JP2758234B2 - 対物レンズ駆動装置 - Google Patents
対物レンズ駆動装置Info
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
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- G—PHYSICS
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- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
- G11B7/093—Electromechanical actuators for lens positioning for focusing and tracking
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- G—PHYSICS
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- G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
- G11B7/0932—Details of sprung supports
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、光ディスク装置に用いられる対物レンズ駆
動装置に関する。
動装置に関する。
（従来の技術） 光学式情報処理装置としての光ディスク装置は、磁気
を用いた従来の記憶装置に比べて情報の記憶容量が格段
に大きいという特徴を有しており、今日ではあらゆる分
野で利用されるまでに至っている。こういった光ディス
ク装置における現在の主たる技術課題は、光ディスクの
記録面に記録された膨大な情報の中から、必要とされる
所望の情報に素早く正確にアクセスし、その情報をいち
早くユーザに提供することにある。
を用いた従来の記憶装置に比べて情報の記憶容量が格段
に大きいという特徴を有しており、今日ではあらゆる分
野で利用されるまでに至っている。こういった光ディス
ク装置における現在の主たる技術課題は、光ディスクの
記録面に記録された膨大な情報の中から、必要とされる
所望の情報に素早く正確にアクセスし、その情報をいち
早くユーザに提供することにある。
光ディスクに記録された情報に素早く正確にアクセス
するためには、まず第１に、半導体レーザなどの光源か
ら得られた光ビームを光ディスクの所定の位置に正確に
照射するための対物レンズを、光ディスクのフォーカス
方向やラジアル方向に素早く駆動することが要求され
る。しかし、対物レンズを駆動するための電磁駆動要素
（例えばコイルと磁気回路からなるボイスコイルモー
タ）には既に数々の技術的手法が加えられ、十分な駆動
力が発生するように工夫がなされてきている。
するためには、まず第１に、半導体レーザなどの光源か
ら得られた光ビームを光ディスクの所定の位置に正確に
照射するための対物レンズを、光ディスクのフォーカス
方向やラジアル方向に素早く駆動することが要求され
る。しかし、対物レンズを駆動するための電磁駆動要素
（例えばコイルと磁気回路からなるボイスコイルモー
タ）には既に数々の技術的手法が加えられ、十分な駆動
力が発生するように工夫がなされてきている。
一方で、このように十分な駆動力で移動される対物レ
ンズを、所定の位置で素早く正確に位置決め（停止）さ
せる必要性があり、これが光ディスクの情報に素早く正
確にアクセスするための第２の要求となっている。つま
り、対物レンズの素早く正確な位置決めのために、対物
レンズに発生する残留微小振動を除去することが必要と
なる。ところが、この要求に対しては、まだ改善の余地
が残されており、現在では微小振動の除去に関して数々
の研究がなされている。
ンズを、所定の位置で素早く正確に位置決め（停止）さ
せる必要性があり、これが光ディスクの情報に素早く正
確にアクセスするための第２の要求となっている。つま
り、対物レンズの素早く正確な位置決めのために、対物
レンズに発生する残留微小振動を除去することが必要と
なる。ところが、この要求に対しては、まだ改善の余地
が残されており、現在では微小振動の除去に関して数々
の研究がなされている。
従来、対物レンズの微小振動を除去するための１つの
手法として、可動部側のコイルと固定部側の磁気回路と
の間（磁気ギャップ）に磁性流体を介在させる方法が採
られることがあった。このようにすると、磁性流体の粘
性抵抗のため、可動部と固定部との間での制振作用が促
進され、微小振動がいち早く吸収される。しかも磁気回
路で発生する磁場の影響により、磁性流体は磁気ギャッ
プにとどまることができ、長時間その制振作用を維持す
ることができる。
手法として、可動部側のコイルと固定部側の磁気回路と
の間（磁気ギャップ）に磁性流体を介在させる方法が採
られることがあった。このようにすると、磁性流体の粘
性抵抗のため、可動部と固定部との間での制振作用が促
進され、微小振動がいち早く吸収される。しかも磁気回
路で発生する磁場の影響により、磁性流体は磁気ギャッ
プにとどまることができ、長時間その制振作用を維持す
ることができる。
しかし、磁性流体を使用した従来の対物レンズ駆動装
置では、以下のような問題点があった。つまり、磁性流
体は表面張力が非常に大きいので、磁気ギャップがある
程度のギャップ長を持ったものであると、この磁気ギャ
ップから次第に逸脱してしまう。また、磁性流体は蒸発
や飛散の可能性があるので、長期にわたる使用を考えた
場合、やはり磁性流体は磁気ギャップから次第に逸脱し
てしまう恐れがある。また、対物レンズを駆動するため
に設計される磁気回路がそれ程大きな磁力を有していな
いことも、やはり磁性流体の逸脱の原因となっている。
置では、以下のような問題点があった。つまり、磁性流
体は表面張力が非常に大きいので、磁気ギャップがある
程度のギャップ長を持ったものであると、この磁気ギャ
ップから次第に逸脱してしまう。また、磁性流体は蒸発
や飛散の可能性があるので、長期にわたる使用を考えた
場合、やはり磁性流体は磁気ギャップから次第に逸脱し
てしまう恐れがある。また、対物レンズを駆動するため
に設計される磁気回路がそれ程大きな磁力を有していな
いことも、やはり磁性流体の逸脱の原因となっている。
このように、磁性流体を使用した場合、長期にわたる
安定した振動抑制効果が期待できないという問題があっ
た。更に磁性流体は、温度変化により粘性が著しく変化
するため、振動抑制効果も変動し、実用領域（−15℃〜
＋60℃）の範囲内にて採用することが困難であった。そ
のため、対物レンズ駆動装置としては、目的の情報に素
早く正確にアクセスするための制御を行うことが難しか
った。
安定した振動抑制効果が期待できないという問題があっ
た。更に磁性流体は、温度変化により粘性が著しく変化
するため、振動抑制効果も変動し、実用領域（−15℃〜
＋60℃）の範囲内にて採用することが困難であった。そ
のため、対物レンズ駆動装置としては、目的の情報に素
早く正確にアクセスするための制御を行うことが難しか
った。
（発明が解決しようとする課題） 以上のように、対物レンズの残留微小振動を除去する
ための１つの手法として、磁気ギャップに磁性流体を介
在させる方法があった。しかし磁性流体を使用した場
合、長期にわたる安定した振動抑制効果が期待できない
という問題があったため、結局、対物レンズ駆動装置と
しては、目的の情報に素早く正確にアクセスする制御を
行うことが難しかった。本発明はこういった従来の問題
を解決するためになされたものであり、目的の情報に素
早く正確にアクセスするための制御を行うことが容易な
対物レンズ駆動装置の提供を目的とするものである。
ための１つの手法として、磁気ギャップに磁性流体を介
在させる方法があった。しかし磁性流体を使用した場
合、長期にわたる安定した振動抑制効果が期待できない
という問題があったため、結局、対物レンズ駆動装置と
しては、目的の情報に素早く正確にアクセスする制御を
行うことが難しかった。本発明はこういった従来の問題
を解決するためになされたものであり、目的の情報に素
早く正確にアクセスするための制御を行うことが容易な
対物レンズ駆動装置の提供を目的とするものである。
［発明の構成］ （課題を解決するためのの手段） 上記の目的を達成するために本発明においては、光ビ
ームを光ディスクの所定位置に照射する対物レンズと、
この対物レンズを保持する可動体と、この可動体に取り
付けられるコイルと、このコイルに磁場を付与すること
によって、対物レンズを光ディスクの面方向または厚み
方向に駆動する磁気回路と、コイルと磁気回路との間に
配置される、磁性体が分散したゲル状の粘弾性物質とを
有する対物レンズ駆動装置とした。
ームを光ディスクの所定位置に照射する対物レンズと、
この対物レンズを保持する可動体と、この可動体に取り
付けられるコイルと、このコイルに磁場を付与すること
によって、対物レンズを光ディスクの面方向または厚み
方向に駆動する磁気回路と、コイルと磁気回路との間に
配置される、磁性体が分散したゲル状の粘弾性物質とを
有する対物レンズ駆動装置とした。
（作用） 以上のような構成の対物レンズ駆動装置とすれば、前
記粘弾性物質を配置したことにより、大きなダンピング
効果が得られるばかりか、力と変位との関係であるヒス
テリシス特性が改善されることが判った。従って、長期
にわたる安定した振動抑制効果が期待でき、目的の情報
に素早く正確にアクセスするための制御を行うことが容
易となる。
記粘弾性物質を配置したことにより、大きなダンピング
効果が得られるばかりか、力と変位との関係であるヒス
テリシス特性が改善されることが判った。従って、長期
にわたる安定した振動抑制効果が期待でき、目的の情報
に素早く正確にアクセスするための制御を行うことが容
易となる。
（実施例） 以下、図面に従って本発明の実施例を説明する。
第１図は本発明の対物レンズ駆動装置を示す平面図、
第２図は第１図中のＡ−Ａ線による断面図、第３図は斜
視図である。対物レンズ１は、光ディスクＤに対し、光
源からの光ビームを照射することにより情報の記録・再
生を行うものである。対物レンズ１は可動体２に保持さ
れており、可動体２の慣性中心Ｍから所定の距離だけ隔
てた位置に固定されている。可動体２の慣性中心Ｍに
は、弾性部材で構成されたヒンジ３が設けられており、
対物レンズ１の光軸方向にその回転中心軸が一致するよ
うに配置されている。ヒンジ３の一端部４は、圧入また
は接着などの手段により可動体２と固定されている。ま
た、ヒンジ３の他端部５は、平行に配置された２枚の板
バネ6a,6bにより固定部材７に支持されている。固定部
材７はベース８に固定されている。また、ベース８は磁
性材料で形成されている。
第２図は第１図中のＡ−Ａ線による断面図、第３図は斜
視図である。対物レンズ１は、光ディスクＤに対し、光
源からの光ビームを照射することにより情報の記録・再
生を行うものである。対物レンズ１は可動体２に保持さ
れており、可動体２の慣性中心Ｍから所定の距離だけ隔
てた位置に固定されている。可動体２の慣性中心Ｍに
は、弾性部材で構成されたヒンジ３が設けられており、
対物レンズ１の光軸方向にその回転中心軸が一致するよ
うに配置されている。ヒンジ３の一端部４は、圧入また
は接着などの手段により可動体２と固定されている。ま
た、ヒンジ３の他端部５は、平行に配置された２枚の板
バネ6a,6bにより固定部材７に支持されている。固定部
材７はベース８に固定されている。また、ベース８は磁
性材料で形成されている。
可動体２には、可動体２の慣性中心Ｍに対して互いに
対称な位置に、フォーカシングコイル9a,9bおよびトラ
ッキングコイル10a,10bが固定されている。ここで、フ
ォーカシングコイル9a,9bはＹ軸方向を軸として巻装さ
れている。さらにトラッキングコイル10a,10bはＸ軸方
向を軸としてそれぞれ２個づつ巻装され、フォーカシン
グコイル9a,9bの外側に配置されている。
対称な位置に、フォーカシングコイル9a,9bおよびトラ
ッキングコイル10a,10bが固定されている。ここで、フ
ォーカシングコイル9a,9bはＹ軸方向を軸として巻装さ
れている。さらにトラッキングコイル10a,10bはＸ軸方
向を軸としてそれぞれ２個づつ巻装され、フォーカシン
グコイル9a,9bの外側に配置されている。
一方、ベース８には、フォーカシングコイル9a,9bの
内側に一定の間隙（磁気ギャップ）が設けられた状態で
挿入される内側ヨーク11a,11bが突設されている。内側
ヨーク11a,11bの外側には、フォーカシングコイル9a,9b
およびトラッキングコイル10a,10bを挾んで内側ヨーク1
1a,11bと対向する位置に、一定の間隙（磁気ギャップ）
が設けられた状態で外側ヨーク12a,12bが突設されてい
る。そして外側ヨーク12a,12bの内側ヨーク11a,11bと対
向する面には、永久磁石13a,13bが固着されている。永
久磁石13a,13bは、磁気ギャップの厚み方向に着磁され
ている。従って、内側ヨーク11a,11bと外側ヨーク12a,1
2bと永久磁石13a,13bと、更にはベース８とによって磁
気回路が形成されている。
内側に一定の間隙（磁気ギャップ）が設けられた状態で
挿入される内側ヨーク11a,11bが突設されている。内側
ヨーク11a,11bの外側には、フォーカシングコイル9a,9b
およびトラッキングコイル10a,10bを挾んで内側ヨーク1
1a,11bと対向する位置に、一定の間隙（磁気ギャップ）
が設けられた状態で外側ヨーク12a,12bが突設されてい
る。そして外側ヨーク12a,12bの内側ヨーク11a,11bと対
向する面には、永久磁石13a,13bが固着されている。永
久磁石13a,13bは、磁気ギャップの厚み方向に着磁され
ている。従って、内側ヨーク11a,11bと外側ヨーク12a,1
2bと永久磁石13a,13bと、更にはベース８とによって磁
気回路が形成されている。
そして永久磁石13a,13bとトラッキングコイル10a,10b
と内側ヨーク11a,11bの間の間隙およびフォーカシング
コイル9a,9bと内側ヨーク11a,11bの間の間隙には、粘弾
性物質14（14a,14b）が配置されている。粘弾性物質14
はゲル体、ここではシリコーンを含むゲル状物質を用い
ている。これは、例えば東芝シリコーン社製YE5818もし
くはYSE3051、または東レシリコーン社製SE1890のよう
なものであればよい。そして、粘弾性物質14中には、例
えばフェライト粒子やバリウムフェライト粒子などの磁
性体15が分散されている。但し、粘弾性物質14や磁性体
15としては、上記した以外の物質を利用することももち
ろん可能である。
と内側ヨーク11a,11bの間の間隙およびフォーカシング
コイル9a,9bと内側ヨーク11a,11bの間の間隙には、粘弾
性物質14（14a,14b）が配置されている。粘弾性物質14
はゲル体、ここではシリコーンを含むゲル状物質を用い
ている。これは、例えば東芝シリコーン社製YE5818もし
くはYSE3051、または東レシリコーン社製SE1890のよう
なものであればよい。そして、粘弾性物質14中には、例
えばフェライト粒子やバリウムフェライト粒子などの磁
性体15が分散されている。但し、粘弾性物質14や磁性体
15としては、上記した以外の物質を利用することももち
ろん可能である。
以上のような対物レンズ駆動装置の構成とすると、フ
ォーカシングコイル9a,9bへの通電制御に伴う電磁力で
可動体１がＹ方向に移動し、これによって対物レンズ１
のフォーカシング制御を行うことが可能となる。また、
トラッキングコイル10a,10bへの通電制御に伴う電磁力
で可動体１がＹ軸回りに回動し、これによって対物レン
ズ１のトラッキング制御を行うことが可能となる。この
ようにして対物レンズ１を位置決め制御することによ
り、光ディスクＤの目的の情報トラックにアクセスする
ことができる。
ォーカシングコイル9a,9bへの通電制御に伴う電磁力で
可動体１がＹ方向に移動し、これによって対物レンズ１
のフォーカシング制御を行うことが可能となる。また、
トラッキングコイル10a,10bへの通電制御に伴う電磁力
で可動体１がＹ軸回りに回動し、これによって対物レン
ズ１のトラッキング制御を行うことが可能となる。この
ようにして対物レンズ１を位置決め制御することによ
り、光ディスクＤの目的の情報トラックにアクセスする
ことができる。
また本発明の対物レンズ駆動装置とすると、粘弾性物
質14の影響により、制振材料としてのダンピング効果が
磁性流体のそれよりも大きくなる。そして更には、従来
ダンピング効果が向上するに従って悪化する関係にあっ
たヒステリシス特性（駆動力と変位との関係）が緩和
（改善）されるという特異な性質が見られる。これは、
本実施例のような用途に限らず、粘弾性物質14を、磁
力の作用した場所で相対的に変位する物体間に配置した
場合、もしくは粘弾性物質14を一度磁化させてから相
対的に変位する物体間に配置した場合に見られるもので
ある。
質14の影響により、制振材料としてのダンピング効果が
磁性流体のそれよりも大きくなる。そして更には、従来
ダンピング効果が向上するに従って悪化する関係にあっ
たヒステリシス特性（駆動力と変位との関係）が緩和
（改善）されるという特異な性質が見られる。これは、
本実施例のような用途に限らず、粘弾性物質14を、磁
力の作用した場所で相対的に変位する物体間に配置した
場合、もしくは粘弾性物質14を一度磁化させてから相
対的に変位する物体間に配置した場合に見られるもので
ある。
このように粘弾性物質14が特異な性質を有するのは、
以下のような理由によるものと考えられる。つまり、第
９図に模式図として示すように、同図（１）の平常時
（外部から力が加わっていない状態）には、粘弾性物質
14中にて磁性体15は相互間の位置関係が安定に保たれて
いる。ところが同図（２）の振動時（外部から力が加わ
った状態）には粘弾性物質14の変形により、磁性体15の
安定な位置関係が崩れてしまう。ここで粘弾性物質14に
は、その弾性による復元力のみならず、分散された磁性
体15の互いの磁気吸引力による復元力が作用し、振動が
なくなるまで同図（１）の状態に戻る方向に力を発生す
る。しかも磁性体15は、隣接する粘弾性物質の分子と結
合しているので、両者の相対位置がずれることがない。
このようにして、外部から力が作用して振動が生じて
も、磁気吸引力によって素早く元の安定な位置に戻ろう
とする復元力が働くので、ヒステリシスが効果的に抑制
されるのである。第10図，第11図に、（ａ）磁性体15を
分散させていない従来の粘弾性物質と（ｂ）本発明の対
物レンズ駆動装置に使用された、磁性体15を分散させて
なる粘弾性物質14とによる、ヒステリシス特性比較の実
験結果を示す。尚、第10図はラジアル方向について、第
11図はフォーカス方向についての実験結果であり、駆動
電流［mA］に対する変位量［mm］の関係を示している。
実験装置としては、第１図乃至第３図に示した対物レン
ズ駆動装置とほぼ同一の装置を用いた。また、第１表に
実験条件を示す。
以下のような理由によるものと考えられる。つまり、第
９図に模式図として示すように、同図（１）の平常時
（外部から力が加わっていない状態）には、粘弾性物質
14中にて磁性体15は相互間の位置関係が安定に保たれて
いる。ところが同図（２）の振動時（外部から力が加わ
った状態）には粘弾性物質14の変形により、磁性体15の
安定な位置関係が崩れてしまう。ここで粘弾性物質14に
は、その弾性による復元力のみならず、分散された磁性
体15の互いの磁気吸引力による復元力が作用し、振動が
なくなるまで同図（１）の状態に戻る方向に力を発生す
る。しかも磁性体15は、隣接する粘弾性物質の分子と結
合しているので、両者の相対位置がずれることがない。
このようにして、外部から力が作用して振動が生じて
も、磁気吸引力によって素早く元の安定な位置に戻ろう
とする復元力が働くので、ヒステリシスが効果的に抑制
されるのである。第10図，第11図に、（ａ）磁性体15を
分散させていない従来の粘弾性物質と（ｂ）本発明の対
物レンズ駆動装置に使用された、磁性体15を分散させて
なる粘弾性物質14とによる、ヒステリシス特性比較の実
験結果を示す。尚、第10図はラジアル方向について、第
11図はフォーカス方向についての実験結果であり、駆動
電流［mA］に対する変位量［mm］の関係を示している。
実験装置としては、第１図乃至第３図に示した対物レン
ズ駆動装置とほぼ同一の装置を用いた。また、第１表に
実験条件を示す。
第10図の（ａ）と（ｂ）とを比較すると、ヒステリシ
ス曲線の０［mA］における変位の差は、それぞれ（ａ）
41［μｍ］，（ｂ）33［μｍ］であり、粘弾性物質14を
用いた場合にヒステリシスが緩和されていることが判
る。同様に第11図の（ａ）と（ｂ）とを比較すると、ヒ
ステリシス曲線の０［mA］における変位の差は、それぞ
れ（ａ）147［μｍ］，（ｂ）102［μｍ］であり、やは
り粘弾性物質14を用いた効果が顕著に現れている。こう
いった特異な性質は、物質の種類や分散の比率などの諸
条件を変化させても同様に検出されるものであった。
ス曲線の０［mA］における変位の差は、それぞれ（ａ）
41［μｍ］，（ｂ）33［μｍ］であり、粘弾性物質14を
用いた場合にヒステリシスが緩和されていることが判
る。同様に第11図の（ａ）と（ｂ）とを比較すると、ヒ
ステリシス曲線の０［mA］における変位の差は、それぞ
れ（ａ）147［μｍ］，（ｂ）102［μｍ］であり、やは
り粘弾性物質14を用いた効果が顕著に現れている。こう
いった特異な性質は、物質の種類や分散の比率などの諸
条件を変化させても同様に検出されるものであった。
尚、従来用いられているような磁性流体については、
永久磁石13a,13bとトラッキングコイル10a,10bの間の間
隙（磁気ギャップ）、およびフォーカシングコイル9a,9
bと内側ヨーク11a,11bの間の間隙（磁気ギャップ）に配
置するには間隙の寸法が大きすぎたため、十分な保持が
できず、同一の装置での比較は不可能であった。しか
し、一般に磁性流体を用いた場合、ある程度のダンピン
グ効果を得ることはできるが、粘弾性物質ほどのダンピ
ング効果を望むことはできない。従って、ここでは比較
実験はできなかったものの、従来の磁性流体と粘弾性物
質14とは、その効果に顕著な差が生じていると言える。
永久磁石13a,13bとトラッキングコイル10a,10bの間の間
隙（磁気ギャップ）、およびフォーカシングコイル9a,9
bと内側ヨーク11a,11bの間の間隙（磁気ギャップ）に配
置するには間隙の寸法が大きすぎたため、十分な保持が
できず、同一の装置での比較は不可能であった。しか
し、一般に磁性流体を用いた場合、ある程度のダンピン
グ効果を得ることはできるが、粘弾性物質ほどのダンピ
ング効果を望むことはできない。従って、ここでは比較
実験はできなかったものの、従来の磁性流体と粘弾性物
質14とは、その効果に顕著な差が生じていると言える。
このように、粘弾性物質14の従来にない特性により、
対物レンズ駆動装置の可動体２に発生する共振などの微
小振動は極力除去される。そして、対物レンズ１が瞬時
に位置決めされるため、光ディスクへの目的の情報への
アクセス時間が短縮され、高速，高精度の制御が可能と
なる。
対物レンズ駆動装置の可動体２に発生する共振などの微
小振動は極力除去される。そして、対物レンズ１が瞬時
に位置決めされるため、光ディスクへの目的の情報への
アクセス時間が短縮され、高速，高精度の制御が可能と
なる。
また、上記のように磁気ギャップ内に粘弾性物質を配
置することにより、従来磁気ギャップつまり空隙であっ
た部分が粘弾性物質に置き換えられる。粘弾性物質14に
は磁性体15が分散しているので、磁束は磁気抵抗の大き
い空気中を通ることなくこの磁性体15を通り、例え磁気
ギャップ長が大きくなっても、磁気回路の磁束を有効に
利用することができるようになる。そしてコイルをよぎ
る磁束が増加し、可動体２の駆動力を増加させることが
できる。もちろんここで用いる粘弾性物質14および磁性
体15は、共に非導電性を有したものであるので、電気的
絶縁性が保たれており、コイルに接触させて配置しても
問題がない。また、ここではコイルと磁気回路の間に粘
弾性物質14を配置したが、前述したように、磁力の作用
した場所で相対的に変位する物体間に配置すれば同様の
効果を期待することができる。また、粘弾性物質14を一
度磁化させてから相対的に変位する物体間に配置しても
よく、この場合は、粘弾性物質14を磁力の作用した場所
に配置する必要なく上記の効果を期待することができ
る。
置することにより、従来磁気ギャップつまり空隙であっ
た部分が粘弾性物質に置き換えられる。粘弾性物質14に
は磁性体15が分散しているので、磁束は磁気抵抗の大き
い空気中を通ることなくこの磁性体15を通り、例え磁気
ギャップ長が大きくなっても、磁気回路の磁束を有効に
利用することができるようになる。そしてコイルをよぎ
る磁束が増加し、可動体２の駆動力を増加させることが
できる。もちろんここで用いる粘弾性物質14および磁性
体15は、共に非導電性を有したものであるので、電気的
絶縁性が保たれており、コイルに接触させて配置しても
問題がない。また、ここではコイルと磁気回路の間に粘
弾性物質14を配置したが、前述したように、磁力の作用
した場所で相対的に変位する物体間に配置すれば同様の
効果を期待することができる。また、粘弾性物質14を一
度磁化させてから相対的に変位する物体間に配置しても
よく、この場合は、粘弾性物質14を磁力の作用した場所
に配置する必要なく上記の効果を期待することができ
る。
以下、本発明の対物レンズ駆動装置の他の実施例を説
明する。
明する。
第４図は本発明の他の実施例に係る対物レンズ駆動装
置を示す平面図、第５図は第４図中のＢ−Ｂ線による断
面図、第６図は斜視図である。対物レンズ21は、光ディ
スクＤに対し、光源からの光ビームを照射することによ
り情報の記録・再生を行うものである。対物レンズ21
は、レンズ保持部が円筒状で下部が立方体状に形成され
たレンズ支持部材（可動体）22に保持されている。可動
体22の両端面には、Ｙ方向に長手方向を向けて平行な状
態に配置された２枚のトラッキングバネ（板バネ）23a,
23bが固定されており、その他端は中間フレーム24の内
部に固定されている。この板バネ23a,23bによって、可
動体22は、中間フレーム24に対して対物レンズ21の光軸
と交差するラジアル方向（Ｘ方向）へ動作自在に支持さ
れている。また、この中間フレーム24の両端部の上下面
には、Ｚ方向に長手方向を向けて平行な状態に配置され
た４枚のフォーカシングバネ（板バネ）25が固定されて
おり、その他端は固定フレーム26に固定されている。こ
の板バネ25によって、中間フレーム24は、対物レンズ21
の光軸に沿うフォーカス方向（Ｙ方向）へ動作自在に支
持されている。尚、第５図に示すように、固定フレーム
26はサブシャーシ27の上面に固定されている。
置を示す平面図、第５図は第４図中のＢ−Ｂ線による断
面図、第６図は斜視図である。対物レンズ21は、光ディ
スクＤに対し、光源からの光ビームを照射することによ
り情報の記録・再生を行うものである。対物レンズ21
は、レンズ保持部が円筒状で下部が立方体状に形成され
たレンズ支持部材（可動体）22に保持されている。可動
体22の両端面には、Ｙ方向に長手方向を向けて平行な状
態に配置された２枚のトラッキングバネ（板バネ）23a,
23bが固定されており、その他端は中間フレーム24の内
部に固定されている。この板バネ23a,23bによって、可
動体22は、中間フレーム24に対して対物レンズ21の光軸
と交差するラジアル方向（Ｘ方向）へ動作自在に支持さ
れている。また、この中間フレーム24の両端部の上下面
には、Ｚ方向に長手方向を向けて平行な状態に配置され
た４枚のフォーカシングバネ（板バネ）25が固定されて
おり、その他端は固定フレーム26に固定されている。こ
の板バネ25によって、中間フレーム24は、対物レンズ21
の光軸に沿うフォーカス方向（Ｙ方向）へ動作自在に支
持されている。尚、第５図に示すように、固定フレーム
26はサブシャーシ27の上面に固定されている。
また、可動体22の他の２つの側面には、トラッキング
コイル28が矩形の枠状に巻装されて固定されている。こ
のトラッキングコイル28のうちＹ方向へ電流が流れる直
線部28a,28bには、永久磁石29a,29bが対向している。永
久磁石29a,29bは逆向きに着磁されていて、ヨーク30に
固定されている。
コイル28が矩形の枠状に巻装されて固定されている。こ
のトラッキングコイル28のうちＹ方向へ電流が流れる直
線部28a,28bには、永久磁石29a,29bが対向している。永
久磁石29a,29bは逆向きに着磁されていて、ヨーク30に
固定されている。
また、中間フレーム24の内部には、フォーカシングコ
イル31が射出成型などの手段により埋設されている。こ
のフォーカシングコイル31は、可動体22を囲む矩形の枠
状に巻装されていて、電流がＸ方向（光軸と直行する方
向）へ流れるようになっている。また、可動体22、トラ
ッキングコイル28、永久磁石29a,29bおよびヨーク30
は、このフォーカシングコイル31の内部に収納される状
態に配置されている。フォーカシングコイル31の外側面
には、永久磁石32が対向している。この永久磁石32はヨ
ーク33に保持されている。このヨーク33と前記したヨー
ク30は台座34に固定されていて、この台座34はサブシャ
ーシ27上に固定されている。
イル31が射出成型などの手段により埋設されている。こ
のフォーカシングコイル31は、可動体22を囲む矩形の枠
状に巻装されていて、電流がＸ方向（光軸と直行する方
向）へ流れるようになっている。また、可動体22、トラ
ッキングコイル28、永久磁石29a,29bおよびヨーク30
は、このフォーカシングコイル31の内部に収納される状
態に配置されている。フォーカシングコイル31の外側面
には、永久磁石32が対向している。この永久磁石32はヨ
ーク33に保持されている。このヨーク33と前記したヨー
ク30は台座34に固定されていて、この台座34はサブシャ
ーシ27上に固定されている。
また、サブシャーシ27上にはミラー35が固定されてい
て、ここでは図示しないレーザダイオードなどの光源か
ら発せられたレーザビームは、固定フレーム26と台座34
のそれぞれの中空部を通過し、ミラー35にて反射されて
上方の対物レンズ21に送られるようになっている。
て、ここでは図示しないレーザダイオードなどの光源か
ら発せられたレーザビームは、固定フレーム26と台座34
のそれぞれの中空部を通過し、ミラー35にて反射されて
上方の対物レンズ21に送られるようになっている。
さらに、サブシャーシ27の端部にはスリーブ36が固定
されていて、このスリーブ36がガイドシャフト（図示せ
ず）に摺動自在に外挿されている。サブシャーシ27はこ
のガイドシャフトにガイドされ、光ディスクＤの上方の
トラックを追従するようになっている。
されていて、このスリーブ36がガイドシャフト（図示せ
ず）に摺動自在に外挿されている。サブシャーシ27はこ
のガイドシャフトにガイドされ、光ディスクＤの上方の
トラックを追従するようになっている。
また、トラッキングコイル28と永久磁石29a,29bの間
の間隙およびフォーカシングコイル31と永久磁石32の間
の間隙には、先にも述べた粘弾性物質14が配置されてい
る。
の間隙およびフォーカシングコイル31と永久磁石32の間
の間隙には、先にも述べた粘弾性物質14が配置されてい
る。
次に、上記の構成をなす本実施例の動作説明を行う。
対物レンズ駆動装置を組み込んだ光ディスク装置では、
ここでは図示しないモータ機構によって光ディスクＤを
回転させ、サブシャーシ27を第５図の紙面に直行する方
向へ移動させて再生動作を行う。
対物レンズ駆動装置を組み込んだ光ディスク装置では、
ここでは図示しないモータ機構によって光ディスクＤを
回転させ、サブシャーシ27を第５図の紙面に直行する方
向へ移動させて再生動作を行う。
光学系内のレーザダイオードから発せられるレーザビ
ームは、ミラー35にて反射され、対物レンズ21によって
光ディスクＤの記録面に照射される。このレーザビーム
の記録面からの反射光はミラー35によって元の経路に戻
され、光学系内のフォトダイオードにて検知される。こ
の検知光を光電変換して光ディスクＤの記録面に記録さ
れたデジタル情報が読み取られるようになっている。
ームは、ミラー35にて反射され、対物レンズ21によって
光ディスクＤの記録面に照射される。このレーザビーム
の記録面からの反射光はミラー35によって元の経路に戻
され、光学系内のフォトダイオードにて検知される。こ
の検知光を光電変換して光ディスクＤの記録面に記録さ
れたデジタル情報が読み取られるようになっている。
また、上記の再生動作の際、フォトダイオードによる
検知光を処理することにより、レーザビームの照射状態
の理想状態からの誤差が検知される。この誤差検出信号
は、コイル駆動回路によりフォーカシングコイル31とト
ラッキングコイル28へ通電される。フォーカシングコイ
ル31にてＸ方向へ通電されると、永久磁石32からヨーク
33へ向かう磁界と、この電流との間に発生する電磁力に
よって、中間フレーム24はＹ方向へ駆動される。このた
め、対物レンズ21から照射されるレーザビームのスポッ
トの焦点が、光ディスクＤの記録面に常に合うように補
正される。また、トラッキングコイル28の左右直線部28
a,28bにＹ方向の電流が通電されると、永久磁石29a,29b
とによって形成される磁界と、この電流との間に発生す
る電磁力によって、可動体22はＸ方向へ駆動される。こ
の動作により、レーザビームのスポットが、光ディスク
Ｄの記録面上のトラックを正確に追従するように補正さ
れる。
検知光を処理することにより、レーザビームの照射状態
の理想状態からの誤差が検知される。この誤差検出信号
は、コイル駆動回路によりフォーカシングコイル31とト
ラッキングコイル28へ通電される。フォーカシングコイ
ル31にてＸ方向へ通電されると、永久磁石32からヨーク
33へ向かう磁界と、この電流との間に発生する電磁力に
よって、中間フレーム24はＹ方向へ駆動される。このた
め、対物レンズ21から照射されるレーザビームのスポッ
トの焦点が、光ディスクＤの記録面に常に合うように補
正される。また、トラッキングコイル28の左右直線部28
a,28bにＹ方向の電流が通電されると、永久磁石29a,29b
とによって形成される磁界と、この電流との間に発生す
る電磁力によって、可動体22はＸ方向へ駆動される。こ
の動作により、レーザビームのスポットが、光ディスク
Ｄの記録面上のトラックを正確に追従するように補正さ
れる。
本実施例の対物レンズ駆動装置としても、粘弾性物質
14の影響により、制振材料としてのダンピング効果が磁
性流体のそれよりも大きくなることはもちろん、通常の
粘弾性物質を用いた時よりもダンピング効果が大きくな
る。そして更には、従来ダンピング効果が向上するに従
って悪化する関係にあったヒステリシス特性が緩和（改
善）されるという特異な性質が見られる。このような粘
弾性物質14の従来にない特性により、対物レンズ駆動装
置の可動体22に発生する共振などの微小振動は極力除去
される。そして、対物レンズ21が瞬時に位置決めされる
ため、光ディスクＤへの目的の情報へのアクセス時間が
短縮され、高速，高精度の制御が可能となる。
14の影響により、制振材料としてのダンピング効果が磁
性流体のそれよりも大きくなることはもちろん、通常の
粘弾性物質を用いた時よりもダンピング効果が大きくな
る。そして更には、従来ダンピング効果が向上するに従
って悪化する関係にあったヒステリシス特性が緩和（改
善）されるという特異な性質が見られる。このような粘
弾性物質14の従来にない特性により、対物レンズ駆動装
置の可動体22に発生する共振などの微小振動は極力除去
される。そして、対物レンズ21が瞬時に位置決めされる
ため、光ディスクＤへの目的の情報へのアクセス時間が
短縮され、高速，高精度の制御が可能となる。
第７図は本発明の他の実施例に係る対物レンズ駆動装
置を示す斜視図である。本実施例の対物レンズ駆動装置
は、滑り軸受によって対物レンズ41を所定の方向に駆動
可能となるようにガイドする方式のものである。対物レ
ンズ41は、その光軸方向と平行に配設された軸43の軸方
向への滑り運動と、軸43回りの回転運動によって２次元
方向に移動が可能である。レンズ支持部材（可動体）42
には、対物レンズ41の他に、軸43回りに巻装されたフォ
ーカシングコイル44と、軸43と対称となる位置に矩形の
枠状に巻装されたトラッキングコイル45が取り付けられ
ている。更に可動体42は、ベース46との間に弾性体から
なるサスペンション47を取り付けることにより相互に連
結し、可動体42の運動に対して復元力が発生する機構と
なっている。
置を示す斜視図である。本実施例の対物レンズ駆動装置
は、滑り軸受によって対物レンズ41を所定の方向に駆動
可能となるようにガイドする方式のものである。対物レ
ンズ41は、その光軸方向と平行に配設された軸43の軸方
向への滑り運動と、軸43回りの回転運動によって２次元
方向に移動が可能である。レンズ支持部材（可動体）42
には、対物レンズ41の他に、軸43回りに巻装されたフォ
ーカシングコイル44と、軸43と対称となる位置に矩形の
枠状に巻装されたトラッキングコイル45が取り付けられ
ている。更に可動体42は、ベース46との間に弾性体から
なるサスペンション47を取り付けることにより相互に連
結し、可動体42の運動に対して復元力が発生する機構と
なっている。
軸方向の運動は、図中Ｙ方向、つまり対物レンズ41の
フォーカス方向であり、可動体42の下部に取り付けられ
たフォーカシングコイル44に流れる電流と、ベース46に
取り付けられた永久磁石48、ヨーク49からなるフォーカ
シング用の磁気回路との間の電磁力によって駆動され
る。また、図中Ｘ方向、つまりラジアル方向への駆動
は、軸43を中心として対称な位置に取り付けられたトラ
ッキングコイル45に流れる電流と、ベース46に取り付け
られた永久磁石50、ヨーク51からなるトラッキング用の
磁気回路との間の電磁力による偶力によって駆動され
る。このような２方向の運動において、力学的な中立位
置を実現させるためのサスペンション47のバネ性と可動
部全体の質量とで振動系を構成するが、この振動系では
サスペンション47のみが僅かに減衰性を有しており、決
して十分とは言えない。このため、駆動時の不要な共振
現象を十分に抑制することができず、対物レンズ41の位
置決め制御が困難なものとなってしまう。
フォーカス方向であり、可動体42の下部に取り付けられ
たフォーカシングコイル44に流れる電流と、ベース46に
取り付けられた永久磁石48、ヨーク49からなるフォーカ
シング用の磁気回路との間の電磁力によって駆動され
る。また、図中Ｘ方向、つまりラジアル方向への駆動
は、軸43を中心として対称な位置に取り付けられたトラ
ッキングコイル45に流れる電流と、ベース46に取り付け
られた永久磁石50、ヨーク51からなるトラッキング用の
磁気回路との間の電磁力による偶力によって駆動され
る。このような２方向の運動において、力学的な中立位
置を実現させるためのサスペンション47のバネ性と可動
部全体の質量とで振動系を構成するが、この振動系では
サスペンション47のみが僅かに減衰性を有しており、決
して十分とは言えない。このため、駆動時の不要な共振
現象を十分に抑制することができず、対物レンズ41の位
置決め制御が困難なものとなってしまう。
そこで本実施例においても、フォーカシングコイル44
と永久磁石48の間の間隙およびトラッキングコイル45と
永久磁石50の間の間隙に粘弾性物質14を配置することに
よって、対物レンズ駆動装置の可動体42に発生する共振
などの微小振動は極力除去される。そして、対物レンズ
41が瞬時に位置決めされるため、光ディスクＤへの目的
の情報へのアクセス時間が短縮され、高速，高精度の制
御が可能となる。
と永久磁石48の間の間隙およびトラッキングコイル45と
永久磁石50の間の間隙に粘弾性物質14を配置することに
よって、対物レンズ駆動装置の可動体42に発生する共振
などの微小振動は極力除去される。そして、対物レンズ
41が瞬時に位置決めされるため、光ディスクＤへの目的
の情報へのアクセス時間が短縮され、高速，高精度の制
御が可能となる。
第８図は本発明の他の実施例に係る対物レンズ駆動装
置を示す斜視図である。本実施例の対物レンズ駆動装置
は、レンズ支持部材（可動体）62を４本のワイヤ63で固
定部70と連結し、支持する構成のものである。駆動方法
は前述した２種の対物レンズ駆動装置と同様であり、ベ
ース66に突設した内側ヨーク67、および永久磁石68を固
定して突設した外側ヨーク69からなる磁気回路によって
磁力を付与されたフォーカシングコイル64とトラッキン
グコイル65を通電制御することによって行う。この方式
の対物レンズ駆動装置においては、ワイヤ63の真直度、
およびワイヤ63どうしの平行度が満足に実現されない
と、フォーカス方向（Ｙ方向）およびラジアル方向（Ｘ
方向）への駆動時に不要な振動が発生し、光ディスクＤ
に対する対物レンズ61の追従性が悪化することが知られ
ている。
置を示す斜視図である。本実施例の対物レンズ駆動装置
は、レンズ支持部材（可動体）62を４本のワイヤ63で固
定部70と連結し、支持する構成のものである。駆動方法
は前述した２種の対物レンズ駆動装置と同様であり、ベ
ース66に突設した内側ヨーク67、および永久磁石68を固
定して突設した外側ヨーク69からなる磁気回路によって
磁力を付与されたフォーカシングコイル64とトラッキン
グコイル65を通電制御することによって行う。この方式
の対物レンズ駆動装置においては、ワイヤ63の真直度、
およびワイヤ63どうしの平行度が満足に実現されない
と、フォーカス方向（Ｙ方向）およびラジアル方向（Ｘ
方向）への駆動時に不要な振動が発生し、光ディスクＤ
に対する対物レンズ61の追従性が悪化することが知られ
ている。
そこで、本実施例では、フォーカシングコイル64、ト
ラッキングコイル65と永久磁石68の間の間隙に、粘弾性
物質14を挿入させることにより、上記の問題を解決する
ことができ、極めて制御性のよい対物レンズ駆動装置を
得ることができる。
ラッキングコイル65と永久磁石68の間の間隙に、粘弾性
物質14を挿入させることにより、上記の問題を解決する
ことができ、極めて制御性のよい対物レンズ駆動装置を
得ることができる。
このような各種対物レンズ駆動装置にて利用可能な粘
弾性物質14について更に説明する。上記した各実施例で
は、まず、粘性物質に磁性体を分散させ、しかる後にこ
れをゲル化することによって所定の位置への正確な位置
決めを行っている。つまり、磁気ギャップはそのギャッ
プ長が小さく、粘性係数の大きな状態で磁気ギャップ内
に配置することは困難であるので、まず粘性係数が小さ
い状態で磁気ギャップに充填し、ゲル化という方法によ
って位置決め保持をするのである。本実施例の場合に
は、加熱によって分子の架橋状態が変化するというシリ
コーンゲルの特性を利用し、所望の位置に仮配置した後
にこの位置で熱硬化させ、必要な粘性係数とする方法を
採用した。もちろん、材料によっては他の方法でゲル化
させてもよい。尚、粘弾性物質の粘性係数が小さい状態
で磁性体を分散させると、磁性体を均一に分散させるこ
とができるという特長もある。
弾性物質14について更に説明する。上記した各実施例で
は、まず、粘性物質に磁性体を分散させ、しかる後にこ
れをゲル化することによって所定の位置への正確な位置
決めを行っている。つまり、磁気ギャップはそのギャッ
プ長が小さく、粘性係数の大きな状態で磁気ギャップ内
に配置することは困難であるので、まず粘性係数が小さ
い状態で磁気ギャップに充填し、ゲル化という方法によ
って位置決め保持をするのである。本実施例の場合に
は、加熱によって分子の架橋状態が変化するというシリ
コーンゲルの特性を利用し、所望の位置に仮配置した後
にこの位置で熱硬化させ、必要な粘性係数とする方法を
採用した。もちろん、材料によっては他の方法でゲル化
させてもよい。尚、粘弾性物質の粘性係数が小さい状態
で磁性体を分散させると、磁性体を均一に分散させるこ
とができるという特長もある。
また、磁性体はほぼ均一に分散されていることが最も
好ましいが、第９図に示す作用は、粘弾性物質14内に磁
性体15が不均一に混ざっていても作用効果が発揮される
ものである。また、磁性体15は、その粒径に必ずしも制
限のあるものではなく、例えば粒径の不揃いがあっても
同様の効果を得ることができる。
好ましいが、第９図に示す作用は、粘弾性物質14内に磁
性体15が不均一に混ざっていても作用効果が発揮される
ものである。また、磁性体15は、その粒径に必ずしも制
限のあるものではなく、例えば粒径の不揃いがあっても
同様の効果を得ることができる。
また、粘弾性物質14に粘着力のあるものを用いれば、
引張り力，圧縮力，剪断力を受けても、磁気ギャップか
ら脱落することがなく、安定した振動制御効果を期待す
ることができる。
引張り力，圧縮力，剪断力を受けても、磁気ギャップか
ら脱落することがなく、安定した振動制御効果を期待す
ることができる。
尚、本発明で説明した粘弾性物質14は、異なる変位を
する２つ（またはそれ以上）の物体の間に配置されるこ
とにより、一般的な免振装置を構成することもできる。
する２つ（またはそれ以上）の物体の間に配置されるこ
とにより、一般的な免振装置を構成することもできる。
［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、対物レンズの残留
微小振動が効果的に除去されるので、目的の情報に素早
く正確にアクセスするための制御を行うことが容易な対
物レンズ駆動装置が提供される。
微小振動が効果的に除去されるので、目的の情報に素早
く正確にアクセスするための制御を行うことが容易な対
物レンズ駆動装置が提供される。
第１図乃至第３図は本発明の対物レンズ駆動装置の第１
の実施例を示す平面図，断面図，斜視図、第４図乃至第
６図は本発明の対物レンズ駆動装置の第２の実施例を示
す平面図，断面図，斜視図、第７図および第８図は本発
明の対物レンズ駆動装置の第３および第４の実施例を示
す斜視図、第９図は本発明にて使用される粘弾性物質の
特性を説明するための模式図、第10図と第11図は本発明
にて使用される粘弾性物質によるヒステリシス特性の緩
和の様子を示す実験データである。 1,21,41,61……対物レンズ 2,22,42,62……可動体 9a,9b,31,44,64……フォーカシング用コイル 10a,10b,28,45,65……トラッキング用コイル 13a,13b,29a,29b,32,48,50,68……永久磁石 14a,14b,14……粘弾性物質 Ｄ……光ディスク
の実施例を示す平面図，断面図，斜視図、第４図乃至第
６図は本発明の対物レンズ駆動装置の第２の実施例を示
す平面図，断面図，斜視図、第７図および第８図は本発
明の対物レンズ駆動装置の第３および第４の実施例を示
す斜視図、第９図は本発明にて使用される粘弾性物質の
特性を説明するための模式図、第10図と第11図は本発明
にて使用される粘弾性物質によるヒステリシス特性の緩
和の様子を示す実験データである。 1,21,41,61……対物レンズ 2,22,42,62……可動体 9a,9b,31,44,64……フォーカシング用コイル 10a,10b,28,45,65……トラッキング用コイル 13a,13b,29a,29b,32,48,50,68……永久磁石 14a,14b,14……粘弾性物質 Ｄ……光ディスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 勝利 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式 会社東芝総合研究所内 (72)発明者 山崎 英生 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式 会社東芝総合研究所内
Claims (8)
- 【請求項１】光ビームを光ディスクの所定位置に照射す
る対物レンズと、 前記対物レンズを保持する可動体と、 前記可動体に取り付けられるコイルと、 前記コイルに磁場を付与することによって、前記対物レ
ンズを前記光ディスクの所定方向に駆動する磁気回路
と、 前記コイルと前記磁気回路との間に配置される、磁性体
が分散したゲル状の粘弾性物質と、 を有することを特徴とする対物レンズ駆動装置。 - 【請求項２】光ビームを光ディスクの所定位置に照射す
る対物レンズと、 前記対物レンズを保持する可動体と、 前記可動体に取り付けられるコイルと、 前記コイルに磁場を付与することによって、前記対物レ
ンズを前記光ディスクの所定方向に駆動する磁気回路
と、 磁場の影響を受けた状態で前記可動体と固定部との間に
配置される、磁性体が分散したゲル状の粘弾性物質と、 を有することを特徴とする対物レンズ駆動装置。 - 【請求項３】光ビームを光ディスクの所定位置に照射す
る対物レンズと、 前記対物レンズを保持する可動体と、 前記可動体に取り付けられるコイルと、 前記コイルに磁場を付与することによって、前記対物レ
ンズを前記光ディスクの所定方向に駆動する磁気回路
と、 前記可動体と固定部との間に配置される、磁性体が分散
したゲル状の粘弾性物質と、 を有する対物レンズ駆動装置において、 前記粘弾性物質が磁化されていることを特徴とする対物
レンズ駆動装置。 - 【請求項４】前記粘弾性物質は、粘性物質に磁性体を分
散させたものをゲル化してなることを特徴とする請求項
１乃至３のいずれかに記載の対物レンズ駆動装置 - 【請求項５】前記粘弾性物質は、温度変化によって弾性
係数が不可逆的に変化する物質であることを特徴とする
請求項１乃至３のいずれかに記載の対物レンズ駆動装
置。 - 【請求項６】前記粘性物質は、非導電性を有することを
特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の対物レン
ズ駆動装置。 - 【請求項７】前記粘弾性物質は、粘着力を有することを
特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の対物レン
ズ駆動装置。 - 【請求項８】前記粘弾性物質は、シリコーンを主体とし
たゲル体であることを特徴とする請求項１乃至３のいず
れかに記載の対物レンズ駆動装置。
Priority Applications (1)
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