSセンスアンプ部107とNMOSセンスア
ンプ部108とを持つ。PMOSセンスアンプ部107
には駆動信号線SAPが接続され、NMOSセンスアン
プ部108には駆動信号線BSANが接続されている。
【0005】図15は、図14に示すセンスアンプ駆動
回路106の回路図である。図15に示すように、セン
スアンプ駆動回路106には、駆動信号としてVCCレ
ベルの電位を駆動信号線SAPに供給するPMOS11
0、駆動信号としてVSSレベル(GND)の電位を駆
動信号線BSANに供給するNMOS113、プリチャ
−ジ電位としてVBL(ほぼVCC/2レベル)レベル
の電位を駆動信号線SAPに供給するNMOS111、
並びにプリチャ−ジ電位としてほぼVBLレベルの電位
を駆動信号線BSANに供給するNMOS112をそれ
ぞれ含んでいる。
【0006】ところで、従来のセンスアンプ駆動回路1
06では、駆動信号線対SAP、BSANのプリチャ−
ジは、センスアンプをイコライズするイコライズ信号B
EQを使って行われている。
【0007】しかしながら、活性化信号SENは、イコ
ライズ信号BEQより遅れて出力されるので、従来のセ
ンスアンプ駆動回路106では、図16に示すように、
駆動信号SAP、BSANの電位が不定(フロ−ティン
グ)となる時期が発生してしまう。電位が不定となる時
期にノイズなどが駆動信号線SAPあるいはBSANに
入力されると、駆動信号線の電位が“H”レベル、ある
いは“L”レベルに移ることがある。特に“L”レベル
に移りやすい。駆動信号線の電位が“H”レベル、
“L”レベルに移ると、センスアンプ105に電源が供
給されることになるので、誤動作する可能性がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記の点
に鑑みてなされたもので、その目的は、センスアンプが
誤動作する可能性を低減できる半導体記憶装置を提供す
ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の第1の態様では、第1のメモリセルに
接続された第1のビット線と、第2のメモリセルに接続
された、前記第1のビット線と対をなす第2のビット線
と、前記第1のビット線と前記第2のビット線との間に
接続された、前記第1のビット線の電位と前記第2のビ
ット線の電位との間の電位差をイコライズするためのイ
コライズ手段と、前記第1のビット線と前記第2のビッ
ト線との間に接続された、前記第1のビット線の電位と
前記第2のビット線の電位との電位差を増幅するための
増福手段と、前記増幅手段に接続された第1の駆動信号
線と、前記増幅手段に接続された、前記第1の駆動信号
線と対をなす第2の駆動信号線と、前記第1の駆動信号
線と前記第2の駆動信号線とに接続された、前記第1の
駆動信号線の電位および前記第2の駆動信号線の電位を
プリチャ−ジするためのプリチャ−ジ手段および前記第
1の駆動信号線および前記第2の駆動信号線に駆動信号
を供給する供給手段を含む、前記増幅手段を駆動する駆
動手段と、前記イコライズ手段および前記駆動手段を制
御するための制御手段とを具備する。
【0010】そして、前記制御手段が、前記イコライズ
手段と、前記駆動手段が含む前記プリチャ−ジ手段とを
互いに独立させて制御するとともに、前記駆動手段が含
む前記供給手段が前記第1の駆動信号線および前記第2
の駆動信号線に駆動信号を供給する実質的な直前まで、
前記駆動手段が含む前記プリチャ−ジ手段が前記第1の
駆動信号線の電位および前記第2の駆動信号線にプリチ
ャ−ジ電位を供給し続けることを特徴としている。
【0011】さらに、前記制御手段は、前記イコライズ
手段をオフさせるタイミングよりも、前記駆動手段が含
む前記プリチャ−ジ手段をオフさせるタイミングを遅ら
せて制御することを特徴としている。
【0012】さらに、前記制御手段は、前記イコライズ
手段を活性状態にする第1の活性化信号と、前記駆動手
段を活性状態にする第2の活性化信号とを出力し、前記
第2の活性化信号のみを用いて前記駆動手段が含む前記
プリチャ−ジ手段、並びに前記駆動手段が含む前記供給
手段を制御することを特徴としている。
【0013】さらに、前記制御手段は、第1の活性化信
号を出力した後、所定の時間経過後に前記第2の活性化
信号を出力することを特徴としている。また、この発明
の第2の態様では、前記駆動手段は、前記第2の活性化
信号から、前記供給手段を制御する第1の信号および前
記プリチャ−ジ手段を制御する第2の信号を発生させる
ための発生手段を、さらに含むことを特徴としている。
【0014】さらに、前記発生手段は、前記プリチャ−
ジ手段および前記供給手段がそれぞれ同時にオンされな
いように、前記第1の信号および前記第2の信号を互い
にずらしてあって出力することを特徴としている。
【0015】さらに、前記発生手段は、前記第2の信号
よりも遅れて前記第1の信号を出力することを特徴とし
ている。さらに、前記発生手段は、第1の遅延手段を介
して、前記第2の活性化信号を前記第1の信号に変換す
る第1の変換手段と、前記第2の活性化信号と第2の遅
延手段を介した前記遅延活性化信号とを受け、これら第
2の活性化信号と遅延活性化信号とを論理合成して、前
記第2の活性化信号を前記第2の信号に変換する第2の
変換手段とを含むことを特徴としている。
【0016】さらに、前記第1の遅延手段の遅延時間
は、前記第2の遅延手段の遅延時間より短く設定されて
いることを特徴としている。また、この発明の第3の態
様では、前記第1のビット線および前記第2のビット線
からなるビット線対からなる列を複数有し、前記列毎に
設けられた、少なくとも内部デ−タバスから供給される
デ−タを一時的に記憶しておくための記憶手段を、さら
に具備する。
【0017】そして、前記制御手段が第1の活性化信号
を出力した後、前記所定の時間が経過する間に、少なく
とも更新デ−タが入力された時、この更新デ−タを前記
記憶手段に記憶させる動作を繰り返しながらデ−タを書
き替え、このデ−タの書き替えが終了した後に、前記制
御手段が前記第2の活性化信号を出力し、前記増幅手段
が活性化する実質的な直前まで、前記第1の駆動信号線
および前記第2の駆動信号線をプリチャ−ジ電位に固定
しておくことを特徴としている。
【0018】さらに、前記デ−タの書き替えが終了した
後に、デ−タを前記記憶手段から前記増幅手段に対し
て、デ−タを一括して転送させる転送手段を、さらに具
備し、前記デ−タの一括転送後、前記増幅手段が活性化
する実質的な直前まで、前記第1の駆動信号線および前
記第2の駆動信号線をプリチャ−ジ電位に固定しておく
ことを特徴としている。
【0019】
【作用】上記の構成を有する第1〜第3の態様に係る半
導体記憶装置であると、イコライズ手段と、駆動手段が
含むプリチャ−ジ手段とが互いに独立されて制御される
ことにより、イコライズ手段のイコライズが解除された
時でも、駆動信号線対のプリチャ−ジ(イコライズ)が
解除されないようにすることができ、駆動信号線対の電
位が不定となる状態を無くすことができる。このため、
駆動信号線対の電位が不定の時に懸念される、ノイズな
どによる駆動信号線対の不慮の電位決定が防止される。
よって、増幅手段を誤動作し難くすることができる。
【0020】また、第2の態様に係る半導体記憶装置で
あると、供給手段のオンとプリチャ−ジ手段のオンとが
同じタイミングで行われないために、プリチャ−ジ電位
から電源電位に向けて流れる貫通電流を、さらに防止す
ることができる。
【0021】また、第3の態様に係る半導体記憶装置で
あると、増幅手段を活性化させる実質的な直前まで、第
1、第2の駆動信号線をそれぞれプリチャ−ジ電位VB
Lに固定するため、増幅手段を活性化させる以前に、特
に駆動信号線が低い電位に落ちてしまうことを防止でき
る。このため、増幅手段を活性化させる以前に、増幅手
段が不慮に活性化、即ち誤動作する可能性を低減でき、
このような増幅手段の誤動作に関連したデ−タの誤書き
込みなどを、さらに防止できる。
【0022】
【実施例】以下、この発明を実施例により説明する。
尚、この説明においては、全図に渡り、共通の部分には
共通の参照符号を付し、重複する説明を避けることにす
る。図1は、この発明の第1の実施例に係る半導体記憶
装置の概略的なブロック構成を示すブロック図、図2
は、図1に示すセンスアンプ駆動回路7の回路図であ
る。
【0023】図1に示すように、メモリセルアレイ1内
の図示せぬメモリセルにはビット線BLが接続され、図
示せぬ他のメモリセルにはビット線BLと対をなすビッ
ト線BBL接続されている。ビット線対BL、BBL
は、メモリセルとDQバス2とを互いに接続する。DQ
バス2はI/Oバッファ3に接続されている。I/Oバ
ッファ3は、装置外部からDQバス2へ、およびDQバ
ス2から装置外部へとデ−タのやりとりを行う。
【0024】ビット線BLとビット線BBLとの間に
は、ビット線BLの電位とビット線BBLの電位との間
の電位差をイコライズするためのビット線イコライズ回
路4が設けられている。イコライズ回路4は、ロウ系制
御回路5からのイコライズ信号BEQによりオン/オフ
制御される。
【0025】さらにビット線BLとビット線BBLとの
間には、ビット線BLの電位とビット線BBLの電位と
の間の電位差を増幅するためのセンスアンプ6が設けら
れている。センスアンプ6は、ロウ系制御回路5からの
活性化信号SENにより活性化されるセンスアンプ駆動
回路7により駆動される。
【0026】尚、ロウ系制御回路5は、ロウアドレスス
トロ−ブ信号BRASを受けた後、イコライズ信号BE
Qを出力する。活性化信号SENは、イコライズ信号B
EQが出力された後、遅れて出力される。
【0027】センスアンプ6は、PMOSセンスアンプ
部8とNMOSセンスアンプ部9とを持つ。PMOSセ
ンスアンプ部8には駆動信号線SAPが接続され、NM
OSセンスアンプ部9には駆動信号線BSANが接続さ
れている。
【0028】図1に示すDRAMが持つセンスアンプ駆
動回路7は、図2に示す回路により構成されている。図
2に示すように、センスアンプ駆動回路7には、駆動信
号としてVCCレベルの電位を駆動信号線SAPに供給
するPMOS10、駆動信号としてVSSレベル(GN
D)の電位を駆動信号線BSANに供給するNMOS1
3、プリチャ−ジ電位としてVBL(ほぼVCC/2レ
ベル)レベルの電位を駆動信号線SAPに供給するNM
OS11、並びにプリチャ−ジ電位としてほぼVBLレ
ベルの電位を駆動信号線BSANに供給するNMOS1
2をそれぞれ含んでいる。ここで、PMOS10および
NMOS13はセンスアンプドライバ部14を構成し、
NMOS11およびNMOS12はセンスアンププリチ
ャ−ジャ部15を構成している。
【0029】ドライバ部14には、ロウ系制御回路5よ
り出力される活性化信号SENと、この活性化信号SE
Nをインバ−タ部16によりレベル反転させた信号BS
ENとが供給される。具体的には、活性化信号SEN
は、NMOS13のゲ−トに供給され、反転活性化信号
BSENは、PMOS10のゲ−トに供給される。
【0030】プリチャ−ジャ部15には、反転活性化信
号BSENが供給される。具体的には、反転活性化信号
BSENは、NMOS11およびNMOS12のゲ−ト
にそれぞれ供給される。これにより、センスアンプ6の
非活性化期間においては、PMOS11とNMOS12
とから、VBLレベルの電位が駆動信号線SAP、BS
ANにそれぞれ供給される。一方、センスアンプ6の活
性化期間においては、PMOS10からVCCレベルの
電位が駆動信号線SAPに供給され、NMOS13から
VSSレベルの電位が駆動信号BSANに供給される。
【0031】図3は、図1および図2に示すDRAMの
動作を示した動作波形図である。図1および図2に示す
DRAMであると、駆動信号線対SAP、BSANの電
位をプリチャ−ジするための制御が、イコライズ信号B
EQではなく、反転活性化信号BSENにより行われ
る。即ち、ロウ系制御回路5によって、イコライズ回路
4とプリチャ−ジャ部15とが互いに独立して制御され
ている。このため、図3に示されるように、イコライズ
信号BEQが“L”レベルに落ちている期間、特にイコ
ライズ信号BEQおよび活性化信号SENがともに
“L”レベルとなっている期間Tにおいて、駆動信号線
対SAP、BSANの電位が不定となることがない。よ
って、活性化信号SENが、イコライズ信号BEQより
も遅れて出力されても、センスアンプ6が誤動作するこ
とがない。
【0032】次に、この発明の第2の実施例に係るDR
AMについて説明する。図4は、この発明の第2の実施
例に係るDRAMが具備するセンスアンプ駆動回路7-2
の回路図である。
【0033】図4に示すように、センスアンプ駆動回路
7-2は、プリチャ−ジャ・ドライバ制御信号発生回路2
0を有している。発生回路20は、活性化信号SENを
受け、この活性化信号SENから、ドライバ部14を制
御するための制御信号SANGと、プリチャ−ジャ部1
5を制御するための制御信号BSANGとを発生させ
る。発生回路20は、制御信号SANGおよび制御信号
BSANGをそれぞれ、活性化信号SENから作るの
で、第1の実施例と同様、イコライズ回路4とプリチャ
−ジャ部15とが互いに独立して制御されることにな
る。さらにこの実施例に開示される発生回路20は、制
御信号SANGと制御信号BSANGとを互いにずらし
て発生する。
【0034】ドライバ部14のオンとプリチャ−ジャ部
15のオフとが同じタイミングで行われると、BSAN
プリチャ−ジャ(例えば図2に示されたNMOS12)
およびBSANドライバ(例えば図2に示されたNMO
S13)を介して、電位VBLから電位VSSに向けて
貫通電流が流れることがある。しかし、発生回路20
は、制御信号SANGと制御信号BSANGとを互いに
ずらして発生させ、これら制御信号SANG、BSAN
Gにより、ドライバ部14とプリチャ−ジャ部15とを
制御するので、上記の貫通電流を防止することができ
る。
【0035】図5は、図4に示す制御信号発生回路20
の回路図である。図5に示すように、発生回路20は、
活性化信号SENを受け、この活性化信号SENを制御
信号SANGに変換し、出力するSANG変換回路21
と、活性化信号SENを受け、この活性化信号SENを
制御信号BSANGに変換し、出力するBSANG変換
回路22とを有する。
【0036】SANG変換回路21は、一端に活性化信
号SENを受け、他端から制御信号SANGを出力す
る、遅延時間τ1を持つ遅延回路23を含んでいる。活
性化信号SENは、遅延回路23により時間τ1遅らさ
れることで、制御信号SANGに変換される。
【0037】BSANG変換回路22は、一つの活性化
信号SENを2つに分岐する分岐部24と、分岐された
一方の活性化信号SENを一端に受け、他端から遅延活
性化信号SEN´を出力する、遅延時間τ2を持つ遅延
回路25と、分岐された他方の活性化信号SENを一入
力端に受けるとともに遅延活性化信号SEN´を他入力
端に受け、これら活性化信号SENおよびSEN´を論
理合成し、出力端から制御信号BSANGを出力する論
理回路26とを含んでいる。この実施例では、論理回路
26は、NORゲ−ト回路とされている。
【0038】図6は、図5に示す発生回路20を具備す
るDRAMの動作を示す動作波形図である。図6に示す
ように、制御信号SANGは、活性化信号SENの立ち
上がりから時間τ1遅れて立ち上がる。ドライバ部14
は、制御信号SANGの立ち上がりを受けてオンされ
る。
【0039】また、制御信号BSANGは、活性化信号
SENの立ち上がりを受けて、立ち下がる。図5に示し
た論理回路25がNOR論理を含むためである。プリチ
ャ−ジャ部15は、制御信号SANGの立ち下がりを受
けてオフされる。
【0040】このように、プリチャ−ジャ部15が、ド
ライバ部14がオンする時刻より以前にオフされること
により、電位VBLから電位VSSに向けて貫通電流が
流れなくなる。
【0041】また、図5に示す遅延回路23の遅延時間
τ1を、遅延回路25の遅延時間τ2より短く設定する
ことで、ドライバ部14のオフとプリチャ−ジャ部15
のオンとが同時に行われないようにすることもできる。
【0042】図7は、遅延時間τ1を遅延時間τ2より
短く設定した時のDRAMの動作を示す動作波形図であ
る。図7に示すように、ドライバ部14のオンとプリチ
ャ−ジャ部15のオフとのタイミングは、図6に示すタ
イミングと変わらない。
【0043】制御信号SANGは、活性化信号SENの
立ち下がりから時間τ1遅れて立ち下がる。ドライバ部
14は、制御信号SANGの立ち下がりを受けてオフさ
れる。 また、遅延された活性化信号SEN´は、活性
化信号SENが立ち下がりから時間τ2遅れて立ち下が
る。制御信号BSANGは、遅延された活性化信号SE
N´の立ち下がりを受けて立ち上がる。プリチャ−ジャ
部15は、制御信号BSANGの立ち上がりを受けてオ
ンされる。
【0044】このように、プリチャ−ジャ部15が、ド
ライバ部14がオフする時刻より後にオンされることに
より、上記同様に、電位VBLから電位VSSに向けて
貫通電流が流れなくなる。
【0045】尚、第1の実施例および第2の実施例に係
るDRAMでは、イコライズ回路4とセンスアンプ6と
が互いに離れているが、センスアンプ6のPMOS部8
と、センスアンプ6のNMOS部9との間にイコライズ
回路4を挿設した形のDRAMとしても、上記説明して
きた効果と、同様の効果が得られることはもちろんであ
る。
【0046】また、ドライバ部14は、図示した回路構
成に限られるものではなく、電源電位VCCおよびVS
Sを駆動信号線SAP、BSANにそれぞれ供給するた
めのPMOS10およびNMOS13をそれぞれ少なく
とも有してさえいれば、他の回路が付属されていても構
わない。同様に、プリチャ−ジャ部15においても、プ
リチャ−ジ電位VBLを駆動信号線SAP、BSANに
供給するためのNMOS11およびNMOS12を少な
くとも有してさえいれば、さらに他の回路が付属されて
いても構わない。
【0047】次に、この発明の第3の実施例として、こ
の発明をより好適に用いることができる、特殊なDRA
Mについて説明する。図8は、この発明が用いられてい
る特殊DRAMの概略的なブロック構成を示すブロック
図、図9は、図8に示すカラムに付属する回路の回路図
である。
【0048】図8および図9に示すように、チップ内に
は複数のメモリセルMC11〜MCmnが集積された、m行
×n列のメモリセルアレイ1が設けられている。メモリ
セルアレイ1にはビット線対COL1〜COLnが設けられ、こ
れらビット線対COL1〜COLnは、メモリセルMC11〜MC
mnとDQバス2とを互いに接続する。DQバス2はI/
Oバッファ3-2に接続されている。I/Oバッファ3-2
は、装置外部に設けられた外部I/Oバス31からDQ
バス2へ、およびDQバス2から外部I/Oバス31へ
とデ−タのやりとりを行う。
【0049】メモリセルアレイ1とDQバスとの間に
は、イコライザ&センスアンプ群32、転送ゲ−ト群3
3、デ−タラッチ群34、カラムゲ−ト群35がそれぞ
れ設けられている。イコライザ&センスアンプ群32
は、各ビット線対COL1〜COLn毎に設けられたn個のイコ
ライザ&センスアンプ37-1〜37-nを含んでいる。イ
コライザ&センスアンプ37-1〜37-nは、周辺回路部
36より出力される駆動信号SAP、BSAN、並びに
イコライズ信号BEQにより制御される。図9に示され
るようにイコライザ&センスアンプ37-1の回路構成
は、センスアンプのPMOS部とNMOS部との間にイ
コライズ回路を挟んだ形のものであるが、その機能は、
図1に示したDRAMのイコライズ回路4、センスアン
プ6と変わらない。デ−タラッチ群34は、各ビット線
対COL1〜COLn毎に設けられたn個のデ−タラッチ38-1
〜38-nを含んでいる。図9に示されるように、デ−タ
ラッチ38-1〜38-nはそれぞれ、一般的なクロスカッ
プルCMOS型のラッチ回路から構成されている。デ−
タラッチ38-1〜38-nは、DQバス2から供給される
デ−タを一時的に記憶する機能を持つ。転送ゲ−ト群3
3は、各ビット線対COL1〜COLn毎に設けられたn個の転
送ゲ−ト39-1〜39-nを含んでいる。転送ゲ−ト39
-1〜39-nは、周辺回路部36より出力される転送ゲ−
トセレクト信号S1〜Snにより、デ−タの書き替えが
要求された列に応じて導通するように制御される。そし
て、転送ゲ−ト39-1〜39-nは導通することにより、
デ−タラッチ38-1〜38-nに一時的に記憶されたデ−
タ群を、デ−タラッチ38-1〜38-nからイコライザ&
センスアンプ37-1〜37-nに対し、一括して転送させ
る。カラムゲ−ト群35は、各ビット線対COL1〜COLn毎
に設けられたn個のカラムゲ−ト40-1〜40-nを含ん
でいる。カラムゲ−ト40-1〜40-nは、周辺回路部3
6より出力されるカラムセレクト信号CSL1〜CSL
lにより制御される。カラムゲ−ト40-1〜40-nの構
成およびその機能は、一般的なDRAMと同様である。
次に、図8に示すDRAMにおける書き込み動作を、
図8〜図11を参照しながら説明する。
【0050】図10(a)は、図8に示す周辺回路部3
6の概略的なブロック構成を示すブロック図、図10
(b)は、図10(a)に示す転送ゲ−トセレクタの回
路図、図11は、図8〜図10に示すDRAMの動作を
示した動作波形図である。
【0051】まず、外部I/Oバス31から、I/Oバ
ッファ3-2を介して、DQバス2にデ−タが入力され
る。これと同時、あるいは前後して外部からカラムアド
レスCADDが、図10(a)に示すカラムアドレスバ
ッファ41に入力され、カラム選択信号CSL1〜CS
Llのうち、入力されたカラムアドレスCADDに対応
したものがカラムデコ−ダ42から出力される。図8に
示すカラムゲ−ト40-1〜40-nは、カラム選択信号C
SLの供給を受けたものが活性化される。活性化された
カラムゲ−ト40に接続されているデ−タラッチ38に
は、上記DQバス2に入力されたデ−タが書き込まれ
る。このような動作を、書き込みデ−タおよび入力カラ
ムアドレスCADDを変えながら繰り返して、所定の回
数行う。
【0052】この時、必ずしもn個のデ−タラッチ38
-1〜38-nの全てにデ−タが書き込まれるとは限らな
い。このため、この実施例で説明するDRAMでは、n
個のデ−タラッチ38-1〜38-nのうち、どのデ−タラ
ッチ、即ちどのカラムにデ−タ書き込みが行われたの
か、という情報を、書き込みフラグレジスタ43に記憶
する。書き込みフラグレジスタ43は、各カラムCOL1〜
COLnに対応して設定されたn個のフラグ信号F1〜Fn
を出力する。これらフラグ信号F1〜Fnは、その電位
レベルを、書き込みが行われたカラムを“H”レベル、
書き込みが行われなかったカラムを“L”レベルとする
ことで、各カラムCOL1〜COLn毎にデ−タ書き込みの有無
を区別する。
【0053】デ−タラッチ38-1〜38-nへのデ−タの
書き込みは、転送ゲ−ト活性化信号WWを“L”レベ
ル、つまりデ−タ転送ゲ−ト39-1〜39-nを全てオフ
させた状態で行われる。この状態で、1行分のデ−タに
ついて、DQバス2からデ−タラッチ38-1〜38-nへ
の書き込みが終了すると、書き込まれたデ−タを、デ−
タラッチ38-1〜38-nからイコライザ&センスアンプ
37-1〜37-n、およびメモリセルアレイ1に設けられ
たメモリセルMC11〜MCmnへと転送させる動作に移行
する。
【0054】この動作は、次のようにして行われる。図
11に示すように、1行分のデ−タを、メモリセルアレ
イ1のどの行に転送するかを決めるために、ロウアドレ
ス・ストロ−ブ信号BRASの立ち下がりに同期させ
て、ロウアドレス入力RADDを、図10(a)に示す
ロウアドレスバッファ44を介してロウデコ−ダ45に
入力する。この後、ワ−ド線WL1〜WLmのうち、入
力されたロウアドレスRADDに対応したワ−ド線WL
がロウデコ−ダ45により活性化される。また、ワ−ド
線WLを活性化する以前に、信号BRASの立ち下がり
に同期させて、イコライズ信号BEQを立ち下げ、ビッ
ト線対イコライザをオフさせておく。この時、駆動信号
線対SAP、BSANの電位は、プリチャ−ジャ部15
がオンしているために、プリチャ−ジ電位VBLに固定
されている。よって、ビット線対センスアンプは非活性
である。この状態でワ−ド線WLが活性化されることに
より、1行分のデ−タがメモリセルMCから各カラムCO
L1〜COLnに現れる。図11には、カラムCOL1とカラムCO
L2の2つのカラムが図示されている。また、図11に
は、メモリセルMCに記憶されていたデ−タがカラムに
現れている時期が、参照符号Aにより図示されている。
【0055】1行分のデ−タの書き替えが終了された
ら、このままの状態で、転送ゲ−ト活性化信号WWを
“H”レベルにする。これにより、図10(b)に示す
回路を持つ転送ゲ−トセレクタ46は、転送ゲ−ト制御
信号S1〜Snのうち、書き込みフラグが立っている
(信号Fが“H”レベル)カラムに対応したものだけを
“H”レベルとする。図11では制御信号S1が“H”
レベルとなっている。
【0056】このようにして、n個のデ−タラッチ38
-1〜38-nのうち、デ−タの書き込みが行われたデ−タ
ラッチ38から、新たなデ−タが、転送ゲ−ト39-1〜
39-nのうち、導通したもの(この例では転送ゲ−ト3
9-1のみ説明)を介して、選ばれたカラム(この例では
COL1のみ説明)に一括して転送される。選ばれたカラム
では、元来記憶されていたデ−タが、新しいデ−タに書
き替えられる。図11には、デ−タが書き替えられてい
る時期が、参照符号Bにより示されている。
【0057】この後、イコライズ信号BEQの立ち下が
りから遅れて、センスアンプ活性化信号SENを立ち上
げる。尚、活性化信号SENは、ワ−ド線WLの立ち上
がりに同期させ、ワ−ド線WLの立ち上がりから遅れて
立ち上がるように制御されても良い。活性化信号SEN
が立ち上がることで、プリチャ−ジャ部15はオフし、
代わりにドライバ部14がオンする。これにより、駆動
信号線対SAP、BSANに電源電位が供給され、駆動
信号線SAPがVCCレベル、駆動信号線BSANがV
SSレベルとなる。これにより、ビット線対センスアン
プが活性化され、カラムCOL1〜COLnにビット線電位とし
て現れているデ−タが、増幅される。図11には、デ−
タが増幅されている時期が、参照符号Cにより示されて
いる。
【0058】センスアンプが活性化することで増幅され
たデ−タが、図11中カラムCOL1に示される選択カラム
では、更新されたデ−タがメモリセルMCに書き込まれ
る。また、図11中カラムCOL2に示される非選択カラム
では、一般的なDRAMのデ−タリフレッシュ動作と同
様な動作が行われ、メモリセルMCに元来記憶されてい
たデ−タが、メモリセルMCに再度書き込まれる。
【0059】以上のように、上記のDRAMでは、デ−
タの書き替えをカラム毎に行わずに、書き替えデ−タ
を、デ−タラッチ38-1〜38-nに一時的に記憶し、書
き替えるべきデ−タが1行分全て揃った時点で、一括し
てイコライザ&センスアンプ37、に転送し、イコライ
ザ&センスアンプ37でセンス増幅されたデ−タをメモ
リセルMCに書き込む。
【0060】図8〜図10に示す構成を持ち、図11に
示す動作シ−ケンスを持つ特殊なDRAMのセンスアン
プ駆動回路に、第1の実施例で説明した構成を持つセン
スアンプ駆動回路7、あるいは第2の実施例で説明した
構成を持つセンスアンプ駆動回路7-2を用いることで、
ビット線対センスアンプの誤動作を無くすことができ
る。
【0061】また、図8〜図10に示す構成を持ち、図
11に示す動作シ−ケンスを持つ特殊DRAMに、この
発明に係るセンスアンプ駆動回路を用いた時、次のよう
な問題も、同時に解決することができた。
【0062】図12は、特殊DRAMにおいて生じた問
題を説明するための図で、図13は、問題が生じた時の
動作を示した動作波形図である。図12に示すように、
カラムCOL2を除く、他の全てのカラムCOL1、COL3〜COLn
でデ−タを転送する時、即ちデ−タ転送数が多い時、デ
−タ転送を行わないカラムCOL2においてデ−タが反転す
る現象が起こることがあった。
【0063】これは、図12に示すように、デ−タラッ
チ38-1〜38-nはそれぞれ、クロスカップル型のCM
OSラッチ回路である。この種のラッチ回路では、書き
替えデ−タを、例えばビット線BLを接地し、反転ビッ
ト線BBLを高電位VCCに引き上げて保持する(尚、
ビット線BLを高電位VCCに引き上げ、反転ビット線
BBLを接地して保持することもある)。この状態で、
転送ゲ−ト39-1、39-3〜39-nをオンさせると、セ
ンスアンプのNMOS部9-1、9-3〜9-n付近のビット
線BLの電位は、接地電位VSSの方向に引き下げら
れ、反転ビット線BBLの電位は、高電位VCCの方向
に引き上げられる。このような状態では、NMOS部9
-1、9-3〜9-nに含まれている、反転ビット線BBLに
ゲ−トを接続したNMOSがオンすることがある。これ
らのNMOSがオンしてしまうと、プリチャ−ジ電位V
BLであるべき駆動信号線BSANの電位が接地電位V
SSに落ちてしまう。特に図15に示されるようなセン
スアンプ駆動回路106を用いていると、図13に示さ
れるように、駆動信号線SAP、駆動信号線BSANの
電位が不定(フロ−ティング)となってしまうので、駆
動信号線BSANの電位が接地電位VSSに落ちやす
い。センスアンプを活性化させる以前に、駆動信号線B
SANの電位が接地電位VSSに落ちてしまうと、図1
3中の参照符号Dにより示されるように、カラムCOL2に
おいては、反転ビット線BBL2より高い電位となって
いなければならないビット線BL2の電位が、駆動信号
線BSANの接地電位VSSに引かれて、反転ビット線
BBL2の電位より低くなり、デ−タが反転してしま
う。この状態で、センスアンプを活性化させ、参照符号
Cに示すようにデ−タの増幅を行うと、カラムCOL2にお
いては、反転してしまったデ−タがメモリセルMCに書
き込まれてしまう。即ち、センスアンプの誤動作を原因
とした、デ−タの誤書き込みが発生する。
【0064】しかし、第1、第2の実施例により説明し
たセンスアンプ駆動回路7、7-2を用いると、図11に
示されるように、センスアンプを活性化させる直前、即
ちドライバ14をオンさせる直前まで、駆動信号線対S
AP、BSANをプリチャ−ジ電位VBLに固定するこ
とができる。このため、センスアンプを活性化させる以
前に、特に駆動信号線BSANが接地電位VSSに落ち
ることを防止することができる。従って、1行分のデ−
タを、一斉にイコライザ&センスアンプに転送するよう
な特殊なDRAMに、この発明を用いることで、例えば
図12および図13を参照して説明したセンスアンプの
誤動作の可能性を低減でき、センスアンプの誤動作に関
連したデ−タの誤書き込みなどを防止することができ
る。
【0065】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、センスアンプが誤動作する可能性を低減できる半導
体記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1の実施例に係るDRAM
のブロック構成を示すブロック図。
【図2】図2は図1に示すセンスアンプ駆動回路の回路
図。
【図3】図3はこの発明の第1の実施例に係るDRAM
の動作を示した動作波形図。
【図4】図4はこの発明の第2の実施例に係るDRAM
が具備するセンスアンプ駆動回路の回路図。
【図5】図5は図4に示す制御信号発生回路の回路図。
【図6】図6はこの発明の第2の実施例に係るDRAM
の動作を示す動作波形図。
【図7】図7は図5に示す遅延回路の遅延時間τ1を遅
延時間τ2より短く設定した時のDRAMの動作を示す
動作波形図。
【図8】図8はこの発明が用いられている特殊DRAM
のブロック構成を示すブロック図。
【図9】図9は図8に示すカラムに付属する回路の回路
図。
【図10】図10は図8に示す周辺回路部を詳細に示す
図で、(a)図は周辺回路部のブロック構成を示すブロ
ック図、(b)図は(a)図に示す転送ゲ−トセレクタ
の回路図。
【図11】図11はこの発明が用いられている特殊DR
AMの動作を示す動作波形図。
【図12】図12は特殊なDRAMにおいて生じた問題
を説明するための図。
【図13】図13は特殊なDRAMにおいて問題が生じ
た時の動作を示す動作波形図。
【図14】図14は従来のDRAMの回路図。
【図15】図15は図14に示すセンスアンプ駆動回路
の回路図。
【図16】図16は従来のDRAMの動作を示す動作波
形図。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ、2…DQバス、3,3-2…I/
Oバッファ、4…ビット線イコライズ回路、5…ロウ系
制御回路、6…ビット線センスアンプ、7,7-2…セン
スアンプ駆動回路、8…PMOSセンスアンプ部、9…
NMOSセンスアンプ部、14…ドライバ部、15…プ
リチャ−ジャ部、20…制御信号発生回路、21…SA
NG変換回路、22…BSANG変換回路、23…遅延
回路、24…分岐部、25…遅延回路、26…NORゲ
−ト回路、31…外部I/Oバス、32…ビット線イコ
ライザ&ビット線センスアンプ群、33…転送ゲ−ト
群、34…デ−タラッチ回路群、35…カラムゲ−ト
群、36…周辺回路部、37-1〜37-n…ビット線イコ
ライザ&ビット線センスアンプ、38-1〜38-n…デ−
タラッチ回路、39-1〜39-n…転送ゲ−ト、40-1〜
40-n…カラムゲ−ト、41…カラムアドレスバッフ
ァ、42…カラムデコ−ダ、43…書き込みフラグレジ
スタ、44…ロウアドレスバッファ、45…ロウデコ−
ダ、46…転送ゲ−トセレクタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沼田 健二 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株式会社東芝研究開発センター内 (56)参考文献 特開 昭62−40695(JP,A) 特開 平5−225780(JP,A) 特開 昭63−113998(JP,A) 特開 昭63−113999(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 11/4091

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のメモリセルに接続された第1のビ
    ット線と、 第2のメモリセルに接続された、前記第1のビット線と
    対をなす第2のビット線と、 前記第1のビット線と前記第2のビット線との間に接続
    された、前記第1のビット線の電位と前記第2のビット
    線の電位との間の電位差をイコライズするためのイコラ
    イズ手段と、 前記第1のビット線と前記第2のビット線との間に接続
    された、前記第1のビット線の電位と前記第2のビット
    線の電位との電位差を増幅するための増幅手段と、 前記増幅手段に接続された第1の駆動信号線と、 前記増幅手段に接続された、前記第1の駆動信号線と対
    をなす第2の駆動信号線と、 前記第1の駆動信号線と前記第2の駆動信号線とに接続
    された、前記第1の駆動信号線の電位および前記第2の
    駆動信号線の電位をプリチャージするためのプリチャー
    ジ手段および前記第1の駆動信号線および前記第2の駆
    動信号線に駆動信号を供給する供給手段を含む、前記増
    幅手段を駆動する駆動手段と、 プリチャージ電源と、 前記イコライズ手段および前記駆動手段を制御するため
    の制御手段とを具備し、前記制御手段は、前記イコライズ手段を活性状態にする
    第1の活性化信号と、前記駆動手段を活性状態にする第
    2の活性化信号とを出力し、前記イコライズ手段、およ
    び前記駆動手段が含む前記プリチャージ手段を互いに独
    立させて制御し、 前記駆動手段は、前記第2の活性化信号から、前記供給
    手段を制御する第1の信号、および前記プリチャージ手
    段を制御する第2の信号を発生させるための発生手段を
    有し、 前記供給手段が前記第1の駆動信号線および前記第2の
    駆動信号線に駆動信号を供給する実質的な直前まで、前
    記プリチャージ手段が前記第1の駆動信号線お よび前記
    第2の駆動信号線に、前記プリチャージ電源からプリチ
    ャージ電位を供給し続ける ことを特徴とする半導体記憶
    装置。
  2. 【請求項2】 前記制御手段は、前記イコライズ手段を
    オフさせるタイミングよりも、前記駆動手段が含む前記
    プリチャージ手段をオフさせるタイミングを遅らせて制
    御し、前記駆動手段が含む供給手段が前記第1の駆動信
    号線および前記第2の駆動信号線に駆動信号を供給する
    実質的な直前まで、前記駆動手段が含む前記プリチャー
    ジ手段が前記第1の駆動信号線および前記第2の駆動信
    号線に、前記プリチャージ電源からプリチャージ電位を
    供給し続けることを特徴とする請求項1に記載の半導体
    記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記制御手段は、第1の活性化信号を出
    力した後、所定の時間経過後に前記第2の活性化信号を
    出力することを特徴とする請求項1および請求項2いず
    れかに記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記発生手段は、前記プリチャージ手段
    および前記供給手段がそれぞれ同時にオンされないよう
    に、前記第1の信号および前記第2の信号を互いにずら
    してあって出力することを特徴とする請求項1乃至請求
    項3いずれか一項に記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記発生手段は、前記第2の信号よりも
    遅れて前記第1の信号を出力することを特徴とする請求
    項4に記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記発生手段は、第1の遅延手段を介し
    て、前記第2の活性化信号を前記第1の信号に変換する
    第1の変換手段と、 前記第2の活性化信号と第2の遅延手段を介した遅延活
    性化信号とを受け、これら第2の活性化信号と遅延活性
    化信号とを論理合成して、前記第2の活性化信号を前記
    第2の信号に変換する第2の変換手段とを含むことを特
    徴とする請求項5に記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記第1の遅延手段の遅延時間は、前記
    第2の遅延手段の遅延時間より短く設定されていること
    を特徴とする請求項6に記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記第1のビット線および前記第2のビ
    ット線からなるビット線対からなる列を複数有し、 前記列毎に設けられた、少なくとも内部データバスから
    供給されるデータを一時的に記憶しておくための記憶手
    段を、さらに具備し、 前記制御手段が第1の活性化信号を出力した後、前記所
    定の時間が経過する間に、少なくとも更新データが入力
    された時、この更新データを前記記憶手段に記憶させる
    動作を繰り返しながらデータを書き替え、このデータの
    書き替えが終了した後に、前記制御手段が前記第2の活
    性化信号を出力し、前記増幅手段が活性化する実質的な
    直前まで、前記プリチャージ電源からプリチャージ電位
    を供給し、前記第1の駆動信号線および前記第2の駆動
    信号線を前記プリチャージ電位に固定しておくことを特
    徴とする請求項1乃至請求項7いずれか一項に記載の半
    導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 前記データの書き替えが終了した後に、
    データを前記記憶手段から前記増幅手段に対して、デー
    タを一括して転送させる転送手段を、さらに具備し、 前記データの一括転送後、前記増幅手段が活性化する実
    質的な直前まで、前記プリチャージ電源からプリチャー
    ジ電位を供給し、前記第1の駆動信号線および前記第2
    の駆動信号線を前記プリチャージ電位に固定しておくこ
    とを特徴とする請求項8に記載の半導体記憶装置。
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