JP2019087939A - 光電変換装置、電子機器、輸送機器および光電変換装置の駆動方法 - Google Patents

光電変換装置、電子機器、輸送機器および光電変換装置の駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ブルーミングによる画質の低下の抑制に有利な技術を提供する。【解決手段】複数の画素を備え、複数の画素のそれぞれは光電変換部と浮遊拡散部と光電変換部で生じた電荷を浮遊拡散部へ転送する転送トランジスタと浮遊拡散部の電位をリセットするリセットトランジスタと浮遊拡散部の電位に基づく信号を信号線に出力する増幅トランジスタとを含み、転送トランジスタをオフ状態にして光電変換部に電荷を蓄積させる蓄積期間は、リセットトランジスタのゲートに第1の電圧が供給される第1の期間とリセットトランジスタのゲートに第2の電圧が供給される第2の期間とリセットトランジスタのゲートにリセットトランジスタをオフ状態にする第3の電圧が供給される第3の期間とをこの順で含み、第1の電圧は第2の電圧と第3の電圧との間の電圧であり、第2の期間における第2の電圧の供給は増幅トランジスタから信号線へ信号が出力される前に開始される。【選択図】図1

Description

本発明は、光電変換装置、電子機器、輸送機器および光電変換装置の駆動方法に関する。
光電変換装置において、光電変換部が飽和に達した後に溢れ出た電荷が、他の画素に溢れ出すブルーミングと呼ばれる現象が知られている。飽和に達した画素の光電変換部から溢れ出た電荷が他の画素に流れ込んだ場合、偽信号となり、得られる画像の画質が低下してしまう。特許文献1には、光電変換素子が電荷を蓄積する間、浮遊拡散部の電位をリセットするトランジスタに、トランジスタがオン状態となる電圧とオフ状態となる電圧との間の電圧を供給することで、ブルーミングによる画質の低下を抑制する撮像装置が示されている。
特開2016−178408号公報
光電変換部が電荷を蓄積する間、リセットトランジスタの制御電極に供給する電圧が低い場合、浮遊拡散部の電位が十分に高くならず、ブルーミングを十分に抑制できない可能性がある。
本発明は、ブルーミングの抑制に有利な技術を提供することを目的とする。
上記課題を解決するための手段は、複数の画素と読出回路とを備える光電変換装置であって、複数の画素のそれぞれは、光電変換部と、浮遊拡散部と、光電変換部で生じた電荷を浮遊拡散部へ転送する転送トランジスタと、浮遊拡散部の電位をリセットするリセットトランジスタと、浮遊拡散部の電位に基づく信号を信号線に出力する増幅トランジスタと、を含み、転送トランジスタをオフ状態にして光電変換部に電荷を蓄積させる蓄積期間は、リセットトランジスタのゲートに第1の電圧が供給される第1の期間と、リセットトランジスタのゲートに第2の電圧が供給される第2の期間と、リセットトランジスタのゲートにリセットトランジスタをオフ状態にする第3の電圧が供給される第3の期間と、をこの順で含み、第1の電圧は第2の電圧と第3の電圧との間の電圧であり、第2の期間における第2の電圧の供給は、増幅トランジスタから信号線へ信号が出力される前に開始されることを特徴とする。
本発明によれば、ブルーミングの抑制に有利な技術を提供することができる。
本発明の実施形態に係る光電変換装置の画素の構成例を示す図。 図1の光電変換装置の画素のリセット制御回路の構成例を示す図。 図1の光電変換装置の駆動方法を説明するタイミングチャート。 図1の光電変換装置の駆動方法の変形例を説明するタイミングチャート。 図1の光電変換装置の画素の構成の変形例を示す図。 図1の光電変換装置の画素のリセット制御回路の構成の変形例を示す図。 図1の光電変換装置の駆動方法を説明するタイミングチャート。 図1の光電変換装置の駆動方法を説明するタイミングチャート。 図1の光電変換装置が組み込まれた電子機器の構成例を示す図。 図1の光電変換装置が搭載された輸送機器の構成例を示す図。
以下、本発明に係る光電変換装置の具体的な実施形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下の説明および図面において、複数の図面に渡って共通の構成については共通の符号を付している。そのため、複数の図面を相互に参照して共通する構成を説明し、共通の符号を付した構成については適宜説明を省略する。
第1の実施形態
図1〜7を参照して、本発明の実施形態による光電変換装置の構成および駆動方法について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態における光電変換装置150の画素の構成例を示す図、図2は、光電変換装置150のリセットトランジスタ105をリセットするためのリセット制御回路115の構成例を示す図である。
はじめに、光電変換装置150の構造について、図1および図2を用いて説明する。本実施形態における光電変換装置150は、図1に示すように、複数の画素101が行方向および列方向に沿って2次元アレイ状に配された撮像領域100を有している。図1には、撮像領域100を構成する複数の画素101のうち、第m列および第m+1列の第n行および第n+1行に位置する4つの画素101のみを示している。図1において、画素101(m,n)は、第m列、第n行に属する画素101を表している。
それぞれの画素101は、光電変換部102、転送トランジスタ103、リセットトランジスタ105、増幅トランジスタ106、選択トランジスタ107を含む。フォトダイオードである光電変換部102のアノードは、接地電圧に接続され、光電変換部102のカソードは、転送トランジスタ103のソースに接続されている。転送トランジスタ103のドレインは、リセットトランジスタ105のソースおよび増幅トランジスタ106のゲートに接続されている。転送トランジスタ103のドレイン、リセットトランジスタ105のソースおよび増幅トランジスタ106のゲートの接続ノードは、浮遊拡散部104を構成している。リセットトランジスタ105および増幅トランジスタ106のドレインは、電源電圧線113に接続されている。増幅トランジスタ106のソースは、選択トランジスタ107のドレインに接続されている。
光電変換装置150は、読出回路を構成する垂直走査回路114を含む。撮像領域100に配された画素101の各行には、垂直走査回路114に接続し、行方向に延在する転送ゲート制御線108、リセットゲート制御線109および行選択制御線110が、それぞれ配されている。図1には、後述する説明の便宜上、それぞれの制御線の参照符号に、撮像領域100内の行番号に対応する添え字(n)または(n+1)を付記している。転送ゲート制御線108、リセットゲート制御線109および行選択制御線110は、行方向に並ぶ画素101に共通の信号線である。転送ゲート制御線108は、対応する行に属する複数の画素101の転送トランジスタ103のゲートに接続されている。転送ゲート制御線108は、バッファ118を介して垂直走査回路114に接続されている。リセットゲート制御線109は、対応する行に属する複数の画素101のリセットトランジスタ105のゲートに接続されている。リセットゲート制御線109は、リセット制御回路115および複数の制御線116、117を介して垂直走査回路114に接続されている。行選択制御線110は、対応する行に属する複数の画素101の選択トランジスタ107のゲートに接続されている。行選択制御線110は、バッファ119を介して垂直走査回路114に接続されている。
撮像領域100に配列された画素101の各列には、列方向に延在する垂直出力線111が配置されている。図1には、後述する説明の便宜上、垂直出力線111の参照符号に、撮像領域100内の列番号に対応する添え字(m)または(m+1)を付記している。垂直出力線111は、列方向に並ぶ画素101の選択トランジスタ107のソースに接続されており、これら画素101に共通の信号線をなしている。垂直出力線111には、定電流源112と、垂直走査回路114とともに読出回路を構成する列読出回路(不図示)が接続されている。
光電変換部102は、入射した光の量に応じた信号電荷を生成する。転送トランジスタ103は、光電変換部102で生成され蓄積された電荷を浮遊拡散部104に転送するためのものである。浮遊拡散部104は、ウェルの接合容量や、転送トランジスタ103などのゲート電極の絶縁膜容量などを含む素子の寄生容量で形成されており、転送トランジスタ103を介して転送された電荷をその量に応じた電圧に変換する。リセットトランジスタ105は、浮遊拡散部104を、信号電圧レベルを取得する上での基準となる所定電位を設定するために用いられるスイッチである。一般的には、所定電位として電源電圧を用いており、浮遊拡散部104における信号出力の動作電圧の範囲を広げることによって、ダイナミックレンジを確保している。本明細書において、浮遊拡散部104のリセットに用いる電源電圧を、リセット電源電圧と呼ぶことがある。増幅トランジスタ106は、浮遊拡散部104に蓄積された電荷の量に応じた信号を信号線である垂直出力線111に出力するためのものである。選択トランジスタ107は、浮遊拡散部104に蓄積された電荷の量に応じた信号を出力する(読み出す)画素101の選択、すなわち、増幅トランジスタ106と信号線である垂直出力線111との間の接続を制御する。垂直走査回路114は、撮像領域100のそれぞれの画素101から画素信号を読み出すとき、それぞれの画素101の転送トランジスタ103、リセットトランジスタ105、選択トランジスタ107に対して、行ごとに動作に必要な所望の制御信号を供給する。つまり、垂直走査回路114は、画素101から画素信号を読み出すための読出回路の少なくとも一部を構成する。本例では、選択トランジスタ107をオン状態にすることによって、増幅トランジスタ106から垂直出力線111へ信号が出力される。しかし、選択トランジスタ107を省略して、増幅トランジスタ106と垂直出力線111とを直結することもできる。その場合には、電源電圧線113に供給する電源電圧として、増幅トランジスタ106をオン状態にするオン電圧と、増幅トランジスタ106をオフ状態にするオフ電圧と、を切り替えて供給すればよい。そして、増幅トランジスタ106のオン状態とオフ状態とを切り替えることにより、増幅トランジスタ106から垂直出力線111への信号の出力のタイミングを制御できる。
図2は、リセット制御回路115の構成例を示す回路図である。リセット制御回路115は、図2に示すように、インバータ120と、pチャネルMOSトランジスタ121、122、123、124と、nチャネルMOSトランジスタ125、126と、を含む。pチャネルMOSトランジスタ123およびnチャネルMOSトランジスタ125は、バッファ回路の入力段のインバータ回路を構成している。pチャネルMOSトランジスタ123のソースは電源電圧に、nチャネルMOSトランジスタ125のソースは接地電圧に、それぞれ接続されている。また、pチャネルMOSトランジスタ124およびnチャネルMOSトランジスタ126は、バッファ回路の出力段のインバータ回路を構成している。pチャネルMOSトランジスタ123のソースはPチャネルMOSトランジスタ121、122のドレインに接続され、nチャネルMOSトランジスタ126のソースは電圧供給端子Vin3に接続されている。インバータ120、pチャネルMOSトランジスタ121、122は、バッファ回路の出力段のインバータ回路に供給するハイレベルの電圧を切り換える電源切替回路を構成している。また、リセット制御回路115は、2つの入力端子116’、117’、1つの出力端子109’、電圧V1、V2、V3が入力される3つの電圧供給端子Vin1、Vin2、Vin3を有している。入力端子116’、117’は、垂直走査回路114とリセット制御回路115とを接続する制御線116、117にそれぞれ接続される端子である。同様に、出力端子109’は、リセットゲート制御線109に接続される端子である。
入力段のインバータ回路の出力端子は、バッファ回路の出力段のインバータ回路の入力端子であるpチャネルMOSトランジスタ124のゲートおよびnチャネルMOSトランジスタ126のゲートに接続されている。pチャネルMOSトランジスタ124は、ソースがpチャネルMOSトランジスタ121、122のドレインに接続され、ドレインがnチャネルMOSトランジスタ126のドレインに接続されている。nチャネルMOSトランジスタ126のソースは、電圧供給端子Vin3に接続されている。pチャネルMOSトランジスタ124のドレインとnチャネルMOSトランジスタ126のドレインとの接続ノードは、出力端子109’を構成している。
入力端子117’は、pチャネルMOSトランジスタ122のゲートおよびインバータ120を介してpチャネルMOSトランジスタ121のゲートに接続されている。pチャネルMOSトランジスタ121のソースは、電圧供給端子Vin1に接続されている。pチャネルMOSトランジスタ122のソースは、電圧供給端子Vin2に接続されている。
このように、リセット制御回路115は、垂直走査回路114からの入力端子116’および入力端子117’への2つの入力に従って、電圧V1、電圧V2または電圧V3のうちのいずれかの電圧を出力端子109’から出力する構成を有している。
ここで、電圧V2は、リセットトランジスタ105をオン状態にする電位であり、かつ、所定期間内にリセットトランジスタ105のソースの電位が、電源電圧が供給されているドレインの電位と同電位になる程度にオン抵抗が十分に低くなる電位である。また、電圧V3は、リセットトランジスタ105をオフ状態にする電位であり、かつ、信号出力に伴う浮遊拡散部104の動作電圧の範囲内においてオフ状態が維持されるよう十分に低電位に設定される。電圧V1は、電圧V2より低電位であり、かつ、電圧V3よりも高電位であり、リセットトランジスタ105がサブスレッショルド領域で動作するようオン抵抗が高い状態に設定される。すなわち、電圧V1、電圧V2および電圧V3は、電圧V3<電圧V1<電圧V2の関係を満たすように電位が設定される。換言すると、電圧V1が、電圧V2と電圧V3との間の電位であるように設定される。
次に、本実施形態における光電変換装置150の駆動方法について説明する。図3は、本実施形態における光電変換装置150の2行分の画素101の読出動作を示すタイミングチャートである。図3において、時刻t5〜時刻t10の期間が、読出回路が選択トランジスタ107をオン状態にすることによって第n行目の画素101を選択する選択期間である。この選択期間のうち時刻t7〜t8において、転送トランジスタ103がオン状態となり、光電変換部102において生成された電荷に応じた信号が、垂直出力線111に出力される。時刻t11〜時刻t16の期間が、読出回路が第n+1行目の画素101から信号を取得するために、選択トランジスタ107がオン状態にされる選択期間である。また、図3において、時刻t10と時刻t11とは、同一の時刻である。時刻t0は、第n行目の画素、第n+1行目の画素101の光電変換部102において、電荷の蓄積を行っている蓄積期間のある時刻である。蓄積期間は、選択トランジスタ107をオフ状態にして光電変換部102に電荷を蓄積させる期間である。具体的には、時刻t0の前の選択期間において選択トランジスタ107がオフ状態になってから、時刻t7で選択トランジスタ107がオン状態となり、浮遊拡散部104に電荷が転送されるまでの期間である。
また、図3において、信号PSEL(n)は、第n行目の行選択制御線110(n)の信号レベルを表し、信号PSEL(n+1)は、第n+1行目の行選択制御線110(n+1)の信号レベルを表す。上述の選択期間は、複数の画素101のうち1つの行に配されるそれぞれの画素101が、読出回路を構成する垂直走査回路114によって信号PSELの信号レベルがハイレベルとなり、選択トランジスタ107がオン状態に移行し、垂直出力線111に信号を出力するために選択されている期間である。例えば、信号PSEL(n)の信号レベルがハイレベルとなる時刻t5〜時刻t10が、上述の第n行目の画素の選択期間である。
また、図3において、信号PRES(n)は第n行目のリセットゲート制御線109(n)の信号レベルを表し、信号PRES(n+1)は第n+1行目のリセットゲート制御線109(n+1)の信号レベルを表す。この信号PRES(n)の電圧V1〜電圧V3のそれぞれ信号レベルが、リセットトランジスタ105のゲートに供給(印加)される。ここで、トランジスタのゲートとは、トランジスタの形成される半導体基板、ゲート絶縁膜およびゲート電極を含むMOS構造のことを示しうる。
また、図3において、信号PTX(n)は第n行目の転送ゲート制御線108(n)の信号レベルを表し、信号PTX(n+1)は第n+1行目の転送ゲート制御線108(n+1)の信号レベルを表す。つまり、図3において、信号PTX(n)の信号レベルがローレベルとなる、時刻t0の前のフレームの選択期間において転送トランジスタ103がオフ状態となった時刻〜時刻t0〜時刻t7の期間が、第n行目の画素101の蓄積期間である。同様に、時刻t8〜次のフレームの選択期間において転送トランジスタ103がオン状態となるまでの期間が、第n行目の画素101の蓄積期間である。また、時刻t0の前のフレームの選択期間において転送トランジスタ103がオフ状態となった時刻〜時刻t0〜時刻t11の期間が、第n+1行目の画素101の蓄積期間である。同様に、時刻t14〜次のフレームの選択期間において転送トランジスタ103がオン状態となるまでの期間が、第n+1行目の画素101の蓄積期間である。
時刻t5から始まる選択期間の1つ前の選択期間の終了〜時刻t0〜時刻t5の期間において、行選択制御線110(n)、110(n+1)、転送ゲート制御線108(n)、108(n+1)は、垂直走査回路114によって、ローレベルの電位とされている。また、時刻t5から始まる選択期間の1つ前の選択期間の終了〜時刻t0〜時刻t1の期間において、リセットゲート制御線109(n)、109(n+1)は、垂直走査回路114によって、リセット制御回路115を介して、電圧V1の電位に設定されている。
時刻t1において、垂直走査回路114は、リセット制御回路115を介して、リセットゲート制御線109(n)の信号PRES(n)の電位を、電圧V1からリセットトランジスタ105をオン状態にする電位である電圧V2にする。また、時刻t3において、垂直走査回路114は、リセット制御回路115を介して、リセットゲート制御線109(n+1)の信号PRES(n+1)の電位を、電圧V1から電圧V2にする。
本実施形態において、それぞれの行において(ここでは第n行目を例に説明する。)、蓄積時間のうち時刻t5から始まる選択期間の1つ前の選択期間の終了〜時刻t0〜時刻t5、つまり選択期間を除く蓄積期間において、信号PRES(n)には、電圧V1または電圧V2が供給される。また、この蓄積期間は、選択トランジスタ107をオフ状態にし、かつ、1つ前の選択期間の終了〜時刻t0〜時刻t1の電圧V1が供給される期間(第1の期間)と、時刻t1〜時刻t5の電圧V2が供給される期間(第2の期間)と、時刻t6〜時刻t7の電圧V3が供給される期間(第3の期間)と、をこの順で含む。ここで、図3に示されるように、選択トランジスタ107がオン状態にされる時刻t5〜時刻t10の期間と同じ長さの時刻tx〜時刻t5の期間よりも前から、電圧V2が信号PRES(n)に供給されてもよい。換言すると、蓄積期間において、時刻t5から始まる選択期間の1つの前の選択期間の終了後、最初の電圧V2の供給の開始(時刻t1)から選択期間の開始(時刻t5)までの期間の長さが、選択期間(時刻t5〜時刻t10)の長さよりも長くてもよい。
また、本実施形態において、第n行目に電圧V2の供給が開始される時刻t1から選択期間が開始される時刻t5までの期間の長さと、第n+1行目に電圧V2の供給が開始される時刻t3から選択期間が開始される時刻t11までの期間の長さとが同じである。しかしながら、時刻t1〜時刻t5の期間の長さと時刻t3〜時刻t11の期間の長さとの関係は、これに限られることはない。例えば、選択期間を除く蓄積期間における最初の電圧V2の供給の開始から選択期間の開始までの期間の長さが選択期間の長さよりも長ければ、行ごとに電圧V2の供給が開始される時刻から選択期間が開始される時刻までの期間の長さが異なっていてもよい。
次いで、時刻t5において、第n行目のそれぞれの画素101から信号を取得するための選択期間(読出動作)が開始される。垂直走査回路114は、行選択制御線110(n)の信号PSEL(n)をローレベルからハイレベルの電位へと遷移させ、第n行目の画素101の選択トランジスタ107をオン状態にする。これによって、第n行目のそれぞれの画素101は、選択された状態となる。また、垂直走査回路114は、信号PRSS(n)の信号レベルを、リセット制御回路115を介して浮遊拡散部104の電位がリセットされる電圧V2の電位に設定する。つまり、信号線である垂直出力線111に浮遊拡散部104の電位に基づく信号の出力が開始される時刻t5には、リセットトランジスタ105のゲートに、電圧V2が供給される。本実施形態において、時刻t1から信号PRES(n)の信号レベルは、電圧V2の電位のままである。また、垂直出力線111に信号の出力が開始される時刻t5から転送トランジスタ103をオン状態にする時刻t7との間の期間に、リセットトランジスタ105のゲートに、リセットトランジスタ105をオン状態にさせる電圧V2が供給される期間を含む。換言すると時刻t5から、リセットトランジスタ105をオフ状態にする時刻t6までの間、信号PRES(n)には、電圧V2が供給される。また、蓄積期間において、時刻t5において垂直出力線111に信号の出力が開始された後に、リセットトランジスタ105のゲートに、時刻t6においてリセットトランジスタ105をオフ状態にする電圧V3が供給される、とも言える。
次に、時刻t6において、垂直走査回路114は、リセット制御回路115を介してリセットゲート制御線109(n)の信号PRES(n)の電位を電圧V2から電圧V3に遷移させ、第n行目の画素101のリセットトランジスタ105をオフ状態にする。これによって、浮遊拡散部104が、リセット電源から切り離され、浮遊拡散部104のリセット動作が完了する。
浮遊拡散部104のリセット後、時刻t6〜時刻t7の期間において、読出回路は、浮遊拡散部104のリセット電位に応じたレベルの信号(以下、「N信号」と表記する)の読み出しを行う。時刻t6〜時刻t7の期間において、読出回路を構成する垂直走査回路114の制御によって選択トランジスタ107は、オン状態であり、増幅トランジスタ106のソースは選択トランジスタ107を介して垂直出力線111に接続されている。つまり、増幅トランジスタ106は、垂直出力線111および選択トランジスタ107を介して定電流源112からソースにバイアス電流が供給された状態であり、ソースフォロワ回路を構成している。これによって、垂直出力線111には、浮遊拡散部104のリセット電圧に応じたレベルの画素信号(N信号)が、増幅トランジスタ106によって増幅され、選択トランジスタ107を介して出力される。垂直出力線111に出力されたN信号は、垂直出力線111に接続された列読出回路(不図示)を介して読み出される。
次いで、時刻t7〜時刻t8の期間において、垂直走査回路114は、転送ゲート制御線108(n)の信号PTX(n)をローレベルの電位からハイレベルの電位へと遷移させ、第n行目の画素101の転送トランジスタ103をオン状態にする。これによって、光電変換部102と浮遊拡散部104とが転送トランジスタ103を介して接続され、光電変換部102に蓄積されていた信号電荷が転送トランジスタ103を介して浮遊拡散部104に転送される。時刻t8において、転送ゲート制御線108(n)の信号PTX(n)が、垂直走査回路114の制御によってローレベルの電位へと遷移すると、浮遊拡散部104が光電変換部102から切り離され、浮遊拡散部104への信号電荷の転送動作が完了する。信号電荷が浮遊拡散部104に転送されることによって、浮遊拡散部104では、その容量によって、転送された信号電荷の量に応じた電圧の変化が生じる。また、時刻t8以降、光電変換部102では、次のフレームのための信号電荷の蓄積期間が開始される。
次に、時刻t8〜時刻t9の期間において、信号電荷が転送された浮遊拡散部104の電位に応じたレベルの画素信号(以下、「S信号」と表記する)の読み出しを行う。この期間においても、選択トランジスタ107はオン状態であり、増幅トランジスタ106のソースは、選択トランジスタ107を介して定電流源112からソースにバイアス電流が供給された状態になっている。これによって、垂直出力線111には、信号電荷が転送された浮遊拡散部104の電位に応じたレベルの画素信号(S信号)が、増幅トランジスタ106によって増幅され、選択トランジスタ107を介して出力される。垂直出力線111に出力されたS信号は、N信号と同様に垂直出力線111に接続された列読出回路(不図示)を介して読み出される。
S信号の読み出し後、時刻t9〜時刻t10の期間において、垂直走査回路114は、リセット制御回路115を介してリセットゲート制御線109(n)の信号PSEL(n)を電圧V3から電圧V2に遷移させ、リセットトランジスタ105をオン状態にする。これによって、浮遊拡散部104が電源電圧にリセットされる。
次いで、時刻t10において、垂直走査回路114は、行選択制御線110(n)の信号PSEL(n)をハイレベルの電位からローレベルの電位へと遷移させ、第n行目の画素101の選択トランジスタ107をオフ状態にする。これによって、第n行目の画素101は非選択状態となり、第n行目の画素101から信号を取得するための選択期間(読出動作)が終了する。また、同じく時刻t10において、第n行目の選択期間の終了に応じて、垂直走査回路114は、リセット制御回路115を介してリセットゲート制御線109(n)の信号PSEL(n)の信号レベルを電圧V2から電圧V1に遷移させる。
また、本実施形態において、時刻t10と同じ時刻である時刻t11において、垂直走査回路114は、行選択制御線110(n+1)の信号PSEL(n+1)をローレベルの電位からハイレベルの電位へと遷移させる。これによって、第(n+1)行目の画素101の選択トランジスタ107がオン状態になり、第(n+1)行目の画素101は、選択状態となる。本実施形態において、時刻t10と時刻t11とが同一時刻であるが、時刻t11は、時刻t10の後であってもよい。
この後、時刻t11〜時刻t16の期間において、時刻t5〜時刻t10の期間における第n行目の選択期間(読出動作)と同様の駆動によって、第n+1行目の選択期間の動作が行われる。第n+2行目以降についても、同様の手順により順次、読出動作が行われる。
発明者が行った研究から、リセットトランジスタ105のゲートに印加する電圧が高いほど、つまり、リセットトランジスタ105のオン抵抗が小さいほど、飽和に達した光電変換部102から浮遊拡散部104に溢れ出た電荷をドレインに排出する割合が高くなる。すなわち、ブルーミング抑制能力が高いことがわかった。特許文献1では、蓄積期間において、選択期間の後にリセットトランジスタ105をオン状態にする電圧とオフ状態にする電圧との間の電位の電圧をリセットトランジスタ105のゲートに供給する。リセットトランジスタ105のばらつきなどによって、供給する電圧に対するリセットトランジスタ105のオン抵抗が想定よりも高くなってしまった場合、浮遊拡散部104の電位が十分に高くならず、ブルーミングによる画質の低下が抑制できない可能性がある。これに対して、本実施形態では、選択期間を除く蓄積期間において、リセットトランジスタ105をオン状態にする電圧V2が供給される。これによって、時刻t1〜時刻t5の期間における第n行目の画素101のブルーミング抑制能力が高くなり、同様に時刻t3〜時刻t11の期間における第n+1行目の画素101のブルーミング抑制能力が高くなる。
図3に示す構成おいて、時刻t1〜時刻t5の期間、リセットゲート制御線109(n)の信号PRES(n)に、リセットトランジスタをオン状態にする電圧V2が供給される。しかしながら、この期間に信号PRES(n)に供給される電圧はこれに限られることはない。例えば、図4に示すように、信号PRES(n)に4種類の電圧が供給できる場合を考える。信号PRES(n)に供給される電圧V1、V2、V3は、図3の説明と同様の電位である。また、電圧V2’は、リセットトランジスタ105をオン状態にする電圧V2と、電圧V1と、の間の電圧である。この場合、蓄積期間は、選択トランジスタ107をオフ状態にし、かつ、1つ前の選択期間の終了〜時刻t0〜時刻t1の電圧V1が供給される期間(第1の期間)と、時刻t1〜時刻t5の電圧V2’が供給される期間(第2の期間)と、時刻t6〜時刻t7の電圧V3が供給される期間(第3の期間)と、をこの順で含む。さらに、時刻t1〜時刻t5の電圧V2’が供給される期間と時刻t6〜時刻t7の電圧V3が供給される期間との間に、リセットトランジスタ105のゲートにリセットトランジスタ105をオン状態にする電圧V2が供給される。上述のようにオン抵抗の観点から、電圧V2’は、オン抵抗が小さくなる、より高い電位である方が、ブルーミングを抑制する効果がより大きくなる。通常、電圧V2’は電圧V2よりも低い電位であるが、電圧V2’が電圧V2よりも高い電位であってもよい。4種類の電位の電圧V1、V2、V2’、V4を信号PRES(n)に供給することに対応した光電変換装置150の構成例を図5に、リセット制御回路115の構成例を図6にそれぞれ示す。
図5に示される光電変換装置150は、図1の光電変換装置150に対して、垂直走査回路114とリセット制御回路115とを接続する制御線127が追加されている。また、図6に示すリセット制御回路115は、図2のリセット制御回路115に対して、入力端子127’、インバータ128、アンド回路129、130、PチャネルMOSトランジスタ131、電圧V2’が入力される電圧供給端子Vin2’が追加されている。図6に示す構成では、入力端子117’がローレベル、かつ、入力端子127’がハイレベルのときに、バッファ回路の出力段のインバータ回路に供給するハイレベルが電圧V2である。そして、入力端子117’がローレベル、かつ、入力端子127’がローレベルのときに、バッファ回路の出力段のインバータ回路に供給するハイレベルが電圧V2’である。図6の構成において入力端子127’は、図5に示す垂直走査回路114とリセット制御回路115とを接続する制御線127に接続される端子である。
ここで、リセットトランジスタ105のゲート電極周辺の電界に対する耐久信頼性を考慮すると、リセットゲート制御線109に供給される電圧が長い期間、電圧V2または電圧V2’である場合、リセットトランジスタ105の信頼性が低下してしまう可能性がある。また、図3、4において、蓄積期間中に溢れ出るブルーミング電荷の排出に対して、第n行目、第n+1行目で電圧V2または電圧V2’の供給が開始される時刻t1、時刻t3が、選択期間が開始される時刻t5、時刻t11よりも十分に前であってもよい。時刻t1、時刻t3が、時刻t5、時刻t11よりも十分に前になることによって、より高いブルーミング抑制能力が得られる。
これらを踏まえると、光電変換装置150の駆動は、図7に示すタイミングで制御されてもよい。図3、4において、リセットゲート制御線109(n)の電位が電圧V1から電圧V2に遷移する時刻t1から選択期間が開始される時刻t5までの期間の長さは、選択期間(時刻t5〜時刻t10)の長さを超える程度である。一方、図7に示すタイミングチャートでは、時刻t1から時刻t5までの期間の長さは、選択期間(時刻t5〜時刻t10)の長さを十分に超える時刻である。また、図7に示すタイミングチャートでは、リセットゲート制御線109(n)の信号PRES(n)の電位は時刻t1に電圧V2になり、時刻t2にV1に戻る。つまり、図7のタイミングチャートにおいて、それぞれの行において(ここでは第n行目を例に説明する。)、蓄積時間は、時刻t5から始まる選択期間の1つ前の選択期間の終了〜時刻t1までの電圧V1が供給される期間(第1の期間)と、電圧V2が供給される期間(第2の期間)と、電圧V3が供給される時刻6〜時刻t7までの期間(第3の期間)と、時刻t2〜時刻t5までの電圧V1が供給される第4の期間と、を含む。また、信号線である垂直出力線111に浮遊拡散部104の電位に基づく信号の出力が開始される時刻t5には、リセットトランジスタ105のゲートに、電圧V2が供給される。この電圧V2の供給は、リセットトランジスタ105をオフ状態にする時刻t6まで続く。これによって、図3、4に示すタイミングチャートよりも、より電位の高い電圧V2が供給される時間を短くすることができる。例えば、選択期間を除く蓄積期間のうち前半の期間に、電圧V2が供給される時刻t1〜時刻t2の期間が含まれていてもよい。この場合、時刻t2〜時刻t5(第4の期間)の間は、電圧V1が供給され続けてもよい。また、例えば、電圧V2が供給された後、時刻t2〜時刻t5の期間において、電圧V1および電圧V2が繰り返し供給されてもよい。上述したように、選択期間の終了後、最初の電圧V2の供給の開始から選択期間の開始までの期間の長さが、選択期間の長さよりも長くてもよい。また、図7において、時刻t1〜時刻t2の間、信号PRES(n)に電圧V2を供給したが、図5、6に示される光電変換装置150の画素およびリセット制御回路115を用いて、信号PRES(n)に電圧V2’を供給してもよい。また、例えば、図3、4、7のそれぞれのタイミングチャートに示されるように、蓄積期間において、リセットトランジスタ105のゲートに電圧V2を供給する期間が電圧V1を供給する期間よりも短くてもよい。また、例えば、蓄積期間において、リセットトランジスタ105のゲートに電圧V1の供給を開始してから信号線である垂直出力線111に信号の出力が開始されるまでの期間(1つ前の選択期間の終了後、最初に電圧V1が供給された時刻〜時刻t5の期間。)が、垂直出力線111に信号の出力が開始される時刻t5から電圧V3が供給される期間の開始(時刻t6)までの期間よりも長くてもよい。
また、図7に示すタイミングチャートにおいて、リセットゲート制御線109(n+1)の信号PRES(n+1)の電位は時刻t3に電圧V2になり、時刻t4に電圧V1に戻る。第n行と第n+1行との関係において、時刻t2と時刻t3が同一時刻で示されているが、時刻t2と時刻t3とが異なる時刻であってもよい。この場合、リセットゲート制御線109(n)の信号PRES(n)の電位が電圧V1になる前にリセットゲート制御線109(n+1)の信号PRES(n+1)の電位が電圧V2になってもよい。また、リセットゲート制御線109(n)の電位が電圧V1になった後にリセットゲート制御線109(n+1)の信号PRES(n+1)の電位が電圧V2になってもよい。
第2の実施形態
図8を参照して、本発明の実施形態による光電変換装置の駆動方法について説明する。図8は、本発明の第2の実施形態による光電変換装置150の駆動方法を説明するタイミングチャートである。光電変換装置150やリセット制御回路115の構成は、上述の第1の実施形態と同様であってもよいため、ここでは説明を省略する。
図8において、期間L(n)は、第n行目の画素の長い蓄積期間(露光期間)であり、期間R(n)は、第n行目の画素101から画素信号を読み出す選択期間であり、期間S(n)は、第n行目の画素の短い蓄積期間(露光期間)である。また、期間L(n+1)は、第n+1行目の画素の長い蓄積期間(露光期間)であり、期間R(n+1)は、第n+1行目の画素101から画素信号を読み出す選択期間であり、期間S(n+1)は、第n+1行目の画素の短い蓄積期間(露光期間)である。このように、本実施形態において、フレームによって、転送トランジスタ103によって蓄積期間の長さが制御される。具体的には、複数の画素101のそれぞれから長い蓄積期間に光電変換部102で生じた電荷に応じた信号と、長い蓄積期間よりも短い蓄積期間に光電変換部102で生じた電荷に応じた信号と、が繰り返し出力される。長い蓄積期間で取得した信号と短い蓄積時間で取得した信号とを合成することによって、得られる画像のダイナミックレンジを広げることが可能となる。
ここで、厳密には、露光期間(蓄積期間)の開始時刻は、例えば、短い露光期間S(n)の場合、信号電荷の転送が終了する時刻t8であり、また露光期間(蓄積期間)の終了時刻は、信号電荷の転送が開始する時刻t18である。図8では、図の簡単化のため、蓄積期間(露光期間)と選択期間との重なりがないように表現されている。
図8において、時刻t0〜時刻t16の期間は、図3を用いて説明した時刻t0〜時刻t16の期間と同様の動作を行う。また、時刻t16〜時刻t21の期間は、短い露光期間の後の第n行目の画素の選択期間であり、時刻t5〜時刻t10と同様の動作を行う。
本実施形態において、時刻t10〜時刻t12の期間、互いに隣接する第n行目および第n+1行目において、一方の第n行目に配された画素の短い露光期間の一部と、他方の第n+1行目に配された画素の長い露光期間の一部と、が重なっている。しかしながら、この重なるタイミングにおいて、第n+1行目のリセットゲート制御線109の電位が電圧V4であるため、第n+1行目の画素101のブルーミング抑制能力が高くなる。これによって、第n行の画素101で短い露光期間において、第n+1行の長い露光時間で画素101から電荷が溢れ出た場合であっても溢れ出た電荷がドレインに排出される割合が高まり、第n行の画素101の画素信号に対する影響が抑制される。これによって、光電変換装置150で得られる画像の画質の低下を抑制することが可能となる。
以下、上述の実施形態に係る光電変換装置150の応用例として、光電変換装置150が撮像装置として組み込まれたカメラやスマートフォンなどの電子機器、自動車などの輸送機器について例示的に説明する。ここで、カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置(例えば、パーソナルコンピュータやタブレットのような携帯端末など)も含まれる。
図9は、光電変換装置150を搭載した機器EQPの模式図である。機器EQPの一例は、カメラやスマートフォンなどの電子機器(情報機器)、自動車や飛行機などの輸送機器である。光電変換装置150は、画素101がアレイ状に配された撮像領域100が設けられた半導体チップを含む半導体デバイスICの他に、半導体デバイスICを収容するパッケージPKGを含みうる。パッケージPKGは、半導体デバイスICが固定された基体と、半導体デバイスICに対向するガラス等の蓋体と、基体に設けられた端子と半導体デバイスICに設けられた端子とを接続するボンディングワイヤやバンプ等の接続部材と、を含みうる。機器EQPは、光学系OPT、制御装置CTRL、処理装置PRCS、表示装置DSPL、記憶装置MMRYの少なくともいずれかをさらに備え得る。光学系OPTは光電変換装置150に結像するものであり、例えばレンズやシャッタ、ミラーである。制御装置CTRLは光電変換装置150の動作を制御するものであり、例えばASICなどの半導体デバイスである。処理装置PRCSは光電変換装置150から出力された信号を処理するものであり、AFE(アナログフロントエンド)あるいはDFE(デジタルフロントエンド)を構成するための、CPUやASICなどの半導体デバイスである。表示装置DSPLは光電変換装置150で得られた情報(画像)を表示する、EL表示装置や液晶表示装置である。記憶装置MMRYは、光電変換装置150で得られた情報(画像)を記憶する、磁気デバイスや半導体デバイスである。記憶装置MMRYは、SRAMやDRAMなどの揮発性メモリ、あるいは、フラッシュメモリやハードディスクドライブなどの不揮発性メモリである。機械装置MCHNはモーターやエンジン等の可動部あるいは推進部を有する。カメラにおける機械装置MCHNはズーミングや合焦、シャッタ動作のために光学系OPTの部品を駆動することができる。機器EQPでは、光電変換装置150から出力された信号を表示装置DSPLに表示したり、機器EQPが備える通信装置(不図示)によって外部に送信したりする。そのために、機器EQPは、光電変換装置150が有する制御/信号処理回路901などに含まれる記憶回路部や演算回路部とは別に、記憶装置MMRYや処理装置PRCSを更に備えていてもよい。
上述したように、本実施形態の光電変換装置150は、ブルーミングの発生が抑制された、またダイナミックレンジの広い画像を取得することができる。このため、光電変換装置150の組み込まれたカメラは、監視カメラや、自動車や鉄道車両などの輸送機器に搭載される車載カメラなどにも適用されうる。ここでは、光電変換装置150が組み込まれたカメラを輸送機器に適用した例を説明する。輸送機器2100は、例えば、図10(a)、10(b)に示す車載カメラ2101を備えた自動車である。図10(a)は、輸送機器2100の外観と主な内部構造を模式的に示している。輸送機器2100は、光電変換装置2102、撮像システム用集積回路(ASIC:Application Specific Integrated Circuit)2103、警報装置2112、制御装置2113を備える。
光電変換装置2102には、上述の光電変換装置150が用いられる。警報装置2112は、撮像システム、車両センサ、制御ユニットなどから異常を示す信号を受けたときに、運転手へ向けて警告を行う。制御装置2113は、撮像システム、車両センサ、制御ユニットなどの動作を統括的に制御する。なお、輸送機器2100が制御装置2113を備えていなくてもよい。この場合、撮像システム、車両センサ、制御ユニットが個別に通信インターフェースを有して、それぞれが通信ネットワークを介して制御信号の送受を行う(例えばCAN規格)。
図10(b)は、輸送機器2100のシステム構成を示すブロック図である。輸送機器2100は、第1の光電変換装置2102と第2の光電変換装置2102とを含む。つまり、本実施形態の車載カメラはステレオカメラである。光電変換装置2102には、光学部2114により被写体像が結像される。光電変換装置2102から出力された画素信号は、画像前処理部2115によって処理され、そして、撮像システム用集積回路2103に伝達される。画像前処理部2115は、S−N演算や、同期信号付加などの処理を行う。上述の信号処理部902は、画像前処理部2115および撮像システム用集積回路2103の少なくとも一部に相当する。
撮像システム用集積回路2103は、画像処理部2104、メモリ2105、光学測距部2106、視差演算部2107、物体認知部2108、異常検出部2109、および、外部インターフェース(I/F)部2116を備える。画像処理部2104は、光電変換装置2102のそれぞれの画素から出力される信号を処理して画像信号を生成する。また、画像処理部2104は、画像信号の補正や異常画素の補完を行う。メモリ2105は、画像信号を一時的に保持する。また、メモリ2105は、既知の光電変換装置2102の異常画素の位置を記憶していてもよい。光学測距部2106は、画像信号を用いて被写体の合焦または測距を行う。視差演算部2107は、視差画像の被写体照合(ステレオマッチング)を行う。物体認知部2108は、画像信号を解析して、輸送機器、人物、標識、道路などの被写体の認知を行う。異常検出部2109は、光電変換装置2102の故障、あるいは、誤動作を検知する。異常検出部2109は、故障や誤動作を検知した場合には、制御装置2113へ異常を検知したことを示す信号を送る。外部I/F部2116は、撮像システム用集積回路2103の各部と、制御装置2113あるいは種々の制御ユニット等との間での情報の授受を仲介する。
輸送機器2100は、車両情報取得部2110および運転支援部2111を含む。車両情報取得部2110は、速度・加速度センサ、角速度センサ、舵角センサ、測距レーダ、圧力センサなどの車両センサを含む。
運転支援部2111は、衝突判定部を含む。衝突判定部は、光学測距部2106、視差演算部2107、物体認知部2108からの情報に基づいて、物体との衝突可能性があるか否かを判定する。光学測距部2106や視差演算部2107は、対象物までの距離情報を取得する距離情報取得手段の一例である。すなわち、距離情報とは、視差、デフォーカス量、対象物までの距離等に関する情報である。衝突判定部はこれらの距離情報のいずれかを用いて、衝突可能性を判定してもよい。距離情報取得手段は、専用に設計されたハードウェアによって実現されてもよいし、ソフトウェアモジュールによって実現されてもよい。
運転支援部2111が他の物体と衝突しないように輸送機器2100を制御する例を説明したが、他の車両に追従して自動運転する制御や、車線からはみ出さないように自動運転する制御などにも適用可能である。
輸送機器2100は、さらに、エアバッグ、アクセル、ブレーキ、ステアリング、トランスミッション、エンジン、モーター、車輪、プロペラ等の、移動あるいはその補助に用いられる駆動装置を具備する。また、輸送機器2100は、それらの制御ユニットを含む。制御ユニットは、制御装置2113の制御信号に基づいて、対応する駆動装置を制御する。
本実施形態に用いられた撮像システムは、自動車や鉄道車両に限らず、例えば、船舶、航空機あるいは産業用ロボットなどの輸送機器にも適用することができる。加えて、輸送機器に限らず、高度道路交通システム(ITS)など、広く物体認識を利用する機器に適用することができる。
以上、本発明に係る実施形態を示したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態は適宜変更、組み合わせが可能である。
101:画素、102:光電変換部、103:転送トランジスタ、104:浮遊拡散部、105:リセットトランジスタ、106:増幅トランジスタ、150:光電変換装置

Claims (18)

  1. 複数の画素と読出回路とを備える光電変換装置であって、
    前記複数の画素のそれぞれは、光電変換部と、浮遊拡散部と、前記光電変換部で生じた電荷を前記浮遊拡散部へ転送する転送トランジスタと、前記浮遊拡散部の電位をリセットするリセットトランジスタと、前記浮遊拡散部の電位に基づく信号を信号線に出力する増幅トランジスタと、を含み、
    前記転送トランジスタをオフ状態にして前記光電変換部に電荷を蓄積させる蓄積期間は、前記リセットトランジスタのゲートに第1の電圧が供給される第1の期間と、前記リセットトランジスタのゲートに第2の電圧が供給される第2の期間と、前記リセットトランジスタのゲートに前記リセットトランジスタをオフ状態にする第3の電圧が供給される第3の期間と、をこの順で含み、
    前記第1の電圧は前記第2の電圧と前記第3の電圧との間の電圧であり、前記第2の期間における前記第2の電圧の供給は、前記増幅トランジスタから前記信号線へ前記信号が出力される前に開始されることを特徴とする光電変換装置。
  2. 前記第2の電圧は、前記リセットトランジスタをオン状態にする電圧であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  3. 前記信号線への前記信号の出力が開始される時刻には、前記リセットトランジスタのゲートに前記第2の電圧が供給されることを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。
  4. 前記第2の期間と前記第3の期間との間の期間に、前記リセットトランジスタのゲートに前記リセットトランジスタをオン状態にする第4の電圧が供給され、
    前記第2の電圧は、前記第4の電圧と前記第1の電圧との間の電圧であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  5. 前記信号線への前記信号の出力が開始される時刻と前記転送トランジスタをオン状態にする時刻との間の期間に、前記リセットトランジスタのゲートに前記リセットトランジスタをオン状態にする電圧が供給されることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の光電変換装置。
  6. 前記蓄積期間において、前記信号線への前記信号の出力が開始された後に、前記リセットトランジスタのゲートに前記リセットトランジスタをオフ状態にする前記第3の電圧が供給されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の光電変換装置。
  7. 前記第2の期間と前記信号線への前記信号の出力が開始される時刻との間の期間に、第4の期間をさらに含み、
    前記第4の期間において、前記リセットトランジスタのゲートに前記第1の電圧が供給されることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の光電変換装置。
  8. 前記第4の期間において、前記リセットトランジスタのゲートに前記第1の電圧および前記第2の電圧が繰り返し供給されることを特徴とする請求項7に記載の光電変換装置。
  9. 前記第2の期間が、前記信号線への前記信号の出力を終了した後、前記リセットトランジスタのゲートに最初に前記第2の電圧が供給される期間であることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の光電変換装置。
  10. 前記蓄積期間のうち前半の期間に、前記第2の期間が含まれることを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の光電変換装置。
  11. 前記蓄積期間において、前記リセットトランジスタのゲートに前記第2の電圧を供給する期間が、前記リセットトランジスタのゲートに前記第1の電圧を供給する期間よりも短いことを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の光電変換装置。
  12. 前記第1の期間の開始から前記信号線への前記信号の出力が開始される時刻までの期間が、前記信号線への前記信号の出力が開始される時刻から前記第3の期間の開始までの期間よりも長いことを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の光電変換装置。
  13. 前記転送トランジスタによって前記蓄積期間の長さが制御され、
    前記複数の画素のそれぞれから第1の蓄積期間に前記光電変換部で生じた電荷に応じた信号と、前記第1の蓄積期間よりも短い第2の蓄積期間に前記光電変換部で生じた電荷に応じた信号と、が繰り返し出力されることを特徴とする請求項1乃至12の何れか1項に記載の光電変換装置。
  14. 前記複数の画素のうち互いに隣接する行に配された画素において、一方の行の画素における前記第1の蓄積期間と、他方の行の画素における前記第2の蓄積期間と、のうち少なくとも一部が重なることを特徴とする請求項13に記載の光電変換装置。
  15. 前記光電変換装置は、前記増幅トランジスタと前記信号線とを接続する選択トランジスタをさらに備え、
    前記選択トランジスタをオン状態にすることによって、前記増幅トランジスタから前記信号線へ前記信号が出力されることを特徴とする請求項1乃至14の何れか1項に記載の光電変換装置。
  16. 請求項1乃至15の何れか1項に記載の光電変換装置と、
    前記光電変換装置から出力された信号を処理する処理装置と、
    を備えることを特徴とする電子機器。
  17. 駆動装置を具備する輸送機器であって、請求項1乃至15の何れか1項に記載の光電変換装置を搭載し、前記光電変換装置で得られた情報に基づいて前記駆動装置を制御する制御装置を備えることを特徴とする輸送機器。
  18. 複数の画素を備える光電変換装置の駆動方法であって、
    前記複数の画素のそれぞれは、光電変換部と、浮遊拡散部と、前記光電変換部で生じた電荷を前記浮遊拡散部へ転送する転送トランジスタと、前記浮遊拡散部の電位をリセットするリセットトランジスタと、前記浮遊拡散部の電位に基づく信号を信号線に出力する増幅トランジスタと、を含み、
    前記転送トランジスタをオフ状態にして前記光電変換部に電荷を蓄積させる蓄積期間は、
    前記リセットトランジスタのゲートに第1の電圧が供給する第1の期間と、前記リセットトランジスタのゲートに第2の電圧が供給する第2の期間と、前記リセットトランジスタのゲートに前記リセットトランジスタをオフ状態にする第3の電圧が供給する第3の期間と、をこの順で含み、
    前記第1の電圧は前記第2の電圧と前記第3の電圧との間の電圧であり、前記第2の期間における前記第2の電圧の供給は、前記増幅トランジスタから前記信号線へ前記信号が出力される前に開始されることを特徴とする駆動方法。
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