JP2019021804A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019021804A5
JP2019021804A5 JP2017139936A JP2017139936A JP2019021804A5 JP 2019021804 A5 JP2019021804 A5 JP 2019021804A5 JP 2017139936 A JP2017139936 A JP 2017139936A JP 2017139936 A JP2017139936 A JP 2017139936A JP 2019021804 A5 JP2019021804 A5 JP 2019021804A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
inspected
unit
inspection unit
stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017139936A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6887332B2 (ja
JP2019021804A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2017139936A external-priority patent/JP6887332B2/ja
Priority to JP2017139936A priority Critical patent/JP6887332B2/ja
Priority to PCT/JP2018/018314 priority patent/WO2019017050A1/ja
Priority to US16/630,606 priority patent/US11067624B2/en
Priority to KR1020207004705A priority patent/KR102413295B1/ko
Priority to TW107124558A priority patent/TWI761555B/zh
Publication of JP2019021804A publication Critical patent/JP2019021804A/ja
Publication of JP2019021804A5 publication Critical patent/JP2019021804A5/ja
Priority to JP2021079077A priority patent/JP2021119638A/ja
Publication of JP6887332B2 publication Critical patent/JP6887332B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2017139936A 2017-07-19 2017-07-19 検査システム Active JP6887332B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017139936A JP6887332B2 (ja) 2017-07-19 2017-07-19 検査システム
PCT/JP2018/018314 WO2019017050A1 (ja) 2017-07-19 2018-05-11 検査システム
US16/630,606 US11067624B2 (en) 2017-07-19 2018-05-11 Inspection system
KR1020207004705A KR102413295B1 (ko) 2017-07-19 2018-05-11 검사 시스템
TW107124558A TWI761555B (zh) 2017-07-19 2018-07-17 檢查系統
JP2021079077A JP2021119638A (ja) 2017-07-19 2021-05-07 検査システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017139936A JP6887332B2 (ja) 2017-07-19 2017-07-19 検査システム

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021079077A Division JP2021119638A (ja) 2017-07-19 2021-05-07 検査システム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019021804A JP2019021804A (ja) 2019-02-07
JP2019021804A5 true JP2019021804A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2020-04-30
JP6887332B2 JP6887332B2 (ja) 2021-06-16

Family

ID=65015135

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017139936A Active JP6887332B2 (ja) 2017-07-19 2017-07-19 検査システム
JP2021079077A Pending JP2021119638A (ja) 2017-07-19 2021-05-07 検査システム

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021079077A Pending JP2021119638A (ja) 2017-07-19 2021-05-07 検査システム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11067624B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP (2) JP6887332B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
KR (1) KR102413295B1 (cg-RX-API-DMAC7.html)
TW (1) TWI761555B (cg-RX-API-DMAC7.html)
WO (1) WO2019017050A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6785375B2 (ja) * 2017-06-21 2020-11-18 東京エレクトロン株式会社 検査システム
JP7274350B2 (ja) * 2019-05-28 2023-05-16 東京エレクトロン株式会社 搬送システム、検査システム及び検査方法
TWI797461B (zh) * 2019-07-26 2023-04-01 日商新川股份有限公司 封裝裝置
CN113053774A (zh) * 2019-12-27 2021-06-29 迪科特测试科技(苏州)有限公司 探测装置
JP7390934B2 (ja) 2020-03-03 2023-12-04 東京エレクトロン株式会社 検査装置
CN115916132A (zh) * 2020-06-02 2023-04-04 川崎重工业株式会社 检査系统
WO2022201283A1 (ja) * 2021-03-23 2022-09-29 キオクシア株式会社 ストレージシステム
JP7784890B2 (ja) * 2021-12-27 2025-12-12 東京エレクトロン株式会社 検査装置及び検査方法
JP2025082689A (ja) * 2023-11-17 2025-05-29 東京エレクトロン株式会社 搬送システム、および搬送方法
WO2025243755A1 (ja) * 2024-05-22 2025-11-27 川崎重工業株式会社 基板搬送システム

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63229836A (ja) * 1987-03-19 1988-09-26 Nikon Corp ウエハ検査装置
JP2952331B2 (ja) 1990-04-05 1999-09-27 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
JP3312748B2 (ja) * 1992-06-05 2002-08-12 株式会社東京精密 ウエハ検査装置及びウエハ検査方法
JPH08335614A (ja) * 1995-06-08 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd プロ−ブシステム
US20110037492A1 (en) * 2007-05-15 2011-02-17 Rudolph Technologies, Inc. Wafer probe test and inspection system
KR101138194B1 (ko) * 2007-06-29 2012-05-10 가부시키가이샤 어드밴티스트 시험 장치
KR100892756B1 (ko) 2007-12-27 2009-04-15 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
JP5139253B2 (ja) * 2008-12-18 2013-02-06 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置及び真空搬送装置
JP4491513B1 (ja) * 2009-02-12 2010-06-30 株式会社アドバンテスト 半導体ウェハ試験装置
JP2011009362A (ja) * 2009-06-24 2011-01-13 Tokyo Electron Ltd インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
JP5952645B2 (ja) * 2012-06-06 2016-07-13 東京エレクトロン株式会社 ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置
JP5918682B2 (ja) * 2012-10-09 2016-05-18 東京エレクトロン株式会社 プローブカード取り付け方法
JP5690321B2 (ja) * 2012-11-29 2015-03-25 株式会社アドバンテスト プローブ装置および試験装置
JP5718379B2 (ja) * 2013-01-15 2015-05-13 東京エレクトロン株式会社 基板収納処理装置及び基板収納処理方法並びに基板収納処理用記憶媒体
JP6333112B2 (ja) * 2014-08-20 2018-05-30 東京エレクトロン株式会社 ウエハ検査装置
JP6418394B2 (ja) * 2015-02-27 2018-11-07 株式会社東京精密 プローバ及びプローブカードのプリヒート方法
JP6652361B2 (ja) * 2015-09-30 2020-02-19 東京エレクトロン株式会社 ウエハ検査装置及びウエハ検査方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019021804A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP6887332B2 (ja) 検査システム
KR100938172B1 (ko) 핸들러, 반도체 소자 로딩방법, 테스트트레이 이송방법, 및반도체 소자 제조방법
KR101815081B1 (ko) 기판 검사 장치 및 프로브 카드 반송 방법
KR102535047B1 (ko) 검사 장치
US6967475B2 (en) Device transfer mechanism for a test handler
KR20200120704A (ko) 콘택트 정밀도 보증 방법, 콘택트 정밀도 보증 기구, 및 검사 장치
CN110875228A (zh) 工件储存系统、工件储存方法、及使用其传输工件的方法
JP6785186B2 (ja) 検査システムおよび検査システムにおける温度測定方法
KR101362652B1 (ko) 테스트 핸들러
KR101322164B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
TW201812948A (zh) 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置
KR102430477B1 (ko) 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이
JP2016156715A (ja) 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
KR20090081720A (ko) 커스터머 트레이 이송 방법, 커스터머 트레이 이송 유닛 및커스터머 트레이 이송 유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20140105396A (ko) 프로브 장치 및 웨이퍼 로더
KR20090122662A (ko) 피검사체의 검사 방법 및 테스트 핸들러
TWI385750B (zh) An electronic component shifting device and an electronic component testing device having the same
TWI637182B (zh) Inspection device for electronic components, inspection method for electronic components, and inspection program for electronic components
KR20150041682A (ko) 테스트핸들러
TWI398638B (zh) A method of removing the electronic component, and a control program for carrying out the method
JP2016025125A (ja) 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
KR20090122646A (ko) 트레이 이송 방법, 이를 적용한 이송 장치 및 테스트핸들러
KR20170140964A (ko) 소자핸들러
JP2017049018A (ja) 電子部品搬送装置および電子部品検査装置