JPS63229836A - ウエハ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハ検査装置に関し、特に集積回路を形成し
てなる半導体ウェハを検査する場合に適用して好適なも
のである。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェハ検査装置として、第５図及び第６
図に示すような構成のものが用いられている。

第５図のウェハ検査装置１は検査ステージ機構２とベル
ト搬送型のローディング機構３とを有し、ローディング
機構３は、所定位置に固定装着された供給キャリア４及
び収納キャリア５を有する。

第５図のウェハ検査装置１は検査処理ステップを開始す
るに先立って複数枚（例えば２５枚）のウェハを収納し
てなる供給キャリア４と空の収納キャリア５とが装着さ
れ、検査処理ステップが開始すると供給キャリア４に収
納されている未検査ウェハを１枚だけベルト搬送機構６
によって検査ステージ機構２の所定位置に供給する。

やがて検査終了したウェハはベルト搬送機構６によって
検査ステージ機構２から排出されて収納キャリア５の所
定位置に収納される。

かくして１枚のウェハの検査が終了すると、ローディン
グ機構３はベルト搬送機構６によって次のウェハを供給
キャリア４から取り出して検査ステージ機構２に供給す
る動作を繰り返す。

また第５図との対応部分に同一符号を付して示す第６図
のウェハ検査装置１は、ローディング機構３として複数
例えば３つの供給／収納キャリア７Ａ、７Ｂ、７Ｃが固
定装着された構成を有する。

この場合ローディング機構３は、アーム搬送機構８を存
し、検査ステップが開始したときアーム搬送機構８が供
給／収納キャリア７Ａ、７Ｂ、７Ｃに収納されている未
検査ウェハを１枚ずつ所定の順序で取り出して検査ステ
ージ機構２に供給すると共に検査が終了したウェハを元
の収納位置に戻すようになされている。

ローディング機構３のアーム搬送機構８は、供給／収納
キャリア７Ａ、７Ｂ、７Ｃに収納されていた未検査ウェ
ハが全て検査終了するまで検査ステージ機構２に対して
未検査ウェハを供給した後、検査後のウェハを供給／収
納キャリア７Ａ、７Ｂ、７Ｃに収納する動作を繰り返す
。

ところで半導体集積回路は近年、高集積化、高密度化が
進んでおり、例えばダイナミックランダムアクセスメモ
リ　（ＤＲＡＭ）においては、６４〔ｋｂｉｔ）、２５
６　（ｋｂｉｔ）　、１　　（Ｍｂｉｔ）　、４　（Ｍ
ｂｉｔ）のものが製造されており、当該ウェハの電気的
な性能を■Ｃテスタ及びウエハプローバを用いて検査す
る際の検査時間が長大になっており、例えば１枚のウェ
ハの検査処理時間が数時間程度にまで長大化している。

因に第６図の構成を用いた場合２５枚のウェハを収納し
ている１つのキャリアを検査するのに要する時間が数日
にも亘るおそれがある。この問題を解決する方法として
、１つのキャリア内に収納するウェハの枚数を減少させ
ることにより、１つのキャリアに対する検査処理時間を
低減する方法が考えられるが、このようにするとキャリ
アの個数が増大するために、その管理が煩雑になる問題
があり、改善策としては未だ不十分である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この問題を解決す□るためには、設置床面積をできるだ
け拡張させることなく１台のウェハ検査装置が単位時間
当りに検査し得るウェハの枚数を増大させることが望ま
しい、これを実現する１つの方法として、第７図に示す
ように、２つの検査ステージ機構ＩＡ、ＩＢに対して共
通のローディング機構２を設け、そのローディング機構
２に対してキャリア搬送機構３によって搬送される複数
のキャリア４Ａ、４Ｂ、４Ｇから取り出したウェハをロ
ーディング機構２を介して検査ステージ機構ＩＡ又はＩ
Ｂに供給し、検査終了後当該ウェハを元のキャリアに戻
すようにしたウェハ検査装置が提案されている（特開昭
６１−１６８２３６号公報）。

このようにすれば、２つの検査ステージ機構ｌＡ、ＩＢ
に共通にローディング機構２を設けた分ウェハ検査装置
５の設置床面積を小さくすることができる。

このようにすれば、ウェハ検査装置５全体としての単位
時間当たりのウェハ検査枚数が同時に検査動作し得る検
査ステージ機構の数が２倍になったことによりほぼ２倍
に増大するが、必要に応じてそれ以上に増大させること
は困難である。

′本発明は以上の点を考慮してなされたもので、ウェハ
検査装置全体としての単位時間当たりのウェハ検査枚数
をできるだけ小さい設置床面積で増大させ得るようにし
たウェハ検査装置を提案しようとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

かかる問題点を解決するため本発明においては、一対の
検査ステージ機構（（１４Ａ、１４Ｂ）、（２４Ａ、２
４Ｂ））と、一対の検査ステージ機構（（１４Ａ、　１
４Ｂ）、（２４Ａ、２４Ｂ））に対してそれぞれ１枚ず
つ未検査ウェハＷ１を供給すると共に検査済みウェハＷ
２を排出するローディング機構（１５，２５）と、ロー
ディング機構（１５，２５）に対して未検査ウェハＷ１
を外部から搬送すると共にローディング機ｆｉＩ（１５
，２５）から排出された検査済みウェハＷ２を外部へ搬
送するウェハ搬送装置（１７，２７）とをそれぞれ存す
る複数段のウェハ検査装置ユニット（１２，１３）を具
え、この複数段の検査装置ユニット（１２，１３）のウ
ェハ搬送装置（１７，２７）を順次連結するようにする
。

〔作用〕

順次連設されたウェハ検査装置ユニッ１−（１２，１３
）には、Ｉ＋１ｆｌｔ次連結されたウェハ搬送装置（１
７，２７）を必要に応じて順次通って外部から未検査ウ
ェハＷ１が供給されると共に、各ウェハ検査装置ユニッ
ト（１２，１３）において検査処理された検査済みウェ
ハＷ２が、必要に応じてウェハ搬送装置（１７，２７）
を順次通って外部に搬送される。

このように、連設された複数段のウェハ検査装置ユニッ
ト（１２，１３）に対する未検査ウェハＷ１の供給及び
検査済みウェハＷ２の排出を、互いに連結されたウェハ
搬送装置（１７，２７）を共通に用いて実行するように
したことにより、ウェハ検査装置ユニット（１２，１３
）の段数を必要に応じて増減することにより全体として
４１位時間当たりのウェハ処理枚数を必要に応じて増減
させることができ、かくするにつき設置床面積を存効に
抑制し得るウェハ検査装置を容易に実現し得る。

〔実施例〕

以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。

（ａｌ第１の実施例 第１図において、１１は全体としてウェハ検査装置を示
し、左右方向に連設された複数段例えば２段のウェハ検
査装置ユニット１２及び１３を有する。

ウェハ検査装置ユニット１２は、一対の検査ステージ機
構１４Ａ及び１４Ｂを有し、前後方向に延長する共通の
ローディング機構１５を挟んで左及び右側位置に配設さ
れている。

ロ−ディング機構１５はアーム搬送機構１６を有し、そ
の前端側に検査ステージ機構１４Ａ及び１４Ｂの前側位
置を左右方向に通るようにウェハ搬送装置１７（ベルト
搬送機構によって構成されている）が設けられ、ウェハ
搬送装置１７の供給／排出部１８に未検査ウェハＷ１が
セットされたときこれをアーム搬送機構１６によって検
査ステージ機構１４Ａ又は１４Ｂに選択的に供給すると
共に、検査が終了した検査済みウェハＷ２を検査ステー
ジ機構１４Ａ又は１４Ｂからアーム搬送機構１６によっ
て供給／排出部１８に排出し得るようになされている。

ウェハ検査装置ユニット１３は、ウェハ検査装置ユニッ
ト１２と同じ構成を有し、一対の検査ステージ機構２４
Ａ及び２４Ｂに対して共通に設けられているローディン
グ機構２５のアーム搬送機構２６によってウェハ搬送装
置２７の供給／排出部２８にセットされた未検査ウェハ
Ｗｌを供給し、また検査済みウェハＷ２を排出するよう
になされている。

ウェハ検査装置ユニット１２及び１３のウェハ搬送装置
１７及び２７は順次連結されると共に、第１段目のウェ
ハ検査装置ユニット１２のウェハ搬送装置１７の入口に
キャリアローディング部３１が連結され、かつ第２段目
のウェハ検査装置ユニット１３のウェハ搬送装置２７の
出口にキャリアアンローディング部３３が連結されてい
る。

第１段目のウェハ検査装置ユニット１２の検査ス°テー
ジ機構１４Ａ及び１４Ｂのいずれか一方又は両方にウェ
ハが供給されていないとき、前段のウェハ搬送装置１７
はその入口側搬送手段Ａ１によってキャリアローディン
グ部３１に装着された供給キャリア３２（例えば２５枚
の未検査ウェハが収納されている）から未検査ウェハＷ
ｌを１枚だけ供給／排出部１８にセットすることによっ
てウェハ検査装置ユニツ）１２に取り込ませ、また供給
／排出部１８に排出された検査済みウェハＷ２を出口側
搬送手段Ａ２によってウェハ搬送装置１７の出口に送り
出すようになされている。このとき後段のウェハ検査装
置ユニット１３のウェハ搬送装置２７は、入口側搬送手
段Ｂｌによって搬送し、供給／排出部２８を通過させて
出口側搬送手段Ｂ２によってウェハ搬送装置２７の出口
に送り出す。

かくして出口側搬送手段Ｂ２によって搬送されて来た検
査済みウェハＷ２はキャリアアンローディング部３３に
装着された収納キャリア３４（２５枚の検査済みウェハ
Ｗ２を収納し得る）に収納される。

これに対して、第１段目のウェハ検査装置ユニット１２
の検査ステージ機構１４Ａ及び１４Ｂの両方にウェハが
供給されており、かつ第２段目のウェハ検査装置ユニッ
ト１３の検査ステージ機構２４Ａ及び２４Ｂのいずれか
一方又は両方にウェハが供給されていないとき、第１段
目のウェハ搬送装置１７はその入口側搬送手段Ａ１によ
って供給キャリア３２から未検査ウェハＷ１を１枚だけ
取り出して搬送し、供給／排出部１８を通過させて出口
側搬送手段Ａ２によってウェハ搬送装置１７の出口に送
り出す。このとき後段のウェハ搬送装置２７はその入口
側搬送手段Ｂ１によって送り出されて来た未検査ウェハ
Ｗ１を供給／υ１出部２８にセットすることによりウェ
ハ検査装置ユニット１３に取り込ませ、また供給／排出
部２８に排出された検査済みウェハＷ２を出口側搬送手
段Ｂ２によってウェハ搬送装置１７の出口に送り出して
収納キャリア３４に収納させる。

この実施例の場合ウェハ検査装置ユニット１２及び１３
は、ウェハ搬送装置１７の出口をウェハ搬送装置２７の
入口に連結し、またウェハ搬送装置１７の入口をキャリ
アローディング部３１に連結し、さらにウェハ搬送装置
２７の出口をキャリアアンローディング部３３に連結す
るための連結手段として、例えばガイドピン及びガイド
ブツシュをそれぞれ設け、ガイドビンをガイドブツシュ
に差し込むことにより、上流側の装置にあるウェハＷを
下流側の装置に受は渡すことができると共に、ウェハ検
査装置ユニットの連設段数を必要に応じて増減できるよ
うになされている。

以上の構成において、ウェハ検査装置１１は検査ステッ
プを開始すると、キャリアローディング部３１に連結さ
れているウェハ搬送装置１７が供給キャリア３２から未
検査ウェハＷ１を１枚だけ取り出して入口側搬送手段Ａ
ｌによって供給／排出部１８の方向に搬送して行く。

ところが検査開始時にはウェハ検査装置ユニット１２及
び１３の検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ、
２４Ｂには検査対象となるウェハが供給されていない状
態にある。そこでウェハ検査装置ユニット１２は入口側
搬送手段Ａ１によって搬送されているウェハＷ１を供給
／排出部１８にセットし、これをローディング機構１５
のアーム搬送手段１６によって検査ステージ機構１１Ａ
、１４Ｂのうち優先順位の高い検査ステージ機構（例え
ば１４Ａ）に供給する。

かくして第１番目のウェハが検査ステージ機構１４Ａに
装着されると、第２番目の未検査ウェハが供給キャリア
３２から取り出されて入口側搬送手段ＡＩによって供給
／排出部１８に搬送されて行くが、このときウェハ検査
装置ユニットＩ２のネ★査ステージ１４Ｂ側には未検査
ウェハＷ１が供給されていない状態にあるので、入口側
搬送手段Ａｌによって搬送されて来た未検査ウェハＷ１
は供給／排出部１８にセットされ、これをローディング
機構１５のアーム搬送機構１６が検査ステージ機構１４
Ｂに供給する。

続いてウェハ搬送装置１７が供給キャリア３２から第３
番目の未検査ウェハＷ１を取り出して入口側搬送手段Ａ
１が供給／排出部１８の位置に搬送して行くが、このと
きウェハ検査装置ユニット１２の検査ステージ機構１４
Ａ及び１４Ｂには両方共に未検査ウェハＷ１が供給され
ていることにより、入口側搬送手段ＡＩによって搬送さ
れて来た未検査ウェハＷ１は供給／排出部１８を通過し
て出口側搬送手段Ａ２によって後段のウェハ検査装置ユ
ニット１３に送り出されて行く。

ウェハ検査装置ユニット１３はウェハ検査装置ユニット
１２から送り出されて来た未検査ウェハＷ１を入口側搬
送手段Ｂｌによって供給／排出部２８にセットする。

この状態においてはウェハ検査装置ユニット１３の検査
ステージ機構２４Ａ及び２４Ｂには共に未検査ウェハＷ
１が供給されていないことにより、ローディング機構２
５は供給／排出部２８にセットされた未検査ウェハＷ１
を優先順位の高い検査ステージ機構（例えば２４Ａ）に
供給する。

続いてウェハ搬送装置１７は、供給キャリア３２から第
４番目の未検査ウェハＷ１を取り出して人口側搬送手段
ＡＩによって供給／排出部１８の方向に搬送して行（。

このときウェハ検査装置ユニット１２の検査ステージ機
構１４Ａ及び１４Ｂにはいずれも未検査ウェハＷ１が供
給されていることにより、ウェハ搬送装置１７は供給／
排出部１８の位置に来た未検査ウェハＷｌを出口側搬送
手段Ａ２によって後段のウェハ検査装置ユニット１３に
送り出す。

この未検査ウェハＷｌを受けたウェハ検査装置ユニット
１３のウェハ搬送装置２７は、その入口側搬送手段Ｂｌ
によって搬送されて来た未検査ウェハＷ１を供給／すＦ
山部２８にセットする。

この状態においてはステージ機構２４Ｂには未検査ウェ
ハＷｌが供給されていないので、ローディング機構２５
のアーム）般送機構２６が供給／排出部２８にセットさ
れている未検査ウェハＷ１を検査ステージ機構２４Ｂに
供給する。

かくしてウェハ検査装置ユニット１２及び１３の全ての
検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂに
未検査ウェハＷｌが供給された状態になると、ウェハ搬
送装置１７及び２７は検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ
及び２４Ａ、２４Ｂに供給された未検査ウェハＷｌにつ
いての検査が終了するのを待ち受ける状態になり、かく
してウェハ検査装置１１は全体として４枚の未検査ウェ
ハＷｌを同時並列的に検査する状態になる。

やがてウェハ検査装置１１に供給されている４枚の未検
査ウェハＷ１のうちの１つ例えば検査ステージ機構２４
Ｂの未検査ウェハＷ１の検査が終了すると、これをロー
ディング機構２５のアーム搬送機構２６が取り出して供
給／排出部２８に排出する。このときウェハ搬送装置２
７の出口側搬送手段Ｂ２が供給／排出部２８に排出され
た検査済みウェハＷ２をキャリアアンローディング部３
３の収納キャリア３４に搬送して所定の位置に収納する
。

かくして検査済みウェハＷ２が収納キャリア３４に収納
されると、ウェハ搬送装置１７が駆動して入口側搬送手
段ＡＩによって供給キャリア３２の第５番目の未検査ウ
ェハＷｌを取り出し、供給／排出部１８の方向に搬送し
て行く。

このときウェハ検査装置ユニット１２の検査ステージ機
構１４Ａ及び１４Ｂは検査を続行しているので、供給／
排出部１８に搬送されて来た未検査ウェハＷ１は出口側
搬送手段Ａ２によって後段のウェハ検査装置ユニット１
３に送り出される。

これに対してウェハ搬送装置２７は入口側搬送手段Ｂｌ
によって当該未検査ウェハＷ１を供給／排出部２８にセ
ットし、ローディング機構２５のアーム搬送機構２６が
これを検査ステージ機構２４Ｂに供給する。

続いて例えばウェハ検査装置ユニット１２の検査ステー
ジ機構１４Ａに供給された未検査ウェハＷｌのネ★査が
終了すると、ローディング機構１５のアーム搬送機構１
６がこの検査済みウェハＷ２を供給／排出部１８に排出
すると共に、ウェハ搬送装置１７の出口側搬送手段Ａ２
がこれを次段のウェハ搬送装置２７に送り出す。このと
きウェハ搬送装置２７は搬送されて来た検査済みウェハ
Ｗ２を入口側搬送手段Ｂ１によって搬送して供給／排出
部２８を通過させ、出口側搬送手段Ｂ２によって収納キ
ャリア３４の所定位置に収納する。

この状態になると、ウェハ搬送装置１７が起動して供給
キャリア３２から第６番目の未検査ウェハｗｉを取り出
して入口側搬送手段Ａ１によって供給／排出部１Ｂにセ
ットし、ローディング機構１５のアーム搬送機構１６が
これをステージ機構１４Ａに供給する。

かくして４つの検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２
４Ａ、２４Ｂにおける未検査ウェハＷ１の検査が終了す
ると、その都度当該検査済みウエハＷ２が排出されて収
納キャリア３４に収納され、その後新たな未検査ウェハ
Ｗｌが供給キャリア３２から取り出されて当該排出され
た検査ステージ機構に新たな未検査ウェハＷｌが供給さ
れる。

その結果ウェハ検査装置１１は、全体として４つの検査
ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ１２４Ｂを無駄
に検査動作を休止させることなく、常に同時並列的にウ
ェハの処理をさせて行くことができることにより、全体
として単位時間当たりのウェハの検査処理枚数を増大さ
せることができる。

山）第２の実施例 第２図は第２の実施例を示し、第１図との対応部分に同
一符号を付して示すように、ウェハ検査装置１１の後段
側ウェハ検査装置ユニット１３とキャリアアンローディ
ング部３３との間にレーザリペア装置４１が介挿されて
いる。

レーザリペア装置４１は、ウェハ検査装置ユニツ１−１
３のウェハ搬送装置２７から送り出されて来る検査済み
ウェハＷ２をバッファ部４２の一時保留用キャリア４３
に受けるようになされ、当該一時保留用キャリア４３の
検査済みウェハＷ２を例えばアーム搬送機構０１によっ
てウェハ供給／排出部４４に搬送し、当該検査済みウェ
ハＷ２に欠陥があるときローディング用アーム搬送機構
０２によってレーザ加工ステージ機構４５に供給するよ
うになされている。かくしてレーザ加工ステージ機構４
５に供給された検査済みウェハＷ２は、ウェハ検査装置
ユニッ１−１２又は１３における検査結果に基づいて検
査済みウェハＷ２の欠陥を修正°した後、ローディング
用アーム搬送機構０２によってウェハ供給／排出部４４
に排出し、当該排出されて来た修理済みウェハＷ３を出
口側ベルト搬送機構０３によってキャリアアンローディ
ング部３３の収納キャリア３４に搬送する。

これに対してウェハ供給／排出部４４に搬送されて来た
検査済みウェハＷ２に欠陥がなければレーザリペア装置
４１は当該検査済みウェハＷ２をウェハ供給／排出部４
４を通過させて出口側ベルト１１ｉｆｆｉ送機構０３に
よってキャリアアンローディング部３３の収納キャリア
３４に搬送する。

第２図の構成において、ウェハ検査装置１１において同
時並列的に処理される複数例えば４枚の未検査ウェハＷ
ｌは検査が終了するごとにウェハ搬送装置１７及び２７
によって搬送されてレーザリペア装置４１の一時保留用
キャリア４３に一時保留され、レーザリペア装置４１は
当該保留された検査済みウェハＷ２を１枚ずつ取り出し
て必要に応じて欠陥を・修理して行く。

ところでレーザリペア装置１４１の１枚の検査済みウェ
ハＷ２に要する修理処理速度は、実際上ウェハ検査装置
１１の検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ、２
４Ｂにおいて検査される検査時間と比較して、格段的に
短時間で済む、そこでレーザリペア装置４１における１
枚当たりの修理処理時間と、ウェハ検査装置１１の各検
査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂにお
ける１枚当たりの検査時間との差異に応じてウェハ検査
装置ユニット１２．１３の段数を決めるようにすれば、
たとえウェハ検査装置１１において１枚の未検査ウェハ
Ｗ１を検査する時間が長大であっても、°複数のウェハ
検査装置ユニットから排出される検、査済みウェハＷ２
をレーザリペア装置４１のバッファ部４２に一時保留し
ておくようにすることにより、全体としてウェハ検査装
置１１において単位時間当たりに検査処理し得る未検査
ウェハの枚数と、レーザリペア装置４１における単位時
間当たりの修理処理枚数とをほぼ一致させるようにする
ことができ、か（してウェハの検査と修理とを一連の自
動処理装置によって処理し得る。

か（するにつき当該一連の自動処理装置の設置床面積を
、それぞれウェハ検査装置１１及びレーザリペア装置４
１を別体に設置する場合と比較して一段と小面積で済む
ようにし得る。

（ｅ）第３の実施例 第２図との対応部分に同一符号を付して示す第３図は第
３の実施例を示すもので、この実施例の場合ウェハ検査
装置ユニット１２及び１３は、つエバ搬送装置１７及び
２７（第２図）に代えて、キャリア搬送装置５１及び５
２を有する。

すなわち第１段目のウェハ検査装置ユニット１２のキャ
リア搬送装置５１は、例えば２つの未検査キャリアＫｌ
を装着し得るように構成されたキャリアローディング部
３１のキャリアＫｌを１つずつ入口側キャリア搬送手段
Ｄ１によってウェハ供給／排出部５３の方向に搬送し、
検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂに未検査ウェハＷ１が
供給されていないとき、当該未検査キャリアＫｌをウェ
ハ供給／排出部５３にセットし、これに対して未検査キ
ャリアに１がウェハ供給／排出部５３にセットされた状
態にあるとき、未検査キャリアに１を出口側キャリア搬
送手段Ｄ２によってウェハ供給／排出部５３から後段の
ウェハ検査装置ユニット１３のキャリア搬送装置５２に
搬送し得るようになされている。

第２段目のウェハ検査装置ユニット１３のキャリア搬送
装置５２は、第１段目のキャリア搬送装置５１から送り
込まれた未検査キャリアに１を入口側キャリア搬送手段
Ｅ１によってウェハ供給／排出部５４にセットする。

このようにして、ウェハ検査装置ユニット１２及び１３
のウェハ供給／排出部５３及び５４にセットされた未検
査キャリアに１の未検査ウェハＷｌは、それぞれアーム
搬送機構１６及び２６によって１枚ずつ取り出されて空
の検査ステージ機構１４ＡＳ　１４Ｂ及び２４Ａ、２４
Ｂに供給されて検査され、かくして検査が終了した検査
済みウェハＷ２がアーム搬送機構１６及び２６によって
検査ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂか
ら未検査キャリアＫｌに戻される。

ウェハ供給／排出部５３にセットされた未検査キャリア
に１の全ての未検査ウェハＷ１の検査が終了すると、当
該検査済みキャリアに２は後段のウェハ検査装置ユニッ
ト１３に未検査キャリアＫｌがないことを条件として出
口側キャリア搬送手段Ｄ２によって後段のキャリア搬送
装置５２に送り出される。このときキャリア搬送装置５
２は、検査済みキャリアに２を入口側キャリア搬送手段
Ｅ１によってウェハ供給／排出部５４を通過するように
搬送し、出口側キャリア搬送手段Ｅ２によってレーザリ
ペア装置４１のバッファ部５５に搬送する。

また第２段目のウェハ供給／排出部５４にセットされた
未検査キャリアＫｌについて全ての未検査ウェハＷｌの
検査が終了すると、キャリア搬送装置５２は当該検査済
みキャリアに２を出口側キャリア搬送手段Ｅ２によって
レーザリペア装置４１のバッファ部５５に搬送する。

この実施例の場合、第１段目のキャリア搬送装置５１は
、第２段目のキャリア搬送装置５２のウェハ供給／排出
部５４から検査済みキャリアに２が排出された時、第１
段目のウェハ供給／排出部５３にセットされている未検
査キャリアに１の未検査ウェハＷｌについての検査が終
了してないときは、当該第１段目のウェハ供給／排出部
５３の未検査キャリアに１を第２段目のウェハ供給／排
出部５４に移送し、この未検査キャリアに１に残ってい
る未検査ウェハＷ１の検査を第２段目のウェハ検査装置
ユニット１３によって続けさせるようになされている。

その結果第１段目のウェハ供給／排出部５４が空の状態
になると、そのキャリア搬送装置５１はキャリアローデ
ィング部３１から新たな未検査キャリアＫｌを取り込ん
でウェハ供給／排出部５４にセットしてその未検査ウェ
ハＷｌの検査を開始させる。

この実施例の場合レーザリペア装置４１はバッファ部５
５に搬送されて来た検査済みキャリアに２をキャリア搬
送手段Ｆ１によってウェハ供給／排出部５６に搬送し、
ウェハ検査装置ユニット１２及び又は１３における検査
結果に基づいて検査済みウェハＷ２のうち修理が必要な
検査済みウェハＷ２をウェハ搬送機構Ｆ２によってレー
ザ加工ステージ機構４５に供給すると共に、修理が終了
した処理済みウェハＷ３をウェハ搬送機構Ｆ２によって
ウェハ供給／排出部５６に排出する。

かくして未検査キャリアに２に収納されている検査済み
ウェハＷ２のうち修理が必要な検査済みウェハの修理が
終了すると、レーザリペア装置４１はウェハ供給／排出
部５６の検査済みキャリアに２をキャリア搬送手段Ｆ３
によってキャリアアンローディング部３３に搬送する。

第３図の構成において、ウェハ検査装置１１の検査処理
ステップが開始する前に、キャリアローディング部３１
に例えば２５枚の未検査ウェハを収納してなる２つの未
検査キャリアＫｌが装着される。

この状態において検査処理ステップが開始されると、キ
ャリアローディング部３１から未検査キャリアに１が順
次１つずつ第１段目のウェハ検査装置ユニット１２に設
けられているキャリア搬送装置５１の人口側キャリア搬
送手段ＤＩによって搬送開始される。

ここで第１段目のウェハ検査装置ユニット１２のキャリ
ア搬送装置５１は、第２段目のウェハ供給／排出部５３
に未検査キャリアに１がセットされていないことを条件
として未検査キャリアに１が入口側キャリア搬送手段Ｄ
Ｉによって搬送されて来たときこれを出口側キャリア搬
送手段Ｄ２に通過させることにより第２段目のウェハ供
給／排出部５４にセットさせると共に、続いて新たな未
検査キャリアに１を入口側キャリア搬送手段Ｄ１によっ
てウェハ供給／排出部５３にセットする。

かくしてウェハ検査装置ユニット１２及び１３のウェハ
供給／排出部５３及び５４に未検査ウェハＷ１を収納し
ている未検査キャリアに１がそれぞれセットされ、この
状態において各ウェハ検査装置ユニット１２及び１３の
ローディング機構１５及び２５のアーム搬送機構１６及
び２６によって、未検査キャリアに１の未検査ウェハＷ
ｌが１枚ずつ取り出されてステージ機構１４Ａ、１４Ｂ
及び２４Ａ、２４Ｂに供給され、その後検査が終了した
検査済みウェハＷ２がアーム搬送機構１６及び２６によ
って未検査キャリアＫｌに戻るような動作をする。

かくして第１段目のウェハ検査装置ユニット１２のウェ
ハ供給／排出部５３にセットされた未検査キャリアに１
についての検査が第２段目のウェハ検査装置ユニット１
３のウェハ供給／排出部５３にセットされた未検査キャ
リアＫｌについての検査が終了する前に終了すると、当
該検査済みキャリアに２は第２段目のウェハ検査装置ユ
ニット１２における未検査ウェハＷ１についての検査が
続いている間、当該検査が終了するのを待ち受ける状態
になる。

そしてやがて第２段目のウェハ検査装置ユニット１２の
検査が終了してウェハ供給／排出部５４にある検査済み
キャリアに２がレーザリペア装置４１のバッファ部５５
に搬送されると、続いて第１段目のウェハ供給／排出部
５３にある検査済みキャリアに２が第１段目のキャリア
搬送装置５１及び第２段目のキャリア搬送装置５２を通
ってレーザリペア装置４１のバッファ部５５に搬送され
る。

これに対して第２段目のウェハ検査装置ユニツ）１３の
ウェハ供給／排出部５４にセットされた未検査キャリア
に１についての検査が第１段目のウェハ検査装置ユニッ
ト１２のウェハ供給／排出部５３にセットされた未検査
キャリアＫｌより先に終了すると、当該検査済みキャリ
アに２がレーザリペア装置４１のバッファ部５５に搬送
されると共に、未だ検査が終了していない第１段目のウ
ェハ供給／排出部５３にセットされている未検査キャリ
アに１がキャリア搬送装置５１及び５２によって第２段
目のウェハ供給／排出部５４に移送される。

このとき続いて第２段目のウェハ検査装置ユニツ）１３
が当該移送されて来た未検査キャリアに１に残っている
未検査ウェハＷｌの検査を続けると同時に、第１段目の
キャリア搬送装置１２が新たな未検査キャリアＫｌをキ
ャリアローディング部３１から取り込んでウェハ供給／
排出部５３にセットし、第１段目のウェハ検査装置ユニ
ット５１が当該セットされた未検査キャリアに１の未検
査ウェハＷ１の検査を開始する。

レーザリペア装置４１はウェハ供給／排出部５６に検査
済みキャリアに２が設定されていないとき、バッファ部
５５に一時保留されている検査済みキャリアに２をキャ
リア搬送手段Ｆ１によって取り込み、ローディング用ア
ーム搬送機構Ｆ２によって検査済みキャリアに２に収納
されている検査済みウェハＷ２のうち修理が必要なウェ
ハを１枚ずつローディング用アーム搬送機構Ｆ２によっ
てレーザ加エステージ機構４５に供給すると共に、修理
済みのウェハを未検査キャリアに２の元の位置に戻すよ
うな動作をする。

かくしてレーザリペア装置４１のウェハ供給／排出部５
６にセットされた検査済みキャリアＷ２の全てのウェハ
について修理が終了すると、レーザリペア装置４１はキ
ャリア搬送手段Ｆ３によって当該修理済みキャリアに３
をキャリアアンローディング部３３に排出する。

このようにしてレーザリペア装置４１は、ウェハ供給／
排出部５６に検査済みキャリアに２がセットされている
状態にあるとき、さらに新たな検査済みキャリアに２が
ウェハ検査装置ユニット１２又は１３から排出されて来
たときには、当該検査済みキャリアに２をバッファ部５
５に一時保留し、ウェハ供給／排出部５６にセットされ
た検査済みキャリアに２の修理が終了するのを待ら受ζ
Ｊさせる。

第３図の構成によれば、第１及び第２段目のウェハ検査
装置ユニット１２及び１３にそれぞれ未検査キャリアに
１がセットされている状態において、同時に４つの検査
ステージ機構１４Ａ、１４Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂにおい
てウェハの検査をなし得る。これと共に、第２段目のウ
ェハ検査装置ユニット１３における検査が終了したとき
には直ちに当該検査が終了した検査済みキャリアに２を
レーザリペア装置４１に排出させた後、第１段目のウェ
ハ検査装置ユニット１２にセットされている未検査キャ
リアに１を第２段目のウェハ検査装置ユニット１３に移
送すると共に、直ちに未検査ウェハＷ１を収納している
新たな未検査キャリアに１を第１段目のウェハ検査装置
ユニッ１−１２に取り込むことによって、実質上途切れ
ることなく未検査ウェハＷｌについての検査をなし得る
。

かくして実用上レーザリペア装置４１の単位時間当たり
の処理枚数に相当する検査済みウェハＷ２を排出できる
ような段数のウェハ検査装置ユニットを設ければ、ウェ
ハ検査装置１１及びレーザリペア装置４１が常時連続的
に稼動し得るような運転効率の良い自動処理系を構成す
ることができる。

かくするにつき第２図について上述したと同様にして保
守が容易なウェハ検査装置を実現し得る。

（ｄｌ第４の実施例 第４図は第５図の従来の構成に対して、その単位時間当
たりのウェハの検査枚数を倍増させ得るように構成した
ウェハ検査装置６１を示す。

この場合ウェハ検査装置６１は、ウェハ搬送装置６２を
挟んで両側に一対の検査ステージ機構６３Ａ及び６３Ｂ
を有する。ウェハ搬送装置６２は、その一端部に例えば
２５枚の未検査ウェハを収納する供給キャリア６４が固
定装着されると共に、他端部に検査済みウェハを収納す
る収納キャリア６５が固定装着されるようになされてい
る。

供給キャリア６４に収納されている未検査ウェハは、ベ
ルトａ送機構Ｇｌによって１枚ずつ取り出されてウェハ
供給／排出部６６に搬送される。

かくしてウェハ供給／排出部６６に供給された未検査ウ
ェハは、ローディング用アーム搬送機構Ｇ２１又はＧ２
２によって選択的に検査ステージ機構６３Ａ又は６３Ｂ
にローディングされる。

この実施例の場合ローディング用アーム搬送機構０２１
及びＧ２２は、検査ステージ機構６３Ａ及び６３Ｂの両
方にウェハが供給されていない状態にあるときには、ロ
ーディング用アーム搬送機構０２１が優先的にウェハ供
給／排出部６６に搬送されて来た未検査ウェハを検査ス
テージ機構６３Ａに供給するようになされ、これに対し
て検査ステージ機構６３Ａ又は６３Ｂのいずれか一方に
未検査ウェハが供給されていないときには、当該供給さ
れていない検査ステージ機構６３Ａ又は６３Ｂに対応す
るローディング用アーム搬送機構Ｇ２１又はＧ２２がウ
ェハ供給／排出部６６の未検査ウェハを対応する検査ス
テージ機構６３Ａ及び６３Ｂに供給し得るようになされ
ている。

か（して検査ステージ機構６３Ａ又は６３Ｂに供給され
た未検査ウェハの検査が終了すると、対応するローディ
ング用アーム搬送機構Ｇ２１又はＧ２２によって当該検
査済みウェハがウェハ供給／排出部６６に排出される。

このときベルト搬送機構Ｇ３がウェハ供給／排出部６６
に排出されて来た検査済みウェハを収納キャリヤ６５の
所定位置に収納して行（。

第４図の構成によれば、検査ステージ機構６３Ａ及び６
３Ｂに共通に設けられたウェハ搬送装置６２に供給キャ
リア６４が装着された時、この供給キャリア６４に収納
されている未検査ウェハが１枚ずつ検査ステージ機構６
３Ａ又は６３Ｂに供給されることにより、実質上同時に
２つの検査ステージ機構６３Ａ及び６３Ｂにおいて未検
査ウェハの検査処理が実行される。

従ってウェハ検査装置６１全体として見たとき、単位時
間当たりに検査し得る枚数は、第５図の場合と比較して
倍増させることができる。

かくするにつき、ウェハ搬送装置６２を一対の検査ステ
ージ機構６３Ａ及び６３Ｂに対して共通に設けるように
したことにより、第５図の構成を２系列設ける場合と比
較して設置床面積を一段と低減することができる。

（８１他の実施例 （１１上述の実施例においては、ウェハ搬送装置１７及
び２７（第１図及び第２図）、６２（第４図）において
、ウェハを１枚ずつ搬送するにつき、ベルト搬送機構を
用いた実施例について述べたが、搬送方式としてはこれ
に限らず例えば空気浮上方式などの他の構成のものを用
いても上述の場合と同様の効果を得ることができる。

（２）第１図、第２図、第３図の実施例においては、ウ
ェハ搬送装置１１として２段のウェハ検査装置ユニット
１２．１３及び５１．５２を順次連結するように接続し
た構成について述べたが、ウェハ検査装置ユニットの連
結段数はこれに限らず、後段に接続されるウェハ処理装
置（上述の実施例の場合レーザリペア装置４１）の処理
速度に応じて３段以上複数段を設けるようにしても良い
。

（３）　　上述の実施例においては、キャリアローディ
ング部３１、ウェハ搬送装置１７．２７、キャリアアン
ローディング部３３間（第１図）、キャリアローディン
グ部３１、ウェハ搬送装置１７．２７、レーザリペア装
Ｗ４１、キャリアアンローディング部３３間（第２図）
、キャリアローディング部３１、キャリア搬送装置５１
．５２、レーザリペア装置４１間（第３図）を直接連結
するようにしたが、これに代え、間に保守作業用スペー
スを形成するための連結ユニットを介挿するようにして
も良い。

（４）第３図の実施例においては、第２段目のウェハ検
査装置ユニツ）１３における検査が第１段目のウェハ検
査装置ユニット１２における検査終了前に終了した場合
には、第２段目の検査済みキャリアに２を排出すると共
に第１段目の未検査キャリアに１を第２段目のウェハ検
査装置ユニット１３に移送すると共に、第１段目のウェ
ハ検査装置ユニット１２に新たな未検査キャリアＫｌを
取り込むようにした場合について述べたが、これに代え
、第１に、第１段目の未検査キャリアに１を移送させず
に第１段目のウェハ検査装置ユニッ１−１２において全
ての未検査ウェハＷｌの検査を終了させるのを待って当
該検査済みキャリアに２を第２段目のキャリア搬送装置
５２を通じて排出させた後、第２段目及び第１段目のウ
ェハ検査装置ユニット１３及び１２に順次新たな未検査
キャリアＫｌをセットするようにしても良い。

また第２に、検査終了した第２段目の検査済みキャリア
に２を排出させたとき、第１段目のウェハ供給／排出部
５３に検査中のキャリアをセットした状態のまま、新た
に取り込んだ未検査キャリアに１を、第１段目のウェハ
供給／排出部５３を素通りして第２段目のウェハ供給／
排出部５４に搬送するようにしても良い。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、一対の検査ステ−ジ機構
と、これらの一対の検査ステージ機構に対して未検査ウ
ェハを供給し又は検査済みウェハを排出させろウェハ搬
送装置又はキャリア搬送装置とを有するウェハ検査装置
ユニットを必要に応じた段数だけ連設できるように構成
したことにより、単位時間当たりのウェハの検査枚数を
必要に応じて増大させることができ、かくするにつき、
設置床面積を抑制することができろウェハ検査装置を容
易に実現し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるウェハ検査装置の一実施例を示す
路線図、第２図、第３図、第４図はその他の実施例を示
す路線図、第５図、第６図、第７図は従来のウェハ検査
装置を示す路線図である。 １１・・・・・・ウェハ検査装置、１２．１３・・・・
・・ウェハ検査装置ユニット、１４Ａ、１４Ｂ、２４Ａ
、２４Ｂ・・・・・・検査ステージ機構、１５．２５・
・・・・・ローディング機構、１６．２６・・・・・・
アーム搬送機構、１７．２７・・・・・・ウェハ搬送装
置、３１・・・・・・キャリアローディング部、３２・
・・・・・供給キャリア、３３・・・・・・キャリアア
ンローディング部、３４・・・・・・収納キャリア、４
１・・・・・・レーザリペア装置、４２・・・・・・バ
ッファ部、４５・・・・・・レーザ加工ステージ機構、
５１．５２・・・・・・キャリア搬送装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 一対の検査ステージ機構と、上記一対の検査ステージ機
   構に対してそれぞれ１枚ずつ未検査ウェハを供給すると
   共に検査済みウェハを排出するローディング機構と、上
   記ローディング機構に対して上記未検査ウェハを外部か
   ら搬送すると共に上記ローディング機構から排出された
   上記検査済みウェハを外部へ搬送するウェハ搬送装置と
   をそれぞれ有する複数段のウェハ検査装置ユニットを具
   え、上記複数段の検査装置ユニットの上記ウェハ搬送装
   置を順次連結した ことを特徴とするウェハ検査装置。