JP2746877B2 - 超音波振動を利用した超音波モーター - Google Patents
超音波振動を利用した超音波モーターInfo
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
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-
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
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Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、弾性体と、該弾性体を励振させる圧電体と
を有する超音波振動を利用した超音波モーターに関す
る。 「従来の技術」 従来、超音波モーターを高効率で駆動するためには、
入力電源周波数を弾性体および圧電体からなるステータ
ーの共振周波数に一致させることが必要であると考えら
れていた。 「発明が解決しようとする問題点」 ところが、2相の交流電圧を電源とする構造のものに
おいて、実験および測定の結果、超音波モーターを該共
振周波数で駆動するように制御する場合には、トルクの
変動,各種環境の変化等により、該共振周波数が変動す
るので、(1)超音波モーターの挙動が不安定になり、
安定した性能が得られない、(2)該共振周波数を検知
し、これを維持する実用的な手段が得難い、(3)特
に、該共振周波数の変動により入力電源周波数が共振周
波数より低くなった場合には、超音波モーターの性能が
著しく低下する等の問題点が生じることが判明した。 本発明は、このような従来の問題点に着目して成され
たもので、共振周波数が変動した場合でも、安定して高
効率で駆動される超音波モーターを提供することを目的
としている。 「問題点を解決するための手段」 かかる目的を達成するための本発明の要旨とするとこ
ろは、 弾性体(2)と、同一周波数で且つ互いに所定の位相
差を有する2相の交流電圧が入力され該弾性体(2)に
超音波を励振させる圧電体(3)とを有するステーター
(10)と、該ステーター(10)により回動される回動部
材(20,9)と、前記交流電圧の周波数を制御する周波数
制御手段(40)とを備えた超音波振動を利用した超音波
モーターにおいて、 超音波モーターの出力状態を検出し検出信号を発する
検出手段(30)が設けられ、 前記ステーター(10)は、略円形状に形成されていて
前記回動部材(20,9)を回動方向に駆動するものであ
り、 前記圧電体(3)は、円周方向に複数個に分割された
電極(3a〜3d)を有し、該電極(3a〜3d)を介し該圧電
体(3)に前記2相の交流電圧が入力されて前記弾性体
(2)を励振するよう構成され、 前記周波数制御手段(40)は、前記検出手段(30)の
検出信号に基づいて、超音波モーターの共振周波数より
高い周波数の帯域においてのみ、超音波モーターを通常
駆動するように前記2相の交流電圧の周波数を共に制御
するものであることを特徴とする超音波振動を利用した
超音波モーターに存する。 「作用」 ステーターの圧電体に同一周波数で且つ互いに位相差
を有する2相の交流電圧が入力されると弾性体を励振さ
れる。2相の交流電圧は超音波モーターの共振周波数よ
り高い周波数の帯域においてのみ、超音波モーターを通
常駆動するように周波数制御手段により制御されてお
り、ステーターに接触している移動体は速度の不安定を
起こさず、騒音も発生せず、安定して移動駆動される。 「実施例」 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。 第1図および第2図は本発明の一実施例を示してい
る。 第2図に示すように、超音波モーター1は、弾性体2
と、該弾性体2を励振させる圧電体3とを有している。
該弾性体2には圧電体3が接着されており、圧電体3の
励振によって弾性体2に屈曲運動が生じるように成って
いる。この弾性体2と圧電体3とによりステーター10が
構成されている。 該ステーター10によって駆動されるローター母体4
の、弾性体2側の面には、摩擦係数の高い樹脂等のスラ
イダー5がコーティングされている。このローター母体
4とスライダー5とによりローター20が構成されてい
る。 ステーター10は、フェルト等の振動絶縁部材6を介し
て固定部7に支持されている。また、ローター20も、フ
ェルト等の振動絶縁部材8を介して回動部材9に支持さ
れている。従って、超音波モーター1の回動力を実際に
外部に出力するのは回動部材9である。 該回動部材9の一端面には、スラスト軸受11a〜11cが
配置されており、該スラスト軸受11a〜11cと固定部12と
の間にはウェーブワッシャー等のばね部材13が介装され
ている。該ばね部材13の付勢力は、スラスト軸受11a〜1
1c、回動部材9および振動絶縁部材8を介してローター
20に伝達されており、該ローター20のスライダー5はこ
の付勢力によってステーター10の弾性体2に圧接されて
いる。 第1図は、前記圧電体3に印加される交流電圧の電源
周波数(入力電源周波数)を制御する制御回路を示して
いる。 第1図に示すように、前記圧電体3はリング状に形成
されており、該圧電体3の、弾性体2と逆側の面には4
つのセグメント電極3a〜3dが焼成されている。 セグメント電極3aには正弦波の交流電圧が入力され、
またセグメント電極3bにはセグメント電極3aに入力され
る正弦波とπ/2だけ位相のずれた正弦波の交流電圧が入
力されている。セグメント電極3cはグランドに接続され
ている。また、交流電圧が印加されていないセグメント
電極3dからは、圧電体3の励振によって生じるモニター
電圧Vmntが検出される。 第1図に示す制御回路は、セグメント電極3dからのモ
ニター電圧Vmntを平滑化されたモニター電圧V′mntと
して検出するモニター電圧検出部30と、前記ステーター
10の共振周波数fcrよりも高い周波数領域において、平
滑化されたモニター電圧V′mntが所定の電圧値になる
ように、前記セグメント電極3a,3bに入力される交流電
圧の入力電源周波数fを制御する周波数制御部40とから
成っている。 該モニター電圧検出部30は、セグメント電極3dからの
モニターVmntを整流するダイオード31と、抵抗32および
コンデンサ33からなり、該ダイオード31からの電圧を平
滑化する積分回路と、抵抗34とから構成されており、該
抵抗34の出力端から平滑化されたモニター電圧V′mnt
が出力されるように成っている。 前記周波数制御部40は、演算増幅器41と、V−f変換
器42と、初期電圧発生器43と、位相器44と、アンプ45,4
6とから構成されている。 演算増幅器41の反転入力端子は抵抗34の出力端に接続
されており、該反転入力端子には平滑化されたモニター
電圧V′mntが入力されている。該演算増幅器41の非反
転入力端子は定電圧源47に接続されており、該非反転入
力端子には所定の電圧Vstが入力されている。この所定
の電圧Vstが平滑化されたモニター電圧V′mntの目標値
である。すなわち、該演算増幅器41の反転入力端子とそ
の出力端子の間には抵抗48が接続されており、該演算増
幅器41はこの2つの電圧の差信号△V(△V=Vst−
V′mnt)を出力するように成っている。 前記V−f変換器42は、演算増幅器41から出力される
電圧の差信号△Vを受け、この信号△Vの符号と大きさ
によって入力電源周波数fのシフト量(信号を含む)を
計算し、それまで出力していた入力電源周波数fに加算
した周波数(f+△f)の信号を出力するように成って
いる。 前記初期電圧発生器43は、超音波モーター1の起動時
にV−f変換器42に初期電圧V0を出力し、通常状態で変
化しうる超音波モーター1の共振周波数の最大値よりも
更に少し高い(例えば、10%程度高い)周波数の信号
(以下最大周波数の信号と称す)をV−f変換器42から
初期出力として出力させるためのものである。 前記位相器44は、超音波モーター1の回転方向によっ
てV−f変換器42からの出力(正弦波)の位相を+π/2
もしくは−π/2ずらす働きをするものである。 アンプ45,46は、V−f変換器42,位相器44からの出力
をそれぞれ増幅してセグメント電極3a,3bに送る働きを
するものである。 なお、第3図は、上記実施例における、前記入力電源
周波数fとモニター電圧Vmntとの関係を表わすモニター
電圧曲線、および前記ローター20の回転数Nとモニター
電圧Vmntとの関係を表わす回転数曲線を示している。 この第3図では、横軸に入力電源周波数fを、縦軸に
ローター20の回転数Nおよびモニター電圧Vmntをそれぞ
れ示してある。 第3図から明らかなように、モニター電圧Vmntはロー
ター20の回転数Nと強い相関を持っており、回転数Nが
最大値Nmaxとなるときの入力電源周波数をfcrとする
と、モニター電圧Vmntもこの周波数fcrにおいて最大値
Vmaxを示す。なお、この周波数fcrは超音波モーター1
の共振周波数でもある。 ここで、超音波モーター1の入力電源周波数fとして
最も理想的な周波数を求める為に、以下の実験を行っ
た。この実験でまず入力電源周波数fを共振周波数fcr
以下の周波数に設定し、徐々に周波数を上昇させて共振
周波数fcr以上の周波数まで変化させて測定結果を得
た。その結果、入力電源周波数fが共振周波数fcrよ
りも低い場合には、負荷トルクの増加により急激に回転
速度が低下したりして適当でなかった。入力電源周波
数fが共振周波数fcrに一致、ほぼ一致している場合に
は、回動中に騒音を発生したり、負荷トルクの増加によ
り急激に回転速度が低下したり、また駆動の再現性に乏
しく挙動が不安定である等により、適当ではなかった。
入力電源周波数fが共振周波数fcrよりも高い場合に
は、駆動の再現性が高く、且つ挙動も安定であり、駆動
効率が良かった。 そして、上記実施例では、該共振周波数fcrよりも高
い、制御目標となる理想的な周波数fd[(fd−fcr)
/fcr=0.01程度の周波数]に対応するモニター電圧を前
記所定の電圧Vstに設定してある。 以下、作用を説明する。 圧電体3のセグメント電極3a,3bに、互いにπ/2だけ
位相のずれた交流電圧がそれぞれ印加されると、該圧電
体3が例振され、該圧電体3の例振によって弾性体2に
屈曲運動が生じる。 このとき、ローター20のスライダー5はばね部材13の
付勢力によってステーター10の弾性体2に圧接されてい
るので、該弾性体2の屈曲運動によりローター20が回転
する。このローター20の回転が振動絶縁部材8を介して
回転部材9に伝達され、該回転部材9の回転により表面
波モーター1の回動力が外部に出力される。 このような超音波モーター1の起動は、前記初期電圧
発生器43からV−f変換器42に前記初期電圧V0を出力
し、該初期電圧V0により前記V−f変換器42が前記最大
周波数の信号を初期出力として出力し、この最大周波数
の信号がアンプ45を介してセグメント電極3aに、位相器
44およびアンプ46を介してセグメント電極3bにそれぞれ
入力されることによって行なわれる。 このようにして超音波モーター1が起動された際に
は、セグメント電極3dからは前記最大周波数の信号に対
応したモニター電圧Vmntが検出される。該最大周波数の
信号は第3図で示す前記周波数fdよりも周波数が大き
いので、該起動時にセグメント電極3dから検出されるモ
ニター電圧Vmntは、前記所定の電圧Vstよりも小さいこ
とが第3図から明らかである。 起動時にセグメント電極3dから検出されるモニター電
圧Vmntは、前記モニター電圧検出部30のダイオード31に
より整流され、抵抗32とコンデンサ33とから成る積分回
路によって平滑化され、抵抗34の出力端から平滑化され
たモニター電圧V′mntが演算増幅器41の反転入力端子
に送られる。 この平滑化されたモニター電圧V′mntも前記所定の
電圧Vstより小さいので、演算増幅器41から出力される
電圧の差信号△Vの符号は正となる。この正の△Vの信
号により、前記V−f変換器42は入力電源周波数のシフ
ト量△f(符号は負である)を計算し、それまで出力し
ていた前記最大周波数に該シフト量を加算した周波数
(f+△f)の信号を出力する。 この信号により、セグメント電極3a,3bに入力される
交流電圧の入力電源周波数fが徐々に低くなっていき、
該モニター電圧V′mntが所定の電圧Vstと一致した時点
で、前記△Vの信号が零となり、V−f変換器42から出
力される入力電源周波数fは、前記制御目標となる理想
的な周波数fdとなる。この理想的な周波数fdによって
超音波モーター1が安定して駆動される。 いま、第4図のモニター電圧曲線で示すように、第
3図で示した前記制御目標となる理想的な周波数fdに
対応する理想的な周波数をfd1とし、この理想的な周波
数fd1に対応するモニター電圧Vmntを所定の電圧Vstに
定しておき、該理想的な周波数fd1で超音波モーター1
を駆動している第1状態では、超音波モーター1の駆動
点はA点である。 このような第1状態が、トルク変動や、各種環境の変
化等により、モニター電圧曲線で示すような第2状態
に移動した場合には、入力電源周波数fが理想的な周波
数fd1のままであるため、超音波モーター1の駆動点が
A点からB点に移り、理想的な駆動点から外れることに
なる。第4図の場合には、駆動点が共振点Dに近ずく方
向に移動し、理想的な駆動点から外れるので、駆動が非
常に不安定になる。第4図の場合とは逆に、駆動点が共
振点Dから遠ざかる方向に外れる場合には、回転数Nが
下がり、起動トルクも小さくなる。 上述したように、駆動点がA点からB点に移ると、セ
グメント電極3dから検出されるモニター電圧Vmntは前記
所定の電圧Vstから電圧Vst2まで上昇する。これによ
り、前記演算増幅器41から電圧の差信号△V(符号は
負)が出力され、この△Vの信号により、前記V−f変
換器42は入力電源周波数のシフト量△f(符号は正)を
計算し、それまで出力していた前記最大周波数に該シフ
ト量を加算した周波数(f+△f)の信号を出力する。 この信号により、セグメント電極3a,3bに入力される
交流電圧の入力電源周波数fが徐々に高くなっていき、
前記モニター電圧V′mntが所定の電圧Vstと一致した駆
動点Cで、前記△Vの信号が零となり、このときV−f
変換器42から出力される入力電源周波数fは理想的な周
波数fd2となる。このようにして、モニター電圧曲線
で示すような第2状態において、入力電源周波数fが前
記所定の電圧Vstの対応した理想的な周波数fd2とな
り、理想的な駆動点で超音波モーター1が安定して駆動
される。 次に、その理想的な周波数fdを得るためのV−f変
換器42の構成について、第5図を用いて詳しく説明す
る。 初期電圧発生器43は電圧源431の出力側にスタートス
イッチSW1を有している。 V−f変換器42は、加算器421、クロックパルス発生
器422、ラッチ回路423、V−f変換素子424と、加算器4
21へ入力される初期電圧V0を加算された電圧に切り換え
る切換え回路425とを含み、ラッチ回路423はクロックパ
ルス発生器422からのパルス信号を入力する都度、その
とき入力される加圧器からの加算電圧(V+△V)を保
持してV−f変換素子424に出力するように構成されて
いる。 切換え回路425は、初期電圧発生器43からの初期電圧V
0を加算器421に送るための第1アナログスイッチSW2
と、ラッチ回路423から出力される加算電圧(V+△
V)を加算器421にフィードバックさせるための第2ア
ナログスイッチSW3を有し、さらに、これらの第1アナ
ログスイッチSW2,第2アナログスイッチSW3を選択的に
動作させるためのナンドゲートNANDとインバータINVと
初期電圧V0の印加により動作してナンドゲートNANDの一
方の入力端にHレベル信号を送るトランジスタTr1と、
V+△Hの印加により動作してナンドゲートNANDの他方
の入力端にHレベル信号を送るトランジスタTr2とを有
している。 これにより、スタートスイッチSW1がONとなった瞬間
には第1アナログスイッチSW2がON状態となり、初期電
圧V0が第1アナログスイッチSW2を介して加算器421に入
力されるが、ラッチ回路423から加算電圧(V+△V)
が出力されると、第1アナログスイッチSW2がOFFすると
同時に第2アナログスイッチSW3がON状態になり、その
加算電圧(V+△V)が加算器421に入力されるよう構
成されている。 次に、上記の如く構成された実施例の作用について詳
しく説明する。 圧電体3のセグメント電極3a,3bに、互いにπ/2だけ
位相のずれた交流電圧がそれぞれ印加されると、圧電体
3が励振され、圧電体3の励振によって弾性体2に屈曲
運転が生じる。このとき、ローター20のスライダー5は
ばね部材13の付勢力によってステーター10の弾性体2に
圧接されているので、弾性体2の屈曲運動によりロータ
ー20が回転する。このローター20の回転が振動絶縁部材
8を介して回転部材9に伝達され、該回転部材9の回転
により超音波モーター1の回転力が外部に出力される。 このような超音波モーター1の起動は、スタートスイ
ッチSW1の閉成によって行われ、初期電圧発生器43から
V−f変換器42に初期電圧V0が出力される。 ここで、V−f変換器42の動作を第6図に示すタイム
チャートを用いて説明する。 第6図において、符号(A)〜(I)はそれぞれ第5
図の回路中に示す対応位置A〜Iにおける電圧の変化を
示す。 スタートスイッチSW1がONすると、第5図中でA点に
おける電位は第6図(A)に示すように直ちに初期電圧
V0をとる。また、そのスタートスイッチSW1のONした時
点t1からすこし遅れた時点t2から、第6図(D)に示す
ようにクロックパルスがラッチ回路423に入力され、ラ
ッチ回路423が動作を開始する。 点Aの電位がV0になるとトランジスタTr1が動作状態
となり、ナンドゲートNANDの一方の入力端Bに電圧Vcc
が第6図(B)に示すように入力される。しかし、時点
t2に達するまでは、第6図(I)に示すように、ラッチ
回路423は動作せずI点に電圧が生じないのでトランジ
スタTr2は不動作状態におかれ、従って、ナンドゲートN
ANDの他方の入力端Cには電圧が印加されない。 ナンドゲートNANDの出力端Eは第6図(E)に示すよ
うにHレベルとなり、インバータINVの出力端はLレベ
ルとなる。そのため、第1アナログスイッチSW2は普通
状態となり、F点の電位は第6図(F)に示すように初
期電圧V0となり、加算器421に入力される。 一方t1時点ではまだ演算増幅器41が動作しないから差
信号△Vは発生しない(△V=0)。そのため、加算器
421からは第6図(H)に示すように初期電圧V0が出力
される。 ラッチ回路423は、最初のクッロクルスを入力した時
点t2で、第6図(I)に示すように、初期電圧V0をV−
f変換素子424に出力する。V−f変換素子424は、理想
周波数fdよりも大きい前記の最大周波数f0を初期電圧V
0に対応して初期出力として出力する。(第3図参照) この最大周波数の信号f0がアンプ45を介してセグメン
ト電極3a,3bに、また位相器44およびアンプ46を介して
セグメント電極3bにそれぞれ入力されることによって超
音波モーター1の起動が行なわれる。このようにして超
音波モーター1が起動される際には、セグメント電極3d
から前記最大周波数の信号f0に対応したモニター電圧Vm
ntが検出される。該最大周波数の信号f0は第3図で示す
前記理想周波数fdよりも周波数が大きいので、該起動
時にセグメント電極3dから検出されるモニター電圧Vmnt
は、前記所定の電圧Vstよりも小さいことが第3図から
明らかである。 起動時にセグメント電極3dから検出されるモニター電
圧Vmntは、モニター電圧検出回路30のダイオード31によ
り整流され、抵抗32とコンデンサ33とから成る積分回路
によって平滑化され、抵抗34の出力端から平滑化された
モニター電圧V′mntが演算増幅器41の反転入力端子に
送られる。この平滑化されたモニター電圧V′mntも前
記所定の電圧Vstより小さいので演算増幅器41から出力
される△V1の符号は正となる。 一方、ラッチ回路423から電圧V0の初期電圧が出力さ
れると、トランジスタTr2は動作状態となり、ナンドゲ
ートNANDの他方の入力端に第6図(C)に示すように電
圧Vccが入力され、ナンドゲートNANDの出力端EはLレ
ベルとなる。従って、第1アナログスイッチSW2は不導
通状態となり、またインバータINVの出力端からHレベ
ル信号が出力されて第2アナログスイッチSW3が導通状
態となる。 その為、ラッチ回路423からの出力電圧である初期電
圧V0がF点を介して加算器421にフィードバックされ、t
2時点において第6図(F)に示すように、F点の電位
は引き続き初期電圧V0のまま維持される。 そこで、加算器421は、第6図(H)に示すように初
期電圧V0に演算増幅器からの第1次差信号△V1を加算し
た第1次加算電圧(V0+△V1)を出力する。この第1次
加算電圧(V0+△V1)は、t3時点において第6図(I)
に示すように、ラッチ回路423から第1次加算電圧(V0
+△V1)がV−f変換素子424に出力されると同時に第
2アナログスイッチSW3を介して加算器421にフィードバ
ックされる。 V−f変換素子424は、その第1次加算電圧(V0+△V
1)に基づいて入力電源周波数のシフト量△f1(符号は
負である)を初期電圧V0に対応する最大周波数f0に加算
して周波数(f0+△f1)の信号を出力する。 その周波数(f0+△f1)に対応してモニター電圧検出
回路から出力されるモニター電圧V′mntは前記所定の
電圧Vstよりわずかに高くなるように設定されており、
演算増幅器41から出力される第2次差信号△V2は、第6
図(G)に示すように負となる。この値△V2は加算器42
1において、フィードバックされた第1次加算電圧(V0
+△V1)と加算されて第2次加算電圧[(V0+△V1)+
△V2]として第6図(H)に示すようにラッチ回路423
に出力される。 このラッチ回路423は、次のパルス入力時点t4におい
て、第6図(I)に示すように第2次加算電圧[(V0+
△V1)+△V2]を出力し、V−f変換素子424は、この
第2次加算電圧[(V0+△V1)+△V2]に対応する周波
数(f0+△f2)を出力する。この周波数(f0+△f2)に
対応するモニター電圧V′mntは前記所定の電圧Vstにさ
らに近づき、第6図(G)に示すように演算増幅器41か
ら第3次差信号△V3が出力される。 この第3次差信号△V3は加算器421にフィードバック
された第2次加算電圧[(V0+△V1)+△V2]に加算さ
れて、第3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]と
して、第6図(H)に示すように加算器421からラッチ
回路423に出力される。ラッチ回路423は次のパルス入力
時点t5において、第6図(I)に示すようにその第3次
加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]を出力する。 この第3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]を
受けたV−f変換素子424は、これに基づいてシフト量
△f3を最大周波数f0に加算して、周波数(f0+△f3)の
信号を出力する。この信号に対応するモニター電圧V′
mntが前記所定の電圧Vstと一致するとき、演算増幅器41
から出力される第4次差信号△V4は第6図(G)に示す
ように0(ゼロ)となり、加算器421には入力されな
い。従ってその後は、加算器421からの出力電圧は、第
6図(H)の時点t6に示すように第3次加算電圧[(V0
+△V1+△V2)+△V3]と等しい電圧が出力する。 これにより、ラッチ回路423から出力される電圧も第
3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]と等しい電
圧となり、V−f変換素子424から(f0+△f3=fd)の
周波数が引き続いて出力される。 またもし、V−f変換素子424から出力される周波数
(f0+△f3)に対応するモニター電圧V′mntが前記所
定の電圧Vstに達しないときは、さらに第4次差信号△V
4が第3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]に加
算され、以後V−f変換素子424、演算増幅器41および
加算器421と操返し動作によって、モニター電圧V′mnt
は前記所定の電圧Vstに等しくなり、差信号△Vが0
(ゼロ)となり、上記の如くしてV−f変換器42からの
信号(f0+△f)により、セグメント電極3a,3bに入力
される交流電圧の入力電源周波数fが徐々に低くなって
いき、該モニター電圧V′mntが上昇して前記所定の電
圧Vstと一致した時点で、前記△Vの信号が0(ゼロ)
となり、V−f変換器42から出力される入力電源周波数
fは、前記制御目標となる理想周波数fdとなる。この
理想周波数fdによって超音波モーター1が安定して駆
動される。 第7図は、理想的な周波数fdを得るためのV−f変
換器を有する制御回路の他の実施例を示している。 V−f変換器42は、加算器51、ラッチ回路52、加算器
53、V−f変換素子54を有し、初期電圧発生器55からの
出力である初期電圧V0が接続するクロッパルス発生器56
が設けられ、クロックパルス発生器56の出力は前記ラッ
チ回路52に接続し、加算器53にラッチ回路52の出力と初
期電圧V0とが接続している。ラッチ回路52の出力は加算
器51にフィードバックされている。加算器53の出力はV
−f変換素子54に出力するよう構成されている。 次に、上記の如く構成された実施例の作用について説
明する。 表面波モーター1の起動は、スタートスイッチSW1の
閉成によって行われ、初期電圧発生器55からV−f変換
器に初期電圧V0が出力される。 V−f変換器の動作は第8図に示すタイムチャートを
用いて説明する。 第8図において、符号(A)〜(F)はそれぞれ第7
図の回路中に示す対応位置A〜Fにおける電圧の変化を
示す。 スタートスイッチSW1がONすると、第7図中でA点に
おける電位は第8図(A)に示すように直ちに初期電圧
V0をとり、B点は電位0、C点もラッチ回路52がまだ不
作動のため電位0、D点は初期電圧V0を示し、E点は△
V1、F点も△V1である。 V−f変換素子54には初期電圧V0が入力し、V−f変
換素子54は、理想周波数fdよりも大きい最大周波数f0
を初期電圧V0に対応して初期出力として出力する。 この最大周波数の信号f0がアンプ45を介してセグメン
ト電極3a,3bに、また位相器44およびアンプ46を介して
セグメント電極3bにそれぞれ入力することによって超音
波モーター1の起動が行なわれる。 スタートスイッチSW1がONした時点t1からすこし遅れ
た時点t2から、第8図(B)に示すようにクロックパル
ス発生器56によるクロックパルスがラッチ回路52に入力
され、ラッチ回路52が動作を開始する。第7図に示すよ
うに、クロックパルス発生器56の出力(B)はH、加算
器51には(E)の第2次差信号△V2が入力しており、ラ
ッチ回路52の出力のフイードバックとの合成により、加
算器51の出力(F)は(C)+(E)=△V1+△V2、ラ
ッチ回路52の出力(C)は△V1、加算器53の出力(D)
は第1次加算電圧であって(A)+(C)=V0+△V1で
ある0 この第1次加算電圧(V0+△V1)がV−f変換素子54
に出力されると、V−f変換素子54は、その第1次加算
電圧(V0+△V1)に基づいて入力電源周波数のシフト量
△f1(符号は負である)を初期電圧V0に対応する最大周
波数f0に加算して周波数(f0+△f1)の信号を出力す
る。 次に時点T3では、クロックパルス発生器56の出力
(B)はH、加算器51にはモニター電圧V′mnt=Vstで
安定状態になって(E)=0が入力し、その結果、ラッ
チ回路52の出力のフイードバックとの合成により、加算
器51の出力(F)は(C)+(E)=△V1+△V2、ラッ
チ回路52の出力(C)は△V1+△V2、加算器53の出力
(D)は第2次加算電圧であって(A)+(C)=V0+
△V1+△V2である。 この第2次加算電圧(V0+△V1+△V2)がV−f変換
素子54に出力されると、V−f変換素子54はさらに△f2
を加算して、周波数(f0+△f1+△f2)の信号を出力す
る。 時点T4では、同様に、クロックパルス発生器56の出力
(B)はH、ラッチ回路52の出力(C)は△V1+△V2,
加算器53の出力(D)第2次加算電圧を持続する。 以後は上記動作を操返し、前記制御目標となる理想周
波数fdによって超音波モーター1が安定して駆動され
る。 「発明の効果」 本発明に係る2相の交流電圧を電源とする構造の超音
波モーターによれば、周波数制御手段が、ステータの共
振周波数より高い周波数帯域において入力電源周波数を
制御しているので、安定して高効率で駆動され、かつ極
めて実用的である。
を有する超音波振動を利用した超音波モーターに関す
る。 「従来の技術」 従来、超音波モーターを高効率で駆動するためには、
入力電源周波数を弾性体および圧電体からなるステータ
ーの共振周波数に一致させることが必要であると考えら
れていた。 「発明が解決しようとする問題点」 ところが、2相の交流電圧を電源とする構造のものに
おいて、実験および測定の結果、超音波モーターを該共
振周波数で駆動するように制御する場合には、トルクの
変動,各種環境の変化等により、該共振周波数が変動す
るので、(1)超音波モーターの挙動が不安定になり、
安定した性能が得られない、(2)該共振周波数を検知
し、これを維持する実用的な手段が得難い、(3)特
に、該共振周波数の変動により入力電源周波数が共振周
波数より低くなった場合には、超音波モーターの性能が
著しく低下する等の問題点が生じることが判明した。 本発明は、このような従来の問題点に着目して成され
たもので、共振周波数が変動した場合でも、安定して高
効率で駆動される超音波モーターを提供することを目的
としている。 「問題点を解決するための手段」 かかる目的を達成するための本発明の要旨とするとこ
ろは、 弾性体(2)と、同一周波数で且つ互いに所定の位相
差を有する2相の交流電圧が入力され該弾性体(2)に
超音波を励振させる圧電体(3)とを有するステーター
(10)と、該ステーター(10)により回動される回動部
材(20,9)と、前記交流電圧の周波数を制御する周波数
制御手段(40)とを備えた超音波振動を利用した超音波
モーターにおいて、 超音波モーターの出力状態を検出し検出信号を発する
検出手段(30)が設けられ、 前記ステーター(10)は、略円形状に形成されていて
前記回動部材(20,9)を回動方向に駆動するものであ
り、 前記圧電体(3)は、円周方向に複数個に分割された
電極(3a〜3d)を有し、該電極(3a〜3d)を介し該圧電
体(3)に前記2相の交流電圧が入力されて前記弾性体
(2)を励振するよう構成され、 前記周波数制御手段(40)は、前記検出手段(30)の
検出信号に基づいて、超音波モーターの共振周波数より
高い周波数の帯域においてのみ、超音波モーターを通常
駆動するように前記2相の交流電圧の周波数を共に制御
するものであることを特徴とする超音波振動を利用した
超音波モーターに存する。 「作用」 ステーターの圧電体に同一周波数で且つ互いに位相差
を有する2相の交流電圧が入力されると弾性体を励振さ
れる。2相の交流電圧は超音波モーターの共振周波数よ
り高い周波数の帯域においてのみ、超音波モーターを通
常駆動するように周波数制御手段により制御されてお
り、ステーターに接触している移動体は速度の不安定を
起こさず、騒音も発生せず、安定して移動駆動される。 「実施例」 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。 第1図および第2図は本発明の一実施例を示してい
る。 第2図に示すように、超音波モーター1は、弾性体2
と、該弾性体2を励振させる圧電体3とを有している。
該弾性体2には圧電体3が接着されており、圧電体3の
励振によって弾性体2に屈曲運動が生じるように成って
いる。この弾性体2と圧電体3とによりステーター10が
構成されている。 該ステーター10によって駆動されるローター母体4
の、弾性体2側の面には、摩擦係数の高い樹脂等のスラ
イダー5がコーティングされている。このローター母体
4とスライダー5とによりローター20が構成されてい
る。 ステーター10は、フェルト等の振動絶縁部材6を介し
て固定部7に支持されている。また、ローター20も、フ
ェルト等の振動絶縁部材8を介して回動部材9に支持さ
れている。従って、超音波モーター1の回動力を実際に
外部に出力するのは回動部材9である。 該回動部材9の一端面には、スラスト軸受11a〜11cが
配置されており、該スラスト軸受11a〜11cと固定部12と
の間にはウェーブワッシャー等のばね部材13が介装され
ている。該ばね部材13の付勢力は、スラスト軸受11a〜1
1c、回動部材9および振動絶縁部材8を介してローター
20に伝達されており、該ローター20のスライダー5はこ
の付勢力によってステーター10の弾性体2に圧接されて
いる。 第1図は、前記圧電体3に印加される交流電圧の電源
周波数(入力電源周波数)を制御する制御回路を示して
いる。 第1図に示すように、前記圧電体3はリング状に形成
されており、該圧電体3の、弾性体2と逆側の面には4
つのセグメント電極3a〜3dが焼成されている。 セグメント電極3aには正弦波の交流電圧が入力され、
またセグメント電極3bにはセグメント電極3aに入力され
る正弦波とπ/2だけ位相のずれた正弦波の交流電圧が入
力されている。セグメント電極3cはグランドに接続され
ている。また、交流電圧が印加されていないセグメント
電極3dからは、圧電体3の励振によって生じるモニター
電圧Vmntが検出される。 第1図に示す制御回路は、セグメント電極3dからのモ
ニター電圧Vmntを平滑化されたモニター電圧V′mntと
して検出するモニター電圧検出部30と、前記ステーター
10の共振周波数fcrよりも高い周波数領域において、平
滑化されたモニター電圧V′mntが所定の電圧値になる
ように、前記セグメント電極3a,3bに入力される交流電
圧の入力電源周波数fを制御する周波数制御部40とから
成っている。 該モニター電圧検出部30は、セグメント電極3dからの
モニターVmntを整流するダイオード31と、抵抗32および
コンデンサ33からなり、該ダイオード31からの電圧を平
滑化する積分回路と、抵抗34とから構成されており、該
抵抗34の出力端から平滑化されたモニター電圧V′mnt
が出力されるように成っている。 前記周波数制御部40は、演算増幅器41と、V−f変換
器42と、初期電圧発生器43と、位相器44と、アンプ45,4
6とから構成されている。 演算増幅器41の反転入力端子は抵抗34の出力端に接続
されており、該反転入力端子には平滑化されたモニター
電圧V′mntが入力されている。該演算増幅器41の非反
転入力端子は定電圧源47に接続されており、該非反転入
力端子には所定の電圧Vstが入力されている。この所定
の電圧Vstが平滑化されたモニター電圧V′mntの目標値
である。すなわち、該演算増幅器41の反転入力端子とそ
の出力端子の間には抵抗48が接続されており、該演算増
幅器41はこの2つの電圧の差信号△V(△V=Vst−
V′mnt)を出力するように成っている。 前記V−f変換器42は、演算増幅器41から出力される
電圧の差信号△Vを受け、この信号△Vの符号と大きさ
によって入力電源周波数fのシフト量(信号を含む)を
計算し、それまで出力していた入力電源周波数fに加算
した周波数(f+△f)の信号を出力するように成って
いる。 前記初期電圧発生器43は、超音波モーター1の起動時
にV−f変換器42に初期電圧V0を出力し、通常状態で変
化しうる超音波モーター1の共振周波数の最大値よりも
更に少し高い(例えば、10%程度高い)周波数の信号
(以下最大周波数の信号と称す)をV−f変換器42から
初期出力として出力させるためのものである。 前記位相器44は、超音波モーター1の回転方向によっ
てV−f変換器42からの出力(正弦波)の位相を+π/2
もしくは−π/2ずらす働きをするものである。 アンプ45,46は、V−f変換器42,位相器44からの出力
をそれぞれ増幅してセグメント電極3a,3bに送る働きを
するものである。 なお、第3図は、上記実施例における、前記入力電源
周波数fとモニター電圧Vmntとの関係を表わすモニター
電圧曲線、および前記ローター20の回転数Nとモニター
電圧Vmntとの関係を表わす回転数曲線を示している。 この第3図では、横軸に入力電源周波数fを、縦軸に
ローター20の回転数Nおよびモニター電圧Vmntをそれぞ
れ示してある。 第3図から明らかなように、モニター電圧Vmntはロー
ター20の回転数Nと強い相関を持っており、回転数Nが
最大値Nmaxとなるときの入力電源周波数をfcrとする
と、モニター電圧Vmntもこの周波数fcrにおいて最大値
Vmaxを示す。なお、この周波数fcrは超音波モーター1
の共振周波数でもある。 ここで、超音波モーター1の入力電源周波数fとして
最も理想的な周波数を求める為に、以下の実験を行っ
た。この実験でまず入力電源周波数fを共振周波数fcr
以下の周波数に設定し、徐々に周波数を上昇させて共振
周波数fcr以上の周波数まで変化させて測定結果を得
た。その結果、入力電源周波数fが共振周波数fcrよ
りも低い場合には、負荷トルクの増加により急激に回転
速度が低下したりして適当でなかった。入力電源周波
数fが共振周波数fcrに一致、ほぼ一致している場合に
は、回動中に騒音を発生したり、負荷トルクの増加によ
り急激に回転速度が低下したり、また駆動の再現性に乏
しく挙動が不安定である等により、適当ではなかった。
入力電源周波数fが共振周波数fcrよりも高い場合に
は、駆動の再現性が高く、且つ挙動も安定であり、駆動
効率が良かった。 そして、上記実施例では、該共振周波数fcrよりも高
い、制御目標となる理想的な周波数fd[(fd−fcr)
/fcr=0.01程度の周波数]に対応するモニター電圧を前
記所定の電圧Vstに設定してある。 以下、作用を説明する。 圧電体3のセグメント電極3a,3bに、互いにπ/2だけ
位相のずれた交流電圧がそれぞれ印加されると、該圧電
体3が例振され、該圧電体3の例振によって弾性体2に
屈曲運動が生じる。 このとき、ローター20のスライダー5はばね部材13の
付勢力によってステーター10の弾性体2に圧接されてい
るので、該弾性体2の屈曲運動によりローター20が回転
する。このローター20の回転が振動絶縁部材8を介して
回転部材9に伝達され、該回転部材9の回転により表面
波モーター1の回動力が外部に出力される。 このような超音波モーター1の起動は、前記初期電圧
発生器43からV−f変換器42に前記初期電圧V0を出力
し、該初期電圧V0により前記V−f変換器42が前記最大
周波数の信号を初期出力として出力し、この最大周波数
の信号がアンプ45を介してセグメント電極3aに、位相器
44およびアンプ46を介してセグメント電極3bにそれぞれ
入力されることによって行なわれる。 このようにして超音波モーター1が起動された際に
は、セグメント電極3dからは前記最大周波数の信号に対
応したモニター電圧Vmntが検出される。該最大周波数の
信号は第3図で示す前記周波数fdよりも周波数が大き
いので、該起動時にセグメント電極3dから検出されるモ
ニター電圧Vmntは、前記所定の電圧Vstよりも小さいこ
とが第3図から明らかである。 起動時にセグメント電極3dから検出されるモニター電
圧Vmntは、前記モニター電圧検出部30のダイオード31に
より整流され、抵抗32とコンデンサ33とから成る積分回
路によって平滑化され、抵抗34の出力端から平滑化され
たモニター電圧V′mntが演算増幅器41の反転入力端子
に送られる。 この平滑化されたモニター電圧V′mntも前記所定の
電圧Vstより小さいので、演算増幅器41から出力される
電圧の差信号△Vの符号は正となる。この正の△Vの信
号により、前記V−f変換器42は入力電源周波数のシフ
ト量△f(符号は負である)を計算し、それまで出力し
ていた前記最大周波数に該シフト量を加算した周波数
(f+△f)の信号を出力する。 この信号により、セグメント電極3a,3bに入力される
交流電圧の入力電源周波数fが徐々に低くなっていき、
該モニター電圧V′mntが所定の電圧Vstと一致した時点
で、前記△Vの信号が零となり、V−f変換器42から出
力される入力電源周波数fは、前記制御目標となる理想
的な周波数fdとなる。この理想的な周波数fdによって
超音波モーター1が安定して駆動される。 いま、第4図のモニター電圧曲線で示すように、第
3図で示した前記制御目標となる理想的な周波数fdに
対応する理想的な周波数をfd1とし、この理想的な周波
数fd1に対応するモニター電圧Vmntを所定の電圧Vstに
定しておき、該理想的な周波数fd1で超音波モーター1
を駆動している第1状態では、超音波モーター1の駆動
点はA点である。 このような第1状態が、トルク変動や、各種環境の変
化等により、モニター電圧曲線で示すような第2状態
に移動した場合には、入力電源周波数fが理想的な周波
数fd1のままであるため、超音波モーター1の駆動点が
A点からB点に移り、理想的な駆動点から外れることに
なる。第4図の場合には、駆動点が共振点Dに近ずく方
向に移動し、理想的な駆動点から外れるので、駆動が非
常に不安定になる。第4図の場合とは逆に、駆動点が共
振点Dから遠ざかる方向に外れる場合には、回転数Nが
下がり、起動トルクも小さくなる。 上述したように、駆動点がA点からB点に移ると、セ
グメント電極3dから検出されるモニター電圧Vmntは前記
所定の電圧Vstから電圧Vst2まで上昇する。これによ
り、前記演算増幅器41から電圧の差信号△V(符号は
負)が出力され、この△Vの信号により、前記V−f変
換器42は入力電源周波数のシフト量△f(符号は正)を
計算し、それまで出力していた前記最大周波数に該シフ
ト量を加算した周波数(f+△f)の信号を出力する。 この信号により、セグメント電極3a,3bに入力される
交流電圧の入力電源周波数fが徐々に高くなっていき、
前記モニター電圧V′mntが所定の電圧Vstと一致した駆
動点Cで、前記△Vの信号が零となり、このときV−f
変換器42から出力される入力電源周波数fは理想的な周
波数fd2となる。このようにして、モニター電圧曲線
で示すような第2状態において、入力電源周波数fが前
記所定の電圧Vstの対応した理想的な周波数fd2とな
り、理想的な駆動点で超音波モーター1が安定して駆動
される。 次に、その理想的な周波数fdを得るためのV−f変
換器42の構成について、第5図を用いて詳しく説明す
る。 初期電圧発生器43は電圧源431の出力側にスタートス
イッチSW1を有している。 V−f変換器42は、加算器421、クロックパルス発生
器422、ラッチ回路423、V−f変換素子424と、加算器4
21へ入力される初期電圧V0を加算された電圧に切り換え
る切換え回路425とを含み、ラッチ回路423はクロックパ
ルス発生器422からのパルス信号を入力する都度、その
とき入力される加圧器からの加算電圧(V+△V)を保
持してV−f変換素子424に出力するように構成されて
いる。 切換え回路425は、初期電圧発生器43からの初期電圧V
0を加算器421に送るための第1アナログスイッチSW2
と、ラッチ回路423から出力される加算電圧(V+△
V)を加算器421にフィードバックさせるための第2ア
ナログスイッチSW3を有し、さらに、これらの第1アナ
ログスイッチSW2,第2アナログスイッチSW3を選択的に
動作させるためのナンドゲートNANDとインバータINVと
初期電圧V0の印加により動作してナンドゲートNANDの一
方の入力端にHレベル信号を送るトランジスタTr1と、
V+△Hの印加により動作してナンドゲートNANDの他方
の入力端にHレベル信号を送るトランジスタTr2とを有
している。 これにより、スタートスイッチSW1がONとなった瞬間
には第1アナログスイッチSW2がON状態となり、初期電
圧V0が第1アナログスイッチSW2を介して加算器421に入
力されるが、ラッチ回路423から加算電圧(V+△V)
が出力されると、第1アナログスイッチSW2がOFFすると
同時に第2アナログスイッチSW3がON状態になり、その
加算電圧(V+△V)が加算器421に入力されるよう構
成されている。 次に、上記の如く構成された実施例の作用について詳
しく説明する。 圧電体3のセグメント電極3a,3bに、互いにπ/2だけ
位相のずれた交流電圧がそれぞれ印加されると、圧電体
3が励振され、圧電体3の励振によって弾性体2に屈曲
運転が生じる。このとき、ローター20のスライダー5は
ばね部材13の付勢力によってステーター10の弾性体2に
圧接されているので、弾性体2の屈曲運動によりロータ
ー20が回転する。このローター20の回転が振動絶縁部材
8を介して回転部材9に伝達され、該回転部材9の回転
により超音波モーター1の回転力が外部に出力される。 このような超音波モーター1の起動は、スタートスイ
ッチSW1の閉成によって行われ、初期電圧発生器43から
V−f変換器42に初期電圧V0が出力される。 ここで、V−f変換器42の動作を第6図に示すタイム
チャートを用いて説明する。 第6図において、符号(A)〜(I)はそれぞれ第5
図の回路中に示す対応位置A〜Iにおける電圧の変化を
示す。 スタートスイッチSW1がONすると、第5図中でA点に
おける電位は第6図(A)に示すように直ちに初期電圧
V0をとる。また、そのスタートスイッチSW1のONした時
点t1からすこし遅れた時点t2から、第6図(D)に示す
ようにクロックパルスがラッチ回路423に入力され、ラ
ッチ回路423が動作を開始する。 点Aの電位がV0になるとトランジスタTr1が動作状態
となり、ナンドゲートNANDの一方の入力端Bに電圧Vcc
が第6図(B)に示すように入力される。しかし、時点
t2に達するまでは、第6図(I)に示すように、ラッチ
回路423は動作せずI点に電圧が生じないのでトランジ
スタTr2は不動作状態におかれ、従って、ナンドゲートN
ANDの他方の入力端Cには電圧が印加されない。 ナンドゲートNANDの出力端Eは第6図(E)に示すよ
うにHレベルとなり、インバータINVの出力端はLレベ
ルとなる。そのため、第1アナログスイッチSW2は普通
状態となり、F点の電位は第6図(F)に示すように初
期電圧V0となり、加算器421に入力される。 一方t1時点ではまだ演算増幅器41が動作しないから差
信号△Vは発生しない(△V=0)。そのため、加算器
421からは第6図(H)に示すように初期電圧V0が出力
される。 ラッチ回路423は、最初のクッロクルスを入力した時
点t2で、第6図(I)に示すように、初期電圧V0をV−
f変換素子424に出力する。V−f変換素子424は、理想
周波数fdよりも大きい前記の最大周波数f0を初期電圧V
0に対応して初期出力として出力する。(第3図参照) この最大周波数の信号f0がアンプ45を介してセグメン
ト電極3a,3bに、また位相器44およびアンプ46を介して
セグメント電極3bにそれぞれ入力されることによって超
音波モーター1の起動が行なわれる。このようにして超
音波モーター1が起動される際には、セグメント電極3d
から前記最大周波数の信号f0に対応したモニター電圧Vm
ntが検出される。該最大周波数の信号f0は第3図で示す
前記理想周波数fdよりも周波数が大きいので、該起動
時にセグメント電極3dから検出されるモニター電圧Vmnt
は、前記所定の電圧Vstよりも小さいことが第3図から
明らかである。 起動時にセグメント電極3dから検出されるモニター電
圧Vmntは、モニター電圧検出回路30のダイオード31によ
り整流され、抵抗32とコンデンサ33とから成る積分回路
によって平滑化され、抵抗34の出力端から平滑化された
モニター電圧V′mntが演算増幅器41の反転入力端子に
送られる。この平滑化されたモニター電圧V′mntも前
記所定の電圧Vstより小さいので演算増幅器41から出力
される△V1の符号は正となる。 一方、ラッチ回路423から電圧V0の初期電圧が出力さ
れると、トランジスタTr2は動作状態となり、ナンドゲ
ートNANDの他方の入力端に第6図(C)に示すように電
圧Vccが入力され、ナンドゲートNANDの出力端EはLレ
ベルとなる。従って、第1アナログスイッチSW2は不導
通状態となり、またインバータINVの出力端からHレベ
ル信号が出力されて第2アナログスイッチSW3が導通状
態となる。 その為、ラッチ回路423からの出力電圧である初期電
圧V0がF点を介して加算器421にフィードバックされ、t
2時点において第6図(F)に示すように、F点の電位
は引き続き初期電圧V0のまま維持される。 そこで、加算器421は、第6図(H)に示すように初
期電圧V0に演算増幅器からの第1次差信号△V1を加算し
た第1次加算電圧(V0+△V1)を出力する。この第1次
加算電圧(V0+△V1)は、t3時点において第6図(I)
に示すように、ラッチ回路423から第1次加算電圧(V0
+△V1)がV−f変換素子424に出力されると同時に第
2アナログスイッチSW3を介して加算器421にフィードバ
ックされる。 V−f変換素子424は、その第1次加算電圧(V0+△V
1)に基づいて入力電源周波数のシフト量△f1(符号は
負である)を初期電圧V0に対応する最大周波数f0に加算
して周波数(f0+△f1)の信号を出力する。 その周波数(f0+△f1)に対応してモニター電圧検出
回路から出力されるモニター電圧V′mntは前記所定の
電圧Vstよりわずかに高くなるように設定されており、
演算増幅器41から出力される第2次差信号△V2は、第6
図(G)に示すように負となる。この値△V2は加算器42
1において、フィードバックされた第1次加算電圧(V0
+△V1)と加算されて第2次加算電圧[(V0+△V1)+
△V2]として第6図(H)に示すようにラッチ回路423
に出力される。 このラッチ回路423は、次のパルス入力時点t4におい
て、第6図(I)に示すように第2次加算電圧[(V0+
△V1)+△V2]を出力し、V−f変換素子424は、この
第2次加算電圧[(V0+△V1)+△V2]に対応する周波
数(f0+△f2)を出力する。この周波数(f0+△f2)に
対応するモニター電圧V′mntは前記所定の電圧Vstにさ
らに近づき、第6図(G)に示すように演算増幅器41か
ら第3次差信号△V3が出力される。 この第3次差信号△V3は加算器421にフィードバック
された第2次加算電圧[(V0+△V1)+△V2]に加算さ
れて、第3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]と
して、第6図(H)に示すように加算器421からラッチ
回路423に出力される。ラッチ回路423は次のパルス入力
時点t5において、第6図(I)に示すようにその第3次
加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]を出力する。 この第3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]を
受けたV−f変換素子424は、これに基づいてシフト量
△f3を最大周波数f0に加算して、周波数(f0+△f3)の
信号を出力する。この信号に対応するモニター電圧V′
mntが前記所定の電圧Vstと一致するとき、演算増幅器41
から出力される第4次差信号△V4は第6図(G)に示す
ように0(ゼロ)となり、加算器421には入力されな
い。従ってその後は、加算器421からの出力電圧は、第
6図(H)の時点t6に示すように第3次加算電圧[(V0
+△V1+△V2)+△V3]と等しい電圧が出力する。 これにより、ラッチ回路423から出力される電圧も第
3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]と等しい電
圧となり、V−f変換素子424から(f0+△f3=fd)の
周波数が引き続いて出力される。 またもし、V−f変換素子424から出力される周波数
(f0+△f3)に対応するモニター電圧V′mntが前記所
定の電圧Vstに達しないときは、さらに第4次差信号△V
4が第3次加算電圧[(V0+△V1+△V2)+△V3]に加
算され、以後V−f変換素子424、演算増幅器41および
加算器421と操返し動作によって、モニター電圧V′mnt
は前記所定の電圧Vstに等しくなり、差信号△Vが0
(ゼロ)となり、上記の如くしてV−f変換器42からの
信号(f0+△f)により、セグメント電極3a,3bに入力
される交流電圧の入力電源周波数fが徐々に低くなって
いき、該モニター電圧V′mntが上昇して前記所定の電
圧Vstと一致した時点で、前記△Vの信号が0(ゼロ)
となり、V−f変換器42から出力される入力電源周波数
fは、前記制御目標となる理想周波数fdとなる。この
理想周波数fdによって超音波モーター1が安定して駆
動される。 第7図は、理想的な周波数fdを得るためのV−f変
換器を有する制御回路の他の実施例を示している。 V−f変換器42は、加算器51、ラッチ回路52、加算器
53、V−f変換素子54を有し、初期電圧発生器55からの
出力である初期電圧V0が接続するクロッパルス発生器56
が設けられ、クロックパルス発生器56の出力は前記ラッ
チ回路52に接続し、加算器53にラッチ回路52の出力と初
期電圧V0とが接続している。ラッチ回路52の出力は加算
器51にフィードバックされている。加算器53の出力はV
−f変換素子54に出力するよう構成されている。 次に、上記の如く構成された実施例の作用について説
明する。 表面波モーター1の起動は、スタートスイッチSW1の
閉成によって行われ、初期電圧発生器55からV−f変換
器に初期電圧V0が出力される。 V−f変換器の動作は第8図に示すタイムチャートを
用いて説明する。 第8図において、符号(A)〜(F)はそれぞれ第7
図の回路中に示す対応位置A〜Fにおける電圧の変化を
示す。 スタートスイッチSW1がONすると、第7図中でA点に
おける電位は第8図(A)に示すように直ちに初期電圧
V0をとり、B点は電位0、C点もラッチ回路52がまだ不
作動のため電位0、D点は初期電圧V0を示し、E点は△
V1、F点も△V1である。 V−f変換素子54には初期電圧V0が入力し、V−f変
換素子54は、理想周波数fdよりも大きい最大周波数f0
を初期電圧V0に対応して初期出力として出力する。 この最大周波数の信号f0がアンプ45を介してセグメン
ト電極3a,3bに、また位相器44およびアンプ46を介して
セグメント電極3bにそれぞれ入力することによって超音
波モーター1の起動が行なわれる。 スタートスイッチSW1がONした時点t1からすこし遅れ
た時点t2から、第8図(B)に示すようにクロックパル
ス発生器56によるクロックパルスがラッチ回路52に入力
され、ラッチ回路52が動作を開始する。第7図に示すよ
うに、クロックパルス発生器56の出力(B)はH、加算
器51には(E)の第2次差信号△V2が入力しており、ラ
ッチ回路52の出力のフイードバックとの合成により、加
算器51の出力(F)は(C)+(E)=△V1+△V2、ラ
ッチ回路52の出力(C)は△V1、加算器53の出力(D)
は第1次加算電圧であって(A)+(C)=V0+△V1で
ある0 この第1次加算電圧(V0+△V1)がV−f変換素子54
に出力されると、V−f変換素子54は、その第1次加算
電圧(V0+△V1)に基づいて入力電源周波数のシフト量
△f1(符号は負である)を初期電圧V0に対応する最大周
波数f0に加算して周波数(f0+△f1)の信号を出力す
る。 次に時点T3では、クロックパルス発生器56の出力
(B)はH、加算器51にはモニター電圧V′mnt=Vstで
安定状態になって(E)=0が入力し、その結果、ラッ
チ回路52の出力のフイードバックとの合成により、加算
器51の出力(F)は(C)+(E)=△V1+△V2、ラッ
チ回路52の出力(C)は△V1+△V2、加算器53の出力
(D)は第2次加算電圧であって(A)+(C)=V0+
△V1+△V2である。 この第2次加算電圧(V0+△V1+△V2)がV−f変換
素子54に出力されると、V−f変換素子54はさらに△f2
を加算して、周波数(f0+△f1+△f2)の信号を出力す
る。 時点T4では、同様に、クロックパルス発生器56の出力
(B)はH、ラッチ回路52の出力(C)は△V1+△V2,
加算器53の出力(D)第2次加算電圧を持続する。 以後は上記動作を操返し、前記制御目標となる理想周
波数fdによって超音波モーター1が安定して駆動され
る。 「発明の効果」 本発明に係る2相の交流電圧を電源とする構造の超音
波モーターによれば、周波数制御手段が、ステータの共
振周波数より高い周波数帯域において入力電源周波数を
制御しているので、安定して高効率で駆動され、かつ極
めて実用的である。
【図面の簡単な説明】
第1図から第4図は本発明の一実施例を示しており、第
1図は入力電源周波数を制御する制御回路のブロック
図、第2図は超音波モーターの主要部を示す断面図、第
3図はモニター電圧曲線および回転数曲線を示すグラ
フ、第4図はモニター電圧曲線がシフトした場合の説明
図、第5図は第1図に示したV−f変換器の詳細例の回
路図、第6図は第5図の回路の動作のタイムチャート、
第7図は本発明の他の実施例の制御回路図、第8図は第
7図の回路の動作のタイムチャートである。 1……超音波モーター、2……弾性体 3……圧電体 3d……セグメント電極(圧電体の入力電圧が印加されて
いない部分) 10……ステーター、30……モニター電圧検出部 40……周波数制御部、f……入力電源周波数 Vmnt……モニター電圧、Vst……所定の電圧値
1図は入力電源周波数を制御する制御回路のブロック
図、第2図は超音波モーターの主要部を示す断面図、第
3図はモニター電圧曲線および回転数曲線を示すグラ
フ、第4図はモニター電圧曲線がシフトした場合の説明
図、第5図は第1図に示したV−f変換器の詳細例の回
路図、第6図は第5図の回路の動作のタイムチャート、
第7図は本発明の他の実施例の制御回路図、第8図は第
7図の回路の動作のタイムチャートである。 1……超音波モーター、2……弾性体 3……圧電体 3d……セグメント電極(圧電体の入力電圧が印加されて
いない部分) 10……ステーター、30……モニター電圧検出部 40……周波数制御部、f……入力電源周波数 Vmnt……モニター電圧、Vst……所定の電圧値
フロントページの続き
(72)発明者 袴田 和男
東京都品川区西大井1丁目6番3号 日
本光学工業株式会社大井製作所内
(56)参考文献 特開 昭61−124276(JP,A)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 1.弾性体と、同一周波数で且つ互いに所定の位相差を
有する2相の交流電圧が入力され該弾性体に超音波を励
振させる圧電体とを有するステーターと、該ステーター
により回動される回動部材と、前記交流電圧の周波数を
制御する周波数制御手段とを備えた超音波振動を利用し
た超音波モーターにおいて、 超音波モーターの出力状態を検出し検出信号を発する検
出手段が設けられ、 前記ステーターは、略円形状に形成されていて前記回動
部材を回動方向に駆動するものであり、 前記圧電体は、円周方向に複数個に分割された電極を有
し、該電極を介し該圧電体に前記2相の交流電圧が入力
されて前記弾性体を励振するよう構成され、 周波数制御手段は、前記検出手段の検出信号に基づい
て、超音波モーターの共振周波数より高い周波数の帯域
においてのみ、超音波モーターを通常駆動するように前
記2相の交流電圧の周波数を共に制御するものであるこ
とを特徴とする超音波振動を利用した超音波モーター。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60-260754 | 1985-11-20 | ||
JP26075485 | 1985-11-20 |
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JP2307982A Division JPH03178583A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | 超音波振動を利用した表面波モーター |
JP6122857A Division JP2885391B2 (ja) | 1985-11-20 | 1994-06-03 | 超音波モーター |
JP6122858A Division JP2691969B2 (ja) | 1985-11-20 | 1994-06-03 | 超音波モーター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62203575A JPS62203575A (ja) | 1987-09-08 |
JP2746877B2 true JP2746877B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17352266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61272254A Expired - Lifetime JP2746877B2 (ja) | 1985-11-20 | 1986-11-14 | 超音波振動を利用した超音波モーター |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4743788A (ja) |
JP (1) | JP2746877B2 (ja) |
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JPS59204477A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーターの駆動制御回路 |
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-
1986
- 1986-11-12 US US06/929,351 patent/US4743788A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-14 JP JP61272254A patent/JP2746877B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62203575A (ja) | 1987-09-08 |
US4743788A (en) | 1988-05-10 |
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